JP2023138317A - ガスクリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本開示の一態様について、主に、図1~図4を参照しながら説明する。なお、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面に示される、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。
図1に示すように、処理炉202は温度調整器(加熱部)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置の製造工程の一工程として、基板としてのウエハ200上に膜を形成する基板処理シーケンス例、すなわち、成膜シーケンス例について説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
複数枚のSi製のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、反応管203の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。シールキャップ219は最終的に、反応管203の下端を閉鎖する。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される。このとき、バルブ243eを開き、処理室201内を不活性ガスでパージしてもよい。また、処理室201内のウエハ200が所望の温度となるように、ヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ221が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。また、回転機構267によるウエハ200の回転を開始する。処理室201内の排気、ウエハ200の加熱および回転は、いずれも、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
処理容器204内のウエハ200に対して酸化剤となる酸化ガス等を供給する。具体的には、バルブ243a及び243bを開き、ガス供給管232a及びガス供給管232bから、酸化ガス及び水素含有ガスをそれぞれ水蒸気発生器260に供給する。水蒸気発生器260内で生じた水蒸気が処理室201内へ供給され、排気口231より排気される。基板が水蒸気に曝露されることによりパイロジェニック酸化(ウエット酸化)が行われる。なお、水蒸気以外の酸化ガスをガス供給管232dから処理室へ直接供給するドライ酸化が行われても良い。
酸化ガス供給流量:0.001~2slm
水素含有ガス供給流量:0.001~2slm
各ガス供給時間:1秒~1200分、好ましくは10~600分
処理温度:750~1250℃
処理圧力:1Pa~101kPaが例示される。
また、本明細書における処理温度とはウエハ200の温度または処理室201内の温度のことを意味し、処理圧力とは処理室201内の圧力のことを意味する。また、処理時間とは、その処理を継続する時間を意味する。これらは、以下の説明においても同様である。
成膜ステップが終了した後、ヒータ207や送風機228を制御して、所定の降温レートで所定の温度まで処理室内の温度を低下させる。このとき、またバルブ243eを開け、パージガスとしての不活性ガスを処理室201内へ供給し、排気口231から排気する、パージが行われても良い。また、APCバルブ244を制御して、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、反応管203の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態で反応管203の下端から反応管203の外部に搬出(ボートアンロード)される。ボートアンロードの後は、シャッタ219sが移動させられ、反応管203の下端開口がシャッタ219sにより閉鎖される(シャッタクローズ)。処理済のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
次に、図1~図4を参照して、本実施形態の基板処理装置のおけるガスクリーニング技術について説明する。
本実施形態では、汚染物質を処理室201から除去する。本明細書では、この処理を、ガスクリーニング処理と称する。
処理室201内に酸素含有ガスを供給せずにハロゲン含有ガスを供給して、第1の金属元素を処理室201から除去するステップaと、
処理室201内に酸素含有ガスを供給して、第2の金属元素を処理室201から除去するステップbと、
処理室201の内面(例えば、反応管203の内壁)、処理室201内に配置された部品(例えば、ボート217)、及び処理室201内に配置された、汚染物質を付着させるためのダミー基板のうちの少なくとも1つに対し、保護酸化膜を形成するステップcとを含む。
ステップbは、ステップaの後に続けて行われる。ステップcは、ステップaの前に行われる。
シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、反応管203の下端開口が開放される(シャッタオープン)。本実施形態では、その後、ダミー基板(図示せず)のみが配置されたボート217、すなわち、ウエハ200を装填しておらず、ダミー基板が配置されたボート217が、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入される。つまり、本実施形態では、ステップa及びステップbは、処理室内に、ダミー基板を配置した状態で行われる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気される。また、処理室201内が所望の温度となるように、ヒータ207によって加熱される。このとき、処理室201内の部材、すなわち、反応管203の内壁、ガス供給路233の表面や内部(内壁)、ボート217の表面等も、所望の温度に加熱される。処理室201内の温度が所望の温度に到達した後、後述するガスクリーニング処理が完了するまでの間は、その温度が一定に維持されるように制御する。ステップa及びステップbは、800℃~1300℃の間の処理温度で連続して行われることが好ましい。1300℃を超えるとウエハが反ったりスリップ転移が発生したりするが、1300℃以下であればそれらを防ぐことができる。また、800℃未満では、拡散係数の低下により金属不純物が表面に到達しにくく、塩化又は酸化されにくく、またそれが蒸発しにくく、クリーニング処理時間が非常に長くなるが、800℃以上であれば現実的な時間で処理ができる。
その後、ステップa~ステップcを実行する。
なお、ステップcが行われる前において、バルブ243a~243eは、閉じられている。
最初にステップcを行う。ステップcでは、処理室201の内面(例えば、反応管203の内壁)、処理室内に配置された部品(例えば、ボート217)、及び処理室201内に配置されたダミー基板に対し、保護酸化膜を形成する。
続いてステップaを行う。ステップaでは、処理室201内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、第1の金属元素を除去する。つまり、第1の金属元素を塩化し、気化して除去する。塩素含有ガスは、HClガスと不活性ガスとを含む混合ガスであることが好ましい。不活性ガスは、気化した金属塩化物の分圧を下げ、気化を促進し、排出中の凝華を抑制する。不活性ガスとして安価なN2ガスが利用できる。なお、第1の金属元素は、酸化物を塩化物化する反応が、炭素の存在によって吸エルゴン反応から発エルゴン反応に変化する傾向がある。従って、既に酸化した第1の金属元素に対しては、DCE等の塩素及び炭素を含有するガスの併用が有効な場合がある。
続いてステップbを行う。
ステップbでは、処理室201内に酸素含有ガス(酸化ガス)を供給して、第2の金属元素を除去する。つまり、第2の金属元素を酸化し、気化して除去する。
酸素含有ガスは、O2ガスであることが好ましい。
上述したステップa及びステップbを含むサイクルを所定回数(1回以上)行うことにより、汚染物質を処理室からより除去することができる。ステップaの累積時間は、ガスクリーニング後に行われるSi基板の酸化処理で得られる酸化膜の膜厚の偏差が所定以内になるように或いは膜中の所定の不純物密度が所定以下(例えば1×1010[atoms/cm2]以下)になるように設定されうる。
ガスクリーニング処理が終了した後、上述の基板処理工程における降温と同様の処理手順により、処理室201内の温度を低下させるとともに、処理室201内をパージする(アフターパージ)。その後、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、反応管203の下端が開口される。そして、ボート217が、反応管203の下端から反応管203の外部へ搬出される(ボートアンロード)。
本実施形態では、続いてダミー基板の交換ステップが行われてもよい。
ダミー基板の交換ステップでは、ボート217に配置された、汚染物質が付着したダミー基板を新しいダミー基板に交換し、上述したガスクリーニング処理を再度行う。また続けて基板処理工程を行う場合、全て又は一部のダミー基板を払い出して、FOUP等の容器に保管する。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、
第1の金属元素及び第2の金属元素を含む汚染物質を処理室201から除去するガスクリーニング工程と、処理室201内のウエハ200に対して処理ガスを供給して、ウエハ200への処理を行う工程と、を有し、処理室201内をクリーニングする工程は、
(a)処理室201内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、第1の金属元素を除去する工程と、
(b)処理室201内に酸素含有ガスを供給して、第2の金属元素を除去する工程と、
を含み、
工程(b)は、工程(a)の後に行われる。
本実施形態の基板処理方法は、
