JP2024059285A - 液体吐出方法、ヘッドユニットおよび塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体の吐出条件を狙いの条件に設定する場合の効率低下を低減する。【解決手段】液室内の液体を吐出するノズル孔と、前記液室内に設けられる弁体と、前記弁体を前記ノズル孔を閉鎖する位置と開放する位置とに移動させる駆動体と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動体に、前記ノズル孔を開放する位置に前記弁体を移動させる開放電圧および前記ノズル孔を閉鎖する位置に前記弁体を移動させる閉鎖電圧を印加する駆動制御部と、を備えるヘッドユニットの液体吐出方法であって、前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報に基づき前記開放電圧の電圧値を補正する開放電圧補正ステップと、前記情報に基づき前記開放電圧の印加時間を補正する開放時間補正ステップと、を有し、前記開放電圧補正ステップは前記吐出量の変化が少ない状況下で実施し、前記開放時間補正ステップは前記吐出速度の変化が少ない状況下で実施する。【選択図】図８

Description

本発明は、液体吐出方法、ヘッドユニットおよび塗布装置に関するものである。

特許文献１には、複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の前記駆動素子に供給する駆動信号の設定方法であって、各駆動素子に所定の基準駆動電圧を印加し、各駆動素子に対応するノズルから液滴を吐出させる第１の工程と、各ノズルの液滴吐出量を測定する第２の工程と、各ノズル毎に複数種類の駆動信号の中のいずれかを割り当てる第３の工程と、同一種類の駆動信号が割り当てられたノズルの液滴吐出量が所定の適正量に近づくように、前記駆動信号の電圧値を決定する第４の工程と、各ノズルと当該ノズルに割り当てられた駆動信号の種類との対応関係を示す駆動信号選択データを設定する第５の工程と、前記第４の工程で決定された電圧値を有する各種類の駆動信号の波形データを設定する第６の工程と、を有する駆動信号の設定方法が記載されている。

特開２００８－１７８９８９号公報

本発明は、液体の吐出条件を狙いの条件に設定する場合の効率低下を低減することを課題とする。

本発明は、液体を収容する液室と、前記液室内の液体を吐出するノズル孔と、前記液室内に設けられる弁体と、前記弁体を前記ノズル孔を閉鎖する位置および前記ノズル孔を開放する位置に移動させる駆動体と、を有する液体吐出ヘッドと、前記駆動体に、前記ノズル孔を開放する位置に前記弁体を移動させる開放電圧および前記ノズル孔を閉鎖する位置に前記弁体を移動させる閉鎖電圧を印加する駆動制御部と、を備えるヘッドユニットの液体吐出方法であって、前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報に基づき前記開放電圧の電圧値を補正する開放電圧補正ステップと、前記情報に基づき前記開放電圧の印加時間を補正する開放時間補正ステップと、を有し、前記開放電圧補正ステップは、前記吐出量の変化が少ない状況下で実施し、前記開放時間補正ステップは、前記吐出速度の変化が少ない状況下で実施することを特徴とする。

本発明によれば、液体の吐出条件を効率よく狙いの条件に設定することができる。

実施形態に係るヘッドユニットの一例を示す断面図。 加圧機構および移動機構の一例を示す説明図。 ヘッドユニット、加圧機構および移動機構の制御系の一例を示すブロック図。 駆動電圧生成部の一例を示す説明図。 ヘッドの動作説明図。 駆動電圧とニードルの動作との関係を示す説明図。 吐出速度および吐出量の補正効率の説明図。 補正方法の一例を示す説明図。 補正方法の別の例を示す説明図。 補正方法の更なる別の例を示す説明図。 駆動情報管理テーブルの一例を示す概念図。 補正処理の一例を示すフローチャート。 実施形態に係るヘッドユニットの別の構成例を示す断面図。 応用例を示す説明図。 駆動情報管理テーブルの一例を示す概念図。 塗布装置の一例を示す概略構成図。 塗布装置の別の例におけるキャリッジ部分の斜視図。 塗布装置の別の例を示す全体斜視図。

以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

［ヘッドユニットの構成］
図１を用いて実施形態に係るヘッドユニットの一例であるインクジェットヘッドユニットの構成について説明する。図１は、実施形態に係るヘッドユニットの一例を示す断面図である。

インクジェットヘッドユニットＨＵ（以下、ヘッドユニットと称する）は、液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッド１００（以下、ヘッドと称する）と、ヘッド１００の駆動を制御する駆動制御部５００から構成される。ヘッド１００は、中空状に形成された筐体１１０と、筐体１１０の一端部に設けられたノズル板１０１を備える。ノズル板１０１は、液体の一例であるインク１０を吐出するノズル孔１０２が形成された板状の部材である。

筐体１１０は、ノズル孔１０２の近傍の側面に、インク１０を注入する注入口１１３と、インク１０を排出する排出口１１５を備える。注入口１１３から注入されたインク１０は、筐体１１０内の液室１１４へ送られる。液室１１４に送り込まれたインク１０のうち、ノズル孔１０２から吐出されなかったインク１０は、排出口１１５からヘッド１００の外部へ排出される。液室１１４は、概略としてノズル板１０１と、筐体１１０内に設けた封止部材１３５との間に形成される空間によって形成される。

液室１１４内には、弁体の一例であるニードル１３１が設けられる。ニードル１３１は、ノズル板１０１が設けられている側の先端部に、ノズル孔１０２と対向するように弁部材１３０が接合されている。弁部材１３０は、例えばゴム等の弾性体からなり、弁部材１３０を設けることでノズル孔１０２に対する密着性が上がり、より確実にノズル孔１０２を閉鎖することができる。なお、ニードル１３１の構成は上記に限るものではなく、弁部材１３０を備えずに、ニードル１３１の先端部によって直接ノズル孔１０２を閉鎖する構成としてもよい。

封止部材１３５は、例えばＯリングからなり、筐体１１０の内面とニードル１３１の外周面との間の隙間を封止するように、ニードル１３１に嵌め込まれている。これにより封止部材１３５は、液室１１４のインク１０が駆動体の一例である圧電素子１３２側へ流入することを防止する。

圧電素子１３２は、封止部材１３５を境に液室１１４の隣（図１では上方）に形成された空間内に設けられる。圧電素子１３２は、駆動制御部５００からの駆動信号（駆動波形）に応じて、ノズル孔１０２を閉鎖する位置と、ノズル孔１０２を開放する位置との間でニードル１３１を移動させる。ノズル孔１０２を閉鎖する位置では、弁部材１３０がノズル板１０１に当接した状態を成し、ノズル孔１０２を開放する位置では、弁部材１３０がノズル板１０１から離間した状態を成す。なお、弁部材１３０を設けない構成の場合は、ノズル孔１０２を閉鎖する位置では、ニードル１３１がノズル板１０１に当接した状態を成し、ノズル孔１０２を開放する位置では、ニードル１３１がノズル板１０１から離間した状態を成す。なお、圧電素子１３２は、ピエゾ素子（Piezoelectric element）であり、ジルコニアセラミックス等を用いて形成されている。その形状等は吐出されるインク滴の量などに応じて適宜設定される。

