KR20060008226A - Cassettes for receiving glass substrates - Google Patents

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KR1020050006783A
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첸잉치
리우시앙치앙
루충린
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우 옵트로닉스 코포레이션
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Abstract

물체를 수용하는 카세트. 상기 카세트는 테두리, 측벽 및 컨틸레버를 포함한다. 상기 측벽은 수평면에 대하여 수직이다. 물체를 지지하는 컨틸레버는 측벽에 부착된 고정 말단을 포함하고 그것에 의하여 수평면과 각을 형성한다. Cassette to hold the object. The cassette includes a rim, sidewalls and a retainer. The side wall is perpendicular to the horizontal plane. The retainer supporting the object includes a fixed end attached to the side wall and thereby forms an angle with the horizontal plane.

카세트, 컨틸레버, 유리 기판.Cassettes, Containers, Glass Substrates.

Description

유리 기판을 수용하기 위한 카세트 {CASSETTES FOR RECEIVING GLASS SUBSTRATES}Cassette for accommodating glass substrates {CASSETTES FOR RECEIVING GLASS SUBSTRATES}

유리 기판을 받기 위한 카세트는 다음의 실시예와 참고문헌과 함께 발명의 상세한 설명과 그에 수반된 도면에 의하여 더욱 잘 이해되어질 수 있다. Cassettes for receiving glass substrates can be better understood by the following detailed description of the invention and the accompanying drawings in conjunction with the following examples and references.

도 1은 전형적인 카세트의 개요적인 내부도이다;1 is a schematic interior view of a typical cassette;

도 2는 기계팔을 가진 전형적인 카세트의 정면도이다;2 is a front view of a typical cassette with a mechanical arm;

도 3은 전형적인 카세트의 국부적인 확대도이다;3 is a local enlarged view of a typical cassette;

도 4는 카세트 몸체의 정면도이다;4 is a front view of the cassette body;

도 5는 도 4의 기계팔을 가진 카세트의 정면도이다;5 is a front view of the cassette with the mechanical arm of FIG. 4;

도 6은 도 4의 카세트의 첫 번째 컨틸레버의 국부적인 확대도이다;FIG. 6 is a local enlarged view of the first retainer of the cassette of FIG. 4; FIG.

도 7은 카세트의 몸체의 정면도이다;7 is a front view of the body of the cassette;

도 8은 도 7의 기계팔을 가진 카세트의 몸체의 정면도이다;8 is a front view of the body of the cassette with the mechanical arm of FIG. 7;

도 9는 도 7의 카세트의 첫 번째 컨틸레버의 국부적인 확대도이다;9 is a local enlarged view of the first retainer of the cassette of FIG. 7;

도 10은 도 7의 카세트의 첫 번째 컨틸레버의 변형의 국부적인 확대도이다;10 is a local enlarged view of a variant of the first retainer of the cassette of FIG. 7;

도 11은 카세트의 몸체의 정면도이다;11 is a front view of the body of the cassette;

도 12는 도 11의 기계팔을 가진 카세트의 몸체의 정면도이다;12 is a front view of the body of the cassette with the mechanical arm of FIG. 11;

도 13은 도 11의 카세트의 첫 번째 컨틸레버의 국부적인 확대도이다;FIG. 13 is a local enlarged view of the first retainer of the cassette of FIG. 11;

도 14는 도 11의 카세트의 첫 번째 컨틸레버의 변형의 국부적인 확대도이다. FIG. 14 is a local enlarged view of a variant of the first retainer of the cassette of FIG. 11.

본 발명은 카세트 특히, 액정디스플레이(LCD)의 유리 기판을 수용하는 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette, in particular a cassette for receiving a glass substrate of a liquid crystal display (LCD).

디스플레이 장치의 판넬들은 종종 투명한 기판을 포함하며, 이는 점점 더 얇아지고, 생산물의 크기와 무게가 감소하게 된다. 투명한 기판으로는 유리, 수정, 또는 폴리탄산에스테르(PC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)와 같은 유기 투명 기판을 포함한다. 박막트랜지스터 액정디스플레이(TFT-LCD) 제조 과정에서, 판넬의 유리 기판 또는 다른 편평한 물체가 카세트에 놓여지고 저장되며, 이동되거나 기계팔에 의하여 전달될 수 있다.Panels of display devices often include transparent substrates, which become thinner and thinner, resulting in reduced size and weight of the product. Transparent substrates include glass, quartz, or organic transparent substrates such as polycarbonate (PC), polymethyl methacrylate (PMMA). In the manufacture of thin film transistor liquid crystal displays (TFT-LCDs), glass substrates or other flat objects of the panel can be placed and stored in cassettes, moved or transferred by mechanical arms.

도 1에서 보여지는 것처럼, 유리 기판 S1'은 카세트 C에 저장되어진다. 카세트 C는 테두리 100'와 복수의 컨틸레버 101'및 102'를 포함한다. 테두리 100'는 직사각형이다. 컨틸레버 101'및 102'는 테두리 100'의 내부 벽 110' 및 120'에 고르게 배치된다. 테두리 100'은 복수의 층 105으로 나뉜다. 각각의 층 105는 높이 Hp를가지며, 이는 층 사이의 거리이다. 각 기판 S1'은 같은 높이에서 두 컨틸레버 101'및 102'에 의하여 지지된다.As shown in FIG. 1, the glass substrate S 1 ′ is stored in the cassette C. FIG. Cassette C comprises a rim 100 'and a plurality of elevators 101' and 102 '. Border 100 'is a rectangle. The containers 101 'and 102' are evenly disposed on the inner walls 110 'and 120' of the border 100 '. The rim 100 'is divided into a plurality of layers 105. Each layer 105 has a height H p , which is the distance between the layers. Each substrate S 1 ′ is supported by two receivers 101 ′ and 102 ′ at the same height.

