JP2023149503A - 発光装置および光源装置 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば、改善された新規な発光装置および光源装置を得る。【解決手段】発光装置は、例えば、第一方向に進み第二方向に間隔をあけて並んだ複数の光のビームのアレイが入力される集光レンズと、それぞれアレイに含まれるビームを出力する複数の発光ユニットを含む発光ユニット群であって、各発光ユニットは第二方向においてシングルモードとなりかつ第一方向および第二方向と直交した第三方向においてマルチモードとなるビームを出力し、発光ユニットから出力されたビームが当該アレイの第二方向の反対方向の端に位置するビームから遠いほど当該ビームを出力する発光ユニットと集光レンズとの間の光路長が長い、発光ユニット群と、を備え、発光ユニット群に含まれる複数の発光ユニットから出力されたビームのアレイの第二方向における中央に位置する中心線が、集光レンズの光軸に対して第二方向の反対方向にずれている。【選択図】図４

Description

本発明は、発光装置および光源装置に関する。

従来、複数のチップオンサブマウントを有した半導体レーザモジュールが知られている（例えば、特許文献１）。特許文献１の半導体レーザモジュールでは、複数のチップオンサブマウントから出力されたレーザ光のビームのアレイが、集光レンズによって集光され、光ファイバに結合される。半導体レーザモジュールは、発光装置の一例であり、チップオンサブマウントは、発光ユニットの一例であり、光ファイバは、被結合部の一例である。

特開２０１６－１６４６７１号公報

特許文献１のように、複数の発光ユニットから出力された光のビームのアレイが集光レンズによって集光される構成を備えた発光装置では、各発光ユニットから集光レンズまでの光路長に差が生じる場合がある。

発明者の鋭意研究により、発光ユニットから集光レンズまでの光路長が長いビームは、光路長が短い他のビームに比べてビームが広がり易く、その分、当該他のビームに比べて被結合部に対する結合効率が低くなり、ひいては、複数のビームの被結合部への全体的な結合効率が低くなってしまう場合があることが判明した。

そこで、本発明の課題の一つは、例えば、複数の光のビームのアレイが集光レンズによって集光される構成を備えた発光装置において、複数のビームの被結合部への全体的な結合効率が低下するのを抑制することが可能となるような、改善された新規な発光装置、および当該発光装置を備えた光源装置を得ること、である。

本発明の発光装置は、例えば、光軸が第一方向に沿い当該第一方向と直交した第二方向において光を集光する集光レンズであって、前記第一方向に進み前記第二方向に間隔をあけて並んだ複数の光のビームのアレイが入力される集光レンズと、それぞれ前記アレイに含まれる前記ビームを出力する複数の発光ユニットを含む発光ユニット群であって、各発光ユニットは前記第二方向においてシングルモードとなりかつ前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向においてマルチモードとなる前記ビームを出力し、前記発光ユニットから出力された前記ビームが当該アレイの前記第二方向の反対方向の端に位置する前記ビームから遠いほど当該ビームを出力する発光ユニットと前記集光レンズとの間の光路長が長い、発光ユニット群と、を備え、前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットから出力された前記ビームの前記アレイの前記第二方向における中央に位置する中心線が、前記集光レンズの光軸に対して前記第二方向の反対方向にずれている。

前記発光装置は、前記発光ユニット群として、当該発光ユニット群に含まれる複数の発光ユニットと前記集光レンズとの間の光路長の平均値が互いに異なる複数の発光ユニット群を備え、前記複数の発光ユニット群のそれぞれに対応した前記中心線の前記光軸に対するずれ量が互いに異なってもよい。

前記発光装置では、前記複数の発光ユニット群は、第一発光ユニット群と、第二発光ユニット群と、を含み、前記第一発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットに対応した前記アレイに含まれる光の偏光面と、前記第二発光ユニット群に対応した前記アレイに含まれる光の偏光面とが、互いに直交してもよい。

前記発光装置では、前記発光ユニット群は、アレイ状に配置された前記複数の発光ユニットを含んでもよい。

前記発光装置では、前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットが、前記第二方向に互いにずれて配置されてもよい。

前記発光装置は、前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットから出力され前記第二方向と直交した光路を進む複数の光のビームを前記第二方向の反対方向にずらし、前記第二方向と直交した方向に出力する光学系を備えてもよい。

前記発光装置では、前記光学系は、複数の反射面を有した光学部品を含んでもよい。

前記発光装置では、前記光学系は、複数の屈折面を有した光学部品を含んでもよい。

前記発光装置では、前記光学系は、それぞれ反射面を有した複数の光学部品を含んでもよい。

前記発光装置では、前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットから出力される光のビームの幅をｗとしたとき、当該発光ユニット群に対応した前記中心線の、前記集光レンズの光軸に対するずれ量が、０．２５ｗ以上ｗ以下であってもよい。

前記発光装置では、前記発光ユニットが出力する光の波長が、４００［ｎｍ］以上５５０［ｎｍ］以下であってもよい。

また、本発明の光源装置は、前記発光装置を備えてもよい。

本発明によれば、改善された新規な発光装置および光源装置を得ることができる。

図１は、第１実施形態の光学装置の例示的かつ模式的な平面図である。 図２は、第１実施形態の光学装置に含まれるベースの例示的かつ模式的な斜視図である。 図３は、第１実施形態の光学装置に含まれるサブユニットの例示的かつ模式的な側面図である。 図４は、第１実施形態の光学装置の集光レンズに入力される光のビームのアレイの例示的かつ模式的な側面図である。 図５は、第１実施形態の光学装置の集光レンズに入力される光のビームのアレイの例示的かつ模式的な断面図である 図６は、第２実施形態の光学装置に含まれる光学系の例示的かつ模式的な側面図である。 図７は、第３実施形態の光学装置に含まれる光学系の例示的かつ模式的な側面図である。 図８は、第４実施形態の光学装置に含まれる光学系の例示的かつ模式的な側面図である。 図９は、第５実施形態の光学装置の例示的かつ模式的な平面図である。 図１０は、第６実施形態の光学装置の例示的かつ模式的な平面図である。 図１１は、第７実施形態の光学装置の例示的かつ模式的な斜視図である。 図１２は、第８実施形態の光源装置の例示的な構成図である。