駆動制御部５００は、圧電素子１３２に対して電気的に接続されており、圧電素子１３２の駆動を制御する。

［加圧機構および移動機構の構成］
次に、図２～図４を用いてヘッド１００にインク１０を加圧供給する加圧機構、およびヘッド１００を移動させる移動機構について説明する。図２は、加圧機構および移動機構の一例を示す説明図、図３はヘッドユニット、加圧機構および移動機構の制御系の一例を示すブロック図、図４は駆動電圧生成部の一例を示す説明図である。

図２において、ヘッド１００で用いるインク１０は、密閉されたタンク２０２に収容されている。タンク２０２とヘッド１００の注入口１１３は、チューブ２０１によって接続されている。

一方、タンク２０２は、エアレギュレータ２０４を含むパイプ２０３を介してコンプレッサ２０５と接続されている。エアレギュレータ２０４は、コンプレッサ２０５で作成した圧縮空気の圧力を、必要とするエア圧力に調節し、コンプレッサ２０５からの加圧空気をタンク２０２へ供給する。これにより、ヘッド１００の注入口１１３には加圧されたインク１０が供給され、弁部材１３０の開閉に応じてノズル孔１０２からインク１０が吐出される。ここで、チューブ２０１、タンク２０２、パイプ２０３、エアレギュレータ２０４およびコンプレッサ２０５は、液室１１４に対して加圧したインク１０を供給するための加圧機構２００として機能する。

また、図２において、ヘッド１００の筐体１１０の一部（図２では上部）は、ヘッド保持部材３０１に取り付けられている。ヘッド保持部材３０１は、駆動装置３０２を備え、駆動装置３０２を駆動させることでヘッド保持部材３０１がレール部材３０３に沿って矢印Ａ方向および矢印Ｂ方向へ移動可能に設けられている。これにより、ヘッド保持部材３０１に取り付けられたヘッド１００も、レール部材３０３に沿って矢印Ａ方向および矢印Ｂ方向へ移動する。

ここで、ヘッド保持部材３０１、駆動装置３０２およびレール部材３０３は、ヘッド１００を対象物に対して移動させるためのヘッド移動機構３００として機能する。なお、ヘッド移動機構３００において、駆動装置３０２およびレール部材３０３の部位には、例えば、ボールネジを用いた送りネジ機構、ラック＆ピニオンによる送り機構、動力伝達ベルトとプーリを用いた送り機構等、周知の機構を用いることができる。また、ヘッド移動機構３００は、上記の構成に限るものではない。例えば、ヘッド保持部材３０１を多関節ロボットのロボットアームに装着し、対象物に対してヘッド１００を自由に移動できる構成としてもよい。

ヘッド１００の排出口１１５には、排出口１１５から排出されるインク１０を外部へ送り出すチューブ４０１が接続されており、チューブ４０１には、チューブ４０１内のインク１０の流れを規制する排液弁４０２が設けられる。排液弁４０２は、例えば、ヘッド１００にインク１０を充填する際、始めのうちはチューブ２０１内および液室１１４内に空気が存在することがあるため、インク１０の充填開始から所定時間は開いた状態とする。チューブ２０１内および液室１１４内の空気を抜くための所定時間が経過したならば、排液弁４０２は閉じられ、その後、インク１０の吐出動作が開始される。これによりインク吐出動作中は、加圧機構２００によって付与される圧力が外部へ逃げにくくなり、加圧機構２００の負担を低減できる。

なお、インク１０の経路は、排出口１１５から排出されたインク１０を再び注入口１１３へ戻し、液室１１４に対してインク１０を循環供給するように構成してもよい。このようなインク循環しながら吐出動作を行う、いわゆるフロースルー方式のヘッド構成の場合は、上記所定時間の経過後に必ずしも排液弁４０２を閉じる必要はなく、また、排液弁４０２を備えない構成としてもよい。

また、本実施形態においては、１つのヘッド１００に対して１つのタンク２０２が接続された構成を示したが、１つのヘッド１００に対して複数のタンクを接続し、１つのヘッド１００で複数種のインクを用いる構成としてもよい。その場合は、例えば、異なる色のインクを収容した各インクタンクおよび洗浄液を収容した洗浄液タンクをチューブ２０１に接続するとともに、チューブ２０１には、排液弁４０２と同様の構成を有した弁が設けられる。当該弁は、使用するインクを変更する度に、液室１１４に洗浄液を送り込み、洗浄液によってチューブ２０１，４０１および液室１１４内が洗浄された後、使用するインクを液室１１４へ送り込むように各インクタンクおよび洗浄液タンクを切り替える。

図３に示すように、ヘッドユニットＨＵ、加圧機構２００、ヘッド移動機構３００および排液弁４０２は、制御部６００に電気的に接続されている。制御部６００は、例えば、後述する塗布装置の全体動作を制御するものであってもよく、図３に示した構成要素以外にも、必要に応じて構成要素が追加されてもよい。

制御部６００は、例えば、画像データに基づいたインク吐出周期信号を、ヘッドユニットＨＵの駆動制御部５００に対して送信する。制御部６００は、ヘッド１００の状態情報等を駆動制御部５００を介して受信する。また、制御部６００は、加圧機構２００に対して加圧のオン、オフを切り替えるための切替信号を送信する。また、制御部６００は、ヘッド移動機構３００に対してヘッド１００を移動させるための移動信号を送信する。さらに、制御部６００は、排液弁４０２に対してインク１０の排出を規制するための排液弁開閉信号を送信する。

ヘッドユニットＨＵは、ヘッド１００、駆動制御部５００、および記憶部５０５から構成される。駆動制御部５００は、入力部５０１、駆動電圧生成部５０２、増幅部５０３および出力部５０４を備える。これらの機能は電気回路で実現される他、これらの機能の一部をソフトウェア（ＣＰＵ：Central Processing Unit）によって実現することもできる。また複数の回路または複数のソフトウェアによってこれらの機能が実現されてもよい。

入力部５０１は、制御部６００から画像データに基づいたインク吐出周期信号等を受信する。

駆動電圧生成部５０２は、入力部５０１が受信したインク吐出周期信号等の情報に応じて、ヘッド１００の圧電素子１３２を駆動させるための駆動電圧を生成する。具体的には駆動電圧生成部５０２は、図４に示すように開放電圧補正部５０２ａと開放時間補正部５０２ｂを有し、これらを用いて駆動電圧を生成する。開放電圧補正部５０２ａは開放電圧補正手段の一例であり、開放時間補正部５０２ｂは開放時間補正手段の一例である。