도 2는 기계팔 M이 유리 기판 S1'을 전달할 때 전형적인 카세트 C의 정면도이다. 기계팔 M은 그들 사이에 예정된 거리 W'를 가진 첫 번째 지지 부분 5'과 두 번째 지지 부분 6'을 포함한다. 기계팔 M이 기판 S1'을 전달할 때, 카세트 C의 할당된 층 105으로 이동하는 기계팔 M은 컨틸레버 101'및 102'로 기판 S1'을 전달하고, 그것에 의하여 기판 S1'의 저장을 완성한다. 역으로, 카세트 C로부터 기판 S1'을 끄집어낼 때, 기계팔 M은 직접적으로 기판 S1'아래 카세트 C로 이동하고 지지 부분 5' 및 6'은 동시적으로 기판 S1'을 지지하고, 카세트 C로부터 그것을 꺼낸다.2 is a front view of a typical cassette C when the arm M carries a glass substrate S 1 ′. The machine arm M comprises a first support part 5 'and a second support part 6' with a predetermined distance W 'between them. "When passing, mechanical arm M moving in the layer 105 allocated on the cassette C is keontilrebeo 101, the mechanical arm M substrate S 1 passes the" substrate S 1 in "and 102, and the storage of the substrate S 1 ', whereby Complete Conversely, when pulling out the substrate S 1 ′ from the cassette C, the machine arm M moves directly to the cassette C below the substrate S 1 ′ and the support portions 5 ′ and 6 ′ simultaneously support the substrate S 1 ′, Remove it from cassette C.

기판 S1'은 카세트 C의 내부 벽 110' 및 120'에 있는 컨틸레버 101' 및 102'에 의하여 지지된다; 그러나, 기판 S1'의 자체 무게때문에 그 중심 부분이 아래 쪽으로 약간 변형된다.The substrate S 1 ′ is supported by the retainers 101 ′ and 102 ′ in the inner walls 110 ′ and 120 ′ of the cassette C; However, due to its own weight of the substrate S 1 ′, its central portion is slightly deformed downwards.

게다가, 유리 기판은 2.5 형 (370mm 에서 470mm), 3 형 (550mm 에서 650mm), 3.5 형 (660mm 에서 720mm), 4 형 (680mm 에서 880mm) 및 5 형 (1100mm 에서 1250mm)과 같은 다른 치수를 가진 다양한 종류로 분류된다. 6 형 또는 7 형 기판 ( 1900mm 에서 2200mm)과 같은 더 넓은 기판 사이즈로 가는 추세이다. 그것들의 두께는 0.7mm 에서 현재 0.4mm로 감소한다. 말하자면, 그 기판은 더 넓어지고 얇아지며, 이리하여 기판의 중심부의 편향 비율이 증가한다.In addition, glass substrates have different dimensions such as 2.5 type (370mm to 470mm), 3 type (550mm to 650mm), 3.5 type (660mm to 720mm), 4 type (680mm to 880mm) and 5 type (1100mm to 1250mm). It is classified into various kinds. There is a trend towards wider substrate sizes, such as 6 or 7 type substrates (1900 mm to 2200 mm). Their thickness decreases from 0.7mm to 0.4mm now. That is to say, the substrate becomes wider and thinner, thereby increasing the rate of deflection at the center of the substrate.

기계팔 M이 넓고 얇은 기판 S1'을 들어올릴 때, 도 3에서 나타낸 바와 같이, 그 기판 S1'의 각 말단 E1 은 자체 무게 때문에 자연스럽게 아래로 편중된다. Hc 는 말단 E1의 편중된 길이이다. 전형적인 카세트 C에서 수송 동안에 기계팔 M의 잘못된 배열이 심각하다면, 그것은 기판 S1'의 한 쪽 말단 E1이 카세트 C의 컨틸레버 101' 및 102' 을 쳐서 카세트 C 내부에서 부서지는 것을 유발할 수 있다. 그러므로 수율이 감소하고 재료를 낭비하며, 조작 시간을 증가시키게 된다.When the mechanical arm M lifts the wide and thin substrate S 1 ′, as shown in FIG. 3, each end E 1 of the substrate S 1 ′ is naturally biased down because of its own weight. H c is the biased length of the terminal E 1 . If the misalignment of the arm M during a transport in a typical cassette C is severe, it can cause one end E 1 of the substrate S 1 ′ to hit inside the cassette C by hitting the levers 101 'and 102' of the cassette C. This reduces yield, wastes material, and increases operating time.

