JP2023167622A - エラー対応支援装置、エラー対応支援方法、エラー対応支援プログラムおよび部品実装機 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決を可能とする。【解決手段】部品実装機１（基板処理装置）に発生したエラーに対応して作業者が実行した作業が記録される（ステップＳ２０３）。こうして記録された作業は、エラー発生時に作業者に提示する手順に変換されて、当該手順が生成される（ステップＳ２０５）。したがって、作業者は当該手順を参照しつつエラーへの対応作業を行うことができ、エラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決が可能となっている。【選択図】図４

Description

この発明は、部品を基板に実装する部品実装機等の基板処理装置において発生したエラーに対応する作業者の作業を支援する技術に関する。

フィーダによって供給された部品を実装ヘッドによって吸着して基板に実装する部品実装機が知られている。このような部品実装機では、例えば実装ヘッドによる部品の吸着ミス等のエラーが発生しうる。このような場合、作業者は、エラーに対応するための作業を実行する必要がある。これに対して、特許文献１では、エラーが発生した場合に、当該エラーに対応するための作業の手順を表示する技術が提案されている。

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ただし、このように表示される手順によってエラーが常に解決されるとは限らず、作業者の試行錯誤がエラーの解決に必要となる場合がある。この点で、特許文献１の技術は十分とは言えず、エラーへの対応作業を行う作業者を的確に支援して、速やかなエラー解決を図るには改善の余地があった。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決を可能とすることを目的とする。

本発明に係るエラー対応支援装置は、基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する作業記録部と、作業記録部が記録した作業を、エラーの発生時に作業者に提示する手順に変換することで、手順を生成する手順生成部とを備える。

本発明に係るエラー対応支援方法は、基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する工程と、記録された作業を、エラーの発生時に作業者に提示する手順に変換することで、手順を生成する工程とを備える。

本発明に係るエラー対応支援プログラムは、基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する工程と、記録された作業を、エラーの発生時に作業者に提示する手順に変換することで、手順を生成する工程とをコンピュータに実行させる。

本発明に係る部品実装機は、基板に部品を実装する実装ヘッドを備えた部品実装機であって、当該部品実装機において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する作業記録部と、作業記録部が記録した作業を、エラーの発生時に作業者に提示する手順に変換することで、手順を生成する手順生成部とを備える。

このように構成された発明（エラー対応支援装置、エラー対応支援方法、エラー対応支援プログラムおよび部品実装機）では、基板処理装置に発生したエラーに対応して作業者が実行した作業が記録される。こうして記録された作業は、エラー発生時に作業者に提示する手順に変換されて、当該手順が生成される。したがって、作業者は当該手順を参照しつつエラーへの対応作業を行うことができ、エラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決が可能となっている。

また、手順生成部によって生成された手順に対する作業者による編集を受け付ける手順編集部をさらに備えるように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、作業者のニーズに応じて手順を編集することができ、作業者にとって利便性の高い手順を用意することができる。

また、エラーが発生した際に、作業者に対して手順を示す手順提示画面を表示する表示部をさらに備えるように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、作業者は、表示部に表示された手順提示画面を確認することで、手順を簡単に参照することができる。

また、基板処理装置が実行する動作を制御する動作制御部をさらに備え、表示部は、基板処理装置に実行させる動作に対応する動作ボタンを示す動作入力画面を表示し、動作制御部は、動作入力画面において作業者により選択された動作ボタンに対応する動作を、基板処理装置に実行させ、作業記録部は、作業者による動作入力画面における動作ボタンの選択を作業として記録するように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、作業者は、動作入力画面に示された動作ボタンを選択することでエラーに対応する作業を実行できる。しかも、作業者による動作入力画面における動作ボタンの選択が作業として記録されて、当該作業に基づき手順が生成される。そのため、作業者は、以後に同様のエラーが発生した場合に当該手順を参照することで、速やかにエラーを解決することができる。

また、手順は、複数の操作のそれぞれを作業として実行する順序を示し、操作は、動作入力画面における動作ボタンの選択を含み、手順提示画面は、複数の操作のそれぞれに対応する動作ボタンを表示するように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、動作入力画面および手順提示画面の両方に動作ボタンが表示される。そのため、作業者は、動作入力画面および手順提示画面のいずれにおいても動作ボタンの選択を行うことができ、作業者の利便性がよい。

また、動作入力画面および手順提示画面は、複数の操作のうち、次に実行すべき一の操作に対応する動作ボタンを、他の操作に対応する動作ボタンに対して異なる態様で表示するように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、作業者は、次の選択すべき動作ボタンを簡便に把握でき、手順に即して速やかに操作を実行できる。

この際、一の操作に対応する動作ボタンの表示態様は種々想定できる。例えば、動作入力画面および手順提示画面は、一の操作に対応する動作ボタンをブリンクによって表示するように、エラー対応支援装置を構成してもよい。

また、表示部は、作業者によるスワイプに応じて、動作入力画面および手順提示画面の間で表示する画面を切り換えるように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、作業者は、動作入力画面および手順提示画面の間で画面を簡単に切り換えることができ、作業者の利便性がよい。

また、基板処理装置は、部品を供給するフィーダと、フィーダによって供給された部品を吸着して基板に実装する実装ヘッドと、実装ヘッドによって吸着された部品を撮像して画像を取得する部品認識カメラと、画像に基づき部品を認識する部品認識を実行する部品認識部とを備えた部品実装機であり、表示部は、フィーダが供給する部品を実装ヘッドに吸着させる吸着ボタン、および部品認識部に部品認識を実行させる部品認識ボタンのそれぞれを動作ボタンとして表示するように、エラー対応支援装置を構成してもよい。かかる構成では、部品実装機で発生したエラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決が可能となる。

