JP2006036365A - Cassette for containing glass substrate - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cassette for containing a glass substrate by which an article, such as the glass substrate, can be carried safely so as not to collide with the cassette during conveyance. <P>SOLUTION: The cassette consists of a frame 100, side walls 110, 120, and cantilevers 11, 12, and holds the article S1. The side walls 110, 120 are perpendicular to a horizontal plane. The cantilevers 11, 12 for bearing the article S1 have fixed ends 11a, 12a mounted on the side-walls 110, 120, thereby predetermined angles θ1, θ2 are formed against the horizontal plane h. Moreover, the predetermined angles θ1, θ2 of the cantilevers 11, 12 are set to 1 to 10 degrees. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、カセット(cassettes)に関するものであって、特に、液晶ディスプレイ(LCD)のガラス基板を収納するカセットに関するものである。   The present invention relates to cassettes, and more particularly, to a cassette that houses a glass substrate of a liquid crystal display (LCD).

ディスプレイ装置のパネルは、通常、透明基板からなり、薄型、小尺寸、軽重量になってきている。透明基板は、ガラス、石英、ポリカーボネート(PC)、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)等の有機透明材料からなる。薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ(TFT−LCD)の製造工程において、パネルのガラス基板、或いは、その他の板状の物件は、カセットに承載、収容され、機械アームにより移動或いは搬送される。   A panel of a display device is usually made of a transparent substrate, and has become thin, small and light. The transparent substrate is made of an organic transparent material such as glass, quartz, polycarbonate (PC), or polymethyl methacrylate (PMMA). In the manufacturing process of a thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD), a glass substrate of a panel or other plate-like article is mounted and accommodated in a cassette, and is moved or conveyed by a mechanical arm.

図1Aで示されるように、ガラス基板S’は、カセットCに収容される。カセットCは、フレーム100’及び複数のカンチレバー101’、102’、からなる。フレーム100’は長方形である。カンチレバー101’、102’は、フレーム100’の内壁110’、120’上に均等に配置される。フレーム100’は、複数のフロア105に分割される。各フロア105は、フロアピッチ或いはフロア間の距離である高さHを有する。各基板S’は、高さが相同のカンチレバー101’、102’により支承される。 As shown in FIG. 1A, the glass substrate S 1 ′ is accommodated in the cassette C. The cassette C includes a frame 100 ′ and a plurality of cantilevers 101 ′ and 102 ′. The frame 100 ′ is rectangular. The cantilevers 101 ′ and 102 ′ are evenly arranged on the inner walls 110 ′ and 120 ′ of the frame 100 ′. The frame 100 ′ is divided into a plurality of floors 105. Each floor 105 has a height H P is the distance between the floor pitch or floor. Each substrate S 1 ′ is supported by cantilevers 101 ′ and 102 ′ having the same height.

図1Bは、公知のカセット及び機械アームの前視図である。機械アームMは、所定距離W’で隔てられた第一支承部5’と第二支承部6’からなる。機械アームMが基板S’を搬送する時、機械アームMは、カセットCの割り当てられたフロア105に進入し、基板S’をカンチレバー101’、102’上に移動させる。これにより、基板S’の収容を完成させる。逆に、カセットCから基板S’を取り出したい時、機械アームMは、カセットC内の指定基板S’の下方に進入し、第一支承部5’と第二支承部6’により、同時に、基板S’を支承して、カセットCから取り出す。 FIG. 1B is a front view of a known cassette and mechanical arm. The mechanical arm M includes a first bearing portion 5 ′ and a second bearing portion 6 ′ separated by a predetermined distance W ′. When the mechanical arm M carries the substrate S 1 ′, the mechanical arm M enters the floor 105 to which the cassette C is assigned and moves the substrate S 1 ′ onto the cantilevers 101 ′ and 102 ′. Thereby, the accommodation of the substrate S 1 ′ is completed. Conversely, when it is desired to take out the substrate S 1 ′ from the cassette C, the mechanical arm M enters below the designated substrate S 1 ′ in the cassette C, and the first support portion 5 ′ and the second support portion 6 ′ At the same time, the substrate S 1 ′ is supported and taken out from the cassette C.

基板S’は、カセットCの内壁110’、120’上のカンチレバー101’、102’により支承される。しかし、基板S’の重量の作用で、中央部は、僅かに下方に窪む。 The substrate S 1 ′ is supported by cantilevers 101 ′ and 102 ′ on the inner walls 110 ′ and 120 ′ of the cassette C. However, the central portion is slightly depressed downward due to the weight of the substrate S 1 ′.