카세트 C로부터 기판 S1'을 안전하게 옮기기 위하여 거리 Hp 가 Hc 보다 더 커야 한다. 각 층 105의 거리 Hp 는 기판 S1'의 말단 E1, E2과 카세트 C 사이의 접촉을 피하기 위하여 증가되어야 한다. 그러므로 넓은 기판은 더 넓은 크기의 카세트를 필요로 한다. 게다가, 공간 제약때문에 카세트는 기판의 저장과 제거 동안 편리함을 위하여 적절하게 치수화 되어야 하고 그러므로 카세트 C의 저장 부피는 감소된다. 따라서, 한 위치에서 다른 위치로 옮겨질 때, 유리 기판에서 편중의 감소는 중요하다. In order to safely move the substrate S 1 ′ from the cassette C, the distance H p must be greater than H c . The distance H p of each layer 105 should be increased to avoid contact between the cassettes C and the terminals E 1 , E 2 of the substrate S 1 ′. Therefore wide substrates require a wider size cassette. In addition, due to space constraints, the cassette must be properly dimensioned for convenience during storage and removal of the substrate and therefore the storage volume of the cassette C is reduced. Therefore, when moving from one position to another, the reduction of the bias in the glass substrate is important.

본 발명의 목적은 개선된 카세트이며, 이는 수송 동안에 카세트에 타격을 가하지 않고 안전하게 옮긴다. An object of the present invention is an improved cassette, which is safely transported without hitting the cassette during transportation.

본 발명의 다른 목적은 카세트의 형태인 컨틸레버를 변화시켜서 카세트의 전체 높이와 무게를 감소시키는 것이다. Another object of the present invention is to reduce the overall height and weight of the cassette by varying the retainer in the form of a cassette.

또한 본 발명의 다른 목적은 층 양을 증가시키는 것이며, 이는 물체의 저장 된 양을 증가시키게 된다.Another object of the present invention is also to increase the amount of layers, which increases the stored amount of the object.

본 발명의 목적을 위해 카세트가 제공된다. 물체를 수용하기 위한 카세트의 전형적인 형태는 측벽과 컨틸레버를 포함한다. 측벽은 수평면에 대하여 수직이다. 물건을 지지하기 위한 컨틸레버는 측벽에 부착된 고정 말단을 포함하며, 수평면과 각을 형성하고 그 각의 범위는 1o에서 10o이다.Cassettes are provided for the purposes of the present invention. Typical forms of cassettes for receiving an object include side walls and a retainer. The side wall is perpendicular to the horizontal plane. The retainer for supporting the object includes a fixed end attached to the side wall, and forms an angle with the horizontal plane, and the angle ranges from 1 o to 10 o .

컨틸레버는 더 나아가 정면 말단을 포함하고, 정면 말단의 낮은 부분은 베인 자리를 포함한다. 컨틸레버의 두께는 정면 말단을 따라 감소한다. The retainer further comprises a front end and the lower part of the front end includes a vane seat. The thickness of the retainer decreases along the front end.

게다가. 정면 말단의 낮은 부분은 대체로 계단 모양이다. 카세트는 더 나아가 패드를 포함하고, 패드는 정면 말단에 배열되어 있다. 그 패드는 고무, 부드러운 폴리프로필렌 등과 같은 탄성의 폴리머를 포함한다.Besides. The lower part of the front end is generally stepped. The cassette further comprises a pad, which is arranged at the front end. The pad includes elastic polymers such as rubber, soft polypropylene, and the like.

더욱 나아가, 측벽과 컨틸레버를 포함하는 물체를 수용하는 카세트가 제공된다. 그 측벽은 수평면에 수직이다. 물체를 지지하는 컨틸레버는 측벽에 부착된 고정말단과 그 고정말단의 두께보다 더 낮은 두께를 가지는 정면 말단을 포함한다. 정면 말단은 베인 자리를 포함한다. 컨틸레버의 두께는 고정 말단으로부터 정면 말단으로 갈수록 감소한다. 게다가 정면 말단은 대체적으로 계단 형태이다. 카세트는 더욱 패드를 포함하고 정면 말단에 배치된다. 그 패드는 고무 또는 부드러운 폴리프로필렌 등과 같은 탄성적인 폴리머를 포함한다. Furthermore, a cassette is provided for receiving an object comprising a side wall and a retainer. The side wall is perpendicular to the horizontal plane. The retainer supporting the object includes a fixed end attached to the side wall and a front end having a thickness lower than the thickness of the fixed end. The front end includes vane sites. The thickness of the retainer decreases from the fixed end to the front end. In addition, the front ends are generally stepped. The cassette further comprises a pad and is disposed at the front end. The pad includes an elastic polymer such as rubber or soft polypropylene.

물체를 수용하기 위한 카세트의 어떤 구체화된 형태는 첫 번째 측벽, 첫 번 째 컨틸레버, 두 번째 측벽, 및 두 번째 컨틸레버를 포함한다. 첫 번째 측벽은 수평면에 수직이다. 첫 번째 컨틸레버는 첫 번째 측벽에 배치된다. 두 번째 측벽은 첫 번째 측벽에 대하여 반대편에 있고 평행하다. 두 번째 컨틸레버는 두 번째 측벽에 배치된다. 첫 번째 컨틸레버와 수평면이 첫 번째 각을 이루고, 두 번째 컨틸레버와 수평면이 두 번째 각을 형성한다. 첫 번째와 두 번째 각은 대체로 동일하다. Certain embodiments of cassettes for receiving objects include a first sidewall, a first retainer, a second sidewall, and a second retainer. The first sidewall is perpendicular to the horizontal plane. The first retainer is placed on the first sidewall. The second sidewall is opposite and parallel to the first sidewall. The second retainer is arranged on the second side wall. The first and horizontal planes form the first angle, and the second and the horizontal planes form the second angle. The first and second angles are largely the same.

