JP2023175660A - 薄膜延伸装置内の不均一空気温度と不斉空気流動を低減する延伸装置及びその方法 - Google Patents

薄膜延伸装置内の不均一空気温度と不斉空気流動を低減する延伸装置及びその方法 Download PDF

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Abstract

【課題】薄膜の不均一な横方向温度を低減する延伸装置と低減法を提供する。
【解決手段】薄膜を延伸する延伸装置(10)は、加熱炉(12)と、調整装置(16)とを有する。調整装置(16)は、送風器(42)と、第１の通気孔(52)と、第２の通気孔(54)とを備え、第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)とは、加熱炉(12)の仮想中央面(M)の高さ方向と引出方向(H,R)に対向する側で加熱炉(12)内に開口する。送風器(42)は、第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)との間に流体接続可能に配置され、調整装置(16)は、一方の通気孔(52,54)から加熱炉(12)内の空気を吸引し、吸引した量の空気を他方の通気孔(54,52)から加熱炉(12)に供給する。延伸装置(10)内の不均一温度と不斉空気流動の低減法も開示する。
【選択図】図２

Description

本発明は、薄膜を延伸する薄膜延伸装置内の不均一な空気温度と不斉な空気流動を低減する延伸装置及びその方法に関する。
種々の延伸装置は、樹脂薄膜（プラスチックフィルム）の製造に特に適用される。延伸装置の加熱炉内で搬送装置により移動される薄膜は、通常延伸装置内で引出方向に延伸される。延伸過程前に延伸すべき薄膜を加熱炉内で加熱し、延伸過程時及び延伸過程間にも、薄膜は所定の温度に維持される。延伸される薄膜は、引続き加熱炉内で冷却される。
引出方向に対し直角な横方向の薄膜温度を均一に保持することが全過程に必要である。薄膜温度を均一に保持しないと、異なる時点で薄膜が横方向に延伸され、即ち同時に横方向に延伸されないため、複数の薄膜特性欠陥と複数の不均一な薄膜特性が生ずることがある。不均一な横方向温度調整、例えば、不適切な引出方向空気流動により、加熱炉内に低温空気が不均一に流入して、薄膜特性欠陥が発生する。
従って、本発明の課題は、薄膜の不均一な横方向温度を低減する延伸装置と低減法を提供することにある。
本発明の課題は、加熱炉と調整装置とを備える薄膜延伸装置、特に横方向延伸装置、縦方向延伸装置及び／又は同時延伸装置により解決される。高さ方向、横方向及び引出方向が加熱炉に指定される。調整装置は、送風器と、第１の通気孔（第１の調整通気孔）と、第２の通気孔（第２の調整通気孔）とを有し、第１の通気孔と第２の通気孔は、加熱炉の仮想中央面の高さ方向及び引出方向に互いに対向して加熱炉内に開口する。送風器は、第１の通気孔と第２の通気孔との間に流体接続可能に配置され、調整装置は、第１の通気孔と第２の通気孔の一方から加熱炉内の空気を吸引又は取出し、第１の通気孔と第２の通気孔の他方から、吸引又は取出した空気を加熱炉内に供給する。
薄膜の横方向反対側に不適切な空気流動とは交差方向又は横方向の空気流動を調整装置から発生して、不適切な空気流動を低減し停止できる。仮想中央面の一方側から吸引し取出す空気を、吸引した空気流量と同一の流量の空気を、仮想中央面の他方側で加熱炉に同時に供給するため、加熱炉内の空気温度又は空気流量は、不均衡にならない。
搬送する空気の温度調節装置を調整装置に設けなくてもよい。
尤も、加熱炉内の特定の空気温度差を解消しかつ／又は調整装置に発生する熱損失を補償する熱交換器等の温度調節装置を調整装置内に設けても有用である。
特定の空気温度差を解消する温度調整装置は、特に閉鎖系である。
調整装置の通気孔は、例えば加熱炉の仮想中央面を超えて配置されない。
第１の通気孔と第２の通気孔とを同一の形態で形成して、空気流動の画一性を向上できるが、この点は、本発明の必要条件ではない。
