JP2023139496A - 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 - Google Patents

液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ニードル弁の先端部を必要に応じて液滴吐出ヘッドの内部に収容可能にする。【解決手段】液体流路112が形成された下部ハウジング10bと、下部ハウジング10bの上に着脱可能に配設された上部ハウジング10aと、下部ハウジング10bに配設されたノズル板101と、ノズル板101に形成されたノズル孔111を開閉する弁体113aを先端部に支持し上部ハウジング10aに往復動可能に配設された軸状部材(ニードル弁113)と、上部ハウジング10aに配設され軸状部材を往復動する駆動手段(圧電素子114)とを有する液滴吐出ヘッド1において、軸状部材は、軸状部材の先端部が上部ハウジング10aの下面から突出する長さを短くするように、軸線方向に移動可能に配設されていることを特徴とする。【選択図】図3

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置に関する。
液滴吐出装置は、ノズル板に形成された微細なノズル孔をニードル弁の先端部の弁体で開閉することで、ノズル板の内側の加圧液体をノズル孔から液滴として吐出する。ニードル弁の後端部は伸縮作動する圧電素子などの駆動体(アクチュエータ)に連結される。駆動体が長手方向に伸縮作動(振動)することで弁体が開閉され、弁体が開いた瞬間にノズル孔から高圧インクが液滴となって噴射される。
ニードル弁の駆動手段は、例えば特許文献(特開2020‐199659号公報)のように電磁ソレノイドを使用したもののほか、圧電素子を使用したものなどがある。このような液滴吐出装置は様々な分野で使用され、例えば自動車の車体に図形等を高画質で描画したり、あるいは液体レジストやDNA試料を液滴として吐出したりするのに使用される。
ニードル弁は微細なノズル孔に対応して非常に細く一定の長さを有する。この細長いニードル弁の先端部にノズル孔の開閉を担う弁体が配設されている。したがって、ニードル弁の先端部に対して外部からの衝撃が作用したり異物等が付着したりしないように慎重に取り扱う必要がある。
しかしながら、液滴吐出ヘッドの組立工程や輸送工程、或いは防爆認証試験時などにおいて、ニードル弁の先端部を外部に露出せざるを得ない状況がある。ニードル弁の先端部を外部に露出した状態で外部から衝撃が加わると、ヘッドやそのニードル弁が破損するおそれがある。下部ハウジングは爆発危険性のある溶剤接触部品のため、防爆認証試験では必ず取外す必要がある。
防爆認証試験では、ニードル弁の先端部を覆う下部ハウジングを取外した状態の液滴吐出ヘッドに対して鋼球を落下させ耐衝撃性を試験するが、鋼球の当たり方によってはニードル弁の先端部が鋼球の衝撃で破損するおそれがある。
そこで本発明の目的は、ニードル弁の先端部を必要に応じて液滴吐出ヘッドの内部に収容可能にし、ヘッドあるいはニードル弁の破損を防止することにある。
前記課題を解決するため、本発明の液滴吐出ヘッドは、液体流路が形成された下部ハウジングと、当該下部ハウジングの上に着脱可能に配設された上部ハウジングと、前記下部ハウジングに配設されたノズル板と、当該ノズル板に形成されたノズル孔を開閉する弁体を先端部に支持し前記上部ハウジングに往復動可能に配設された軸状部材と、前記上部ハウジングに配設され前記軸状部材を往復動する駆動手段とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記軸状部材は、前記軸状部材の先端部が前記上部ハウジングの下面から突出する長さを短くするように、軸線方向に移動可能に配設されていることを特徴とする。
本発明により、ニードル弁の先端部を必要に応じて液滴吐出ヘッドの内部に収容することができ、ヘッドあるいはニードル弁の破損を防止することができる。
本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの正面図である。 本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図である。 下部ハウジングを取外した液滴吐出ヘッドの正面図である。 液滴吐出ヘッドの下端部の拡大斜視図である。 液滴吐出ヘッドの弁体を(a)突出させた状態の断面図と(b)引込めた状態の断面図である。 液滴吐出ヘッドの後端部の斜視図である。 液滴吐出装置の斜視図である。 液滴吐出装置の駆動部の斜視図である。
(●液滴吐出ヘッド)
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。図1Aは液滴吐出ヘッド1の正面図、図1Bは液滴吐出ヘッド1を斜め下方から見た斜視図である。
液滴吐出ヘッド1のハウジング10は、上部ハウジング10aと下部ハウジング10bを有する。上部ハウジング10aの上にカバー20が取付けられ、このカバー20の内側に電装品が配設されている。カバー20の上端部には電装品のコネクタ部2が設けられている。
下部ハウジング10bの下面に、耐腐食性のSUSなどの金属で構成されたノズル板101が配設されている。ノズル板101に形成された微細なノズル孔111から液滴が吐出される。