以上のように、本発明によれば、基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決が可能となる。

本発明に係る部品実装機の一例の構成を模式的に示す平面図。 図１の部品実装機が備える電気的構成を示すブロック図。 エラー対応支援の一例を示すフローチャート。 エラー対応支援で実行される手順追加モードの一例を示すフローチャート。 エラー対応支援で実行される手順案内モードの一例を示すフローチャート。 エラー報知画面の一例を示す図。 作業入力画面の一例を示す図。 作業入力画面の一例を示す図。 作業者によって実行された一連の作業の記録態様の一例を模式的に示す図。 対応表の一例を模式的に示す図。 生成した手順の保存の要否を確認する保存確認画面の一例を示す図。 生成された手順に対する作業者の編集を受け付ける手順編集画面の一例を示す図。 編集された手順編集画面の一例を示す図。 手順追加後のエラー報知画面の一例を示す図。 手順案内画面の一例を示す図。 作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図。 作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図。 作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図。 作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図。 作業者によって実行された一連の作業の記録態様の一例を模式的に示す図。 手順変更確認画面の一例を示す図。 新たに生成された手順に対する作業者の編集を受け付ける手順編集画面の一例を示す図。 編集された手順編集画面の一例を示す図。

図１は本発明に係る部品実装機の一例の構成を模式的に示す平面図であり、図２は図１の部品実装機が備える電気的構成を示すブロック図である。本実施形態の説明で用いる図では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示す。この部品実装機１は、トランジスター、コンデンサーあるいは集積回路等の小片状の部品Ｅを基板Ｂに実装する。

図２に示すように、部品実装機１は、装置全体を統括的に制御するコントローラー１００を備える。コントローラー１００は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)やＲＡＭ(Random Access Memory)で構成されたプロセッサーである演算処理部１１０およびＨＤＤ(Hard Disk Drive)あるいはＳＳＤ(Solid State Drive)等で構成された記憶部１２０を有する。また、コントローラー１００は、部品実装機１の駆動系を制御する駆動制御部１３０と、部品実装機１で実行される画像の撮像を制御する撮像制御部１４０と、外部装置との通信を行う通信ＩＦ（インターフェース）１５０とを有する。

図１に示すように、部品実装機１は、基板ＢをＸ方向（基板搬送方向）に搬送する搬送部１２を備える。この搬送部１２は、Ｘ方向に並列に配置された一対のコンベア１２１を基台１１上に有し、コンベア１２１によって基板ＢをＸ方向に搬送する。これらコンベア１２１の間隔は、Ｘ方向に直交するＹ方向（幅方向）に変更可能であり、搬送部１２は、搬送する基板Ｂの幅に応じてコンベア１２１の間隔を調整する。この搬送部１２は、基板搬送方向であるＸ方向の上流側から所定の作業位置１２３に搬入するとともに、作業位置１２３で部品Ｅが実装された基板Ｂを作業位置１２３からＸ方向の下流側に搬出する。

搬送部１２のＹ方向の両側それぞれでは２つの部品供給部２１がＸ方向に並んでおり、各部品供給部２１では、複数のテープフィーダ２２がＸ方向に並ぶ。部品供給部２１では、Ｘ方向に並ぶ複数の部品供給箇所２３が設けられており、各部品供給箇所２３に供給すべき部品Ｅを供給するテープフィーダ２２が、各部品供給箇所２３に対応付けられて着脱可能に装着される。このテープフィーダ２２は、部品供給テープを用いて部品Ｅを部品供給箇所２３に供給する。部品供給テープは、一列に配列された複数のポケットを有するキャリアテープと、キャリアテープに貼りつけられて複数のポケットを塞ぐトップテープとで構成され、各ポケットに部品Ｅが収納される。そして、テープフィーダ２２は、部品供給テープのトップテープを剥離あるいは切開しつつ、当該部品供給テープを間欠的に送り出すことで、その先端部の部品供給箇所２３に部品Ｅを供給する。

また、部品実装機１では、Ｙ方向に延びる一対のＹ軸レール３１と、Ｙ方向に延びるＹ軸ボールネジ３２と、Ｙ軸ボールネジ３２を回転駆動するＹ軸モーターＭｙとが設けられ、Ｘ軸レール３４が一対のＹ軸レール３１にＹ方向に移動可能に支持された状態でＹ軸ボールネジ３２のナットに固定されている。Ｘ軸レール３４には、Ｘ方向に延びるＸ軸ボールネジ３５と、Ｘ軸ボールネジ３５を回転駆動するＸ軸モーターＭｘとが取り付けられており、ヘッドユニット４０がＸ軸レール３４にＸ方向に移動可能に支持された状態でＸ軸ボールネジ３５のナットに固定されている。したがって、駆動制御部１３０は、Ｙ軸モーターＭｙによりＹ軸ボールネジ３２を回転させてヘッドユニット４０をＹ方向に移動させ、あるいはＸ軸モーターＭｘによりＸ軸ボールネジ３５を回転させてヘッドユニット４０をＸ方向に移動させることができる。

ヘッドユニット４０は、ロータリーヘッド４を回転可能に支持する。このロータリーヘッド４は、円周状に等ピッチで配列された複数（８本）のノズルＮを有し、各ノズルＮによって部品Ｅを吸着する。これに対して、部品実装機１は、ノズルＮをＺ方向に昇降させるＺ軸モーターＭｚと、ノズルＮを回転させるＲ軸モーターＭｒとを有する。そして、駆動制御部１３０は、Ｚ軸モーターＭｚによってノズルＮの高さを調整し、Ｒ軸モーターＭｒによってノズルＮの回転角度を調整する。なお、実装ヘッドのタイプは、ここに示すロータリーヘッド４に限られず、一列に並んだ複数のノズルＮを有するインラインヘッドでも構わない。

かかる部品実装機１では、演算処理部１１０の指令を受けて駆動制御部１３０が制御を実行することで、部品Ｅが基板Ｂに実装される。つまり、駆動制御部１３０は、Ｘ軸モーターＭｘおよびＹ軸モーターＭｙによってノズルＮを移動させることで、部品供給箇所２３に供給された部品Ｅに対して、ロータリーヘッド４のノズルＮを上方から対向させる。続いて、駆動制御部１３０は、Ｚ軸モーターＭｚによってノズルＮを下降させることで、部品供給箇所２３に供給された部品Ｅの上面にノズルＮを当接させた後に、ノズルＮに部品Ｅを吸着させる。さらに、駆動制御部１３０は、Ｚ軸モーターＭｚによってノズルＮを上昇させる。こうして、ロータリーヘッド４は、ノズルＮによって部品供給箇所２３から部品Ｅをピックアップする。続いて、駆動制御部１３０は、Ｘ軸モーターＭｘおよびＹ軸モーターＭｙによってノズルＮを移動させることで、基板Ｂのランドに対して、ノズルＮに吸着される部品Ｅを上方から対向させる。さらに、駆動制御部１３０は、ノズルＮにより吸着される部品Ｅのランドに対する角度をＲ軸モーターＭｒによって調整してから、Ｚ軸モーターＭｚによってノズルＮを下降させることで、部品Ｅを基板Ｂのランドに載置する。