本発明の実施の態様では、加熱炉の仮想中央面の引出方向に第１の通気孔と第２の通気孔とを実質的に同一又は対称の位置に配置すると、調整装置自体に長手方向の空気流動を発生する必要がない。
加熱炉内への薄膜入口領域又は加熱炉からの薄膜出口領域に第１の通気孔と第２の通気孔を配置する本発明の他の実施の形態では、過度低温空気又は過度高温空気の外部からの延伸装置内への流入を回避できる。
例えば、加熱炉の中立領域、中立領域の上流領域及び／又は下流領域に第１の通気孔と第２の通気孔を配置できる。空気温度が明らかに相違する加熱炉の２領域、例えばアニール領域と冷却領域との間に中立領域が設けられるため、大幅な温度勾配に沿う異なる領域間での空気流動を阻止して、延伸装置を効率的に稼働できる。
本発明の実施の形態では、加熱炉内に設けられる薄膜走行軌道の横方向外側にかつ／又は薄膜走行軌道と同一高さに第１の通気孔と第２の通気孔とが配置される。また、調整装置から噴出される空気により、薄膜は、悪影響を受けない。
第１の通気孔と第２の通気孔として、各２つの流動開口を設け、一方の流動開口を薄膜走行軌道の上方に配置すると共に、他方の流動開口を薄膜走行軌道の下方に配置して、薄膜への空気の直接噴出を防止する。
流動領域は、特に薄膜走行軌道の下方から上方まで高さ方向に配置され又は薄膜走行軌道の上方又は下方で横方向に配置されるのに対し、例えば、第１の通気孔と第２の通気孔の各々は、少なくとも１つの流動領域に配置される複数の流動開口を有する。第１の通気孔と第２の通気孔に複数の流動開口を設けると、各流動開口から空気が点状に加熱炉から吸引され又は点状に空気が加熱炉に供給されるのみならず、広範囲面に空気を吸引し又は供給するので、薄膜に対する不適切な空気流動との相互作用を防止する。
また、複数の流動空間を設けてもよい。
処理室の外側に送風器を配置すると、処理室の汚染を回避できる。
また、調整装置、特に調整装置の導管に濾過器を設けて、加熱炉内の空気を浄化し、製造する薄膜の品質を向上させることもできる。
遠心送風機の送風器を使用すると、調整装置を効率的に提供できる。
例えば、第１の導管を介して第１の通気孔を送風器に流体接続し、第２の導管を介して第２の通気孔を送風器に流体接続すると、所定の流路を形成できる。
特に、複数の導管を熱絶縁すると、調整装置により発生する熱損失を低減でき、加熱炉内での空気温度差を削減できる。
送風器の押出側に流体接続される第１の分配箱と、送風器の吸引側に流体接続される第２の分配箱とを調整装置に設け、第１の導管と第２の導管の各々を２つの分岐部に分岐し、一方の分岐部を第１の分配箱に流体接続し、他方の分岐部を第２の分配箱に流体接続して、空気流動を制御する本発明の実施の形態を提供できる。
分配箱（折畳式箱）は、例えば二路分配器である。
例えば、分配箱が第１の状態にあるとき、第１の導管は、送風器の吸引側に流体接続されると共に、第２の導管は、送風器の押出側に流体接続され、分配箱が第２の状態にあるとき、第１の導管は、送風器の押出側に流体接続され、第２の導管は、送風器の吸引側に流体接続されるため、分配箱の第１の状態と第２の状態とを切り替えて、調整装置内での空気流動を順流と逆流とに切り替えられる。
空気流動方向を決定する単一又は複数の検出器及び／又は単一又は複数の圧力検出器を延伸装置に設けて、調整装置を自動制御することができる。
加熱炉を通り薄膜を引出方向、特に薄膜走行軌道に沿って搬送する搬送装置を延伸装置に設けて、高水準の工程信頼性を達成する本発明の実施の形態も提供する。
この種の搬送装置は、例えば、特許文献１の国際公開第２０１４／０９４８０３（Ａ１）号公報から公知である。
搬送装置の横方向外側かつ／又はその横の加熱炉内に通気孔が設けられる。
・延伸装置の加熱炉の仮想中央面の一方の側の引出方向の空気流動の流量及び／又は圧力を測定する過程と、
・測定過程の測定結果に応じて調整装置を作動して、加熱炉の仮想中央面の一方側の第１の通気孔から加熱炉内の空気を吸引すると共に、仮想中央面の他方側の空気を第２の通気孔から加熱炉に供給する過程とを含む、延伸装置内の不均一な温度と不斉な空気流動を低減する方法により本発明の課題は、解決される。