以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成以外によっても実現可能である。また、本発明によれば、構成によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）のうち少なくとも一つを得ることが可能である。

以下に示される複数の実施形態は、同様の構成を備えている。よって、各実施形態の構成によれば、当該同様の構成に基づく同様の作用および効果が得られる。また、以下では、それら同様の構成には同様の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。

本明細書において、序数は、部品や、部位、方向等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではない。

また、各図において、Ｘ１方向を矢印Ｘ１で表し、Ｘ２方向を矢印Ｘ２で表し、Ｙ方向を矢印Ｙで表し、Ｚ方向を矢印Ｚで表す。Ｘ１方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに交差するとともに互いに直交している。また、Ｘ１方向とＸ２方向とは互いに逆方向である。

なお、図１，３，４，６～１０において、レーザ光（のビーム）の光路は、実線の矢印で示されている。

［第１実施形態］
［全体構成］
図１は、第１実施形態の発光装置１００Ａ（１００）の概略構成図であって、発光装置１００Ａの内部をＺ方向の反対方向に見た平面図である。

図１に示されるように、発光装置１００Ａは、ベース１０１と、複数のサブユニット１００ａと、光合成部１０８と、集光レンズ１０４，１０５と、光ファイバ１０７と、を備えている。各サブユニット１００ａの発光ユニット１０Ａから出力されたレーザ光は、各サブユニット１００ａのミラー１０３、光合成部１０８、および集光レンズ１０４，１０５を経由して光ファイバ１０７の端部（不図示）に伝送され、光ファイバ１０７と光学的に結合される。

ベース１０１は、例えば、銅系材料やアルミニウム系材料のような、熱伝導率が高い材料で作られる。ベース１０１は、一つの部品で構成されてもよいし、複数の部品で構成されてもよい。また、ベース１０１は、カバー（不図示）で覆われている。複数のサブユニット１００ａ、複数のミラー１０３、光合成部１０８、集光レンズ１０４，１０５、および光ファイバ１０７の端部は、いずれもベース１０１上に設けられ、ベース１０１とカバーとの間に形成された収容室（不図示）内に収容されている。収容室は、気密封止されている。

光ファイバ１０７は、出力光ファイバであって、その端部を支持するファイバ支持部１０６ａを介して、ベース１０１と固定されている。

ファイバ支持部１０６ａは、ベース１０１の一部として当該ベース１０１と一体的に構成されてもよいし、ベース１０１とは別部材として構成されたファイバ支持部１０６ａが、例えばねじのような固定具を介してベース１０１に取り付けられてもよい。

サブユニット１００ａは、それぞれ、レーザ光を出力する発光ユニット１０Ａと、複数のレンズ４１Ａ～４３Ａと、ミラー１０３と、を有している。レンズ４１Ａ～４３Ａおよびミラー１０３は、光学部品の一例である。レンズ４２Ａ，４３Ａは、速軸および遅軸において、レーザ光をコリメートする。

また、発光装置１００Ａは、複数のサブユニット１００ａがＹ方向に所定間隔で並ぶ二つのアレイＡ１，Ａ２を備えている。アレイＡ１のサブユニット１００ａ１（１００ａ）において、発光ユニット１０Ａは、レーザ光をＸ１方向に出力し、レンズ４１Ａ～４３Ａは、当該発光ユニット１０Ａからのレーザ光をＸ１方向に伝送し、ミラー１０３は、Ｘ１方向へ進むレーザ光をＹ方向へ反射する。他方、アレイＡ２のサブユニット１００ａ１（１００ａ）において、発光ユニット１０Ａは、レーザ光をＸ２方向に出力し、レンズ４１Ａ～４３Ａは、当該発光ユニット１０Ａからのレーザ光をＸ２方向に伝送し、ミラー１０３は、Ｘ２方向へ進むレーザ光をＹ方向へ反射する。

本実施形態では、アレイＡ１のサブユニット１００ａ１とアレイＡ２のサブユニット１００ａ２とが、Ｘ１方向（Ｘ２方向）に並んでいる。サブユニット１００ａ１とサブユニット１００ａ２とがＸ１方向に並んだ場合、例えば、発光装置１００ＡのＹ方向のサイズがより小さくなるという利点が得られる。ただし、これには限定されず、サブユニット１００ａ１とサブユニット１００ａ２とは、互いにずれていてもよい。例えば、各サブユニット１００ａ２は、Ｙ方向に隣り合う二つのサブユニット１００ａ１の間の隙間に対してＸ１方向に並んでもよい。

図２は、ベース１０１の斜視図である。図２に示されるように、ベース１０１の表面１０１ｂには、Ｙ方向に向かうにつれてサブユニット１００ａの位置がＺ方向の反対方向にずれる複数の段差１０１ｂ１（段差面）が設けられている。複数のサブユニット１００ａがＹ方向に所定間隔（例えば一定間隔）で並ぶアレイＡ１，Ａ２のそれぞれについて、サブユニット１００ａは、各段差１０１ｂ１上に設けられている。これにより、アレイＡ１に含まれるサブユニット１００ａのＺ方向の位置は、Ｙ方向に向かうにつれてＺ方向の反対方向にずれるとともに、アレイＡ２に含まれるサブユニット１００ａのＺ方向の位置も、Ｙ方向に向かうにつれてＺ方向の反対方向にずれる。このような構成により、各アレイＡ１，Ａ２において、複数のミラー１０３から、光合成部１０８に、Ｙ方向に進みＺ方向に並んだ互いに平行なレーザ光を、入力することができる。なお、アレイＡ１において、発光ユニット１０Ａは、Ｙ方向とＺ方向の反対方向との間の方向に沿ってアレイ状に配置され、アレイＡ２において、発光ユニット１０Ａは、Ｙ方向とＺ方向の反対方向との間の方向に沿ってアレイ状に配置されている。すなわち、アレイＡ１において、複数の発光ユニット１０Ａは、Ｚ方向に互いにずれて配置され、アレイＡ２において、複数の発光ユニット１０Ａは、Ｚ方向に互いにずれて配置されている。