更に、ガラス基板は、例えば、第2.5世代(370mm×470mm)、第3世代(550mm×650mm)、第3.5世代(660mm×720mm)、第4世代(680mm×880mm)、第5世代(1100mm×1250mm)等の異なる外形の様々な代に分類される。現在は、第6世代、第7世代基板(1900mm×2200mm)等の大基板になる趨勢がある。厚さは、0.7ミリから、0.4ミリに減少している。つまり、基板は、尺寸が大きく、厚さが薄くなるほど、ガラス基板中央部の偏向比が増加する。   Further, the glass substrate is, for example, 2.5th generation (370 mm × 470 mm), 3rd generation (550 mm × 650 mm), 3.5th generation (660 mm × 720 mm), 4th generation (680 mm × 880 mm), 5th generation. It is classified into various generations with different external shapes such as generation (1100 mm × 1250 mm). Currently, there is a trend of becoming large substrates such as sixth-generation and seventh-generation substrates (1900 mm × 2200 mm). The thickness is reduced from 0.7 mm to 0.4 mm. That is, the deflection ratio of the central portion of the glass substrate increases as the size of the substrate increases and the thickness decreases.

機械アームMが、大きく、且つ、薄い基板S’を承載している時、図1Cで示されるように、基板S’の各端Eは、自身の重みで、下垂する(下に垂れた状態となる)。Hは、端Eの下垂距離である。公知のカセットCにおいて、搬送の間、機械アームMの照準ミスが深刻である場合、基板S’の一端Eは、カセットCのカンチレバー101’、102’に衝突し、カセットCの内側を破壊する。よって、歩留まり率が減少し、材料を浪費し、工程時間が増える。 When the mechanical arm M is loading a large and thin substrate S 1 ′, each end E 1 of the substrate S 1 ′ hangs under its own weight (below) as shown in FIG. 1C. Will be drooped). H C is the pituitary distance of the end E 1. In the known cassette C, if the aiming error of the mechanical arm M is serious during transport, one end E 1 of the substrate S 1 ′ collides with the cantilever 101 ′, 102 ′ of the cassette C, and the inside of the cassette C Destroy. Therefore, the yield rate is reduced, the material is wasted, and the process time is increased.

カセットCから基板S’を安全に搬送するために、距離Hは、Hより長くなければならない。各フロア105の距離Hを長くして、基板S’の端E、EとカセットC間の接触を回避する。よって、大きい基板には、大きいカセットCが要求される。更に、空間の制限により、カセットは、基板の収容、及び、取り出しの間の便宜のため、適切な尺寸でなければならない。よって、カセットCの収容容量は減少する。故に、ある位置から別の位置へ搬送する時のガラス基板の欠点を減少することが重大な意味を持つことになる。 From the cassette C to safely transport the substrate S 1 ', the distance H P must be longer than H C. The distance H P of each floor 105 and long, to avoid contact between the ends E 1, E 2 and the cassette C of the substrate S 1 '. Therefore, a large cassette C is required for a large substrate. Further, due to space limitations, the cassette must be of an appropriate scale for convenience during storage and removal of substrates. Therefore, the capacity of the cassette C is reduced. Therefore, it becomes important to reduce the defects of the glass substrate when transported from one position to another.

本発明は、ガラス基板収納用のカセットの改良技術を提供し、搬送の間、カセットに衝突しないように物件を安全に運ぶことを目的とする。本発明は、カセットのカンチレバー形状を変更し、カセットの総高さと重量を減少することをもう一つの目的とする。本発明は、フロア数を増加させ、物件の収容数量を増加することを更なる目的とする。   An object of the present invention is to provide a technique for improving a cassette for storing a glass substrate, and to safely carry an article so as not to collide with the cassette during conveyance. It is another object of the present invention to change the cassette cantilever shape and reduce the total height and weight of the cassette. It is a further object of the present invention to increase the number of floors and increase the accommodation capacity.

上述の目的を達成するため、本発明は、カセットを提供する。物件を収容するカセットは、側壁とカンチレバーとからなる。側壁は、水平面に垂直である。物件を支承するカンチレバーは、側壁に装着される固定端を有し、これにより、水平面と角度を形成し、その角は、1〜10°である。   To achieve the above object, the present invention provides a cassette. The cassette that houses the property consists of a side wall and a cantilever. The side wall is perpendicular to the horizontal plane. The cantilever that supports the property has a fixed end attached to the side wall, thereby forming an angle with a horizontal plane, and the angle is 1 to 10 degrees.

