JP2023108311A - 圧電素子及び圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】実装のための導電性の接合材が短絡する蓋然性を低減する。【解決手段】水晶素板３において、突出部１５は、平面視において、主部１３の－Ｄ１側の縁部１３ｅのうちの中央側の一部から－Ｄ１側へ突出している。２つの励振電極７は、主部１３の表裏に重なっている。２つの引出電極９は、２つの励振電極７から引き出されている。２つの接続電極１１は、突出部１５に位置しており、２つの引出電極９を介して２つの励振電極７と接続されている。突出部１５は、水晶素板３の厚み方向の一方側に面している被実装面１５ｍを有している。２つの接続電極１１は、被実装面１５ｍに位置している部分を有しているとともに被実装面１５ｍにおいてＤ２方向に互いに離れている。被実装面１５ｍの、２つの接続電極１１の間に、凹部、凸部及び貫通孔の少なくとも１つを含む介在部１７が位置している。【選択図】図１

Description

本開示は、圧電素子、及び当該圧電素子を有する圧電デバイスに関する。

水晶振動子及び水晶発振器等の圧電デバイスが知られている（例えば下記特許文献参照）。このような圧電デバイスは、水晶素子等の圧電素子と、圧電素子を保持しているパッケージとを有している。

圧電素子は、例えば、圧電素板（板状の圧電体）と、圧電素板の表裏に重なる２つの励振電極と、を有している。２つの励振電極によって圧電素板に電圧が印加されることによって圧電素板が振動する。この振動は、例えば、発振信号（例えば一定の周波数で信号強度が振動する信号）の生成に利用される。

また、圧電素子は、２つの励振電極から圧電素板の一端（例えば矩形状の圧電素板の１つの短辺）に向かって引き出されている２つの引出電極と、圧電素板の一端に位置し、２つの引出電極に接続されている２つの接続電極と、を有している。２つの接続電極は、例えば、パッケージが有している２つのパッドと導電性の接合材によって接合される。これにより、圧電素子は、パッケージに電気的に接続されるとともに、パッケージによって支持される。

特許文献１の図２１（ｂ）では、２つの励振電極が表裏に設けられる板状の振動部と、平面視において振動部から突出する突出部とを有している水晶素板が開示されている。突出部には、パッケージに接合される２つのマウント部が設けられている。２つのマウント部は、平面視において、突出部の突出方向に直交する方向に互いに離れている。

特開２０１３－４２４４０号公報

例えば、実装のための導電性の接合材が短絡する蓋然性を低減できる圧電素子及び圧電デバイスが提供されることが待たれる。

本開示の一態様に係る圧電素子は、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に広がっている板状の主部と、前記主部の平面視において、前記主部の前記第１方向の第１側の第１縁部のうちの中央側の一部から前記第１側へ突出している突出部と、を有している圧電素板と、前記主部の表裏に重なっている２つの励振電極と、前記２つの励振電極から引き出されている２つの引出電極と、前記突出部に位置しており、前記２つの引出電極を介して前記２つの励振電極と接続されている２つの接続電極と、を有しており、前記突出部は、前記圧電素板の厚み方向の一方側に面している被実装面を有しており、前記２つの接続電極は、前記被実装面に位置している部分を有しているとともに前記被実装面において前記第２方向に互いに離れており、前記被実装面の、前記２つの接続電極の間に、凹部、凸部又は貫通孔の少なくとも１つを含む介在部が位置している。

本開示の一態様に係る圧電デバイスは、上記圧電素子と、２つのパッドを有しているパッケージと、前記２つの接続電極と前記２つのパッドとを接合しているとともに導電性を有している２つの接合材と、を有している。

上記の構成によれば、例えば、実装のための導電性の接合材が短絡する蓋然性を低減できる。

第１実施形態に係る水晶素子を示す斜視図。 図１の水晶素子を示す他の斜視図。 図１の水晶素子の実装構造を示す斜視図。 図３のIV－IV線における断面図。 図４の一部を拡大した断面図 図１の水晶素子を有する水晶デバイスの分解斜視図。 図６のVII－VII線における断面図。 第２実施形態に係る水晶素子を示す断面図。 第３実施形態に係る水晶素子を示す断面図。 第４実施形態に係る水晶素子を示す斜視図。 図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は水晶素子が有する介在部の変形例を示す平面図。 水晶素子が有する突出部の断面形状に係る変形例を示す断面図。 図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は水晶素子が有する突出部の平面形状に係る変形例を示す平面図。 水晶素子の実装に係る変形例を示す斜視図。

以下、本開示に係る実施形態について、図面を参照して説明する。以下の説明で用いられる図は模式的なものである。従って、例えば、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。図面同士において同一の部材の寸法比率も必ずしも一致しない。また、細部の図示が省略されることがあり、一部の形状が誇張されて図示されることがある。ただし、上記は、実際の寸法比率が図面のとおりとされてもよいこと、及び図面から形状及び寸法比率等の特徴が抽出されてよいことを否定するものではない。