下部ハウジング10bの内側には図3のように液体の流路112が形成されている。この流路112の一端は供給ポート11に連通し、他端は回収ポート12に連通している。
供給ポート11と回収ポート12は循環通路Lを介して連結され、循環通路LのポンプPによって加圧された加圧液体が供給ポート11に供給されるようになっている。ノズル孔111から吐出されなかった加圧液体は、回収ポート12から回収された後、循環通路LとポンプPを経由して再び供給ポート11に供給される。
前述した下部ハウジング10bを取外すと、図2A、図2Bのように軸状部材としてのニードル弁113の先端部が、上部ハウジング10aの下面の軸受121から露出する。ニードル弁113は耐腐食性のSUSなどの金属で構成され、細い部分で直径1mm以下、太い部分でも直径2mm程度で非常に細い。この細いニードル弁113が上部ハウジング10aの軸受121から、例えば1~20mmの長さで露出する。
ニードル弁113の先端部にはノズル孔111を開閉する弁体113aが配設されている。弁体113aの上側に、シール部材としての弾性を有するOリング113bと、当該Oリング113bをニードル弁113に固定するためのワッシャー113cが配設されている。
従来の液滴吐出ヘッド1は、図2A、図2Bのようにニードル弁113の先端部が上部ハウジング10aから露出した状態であった。このため、液滴吐出ヘッド1の組立工程、輸送工程、或いは防爆認証試験時などにおいて損傷する可能性があった。
本実施形態では、図3(a)(b)のようにニードル弁113の先端部を上部ハウジング10aに対して出し入れ可能にしている。したがって、組立工程、輸送工程、或いは防爆認証試験時において、ニードル弁113の先端部を必要に応じて上部ハウジング10aに引込むことができる。
(●ニードル弁の開閉駆動)
図3に示すように、ニードル弁113と当該ニードル弁113を駆動する圧電素子114が上部ハウジング10aに配設されている。圧電素子114は、保持部材115の中央空間115a内に保持されている。
この保持部材115の上下両端部にはバネ部が形成され、当該バネ部によって圧電素子114が軸線方向で圧縮状態に保持されている。保持部材115の先端部115bとニードル弁113の後端部は、圧電素子114とニードル弁113を同軸状にして連結されている。これにより、圧電素子114が長手方向で収縮したとき、保持部材115も長手方向で収縮して、ノズル孔111が開く方向の付勢力をニードル弁113に作用させることができる。
圧電素子114は、電圧印加手段によって電圧が印加されたときにd31モードで動作して、ノズル孔111が開く方向にニードル弁113を駆動する。つまり、ニードル弁113は、圧電素子114に電圧が印加されることによりノズル孔111が開く方向に駆動される。
したがって、圧電素子114に電圧を印加していないときには、ニードル弁113がノズル孔111を閉塞している。このため、流路112に加圧液体が供給されていても、ノズル孔111から液体が吐出されることはない。
そして、圧電素子114に電圧を印加することで、圧電素子114が収縮して、保持部材115を介してニードル弁113を引っ張るので、ニードル弁113の弁体113aがノズル孔111から離間してノズル孔111を開放する。これにより、流路112に供給されている加圧液体が液滴となってノズル孔111から吐出される。
圧電素子114は、電圧が印加されたときにニードル弁113を閉じる方向に伸長するd33モードで動作させることも可能である。圧電素子がd33モードで動作するときには、電圧を印加した状態でニードル弁113の弁体113aがノズル孔111側に押し付けられてノズル孔111を閉塞する。
液滴を吐出させるときは、圧電素子114に対する電圧の印加を停止あるいは電圧を低くすることで、ニードル弁113の弁体113aを開く方向に移動させてノズル孔111を開放する。圧電素子114のd33モードは、応答性が高く変位量が大きい。したがって、ニードル弁113の開閉動作の応答性を高め、ノズル孔111から吐出する液体の滴速度、滴量のばらつきを小さくしたい場合はd33モードが適する。
(●ニードル弁の上下移動)
保持部材115は、上部ハウジング10a内で図3の上下方向に位置調整可能に配設されている。そして保持部材115は上部ハウジング10aに配設された圧縮バネ116によって上方に付勢されている。この圧縮バネ116は、後述する固定ねじ124を緩めた瞬間に、保持部材115と共にニードル弁113を図3(b)のように上方に移動させるためのものである。圧縮バネ116なしで、ニードル弁113を手動で図3(b)のように上方に移動させることも可能である。
保持部材115の後端部115cは、固定ねじ124によって、上部ハウジング10aに位置決め固定できるようになっている。保持部材115の後端部115cには、軸線方向と直角方向に雌ねじ孔115dが形成され、この雌ねじ孔115dに固定ねじ124の先端が螺合されている。なお、ニードル弁113の位置を容易に可変させないようにしたい場合や、特定の権限を有する人のみニードル弁113の位置を変更可能にしたい場合は、固定ねじ124にトルクス(登録商標)ねじなどの特殊ねじを使用することができる。
上部ハウジング10aの上端部には、図4に示すように軸線方向の長孔30が形成され、この長孔30に固定ねじ124が挿通されている。固定ねじ124を緩めると保持部材115が上下移動可能になる。