カンチレバーは、更に、前端を有し、前端の底部はノッチを有する。カンチレバーの厚さは、前端に沿って減少する。更に、前端の底部は、階段状である。カセットは、更に、パッドを有し、このパッドは前端上に位置する。パッドは、弾性ポリマー、例えばラバー、ソフトポリプロピレン、等からなる。   The cantilever further has a front end and the bottom of the front end has a notch. The cantilever thickness decreases along the front edge. Furthermore, the bottom part of the front end is stepped. The cassette further has a pad, which is located on the front end. The pad is made of an elastic polymer such as rubber or soft polypropylene.

本発明は、更に、カセットを提供し、物件を収容するカセットは側壁とカンチレバーとからなる。側壁は、水平面に垂直である。物件を支承するカンチレバーは、側壁に装着される固定端と、厚さが、固定端よりも薄い前端と、を有する。前端は、ノッチを有する。カンチレバーの厚さは、固定端から、前端に沿って減少する。更に、前端は、階段状である。カセットは、更に、パッドを有し、このパッドは、前端上に位置する。パッドは、弾性ポリマー、例えば、ラバー、ソフトポリプロピレン、等からなる。   The present invention further provides a cassette, and the cassette for housing the property includes a side wall and a cantilever. The side wall is perpendicular to the horizontal plane. The cantilever that supports the property has a fixed end attached to the side wall, and a front end that is thinner than the fixed end. The front end has a notch. The cantilever thickness decreases from the fixed end along the front end. Furthermore, the front end is stepped. The cassette further has a pad, which is located on the front end. The pad is made of an elastic polymer such as rubber or soft polypropylene.

本発明は、更に、カセットを提供し、物件を収容するカセットは、第一側壁、第一カンチレバー、第二側壁、及び、第二カンチレバー、からなる。第一側壁は、水平面に垂直である。第一カンチレバーは、第一側壁上に配置される。第二側壁は、第一側壁に相対し、且つ、水平である。第二カンチレバーは、第二側壁上に配置される。第一カンチレバーと水平面は第一角を形成し、第二カンチレバーと水平面は第二角を形成する。この第一角と第二角は、実質上、等しいことが好ましい。   The present invention further provides a cassette, and the cassette that houses the article includes a first side wall, a first cantilever, a second side wall, and a second cantilever. The first side wall is perpendicular to the horizontal plane. The first cantilever is disposed on the first side wall. The second side wall is opposite to the first side wall and is horizontal. The second cantilever is disposed on the second side wall. The first cantilever and the horizontal plane form a first corner, and the second cantilever and the horizontal plane form a second corner. It is preferable that the first angle and the second angle are substantially equal.

本発明のガラス基板を収容するカセットは、搬送の間、物件をカセットに衝突しないように安全に運ぶこと、カセットの総高さと重量を減少すること、物件の収容数量を増加すること、という効果を有する。   The cassette that accommodates the glass substrate of the present invention has the effect of safely carrying the article so as not to collide with the cassette during transport, reducing the total height and weight of the cassette, and increasing the quantity of articles accommodated. Have

本発明の各実施例は、TFT−LCDパネルの製造工程に適用され、機械アームMにより、カセット内で、ガラス基板、或いは、その他の板状の物件を搬送する。カセットは、物件Sを承載、及び、収容するのに用いられる。機械アームMは、カセット内で、上下、水平に移動して、物件Sを搬送する。 Each embodiment of the present invention is applied to a TFT-LCD panel manufacturing process, and a mechanical arm M transports a glass substrate or other plate-shaped article in a cassette. Cassette, a property S 1 Uketamawano, and is used to accommodate. The mechanical arm M is in the cassette, the upper and lower, moved horizontally to convey the property S 1.

第一実施例:図2Aは、本発明の第一実施例におけるカセットの前視図である。カセットCは、フレーム100、第一側壁110、第二側壁120、第一カンチレバー11、第二カンチレバー12、からなる。注意すべきことは、カンチレバーの数は、二つに限定されず、カセットCは、複数のカンチレバーからなることである。本実施例において、第一カンチレバー11と第二カンチレバー12が提供される。 First Embodiment: FIG. 2A is a front view of a cassette in the first embodiment of the present invention. The cassette C 1 includes a frame 100, a first side wall 110, a second side wall 120, a first cantilever 11, and a second cantilever 12. It should be noted that the number of cantilevers is not limited to two, the cassette C 1 is that composed of a plurality of cantilevers. In this embodiment, a first cantilever 11 and a second cantilever 12 are provided.