図面には、便宜上、直交座標系Ｄ１－Ｄ２－Ｄ３を付すことがある。実施形態に係る圧電素子及び圧電デバイスは、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよい。ただし、便宜上、＋Ｄ３側を上方とした表現をすることがある。また、平面視又は平面透視は、特に断りが無い限り、Ｄ３方向に平行に見ることを指す。また、図面の理解を容易にするために、比較的薄い層（例えば導体層）の表面（すなわち断面でない面）にハッチングを付すことがある。

相対的に後に説明される態様（実施形態及び変形例）の説明においては、基本的に、先に説明された態様との相違点についてのみ述べる。特に言及が無い事項は、先に説明された態様と同様とされたり、先に説明された態様から類推されたりしてよい。先に説明された態様の説明は、矛盾等が生じない限り、後に説明される態様に援用されてよい。複数の態様において、互いに対応する部材については、便宜上、相違点があっても同一の符号を付すことがある。

平面形状の縁部を指す用語としての「辺」は、一般に、多角形の縁部（換言すれば直線）を指すが、実施形態の説明では、便宜上、多角形でなくてもよい形状の縁部（例えば曲線状であってもよい縁部）に用いられることがある。同様に、「長辺」及び「短辺」は、一般に、長方形の辺を指すが、実施形態の説明では、便宜上、長方形以外の縁部に用いられることがある。「平行」は、通常、直線同士の距離が一定である関係を指すが、実施形態の説明では、便宜上、直線でなくてよい線（例えば曲線）同士の距離が一定である関係に用いられることがある。

矩形又は矩形状というとき、特に断りが無い限り、角部が面取りされているなど、厳密に正方形又は狭義の長方形でなくてもよいものとする。矩形以外の多角形についても同様である。ここでいう面取りは、製造上の誤差（公差）によって生じる角部の丸みの大きさよりも大きいものである。公差が存在していてよいことは、面取りに限らず、いうまでもないことだからである。

＜第１実施形態＞
（水晶素子の概要）
図１は、第１実施形態に係る水晶素子１（圧電素子の一例）の斜視図である。図２は、図１とは反対側から水晶素子１を見た斜視図である。

水晶素子１は、例えば、交流電圧が印加されることによって振動を生じるものである。この振動は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に利用される。このような水晶素子１は、例えば、水晶振動子又は水晶発振器に含まれる。発振信号の周波数は任意である。

水晶素子１は、例えば、水晶素板３（圧電素板の一例）と、水晶素板３に重なっている（少なくとも）２つの導体パターン５（図示の例では第１導体パターン５Ａ及び第２導体パターン５Ｂ）と、を有している。２つの導体パターン５は、互いに短絡されていない。

水晶素板３は、板状の主部１３と、平面視において主部１３から突出している突出部１５とを有している。主部１３は、Ｄ１方向（第１方向）及びＤ２方向（第１方向に直交する第２方向）に広がっている。突出部１５は、平面視において主部１３の＋Ｄ１側（第１方向の第１側）の縁部１３ｅの中央側の一部から＋Ｄ１側に突出している。

各導体パターン５は、例えば、励振電極７と、励振電極７から引き出されている引出電極９と、引出電極９に接続されている接続電極１１と、を有している。すなわち、水晶素子１は、１対の励振電極７と、１対の引出電極９と、１対の接続電極１１と、を有している。

１対の励振電極７は、主部１３の表裏に重なっており、主部１３に電圧（電界）を印加することに寄与する。１対の接続電極１１は、突出部１５に位置しており、水晶素子１の実装に寄与する。具体的には、例えば、後述する図７に示すように、接続電極１１とパッケージ１０３とが導電性の接合材１０５によって接合される。これにより、水晶素子１がパッケージ１０３に電気的に接続されるとともに固定される。

なお、水晶素子１は、パッケージ１０３以外の部材（例えば回路基板）に実装されてもよい。ただし、実施形態の説明では、便宜上、パッケージ１０３に実装されることを前提とした表現をすることがある。

パッケージ１０３を介して１対の接続電極１１に交流電圧が印加されると、その交流電圧は１対の引出電極９を介して１対の励振電極７に印加される。これにより、１対の励振電極７によって主部１３に交流電圧（電界）が印加され、主部１３が振動する。

突出部１５の表面のうち、パッケージ１０３の水晶素子１が実装される面（図７に示す第１基板面１１１ｃ）に対向する面（－Ｄ３側の面）を被実装面１５ｍと称するものとする。図２に示すように、各接続電極１１は、少なくとも被実装面１５ｍに位置する部分（下面部１１ｂ）を有している。また、２つの接続電極１１（下面部１１ｂ）は、被実装面１５ｍにおいて、Ｄ２方向に互いに離れている。

被実装面１５ｍは、２つの接続電極１１（下面部１１ｂ）の間に位置する介在部１７を有している。介在部１７は、凹部、凸部及び貫通孔の少なくとも１つを有している。図２の例では、介在部１７は、２つの凹部１９を有している。