複数の検出器により空気流動の流量測定過程を自動的に行えるが、例えば、手動流量計等を用いて手動で行うこともできる。
延伸装置に関する前記特徴と利点を、本発明の方法にも同様に適用でき、その逆も適用できる。
添付図面について説明する本発明の下記詳細な説明から、本発明の他の特徴と利点は、明らかとなろう。添付図面は、以下を示す。
本発明の延伸装置の略示平面図 図１の線II-IIに沿う断面図 図１の延伸装置の調整装置の一部を示す斜視図 図１の延伸装置の短縮断面図 本発明の延伸装置の第２実施の形態の短縮断面図 本発明の延伸装置の第３実施の形態の短縮断面図 本発明の延伸装置の第４実施の形態の短縮断面図 本発明の延伸装置の第５実施の形態の短縮断面図 図８の線A-Aに沿う拡大断面図
図１は、本発明の延伸装置10の略示平面図を示す。
図示する本発明の第１の実施の形態の延伸装置は、横方向延伸機（TDO）とも呼ばれる横延伸装置である。横延伸装置の代わりに、縦延伸装置又は同時延伸装置に対し本発明を実施する場合もある。
延伸装置10は、加熱炉12と、搬送装置14と、調整装置16とを有する。
延伸すべき薄膜を移動する引出方向Rが加熱炉12に付与される。引出方向Rに対し直角で水平の横方向Qと、高さの垂直方向Hも加熱炉12に付与される。
引出方向Rに沿って延伸される薄膜を処理する異なる加熱処理、延伸処理及びアニール処理等の複数の処理領域が加熱炉12に設けられる。
予熱領域の第１の領域22では、薄膜は、加熱される。第１の領域22に続く延伸領域の第２の領域24では、薄膜は、横方向Qに延伸されるので、第２の領域24の終端での薄膜の幅は、延伸開始時よりも大きい。
熱処理領域、追加加熱領域及び／又はアニール（徐冷）領域の第３の領域26を通過するとき、延伸後の薄膜の内部応力は、異なる高温で除去又は弛緩される。
その後、薄膜は、中立領域の第４の領域28と、薄膜を冷却する冷却領域の第５の領域30とを順次通過する。
例えば、換気機能のない単なる通過空間の中立領域の第４の領域28は、第３の領域26と第５の領域30とを物理的に分離する。
延伸装置10又は加熱炉12の仮想中央面Mに対して鏡面対称に設けられる搬送装置14の少なくとも一部は、加熱炉12内に敷設される２つの搬送レール32を備える。
延伸すべき薄膜を延伸装置10に導入する入口領域34と、延伸装置10から薄膜を排出する出口領域36では、複数の搬送レール32は、加熱炉12の外側に配置される。
搬送レール32に沿って案内される搬送装置14の複数の把持装置（不図示）により、薄膜は、公知の方法で把持され、加熱炉12を通り引出方向Rに搬送される。加熱炉12内に設けられる薄膜走行軌道F（図２）に沿って案内される薄膜は、搬送装置14により搬送される。薄膜走行軌道Fは、仮想中央面Mの両側に設けられる。
図２は、図１の線II-IIに沿う延伸装置10の断面図である。
図２では、加熱炉12内に設けられる複数の搬送レール32間の薄膜走行軌道Fを一点鎖線で示し、薄膜を破線で示す。
図２に示す加熱炉12の複数のノズル箱38から、複数の矢視で示す加熱空気が薄膜軌道F方向に噴出される。薄膜は、加熱空気との接触により加熱され又は所定の温度に保持される。
薄膜走行軌道F又は搬送レール32領域の仮想中央面Mの各側に、少なくとも２つの検出器40が、１つずつ任意選択的に設けられる。検出器40は、空気流動方向及び／又は検出器40に支配的な空気圧を測定する。検出器40の代わりに、例えば、測定箇所に配置される手動流量計により手動で空気流動方向を決定できる。
調整装置（均一化装置）16は、送風器42と、第１の分配箱44と、第２の分配箱46と、第１の導管48と、第２の導管50と、第１の通気孔52と、第２の通気孔54とを有する。
送風器42、第１の分配箱44、第２の分配箱46、第１の導管48及び第２の導管50の一部は、例えば、加熱炉12の筐体上を含む加熱炉12の外側に設けられる。
第１の導管48と第２の導管50は、加熱炉12内に配置され、第１の通気孔52と第２の通気孔54は、加熱炉12内にのみ設けられる。