第一側壁110と第二側壁120は、水平面hに垂直である。第二側壁120は、第一側壁110に相対し、且つ、平行である。第一カンチレバー11は、第一固定端11aと第一前端11bとからなる。第一固定端11aは、第一側壁110に装着される。第二カンチレバー12は、第二固定端12aと第二前端12bとからなる。第二固定端12aは、第二側壁120に装着される。物件Sは、複数のパッド160を有するカセットの前端11b、12bにより支承され、物件Sとカンチレバー11、12間が直接接触するのを回避する。 The first side wall 110 and the second side wall 120 are perpendicular to the horizontal plane h. The second side wall 120 is opposed to and parallel to the first side wall 110. The first cantilever 11 includes a first fixed end 11a and a first front end 11b. The first fixed end 11 a is attached to the first side wall 110. The second cantilever 12 includes a second fixed end 12a and a second front end 12b. The second fixed end 12 a is attached to the second side wall 120. The property S 1 is supported by the front ends 11 b and 12 b of the cassette having a plurality of pads 160, and avoids direct contact between the property S 1 and the cantilevers 11 and 12.

第一カンチレバー11と水平面hは第一角θを形成する。第二カンチレバー12と水平面hは、第二角θを形成する。第一角θは、第二角θと実質上等しい。第一角θ、及び、第二角θは、約1〜10°、好ましくは、1〜4°で、物件Sの長さ、厚さ、重量及び材料によって決定する。 The first cantilever 11 and the horizontal plane h form a first angle θ 1 . Second cantilever 12 and the horizontal plane h forms a second angle theta 2. The first angle θ 1 is substantially equal to the second angle θ 2 . The first angle θ 1 and the second angle θ 2 are about 1 to 10 °, preferably 1 to 4 °, and are determined by the length, thickness, weight, and material of the property S 1 .

図2Bは、本発明の第一実施例におけるカセット及び機械アームの前視図である。図2Cは、本発明の第一実施例におけるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。機械アームMは、カセットCのフロア150の内側に位置する二つの支承部5、6を有し、物件Sの一つを支承する。機械アームMにより支承される時、物件Sの二端は、下垂する。第一カンチレバー11の第一角θは、物件Sの端部Eの傾斜角θ’と、実質上、等しい。よって、第一カンチレバー11は、セクションEと平行である。 FIG. 2B is a front view of the cassette and the mechanical arm in the first embodiment of the present invention. FIG. 2C is a local enlarged view of the first cantilever of the cassette in the first embodiment of the present invention. The mechanical arm M has two bearing portions 5 and 6 located inside the floor 150 of the cassette C 1, supporting a single property S 1. When it is supported by the mechanical arm M, two ends of the property S 1 is drooping. The first angle θ 1 of the first cantilever 11 is substantially equal to the inclination angle θ 1 ′ of the end E of the property S 1 . Therefore, the first cantilever 11 is parallel to the section E.

カンチレバーと物件の端部の形状は、同様、且つ、平行であるので、機械アームMが、基板を承載して、上下に移動させる時、端部Eはカンチレバーに衝突しないので、基板の損傷を防ぐ。   Since the shape of the end of the cantilever and the property is the same and parallel, when the mechanical arm M mounts the substrate and moves it up and down, the end E does not collide with the cantilever. prevent.

更に、図2Cで示されるように、第一カンチレバー11は、上向けに傾斜し、増加した高さDは、前端11b近くのフロア105に提供される。よって、カセットのフロア間の距離は増加する。増加した高さDは、充分な空間を提供し、搬送中に、物件Sとカンチレバー11、12間が接触するのを防止する。カセットCのフロア105間の距離が減少し、カセットCの外形寸法が縮小するので、更に小型化したカセットを提供する。更に大きな収容空間が必要である時、フロア間の距離が減少するので、カセットCの外形寸法は同じで、物件を収容する更に多くのフロアが追加される。よって、外形尺寸を増加しなくても、カセットCのキャパシティが増加する。 Furthermore, as shown in Figure 2C, the first cantilever 11 is inclined upward for increased height D 1 that is provided to the front end 11b near the floor 105. Thus, the distance between the cassette floors increases. Increase the height D 1 that provides sufficient space during transportation, while property S 1 and the cantilever 11, 12 can be prevented from contacting. The distance between the floor 105 of the cassette C 1 is reduced, since the outer dimensions of the cassette C 1 is reduced further provides a miniaturized cassette. When further requires a large accommodation space, since the distance between the floor decreases, external dimensions of the cassette C 1 is the same, more floors housing the property is added. Therefore, even without increasing the outer Shakusun, capacity of the cassette C 1 increases.