유리 기판을 수용하는 카세트가 제공되어 진다. 유리 기판을 수용하는 카세트의 모범적인 형태는 기계팔 M에 의하여 카세트에서 유리 기판과 같은 복수의 물체 또는 다른 편평한 모양의 물체를 옮길 때 박막트랜지스터 액정디스플레이 판넬 제조 과정에 적용할 수 있다. 그 카세트는 물체 S1을 싣고 저장하는데 사용되어진다. 그 기계팔 M은 카세트로 들어가서 물체 S1을 옮기기 위하여 위 또는 아래 방향으로 수평적으로 이동할 수 있다.A cassette is provided that houses the glass substrate. An exemplary form of a cassette for accommodating a glass substrate can be applied to a thin film transistor liquid crystal display panel manufacturing process when moving a plurality of objects such as glass substrates or other flat shaped objects from the cassette by the mechanical arm M. The cassette is used to load and store the object S 1 . The machine arm M can move horizontally in the up or down direction to move the object S 1 into the cassette.

도 4는 카세트 C1의 형태의 정면도이다. 카세트 C1은 테두리 100, 첫 번째 측벽 110, 두 번째 측벽 120, 첫 번째 컨틸레버 11, 두 번째 컨틸레버 12를 포함한다. 컨틸레버의 양은 두개에 제한되지 않으며 카세트 C1은 복수의 컨틸레버를 포함할 수 있다. 몇몇 형태에서, 첫 번째 컨틸레버 11와 두 번째 컨틸레버 12가 제공된다.4 is a front view of a form of the cassette C 1 . Cassette C 1 comprises a rim 100, a first sidewall 110, a second sidewall 120, a first retainer 11, a second retainer 12. The amount of containers is not limited to two and the cassette C 1 may comprise a plurality of containers. In some forms, the first retainer 11 and the second retainer 12 are provided.

첫 번째 측벽 110과 두 번째 측벽 120은 수평면 h에 대하여 수직이다. 두 번째 측벽 120은 첫 번째 측벽 110에 대하여 대칭이고 평행이다. 첫 번째 컨틸레버 11은 첫 번째 고정 말단 11a과 첫 번째 정면 말단 11b을 포함한다. 첫 번째 고정 말단11a은 첫 번째 측벽 110에 부착되어 있다. 두 번째 컨틸레버 12는 두 번째 고정 말단 12a과 두 번째 정면 말단 12b을 포함한다. 두 번째 고정 말단 12a은 두 번째 측벽 120에 부착되어 있다. 물체 S1는 물체 S1과 컨틸레버 11 및 12 사이의 직접적인 접촉을 피하기 위하여 놓여진 복수의 패드 160를 가진 카세트의 정면 말단 11b 및 12b에 의하여 지지된다. The first sidewall 110 and the second sidewall 120 are perpendicular to the horizontal plane h. The second sidewall 120 is symmetrical and parallel to the first sidewall 110. The first retainer 11 includes the first fixed end 11a and the first front end 11b. The first fixed end 11a is attached to the first side wall 110. The second retainer 12 comprises a second fixed end 12a and a second front end 12b. The second fixed end 12a is attached to the second side wall 120. The object S 1 is supported by the front ends 11b and 12b of the cassette with a plurality of pads 160 placed in order to avoid direct contact between the object S 1 and the containers 11 and 12.

첫 번째 컨틸레버 11와 수평면 h은 첫 번째 각 θ1을 형성한다. 두 번째 컨틸레버 12와 수평면 h은 두 번째 각 θ2을 형성한다. 첫 번째 각 θ1은 대체적으로 두 번째 각 θ2와 동일하다. 첫 번째 각과 두 번째 각 θ1, θ2 은 물체 S1의 길이, 두께, 무게, 재료에 따라 다양하며, 1o내지 10o의 각을 이루고 바람직하게는 1o 내지 4o의 각을 이룬다.The first retainer 11 and the horizontal plane h form the first angle θ 1 . The second retainer 12 and the horizontal plane h form a second angle θ 2 . The first angle θ 1 is generally equal to the second angle θ 2 . The first and second angles θ 1 , θ 2 vary depending on the length, thickness, weight and material of the object S 1 , and form an angle of 1 o to 10 o and preferably an angle of 1 o to 4 o .

도 5는 기계팔 M을 가진 카세트 C1의 정면도이다. 도 2C는 카세트 C1의 첫 번째 컨틸레버 11의 국부적인 확대도이다. 기계팔 M은 카세트 C1의 층 150내부에 위치한 두개의 지지부분 5 및 6을 포함하며, 물체 S1의 하나를 지지한다. 기계팔 M에 의하여 지지될 때 물체 S1의 두 말단은 아래로 편중된다. 첫 번째 컨틸레버 11의 첫 번째 각 θ1은 대체로 물체 S1의 말단 부분 E의 경사각 θ1'과 동일하다. 그러므로 컨틸레버 11는 대체적으로 말단 부분 E와 평행하다. 5 is a front view of the cassette C 1 with the machine arm M. FIG. 2C is a local enlarged view of the first retainer 11 of cassette C 1 . The machine arm M comprises two support parts 5 and 6 located inside the layer 150 of the cassette C 1 and supports one of the objects S 1 . When supported by the machine arm M, the two ends of the object S 1 are biased down. The first angle θ 1 of the first retainer 11 is generally equal to the inclination angle θ 1 ′ of the distal end E of the object S 1 . Therefore, the lever 11 is generally parallel with the terminal portion E.