第１の通気孔52と第２の通気孔54とは、加熱炉12内の仮想中央面Mの反対側に配置される。特に、第１の通気孔52と第２の通気孔54は、薄膜走行軌道Fの横方向Q外側でかつ搬送装置14の外側、例えば搬送装置14の横に設けられる。
第１の通気孔52と第２の通気孔54は、実質的に引出方向Rの同一位置に配置される。例えば、第１の通気孔52と第２の通気孔54を配置する引出方向Rの相互ずれは、２ｍ未満、特に１ｍ未満である。
例えば、第１の通気孔52と第２の通気孔54は、第１の領域22、第２の領域24、第３の領域26、第４の領域28及び第５の領域30の同一領域内又は複数の領域間に配置される。
図示の実施の形態では、第１の通気孔52と第２の通気孔54は、薄膜入口の入口領域34に直接続く加熱炉12内の領域に設けられる。図１の例では、第１の通気孔52と第２の通気孔54は、第１の領域22内に設けられる。
薄膜出口の出口領域36に隣接する加熱炉内に、第１の通気孔52と第２の通気孔54を設けてもよい。また、中立領域となる第４の領域28に、第１の通気孔52と第２の通気孔54を配置してもよい。更に、熱処理領域の第３の領域26又は冷却領域の第５の領域30に第１の通気孔52と第２の通気孔54を配置してもよい。第１の通気孔52と第２の通気孔54の配置位置に応じて、引出方向Rに変位して必要な検出器40を配置できる。
また、異なる領域に複数の調整装置16を設けてもよい。
図２に示す第１の通気孔52は、第１の導管48を介して送風器42に流体接続され、同様に、第２の通気孔54は、第２の導管50を介して送風器42に流体接続されるため、第１の通気孔52と第２の通気孔54の一方から他方に送風器42から空気を送出して、第１の通気孔52と第２の通気孔54との間で流体接続が可能となる。
閉鎖系の調整装置16では、第１の通気孔52と第２の通気孔54の一方から吸引する加熱炉12内の空気を、第１の通気孔52と第２の通気孔54の他方から加熱炉12内に供給できる。
図示の実施の形態では、調整装置16は、加熱器又は冷却器等の温度調節装置を使用せずに構成されるが、加熱炉12の外側で第１の導管48と第２の導管50を熱絶縁して、第１の通気孔52と第２の通気孔54間での温度変動を阻止できる。
例えば、第１の導管48と第２の導管50の一方又は両方に熱交換器等の温度調節装置55を設ける代替実施の形態としてもよい。
また、調整装置16内を流動する空気を濾過する１つ以上の濾過器57を第１の導管48と第２の導管50の一方又は両方に設けてもよい。
図３は、送風器42の接続状態を示す調整装置16の部分斜視図である。
図示の実施の形態の送風器42は、吸引側と排出側とを持つ遠心送風機である。
第１の分配箱44は、送風器42の押出側に直接接続されかつ流体接続される。第２の分配箱46は、送風器42の吸引側に直接接続されかつ流体接続される。
第１の分配箱44と第２の分配箱46は、何れも例えば、第１の導管48と第２の導管50とを流体接続する二路分配器を構成する。
第１の導管48と第２の導管50は、夫々第１の枝部56と第２の枝部58の２つに分岐され、第１の導管48の第１の枝部56と第２の導管50の第１の枝部56とは、第１の分配箱44に流体接続され、第２の導管50の第２の枝部58と第１の導管48の第２の枝部58とは、第２の分配箱46に流体接続される。
第１の分配箱44と第２の分配箱46は、夫々第１の状態と第２の状態とに切り替えられ、第１の状態の第１の分配箱44は、送風器42の押出側に第２の導管50を流体接続し、第２の分配箱46は、送風器42の吸引側に第１の導管48を流体接続する。
第１の分配箱44と第２の分配箱46とが第１の状態にあると、加熱炉12の空気は、第１の通気孔52から吸引され、その後、第２の通気孔54から再び加熱炉12に供給されるから、第１の通気孔52は、加熱炉12からの空気出口（吸引口）となり、第２の通気孔54は、加熱炉12への空気入口（排出口）となる。
第１の分配箱44と第２の分配箱46とを第１の状態から第２の状態に切り替えると、第１の分配箱44は、送風器42の押出側に第１の導管48を流体接続し、第２の分配箱46は、送風器42の吸引側に第２の導管50を流体接続するので、第２の状態の第２の通気孔54は、加熱炉12からの空気出口（吸引口）を形成し、第１の通気孔52は、加熱炉12の空気入口（排出口）を形成する。このため、第１の分配箱44、第２の分配箱46の第１の状態に対する第２の状態での空気の流動方向は、逆となる。