処理室201内の基板に対して処理ガスを供給して、基板への処理を行う工程と、基板への処理を行った後の処理室201内をクリーニングする工程と、を有し、処理室201内をクリーニングする工程は、
(a)処理室201内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、第1の金属元素を処理室201から除去する工程と、
(b)処理室201内に酸素含有ガスを供給して、第2の金属元素を処理室201から除去する工程と、を含み、
工程(b)は、工程(a)の後に行われる。
本実施形態のプログラムは、
(a)基板処理装置の処理室201内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第1の金属元素を処理室201から除去する手順と、
(b)処理室201内に酸素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第2の金属元素を処理室201から除去する手順と、をコンピュータにより前記基板処理装置に実行させるプログラムであり、
前記基板処理装置に、
手順(b)を、手順(a)の後に行わせる。
本態様によれば、以下に示す1つまたは複数の効果が得られる。
図5に示すように、AlCl3及びTiCl4の標準生成エンタルピーは-700kJ/mol未満である。これにより、Ti及びAlは、代表的な金属元素の中でもClとの反応性が強いことがわかる。そのため、処理室201内にTi及びAlの一方が残留していた場合、Ti及びAlの一方がHClと反応して、処理室201内の雰囲気中に飛散して、基板(例えば、ウエハ)に捕獲されやすい。α-Al2O3の標準生成エンタルピーは-1675.7kJ/molである。そのため、処理室201に含まれるAlを除去するには、O2を含まない状態での塩化反応が適していることがわかる。
処理室201がAlを含む場合、従来のように、処理室201内にO2ガスを供給する
とともにHClガスを供給すると、O2ガスはAlを酸化して、エッチングされにくい酸化物(Al2O3)が形成されやすい。その結果、処理室201に含まれるAlは、処理室201の外部に除去されにくい。特にAl、Fe、Cuは、処理室201内にO2ガスを供給するとともにHClガスを供給すると、酸化物になりやすい。
一方、処理室201がAlを含む場合、従来と異なり、処理室201内にO2ガスを供給せずにHClガスを供給すると、HClガスはAlを塩化して、揮発性の塩化物(AlCl3)が形成されやすい。その結果、処理室201に含まれるAlは、処理室201の外部に除去されやすい。特に、K、Ca、Al、Ni及びCuは、処理室201内にO2ガスを供給せずにHClガスを供給すると、塩化物になりやすい。
Si+4HCl→SiCl4+2H2
本実施形態のガスクリーニング方法は、工程(c)を含むが、本開示のガスクリーニング方法は、工程(c)を含まなくてもよい。本変形例においても、上述の態様と同様の効果が得られる。
本実施形態のガスクリーニング方法では、工程(a)は、第1の金属元素を塩化し、気化して除去し、工程(b)は、第2の金属元素を酸化し、気化して除去するが、本開示では、工程(a)は、第1の金属元素を塩化し、気化して除去しなくてもよいし、工程(b)は、第2の金属元素を酸化し、気化して除去しなくてもよい。
本実施形態のガスクリーニング方法では、工程(b)は、工程(a)の後に続けて行われるが、本開示では、工程(b)は、工程(a)の後に続けて行われなくてもよい。
本実施形態のガスクリーニング方法では、工程(a)及び工程(b)は、処理室201内に、汚染物質を付着させるためのダミー基板を配置した状態で行われるが、本開示では、工程(a)及び工程(b)は、処理室201内に、汚染物質を付着させるためのダミー基板を配置しない状態で行われてもよい。
本実施形態のガスクリーニング方法では、工程(a)及び工程(b)は、複数回繰り返し行われるが、本開示では、工程(a)及び工程(b)は、複数回繰り返し行われなくてもよい。
本実施形態のガスクリーニング方法では、工程(a)及び工程(b)は、処理室201内で基板を酸化、拡散、アニールする処理の前に行われるが、本開示では、工程(a)及び工程(b)は、処理室201内で基板を酸化、拡散、アニールする処理の前に行われなくてもよい。
201 処理室
207 ヒータ
233 ガス供給路
Claims (18)
- (a)処理室内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第1の金属元素を処理室から除去する工程と、
(b)前記処理室内に前記酸素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第2の金属元素を前記処理室から除去する工程と、
を含み、
前記工程(b)は、前記工程(a)の後に行われる、ガスクリーニング方法。 - (c)前記処理室の内面、前記処理室内に配置された部品、及び前記処理室内に配置された、前記汚染物質を付着させるためのダミー基板のうちの少なくとも1つに対し、保護酸化膜を形成する工程を更に含み、