컨틸레버와 물체의 말단 부분의 형태가 비슷하고 평행이기 때문에, 그 말단 부분 E은 기판을 실은 기계팔 M이 아래 또는 위로 움직일 때 기판의 파손을 방지하기 위하여 컨틸레버를 치지 않는다. Since the shape of the distal end of the tilter and the object is similar and parallel, the distal end E does not strike the tilter to prevent breakage of the substrate when the machine arm M carrying the substrate moves down or up.

게다가, 도 6에서 보여진 것처럼, 첫 번째 컨틸레버 11는 위로 경사지고, 부가의 높이 D1은 정면 말단 11b 근처의 층 105를 위하여 제공되고, 그러므로, 카세트의 층 사이의 거리는 증가될 수 있다. 부가적인 높이 D1은 운반 동안에 물체 S1와 컨틸레버 11 및 12 사이의 접촉을 방지하기 위하여 충분한 틈을 제공한다. 카세트 C1에 있는 층들 105사이의 거리가 감소할 수 있기 때문에, 카세트 C1의 전체 크기가 더욱 밀집된 소형의 카세트를 제공하면서 감소할 수 있다. 다른 상황 아래에서, 더 넓은 저장 용량이 요구되어질 때, 층 사이의 거리가 감소할 수 있기 때문에, 카세트 C1의 전체 크기는 같지만 더 많은 층들이 더 많은 물체를 저장하기 위하여 첨가되어질 수 있다. 그러므로 카세트 C1의 용량은 그것의 전체적인 크기에서의 증가없이 증가할 수 있다. In addition, as shown in FIG. 6, the first retainer 11 is inclined upwards and an additional height D 1 is provided for layer 105 near the front end 11b, and therefore the distance between the layers of the cassette can be increased. The additional height D 1 provides sufficient clearance to prevent contact between the object S 1 and the containers 11 and 12 during transportation. Since the distance between the layers 105 in cassette C 1 can be reduced, the overall size of cassette C 1 can be reduced while providing a more compact compact cassette. Under other circumstances, when a wider storage capacity is required, since the distance between layers can be reduced, the total size of cassette C 1 is the same but more layers can be added to store more objects. The capacity of cassette C 1 can therefore be increased without an increase in its overall size.

도 7, 8 및 9는 카세트 C2의 개요도이다. 카세트 C2는 테두리 200, 첫 번째 측벽 210, 두 번째 측벽 220, 첫 번째 컨틸레버 21 및 두 번째 컨틸레버 22를 포함한다. 이전에 기술되었던 공통의 요소와 연결 구조의 설명은 제외된다.7, 8 and 9 are schematic views of cassette C 2 . Cassette C 2 comprises a rim 200, a first sidewall 210, a second sidewall 220, a first retainer 21 and a second retainer 22. The description of common elements and connection structures previously described is omitted.

도 7-9에서 보여지는 바와 같이, 차이점은 첫 번째 컨틸레버 21 및 두 번째 컨틸레버 22의 정면 말단 21b 및 22b의 형태가 다르다는데 있다. 정면 말단 21b 및 22b의 두께는 고정 말단 21a 및 22a의 두께보다 얇다. 다시 말해서, 첫 번째 컨틸 레버 21의 첫 번째 정면 말단 21b은 패인 홈 25을 포함하고, 두 번째 컨틸레버 22의 두 번째 정면 말단 22b은 패인 홈 26을 포함한다. 컨틸레버 21 및 22는 대체로 계단 모양이다.As shown in Figs. 7-9, the difference is that the front ends 21b and 22b of the first and second levers 21 and 22 are different in shape. The thickness of the front ends 21b and 22b is thinner than the thickness of the fixed ends 21a and 22a. In other words, the first front end 21b of the first control lever 21 includes a recessed groove 25 and the second front end 22b of the second control lever 22 includes a recessed groove 26. The retainers 21 and 22 are generally stepped.

게다가, 몇몇 형태에서의 경사진 컨틸레버와 달리 첫 번째와 두 번째 컨틸레버 21 및 22는 수평으로 남아있다. 유사하게, 패드 260는 물체 S2의 직접적인 접촉을 방지하기 위하여 첫 번째 및 두 번째 컨틸레버 21, 22에 배치되어 있다. In addition, unlike the tilted tilter in some forms, the first and second tilters 21 and 22 remain horizontal. Similarly, pad 260 is disposed on the first and second retainers 21, 22 to prevent direct contact of object S 2 .