上記のとおり、本実施形態では、２つの接続電極１１は、主部１３の縁部１３ｅ（換言すれば１辺）の一部から突出する突出部１５に位置している。従って、例えば、２つの接続電極１１に加えられる力に起因する突出部１５の歪は、縁部１３ｅの全体を介して主部１３に伝わるのではなく、縁部１３ｅの一部のみを介して主部１３に伝わる。これにより、突出部１５の歪が主部１３の振動に及ぼす範囲が限定的となる。その結果、振動特性の低下を低減したり、及び／又は振動特性の低下の予測を容易化したりできる。なお、２つの接続電極１１に加えられて水晶素板３に歪を生じさせる力としては、例えば、水晶素子１（水晶素板３）とパッケージ１０３との熱膨張差によるもの、及び接合材１０５の硬化収縮によるものが挙げられる。

上記のような効果を得ることができる一方で、２つの接続電極１１が突出部１５に位置している態様では、２つの接続電極１１の距離が短くなる蓋然性が高い。その結果、例えば、２つの接続電極１１に接合される２つの接合材１０５が短絡する蓋然性が高くなる。しかし、２つの接続電極１１の間に介在部１７が位置していることによって、そのような蓋然性が低減される。例えば、図示の例のように、介在部１７が凹部１９を含んでいる態様においては、接合材１０５のうち、意図された領域よりも外側に広がる部分は、凹部１９に入り込む。これにより、接合材１０５が更に広がる蓋然性が低減され、ひいては、２つの接合材１０５が短絡する蓋然性が低減される。

以上が第１実施形態に係る水晶素子１の概要である。以下において、第１実施形態の説明は、概略、下記の順に行う。
１．水晶素子１全般に係る事項
２．水晶素板３
２．１．主部１３
２．２．突出部１５
２．３．突出部１５の側面（図５）
３．導体パターン５
３．１．励振電極７
３．２．接続電極１１
３．３．引出電極９
４．介在部１７（図２及び図４）
５．水晶素子１の実装構造（図３～図５）
６．水晶素子１の寸法の例
７．水晶素子１の利用例（図６及び図７）
８．第１実施形態についてのまとめ

（１．水晶素子全般に係る事項）
水晶素子１は、例えば、いわゆるＡＴカット型の水晶素子とされている。ＡＴカット型においては、１対の励振電極７によって水晶素板３に交流電圧が印加されることによって、いわゆる厚み滑り振動が生じる。水晶素子１は、厚み滑り振動以外の振動を利用するものであっても構わない。厚み滑り振動以外の振動としては、例えば、屈曲振動モード、捩じり振動モード、長さ縦振動モード、幅縦振動モード、幅・長さ縦結合振動モード及び輪郭すべり振動モードが挙げられる。また、厚み滑り振動を利用する水晶素子１は、ＡＴカット以外のカット角のものであっても構わない。例えば、水晶素子１は、ＢＴカット型のものであってもよい。

なお、本実施形態の説明では、便宜上、特に断り無く、水晶素子１がＡＴカット型のものであることを前提とした説明及び表現をすることがある。

水晶素子１は、例えば、後に詳述するように、パッケージ１０３の凹部Ｒ１の底面（第１基板面１１１ｃ）に対向するように実装される（図７参照）。水晶素子１は、＋Ｄ３側及び－Ｄ３側のいずれが第１基板面１１１ｃに対向する側とされてもよいように構成されていてもよいし、そのように構成されていなくてもよい（図示の例）。例えば、水晶素子１は、Ｄ１方向に平行な不図示の対称軸（中心線）に関して１８０°回転対称の構成とされていてもよいし、そのような構成とされていなくてもよい（図示の例）。本実施形態の説明では、基本的に、－Ｄ３側が第１基板面１１１ｃに対向する側として想定されている態様を例にとる。

水晶素子１は、種々の方法によって作製されてよい。例えば、水晶素板３は、エッチング（例えばウェットエッチング）によって作製されてよい。

エッチングによって作製される水晶素板３は、後に図５を参照して説明するように、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、側面等に傾斜面（別の観点では結晶面）を有していることがある。実施形態の説明では、そのような傾斜面の存在について無視することがある。寸法等の説明において、厳密性が要求される場合においては、その説明は、合理性を欠いたり、矛盾が生じたりしない限り、傾斜面を無視して適用されてもよいし、傾斜面を考慮して適用されてもよい。例えば、水晶素板３のＤ１方向の長さというとき、当該長さは、＋Ｄ３側の面又は－Ｄ３側の面の長さ（結晶面を除いた長さ）であってもよいし、平面透視における最大長さ（結晶面を考慮した長さ）であってもよい。