増幅部５０３は、駆動電圧生成部５０２により生成された駆動電圧を増幅し、増幅後の信号を出力部５０４に出力する。

出力部５０４は、増幅部５０３により増幅された信号に基づき、ヘッド１００（圧電素子１３２）に対して駆動電圧を印加する。

記憶部５０５は、記憶手段の一例であり、ニードル１３１の開放電圧の情報、インク１０の吐出速度および吐出量の情報等を格納する。駆動制御部５００は、記憶部５０５に、各種データを記憶したり、記憶部５０５から各種データを読み出す。なお、記憶部５０５は、駆動制御部５００内に設ける構成としてもよいし、破線で示されるように制御部６００に接続する構成としてもよい。

制御部６００には、コンピュータ６０１が接続される。コンピュータ６０１は、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置よりユーザが入力した指示を受け付け、指示に応じた信号を制御部６００へ送信する。また、コンピュータ６０１は、制御部６００から各種信号を受信し、受信信号に応じた情報をディスプレイ、タッチパネル等の出力装置に表示する。

以上のように駆動制御部５００は、制御部６００から受信するインク吐出周期信号に基づき、駆動電圧（駆動波形）を生成し、生成した駆動電圧を用いてヘッド１００を駆動する。ヘッド１００は、駆動制御部５００からの駆動電圧に応じてノズル孔１０２を開閉し、インクを吐出する。

加圧機構２００は、制御部６００から受信する切替信号に基づき、コンプレッサ２０５（またはエアレギュレータ２０４）のオンオフ切替を行い、ヘッド１００の液室１１４に供給されるインク１０に対して加圧状態と非加圧状態とを切り替える。

ヘッド移動機構３００は、制御部６００から受信する移動信号に基づき、駆動装置３０２を所定の方向へ所定の距離だけ駆動し、ヘッド保持部材３０１を介してヘッド１００を所望の位置へ移動させる。

排液弁４０２は、制御部６００から受信する排液弁開閉信号に基づき開閉し、インク１０の排出を規制する。

［ヘッドの動作について］
次に、ヘッドの動作について図５を用いて説明する。

駆動制御部５００から圧電素子１３２に対して駆動電圧が印加された場合、圧電素子１３２に閉鎖電圧が印加された状態では図５（ａ）に示すように、弁部材１３０はノズル板１０１に当接した位置にあり、弁部材１３０はノズル孔１０２を閉鎖する。このため、液室１１４内のインク１０はノズル孔１０２から吐出されない。

圧電素子１３２に開放電圧が印加された状態では図５（ｂ）に示すように、圧電素子１３２は収縮し、圧電素子１３２はニードル１３１を図において上方へ動かす。このニードル１３１の移動により、ニードル１３１に接合された弁部材１３０はノズル板１０１から離間する位置に移動し、弁部材１３０の先端部とノズル孔１０２との間に隙間Ｇが形成される。液室１１４内のインク１０は、加圧機構２００によって所定の圧力で加圧供給されているため、隙間Ｇの形成と共に液室１１４内のインク１０はノズル孔１０２からインク滴１０´となって吐出される。

このようにして、弁部材１３０は、駆動制御部５００から圧電素子１３２に対して駆動電圧（閉鎖電圧、開放電圧）が印加された場合、ノズル板１０１に当接する位置と離間する位置との間（図５（ｂ）矢印Ｃ方向）で移動し、弁部材１３０は、ノズル孔１０２を開閉する。

図６は、駆動電圧とニードルの動作との関係を示す説明図である。図６（ａ）は駆動電圧とニードルの開放量の関係を示す説明図、図６（ｂ）は駆動電圧とニードルの開放時間の関係を示す説明図である。

駆動信号は、例えば、閉鎖電圧Ｖｃおよび開放電圧Ｖｏによって規定された矩形波である。ここで、閉鎖電圧とは、ノズル孔１０２を閉鎖する位置にニードル１３１を移動させる際に圧電素子１３２に印加される駆動電圧とする。また、開放電圧とは、ノズル孔１０２を開放する位置にニードル１３１を移動させる際に圧電素子１３２に印加される駆動電圧とする。

図６（ａ）に示すように、圧電素子１３２に開放電圧Ｖｏが印加されると圧電素子１３２は収縮し、その収縮に伴いニードル１３１は距離Ｌだけ移動する。すなわちニードル１３１は、開放電圧Ｖｏの印加に基づき弁部材１３０をノズル板１０１から離間させる方向に移動する。弁部材１３０がノズル板１０１から離間し、弁部材１３０とノズル孔１０２との間に図５（ｂ）に示したように隙間Ｇが形成されると、液室１１４内のインク１０はノズル孔１０２から吐出可能な状態となる。

ニードル１３１の移動量（距離Ｌ）は、閉鎖電圧Ｖｃと開放電圧Ｖｏの電位差｜Ｖｏ－Ｖｃ｜の値を変更することにより調整可能である。従って、開放電圧Ｖｏを実線で示された値から点線で示された値に変更し、電位差｜Ｖｏ－Ｖｃ｜の値を小さくした場合は、ニードル１３１が移動する距離Ｌも小さくなり、開放量は減少する。逆に、開放電圧Ｖｏを実線で示された値から一点鎖線で示された値に変更し、電位差｜Ｖｏ－Ｖｃ｜の値を大きくした場合は、ニードル１３１が移動する距離Ｌも大きくなり、開放量は増大する。

また、図６（ｂ）に示すように、圧電素子１３２に開放電圧Ｖｏが印加されると圧電素子１３２は収縮し、ニードル１３１は開放電圧Ｖｏが印加される印加時間Ｔｏの期間だけノズル孔１０２を開放する。すなわちニードル１３１は、開放電圧Ｖｏの印加時間に基づき弁部材１３０をノズル板１０１から離間させた状態を維持する。

ニードル１３１を開放させておく時間は、開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏの値を変更することにより調整可能である。従って、印加時間Ｔｏを実線で示された値から点線で示された値に変更し、印加時間Ｔｏの値を小さくした場合は、ニードル１３１の開放時間は短くなる。逆に、印加時間Ｔｏを実線で示された値から一点鎖線で示された値に変更し、印加時間Ｔｏの値を大きくした場合は、ニードル１３１の開放時間は長くなる。

以上のように開放電圧Ｖｏの値を変更してニードル１３１の開放量を補正し、開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏの値を変更してニードル１３１の開放時間を補正する。これにより、ノズル孔１０２から吐出されるインク滴１０´の吐出速度（Ｖｊ）および吐出量（Ｍｊ）を補正することが可能になる。

なお、閉鎖電圧Ｖｃと開放電圧Ｖｏは、両者によって所定の電位差が形成されればよく、極性を反転させた駆動信号であってもよい。また、閉鎖電圧Ｖｃまたは開放電圧Ｖｏの一方をゼロボルト（０Ｖ）としてもよい。