また、部品実装機１は、Ｘ方向において、２個の部品供給部２１の間に配置された部品認識カメラ５１を備え、この部品認識カメラ５１は、上方を向いた状態で基台１１に取り付けられている。この部品認識カメラ５１は、Ｙ方向において搬送部１２の両側に配置されている。これに対して、部品供給箇所２３から部品ＥをピックアップしたノズルＮは、基板Ｂのランドに部品Ｅを載置する前に、部品認識カメラ５１に対して当該部品Ｅを上方から対向させる。そして、部品認識カメラ５１は、ノズルＮに吸着される部品Ｅを下方から撮像することで、部品認識画像Ｉｒを取得する。この部品認識画像Ｉｒは、部品認識カメラ５１から撮像制御部１４０を介して演算処理部１１０に送信され、演算処理部１１０は、部品認識画像Ｉｒの取得時におけるノズルＮの位置と、部品認識画像Ｉｒにおける部品Ｅの位置とに基づき、ノズルＮに対する部品Ｅの位置を認識する。なお、演算処理部１１０は、各モーターＭｘ、Ｍｙ、Ｍｚ、Ｍｒのエンコーダー出力を駆動制御部１３０から受信することで、部品認識画像Ｉｒの取得時のノズルＮの位置を確認することができる。こうして、部品Ｅの位置を認識する部品認識が実行される。

特に、記憶部１２０には、認識パラメータデータベース１７１が保存されており、部品認識は、認識パラメータデータベース１７１に保存された認識パラメータに基づき実行される。この認識パラメータは、部品認識カメラ５１により部品Ｅを撮像して部品認識画像Ｉｒを取得する際の照明のレベルと、部品認識画像Ｉｒから部品Ｅを抽出するために部品認識画像Ｉｒの画素値を二値化するのに使用される閾値とを示す。

さらに、部品実装機１は、ＵＩ(User
Interface)５３を備える。このＵＩ５３は例えばタッチパネルディスプレイによって構成される。これに対して、コントローラー１００はＵＩ制御部１６０を有し、ＵＩ制御部１６０は、演算処理部１１０の指令に応じた画面をＵＩ５３のタッチパネルディスプレイに表示するとともに、作業者によるタッチパネルディスプレイへの入力を演算処理部１１０に送信する。

また、記憶部１２０には、部品実装機１で発生したエラーに対応する作業を実行する作業者を支援するために使用されるエラー対応支援プログラム１７２、ログ１７３、手順データベース１７４および対応表１７５が保存される。続いては、これらを用いて実行されるエラー対応支援について説明する。

図３はエラー対応支援の一例を示すフローチャートであり、図４はエラー対応支援で実行される手順追加モードの一例を示すフローチャートであり、図５はエラー対応支援で実行される手順案内モードの一例を示すフローチャートである。図３のエラー対応支援は、演算処理部１１０によってエラー対応支援プログラム１７２に基づき実行される。

演算処理部１１０は、部品実装機１におけるエラーの発生の有無を監視する。部品実装機１で発生するエラーとしては、例えば、部品認識の失敗、トップテープの剥離・切開の失敗あるいはノズルＮへの負圧の供給の失敗等が挙げられる。そして、部品実装機１でのエラーの発生が確認されると（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」）、演算処理部１１０は、例えば図６Ａのエラー報知画面をＵＩ５３に表示する。ここで、図６Ａはエラー報知画面の一例を示す図である。

図６Ａのエラー報知画面Ｓａは、部品認識の失敗が生じたことを示す「認識エラー」との表題と、「部品の認識に失敗しました」とのメッセージとを表示する。また、エラー報知画面Ｓａは、「手順追加」と記載された手順追加ボタンＢａ１と、「エラークリア」と記載されたエラークリアボタンＢａ２とを有する。エラークリアボタンＢａ２が作業者によって選択されると（ステップＳ１０３で「ＹＥＳ」）、図３のエラー対応支援が終了する。一方、手順追加ボタンＢａ１が作業者によって選択されると（ステップＳ１０４で「ＹＥＳ」）、図４の手順追加モードが実行される（ステップＳ１０５）。ここで、ボタンの選択とは、作業者がＵＩ５３のタッチパネルディスプレイにおいてボタンを押す（換言すれば、ボタンに触れる）作業を示す。

図４に示すように、手順追加モードでは、作業者が作業を実行したか否かが確認される（ステップＳ２０１）。この際、作業者は、図６Ｂおよび図６Ｃに示される作業入力画面を用いて作業を実行することができる。図６Ｂおよび図６Ｃは作業入力画面の一例を示す図である。特に、図６Ｂは作業入力画面Ｓｂの部品情報表示階層Ｓｂ１を示し、図６Ｃは作業入力画面Ｓｂの部品認識設定階層Ｓｂ２を示す。つまり、作業入力画面Ｓｂは、部品情報表示階層Ｓｂ１および部品認識設定階層Ｓｂ２を含む複数の階層を有して、作業者の入力に応じて複数の階層のうちの一の階層を表示する。

部品情報表示階層Ｓｂ１は、部品Ｅを供給するテープフィーダ２２の種類・位置や、部品Ｅを供給する部品供給テープの種類あるいは部品Ｅを吸着するノズルＮの種類といった部品Ｅに関する情報を示す。また、部品情報表示階層Ｓｂ１に表示される「部品ポチ」と記載された部品編集ボタンＢｂ１１が作業者によって選択されると、作業入力画面Ｓｂは部品認識設定階層Ｓｂ２を表示する。この部品認識設定階層Ｓｂ２は、部品Ｅを認識するために使用される認識パラメータ（照明レベル、閾値）等の部品認識に関する情報を示す。さらに、部品認識設定階層Ｓｂ２は、ノズルＮによる部品Ｅの吸着の実行を指示する吸着ボタンＢｂ２１や、部品認識の実行を指示する認識テストボタンＢｂ２２等を有する。