（２．水晶素板）
上記の説明から理解されるように、水晶素板３のカット角は任意である。ＡＴカットの水晶素板３においては、例えば、結晶のＸ軸はＤ１方向に平行であり、結晶のＹ’軸はＤ３方向に平行であり、結晶のＺ’軸はＤ２方向に平行である。Ｙ’軸及びＺ’軸は、典型的には、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸回りに３５°１５′だけ回転させて得られる軸である。３５°１５′は、３５°１５′±１０°とされてもよい。Ｄ１方向の正側とＸ軸の正側とは互いに同じ側であってもよいし、互いに逆側であってもよい。他の方向の正負と他の軸の正負との関係についても同様である。厚み滑り振動は、＋Ｄ３側の面と－Ｄ３側の面とをＤ１方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる振動である。

水晶素板３は、全体として、概略板状とされている。板状は、例えば、所定方向（Ｄ３方向）の長さ（厚さ）が上記所定方向に直交する平面に沿う方向（Ｄ１－Ｄ２平面に沿う方向）の長さに比較して十分に短い形状である。このような寸法に基づく板状であるか否かの判断は、合理的になされてよい。なお、板状といえる寸法の例については後述する（第６節参照）。板状の部位について表裏の語は、板状の最も広い面（－Ｄ３側の面及び＋Ｄ３側の面）を指すことがあり、本実施形態の説明では、主面と称することがある。

水晶素板３の具体的な形状は、種々のものとされてよい。図示の例では、水晶素板３は、全体として平板状とされている。すなわち、水晶素板３の２つの主面は、互いに平行な平面状である。また、別の観点では、水晶素板３の厚さは一定である。

水晶素板３の形状は、平板状以外の形状であってもよい。そのような形状としては、例えば、以下のものを挙げることができる。１対の励振電極７と重なって励振される領域（メサ部。例えば、主部１３の中央側の一部の領域）が、その外周の領域よりも厚い、いわゆるメサ型。上記とは逆に、１対の励振電極７と重なって励振される領域（逆メサ部。例えば、主部１３の中央側の一部の領域）が外周の領域よりも薄い、いわゆる逆メサ型。１対の励振電極７と重なって励振される振動部（例えば主部１３の全部又は一部）と、当該振動部の縁部の一部（例えば１辺、２辺又は３辺）に隣接し、振動部よりも厚く、１対の接続電極１１が位置する固定部（突出部１５の全部又は一部を含む部分）と、を有するもの。外周部（例えば主部１３の外周部）において外周縁に近づくほど薄くなるベベル型。上記の振動部及び固定部を有する水晶素板においては、固定部が、振動部に対して、一方の面側（例えば－Ｄ３側）に厚くなるものと、両面側（－Ｄ３側及び＋Ｄ３側）に厚くなるものとがある。

水晶素板３の形状は、対称性を有していてもよいし（図示の例）、有していなくてもよい。後者の例としては、例えば、既述の振動部及び固定部を有する水晶素板において、固定部が振動部に対して一方の面側（－Ｄ３側）にのみ厚くなっているもの、及び平面視において固定部が振動部の２辺に沿って位置しているもの（固定部がＬ字状を呈しているもの）を挙げることができる。

水晶素板３は、図示の例とは異なり、適宜な位置に、種々の目的で、介在部１７に含まれない、凹部、凸部及び貫通孔を有していてもよい。例えば、水晶素板３は、主部１３と突出部１５との間に位置する凹部、凸部及び／又は貫通孔を有していてもよい。このような凹部、凸部及び／又は貫通孔は、例えば、接続電極１１のパッケージ１０３に対する固定が励振電極７の領域における振動に及ぼす影響を低減することに寄与してよい。また、貫通孔は、例えば、導体パターン５の表裏の導通に寄与してよい。

水晶素板３（主部１３及び突出部１５を含む全体）の平面形状は、Ｄ１方向及びＤ２方向のいずれを長手方向としていてもよいし（換言すれば、いずれの方向の最大長さが他の方向の最大長さよりも長くてもよいし）、長手方向及び短手方向の区別ができなくてもよい。なお、Ｄ１方向は、主部１３から突出部１５への方向、及び突出部１５の突出方向であり、また、別の観点では、厚み滑り振動の方向である。図示の例では、Ｄ１方向が長手方向とされている。

（２．１．主部）
主部１３は、概略、板状を呈している。板状については既述のとおりである。また、既述の説明から理解されるように、図示の例では、主部１３は、平板状である。

図示の例では、主部１３の平面形状は、矩形状とされている。すなわち、主部１３は、互いに平行な１対の辺と、互いに平行な他の１対の辺とを有している。前者の１対の辺と後者の１対の辺とは互いに直交している。別の観点では、主部１３の平面形状は、互いに対向する１対の縁（直線とは限らない）と、互いに対向する他の１対の縁（直線とは限らない）とを有している。前者の１対の縁と後者の１対の縁とは互いに交差している（直交するとは限らない）。換言すれば、主部１３の平面形状は、その輪郭が４つの縁によって構成されていると捉えることができる形状である。