第二実施例:図3A〜図3Cは、本発明の第二実施例によるカセットを示す図である。カセットCは、フレーム200、第一側壁210、第二側壁220、第一カンチレバー21、第二カンチレバー22、からなる。なお、上記した第一実施例と共通する要素や接続の構造に関する説明は省略する。 Second Embodiment: FIGS. 3A to 3C are views showing a cassette according to a second embodiment of the present invention. The cassette C 2 includes a frame 200, a first side wall 210, a second side wall 220, a first cantilever 21, and a second cantilever 22. In addition, the description regarding the element and connection structure which are common in the above-mentioned 1st Example is abbreviate | omitted.

図3A〜図3Cで示されるように、第一カンチレバー21と第二カンチレバー22の前端21b、22bの形状が異なる。前端21b、22bの厚さは、固定端21a、22aより薄い。つまり、第一カンチレバー21の第一前端21bは、ノッチ25を有し、第二カンチレバー22の第二前端22bは、ノッチ26を有する。よって、カンチレバー21、22は、階段状となっている。   As shown in FIGS. 3A to 3C, the shapes of the front ends 21b and 22b of the first cantilever 21 and the second cantilever 22 are different. The front ends 21b and 22b are thinner than the fixed ends 21a and 22a. That is, the first front end 21 b of the first cantilever 21 has a notch 25, and the second front end 22 b of the second cantilever 22 has a notch 26. Therefore, the cantilevers 21 and 22 are stepped.

更に、第一及び第二カンチレバー21、22は水平状態を維持し、傾斜する必要がない。同様に、パッド260は、第一及び第二カンチレバー21、22上に配置され、物件Sと直接接触するのを防ぐ。 Furthermore, the first and second cantilevers 21 and 22 remain horizontal and do not need to be inclined. Similarly, the pad 260 is disposed on the first and second cantilevers 21 and 22, preventing the direct contact with the property S 2.

図3Bは、本発明の第二実施例によるカセット、及び、機械アームの前視図である。図3Cは、第二実施例によるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。図3Bと図3Cで示されるように、機械アームMは、カセットCのフロア250上に位置し、支承部5、6により、物件Sの一つを承載する。機械アームMが物件Sを承載する時、二端のセクションEは、下垂する(下に垂れた状態となる)。第一カンチレバー21の第一前端21bはノッチを有し、ノッチの高さDは、物件Sの傾斜角によって変化する。ノッチ25は、余分の搬送空間を提供するので、セクションEと第一カンチレバー21間の接触が回避される。よって、カセットCのフロアピッチHが減少し、カセットCの外形尺寸が減少する。実施例において、大きい収容キャパシティのカセットCが必要である時、フロア間の距離が減少するので、カセットCの外形尺寸は同じで、物件を収容する更に多くのフロアが追加される。よって、外形尺寸を増加しなくても、カセットCのキャパシティが増加する。 FIG. 3B is a front view of the cassette and the mechanical arm according to the second embodiment of the present invention. FIG. 3C is a local enlarged view of the first cantilever of the cassette according to the second embodiment. As shown in FIGS. 3B and 3C, the mechanical arm M is located on the floor 250 of the cassette C 2 , and supports one of the objects S 2 by the support portions 5 and 6. Machine when the arm M is Uketamawano a property S 2, two ends of the section E is (a state of hanging down) of ptosis is. The first front end 21b of the first cantilever 21 has a notch, the height D 2 of the notch varies according to the angle of inclination of the property S 2. Since the notch 25 provides extra transport space, contact between the section E and the first cantilever 21 is avoided. Therefore, the floor pitch of H 2 cassette C 2 is decreased, the outer shape Shakusun cassette C 2 decreases. In the embodiment, when the cassette C 2 having a large storage capacity is required, the distance between the floors is reduced. Therefore, the outer dimensions of the cassette C 2 are the same, and more floors for accommodating the property are added. Therefore, even without increasing the outer Shakusun, the capacity of the cassette C 2 is increased.