そして、作業者が作業入力画面Ｓｂの部品情報表示階層Ｓｂ１あるいは部品認識設定階層Ｓｂ２を用いて作業を実行すると（ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」）、演算処理部１１０は、当該作業に応じた動作を部品実装機１に実行させ、あるいは当該作業に応じた画面をＵＩ５３のディスプレイに表示させる（ステップＳ２０２）。例えば、吸着ボタンＢｂ２１を選択する作業が作業者によって実行されると、演算処理部１１０は、ノズルＮによって部品Ｅを吸着する動作をロータリーヘッド４に実行させる。あるいは、認識テストボタンＢｂ２２を選択する作業が作業者によって実行されると、演算処理部１１０は、部品認識カメラ５１によって部品Ｅを撮像することで部品認識画像Ｉｒを取得して、部品認識画像Ｉｒのうちから部品Ｅを抽出する部品認識を実行する。

こうして作業者によって実行された作業は、ログ１７３に記録される（ステップＳ２０３）。そして、作業者がエラー対応作業を終了することを示すエラー終了ボタンを選択するまで（ステップＳ２０４で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２０１～Ｓ２０３が繰り返される。このエラー終了ボタンは、例えば、作業入力画面Ｓｂ１および部品認識設定階層Ｓｂ２の少なくとも一方に設けられている。

このようなステップＳ２０１～Ｓ２０４を実行することで、例えば図７に示す一連の作業が記録される。ここで、図７は作業者によって実行された一連の作業の記録態様の一例を模式的に示す図であり、作業者が行った作業に対応してログ１７３に記録される記録内容を示す。作業者が部品ボタンを押すと、部品ボタンを押した時刻と部品ボタンを識別するボタンＩＤ１とが対応付けられてログ１７３に記録される。なお、部品ボタンは、作業入力画面Ｓｂの部品情報表示階層Ｓｂ１より上の階層に設けられており、部品ボタンが押されると、作業入力画面Ｓｂは部品情報表示階層Ｓｂ１を表示する。同様に、作業者が部品編集ボタンＢｂ１１、吸着ボタンＢｂ２１および認識テストボタンＢｂ２２を押すと、各ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２を押した各時刻と、各ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２を識別するボタンＩＤ２、ＩＤ３ｍＩＤ４とが対応付けられてログ１７３に記録される。また、作業者は、部品認識設定階層Ｓｂ２において部品外形を編集する作業を行っている。ただし、この編集作業はログ１７３に記録されない。また、作業者が部品実装機１の前カバー（部品実装機１のハウジングに設けられた前後のカバーのうちの前カバー）を開けると、当該前カバーの開閉を検出するカバーセンサー１の出力がＯＦＦになった時刻と、当該カバーセンサー１の検出値（ＯＦＦ）とが対応付けられてログ１７３に記録される。

つまり、ログ１７３には、ＵＩ５３において作業者によって選択されたボタンを識別する識別子（ボタンＩＤ）と、当該識別子に対応するボタンが操作された時刻とが対応付けられて、記録内容として記録される。また、ログ１７３には、作業者による作業の対象となった部品実装機１の部材（カバー）の状態変化を検出するセンサー（カバーセンサー１）が出力する検出値と、当該検出値がセンサーから出力された時刻とが対応付けられて、記録内容として記録される。

ステップＳ２０５では、演算処理部１１０は、ログ１７３に記録された各作業から手順を生成する。この手順の生成は、図８に示す対応表１７５に基づき実行される。図８は対応表の一例を模式的に示す図であり、ログ１７３の記録内容と手順を構成する作業とを対応付ける。そして、演算処理部１１０は、ログ１７３の記録内容を、対応表１７５によって当該記録内容に対応付けられた作業に変換する。これによって、ログ１７３の複数の記録内容にそれぞれ対応する複数の作業で構成される手順が生成される。この手順は、複数の作業を、それぞれに対応する複数の記録内容の時刻の順に実行することを示す。

演算処理部１１０は、こうして生成された手順を保存するかを作業者に確認する図９Ａの保存確認画面ＳｃをＵＩ５３に表示して、手順の保存の要否を判定する（ステップＳ２０６）。ここで、図９Ａは生成した手順の保存の要否を確認する保存確認画面の一例を示す図である。図９Ａの保存確認画面Ｓｃでは、手順を構成する複数の作業１～５と、保存の要否を入力するボタン（はいボタン、いいえボタン）とが設けられている。作業者が「いいえボタン」を選択した場合には、生成した手順を保存せずに、図４の手順追加モードが終了する。

作業者が「はいボタン」を選択した場合には、演算処理部１１０は、作業者の手順に対する編集を受け付ける図９Ｂの手順編集画面ＳｄをＵＩ５３に表示する（ステップＳ２０７）。ここで、図９Ｂは生成された手順に対する作業者の編集を受け付ける手順編集画面の一例を示す図である。図９Ｂの手順編集画面Ｓｄでは、手順に対応するエラー原因と、手順を構成する複数の作業１～５と、編集の完了を示す完了ボタンと、編集のキャンセルを示すキャンセルボタンとが示されている。

そして、演算処理部１１０は、手順編集画面Ｓｄに対して作業者が実行した編集に応じて手順編集画面Ｓｄの表示を、例えば図９Ｃに示すように変更する。図９Ｃは編集された手順編集画面の一例を示す図である。図９Ｃの例では、エラー原因として、部品データ不備が入力されるとともに、作業５の内容が「前カバーを開ける」から「部品データ編集」に変更されている。

手順編集画面Ｓｄにおいて「完了ボタン」が選択されると、演算処理部１１０は、手順編集画面Ｓｄに対して実行された編集内容を維持しつつ、編集を終了する（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」）。一方、手順編集画面Ｓｄにおいて「キャンセルボタン」が選択されると、演算処理部１１０は、手順編集画面Ｓｄに対して実行された編集内容を破棄して、編集を終了する（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」）。