도 8는 기계팔을 가진 카세트 C2의 정면도이다. 도 3C는 카세트 C2의 첫 번째 컨틸레버의 국부적인 확대도이다. 도 8 및 9에서 보여지는 바와 같이, 기계팔 M은 카세트 C2의 층 250에 놓여지며, 지지 부분 5 및 6에 의하여 물체 S2의 하나를 싣는다. 기계팔 M이 물체 S1를 실을 때, 그들의 두 말단 부분 E이 약간 아래로 편중된다. 첫 번째 컨틸레버 21의 첫 번째 정면 말단 21b이 높이 D2를 가지는 패인 홈을 가지며, 물체 S2의 말단 부분 E의 경사진 각과 다르기 때문에 패인 홈 25은 말단 부분 E과 첫 번째 컨틸레버 사이의 접촉이 방지될 수 있도록 기계팔 M을 위한 부가적인 운송 공간을 제공한다. 그러므로 카세트 C2의 층 높이 H2는 감소될 수 있다. 카세트 C2의 전체적인 크기는 감소될 수 있으며, 더 밀집된 소형의 카세트를 제공한다. 몇몇 형태에서 카세트 C2의 더 큰 저장 용량이 요구되어질 때, 층 사이의 거리가 감소되어질 수 있기 때문에, 카세트 C2의 전체적인 크기는 같지만, 더 많은 층이 더 많은 물체를 저장하기 위하여 첨가되어질 수 있다. 그러므로 카세트 C2의 용량은 전체적인 크기의 증가없이 증가된다. 8 is a front view of the cassette C 2 with the mechanical arm. 3C is a local enlarged view of the first retainer of cassette C 2 . As shown in FIGS. 8 and 9, the machine arm M is placed on the layer 250 of the cassette C 2 , carrying one of the objects S 2 by the supporting parts 5 and 6. When the machine arm M carries the object S 1 , their two end portions E are slightly biased down. The first groove 21b of the first receptacle 21 has a recessed groove with a height D 2 and differs from the inclined angle of the terminal portion E of the object S 2 so that the recess 25 prevents contact between the terminal portion E and the first container. To provide additional transport space for the machine arm M. Therefore cassette storey of C 2 H 2 may be reduced. The overall size of the cassette C 2 can be reduced, providing a more compact compact cassette. In some forms when the larger storage capacity of cassette C 2 is required, since the distance between the layers can be reduced, the overall size of cassette C 2 is the same, but more layers can be added to store more objects. have. Therefore, the capacity of cassette C 2 is increased without increasing the overall size.

카세트는 더 다양성을 가진다. 도 10에서 보여지는 바와 같이, 공통의 요소들은 같은 상징을 공유하며, 그 설명은 제외된다. 첫 번째 컨틸레버 21'는 예로 보여진다. 첫 번째 컨틸레버 21'와 수평선 h은 세 번째 각 θ3을 형성하고, 그 각의 범위는 1o 내지 10o, 바람직하게는 1o 내지 4o의 범위에 있다. Cassettes have more variety. As shown in FIG. 10, common elements share the same symbol, and description thereof is omitted. The first retainer 21 'is shown as an example. The first retainer 21 'and the horizontal line h form a third angle θ 3 , the range of which is in the range 1 o to 10 o , preferably 1 o to 4 o .

첫 번째 컨틸레버 21'와 두 번째 컨틸레버 22'는 대칭적으로 배열되어 있기 때문에 두 번째 컨틸레버 22'의 그림은 제외된다. 보여지지 않음에도 불구하고, 두 번째 컨틸레버 22'는 첫 번째 컨틸레버 21'의 그것과 대체로 동일한 각 θ3을 가진다. 세 번째 각 θ3은 물체 S2의 길이, 두께, 무게, 재료에 따라 다양하다. Since the first and second levers 21 'are symmetrically arranged, the picture of the second one is excluded. Although not shown, the second retainer 22 'has the same angle θ 3 as that of the first retainer 21'. The third angle θ 3 varies with the length, thickness, weight and material of the object S 2 .

컨틸레버가 세 번째 각 θ3에서 경사지므로 부가적인 높이 D3는 카세트 내에서 운반 공간을 증가시키기 위하여 제공된다. 그러므로, 각 층 높이 H2'는 감소되어질 수 있다. 이 다양성으로, 층 높이 H2'는 층 높이 H2 보다 낮다. 층 높이 H2 또는 H2'가 감소될 수 있기 때문에 카세트 C2의 용량은 증가할 수 있다. Since the tilter is inclined at the third angle θ 3 , an additional height D 3 is provided to increase the transport space in the cassette. Therefore, each layer height H 2 ′ can be reduced. With this variety, the floor height H 2 ′ is lower than the floor height H 2 . The capacity of cassette C 2 can increase because the layer height H 2 or H 2 ′ can be reduced.

도 11, 12, 및 13은 카세트 C3의 개요도이다. 카세트 C3는 테두리 300, 첫 번째 측벽 310, 두 번째 측벽 320, 첫 번째 컨틸레버 31, 및 두 번째 컨틸레버 32를 포함한다. 11, 12, and 13 are schematic views of cassette C 3 . Cassette C 3 comprises an edge 300, a first sidewall 310, a second sidewall 320, a first retainer 31, and a second retainer 32.

차이점은 첫 번째 컨틸레버 31 및 두 번째 컨틸레버 32의 정면 말단 31b 및 32b의 모양에 있다. 첫 번째 컨틸레버 31 및 두 번째 컨틸레버 32의 정면 말단 31b 및 32b의 두께는 고정 말단 31a 및 32a 두께보다 얇다. 컨틸레버 31 및 32의 두께는 고정 말단 31a 및 32a로부터 정면 말단 31b 및 32b를 따라 감소한다. The difference lies in the shape of the front ends 31b and 32b of the first and second levers 31 and 32. The thicknesses of the front ends 31b and 32b of the first and second retainers 31 and 32 are thinner than the fixed ends 31a and 32a thicknesses. The thickness of the retainers 31 and 32 decreases from the fixed ends 31a and 32a along the front ends 31b and 32b.