固定ねじ124は、図3(a)の状態で、弁体113aとノズル孔111との間に所定の隙間δが形成される位置で長孔30に対して締付け固定される。この状態で液滴吐出ヘッド1が製品として納品される。また、固定ねじ124を緩めると、図3(b)、図4(b)のように圧縮バネ116の付勢力で固定ねじ124が長孔30の上端部まで移動して停止する。
したがって、ニードル弁113の先端部の弁体113aを、図3(b)のように上部ハウジング10aの下面と一致する位置まで軸受121内にすばやく引込むことができる。すなわち、弁体113aを含むニードル弁113の先端部が上部ハウジング10aの下面から突出する長さを短くすることができる。したがって、この図3(b)の状態では、下部ハウジング10bを取外しても、ニードル弁113の先端部や弁体113aが外部からの衝撃等で損傷することがない。また、弁体113aに異物等が付着するのを防止することができる。
保持部材115およびニードル弁113は、圧電素子114を駆動しない状態で、固定ねじ124を移動させることで軸線方向に移動可能に配設されている。これにより、圧電素子114へ電圧を印加しなくても、保持部材115およびニードル弁113の位置を調整することができる。
ニードル弁113の先端部は、図3(b)のように上部ハウジング10aの中に完全に引込むのが望ましい。しかしながら、ニードル弁113の先端部を図3(a)の状態から上部ハウジング10aの中に部分的に引込む場合も本願発明の範囲に含まれる。
(●液滴吐出装置)
次に、図1の液滴吐出ヘッド1を利用した液滴吐出装置500の実施形態を図5と図6を参照して説明する。図5は液滴吐出装置500の斜視図、図6は液滴吐出装置500の駆動部の斜視図である。
液滴吐出装置500は、車両のボンネットなどの曲面を有する印刷対象物700に対向させて据付けられる移動可能な枠ユニット802を備えている。枠ユニット802を構成する左右の枠部材810,811には、枠部材810,811に架け渡されるようにして、可動ユニット813が垂直方向(Y方向)へ昇降可能に取り付けられている。
可動ユニット813には、可動ユニット813上を水平方向(X方向)に往復移動可能に配置されたモータを内蔵する駆動部803と、この駆動部803に取り付けられて印刷対象物700へ向けて液体を吐出する液滴吐出ユニット501とが搭載されている。
また、液滴吐出ユニット501からの液体の吐出、駆動部803の往復移動及び可動ユニット813の昇降を制御するコントローラ805と、このコントローラ805に対して指示を行うPC(パーソナルコンピュータ)などの情報処理装置806とを備えている。情報処理装置806には、形状や大きさなどの印刷対象物700に関する情報を記録保存するデータベース部(DB部)807が接続されている。
枠ユニット802は、金属柱状体等によって形成された上下左右の枠部材808,809,810,811と、枠ユニット802を自立させるために下側の枠部材809の両側に直角且つ水平に取り付けられた左右の脚部材812a,812bを備えている。そして、左右の枠部材810,811の間に架け渡された可動ユニット813は、駆動部803を支持した状態で昇降可能に構成されている。
印刷対象物700は、液体の吐出方向(Z方向)に直角に、すなわち、枠ユニット802の上下左右の枠部材808,809,810,811によって形成される平面に対向するようにして配置される。この場合、印刷を行うべき所定の位置に印刷対象物700を配置させるためには、例えば、多関節型アームロボットのアームの先端に取り付けたチャックによって印刷対象物700の印刷領域の裏側を吸着保持させることによって行うことができる。多関節型アームロボットを用いることで印刷対象物700をプリント位置に正確に配置することが可能となり、印刷対象物700の姿勢を適宜に変更することもできる。
駆動部803は、図5に示すように、可動ユニット813上を水平方向(X方向)に往復移動可能に配置されている。可動ユニット813は、枠ユニット802の左右の枠部材810,811に架け渡されるようにして水平に配設されたレール830と、このレール830と平行となるように配設されたラックギヤ831と、レール830の一部に外嵌されてスライドしながら移動するリニアガイド832と、このリニアガイド832と連結されてラックギヤ831と噛合うピニオンギヤユニット833と、このピニオンギヤユニット833を回転駆動する減速機836付きのモータ834と、印刷点位置検出用のロータリエンコーダ835を備えて構成されている。
モータ834を駆動(正転又は逆転)することによって、液滴吐出ユニット501を可動ユニット813に沿って右方向または左方向に移動させる。そして、駆動部803は液滴吐出ユニット501のX方向の駆動機構として機能する。なお、減速機836の筐体の両側にはリミットスイッチ837a,837bが取付けられている。
液滴吐出ユニット501は、例えば、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー、ホワイトの各色の液体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド1、又は、複数のノズル列を有する液滴吐出ヘッド1を備えている。この液滴吐出ユニット501の各液滴吐出ヘッド1又は液滴吐出ヘッド1の各ノズル列に対しては、液体タンクから各色の液体が加圧供給される。