図４は、一点鎖線で示す薄膜走行軌道Fに対する第１の通気孔52と第２の通気孔54の位置を略示する断面図である。
図４に示す第１の実施の形態では、第１の通気孔52と第２の通気孔54は、搬送装置14と薄膜走行軌道Fとの横で横方向に配置される。第１の通気孔52と第２の通気孔54の高さ方向Hでは、薄膜走行軌道Fの高さと同一の高さに配置される。
第１の通気孔52と第２の通気孔54は、特に仮想中央面Mを超えて配置されない。
また、第１の通気孔52と第２の通気孔54とは同様の形態に形成される。
延伸装置10の通常動作では、仮想中央面Mの対向側で、図１の矢視Lで示す引出方向Rとその反対方向の不適切な空気流動が形成されるが、本発明では、下記の方法を実施して、不適切な空気流動Lが低減される。
まず、引出方向Rの空気流動Lの空気流量を検出器40により測定する。検出器40の代わりに、例えば、測定箇所に糸を配置して、空気流動の方向と流量とを手動で決定することもできる。
仮想中央面Mの両側圧力の圧力差を測定して流動空気の流量を決定してもよい。
図１に示す例では、図１の仮想中央面Mの上側（図２の左側）では、調整装置16の起動前の空気流動Lは、加熱炉12内に流入するのに対し、仮想中央面Mの反対側（図１の下側、図２の右側）では、空気流動は、加熱炉12から排出される。
空気流動Lの測定（手動でも可能）後に、調整装置16を稼働すると、仮想中央面Mの一方側に不適切な空気流動Lが加熱炉12に流入するが、このとき、第１の分配箱44と第２の分配箱46の第１の状態と第２の状態を選択して、第１の通気孔52と第２の通気孔54の一方の通気孔から調整装置16の空気を加熱炉12に供給する状態を構成し、他方の通気孔は、加熱炉12の空気を吸引する空気入口となる。
図示の実施の形態では、加熱炉12の空気を吸引するのは第１の通気孔52であるため、第１の分配箱44と第２の分配箱46は、第２の状態に切り替えられる。
次に、送風器42を稼動すると、第２の通気孔54から加熱炉12内の空気が吸引され排出され、排出空気量と同量の空気が第１の通気孔52から加熱炉12に供給される。
このように、空気流動Lに対する対向空気流を発生させて不適切な空気流動Lを減衰させる。
不適切な空気流動Lが最小値に達し又は完全に停止するまで、送風器42の速度は、増加される。自動的に又は手動で送風器42の速度を制御できる。
例えば、１時間当たり４０００m3（特にm3/時）以下の空気流量を送風器42で送出できる。
このため、薄膜の横方向Q温度差を生ずる不適切な空気流動Lを調整装置16の作動により最小化し又は完全に阻止できる。
これにより、製造する薄膜の品質低下を招来する不均一温度差と不均一空気流動を確実に回避して、製造する薄膜品質を改善できる。
図５、図６、図７及び図８の図面は、本発明の延伸装置10（第１の実施の形態に実質的に相当する）の別の実施の形態を示すが、追加図面では、図４に示す箇所と機能的に同一の部分に同一の符号を付して相違点のみを説明する。
図５に示す第２の実施の形態では、第１の通気孔52と第２の通気孔54の各々は、２つの流動開口60を有する。
第１の通気孔52の流動開口60は、第１の導管48に流体接続され、第２の通気孔54の流動開口60は、第２の導管50に流体接続される。
第１の実施の形態と同様に、複数の流動開口60は、薄膜走行軌道Fの横方向Q外側に配置される。
２つの流動開口60は、高さ方向Hには薄膜走行軌道Fの上方と下方とに夫々配置される。正確には、第１の通気孔52の２つの流動開口60の一方と、第２の通気孔54の複数の流動開口60の一方は、薄膜走行軌道Fの上方に配置されるが、第１の通気孔52の２つの流動開口60の他方と第２の通気孔54の２つの流動開口60の他方は、薄膜走行軌道Fの下方に配置されて、調整装置16からの空気は、薄膜に直接吹き付けられない。