図７は、吐出速度および吐出量の補正効率の説明図である。図７（ａ）は吐出速度（Ｖｊ）の補正効率を示す説明図、図７（ｂ）は吐出量（Ｍｊ）の補正効率を示す説明図である。

開放電圧Ｖｏを変更してニードル１３１の開放量を補正するとともに、開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏを変更してニードル１３１の開放時間を補正することで、ノズル孔１０２からのインク滴の吐出速度（Ｖｊ）および吐出量（Ｍｊ）は補正することができる。

ところで、補正時における吐出量に対する吐出速度の変化量は、開放量を変更する場合（図７（ａ））と、開放時間を変更する場合（図７（ｂ））とで異なる。すなわち、Ｖｊを変更したい場合は、ニードル１３１の開放時間を変更するよりも、図７（ａ）のようにニードル１３１の開放量を変更する方がＶｊをダイナミックに変えることができ、補正効率の点で優れる。一方で、Ｍｊを変更したい場合は、ニードル１３１の開放量を変更するよりも、図７（ｂ）のようにニードル１３１の開放時間を変更する方がＭｊをダイナミックに変えることができ、補正効率の点で優れる。

開放量と開放時間は、共にＶｊ，Ｍｊの両パラメータに関与しているため、ＶｊまたはＭｊのうちの一方のみを変えることはできないが、上記の補正効率を踏まえて補正を行うことで、Ｖｊ，Ｍｊを狙いの条件に効率よく設定することが可能になる。

［Ｖｊ，Ｍｊの補正方法について］
図８は、実施形態におけるＶｊ，Ｍｊの補正方法の一例を示す説明図である。

上述のように、補正時における吐出量に対する吐出速度の変化量は、開放量を変更する場合と、開放時間を変更する場合とで異なる。そこで、開放量を変えた場合と開放時間を変えた場合のそれぞれで吐出速度および吐出量の変化を予め求めておき、両者の変化量情報に基づき、開放量および開放時間の変更を行い、吐出速度と吐出量を狙いの条件に補正する。

図８は、吐出速度（Ｖｊ）と吐出量（Ｍｊ）を補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）から狙いの条件（Ｍｊ１，Ｖｊ１）に補正する場合の例を示している。この例では、補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）に対して、まず開放電圧Ｖｏと閉鎖電圧Ｖｃとの電位差を小さくしてニードル１３１の開放量を減少させ、吐出速度をＶｊｍまで下げる。ここで、吐出速度Ｖｊｍは、Ｖｊ２とＶｊｍを結ぶ直線上に存在する値であるとともに、吐出量Ｍｊ１とＭｊｍを結ぶ直線上に存在する値でもある。開放量は、Ｖｊ，Ｍｊの両パラメータに関与するため、開放量の減少に伴い吐出量もＭｊ２からＭｊｍに変化（減少）するが、その変化量は吐出速度の変化量に比べて小さい。つまり、ここでは、吐出量（Ｍｊ）の変化が少ない状況下で開放電圧Ｖｏの電圧値の補正が実施され、ニードル１３１の開放量が補正される。このときの開放電圧Ｖｏの補正は、図４に示した開放電圧補正部５０２ａによって行われる。これにより、補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）は、補正中の値（Ｍｊｍ，Ｖｊｍ）に変更される。

次に、補正中の値（Ｍｊｍ，Ｖｊｍ）に対して、開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏを短くしてニードル１３１の開放時間を減少させ、吐出量をＭｊ１まで下げる。ここで、吐出量Ｍｊ１は、予め求めておいた、開放時間を変えた場合の吐出速度および吐出量の変化を表す直線上に存在する値でもある。そのため、開放時間の減少に伴い吐出速度もＶｊｍからＶｊ１に変化（減少）し、補正中の値（Ｍｊｍ，Ｖｊｍ）は狙いの条件（Ｍｊ１，Ｖｊ１）に補正される。このときの吐出速度の変化量は吐出量の変化量に比べて小さい。つまり、ここでは、吐出速度（Ｖｊ）の変化が少ない状況下で開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏの補正が実施され、ニードル１３１の開放時間が補正される。このときの開放時間の補正は、図４に示した開放時間補正部５０２ｂによって行われる。

なお、補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）は、インク滴のＭｊ，Ｖｊを測定して求める。測定方法としては、測定用の治具を用いて吐出させたインク滴からＭｊ，Ｖｊを実測する方法、テストパターンを印刷させてテストパターンからＭｊ，Ｖｊを求める方法等が挙げられる。後者の場合、Ｍｊはテストパターン上のインク滴のドット径から予測し、Ｖｊはインク滴が吐出されたタイミングをテストパターンから予測して簡易的に測定することが可能である。

図９は、実施形態におけるＶｊ，Ｍｊの補正方法の別の例を示す説明図である。本例は、図８の補正方法に対して、開放量を変更する工程と、開放時間を変更する工程の順序が異なる。

本例では、補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）に対して、まず開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏを短くしてニードル１３１の開放時間を減少させ、吐出量をＭｊｎまで下げる。ここで、吐出量Ｍｊｎは、Ｍｊ２とＭｊｎを結ぶ直線上に存在する値であるとともに、吐出速度Ｖｊ１とＶｊｎを結ぶ直線上に存在する値でもある。開放時間は、Ｖｊ，Ｍｊの両パラメータに関与するため、開放時間の減少に伴い吐出速度もＶｊ２からＶｊｎに変化（減少）するが、その変化量は吐出量の変化量に比べて小さい。これにより、補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）は、補正中の値（Ｍｊｎ，Ｖｊｎ）に変更される。

次に、補正中の値（Ｍｊｎ，Ｖｊｎ）に対して、開放電圧Ｖｏと閉鎖電圧Ｖｃとの電位差を小さくしてニードル１３１の開放量を減少させ、吐出速度をＶｊ１まで下げる。ここで、吐出速度Ｖｊ１は、予め求めておいた、開放量を変えた場合の吐出速度および吐出量の変化を表す直線上に存在する値でもある。そのため、開放量の減少に伴い吐出量もＭｊｎからＭｊ１に変化（減少）し、補正中の値（Ｍｊｎ，Ｖｊｎ）は狙いの条件（Ｍｊ１，Ｖｊ１）に補正される。

以上のように、開放時間を変更する工程の後に開放量を変更する工程を実施した場合も、吐出速度と吐出量を狙いの条件に効率よく補正することができる。

図１０は、実施形態におけるＶｊ，Ｍｊの補正方法の更なる別の例を示す説明図である。

図８および図９に示された例では、開放量を変更する工程と、開放時間を変更する工程を１回ずつ実施して、補正前の値（Ｍｊ２，Ｖｊ２）を狙いの条件（Ｍｊ１，Ｖｊ１）に補正したが、各工程の実施回数は１回に限る必要はない。例えば図１０に示されるように、補正前の値と狙いの条件に基づき開放量（吐出速度Ｖｊ）および開放時間（吐出量Ｍｊ）の補正ならびに測定を繰り返し実施し、狙いの条件に補正するように構成してもよい。