図１に示されるように、各ミラー１０３からのレーザ光は、光合成部１０８に入力され、当該光合成部１０８において合成される。

光合成部１０８は、コンバイナ１０８ａ、ミラー１０８ｂ、および１／２波長板１０８ｃを有している。コンバイナ１０８ａ、ミラー１０８ｂ、および１／２波長板１０８ｃは、光学部品の一例である。

ミラー１０８ｂは、アレイＡ１のサブユニット１００ａからのレーザ光を１／２波長板１０８ｃを介してコンバイナ１０８ａに向かわせる。１／２波長板１０８ｃは、アレイＡ１からの光の偏光面を９０°回転させる。

他方、アレイＡ２のサブユニット１００ａからのレーザ光は、コンバイナ１０８ａに直接入力される。したがって、アレイＡ２のサブユニット１００ａからのレーザ光の偏光面と、アレイＡ１のサブユニット１００ａからのレーザ光の偏光面とは、互いに直交している。

コンバイナ１０８ａは、二つのアレイＡ１，Ａ２からのレーザ光を合成する。コンバイナ１０８ａは、偏波合成素子とも称される。

コンバイナ１０８ａからのレーザ光は、集光レンズ１０４，１０５によって光ファイバ１０７の端部（不図示）に向けて集光され、光ファイバ１０７と光学的に結合され、光ファイバ１０７内を伝送される。集光レンズ１０４は、Ｚ方向において、レーザ光を集光する。ここに、Ｚ方向においてレーザ光を集光するとは、当該集光レンズ１０４の光軸からＺ方向に離れたレーザ光を光軸上の集束点に向交わせることを意味する。また、集光レンズ１０５は、Ｘ１方向またはＸ２方向において、レーザ光を集光する。ここに、Ｘ１方向またはＸ２方向において集光するとは、当該集光レンズ１０４の光軸からＸ１方向またはＸ２方向に離れたレーザ光を光軸上の集束点に向交わせることを意味する。集光レンズ１０４，１０５は、光学部品の一例である。

また、ベース１０１には、サブユニット１００ａ（発光ユニット１０Ａ）や、ファイバ支持部１０６ａ、集光レンズ１０４，１０５、コンバイナ１０８ａ、遮蔽壁１０１ｄ（後述）等を冷却する冷媒通路１０９が設けられている。冷媒通路１０９では、例えば、冷却液のような冷媒が流れる。冷媒通路１０９は、例えば、ベース１０１の各部品の実装面の近く、例えば直下またはその近傍を通り、冷媒通路１０９の内面および冷媒通路１０９内の冷媒（不図示）は、冷却対象の部品や部位、すなわち、サブユニット１００ａ（発光ユニット１０Ａ）や、ファイバ支持部１０６ａ、集光レンズ１０４，１０５、コンバイナ１０８ａ等と、熱的に接続されている。ベース１０１を介して冷媒と部品や部位との間で熱交換が行われ、部品が冷却される。なお、冷媒通路１０９の入口１０９ａおよび出口１０９ｂは、一例として、ベース１０１のＹ方向の反対方向の端部に設けられているが、他の位置に設けられてもよい。

［サブユニット］
図３は、アレイＡ１のサブユニット１００ａ１（１００ａ）の構成を示す平面図である。なお、アレイＡ２のサブユニット１００ａ２は、光学部品の配置およびレーザ光の伝送方向がサブユニット１００ａ１とは逆であるが、サブユニット１００ａ１と同様の構成を有している。

発光ユニット１０Ａは、チップオンサブマウント３０と、当該チップオンサブマウント３０を収容したケース２０と、を有している。なお、図３において、発光ユニット１０Ａは、ケース２０の内部が透視された状態で描かれている。

ケース２０は、直方体状の箱であり、チップオンサブマウント３０を収容している。ケース２０は、壁部材２１と、窓部材２２と、を有している。壁部材２１は、例えば金属材料で作られている。

また、ケース２０は、ベース２１ａを有している。ベース２１ａは、Ｚ方向と交差した板状の形状を有している。ベース２１ａは、例えば、壁部材２１の一部（底壁）である。ベース２１ａは、例えば、無酸素銅のような、熱伝導率が高い金属材料で作られている。無酸素銅は、銅系材料の一例である。なお、ベース２１ａは、壁部材２１とは別に設けられてもよい。

壁部材２１のＸ１方向の端部には、開口部２１ｂが設けられている。開口部２１ｂには、レーザ光Ｌを透過する窓部材２２が取り付けられている。窓部材２２は、Ｘ１方向と交差しかつ直交している。チップオンサブマウント３０からＸ１方向に出射されたレーザ光Ｌは、窓部材２２を通過して、発光ユニット１０Ａの外へ出る。レーザ光Ｌは、発光ユニット１０ＡからＸ１方向に出射される。

壁部材２１（ケース２０）を構成する複数の部材（不図示）の境界部分、ならびに壁部材２１と窓部材２２との間の境界部分などは、気体が通過できないようにシールされている。すなわち、ケース２０は、気密封止されている。なお、窓部材２２は、壁部材２１の一部でもある。

チップオンサブマウント３０は、サブマウント３１と、発光素子３２と、を有している。

サブマウント３１は、例えば、Ｚ方向と交差するとともに直交した板状の形状を有している。サブマウント３１は、例えば、窒化アルミニウムや、セラミック、ガラスのような、熱伝導率が比較的高い絶縁材料で作られうる。サブマウント３１上には、発光素子３２に電力を供給する電極として、メタライズ層３１ａが形成されている。

サブマウント３１は、ベース２１ａ上に実装されている。発光素子３２は、サブマウント３１の頂面上に実装されている。すなわち、発光素子３２は、サブマウント３１を介してベース２１ａ上に実装されるとともに、サブマウント３１およびケース２０を介して、ベース１０１上に実装されている。

発光素子３２は、例えば、速軸（ＦＡ）と遅軸（ＳＡ）とを有した半導体レーザ素子である。発光素子３２は、Ｘ１方向に延びた細長い形状を有している。発光素子３２は、Ｘ１方向の端部に設けられた出射開口（不図示）から、Ｘ１方向に、レーザ光Ｌを出射する。チップオンサブマウント３０は、発光素子３２の速軸がＺ方向に沿い、かつ遅軸がＹ方向に沿うよう、実装される。Ｚ方向は速軸方向の一例であり、Ｙ方向は、遅軸方向の一例である。