第二実施例は、変化例を有する。図3Dで示されるように、第二実施例と共通の要素は、同符号で示され、説明を省略している。第一カンチレバー21’を例とすると、第一カンチレバー21’と水平面hは、第三角θを有する。第三角θは、1〜10°である。 The second embodiment has a variation. As shown in FIG. 3D, elements common to the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. Taking the first cantilever 21 ′ as an example, the first cantilever 21 ′ and the horizontal plane h have a third triangle θ 3 . The third triangle θ 3 is 1 to 10 °.

好ましい実施としては、第三角θは1〜4°である。第二カンチレバーは、第一カンチレバー21’対称なので、第二カンチレバーの説明を省略する。第一カンチレバー21’の角θと第二カンチレバー(図示しない)の角は同じである。角θは、物件Sの長さ、厚さ、重量及び材料によって決定する。 Preferred embodiments, third angle theta 3 is 1 to 4 °. Since the second cantilever is symmetrical with the first cantilever 21 ', the description of the second cantilever is omitted. The angle theta 3 of the first cantilever 21 'is the corner of the second cantilever (not shown) is the same. The angle θ 3 is determined by the length, thickness, weight and material of the property S 2 .

カンチレバー21は、第三角θを有し、増加した高さDが提供されて、カセットの搬送空間を増加させる。よって、各フロアピッチH’は減少する。この変化例において、フロアピッチH’は、フロアピッチHより小さい。フロアピッチH、或いは、フロアピッチH’が減少するので、カセットCのキャパシティは増加する。 The cantilever 21 has a third triangle θ 3 and is provided with an increased height D 3 to increase the transport space of the cassette. Therefore, each floor pitch H 2 ′ decreases. In this variation, the floor pitch H 2 ′ is smaller than the floor pitch H 2 . Since the floor pitch H 2 or the floor pitch H 2 ′ decreases, the capacity of the cassette C 2 increases.

第三実施例:図4A〜図4Cは、本発明の第三実施例によるカセットを示す図である。カセットCは、フレーム300、第一側壁310、第二側壁320、第一カンチレバー31、第二カンチレバー32からなる。図で示されるように、異なるのは、第一、第二カンチレバー31、32の前端31b、32bの形状である。第一、第二カンチレバー31、32の前端31b、32bの厚さは、固定端31a、32aより薄い。カンチレバー31、32の厚さは、前端31b、32bに沿って、固定端31a、32aから減少する。 Third Embodiment: FIGS. 4A to 4C are views showing a cassette according to a third embodiment of the present invention. The cassette C 3 includes a frame 300, a first side wall 310, a second side wall 320, a first cantilever 31, and a second cantilever 32. As shown in the figure, the differences are the shapes of the front ends 31b, 32b of the first and second cantilevers 31, 32. The front ends 31b and 32b of the first and second cantilevers 31 and 32 are thinner than the fixed ends 31a and 32a. The thickness of the cantilevers 31, 32 decreases from the fixed ends 31a, 32a along the front ends 31b, 32b.

図4B及び図4Cで示されるように、第一カンチレバー31のセクションPはスロープ33を有し、水平面hと第四角θを形成する。第一カンチレバー31のセクションPのスロープ33は、同様の形状を有する物件Sの終端と平行である。同様に、第二カンチレバー32はスロープを有し、水平面hと第五角θを形成する。増加した高さDは、更に多くの搬送空間を提供する。よって、機械アームMが物件を承載する時、物件SのセクションEとカンチレバー31、32間の接触が防止される。 As shown in FIGS. 4B and 4C, the section P 1 of the first cantilever 31 has a slope 33 and forms a horizontal plane h and a fourth angle θ 4 . Slope 33 of section P 1 of the first cantilever 31 is parallel to the end of the property S 3 having the same shape. Similarly, the second cantilever 32 has a slope and forms a horizontal plane h and a fifth angle θ 5 . Increase the height D 4 that provides more transfer space. Therefore, when the mechanical arm M is Uketamawano the properties, contact between section E and the cantilever 31, 32 of the property S 3 is prevented.