［駆動情報管理テーブル］
図１１は、駆動情報管理テーブルの一例を示す概念図である。駆動情報管理テーブルは、例えば上述の記憶部５０５に構築される。

駆動情報管理テーブルは、ヘッド１００のノズル孔１０２から吐出させるインク滴１０´が狙いとする条件を管理しており、駆動情報管理テーブルには、例えば、吐出量、吐出速度、開放電圧の電圧値、開放電圧の印加時間の対応関係が割り当てられる。

吐出量および吐出速度に関する情報は、使用する装置の仕様に基づいて決定される値であり、図８～図１０に示した狙いの条件（Ｍｊ１，Ｖｊ１）となる値である。開放電圧の電圧値および印加時間は、狙いの吐出量および吐出速度を実現するための値であり、測定から得た情報等に基づき求めた値である。

駆動情報管理テーブルは、インクの材料、粘度等の仕様毎に、インクＡ，Ｂ，Ｃのように複数設けられてもよい。また、駆動情報管理テーブルは、インク仕様だけでなく、インクが塗布される対象物の材質や形状等の情報に紐づけて設けてもよい。

図１２は、Ｖｊ，Ｍｊの補正処理の一例を示すフローチャートである。以下に説明する補正処理は、例えば、ヘッドユニットＨＵの出荷時にヘッドユニット固有の吐出ばらつきを補正する目的で実施される。あるいは、ヘッドユニットＨＵが搭載される装置もしくはシステムに吐出速度および吐出量を測定する測定装置が備えられている場合は、当該装置もしくはシステムにおいて吐出動作の開始前に実施される。

Ｖｊ，Ｍｊの補正処理は、まずインク滴の吐出速度（Ｖｊ）および吐出量（Ｍｊ）の測定が行われる（ステップＳ１）。Ｖｊ，Ｍｊの測定は、測定用の治具を用いて吐出させたインク滴から実測する方法、テストパターンを印刷させてテストパターンからＶｊ，Ｍｊを求める方法等によって行われる。

ステップＳ１で測定されたＶｊ，Ｍｊの情報は、例えば、図３に示されたコンピュータ６０１に入力され、コンピュータ６０１は、受け付けた情報を制御部６００に送信する。制御部６００は、コンピュータ６０１から受信した情報に基づき、Ｖｊ，Ｍｊの情報等を駆動制御部５００に送信する。駆動制御部５００は、制御部６００から受信した情報と、記憶部５０５に格納された駆動情報管理テーブルの情報等に基づき、ＶｊおよびＭｊが狙いの値であるかを判定する（ステップＳ２）。

ステップＳ２において「Ｙｅｓ」（Ｖｊ，Ｍｊは狙いの値である）と判定された場合は、本処理を終了し、吐出動作の開始が可能となる。一方、「Ｎｏ」（Ｖｊ，Ｍｊは狙いの値でない）と判定された場合は、駆動電圧生成部５０２はニードル１３１の開放電圧Ｖｏの電圧値を変更してニードル１３１の開放量を変更し、吐出速度Ｖｊを主とした補正を実施する（ステップＳ３）。

次に、駆動電圧生成部５０２はニードル１３１の開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏを変更してニードル１３１の開放時間を変更し、吐出量Ｍｊを主とした補正を実施する（ステップＳ４）。ステップＳ４が完了したならば、処理はステップＳ１へ戻り、ＶｊおよびＭｊが狙いの値になるまで処理が繰り返される。なお、ステップＳ３とステップＳ４の順序は入れ替えてもよい。

上述のように、本実施形態は、液体１０を収容する液室１１４と、液室１１４内の液体１０を吐出するノズル孔１０２と、液室１１４内に設けられるニードル１３１と、ニードル１３１をノズル孔１０２を閉鎖する位置およびノズル孔１０２を開放する位置に移動させる圧電素子１３２と、を有するヘッド１００と、圧電素子１３２に、ノズル孔１０２を開放する位置にニードル１３１を移動させる開放電圧Ｖｏおよびノズル孔１０２を閉鎖する位置にニードル１３１を移動させる閉鎖電圧Ｖｃを印加する駆動制御部５００と、を備えるヘッドユニットＨＵの液体吐出方法であって、開放電圧Ｖｏならびにノズル孔１０２からの液体１０の吐出速度Ｖｊおよび吐出量Ｍｊの情報に基づき開放電圧Ｖｏの電圧値を補正する開放電圧補正ステップと、当該情報に基づき開放電圧Ｖｏの印加時間Ｔｏを補正する開放時間補正ステップと、を有し、開放電圧補正ステップは、吐出量Ｍｊの変化が少ない状況下で実施し、開放時間補正ステップは、吐出速度Ｖｊの変化が少ない状況下で実施する。

また、上述のように、開放電圧補正ステップを実施後に、開放時間補正ステップを実施する。

さらに、開放電圧Ｖｏの情報と、ノズル孔１０２からの液体１０の吐出速度Ｖｊおよび吐出量Ｍｊの情報とを格納した記憶部５０５を有し、開放電圧補正ステップおよび開放時間補正ステップは、記憶部５０５に格納された情報に基づき実施される。

これにより、液体の吐出条件（吐出速度Ｖｊ、吐出量Ｍｊ）を効率よく狙いの条件に設定することができる。

［ヘッドユニットの別の構成例］
図１３を参照してヘッドユニットの別の構成例について説明する。図１３は、実施形態に係るヘッドユニットの別の構成例を示す断面図であり、図１３（ａ）はノズル孔を閉じた状態を示す断面図、図１３（ｂ）はノズル孔を開いた状態を示す断面図である。

本構成例は、ニードル１３１と圧電素子１３２との間に逆バネ機構１３４を備える点が図５に示したヘッドユニットの構成と異なる。従って、ここでは逆バネ機構１３４の構成および動作を中心に説明し、図５のヘッドユニットと同等の構成および機能を有する部材には同一符号を付し、説明は省略する。なお、本構成例では、圧電素子１３２として、開放電圧Ｖｏを印加するとノズル板１０１側へ伸長する伸縮特性を有する圧電素子を用いることとする。

逆バネ機構１３４は、適宜に変形可能なゴムや軟質樹脂等または薄い金属板等を成形加工することによって形成された弾性部材である。逆バネ機構１３４は、変形部１３４ａ、固定部１３４ｂ、ガイド部１３４ｃおよび屈曲辺１３４ｄを備える。