発光素子３２は、例えば、４００［ｎｍ］以上１２００［ｎｍ］以下の波長のレーザ光Ｌを出力する。また、レーザ光Ｌは、発光素子３２から、速軸方向（Ｚ方向）においてはシングルモードで出力されるとともに、遅軸方向（Ｙ方向）にはマルチモードで出力される。

発光素子３２から出射されたレーザ光Ｌは、レンズ４１Ａ、レンズ４２Ａ、およびレンズ４３Ａをこの順に経由し、少なくともＺ方向およびＹ方向でコリメートされる。レンズ４１Ａ、レンズ４２Ａ、およびレンズ４３Ａは、いずれもケース２０外に設けられている。

本実施形態では、レンズ４１Ａ、レンズ４２Ａ、およびレンズ４３Ａは、Ｘ１方向にこの順に並んでいる。発光素子３２から出射されたレーザ光Ｌは、レンズ４１Ａ、レンズ４２Ａ、およびレンズ４３Ａを、この順に通過する。また、発光素子３２から出て、レンズ４１Ａ、レンズ４２Ａ、およびレンズ４３Ａを通過し、ミラー１０３に到達するまでの間、レーザ光Ｌの光軸は直線状であり、Ｘ１方向またはＸ２方向に沿う。また、この間、レーザ光Ｌの速軸方向はＺ方向に沿い、かつレーザ光Ｌの遅軸方向はＹ方向に沿う。

レンズ４１Ａは、窓部材２２からＸ１方向に僅かに離れるか、あるいは窓部材２２に対してＸ１方向に接している。

レンズ４１Ａには、窓部材２２を通過したレーザ光Ｌが入射する。レンズ４１Ａの光学的な機能部分は、例えば、光軸に沿う中心軸Ａｘに対する軸対称形状を有するとともに、中心軸Ａｘ周りの回転体形状を有している。レンズ４１Ａは、中心軸ＡｘがＸ１方向に沿うとともにレーザ光Ｌの光軸と重なるように配置される。レンズ４１Ａの入射面４１ａおよび出射面４１ｂは、それぞれ、Ｘ１方向に延びた中心軸Ａｘ周りの回転面を有している。出射面４１ｂは、Ｘ１方向に凸の凸曲面である。出射面４１ｂは、入射面４１ａよりも大きく突出している。レンズ４１Ａは、所謂凸レンズであり、集光レンズとも称される。

レンズ４１Ａを出たレーザ光Ｌのビーム幅は、Ｘ１方向に進むにつれて狭くなる。なお、ビーム幅は、レーザ光のビームプロファイルにおいて、光強度が所定値以上となる領域の幅である。所定値は、例えば、ピークの光強度の１／ｅ^２である。レンズ４１Ａは、レーザ光Ｌを、Ｚ方向、Ｙ方向、およびＺ方向とＹ方向との間の方向において集束するため、レーザ光Ｌの収差が小さくなるという効果が得られる。

レンズ４２Ａは、Ｚ方向と交差しかつ直交した平面としての仮想中心面Ｖｃ２に対する面対称形状を有している。レンズ４２Ａの入射面４２ａおよび出射面４２ｂは、Ｙ方向に沿う母線を有しＹ方向に延びた柱面を有している。入射面４２ａは、Ｘ１方向の反対方向に凸の凸曲面である。また、出射面４２ｂは、Ｘ１方向に凹の凹曲面である。

レンズ４２Ａは、レーザ光Ｌを、Ｚ方向におけるビーム幅Ｗｚｃが、レンズ４１Ａへの入射面４１ａでのＺ方向におけるビーム幅Ｗｚａよりも小さい状態で、Ｚ方向において、すなわち速軸においてコリメートする。レンズ４２Ａは、Ｙ方向と直交する断面において凹レンズである。レンズ４２Ａは、コリメートレンズとも称される。

また、レンズ４２Ａは、レンズ４１Ａによるレーザ光ＬのＺ方向の集束点Ｐｃｚよりもレンズ４１Ａの近くに位置されている。仮に、レンズ４２Ａが、Ｚ方向の集束点Ｐｃｚよりもレンズ４１Ａの遠くに位置された場合、レンズ４１Ａとレンズ４２Ａとの間のレーザ光Ｌの光路上に、Ｚ方向の集束点Ｐｃｚが出現することになる。この場合、エネルギ密度の高いＺ方向の集束点Ｐｃｚにおいて塵芥が集積するなどの不都合が生じる虞がある。この点、本実施形態では、レンズ４２ＡがＺ方向の集束点Ｐｃｚよりもレンズ４１Ａの近くに位置されているため、レーザ光Ｌが集束点Ｐｃｚに到達する前にレンズ４２Ａによってコリメートされる。すなわち、本実施形態によれば、レーザ光Ｌの光路上にＺ方向の集束点Ｐｃｚが出現しないため、当該集束点Ｐｃｚによる不都合が生じるのを、回避することができる。

なお、レーザ光ＬのＹ方向における集束点（不図示）は、レンズ４１Ａとレンズ４２Ａとの間に出現するが、Ｙ方向における集束点でのエネルギ密度はそれほど高くないため、塵芥の集積のような問題は生じ無い。

発光素子３２から出射されレンズ４１Ａおよびレンズ４２Ａを経由したレーザ光ＬのＹ方向のビーム幅は、Ｘ１方向に進むにつれて拡がる。レンズ４３Ａには、レンズ４２Ａを経由してＹ方向において拡がっている先太りのレーザ光Ｌが入射する。

レンズ４３Ａの光学的な機能部分は、例えば、Ｙ方向と交差しかつ直交した平面としての仮想中心面に対する面対称形状を有している。レンズ４３Ａの入射面４３ａおよび出射面４３ｂは、Ｚ方向に沿う母線を有しＺ方向に延びた柱面を有している。入射面４３ａは、Ｘ１方向と直交する平面である。また、出射面４３ｂは、Ｘ１方向に凸の凸曲面である。

レンズ４３Ａは、レーザ光Ｌを、Ｙ方向において、すなわち遅軸においてコリメートする。レンズ４３Ａは、Ｚ方向と直交する断面において凸レンズである。レンズ４３Ａは、コリメートレンズとも称される。