そして、演算処理部１１０は、記憶部１２０の手順データベース１７４に手順を保存する（ステップＳ２０９）。具体的には、ステップＳ２０５で生成された手順に対する編集が維持されていない場合には、当該手順が手順データベース１７４に保存される。ここで、編集が維持されていない場合とは、編集の実行後に編集が破棄された場合と、編集が実行されなかった場合とを含む。また、ステップＳ２０５で生成された手順に対する編集が維持されている場合には、編集された手順が手順データベース１７４に保存される。

以上が、図３のエラー対応支援のステップＳ１０４において、手順追加ボタンＢａ１が作業者によって選択されて（ステップＳ１０４で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１０５で手順追加モード（図４）が実行された場合の例である。また、こうして手順が手順データベース１７４に追加されると、作業者は、当該手順を参照しつつ作業を行うことができる。つまり、手順データベース１７４への手順の追加後は、ステップＳ１０２で表示されるエラー画面では、手順データベース１７４に保存された手順を選択できる例えば図１０Ａのエラー報知画面Ｓａが表示される。

図１０Ａは手順追加後のエラー報知画面の一例を示す図である。図１０Ａのエラー報知画面Ｓａでは、認識エラーの原因の候補として、部品データの不備（原因１）が示されるとともに、当該原因１に対応するボタンＢａ３が設けられている。このボタンＢａ３は、部品データの不備に対応する手順の案内を求めるボタンである。したがって、作業者がボタンＢａ３を選択すると（ステップＳ１０６で「ＹＥＳ」）、図５の手順案内モードが実行される（ステップＳ１０７）。

図５に示すように、手順案内モードでは、ステップＳ１０６で選択されたボタンＢａ３に対応する手順（部品データの不備に対応する手順）を案内する手順案内画面Ｓｅ（図１０Ｂ）がＵＩ５３に表示される（ステップＳ２１０）。図１０Ｂは手順案内画面の一例を示す図である。手順案内画面Ｓｅでは、手順の目的（認識の設定）と、当該手順を構成する作業１、２、２－１、３、３－１の内容と、作業１、２、２－１、３に対応する動作ボタンＢｅ１、Ｂｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４とが設けられている。また、手順案内画面Ｓｅには、戻るボタンＢｅ５、終了ボタンＢｅ６および右に移動ボタンＢｅ７が設けられている。

作業者が戻るボタンＢｅ５を選択すると、ＵＩ５３に表示される画面が、図１０Ｂの手順案内画面Ｓｅから図１０Ａのエラー報知画面Ｓａに戻る。作業者が終了ボタンＢｅ６を選択すると、図１０Ｂの手順案内画面Ｓｅの表示が終了する。また、作業者が右に移動ボタンＢｅ７を選択すると、ＵＩ５３のタッチパネルディスプレイにおいて、手順案内画面Ｓｅが右に移動して、手順案内画面Ｓｅの後ろに隠れていた作業入力画面Ｓｂが手順案内画面Ｓｅの左側に表示される（図１０Ｃ）。ここで、図１０Ｃは作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図である。

図１０Ｃの手順案内画面Ｓｅでは、左に移動ボタンＢｅ７と、エラー終了ボタンＢｅ８とが設けられている。作業者が左に移動ボタンＢｅ７を選択すると、手順案内画面Ｓｅが左に移動して作業入力画面Ｓｂに重なって、図１０Ｂの表示に戻る。作業者がエラー終了ボタンＢｅ８を選択すると、手順案内画面Ｓｅの表示が終了する。なお、作業者は、ＵＩ５３のタッチパネルディスプレイに対してスワイプを実行することで、作業入力画面Ｓｂの前に手順案内画面Ｓｅを表示する表示態様（図１０Ｂ）と、作業入力画面Ｓｂと手順案内画面Ｓｅとを並列して表示する表示態様（図１０Ｃ）と、手順案内画面Ｓｅの前に作業入力画面Ｓｂを表示する表示態様とを切り換えることができる。

したがって、作業者は、手順案内画面Ｓｅが案内する手順を参照しつつ作業を実行することができる。かかる作業者による作業の実行に応じて、上記と同様にしてステップＳ２０１～Ｓ２０４が実行される。また、手順案内画面Ｓｅでは、手順に従って選択すべきボタンがブリンクで表示される。なお、図１０Ｃでは、ブリンクで表示されるボタンは、符号Ｋが付された破線四角で囲まれており、以下でも同様の表記を用いる。

図１０Ｃでは、部品ボタンＢｅ１がブリンクで表示され、作業者が部品ボタンＢｅ１を選択すると、作業入力画面Ｓｂにおいて部品情報表示階層Ｓｂ１が表示される（図１０Ｄ）。ここで、図１０Ｄは作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図である。また、部品ボタンＢｅ１の選択に伴って作業１が完了したことで、手順案内画面Ｓｅにおいて、作業２に対応する部品編集ボタンＢｅ２がブリンクで表示されるとともに、作業入力画面Ｓｂの部品情報表示階層Ｓｂ１において部品編集ボタンＢｂ２がブリンクで表示される（図１０Ｄ）。

作業者が手順案内画面Ｓｅの部品編集ボタンＢｅ２あるいは部品情報表示階層Ｓｂ１の部品編集ボタンＢｂ２を選択すると、作業入力画面Ｓｂにおいて部品認識設定階層Ｓｂ２が表示される（図１０Ｅ）。ここで、図１０Ｅは作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図である。また、部品編集ボタンＢｅ２あるいはＢｂ２の選択に伴って作業２が完了したことで、手順案内画面Ｓｅにおいて、作業２－１に対応する吸着ボタンＢｅ３がブリンクで表示されるとともに、作業入力画面Ｓｂの部品認識設定階層Ｓｂ２において吸着ボタンＢｂ３がブリンクで表示される（図１０Ｅ）。

作業者が手順案内画面Ｓｅの吸着ボタンＢｅ３あるいは部品情報表示階層Ｓｂ１の吸着ボタンＢｂ３を選択すると、部品実装機１において、ノズルＮによる部品Ｅの吸着が実行される。また、吸着ボタンＢｅ３あるいはＢｂ３の選択に伴って作業２－１が完了したことで、手順案内画面Ｓｅにおいて、作業３に対応する認識テストボタンＢｅ４がブリンクで表示されるとともに、作業入力画面Ｓｂの部品認識設定階層Ｓｂ２において認識テストボタンＢｂ４がブリンクで表示される（図１０Ｆ）。ここで、図１０Ｆは作業入力画面と手順案内画面との並列表示態様の一例を示す図である。