主部１３の平面形状は、矩形状以外の形状であってもよい。そのような形状としては、例えば、円形状、楕円状又は多角形状（矩形状以外）が挙げられる。また、主部１３の平面形状は、多角形の任意の数の辺（例えば矩形状の１辺、２辺、３辺又は４辺）を外側に曲線状に膨らませた形状とされてもよい。なお、円形状及び楕円形状の例から理解されるように、主部１３の平面形状は、互いに異なる方向に面している縁部（例えば－Ｄ１側の縁部及び＋Ｄ２側の縁部）の境界が明瞭でない形状であっても構わない。矩形状の任意の数の辺を外側に曲線状に膨らませた形状は、４つの縁によって構成されていると捉えることができる主部１３の平面形状の例である。

主部１３の平面形状は、Ｄ１方向及びＤ２方向のいずれを長手方向としていてもよいし、長手方向及び短手方向の区別ができない形状（例えば正方形状又は円形状）であってもよい。図示の例では、主部１３は、Ｄ１方向が長手方向とされている。なお、主部１３と突出部１５とはＤ１方向に並んでいるから、主部１３の長手方向がＤ１方向である態様においては、水晶素板３の全体の長手方向もＤ１方向である。主部１３の長手方向がＤ２方向である態様において、水晶素板３の全体の長手方向と、主部１３の長手方向とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。

（２．２．突出部）
突出部１５は、既述のように、板状の主部１３の平面視において、主部１３の－Ｄ１側の縁部１３ｅの中央側の一部から－Ｄ１側へ突出している。そのように捉えることができる限り、突出部１５の形状及び寸法は、任意のものとされてよい。

上記にいう縁部１３ｅの中央側の一部は、例えば、平面視において、縁部１３ｅの長さの中央（例えば中点）を含み、縁部１３ｅの両端を含まない部位である。縁部１３ｅの中央側の一部は、縁部１３ｅの全長よりも短い長さを有している。縁部１３ｅの中央側の一部の中央（別の観点では突出部１５の根元の中央）は、縁部１３ｅの中央に一致していてもよいし（図示の例）、一致していなくてもよい。ここでいう一致は、両者のＤ２方向のずれが、縁部１３ｅの中央側の一部のＤ２方向の長さ（突出部１５の根元の幅）の１／５以下又は１／１０以下である状態とされてよい。

図示の例では、主部１３の平面形状は、矩形状であり、－Ｄ１側の縁部１３ｅは、その両端（他の方向の縁部との境界）が明確である。ひいては、突出部１５が縁部１３ｅの中央側の一部から－Ｄ１側に突出しているか否かも明確である。主部１３の形状が４つの縁部を概念できる他の形状（例えば矩形状の４つの縁部の少なくとも１つを外側に曲線状に膨らませた形状）である態様においても同様である。なお、縁部１３ｅと側方（－Ｄ２側又は＋Ｄ２側）の縁部との角部が比較的大きく面取りされている態様においては、面取りされていない状態の仮想的な縁部１３ｅを基準として、突出部１５が縁部１３ｅの中央側の一部から突出しているか否かが特定されてもよい。

図示の例とは異なり、主部１３が円形状又は楕円形状である態様のように、主部１３において、－Ｄ１側の縁部１３ｅと、他の縁部との境界が明瞭でない態様（別の観点では縁部１３ｅが－Ｄ１側に突出している形状）においても、水晶素板３が縁部１３ｅの中央側の一部から突出している突出部１５を有しているか否かを把握することは可能である。その判断は、合理的になされてよい。例えば、水晶素板３が突出部１５を有している場合においては、水晶素板３の平面形状は、数学でいう凸集合がなす形状でなくなる。別の観点では、水晶素板３が突出部１５を有している場合、突出部１５の根元の両側には曲線状又は角状の凹みが形成される。水晶素板の外周縁のうちの－Ｄ１側に多少なりとも面している範囲のうちの当該範囲の両端を除く部分にそのような２つの凹みが位置していることに基づいて、－Ｄ１側の縁部１３ｅの中央側の一部から突出している突出部１５が存在していることが確認されてよい。

突出部１５は、例えば、概略、板状を呈している。板状については既述のとおりである。また、既述の説明から理解されるように、図示の例では、突出部１５は、平板状である。図示の例とは異なり、突出部１５は、その一部又は全部の厚さが相対的に厚くされることなどによって、板状とは捉えがたい形状とされていてもよい。また、突出部１５は、その一部が厚くされることなどによって、平板状とは捉えがたい形状とされていてもよい。突出部１５の厚さは、主部１３の厚さに対して、同等であってもよいし（図示の例）、厚くてもよいし、薄くてもよい。

図示の例では、突出部１５の平面形状は、矩形状とされている。図示の例とは異なり、突出部１５の平面形状は、矩形状以外の形状であってもよい。そのような形状としては、例えば、主部１３側を中心側とする半円状、主部１３側を中心側とする半楕円状、主部１３側を底辺側とする三角形状、主部１３側を下底側とする台形状（後述する図１３（ａ）参照）又は５角形以上の多角形状が挙げられる。また、突出部１５の平面形状は、多角形の任意の数の辺（例えば矩形状の１辺、２辺又は３辺）を外側に曲線状に膨らませた形状とされてもよい。