変形部１３４ａは、ニードル１３１の基端側の面（図１３（ａ）ではニードル１３１の上側端面）に当接するようにして形成された断面略台形状を有する。固定部１３４ｂは、変形部１３４ａと筐体１１０の内壁面に固定される。ガイド部１３４ｃは、固定部１３４ｂと圧電素子１３２とを連結する。屈曲辺１３４ｄは、台形状の変形部１３４ａの長辺（台形の下底に相当）と固定部１３４ｂとを連結する。

上記のような構造を備えた逆バネ機構１３４は、圧電素子１３２に所定の開放電圧Ｖｏが印加されて圧電素子１３２が伸長すると、圧電素子１３２の伸長により、ガイド部１３４ｃがノズル孔１０２側（図１３（ｂ）の矢印ａ方向）に押される。この押される力に伴い、変形部１３４ａをノズル孔１０２から遠ざかる方向（図１３（ｂ）の矢印ｂ方向）に引き込む。すなわち、逆バネ機構１３４は、圧電素子１３２の伸びる力を、ニードル１３１を引き込む力に変換した上で、ニードル１３１へ伝達する。

本構成例に係るヘッド１００は、圧電素子１３２へ電圧印加することにより、圧電素子１３２が伸び、それに伴い弁部材１３０がノズル孔１０２を開放し、ノズル孔１０２から液滴（インク滴）１０´を吐出する。

本構成例のヘッドユニットＨＵにおいても、上述の補正処理により吐出速度Ｖｊと吐出量Ｍｊを狙いの条件に効率よく補正することができる。また、逆バネ機構１３４を備えたヘッド１００は、逆バネ機構を備えないヘッドに比べて圧電素子１３２の少ない変位で大きな変位を得ることができる。

［応用例］
次に、図１４を参照して応用例について説明する。図１４は、応用例を示す説明図である。

図１４に示すように、ヘッドモジュール７００は、筐体７１０に複数（図１４の例では８個）のヘッド１００を備える。筐体７１０は、筐体７１０内にインク１０を供給する供給口７１１と、供給口７１１と注入口７１３とをつなぐ供給路７１２と、液室７１４を挟んで注入口７１３の反対側に設けられた排出口７１５を有する。また、筐体７１０は、筐体７１０内のインク１０を回収する回収口７１７と、回収口７１７と排出口７１５とをつなぐ回収路７１６を有する。

複数のヘッド１００の基本的な構成は、図１および図５で説明したものと同様であり、図１４では対応する要素について７００番台の符号を用いている。また。複数のヘッド１００は、図１３に示した逆バネ機構を備えるヘッドによって構成してもよい。

本応用例では、８個のヘッド１００が、それぞれのノズル孔７０２が一方向（図１４では左右方向）に略等間隔で配列されるように設けられている。ヘッド１００のそれぞれは、図中下部のノズル孔７０２からインク１０を下方に吐出するように上下方向に延在して設けられている。

８個のヘッド１００の配列方向の一方側（図１４では左側）から他方側（図１４では右側）にインク１０が流れるように、各ヘッド１００の液室７１４は、貫通して設けられている。

以上の構成において、各ヘッド１００に対して上述の補正処理を実施することにより、ヘッド毎（ノズル孔毎）に吐出速度Ｖｊと吐出量Ｍｊを狙いの条件に効率よく補正することができる。

図１５は、図１４に示したヘッドモジュール７００のように複数のノズル孔７０２を有する構成に対して用いられる駆動情報管理テーブルの一例を示す概念図である。

駆動情報管理テーブルは、図１１で説明した駆動情報管理テーブルと同様、例えば、記憶部５０５に構築される。駆動情報管理テーブルは、８チャネル（８個）のノズル孔７０２から吐出させるインク滴が狙いとする条件を管理しており、例えば、吐出量、吐出速度、開放電圧の電圧値、開放電圧の印加時間の対応関係がノズル毎に割り当てられる。吐出量、吐出速度、開放電圧の電圧値および印加時間等の各情報については、図１１と同じなので説明は省略する。

駆動情報管理テーブルは、インクの材料、粘度等の仕様毎に、インクＡ，Ｂ，Ｃのように複数設けられてもよい。また、駆動情報管理テーブルは、インク仕様だけでなく、インクが塗布される対象物の材質や形状等の情報に紐づけて設けてもよい。

［塗布装置］
以下、上述のヘッドユニットを用いた塗布装置について説明する。

＜塗装ロボットへの適用例＞
図１６は、実施形態に係る塗布装置の一例を示す概略構成図である。ここに例示した塗布装置は、自動車の車体を塗装する塗装ロボットである。

図１６において塗装ロボット１０００は、自動車の車体側面などの対象物Ｕに対向して設置している。塗装ロボット１０００は、ベース１００１、ベース１００１と連結した第１アーム１００２、第１アーム１００２と連結した第２アーム１００３、および第２アーム１００３と連結したエンドエフェクタ１００４を備える。また、塗装ロボット１０００は、ベース１００１と第１アーム１００２を連結する第１ジョイント１００５、第１アーム１００２と第２アーム１００３を連結する第２ジョイント１００６、および第２アーム１００３とエンドエフェクタ１００４を連結する第３ジョイント１００７を備える。

塗装ロボット１０００は、例えば多関節ロボットであり、Ｘ，Ｙ，Ｚの各方向を図のように表した場合、ベース１００１はＺ軸と平行な軸を回転軸とし、矢印ａ方向に旋回可能である。また、ベース１００１は、第１ジョイント１００５を介して第１アーム１００２の一端部を支持し、第１アーム１００２を、水平軸（ＸーＹ平面と平行な軸）を回転軸とし、矢印ｂ方向に回動可能なように支持している。第１アーム１００２の他端部は、第２ジョイント１００６を介して第２アーム１００３の一端部を支持し、第２アーム１００３を、水平軸（ＸーＹ平面と平行な軸）を回転軸とし、矢印ｃ方向に回動可能なように支持している。第２アーム１００３は、矢印ｃ方向の回転軸と直交する軸も備え、この直交する軸を回転軸とし、第２ジョイント１００６に対して矢印ｄ方向の回転も可能である。

第２アーム１００３の他端部は、第３ジョイント１００７を介してエンドエフェクタ１００４を支持し、エンドエフェクタ１００４を、水平軸（ＸーＹ平面と平行な軸）を回転軸とし、矢印ｅ方向に回動可能なように支持している。エンドエフェクタ１００４は、矢印ｅ方向の回転軸と直交する軸も備え、この直交する軸を回転軸とし、第３ジョイント１００７に対して矢印ｆ方向の回転も可能である。

上記構成の塗装ロボット１０００は、対象物Ｕに対してエンドエフェクタ１００４を自由に動かし、エンドエフェクタ１００４に取り付けられたヘッド１００を、対象物Ｕの塗装を施す位置に正確に配置することができる。塗装位置に配置したヘッド１００は、対象物Ｕに向けて液体の一例であるインクを吐出し、対象物Ｕを塗装する。