作業者が手順案内画面Ｓｅの認識テストボタンＢｅ４あるいは部品情報表示階層Ｓｂ１の認識テストボタンＢｂ４を選択すると、部品実装機１において、部品認識が実行される。そして、作業者は、この認識結果に基づき部品データ（部品Ｅの外形寸法等）を編集することができる（作業３－１）。

こうして作業者によって実行された作業は、ログ１７３に記録される（ステップＳ２０３）。そして、作業者がエラー対応作業を終了することを示すエラー終了ボタンを選択するまで（ステップＳ２０４で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２０１～Ｓ２０３が繰り返される。

このようなステップＳ２０１～Ｓ２０４を実行することで、例えば図１１に示す一連の作業が記録される。ここで、図１１は作業者によって実行された一連の作業の記録態様の一例を模式的に示す図であり、作業者が行った作業に対応してログ１７３に記録される記録内容を示す。作業者が部品ボタンを押すと、部品ボタンを押した時刻と部品ボタンを識別するボタンＩＤ１とが対応付けられてログ１７３に記録される。なお、部品ボタンは、作業入力画面Ｓｂの部品情報表示階層Ｓｂ１より上の階層に設けられており、部品ボタンが押されると、作業入力画面Ｓｂは部品情報表示階層Ｓｂ１を表示する。同様に、作業者が部品編集ボタンＢｅ２、Ｂｂ２、吸着ボタンＢｅ３、Ｂｂ３および認識テストボタンＢｅ４、Ｂｂ４を押すと、各ボタンＢｅ２、Ｂｂ２、Ｂｅ３、Ｂｂ３、Ｂｅ４、Ｂｂ４を押した各時刻と、各ボタンＢｅ２、Ｂｂ２、Ｂｅ３、Ｂｂ３、Ｂｅ４、Ｂｂ４を識別するボタンＩＤ２、ＩＤ３ｍＩＤ４とが対応付けられてログ１７３に記録される。なお、手順案内画面Ｓｅの部品編集ボタンＢｅ２と、作業入力画面Ｓｂの部品編集ボタンＢｅ２とは、同一の機能を有することから、同一のボタンＩＤ２が付される。他のボタンについても同様である。つまり、手順案内画面Ｓｅと作業入力画面Ｓｂとに設けられた同一機能のボタンに対しては同一のボタンＩＤが付される。さらに、作業者が基板データ保存ボタンを押すと、基板データ保存ボタンを押した時刻と、基板データ保存ボタンを識別するボタンＩＤ５とが対応付けられてログ１７３に記録される。ここで基板データ保存ボタンは、基板Ｂに実装する部品Ｅの種類などを示す基板データの記憶部１２０への保存を演算処理部１１０に指示するためのボタンであり、例えばエラー報知画面Ｓａおよび作業入力画面Ｓｂそれぞれに設けられる。そして、基板データ保存ボタンが押されると、演算処理部１１０は、基板データを記憶部１２０に保存する。

ステップＳ２０５では、演算処理部１１０は、ログ１７３に記録された各作業から手順を生成する。この手順の生成は、図８に示す対応表１７５に基づき、上記と同様にして実行される。

ステップＳ２１１では、演算処理部１１０は、旧手順から新手順に変更するかを確認する手順変更確認画面Ｓｆ（図１２Ａ）をＵＩ５３に表示する。ここで、図１２Ａは手順変更確認画面の一例を示す図である。この手順変更確認画面Ｓｆでは、ステップＳ２１０、Ｓ２０１～Ｓ２０５を経て新たに生成された手順が新手順として示されるとともに、エラー報知画面ＳａのボタンＢａ３（図１０Ａ）の選択によって案内された手順（すなわち、ステップＳ２１０で案内された手順）が旧手順として示される。また、手順変更確認画面Ｓｆには、「はいボタン」および「いいえボタン」が示される。そして、作業者によって「いいえボタン」が選択されると（ステップＳ２１１で「ＮＯ」）、図５の手順案内モードが終了する。

一方、作業者によって「はいボタン」が選択されると（ステップＳ２１１で「ＹＥＳ」）、演算処理部１１０は、作業者の手順に対する編集を受け付ける図１２Ｂの手順編集画面ＳｇをＵＩ５３に表示する（ステップＳ２０７）。ここで、図１２Ｂは新たに生成された手順に対する作業者の編集を受け付ける手順編集画面の一例を示す図である。図１２Ｂの手順編集画面Ｓｇでは、手順に対応するエラー原因と、新たに生成された手順を構成する複数の作業１～５と、編集の完了を示す完了ボタンと、編集のキャンセルを示すキャンセルボタンとが示されている。

そして、演算処理部１１０は、手順編集画面Ｓｇに対して作業者が実行した編集に応じて手順編集画面Ｓｇの表示を、例えば図１２Ｃに示すように変更する。ここで、図１２Ｃは編集された手順編集画面の一例を示す図である。図１２Ｃの例では、作業５の内容が「基板データ保存」から「部品データ編集」に変更され、「基板データ保存」を行う作業６が追加されている。

手順編集画面Ｓｇにおいて「完了ボタン」が選択されると、演算処理部１１０は、手順編集画面Ｓｇに対して実行された編集内容を維持しつつ、編集を終了する（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」）。一方、手順編集画面Ｓｇにおいて「キャンセルボタン」が選択されると、演算処理部１１０は、手順編集画面Ｓｇに対して実行された編集内容を破棄して、編集を終了する（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」）。

そして、演算処理部１１０は、記憶部１２０の手順データベース１７４に手順を保存する（ステップＳ２０９）。具体的には、ステップＳ２０５で生成された手順に対する編集が維持されていない場合には、当該手順が手順データベース１７４に保存される。また、ステップＳ２０５で生成された手順に対する編集が維持されている場合には、編集された手順が手順データベース１７４に保存される。

以上に説明する実施例では、部品実装機１（基板処理装置）に発生したエラーに対応して作業者が実行した作業が記録される（ステップＳ２０３）。こうして記録された作業をエラー発生時に作業者に提示する手順に変換することで、当該手順が生成される（ステップＳ２０５）。したがって、作業者は当該手順を参照しつつエラーへの対応作業を行うことができ、エラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決が可能となっている。