［レーザ光のビームのアレイ］
図４は、サブユニット１００ａ２のアレイＡ２（図１参照）に含まれる当該サブユニット１００ａ２からの複数のレーザ光のビームＢの、集光レンズ１０４，１０５を経由して被結合部としての光ファイバ１０７へ至る光路を示す側面図である。なお、図４に示される各光路は、各ビームＢの中心軸（光軸）を示している。

上述したように、サブユニット１００ａ２のアレイＡ２において、各ミラー１０３で反射された複数のレーザ光のビームＢは、いずれもＹ方向に進むとともに、Ｚ方向に略等間隔で並び、かつ互いに平行である。そして、図１，２から、ビームＢは、Ｚ方向における表面１０１ｂからの距離が大きいほど、Ｙ方向における集光レンズ１０４からの距離が大きいミラー１０３で反射されていることがわかる。ここで、サブユニット１００ａ２における発光ユニット１０Ａ（発光素子３２）からミラー１０３までのビームＢの光路長は同じである。したがって、図４に示される複数のビームＢにあっては、表面１０１ｂから遠いほど、言い換えるとＺ方向の反対方向の端に位置するビームＢｎから遠いほど、さらに言い換えるとＺ方向の前方（図４では上方）に位置するほど、発光ユニット１０Ａから集光レンズ１０４までの光路長が長いことになる。

また、上述したように、発光素子３２から、レーザ光は、速軸方向にはシングルモードで出力されるとともに、遅軸方向にはマルチモードで出力されている。ここで、図４に示されている範囲において、レーザ光のビームＢの速軸方向はＺ方向であり、遅軸方向はＸ１方向およびＸ２方向である。また、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１が延びる方向であり、かつ集光レンズ１０４に入射するビームＢが進む方向であるＹ方向は、第一方向の一例であり、シングルモードとなるＺ方向は、第二方向の一例であり、マルチモードとなるＸ１方向およびＸ２方向は、第三方向の一例である。

このような構成において、発明者は、図４に示されるレーザ光のビームＢのアレイＡｒにおいては、ビームＢの発光ユニット１０Ａ（発光素子３２）から集光レンズ１０４までの距離が長いほど、すなわち、ビームＢがビームＢｎからより遠いほど、光ファイバ１０７への結合効率が低く、これにより、複数のビームＢのアレイＡｒの光ファイバ１０７への全体的な結合効率が低くなってしまうことを見出した。これは、発光ユニット１０Ａ（発光素子３２）から出力されたレーザ光のビームＢが、マルチモードとなる方向（図４に示されている範囲ではＸ１方向およびＸ２方向）においては、発光ユニット１０Ａ（発光素子３２）からの光路長が長くなるほど、当該マルチモードとなる方向におけるビーム幅がより大きく広がってしまうことによるものであると推定される。

そこで、本実施形態の発光装置１００は、図４に示されるように、複数のビームＢのアレイＡｒのＺ方向における中央に位置する中心線Ｃが、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対してＺ方向の反対方向にずれるよう、構成されている。具体的には、例えば、発光装置１００において、このようなずれが生じるよう、段差１０１ｂ１や、発光ユニット１０Ａ、サブユニット１００ａ、ミラー１０３、集光レンズ１０４、光ファイバ１０７等が配置されている。なお、中心線Ｃは、Ｚ方向の端に位置するビームＢ１の光軸と、Ｚ方向の反対方向の端に位置するビームＢｎの光軸との間に位置し、Ｙ方向に延びた仮想線である。

Ｚ方向において集光する集光レンズ１０４を通過する複数のビームＢにあっては、集光レンズ１０４の収差等の影響で、光軸Ａｘ１から遠いほど光ファイバ１０７への結合効率が低くなり、光軸Ａｘ１に近いほど光ファイバ１０７への結合効率が高くなる。よって、中心線Ｃを、光軸Ａｘ１に対してＺ方向の反対方向にずらすことにより、発光ユニット１０Ａからの光路長が長いビームＢを光軸Ａｘ１に近付け、その分、当該ビームＢの光ファイバ１０７への結合効率を高めることができる。レーザ光の波長が、４００［ｎｍ］以上５５０［ｎｍ］以下である場合、ビームＢの幅がより広がり易い。よって、中心線Ｃを光軸Ａｘ１に対してＺ方向の反対方向にずらすことによる効果は、レーザ光の波長が、４００［ｎｍ］以上５５０［ｎｍ］以下である場合に、特に効果的である。

また、ここでは、図４に示されるビームＢのアレイＡｒが、サブユニット１００ａ２のアレイＡ２に含まれる複数の発光ユニット１０Ａから出力されたレーザ光のビームＢによって構成される場合を例示したが、サブユニット１００ａ１のアレイＡ１に含まれる複数の発光ユニット１０Ａから出力されたレーザ光のビームＢによっても、図４と同様のアレイＡｒが構成され、サブユニット１００ａ２のアレイＡ２の場合と同様に、中心線Ｃを光軸Ａｘ１に対してＺ方向の反対方向にずらすことによる効果が得られる。

図５は、ビームＢのアレイＡｒの断面図である。図５に示されるように、アレイＡｒにおいて、複数のビームＢは、Ｚ方向において同じ幅ｗを有し、Ｚ方向に略一定のピッチｐで配置されている。ピッチｐは、例えば、幅ｗと略同じ値に設定される。なお、ビームＢの幅ｗは、レーザ光のビームプロファイルにおいて、光強度が所定値以上となる領域の幅である。所定値は、例えば、ピークの光強度の１／ｅ^２である。なお、図５では、複数のビームＢのＸ１方向およびＸ２方向における幅は、全て同じに描かれているが、実際には当該幅は、Ｚ方向の前方に（図５では上方）に位置するほど、広くなっている。