別の観点では、突出部１５の平面形状は、例えば、幅（Ｄ２方向の長さ）がＤ１方向において一定である形状とされてもよいし（図示の例）、Ｄ１方向の一部又は全部において、－Ｄ１側（先端側）ほど幅が狭くなる形状であってもよいし（後述する図１３（ａ）参照）、Ｄ１方向の一部又は全部において、－Ｄ１側ほど幅が広くなる形状であってもよい。突出部１５が、幅が狭く、及び／又は広くなる部分を有する態様において、幅の変化は、連続的なものであってもよいし、段階的なものであってもよい。別の観点では、平面視において、突出部１５の－Ｄ２側及び／又は＋Ｄ２側の側面は、例えば、その全体に亘ってＤ１方向に傾斜する直線状であってもよいし、その全体に亘って曲線状であってもよいし、１カ所以上の位置に段差及び／又は角部を有していてもよい。

突出部１５の平面形状は、主部１３の平面形状と類似していてもよいし、全く異なっていてもよい。前者としては、主部１３及び突出部１５が矩形状である態様が挙げられる（図示の例）。後者としては、主部１３が円形状又は楕円形状で、突出部１５が多角形状（例えば矩形状）である態様が挙げられる。

突出部１５の平面形状は、Ｄ１方向及びＤ２方向のいずれを長手方向としていてもよいし（換言すれば、いずれの方向の最大長さが長くてもよいし）、長手方向及び短手方向の区別ができない形状（例えば正方形状）であってもよい。また、突出部１５の長手方向は、主部１３の長手方向及び／又は水晶素板３全体の長手方向と一致していてもよいし、異なっていてもよい。なお、突出部１５のＤ１方向の長さ（後に具体的な値を例示する）は、例えば、主部１３の－Ｄ１側の縁部１３ｅと突出部１５との境界線からの長さ（例えば最大長さ）とされてよい。境界線は、縁部１３ｅの突出部１５の両側の部分を仮想的に延長することによって特定されてよい。境界線の特定が困難な場合においては、突出部１５の根元の両側（既述の２つの凹み）を結ぶ直線を基準としてもよい。

突出部１５は、主部１３の縁部１３ｅの中央側の一部から突出しているから、突出部１５の根元の幅（Ｄ２方向の長さ）は、主部１３の－Ｄ３側の縁部１３ｅの両端間の距離（Ｄ２方向）よりも小さい。この点を除いて、突出部１５の主部１３に対する相対的な大きさは任意である。

例えば、図示の例では、突出部１５のＤ１方向の全体に亘って、突出部１５の幅（Ｄ２方向）は、縁部１３ｅの両端間の距離よりも小さくされており、ひいては、主部１３の最大幅（Ｄ２方向）よりも小さくされている。換言すれば、突出部１５の最大幅は、縁部１３ｅの両端間の距離及び主部１３の最大幅よりも小さい。図示の例とは異なり、突出部１５の最大幅は、縁部１３ｅの両端間の距離又は主部１３の最大幅に対して、同等であってもよいし、大きくてもよい。例えば、突出部１５は、概略Ｔ字状（－Ｄ１側がＴ字の上方）とされ、最大幅が縁部１３ｅの両端間の距離及び／又は主部１３の最大幅と同等とされてもよい。

また、例えば、突出部１５のＤ１方向の長さ（例えば最大長さ）は、主部１３のＤ１方向の長さ（例えば最大長さ又は平均長さ）よりも短い。図示の例とは異なり、前者は、後者に対して、同じであってもよいし、長くてもよい。また、突出部１５のＤ１方向の長さは、主部１３のＤ２方向の長さに対して、短くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、長くてもよい。

（２．３．突出部の側面）
図３は、パッケージ１０３に実装された状態の水晶素子１の一部（突出部１５側の部分）を拡大して示す斜視図である。図４は、図３のIV-IV線における断面図である。図５は、図４の横方向（Ｄ２方向）の両側を拡大して示す断面図である。

既述のように、水晶素板３の側面は、エッチングに対する水晶の異方性に起因して現れた結晶面（別の観点ではＤ３方向に対して傾斜する傾斜面）を有していてよい。結晶面は、原子の配列（別の観点ではＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸）に対して特定の向き（角度）を有している面である。図１～図４では、既に断り書きしたように、結晶面の存在を無視して水晶素板３の側面が描かれている。一方、図５では、水晶素板３（より詳細には突出部１５）が有する結晶面の一例が示されている。