また、演算処理部１１０（手順編集部）は、ステップＳ２０５で生成された手順に対する作業者による編集を受け付ける（ステップＳ２０７、Ｓ２０８）。かかる構成では、作業者のニーズに応じて手順を編集することができ、作業者にとって利便性の高い手順を用意することができる。

また、エラーが発生した際には、ＵＩ５３（表示部）が作業者に対して手順を示す手順案内画面Ｓｅ（手順提示画面）を表示する（ステップＳ２１０）。かかる構成では、作業者は、ＵＩ５３に表示された手順案内画面Ｓｅを確認することで、手順を簡単に参照することができる。

また、部品実装機１が実行する動作を制御する演算処理部１１０（動作制御部）が具備されており、ＵＩ５３は、部品実装機１に実行させる動作に対応する動作ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２（部品編集ボタン、吸着ボタン、認識テストボタン）を示す作業入力画面Ｓｂ（動作入力画面）を表示する。そして、演算処理部１１０は、作業入力画面Ｓｂにおいて作業者により選択された動作ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２に対応する動作を、部品実装機１に実行させる（ステップＳ２０２）。また、演算処理部１１０（作業記録部）は、作業者による作業入力画面Ｓｂにおける動作ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２の選択を作業として記録する（ステップＳ２０３）。かかる構成では、作業者は、作業入力画面Ｓｂに示された動作ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２を選択することでエラーに対応する作業を実行できる。しかも、作業者による作業入力画面Ｓｂにおける動作ボタンＢｂ１１、Ｂｂ２１、Ｂｂ２２の選択が作業として記録されて（ステップＳ２０３）、当該作業に基づき手順が生成される（ステップＳ２０５）。そのため、作業者は、以後に同様のエラーが発生した場合に当該手順を参照することで、速やかにエラーを解決することができる。

また、手順案内画面Ｓｅに表示される手順は、複数の作業１、２、２－１、３、３－１（操作）を実行する順序を示す。また、図１０Ｄ～図１０Ｆに示すように、作業（操作）は、作業入力画面Ｓｂに示される動作ボタンＢｂ２、Ｂｂ３、Ｂｂ４の選択を含む。これに対して、手順案内画面Ｓｅは、複数の作業のそれぞれに対応する動作ボタンＢｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４を表示する。つまり、作業入力画面Ｓｂおよび手順案内画面Ｓｅの両方に動作ボタンＢｂ２、Ｂｂ３、Ｂｂ４、Ｂｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４が表示される。そのため、作業者は、作業入力画面Ｓｂおよび手順案内画面Ｓｅのいずれにおいても動作ボタンＢｂ２、Ｂｂ３、Ｂｂ４、Ｂｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４の選択を行うことができ、作業者の利便性がよい。

また、作業入力画面Ｓｂおよび手順案内画面Ｓｅは、複数の作業（操作）のうち、次に実行すべき一の作業に対応する動作ボタンを、他の操作に対応する動作ボタンに対して異なる態様（具体的には、ブリンク）で表示する。かかる構成では、作業者は、次の選択すべき動作ボタンＢｂ２、Ｂｂ３、Ｂｂ４、Ｂｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４を簡便に把握でき、手順に即して速やかに操作を実行できる。

また、ＵＩ５３は、作業者によるスワイプに応じて、作業入力画面Ｓｂおよび手順案内画面Ｓｅの間で表示する画面を切り換える。かかる構成では、作業者は、作業入力画面Ｓｂおよび手順案内画面Ｓｅの間で画面を簡単に切り換えることができ、作業者の利便性がよい。

また、部品実装機１は、部品Ｅを供給するテープフィーダ２２と、テープフィーダ２２によって供給された部品Ｅを吸着して基板Ｂに実装するロータリーヘッド４（実装ヘッド）と、ロータリーヘッド４によって吸着された部品Ｅを撮像して部品認識画像Ｉｒを取得する部品認識カメラ５１と、部品認識画像Ｉｒに基づき部品Ｅを認識する部品認識を実行する演算処理部１１０（部品認識部）とを備える。これに対して、ＵＩ５３は、テープフィーダ２２が供給する部品Ｅをロータリーヘッド４に吸着させる吸着ボタンＢｂ２１および演算処理部１１０に部品認識を実行させる認識テストボタンＢｂ２２（部品認識ボタン）のそれぞれを表示する。かかる構成では、部品実装機１で発生したエラーへの対応作業を行う作業者による速やかなエラー解決が可能となる。

以上に説明したように本実施形態では、部品実装機１が本発明の「基板処理装置」の一例に相当し、テープフィーダ２２が本発明の「フィーダ」の一例に相当し、ロータリーヘッド４が本発明の「実装ヘッド」の一例に相当し、部品認識カメラ５１が本発明の「部品認識カメラ」の一例に相当し、ＵＩ５３が本発明の「表示部」の一例に相当し、演算処理部１１０および記憶部１２０が本発明の「作業記録部」の一例に相当し、コントローラー１００およびＵＩ５３が本発明の「エラー対応支援装置」の一例に相当し、演算処理部１１０が本発明の「手順編集部」の一例に相当し、演算処理部１１０が本発明の「動作制御部」の一例に相当し、エラー対応支援プログラム１７２が本発明の「エラー対応支援プログラム」の一例に相当し、基板Ｂが本発明の「基板」の一例に相当し、動作ボタンＢｂ２、Ｂｂ３、Ｂｂ４、Ｂｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４が本発明の「動作ボタン」の一例に相当し、吸着ボタンＢｂ２１が本発明の「吸着ボタン」の一例に相当し、認識テストボタンＢｂ２２が本発明の「部品認識ボタン」の一例に相当し、部品認識画像Ｉｒが本発明の「画像」の一例に相当し、作業入力画面Ｓｂが本発明の「動作入力画面」の一例に相当し、手順案内画面Ｓｅが本発明の「手順提示画面」の一例に相当し、基板Ｂへの部品Ｅの実装が本発明の「所定処理」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記の実施例では、部品実装機１が備えるコントローラー１００およびＵＩ５３によって本発明に係る「エラー対応支援装置」が構成される。しかしながら、部品実装機１とは別に設けられたサーバーコンピューターによって「エラー対応支援装置」を構成してもよい。この場合、サーバーコンピューターは、部品実装機１と通信を行って、部品実装機１におけるエラーの発生を確認するとともに、ユーザの入力作業（動作ボタンの選択等）に応じて部品実装機１を制御することで、入力作業に対応する動作を部品実装機１に実行する。