発明者は、中心線ＣのＺ方向の反対方向へのずれ量δ（図４参照）についての実験的な研究により、ずれ量δが、ｗ（≒ｐ）を上回ると、すなわち、ずれが過多であると、Ｚ方向の反対方向の端に位置するビームＢｎ（Ｂ）において光ファイバ１０７への結合効率が低下し、ひいてはアレイＡｒに含まれる全てのビームＢの光ファイバ１０７への全体的な結合効率が低下することが判明した。また、逆に、ずれ量δが、０．２５ｗ（≒０．２５ｐ）を下回ると、すなわち、ずれが不足であると、Ｚ方向の端に位置するビームＢ１（Ｂ）において光ファイバ１０７への結合効率が低下し、ひいてはアレイＡｒに含まれる全てのビームＢの光ファイバ１０７への全体的な結合効率が低下することが判明した。すなわち、発明者は、実験的な研究により、ずれ量δが、０．２５ｗ以上かつｗ以下、あるいは０．２５ｐ以上かつｐ以下であるのが好ましいことを見出した。

さらに、発明者は、実験的な研究により、０．２５ｗ以上かつｗ以下となるずれ量δの範囲において、アレイＡｒに含まれる複数のビームＢの光ファイバ１０７への全体的な結合効率が最も高くなるずれ量δは、サブユニット１００ａ１のアレイＡ１とサブユニット１００ａ２のアレイＡ２とについて相違することを見出した。これは、アレイＡ１に属する発光ユニット１０Ａと集光レンズ１０４との間の光路長の平均値と、アレイＡ２属する発光ユニット１０Ａと集光レンズ１０４との間の光路長の平均値とが、互いに異なることによるものと推定される。したがって、ずれ量δは、アレイＡｒを構成する複数のビームＢを出力する複数の発光ユニット１０Ａ（以下、これを発光ユニット群と称する）毎に、適宜に設定されるのが好ましい。サブユニット１００ａ１に含まれる複数の発光ユニット１０Ａは、第一発光ユニット群の一例であり、サブユニット１００ａ２に含まれる複数の発光ユニット１０Ａは、第一発光ユニット群の一例である。なお、上述したように、サブユニット１００ａ１に含まれる複数の発光ユニット１０Ａからのレーザ光のビームＢの偏光面と、サブユニット１００ａ２に含まれる複数の発光ユニット１０Ａからのレーザ光のビームＢの偏光面とは、互いに直交している。

以上、説明したように、本実施形態では、図４に示されるように、アレイＡｒのＺ方向における中心線Ｃが、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対して、Ｚ方向の反対方向にずれている。このような構成により、発光ユニット１０Ａからの光路長が長いことによりＸ１方向およびＸ２方向において光ファイバ１０７への結合効率が低下しているビームＢを、光軸Ａｘ１のより近くに位置することにより、当該ずれの無い場合に比べて、Ｚ方向において当該ビームＢの光ファイバ１０７への結合効率を高めることができる。これにより、複数のビームＢのアレイＡｒの光ファイバ１０７への全体的な結合効率を、より高めることができる。

［第２実施形態］
図６は、第２実施形態の発光装置１００Ｂ（１００）に含まれる光学系１１０の側面図である。

図６に示される光学系１１０は、集光レンズ１０４の前段、すなわち光合成部１０８と集光レンズ１０４との間に、設けられる。光学系１１０は、二つの反射面１１１ｂ１，１１１ｂ２を有した、例えばダブプリズムのような光学部品１１１Ｂを有している。この場合、光学系１１０は、レーザ光のビームＢを、反射面１１１ｂ１，１１１ｂ２で反射することにより、Ｙ方向に進むビームＢを、Ｚ方向の反対方向にずらすとともに、Ｙ方向に出力している。なお、図６には、一つのビームＢの光路のみが描かれているが、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢ（図４参照）が、光学系１１０を経由することができる。すなわち、光学系１１０は、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢを、一括してＺ方向の反対方向にずらすことができる。

このような構成によれば、集光レンズ１０４の前段に光学系１１０を追加することにより、例えば、段差１０１ｂ１や、発光ユニット１０Ａ、サブユニット１００ａ、ミラー１０３、集光レンズ１０４、光ファイバ１０７等の相互の配置を調整することなく、比較的容易に、アレイＡｒのＺ方向における中心線Ｃを、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対して、Ｚ方向の反対方向にずらすことができる。すなわち、本実施形態によれば、複数のビームＢのアレイＡｒの光ファイバ１０７への全体的な結合効率がより高い状態を、比較的容易に実現することができる。また、ずれ量δが異なる複数の光学系１１０を用意しておき、製造ばらつきが生じた場合等においても、より高い結合効率が得られるずれ量δを与える光学系１１０を選択的に設けることにより、全体的な結合効率がより一層高い状態を、比較的容易に実現することができる。

なお、光学部品１１１Ｂは、スペックを種々に変更して実施することができる。例えば、反射面１１１ｂ１，１１１ｂ２の数は、３以上であってもよいし、反射面１１１ｂ１，１１１ｂ２のＹ方向やＺ方向に対する傾斜角度は、図６の例とは異なってもよい。

［第３実施形態］
図７は、第３実施形態の発光装置１００Ｃ（１００）に含まれる光学系１１０の側面図である。

図７に示される光学系１１０も、集光レンズ１０４の前段、すなわち光合成部１０８と集光レンズ１０４との間に、設けられる。光学系１１０は、二つの屈折面１１１ｃ１，１１１ｃ２を有してビームＢを透過する、例えば平行平板のような光学部品１１１Ｃである。この場合、光学系１１０は、レーザ光のビームＢを、屈折面１１１ｃ１，１１１ｃ２で屈折することにより、Ｙ方向に進むビームＢを、Ｚ方向の反対方向にずらすとともに、Ｙ方向に出力している。なお、図７には、一つのビームＢの光路のみが描かれているが、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢ（図４参照）が、光学系１１０を経由することができる。すなわち、光学系１１０は、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢを、一括してＺ方向の反対方向にずらすことができる。すなわち、光学系１１０は、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢを、一括してＺ方向の反対方向にずらすことができる。

本実施形態によっても、上記第２実施形態と同様の効果が得られる。また、本実施形態によれば、Ｚ方向またはＹ方向に対する光学部品１１１Ｃの傾斜角度を変更することにより、ずれ量δを比較的容易に変更することができるという利点も得られる。なお、光学部品１１１Ｃは、例えば、厚さや、長さ、形状のようなスペックを種々に変更して実施することができる。