図５では、突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側に面している側面１５ｃが図示されている。念のために記載すると、側面１５ｃは、突出部１５において、上面と下面（被実装面１５ｍ）とをつなぐ面である。また、既述のように、ＡＴカット型において、Ｄ２方向は、Ｚ’方向である。そして、側面１５ｃは、結晶面の一例であるｍ面１５ｃａと、結晶面の他の一例である結晶面１５ｃｂとを有している。ｍ面１５ｃａと結晶面１５ｃｂとは交差している。側面１５ｃは、別の観点では、外側に膨らむ形状である。そして、側面１５ｃは、下方（－Ｄ３側）ほど外側に位置するように傾斜している第１傾斜面（＋Ｄ２側の側面１５ｃにおいては結晶面１５ｃｂ、－Ｄ２側の側面１５ｃにおいてはｍ面１５ｃａ）と、第１傾斜面の下方に位置しており、下方ほど内側に位置するように傾斜している面（＋Ｄ２側の側面１５ｃにおいてはｍ面１５ｃａ、－Ｄ２側の側面１５ｃにおいては結晶面１５ｃｂ）とを有している。

ｍ面１５ｃａは、Ｚ軸を軸とする柱体（通常は六角柱）の側面（Ｚ軸に平行な面）である。ＡＴカット型においては、６個のｍ面のうち、Ｙ軸に直交する２つのｍ面がＺ’方向（Ｄ２方向）の両側の側面に現れる。Ｄ３方向に対するｍ面１５ｃａの傾斜角を角度θ１とする。このとき、ＡＴカット型においては、ＡＴカットの定義から明らかなように、角度θ１は、９０°－３５°１５′＝約５５°（例えば５３°以上５７°以下）である。なお、ｍ面１５ｃａは、比較的、エッチング条件によらずに現れやすい面である。ｍ面１５ｃａのＤ２－Ｄ３断面（Ｙ′Ｚ′断面）における大きさは適宜に設定されてよい。例えば、ｍ面１５ｃａのＤ３方向（Ｙ′軸方向）に平行な長さは、突出部１５の厚さに対して、３０％以上７０％以下、４０％以上６０％以下、又は５０％（図示の例）とされてよい。

結晶面１５ｃｂは、エッチング条件（エッチング時間等）によって異なる。例えば、Ｄ２方向に対する結晶面１５ｃｂの傾斜角を角度θ２とする。このとき、ＡＴカット型において、角度θ２は、例えば、約３°（図示の例）、約１８°、又は約３７°である。なお、上記に例示した角度θ２は、角度θ１よりも小さい。上記の例示とは異なり、角度θ２は、角度θ１よりも大きくてもよい。特に図示しないが、側面１５ｃは、ｍ面１５ｃａを含む３以上の結晶面を有していてもよい。例えば、側面１５ｃは、１つのみの結晶面１５ｃｂに代えて、角度θ２が約３°の結晶面、角度θ２が約１８°の結晶面及び角度θ２が約３７°の結晶面の２つ以上の結晶面を有していてもよい。また、側面１５ｃは、ｍ面１５ｃａに対して結晶面１５ｃｂとは反対側に結晶面を有していてもよい。側面１５ｃは、結晶面とは断定できない傾斜面（例えば曲面状の傾斜面）を有していてもよい。

（３．導体パターン）
図１及び図２に戻って、導体パターン５の材料は、例えば、金属とされてよい。金属としては、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）若しくは銀（Ａｇ）又はこれらの少なくとも１つを主成分とする合金を挙げることができる。導体パターン５は、単一の材料からなる１層の導体層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の導体層が積層されて構成されていてもよい。導体パターン５は、例えば、その面積全体に亘って材料の構成が同じであってもよいし、領域によって材料の構成が異なっていてもよい。導体パターン５の厚さは、例えば、その全体に亘って概ね一定である。

（３．１．励振電極）
１対の励振電極７は、既述のように主部１３に電圧を印加すべく、主部１３の両主面（表裏の面）に位置している。１対の励振電極７は、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極７の位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。

例えば、励振電極７は、主部１３の中央側の領域に位置している。別の観点では、励振電極７は、主部１３の外縁から離れて位置している。励振電極７の幾何中心は、例えば、主部１３（又は、既述のメサ部、逆メサ部若しくは振動部。本段落において以下同様。）の平面視における幾何中心とＤ２方向において概ね一致している。また、励振電極７の幾何中心は、主部１３の幾何中心に対して、一致していてもよいし、＋Ｄ１側（２つの接続電極１１とは反対側）に位置していてもよいし（図示の例）、－Ｄ１側に位置していてもよい。

また、例えば、平面視において、励振電極７の形状は、主部１３（又は、既述のメサ部、逆メサ部若しくは振動部。本段落において以下同様。）の形状と類似する形状であってもよいし、異なる形状であってもよい（図示の例）。前者としては、例えば、主部１３の形状が矩形状であるのに対して、励振電極７の形状が主部１３の長辺と平行な長辺を有する矩形状である（少なくとも一方は正方形であってもよい。）態様を挙げることができる。また、後者としては、図示の例のように、主部１３の形状が矩形状であるのに対して、励振電極７の形状が円形状、楕円状又は多角形状（矩形状を除く）である態様を挙げることができる。