前記工程(c)は、前記工程(a)の前に行われる、請求項1に記載のガスクリーニング方法。 - 前記工程(a)は、前記第1の金属元素を塩化し、気化して除去し、
前記工程(b)は、前記第2の金属元素を酸化し、気化して除去する、請求項1に記載のガスクリーニング方法。 - 前記塩素含有ガスは、HClガスと不活性ガスとを含む混合ガスであり、
前記第1の金属元素は、Fe、Al、Cr、Ni、及びTiのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のガスクリーニング方法。 - 前記第2の金属元素は、Mg、Ca、及びNaのうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記酸素含有ガスは、O2ガスを含む、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記工程(b)は、前記工程(a)の後に続けて行われる、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記処理室の材質は、石英であり、
前記処理室に配置された、基板を支持するための部品の材質は、シリコン、石英、又はSiCである、請求項1に記載のガスクリーニング方法。 - 前記不活性ガスは、N2及びArのうちの少なくとも1つを含む、請求項4に記載のガスクリーニング方法。
- 前記工程(a)及び前記工程(b)は、前記処理室内に、前記汚染物質を付着させるためのダミー基板を配置した状態で行われる、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記工程(b)では、前記処理室内に配置された部品をパッシブ酸化する酸素分圧となるように、前記酸素含有ガスを供給する、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記工程(a)及び前記工程(b)は、800℃~1300℃の間の処理温度で連続して行われる、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記工程(a)及び前記工程(b)は、複数回繰り返し行われる、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 前記工程(a)及び前記工程(b)は、前記処理室内で基板を酸化、拡散、アニールする処理の前に行われる、請求項1に記載のガスクリーニング方法。
- 第1の金属元素及び第2の金属元素を含む汚染物質を処理室から除去するガスクリーニング工程と、前記処理室内の基板に対して処理ガスを供給して、前記基板への処理を行う工程と、を有し、前記処理室内をクリーニングする工程は、
(a)前記処理室内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、前記第1の金属元素を除去する工程と、
(b)前記処理室内に前記酸素含有ガスを供給して、前記第2の金属元素を除去する工程と、
を含み、
前記工程(b)は、前記工程(a)の後に行われる、半導体装置の製造方法。 - 第1の金属元素及び第2の金属元素を含む汚染物質を処理室から除去するガスクリーニング工程と、前記処理室内の基板に対して処理ガスを供給して、前記基板への処理を行う工程と、を有し、前記処理室内をクリーニングする工程は、
(a)前記処理室内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、前記第1の金属元素を除去する工程と、
(b)前記処理室内に前記酸素含有ガスを供給して、前記第2の金属元素を除去する工程と、
を含み、
前記工程(b)は、前記工程(a)の後に行われる、基板処理方法。 - (a)基板処理装置の処理室内に酸素含有ガスを供給せずに塩素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第1の金属元素を除去する手順と、
(b)前記処理室内に前記酸素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第2の金属元素を除去する手順と、をコンピュータにより前記基板処理装置に実行させるプログラムであり、
前記基板処理装置に、
前記手順(b)を、前記手順(a)の後に行わせる、プログラム。 - 基板を収容する処理室と、
前記処理室に接続され、前記処理室内に処理ガス、塩素含有ガス、及び酸素含有ガスを供給可能に構成されたガス供給系と、
前記基板又は前記処理室を加熱するヒータと、
(a)前記処理室内に前記酸素含有ガスを供給せずに前記塩素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第1の金属元素を除去する処理と、
(b)前記処理(a)の後に、前記処理室内に前記酸素含有ガスを供給して、汚染物質を構成する第2の金属元素を除去する処理と、を行わせるように前記ガス供給系と、前記ヒータと、を制御することが可能な制御部と、
を有する基板処理装置。
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