［第４実施形態］
図８は、第４実施形態の発光装置１００Ｄ（１００）に含まれる光学系１１０の側面図である。

図８に示される光学系１１０は、集光レンズ１０４の前段、すなわち光合成部１０８と集光レンズ１０４との間に、設けられる。光学系１１０は、それぞれ反射面１１１ｄを有した例えばミラーのような二つの光学部品１１１Ｄを有している。この場合、光学系１１０は、レーザ光のビームＢを、二つの反射面１１１ｄで反射することにより、Ｙ方向に進むビームＢを、Ｚ方向の反対方向にずらすとともに、Ｙ方向に出力している。なお、図８には、一つのビームＢの光路のみ描かれているが、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢ（図４参照）が、光学系１１０を経由することができる。すなわち、光学系１１０は、アレイＡｒに含まれる全てのビームＢを、一括してＺ方向の反対方向にずらすことができる。

本実施形態によっても、上記第２実施形態と同様の効果が得られる。また、本実施形態によれば、二つの光学部品１１１Ｄの配置を変更することにより、ずれ量δを比較的容易に変更することができるという利点も得られる。なお、光学部品１１１Ｄは、スペックを種々に変更して実施することができる。例えば、光学部品１１１Ｄの数は、３以上であってもよいし、反射面１１１ｄのＹ方向やＺ方向に対する傾斜角度は、図８の例とは異なってもよい。

［第５実施形態］
図９は、第５実施形態の発光装置１００Ｅ（１００）の平面図である。発光装置１００Ｅは、サブユニット１００ａの光学部品の構成が異なる点を除き、第１実施形態の発光装置１００Ａ（１００）と同様の構成を備えている。

本実施形態では、サブユニット１００ａは、発光ユニット１０Ｅ、レンズ４２Ｂ、レンズ４３Ｂ、およびミラー１０３を有している。発光ユニット１０Ｅは、第１実施形態のようなケース２０（図３参照）を有さず、チップオンサブマウント３０を有している。当該チップオンサブマウント３０は、発光装置１００Ｄの収容室内では露出している。レンズ４２Ｂは、発光素子３２からのレーザ光を、Ｚ方向において、すなわち速軸においてコリメートする。また、レンズ４３Ｂは、レンズ４２Ｂからのレーザ光を、Ｙ方向において、すなわち遅軸においてコリメートする。

本実施形態でも、例えば、第１実施形態のように段差１０１ｂ１（図２参照）や、発光ユニット１０Ｅ、サブユニット１００ａ、ミラー１０３、集光レンズ１０４、光ファイバ１０７等の相互の配置を調整したり、集光レンズ１０４の前段に上記第２～第４実施形態のような光学系１１０を追加したりすることにより、図４と同様に、アレイＡｒのＺ方向における中心線Ｃを、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対して、Ｚ方向の反対方向にずらすことができる。すなわち、本実施形態によっても、上記第１～第４実施形態と同様の効果を得ることができる。

［第６実施形態］
図１０は、第６実施形態の発光装置１００Ｆ（１００）の平面図である。発光装置１００Ｆは、複数の発光素子３２が、互いに異なる波長（λ１，λ２，・・・，λｎ－１，λｎ）のレーザ光を出力し、１／２波長板１０８ｃを有しない点を除き、上記第５実施形態の発光装置１００Ｅと同様の構成を備えている。複数の波長の間隔は、例えば、中心波長間で、５［ｎｍ］～２０［ｎｍ］である。また、ここで合成される光には、青色のレーザ光が含まれてもよい。

本実施形態でも、例えば、第１実施形態のように段差１０１ｂ１（図２参照）や、発光ユニット１０Ｅ、サブユニット１００ａ、ミラー１０３、集光レンズ１０４、光ファイバ１０７等の相互の配置を調整したり、集光レンズ１０４の前段に上記第２～第４実施形態のような光学系１１０を追加したりすることにより、図４と同様に、アレイＡｒのＺ方向における中心線Ｃを、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対して、Ｚ方向の反対方向にずらすことができる。すなわち、本実施形態によっても、上記第１～第４実施形態と同様の効果を得ることができる。

［第７実施形態］
図１１は、第７実施形態の発光装置１００Ｇ（１００）の斜視図である。図１１に示されるように、本実施形態では、複数の発光ユニット１０Ａは、ベース１０１の段差の無い平面状の一つの表面１０１ｂ上に並んでいる。これら複数の発光ユニット１０Ａからのレーザ光は、Ｙ方向に等間隔で並ぶ。

そして、発光ユニット１０Ａからレンズ４３Ｂ等を通ってＺ方向の反対方向に向かう光は、まずはミラー１０３ａによってＸ方向に反射された後、ミラー１０３ｂによってＹ方向に反射されて、集光レンズ１０４に向かう。ここで、ベース１０１は、Ｚ方向を向き階段状に並ぶ複数の側面１０１ｆ（段差）を有している。側面１０１ｆは、それぞれ、Ｚ方向と交差し、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。また、側面１０１ｆは、Ｙ方向の反対方向に向かうにつれてＺ方向に段差状にずれている。光学的に接続されたミラー１０３ａおよびミラー１０３ｂのセットは、それぞれ、側面１０１ｆ上に実装されている。このような構成により、各ミラー１０３ｂから集光レンズ１０４に向けてＹ方向に進む光は、集光レンズ１０４への入射面において、互いに平行であり、Ｚ方向に等間隔で並んでいる。各発光ユニット１０Ａからの光は、集光レンズ１０４，１０５を経由して、光ファイバ１０７へ結合される。

本実施形態でも、集光レンズ１０４へ入力されるレーザ光のビームは、図４に示された配置と同様の配置を有している。よって、本実施形態によれば、例えば、第１実施形態のように、側面１０１ｆや、ミラー１０３ａ，１０３ｂ、集光レンズ１０４、光ファイバ１０７等の相互の配置を調整することにより、アレイＡｒのＺ方向における中心線Ｃを、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対して、Ｚ方向の反対方向にずらすことができる。また、本実施形態でも、集光レンズ１０４の前段に上記第２～第４実施形態のような光学系１１０を追加することにより、アレイＡｒのＺ方向における中心線Ｃを、集光レンズ１０４の光軸Ａｘ１に対して、Ｚ方向の反対方向にずらすことができる。すなわち、本実施形態によっても、上記第１～第４実施形態と同様の効果を得ることができる。