この液滴吐出装置500においては、可動ユニット813をY方向に移動させ、液滴吐出ユニット501をX方向に移動させて、印刷対象物700に所要の画像を印刷する。前述の「液滴吐出装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターンや一様な塗料の膜などを形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。例えば、ニードル弁113を上方に付勢する圧縮バネ116は、同様の付勢力を有する板バネに代替したり、モータなどを使用した駆動部に代替したりすることができる。
なお、本実施形態ではノズル板101に近いほうのハウジングを下部ハウジング、遠いほうのハウジングを上部ハウジングとそれぞれ定義したが、「上部」および「下部」の文言は、液体吐出ヘッドの製造時や使用時における、各部材の重力方向の位置関係や配置関係を限定するものではない。
また、圧電素子114は、長手方向に伸縮作動する他の駆動体に代替可能である。例えば、電磁ソレノイドで長手方向に伸縮作動するピストンを圧電素子114の代わりに使用することも可能である。
1:液滴吐出ヘッド 2:コネクタ部
10:ハウジング 10a:上部ハウジング
10b:下部ハウジング 11:供給ポート
12:回収ポート 20:カバー
30:長孔 101:ノズル板
111:ノズル孔 112:液体流路
113:ニードル弁 113a:弁体
113b:Oリング 113c:ワッシャー
114:圧電素子 115:保持部材
115a:中央空間 115b:先端部
115c:後端部 115d:雌ねじ孔
116:圧縮バネ 121:軸受
124:固定ねじ 500:液滴吐出装置
501:液滴吐出ユニット 700:印刷対象物
802:枠ユニット 803:駆動部
805:コントローラ 806:情報処理装置
807:データベース部(DB部) 808~811:枠部材
812a,812b:脚部材 813:可動ユニット
830:レール 831:ラックギヤ
832:リニアガイド 833:ピニオンギヤユニット
834:モータ 835:ロータリエンコーダ
836:減速機 836:減速機
837a,837b:リミットスイッチ L:循環通路
P:ポンプ δ:隙間
特開2021-151767号公報

Claims (7)

  1. 液体流路が形成された下部ハウジングと、当該下部ハウジングの上に着脱可能に配設された上部ハウジングと、前記下部ハウジングに配設されたノズル板と、当該ノズル板に形成されたノズル孔を開閉する弁体を先端部に支持し前記上部ハウジングに往復動可能に配設された軸状部材と、前記上部ハウジングに配設され前記軸状部材を往復動する駆動手段とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、
    前記軸状部材は、前記軸状部材の先端部が前記上部ハウジングの下面から突出する長さを短くするように、軸線方向に移動可能に配設されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
  2. 前記軸状部材を前記上部ハウジング側に付勢する付勢手段が配設されていることを特徴とする請求項1の液滴吐出ヘッド。
  3. 前記駆動手段が圧電素子と当該圧電素子を保持する保持部材を有し、当該保持部材の後端部を前記上部ハウジングに位置決め固定することで前記軸状部材を位置決めするようにしたことを特徴とする請求項1又は2の液滴吐出ヘッド。
  4. 前記上部ハウジングの後端部に長孔が形成され、当該長孔に挿入された固定ねじを前記保持部材の後端部に螺合することで前記保持部材を前記上部ハウジングに対して位置決めするようにしたことを特徴とする請求項3の液滴吐出ヘッド。
  5. 前記固定ねじを締付けない状態において、前記軸状部材が前記付勢手段によって前記上部ハウジング側に移動し、前記上部ハウジングの下面から突出する前記軸状部材の先端部の長さが短縮することを特徴とする請求項4の液滴吐出ヘッド。
  6. 前記軸状部材は、前記駆動手段を駆動しない状態で、軸線方向に移動可能に配設されていることを特徴とする1から5のいずれか1項の液滴吐出ヘッド。
  7. 請求項1から6のいずれか1項の前記液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
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JPH02274550A (ja) * 1989-04-17 1990-11-08 Komori Corp 画像記録装置のヘッド制御方法
JP5806868B2 (ja) * 2011-07-11 2015-11-10 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴吐出装置および方法
JP2020199659A (ja) 2019-06-07 2020-12-17 セーレン株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP2021151767A (ja) * 2020-03-23 2021-09-30 株式会社リコー 吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置

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