また、エラー対応支援の対象となる装置は、部品実装機１に限られない。例えば特開２０１１－１５１２２２号公報に記載の印刷装置において発生したエラーに対応する作業者の作業を支援するように構成することもできる。具体的には、マスクあるいは基板のフィデューシャルマークの撮像や、スキージによる半田のローリングといった動作を印刷装置に実行させる動作ボタンがタッチパネルディスプレイに表示される。作業者がタッチパネルディスプレイにおいて動作ボタンを選択する作業はログに記録され、このログに記録された作業が手順に変換される。そして、次回に印刷装置にエラーが発生した際には、この手順がタッチパネルディスプレイに表示される。

あるいは、ＷＯ２０１５/１０４７９９に記載の外観検査装置において発生したエラーに対応する作業者の作業を支援するように構成することもできる。具体的には、基板のフィデューシャルマークの撮像といった動作を外観検査装置に実行させる動作ボタンがタッチパネルディスプレイに表示される。作業者がタッチパネルディスプレイにおいて動作ボタンを選択する作業はログに記録され、このログに記録された作業が手順に変換される。そして、次回に外観検査装置にエラーが発生した際には、この手順がタッチパネルディスプレイに表示される。

また、ＵＩ５３の構成は、タッチパネルディスプレイに限られず、マウスやキーボード等の入力機器とモニター等の出力機器とで、ＵＩ５３を構成してもよい。この場合、作業者が入力機器を用いて行った作業をログに記録して、手順に変換すればよい。

また、次に行う作業を示すための表示はブリンクに限られず、他の表示態様によって次に行う作業を示してもよい。

１…部品実装機（基板処理装置）
２２…テープフィーダ（フィーダ）
４…ロータリーヘッド（実装ヘッド）
５１…部品認識カメラ
５３…ＵＩ（表示部、エラー対応支援装置）
１１０…演算処理部（作業記録部、手順編集部、動作制御部
１２０…記憶部（作業記録部）
１００…コントローラー（エラー対応支援装置）」の一例に相当し、
１７２…エラー対応支援プログラム
Ｂ…基板
Ｂｂ２、Ｂｂ３、Ｂｂ４、Ｂｅ２、Ｂｅ３、Ｂｅ４…動作ボタン
Ｉｒ…部品認識画像（画像）
Ｓｂ…作業入力画面（動作入力画面）
Ｓｅ…手順案内画面（手順提示画面）

Claims (12)

1. 基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する作業記録部と、
   前記作業記録部が記録した作業を、前記エラーの発生時に前記作業者に提示する手順に変換することで、前記手順を生成する手順生成部と
   を備えたエラー対応支援装置。
2. 前記手順生成部によって生成された前記手順に対する作業者による編集を受け付ける手順編集部をさらに備える請求項１に記載のエラー対応支援装置。
3. 前記エラーの発生時に、作業者に対して前記手順を示す手順提示画面を表示する表示部をさらに備える請求項１に記載のエラー対応支援装置。
4. 前記基板処理装置が実行する動作を制御する動作制御部をさらに備え、
   前記表示部は、前記基板処理装置に実行させる動作に対応する動作ボタンを示す動作入力画面を表示し、
   前記動作制御部は、前記動作入力画面において作業者により選択された前記動作ボタンに対応する動作を、前記基板処理装置に実行させ、
   前記作業記録部は、作業者による前記動作入力画面における前記動作ボタンの選択を前記作業として記録する請求項３に記載のエラー対応支援装置。
5. 前記手順は、複数の操作のそれぞれを前記作業として実行する順序を示し、
   前記操作は、前記動作入力画面における前記動作ボタンの選択を含み、
   前記手順提示画面は、前記複数の操作のそれぞれに対応する前記動作ボタンを表示する請求項４に記載のエラー対応支援装置。
6. 前記動作入力画面および前記手順提示画面は、前記複数の操作のうち、次に実行すべき一の操作に対応する前記動作ボタンを、他の操作に対応する前記動作ボタンに対して異なる態様で表示する請求項５に記載のエラー対応支援装置。
7. 前記動作入力画面および前記手順提示画面は、前記一の操作に対応する前記動作ボタンをブリンクによって表示する請求項６に記載のエラー対応支援装置。
8. 前記表示部は、作業者によるスワイプに応じて、前記動作入力画面および前記手順提示画面の間で表示する画面を切り換える請求項４に記載のエラー対応支援装置。
9. 前記基板処理装置は、部品を供給するフィーダと、前記フィーダによって供給された前記部品を吸着して前記基板に実装する実装ヘッドと、前記実装ヘッドによって吸着された前記部品を撮像して画像を取得する部品認識カメラと、前記画像に基づき前記部品を認識する部品認識を実行する部品認識部とを備えた部品実装機であり、
   前記表示部は、前記フィーダが供給する前記部品を前記実装ヘッドに吸着させる吸着ボタン、および前記部品認識部に前記部品認識を実行させる部品認識ボタンのそれぞれを前記動作ボタンとして表示する請求項４ないし８のいずれか一項に記載のエラー対応支援装置。
10. 基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する工程と、
    記録された作業を、前記エラーの発生時に前記作業者に提示する手順に変換することで、前記手順を生成する工程と
    を備えたエラー対応支援方法。
11. 基板に所定処理を実行する基板処理装置において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する工程と、
    記録された作業を、前記エラーの発生時に前記作業者に提示する手順に変換することで、前記手順を生成する工程と
    をコンピュータに実行させるエラー対応支援プログラム。
12. 基板に部品を実装する実装ヘッドを備えた部品実装機であって、
    前記部品実装機において発生したエラーに対応して作業者が実行した作業を記録する作業記録部と、
    前記作業記録部が記録した作業を、前記エラーの発生時に前記作業者に提示する手順に変換することで、前記手順を生成する手順生成部と
    を備えた部品実装機。
    

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