第１の通気孔52と第２の通気孔54の２つの流動開口60間の各々に設けられる絞り弁61（図５に破線で示す）の内部流路断面積を変化させて、薄膜走行軌道Fの上方と下方を流動する空気の吸引流量又は供給流量を制御し設定できる。
図６は、第１の通気孔52と第２の通気孔54の各流動領域62に複数の流動開口60を設ける延伸装置10の第３の実施の形態の断面図を示す。
複数の細長孔、円形孔、楕円孔、多角形孔又はこれらの組合せ孔として、流動開口60を形成し、各開口孔の寸法も変更できる。
薄膜走行軌道Fの上方から薄膜走行軌道Fの下方に向かい、第３の実施の形態の複数の流動領域62を高さ方向Hに設定するため、薄膜走行軌道Fの上方側と下方側とも、複数の流動開口60を薄膜走行軌道Fに対し実質的に同一高さに配置できる。
複数の流動領域62は、薄膜走行軌道Fの横方向Qに配置される。
図６の第３の実施の形態と同様に、図７の第４の実施の形態でも、複数の流動領域62が設けられる。
第３の実施の形態とは異なり、図７の第４の実施の形態では、第１の通気孔52と第２の通気孔54の各々に、複数の流動領域62は、水平の横方向Qに接続される。
厳密には、第１の通気孔52と第２の通気孔54の各々に対し２つの流動領域62が設けられ、一方の流動領域62は、薄膜走行軌道Fの上方に配置され、他方の流動領域62は、薄膜走行軌道Fの下方に配置される。
複数の流動領域62は、仮想中央面Mに対し横方向Qに配置されるが、仮想中央面Mを横切らない。
例えば、全流動領域62は、複数の搬送レール32及び部分的に薄膜走行軌道Fに沿って横方向Qに配置されるため、搬送装置32かつ薄膜を横方向Qに部分的に外側に越えかつ突出して複数の流動領域62を配置できる。
複数の流動開口60は、引出方向R及び／又は引出方向Rとは逆方向に開口する。
図８と図９は、図７の第４の実施の形態に実質的に対応する本発明の延伸装置10の第５の実施の形態を示す。
第４の実施の形態とは異なり、図８の複数の流動開口60は、高さ方向Hの上方又は下方に開口する。
図９の複数の流動開口60は、薄膜走行軌道F方向に形成される。
薄膜走行軌道Fの下方に設けられる複数の流動領域62の流動開口60は、流動領域62を形成する導管の上面に形成され、薄膜走行軌道Fの上方に設けられる複数の流動領域62の流動開口60は、流動領域62を形成する導管の下面に形成される。
従って、複数の流動開口60から排出される空気流動は、高さ方向Hの上方又は下方にかつ各薄膜走行軌道Fに対して実質的に垂直に噴出される。
第３、第４及び第５の実施の形態に示す複数の流動領域62は、薄膜に対する不適切な空気流動との相互作用を更に低減するものである。

Claims (15)

  1. 加熱炉(12)と調整装置(16)とを備えて薄膜を延伸する延伸装置(10)、特に横延伸装置、縦延伸装置及び／又は同時延伸装置において、
    高さ方向(H)、横方向(Q)及び薄膜の引出方向(R)が加熱炉(12)に指定され、
    調整装置(16)は、送風器(42)と、第１の通気孔(52)と、第２の通気孔(54)とを有し、
    第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、加熱炉(12)の仮想中央面(M)の高さ方向(H)と引出方向(R)に互いに対向して配置されかつ加熱炉(12)内に開口され、
    送風器(42)は、第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)との間で流体を流動接続可能に配置され、
    調整装置(16)は、第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)の一方から加熱炉(12)内の空気を吸引し、第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)の他方から空気を加熱炉(12)に供給することを特徴とする延伸装置(10)。
  2. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、同一の形態で形成される請求項１に記載の延伸装置。