도 12 및 13에서 보여지는 것처럼, 첫 번째 컨틸레버 31의 부분 P1은 수평선 h과 네 번째 각 θ4을 형성하는 경사 33을 포함한다. 첫 번째 컨틸레버 31의 부분 P1의 경사 33는 대체로 비슷한 모양을 가진 물체 S3의 말단 부분 E에 평행하다. 다시 말하면, 두 번째 컨틸레버 32는 수평면과 다섯 번째 각 θ5을 형성하는 경사를 가진다. 부가적인 거리 D4는 여분의 운반공간을 제공한다. 그러므로, 물체 S3의 말단 부분과 컨틸레버 31 및 32사이의 접촉은 기계팔 M이 물체를 실을 때 방지되어질 수 있다. As shown in FIGS. 12 and 13, the portion P 1 of the first retainer 31 comprises a slope 33 which forms a horizontal line h and a fourth angle θ 4 . The inclination 33 of the part P 1 of the first retainer 31 is generally parallel to the distal end E of the object S 3 with a similar shape. In other words, the second retainer 32 has a slope that forms a fifth angle θ 5 with the horizontal plane. The additional distance D 4 provides extra transport space. Therefore, contact between the distal end of the object S 3 and the levers 31 and 32 can be prevented when the machine arm M loads the object.

몇몇 형태에서 첫 번째와 두번째 컨틸레버 31 및 32는 수평으로 존재한다. 다시 말해서, 첫 번째와 두 번째 컨틸레버 31 및 32는 첫 번째와 두 번째 측벽 310 및 320에 수직이다. 게다가, 탄성적인 패드 360는 첫 번째와 두 번째 컨틸레버 31, 32에 배치되어, 물체 S3와 컨틸레버 31, 32의 직접적인 접촉을 막는다. In some forms the first and second retainers 31 and 32 are horizontal. In other words, the first and second retainers 31 and 32 are perpendicular to the first and second side walls 310 and 320. In addition, the elastic pad 360 is placed on the first and second containers 31, 32 to prevent direct contact of the object S 3 with the containers 31, 32.

그러므로, 카세트 C3의 층 높이 H3는 감소할 수 있고 카세트 C3의 전체적인 크기는 감소할 수 있고, 잠재적으로 더욱 소형화된 크기의 카세트를 제공할수 있다. 몇몇 형태에서는 카세트 C3의 더 넓은 저장 용량이 요구되어질 때, 층 사이의 거리가 감소할 수 있기 때문에, 카세트 C3의 전체적인 크기는 같아도, 더 많은 층이 더 많은 물체를 저장하기 위하여 첨가되어질 수 있다. 그러므로 카세트 C3의 용량은 전체 크기의 증가없이 증가할 수 있다. Thus, the bed height H 3 of the cassette C 3 may be reduced and to reduce the overall size of the cassette C 3, can provide a cassette for a more compact and potentially size. In some forms, when a larger storage capacity of cassette C 3 is required, more layers can be added to store more objects, even if the overall size of cassette C 3 is the same, because the distance between the layers can be reduced. have. Therefore, the capacity of cassette C 3 can be increased without increasing the overall size.

카세트 C3는 다양성을 가진다. 도 14에서 보여지는 것처럼, 공통의 요소는 같은 부호를 공유하고 그들의 설명은 제외된다. 첫 번째 컨틸레버 31'이 예로써 보여진다. 첫 번째 컨틸레버 31'와 수평면 h은 여섯 번째 각 θ6을 형성하고, 여섯 번째 각은 1o 내지 10o, 바람직하게는 1o 내지 4o의 범위에 있다. 첫 번째 컨틸레버 31'와 두 번째 컨틸레버 32'는 대칭적으로 배열되어있고, 두 번째 컨틸레버 32'의 그림은 제외된다. 보여지지 않음에도 불구하고, 두 번째 컨틸레버 32'는 첫 번째 컨틸레버 31'의 그것과 같은 여섯 번째 각 θ6을 가진다. 여섯 번째 각 θ6은 물체 S3 의 길이, 두께, 무게, 재료에 따라 다르다. Cassette C 3 has a variety. As shown in Fig. 14, common elements share the same signs and their descriptions are omitted. The first retainer 31 'is shown as an example. The first retainer 31 'and the horizontal plane h form a sixth angle θ 6 , and the sixth angle is in the range of 1 o to 10 o , preferably 1 o to 4 o . The first one 31 'and the second one 32' are arranged symmetrically, except for the picture of the second one 32 '. Although not shown, the second retainer 32 'has a sixth angle θ 6 equal to that of the first retainer 31'. The sixth angle θ 6 depends on the length, thickness, weight and material of the object S 3 .

컨틸레버 31'은 여섯 번째 각 θ6에서 경사지므로, 부가적인 높이 D4는 카세트에서 운반공간을 증가시키키 위하여 제공된다. 그러므로 각각의 층 높이 H3'은 감소될 수 있다. 이러한 다양성에서, 층 높이 H3'은 카세트 C3의 층 높이 H3보다 낮다. 층 높이 H3 또는 H3'가 감소될 수 있기 때문에 카세트 C3의 용량은 증가될 수 있다.Since the tilter 31 'is inclined at the sixth angle θ 6 , an additional height D 4 is provided to increase the carrying space in the cassette. Therefore each layer height H 3 ′ can be reduced. In this variety, the layer height H 3 ′ is lower than the layer height H 3 of cassette C 3 . The capacity of cassette C 3 can be increased because the layer height H 3 or H 3 ′ can be reduced.