なお、本実施形態では、塗装ロボット１０００を、対象物Ｕを挟んで両側に１台ずつ配置したシステム構成を例示したが、これに限るものではない。塗装ロボット１０００の台数は、対象物Ｕの塗装面積、作業効率等を踏まえて適宜決めてよく、塗装ロボット１０００は１台であってもよいし、３台以上であってもよい。

また、対象物Ｕは、自動車に限るものではなく、航空機の機体、船舶の船体、鉄道車両の車体等、自動車以外の乗り物に適用することも可能である。また、塗装ロボット１０００は、定置型のロボットに限るものではない。例えば、塗装ロボット１０００は、遠隔操作や自律走行によって移動が可能なロボットであってもよく、移動型ロボットの場合、対象物Ｕは乗り物に限らず、建物の外壁塗装や、道路の路面標示（横断歩道、停止線、速度表示等）の塗装等への適用も可能になる。

＜印刷装置への適用例＞
図１７および図１８を用いて塗布装置の一例をもう１つ説明する。図１７および図１８に例示した塗布装置は印刷装置である。図１７は、塗布装置の別の例におけるキャリッジ部分の斜視図、図１８は、図１７のキャリッジを搭載した印刷装置の一例を示す全体斜視図である。なお、図１７は、図１８に示した印刷装置８００に搭載したキャリッジ８０１を対象物Ｕ側から見たものである。

キャリッジ８０１は、ヘッド保持体８０を備える。また、キャリッジ８０１は、後述する第１のＺ方向駆動部８０７からの動力によりＺ軸レール８０４に沿ってＺ方向（正側および負側）へ移動可能である。

ヘッド保持体８０は、後述する第２のＺ方向駆動部８０８からの動力によりキャリッジ８０１に対してＺ方向（正側および負側）へ移動可能である。また、ヘッド保持体８０はヘッドモジュール７００を取り付けるためのヘッド固定板８０ａを備える。

本適用例では、図１４で説明したヘッドモジュール７００を、ヘッド固定板８０ａに６個取り付けた構成を例示しており、６個のヘッドモジュール７００を積層状に並べて設けている。

ヘッドモジュール７００は、それぞれ複数のノズル孔７０２を備えている。なお、ヘッドモジュール７００で用いるインクの色の種類や数は、ヘッドモジュール７００毎に異なる色としてもよいし、すべて同じ色としてもよい。例えば、印刷装置８００が、単色を用いる装置である場合は、各ヘッドモジュール７００で用いるインクは同色でよい。また、ヘッドモジュールの数は６つに限るものではない。６つより多くてもよく、また、６つより少なくてもよい。

ヘッドモジュール７００は、図示のようにノズル列（８個のノズル孔７０２がなす列）が水平面（Ｘ－Ｚ面）と交差し、かつ複数のノズル孔７０２の配列方向をＸ軸に対して傾けた状態でヘッド固定板８０ａに固定する。この状態でノズル孔７０２は、重力方向と交差する方向（Ｚ方向正側）にインク滴を吐出する。

図１８に示された印刷装置８００は、対象物Ｕに対向させて設置される。印刷装置８００は、Ｘ軸レール８０２と、このＸ軸レール８０２と交差するＹ軸レール８０３と、Ｘ軸レール８０２およびＹ軸レール８０３と交差するＺ軸レール８０４を備える。

Ｙ軸レール８０３は、Ｘ軸レール８０２がＹ方向（正側および負側）に移動可能なように、Ｘ軸レール８０２を保持する。また、Ｘ軸レール８０２は、Ｚ軸レール８０４がＸ方向（正側および負側）に移動可能なように、Ｚ軸レール８０４を保持する。そして、Ｚ軸レール８０４は、キャリッジ８０１がＺ方向（正側および負側）に移動可能なように、キャリッジ８０１を保持する。

印刷装置８００は、キャリッジ８０１をＺ軸レール８０４に沿ってＺ方向へ動かす第１のＺ方向駆動部８０７と、Ｚ軸レール８０４をＸ軸レール８０２に沿ってＸ方向へ動かすＸ方向駆動部８０５とを備える。また、印刷装置８００は、Ｘ軸レール８０２をＹ軸レール８０３に沿ってＹ方向へ動かすＹ方向駆動部８０６を備える。さらに、印刷装置８００は、キャリッジ８０１に対してヘッド保持体８０をＺ方向へ動かす第２のＺ方向駆動部８０８を備える。

印刷装置８００は、キャリッジ８０１をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に動かしながら、ヘッド保持体８０に設けたヘッドモジュール７００（図１４参照）からインク滴を吐出し、対象物Ｕに印刷を行う。なお、キャリッジ８０１およびヘッド保持体８０のＺ方向の移動は、必ずしもＺ方向に平行であることを意味するものではなく、少なくともＺ方向の成分を含んでいれば斜めの移動であってもよい。

また、対象物Ｕの表面形状は、平面で図示されているが、車やトラックの車体、航空機の機体などのように鉛直に近い面、曲率半径の大きい面、もしくは多少の凹凸を有する面であってもよい。

なお、本発明において、液体は、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどが挙げられる。

これらは例えば、インクジェット用インク、塗装用塗料、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

また、塗布装置は、対象物Ｕに対してヘッドを動かす構成のものに限らない。ヘッドと対象物とは相対的に移動が可能であればよく、対象物をヘッドに対して動かす構成のものであってもよい。

以上説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。

[第１態様]
第１態様は、液体を収容する液室（例えば液室１１４）と、前記液室内の液体を吐出するノズル孔（例えばノズル孔１０２）と、前記液室内に設けられる弁体（例えばニードル１３１）と、前記弁体を前記ノズル孔を閉鎖する位置および前記ノズル孔を開放する位置に移動させる駆動体（例えば圧電素子１３２）と、を有する液体吐出ヘッド（例えばヘッド１００）と、前記駆動体に、前記ノズル孔を開放する位置に前記弁体を移動させる開放電圧（例えば開放電圧Ｖｏ）および前記ノズル孔を閉鎖する位置に前記弁体を移動させる閉鎖電圧（例えば閉鎖電圧Ｖｃ）を印加する駆動制御部（例えば駆動制御部５００）と、を備えるヘッドユニット（例えばヘッドユニットＨＵ）の液体吐出方法であって、前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報に基づき前記開放電圧の電圧値を補正する開放電圧補正ステップ（例えば図１２のステップＳ３）と、前記情報に基づき前記開放電圧の印加時間を補正する開放時間補正ステップ（例えば図１２のステップＳ４）と、を有し、前記開放電圧補正ステップは、前記吐出量の変化が少ない状況下で実施し、前記開放時間補正ステップは、前記吐出速度の変化が少ない状況下で実施することを特徴とするものである。