注意すべきことは、本実施例において、第一、第二カンチレバー31、32は水平状態を維持することである。即ち、第一、第二カンチレバー31、32は、第一、第二側壁310、320に垂直である。更に、弾性パッド360は、第一、第二カンチレバー31、32上に配置され、物件Sとカンチレバー31、32間が直接、接触するのを防止する。よって、カセットCのフロアピッチHが減少するので、カセットCの外形尺寸も減少し、カセットを小型化する。本実施例において、大きい収容キャパシティのカセットが必要な時、フロア間の距離が減少するので、カセットCの外形尺寸は同じで、物件を収容する更に多くのフロアが追加される。よって、外形尺寸を増加しなくても、カセットCのキャパシティが増加する。 It should be noted that in the present embodiment, the first and second cantilevers 31 and 32 maintain a horizontal state. That is, the first and second cantilevers 31 and 32 are perpendicular to the first and second side walls 310 and 320. Further, the elastic pad 360, first, are arranged on the second cantilever 31, while property S 3 and the cantilever 31, 32 directly to prevent contact. Therefore, since the floor pitch H 3 of the cassette C 3 decreases, outline Shakusun cassette C 3 also decreases, to reduce the size of the cassette. In the present embodiment, when the required large accommodation capacity of the cassette, the distance between floors is decreased, the outer shape Shakusun cassette C 3 are the same, more floors housing the property is added. Therefore, even without increasing the outer Shakusun, the capacity of the cassette C 3 increases.

第三実施例は、更に、変化例を有する。図4Dで示されるように、共通の要素は、同符号で示され、説明を省略している。第一カンチレバー31’を例とすると、第一カンチレバー31’と水平面hは、第六角θを有する。第六角θは、1〜10°で、好ましくは、1〜4°である。第二カンチレバーは第一カンチレバー31’と対称なので、第二カンチレバーの説明を省略する。第一カンチレバー31’の第六角θと第二カンチレバー(図示しない)の角は相同である。角は、物件Sの長さ、厚さ、重量及び材料によって決定する。 The third embodiment further has a variation. As shown in FIG. 4D, common elements are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. Taking the first cantilever 31 ′ as an example, the first cantilever 31 ′ and the horizontal plane h have a sixth hexagon θ 6 . The sixth hexagon θ 6 is 1 to 10 °, and preferably 1 to 4 °. Since the second cantilever is symmetrical with the first cantilever 31 ', the description of the second cantilever is omitted. The first hexagonal θ 6 of the first cantilever 31 ′ and the angle of the second cantilever (not shown) are homologous. Corners, the length of the property S 3, the thickness is determined by the weight and material.

カンチレバー31’は、第六角θを有し、増加した高さDは、搬送空間を増加させる。これにより、各フロアピッチH’が減少する。変化例において、フロアピッチH’は、カセットCのフロアピッチHより小さい。フロアピッチH或いはH’が減少するので、カセットCのキャパシティも増加する。ガラス基板を収容するカセットは、搬送中の物件とカンチレバー間の直接の接触を防止し、高度を低下させ、重量を軽減する。 The cantilever 31 ′ has a sixth hexagon θ 6 and the increased height D 4 increases the transport space. As a result, each floor pitch H 3 ′ decreases. In the variation, the floor pitch H 3 ′ is smaller than the floor pitch H 3 of the cassette C 3 . Since the floor pitch H 3 or H 3 ′ decreases, the capacity of the cassette C 3 also increases. The cassette that houses the glass substrate prevents direct contact between the object being transported and the cantilever, lowering the altitude and reducing weight.

本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。   In the present invention, preferred embodiments have been disclosed as described above. However, the present invention is not limited to the present invention, and any person who is familiar with the technology can use various methods within the spirit and scope of the present invention. Variations and moist colors can be added, so the protection scope of the present invention is based on what is specified in the claims.