유리 기판을 수용하는 카세트는 운반 동안에 그 물체와 컨티벨러 사이의 접촉을 방지하고 더 가벼운 무게와 감소된 높이의 소형 카세트를 제공할 수 있다. Cassettes containing glass substrates can prevent contact between the object and the conveyor during transportation and provide lighter weight and reduced height compact cassettes.

본 발명이 예시의 방법과 더 바람직한 형태의 면에서 서술되어지고 있으나 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 반면에, 기술계에서 숙련된 자들에 의하여 다양한 변화와 비슷한 시도가 행해질 것이다. 그러므로, 덧붙여진 청구항의 영역은 변형과 비슷한 나열을 포함하는 가장 넓은 해석을 따른다.














Although the invention has been described in terms of exemplary methods and more preferred forms, the invention is not limited thereto. On the other hand, various changes and similar attempts will be made by those skilled in the art. Therefore, the scope of the appended claims follows the broadest interpretation, including variations similar to enumeration.














Claims (13)

수평면에 대하여 수직인 두 측벽을 가지는 테두리 및;An edge having two sidewalls perpendicular to the horizontal plane; 정면 말단 및 두 측벽 중의 하나에 부착되고 그것에 의하여 수평면과 각을 형성하는 고정 말단을 각각 포함하는 복수의 컨틸레버로 구성된 것을 특징으로 하는 카세트.12. A cassette, characterized in that it comprises a plurality of retainers each attached to one of the front ends and one of the two side walls and thereby having a fixed end that forms an angle with the horizontal plane. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각은 1o 내지 10o 의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 카세트.And the angle is in the range of 1 o to 10 o . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정면 말단은 패인 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And the front end comprises a recessed groove. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 컨틸레버 각각의 두께는 정면 말단을 따라 감소하는 것을 특징으로 하는 카세트.And the thickness of each of the revolvers decreases along the front end. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 정면 말단의 낮은 부분은 대체적으로 계단 형태인 것을 특징으로 하는 카세트.And the lower portion of the front end is generally stepped. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정면 말단은 패드를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And said front end further comprises a pad. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 패드는 탄성적인 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And the pad comprises an elastic polymer. 수평에 대하여 수직인 두 측벽을 가지는 테두리; 및An edge having two sidewalls perpendicular to the horizontal; And 정면 말단 및 두 측벽 중의 하나에 부착된 고정 말단이 있으며, 상기 정면 말단은 상기 고정 말단의 두께보다 얇은 복수의 컨틸레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And a fixed end attached to one of the front end and one of the two side walls, wherein the front end comprises a plurality of containers thinner than the thickness of the fixed end. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 정면 말단은 패인 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And the front end comprises a recessed groove. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 각 컨틸레버의 두께는 대체로 고정 말단으로부터 정면 말단으로 갈수록 점차적으로 감소하는 것을 특징으로 하는 카세트.And the thickness of each of the revolvers generally decreases gradually from the fixed end to the front end. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 정면 말단은 대체로 계단 모양인 것을 특징으로 하는 카세트.And the front end is generally stepped. 제 8 항에 있어서. The method of claim 8. 상기 정면 말단은 패드를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And said front end further comprises a pad. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 패드는 탄성적인 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트.And the pad comprises an elastic polymer.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101010481B1 (en) * 2003-12-13 2011-01-21 엘지디스플레이 주식회사 Structure for racking substrate
US8474618B2 (en) 2007-04-30 2013-07-02 Menasha Corporation Single glass sheet package with suction cups
US8950654B2 (en) 2012-06-08 2015-02-10 Menasha Corporation Folding carton with auto-erecting bottom
CN102826303A (en) * 2012-08-28 2012-12-19 深圳市华星光电技术有限公司 Glass substrate cassette
KR102098306B1 (en) * 2013-02-20 2020-04-08 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus for storing substrate
JP6104695B2 (en) * 2013-04-30 2017-03-29 ミライアル株式会社 Asymmetric groove-shaped wafer cassette
CN103448048B (en) * 2013-09-09 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 Substrate storage rack
KR101904671B1 (en) * 2017-09-29 2018-10-04 캐논 톡키 가부시키가이샤 Structure for supporting substrate, vacuum deposition apparatus including the same and deposition method

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2567609A (en) * 1949-08-18 1951-09-11 Lovatt James William Alexander Support for ceramic ware during firing
US3660886A (en) * 1969-02-20 1972-05-09 Ginori Ceramica Ital Spa Method of making firing setters for tiles and other ceramic articles
US4805774A (en) * 1987-08-27 1989-02-21 Salisbury John W Support log for shipping sheet material
KR0135049B1 (en) * 1994-05-31 1998-04-20 양승택 Wafer cassette for semiconductor fabrication
US5706946A (en) * 1995-06-26 1998-01-13 Kakizaki Manufacturing Co., Ltd Thin-plate supporting container
US5788086A (en) * 1995-12-21 1998-08-04 Dow Corning Corporation Cartridge for storing and dispensing mirror mount buttons
KR100870661B1 (en) * 2002-03-15 2008-11-26 엘지디스플레이 주식회사 Cassette for accepting substrate

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