  3. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、仮想中央面(M)に沿う引出方向(R)の実質的に同一の位置に配置される請求項１又は２に記載の延伸装置。
  4. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、加熱炉(12)内への薄膜入口の領域又は加熱炉(12)からの薄膜出口の領域に配置される請求項１～３の何れか１項に記載の延伸装置。
  5. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、加熱炉(12)の中立領域(28)、中立領域(28)より上流の加熱炉(12)の熱処理領域(26)及び／又は中立領域(28)より下流の加熱炉(12)の冷却領域(30)に配置される請求項１～４の何れか１項に記載の延伸装置。
  6. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、加熱炉(12)内に設けられる薄膜の走行軌道(F)の横方向(Q)外側に配置されかつ／又は薄膜の走行軌道(F)の高さ方向(H)には同一の高さに配置される請求項１～５の何れか１項に記載の延伸装置。
  7. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、薄膜走行軌道(F)の上方と下方に夫々配置される２つの流動開口(60)を有する請求項６に記載の延伸装置。
  8. 第１の通気孔(52)と第２の通気孔(54)は、少なくとも１つの流動領域(62)に設けられる複数の流動開口(60)を夫々有し、
    流動領域(62)は、薄膜走行軌道(F)の下方から上方までの高さ方向(H)に配置され、又は、
    流動領域(62)は、薄膜走行軌道(F)の上方又は下方の横方向(Q)に配置される請求項６に記載の延伸装置。
  9. 送風器(42)は、加熱炉(12)の外側に配置され及び／又は
    送風器(42)は、遠心送風機である請求項１～８の何れか１項に記載の延伸装置。
  10. 第１の通気孔(52)は、第１の導管(48)を通じて送風器(42)に流体接続され、
    第２の通気孔(54)は、第２の導管(50)を通じて送風器(42)に流体接続される請求項１～９の何れか１項に記載の延伸装置。
  11. 調整装置(16)は、送風器(42)の押出側に流体接続される第１の分配箱(44)と、送風器(42)の吸引側に流体接続される第２の分配箱(46)とを有し、
    第１の導管(48)と第２の導管(50)の各々は、第１の分配箱(44)に流体接続される一方の分岐部(56)と、第２の分配箱(46)に流体接続される他方の分岐部(58)との２つの分岐部(56,58)に分岐される請求項１０に記載の延伸装置。
  12. 分配箱(44,46)は、第１の状態と第２の状態とに切り替えられ、
    分配箱(44,46)が第１の状態にあるとき、第１の導管(48)は、送風器(42)の吸引側に流体接続されると共に、第２の導管(50)は、送風器(42)の押出側に流体接続される請求項１１に記載の延伸装置。
  13. 延伸装置(10)は、空気流動(L)の流動方向及び／又は流動圧力を検出する検出器(40)を有する請求項１～１２の何れか１項に記載の延伸装置。
  14. 延伸装置(10)は、加熱炉(12)内で薄膜走行軌道(F)に沿い引出方向(R)に薄膜を移動する搬送装置(14)を有する請求項１～１３の何れか１項に記載の延伸装置。
  15. 延伸装置(10)の加熱炉(12)の仮想中央面(M)の一方側での引出方向(R)の空気流動(L)の流量及び／又は流動圧力を測定する過程と、
    測定過程の結果に応じて調整装置(16)を作動して、加熱炉(12)の仮想中央面(M)の一方側の第１の通気孔(52)から加熱炉(12)内の空気を吸引し、仮想中央面(M)の他方側の第２の通気孔(54)から加熱炉(12)に吸引する量の空気を供給する過程と、を含むことを特徴とする延伸装置(10)内の不均温度と不斉空気流動の低減法。
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