公知のカセット及びその内部の複数の物件Sを示す図である。Shows a plurality of properties S 1 of the known cassette and therein. 公知のカセット及び機械アームの前視図である。1 is a front view of a known cassette and mechanical arm. 公知のカセットの局部拡大図である。It is a local enlarged view of a well-known cassette. 本発明の第一実施例によるカセットの前視図である。1 is a front view of a cassette according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施例によるカセット及び機械アームの前視図である。1 is a front view of a cassette and a mechanical arm according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施例によるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。It is a local enlarged view of the first cantilever of the cassette according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第二実施例によるカセットの前視図である。It is a front view of the cassette according to the second embodiment of the present invention. 本発明の第二実施例によるカセット及び機械アームの前視図である。It is a front view of a cassette and a mechanical arm according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第二実施例によるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。It is a local enlarged view of the first cantilever of the cassette according to the second embodiment of the present invention. 本発明の第二実施例の変化例によるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。It is a local enlarged view of the 1st cantilever of the cassette by the modification of the 2nd Example of this invention. 本発明の第三実施例によるカセットの前視図である。It is a front view of a cassette according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第三実施例によるカセット及び機械アームの前視図である。FIG. 6 is a front view of a cassette and a mechanical arm according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第三実施例によるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。It is a local enlarged view of the 1st cantilever of the cassette by the 3rd example of the present invention. 本発明の第二実施例の変化例によるカセットの第一カンチレバーの局部拡大図である。It is a local enlarged view of the 1st cantilever of the cassette by the modification of the 2nd Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100、100’ フレーム
101’、102’ カンチレバー
105 フロア
11、21、21’、31、31’ 第一カンチレバー
11a 第一固定端
11b 第一前端
110 第一側壁
110’、120’ 内側壁
12、22、32 第二カンチレバー
12a 第二固定端
12b 第二前端
120 第二側壁
160、260、360 パッド
150、250、350 フロア
25 ノッチ
210 第一側壁
220 第二側壁
310 第一側壁
320 第二側壁
33 斜面
5 支承部
6 支承部
C、C、C、C カセット
、D、D、D、D 増加した高度
、E 物件Sの両端部
h 水平面
フロア高度
、H、H、H’、H’ フロア高度
M 機械アーム
カンチレバーの一段部
、S’、S、S 物件(基板)
θ 角
100, 100 'Frame 101', 102 'Cantilever 105 Floor 11, 21, 21', 31, 31 'First cantilever 11a First fixed end 11b First front end 110 First side wall 110', 120 'Inner side walls 12, 22 32 Second cantilever 12a Second fixed end 12b Second front end 120 Second side wall 160, 260, 360 Pad 150, 250, 350 Floor 25 Notch 210 First side wall 220 Second side wall 310 First side wall 320 Second side wall 33 Slope 5 bearing 6 bearing C, C 1, C 2, C 3 cassettes D 1, D 2, D 3 , D 4, D 5 increased altitude E 1, E 2 both end portions h horizontal plane H P floor altitude Property S H 1 , H 2 , H 3 , H 2 ′, H 3 ′ Floor height M Mechanical arm P 1 Cantilever one step S 1 , S 1 ′, S 2 , S 3 property (board)
θ angle

Claims (13)

水平面に垂直な二つの側壁を有するフレームと、
前端と前記二つの側壁の一つに装着される固定端とを有し、前記水平面と角度を形成する複数のカンチレバーと、
からなることを特徴とするカセット。
A frame having two side walls perpendicular to the horizontal plane;
A plurality of cantilevers having a front end and a fixed end attached to one of the two side walls, forming an angle with the horizontal plane;
A cassette characterized by comprising:
前記角度は、1〜10°である請求項1に記載のカセット。 The cassette according to claim 1, wherein the angle is 1 to 10 °. 前記前端は、ノッチを有する請求項1に記載のカセット。 The cassette according to claim 1, wherein the front end has a notch. 前記カンチレバーの厚さは、前記前端に沿って減少する請求項1に記載のカセット。 The cassette of claim 1, wherein the thickness of the cantilever decreases along the front end. 前記前端の底部は、階段状である請求項1に記載のカセット。 The cassette according to claim 1, wherein a bottom portion of the front end is stepped. 更に、前記前端に配置されたパッドを有する請求項1に記載のカセット。 The cassette according to claim 1, further comprising a pad disposed at the front end. 前記パッドは、弾性ポリマーからなる請求項6に記載のカセット。 The cassette according to claim 6, wherein the pad is made of an elastic polymer. 水平面に垂直な二つの側壁を有するフレームと、
前端と前記二つの側壁の一つに装着される固定端とを有し、
前記前端の厚さが前記固定端より薄い複数のカンチレバーと、
からなることを特徴とするカセット。
A frame having two side walls perpendicular to the horizontal plane;
A front end and a fixed end attached to one of the two side walls;
A plurality of cantilevers in which the thickness of the front end is thinner than the fixed end;
A cassette characterized by comprising:
前記前端は、ノッチを有する請求項8に記載のカセット。 The cassette according to claim 8, wherein the front end has a notch. 前記カンチレバーの厚さは、前記固定端から前記前端へ、徐々に減少する請求項8に記載のカセット。 The cassette according to claim 8, wherein the thickness of the cantilever gradually decreases from the fixed end to the front end. 前記前端は、階段状である請求項8にカセット。 The cassette according to claim 8, wherein the front end is stepped. 更に、前記前端に位置するパッドを有する請求項8に記載のカセット。 The cassette according to claim 8, further comprising a pad located at the front end. 前記パッドは、弾性ポリマーからなる請求項12に記載のカセット。
The cassette of claim 12, wherein the pad is made of an elastic polymer.
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