[第２態様]
第２態様は、第１態様において、前記開放電圧補正ステップ（例えば図１２のステップＳ３）を実施後に、前記開放時間補正ステップ（例えば図１２のステップＳ４）を実施することを特徴とするものである。

[第３態様]
第３態様は、第１態様または第２態様において、前記開放電圧（例えば開放電圧Ｖｏ）ならびに前記ノズル孔（例えばノズル孔１０２）からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報を格納した記憶手段（例えば記憶部５０５）を有し、前記開放電圧補正ステップ（例えば図１２のステップＳ３）および前記開放時間補正ステップ（例えば図１２のステップＳ４）は、前記記憶手段に格納された情報に基づき実施されることを特徴とするものである。

[第４態様]
第４態様は、液体を収容する液室（例えば液室１１４）と、前記液室内の液体を吐出するノズル孔（例えばノズル孔１０２）と、前記液室内に設けられる弁体（例えばニードル１３１）と、前記弁体を前記ノズル孔を閉鎖する位置および前記ノズル孔を開放する位置に移動させる駆動体（例えば圧電素子１３２）と、を有する液体吐出ヘッド（例えばヘッド１００）と、前記駆動体に、前記ノズル孔を開放する位置に前記弁体を移動させる開放電圧（例えば開放電圧Ｖｏ）および前記ノズル孔を閉鎖する位置に前記弁体を移動させる閉鎖電圧（例えば閉鎖電圧Ｖｃ）を印加する駆動制御部（例えば駆動制御部５００）と、を備えるヘッドユニット（例えばヘッドユニットＨＵ）であって、前記駆動制御部は、前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報に基づき前記開放電圧の電圧値を補正する開放電圧補正手段（例えば開放電圧補正部５０２ａ）と、前記情報に基づき前記開放電圧の印加時間を補正する開放時間補正手段（例えば開放時間補正部５０２ｂ）と、を備えることを特徴とするものである。

[第５態様]
第５態様は、第４態様において、前記開放電圧補正手段（例えば開放電圧補正部５０２ａ）によって前記開放電圧の電圧値を補正した後に、前記開放時間補正手段（例えば開放時間補正部５０２ｂ）によって前記開放電圧の印加時間を補正することを特徴とするものである。

[第６態様]
第６態様は、第４態様において、前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報を格納する記憶手段（例えば記憶部５０５）を備えることを特徴とするものである。

[第７態様]
第７態様は、第６態様において、前記記憶手段（例えば記憶部５０５）に格納された情報に基づき、前記開放電圧補正手段（例えば開放電圧補正部５０２ａ）は前記開放電圧の電圧値を補正し、前記開放時間補正手段（例えば開放時間補正部５０２ｂ）は前記開放電圧の印加時間を補正することを特徴とするものである。

[第８態様]
第８態様は、第４乃至第７態様のいずれかにおいて、前記ノズル孔（例えばノズル孔１０２）を複数有することを特徴とするものである。

[第９態様]
第９態様は、第４乃至第８態様のいずれかのヘッドユニット（例えばヘッドユニットＨＵ）を備え、対象物（例えば対象物Ｕ）に対して前記液体（例えばインク１０）を塗布することを特徴とする塗布装置である。

１０ インク
１００ ヘッド
１０１ ノズル板
１０２ ノズル孔
１１３ 注入口
１１４ 液室
１１５ 排出口
１３０ 弁部材
１３１ ニードル（弁体の一例）
１３２ 圧電素子（駆動体の一例）
１３４ 逆バネ機構
５００ 駆動制御部
５０２ 駆動電圧生成部
５０２ａ 開放電圧補正部（開放電圧補正手段の一例）
５０２ｂ 開放時間補正部（開放時間補正手段の一例）
２００ 加圧機構
３００ ヘッド移動機構
６００ 制御部
ＨＵ ヘッドユニット
Ｕ 対象物

Claims (9)

1. 液体を収容する液室と、前記液室内の液体を吐出するノズル孔と、前記液室内に設けられる弁体と、前記弁体を前記ノズル孔を閉鎖する位置および前記ノズル孔を開放する位置に移動させる駆動体と、を有する液体吐出ヘッドと、
   前記駆動体に、前記ノズル孔を開放する位置に前記弁体を移動させる開放電圧および前記ノズル孔を閉鎖する位置に前記弁体を移動させる閉鎖電圧を印加する駆動制御部と、
   を備えるヘッドユニットの液体吐出方法であって、
   前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報に基づき前記開放電圧の電圧値を補正する開放電圧補正ステップと、
   前記情報に基づき前記開放電圧の印加時間を補正する開放時間補正ステップと、
   を有し、
   前記開放電圧補正ステップは、前記吐出量の変化が少ない状況下で実施し、
   前記開放時間補正ステップは、前記吐出速度の変化が少ない状況下で実施する
   ことを特徴とする液体吐出方法。
2. 前記開放電圧補正ステップを実施後に、前記開放時間補正ステップを実施することを特徴とする請求項１記載の液体吐出方法。
3. 前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報を格納した記憶手段を有し、前記開放電圧補正ステップおよび前記開放時間補正ステップは、前記記憶手段に格納された情報に基づき実施されることを特徴とする請求項１記載の液体吐出方法。
4. 液体を収容する液室と、前記液室内の液体を吐出するノズル孔と、前記液室内に設けられる弁体と、前記弁体を前記ノズル孔を閉鎖する位置および前記ノズル孔を開放する位置に移動させる駆動体と、を有する液体吐出ヘッドと、
   前記駆動体に、前記ノズル孔を開放する位置に前記弁体を移動させる開放電圧および前記ノズル孔を閉鎖する位置に前記弁体を移動させる閉鎖電圧を印加する駆動制御部と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記駆動制御部は、
   前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報に基づき前記開放電圧の電圧値を補正する開放電圧補正手段と、
   前記情報に基づき前記開放電圧の印加時間を補正する開放時間補正手段と、
   を備えることを特徴とするヘッドユニット。
5. 前記開放電圧補正手段によって前記開放電圧の電圧値を補正した後に、前記開放時間補正手段によって前記開放電圧の印加時間を補正することを特徴とする請求項４記載のヘッドユニット。
6. 前記開放電圧ならびに前記ノズル孔からの前記液体の吐出速度および吐出量の情報を格納する記憶手段を備えることを特徴とする請求項４記載のヘッドユニット。
7. 前記記憶手段に格納された情報に基づき、前記開放電圧補正手段は前記開放電圧の電圧値を補正し、前記開放時間補正手段は前記開放電圧の印加時間を補正することを特徴とする請求項６記載のヘッドユニット。
8. 前記ノズル孔を複数有することを特徴とする請求項４記載のヘッドユニット。
9. 請求項４乃至８のいずれか一項に記載のヘッドユニットを備え、対象物に対して前記液体を塗布することを特徴とする塗布装置。