［第８実施形態］
［光源装置］
図１２は、上記第１～第７実施形態のいずれかの発光装置１００が実装された第８実施形態の光源装置２００の構成図である。光源装置２００は、励起光源として、複数の発光装置１００を備えている。複数の発光装置１００から出力されたレーザ光は、光ファイバ１０７を介して光結合部としてのコンバイナ２０１に伝送される。光ファイバ１０７の出力端は、複数入力１出力のコンバイナ２０１の複数の入力ポートにそれぞれ結合されている。なお、光源装置２００は、複数の発光装置１００を有するものに限定されるものではなく、少なくとも１つの発光装置１００を有していればよい。

本実施形態の光源装置２００によれば、上記第１～第７実施形態の発光装置１００を備えていることにより、上記第１～第７実施形態と同様の効果を得ることができる。

以上、本発明の実施形態が例示されたが、上記実施形態は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、等のスペック（構造や、種類、方向、型式、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。

１０Ａ，１０Ｅ…発光ユニット
２０…ケース
２１…壁部材
２１ａ…ベース
２１ｂ…開口部
２２…窓部材
３０…チップオンサブマウント
３１…サブマウント
３１ａ…メタライズ層
３２…発光素子
４１Ａ…レンズ
４１ａ…入射面
４１ｂ…出射面
４２Ａ，４２Ｂ…レンズ
４２ａ…入射面
４２ｂ…出射面
４３Ａ，４３Ｂ…レンズ
４３ａ…入射面
４３ｂ…出射面
１００，１００Ａ～１００Ｆ…発光装置
１００ａ，１００ａ１，１００ａ２…サブユニット
１０１…ベース
１０１ｂ…表面
１０１ｂ１…段差
１０１ｄ…遮蔽壁
１０１ｆ…側面（段差）
１０３…ミラー
１０３ａ，１０３ｂ…ミラー
１０４，１０５…集光レンズ
１０６ａ…ファイバ支持部
１０７…光ファイバ
１０８…光合成部
１０８ａ…コンバイナ
１０８ｂ…ミラー
１０８ｃ…１／２波長板
１０９…冷媒通路
１０９ａ…入口
１０９ｂ…出口
１１０…光学系
１１１Ｂ…光学部品
１１１ｂ１，１１１ｂ２…反射面
１１１Ｃ…光学部品
１１１ｃ１，１１１ｃ２…屈折面
１１１Ｄ…光学部品
１１１ｄ…反射面
２００…光源装置
２０１…コンバイナ
Ａｘ…中心軸
Ａｘ１…光軸
Ａ１，Ａ２…アレイ
Ａｒ…アレイ
Ｂ，Ｂ１，Ｂｎ…ビーム
Ｃ…中心線
Ｌ…レーザ光
Ｐｃｚ…集束点
ｐ…ピッチ
Ｖｃ２…仮想中心面
Ｗｚａ…ビーム幅
Ｗｚｃ…ビーム幅
ｗ…幅
Ｘ１…方向（第三方向）
Ｘ２…方向（第三方向）
Ｙ…方向（第一方向）
Ｚ…方向（第二方向）
δ…ずれ量

Claims (12)

1. 光軸が第一方向に沿い当該第一方向と直交した第二方向において光を集光する集光レンズであって、前記第一方向に進み前記第二方向に間隔をあけて並んだ複数の光のビームのアレイが入力される集光レンズと、
   それぞれ前記アレイに含まれる前記ビームを出力する複数の発光ユニットを含む発光ユニット群であって、各発光ユニットは前記第二方向においてシングルモードとなりかつ前記第一方向および前記第二方向と直交した第三方向においてマルチモードとなる前記ビームを出力し、前記発光ユニットから出力された前記ビームが当該アレイの前記第二方向の反対方向の端に位置する前記ビームから遠いほど当該ビームを出力する発光ユニットと前記集光レンズとの間の光路長が長い、発光ユニット群と、
   を備え、
   前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットから出力された前記ビームの前記アレイの前記第二方向における中央に位置する中心線が、前記集光レンズの光軸に対して前記第二方向の反対方向にずれた、発光装置。
2. 前記発光ユニット群として、当該発光ユニット群に含まれる複数の発光ユニットと前記集光レンズとの間の光路長の平均値が互いに異なる複数の発光ユニット群を備え、
   前記複数の発光ユニット群のそれぞれに対応した前記中心線の前記光軸に対するずれ量が互いに異なる、請求項１に記載の発光装置。
3. 前記複数の発光ユニット群は、第一発光ユニット群と、第二発光ユニット群と、を含み、
   前記第一発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットに対応した前記アレイに含まれる光の偏光面と、前記第二発光ユニット群に対応した前記アレイに含まれる光の偏光面とが、互いに直交する、請求項２に記載の発光装置。
4. 前記発光ユニット群は、アレイ状に配置された前記複数の発光ユニットを含む、請求項１～３のうちいずれか一つに記載の発光装置。
5. 前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットが、前記第二方向に互いにずれて配置された、請求項１～４のうちいずれか一つに記載の発光装置。
6. 前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットから出力され前記第二方向と直交した光路を進む複数の光のビームを前記第二方向の反対方向にずらし、前記第二方向と直交した方向に出力する光学系を備えた、請求項１～５のうちいずれか一つに記載の発光装置。
7. 前記光学系は、複数の反射面を有した光学部品を含む、請求項６に記載の発光装置。
8. 前記光学系は、複数の屈折面を有した光学部品を含む、請求項６に記載の発光装置。
9. 前記光学系は、それぞれ反射面を有した複数の光学部品を含む、請求項６に記載の発光装置。
10. 前記発光ユニット群に含まれる前記複数の発光ユニットから出力される光のビームの幅をｗとしたとき、当該発光ユニット群に対応した前記中心線の、前記集光レンズの光軸に対するずれ量が、０．２５ｗ以上ｗ以下である、請求項１～９のうちいずれか一つに記載の発光装置。
11. 前記発光ユニットが出力する光の波長が、４００［ｎｍ］以上５５０［ｎｍ］以下である、請求項１～１０のうちいずれか一つに記載の発光装置。
12. 請求項１～１１のうちいずれか一つに記載の発光装置を備えた、光源装置。

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