平面視において励振電極７の形状と主部１３（又は、既述のメサ部、逆メサ部若しくは振動部。本段落において以下同様。）の形状とが類似するにせよ、類似しないにせよ、主部１３の平面形状の説明は、矛盾等が生じない限り、励振電極７の平面形状に援用されてよい。また、励振電極７及び主部１３が長手方向及び短手方向を特定できる形状である態様において、その長手方向は、主部１３の長手方向と一致していてもよいし、一致していなくてもよい。

（３．２．接続電極）
２つの接続電極１１は、既述のように、突出部１５に位置している。なお、このようにいうとき、各接続電極１１は、その全体が突出部１５に位置していてもよいし（図示の例）、一部（例えば大部分）が突出部１５に位置していてもよい。上記大部分は、例えば、接続電極１１の面積の６割以上又は８割以上を有する部分であってよい（以下、同様。）。なお、ここでの説明とは異なり、導体パターン５のうち突出部１５に位置する部分を接続電極として捉えてもよい。２つの接続電極１１が共に突出部１５に位置していることから、２つの接続電極１１が接合材１０５によってパッケージ１０３に固定されると、主部１３は、片持ち梁状に支持される（図７参照）。

２つの接続電極１１は、既述のように、Ｄ２方向において互いに離れている。２つの接続電極１１（位置、形状及び大きさ）は、例えば、水晶素板３及び／又は突出部１５のＤ１方向に平行な中心線（不図示）に対して、概略、線対称とされてよい。ただし、両者の位置、形状及び／又は大きさは非対称であっても構わない。

各接続電極１１は、例えば、以下の３つの部分を有していると捉えることができる。突出部１５の上面に重なっている上面部１１ａ。突出部１５の下面（被実装面１５ｍ）に重なっている下面部１１ｂ。突出部１５の側面に重なり、上面部１１ａと下面部１１ｂとをつないでいる中間部１１ｃ。被実装面１５ｍは、既述のように、パッケージ１０３の第１基板面１１１ｃに対向する面である。従って、下面部１１ｂは、第１基板面１１１ｃに対向する部分である。

平面透視したとき、上面部１１ａ及び下面部１１ｂの位置、形状及び大きさは、互いに同一であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。別の観点では、既述のように、水晶素子１がパッケージ１０３に実装されるとき、第１基板面１１１ｃに対向する面は、＋Ｄ３側の面及び－Ｄ３側の面の一方（ここでは－Ｄ３側の面）に限られていてもよいし（図示の例）、限られていなくてもよい。前者の態様において、接続電極１１は、下面部１１ｂのみ、又は下面部１１ｂ及び中間部１１ｃのみを有していてもよい。

上記の各部の具体的な位置、形状及び大きさは適宜に設定されてよい。図示の例では、２つの接続電極１１は、被実装面１５ｍのＤ２方向の両側の縁部に重なっている。このようにいうとき、例えば、少なくとも、各下面部１１ｂが、被実装面１５ｍの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部にまで広がっている。図示の例では、下面部１１ｂの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部の全体が、被実装面１５ｍの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部に一致している。

また、図示の例では、各中間部１１ｃが突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に重なっている。各上面部１１ａは、突出部１５の上面の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部にまで広がっている。より詳細には、上面部１１ａの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部の全体が、被実装面１５ｍの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部に一致している。

また、図示の例では、各接続電極１１は、突出部１５の－Ｄ１側の側面に位置する部分（－Ｄ１側の側面に位置する中間部１１ｃ）を有していない。さらに、各接続電極１１は、突出部１５の－Ｄ１側の側面から離れている。例えば、下面部１１ｂは、被実装面１５ｍの－Ｄ１側の縁部から離れている。上面部１１ａは、突出部１５の上面の－Ｄ１側の縁部から離れている。中間部１１ｃは、突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面の、－Ｄ１側の縁部から離れている。

また、図示の例では、各接続電極１１は、主部１３に位置する部分を有していない。さらに、各接続電極１１は、主部１３から離れている。すなわち、下面部１１ｂ、上面部１１ａ及び中間部１１ｃは、突出部１５（被実装面１５ｍ）と主部１３との境界線（不図示）から離れている。

なお、接続電極１１の位置は、上記（図示の例）とは異なっていてもよい。例えば、下面部１１ｂは、被実装面１５ｍの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部にまで広がっていなくてもよい。また、例えば、下面部１１ｂが被実装面１５ｍの－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部にまで広がっている一方で、中間部１１ｃが突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に位置していなかったり、及び／又は上面部１１ａが突出部１５の上面の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部にまで広がっていなかったりしてもよい。下面部１１ｂ、上面部１１ａ及び中間部１１ｃの少なくとも１つが、突出部１５の－Ｄ１側の縁部に到達していたり、及び／又は主部１３に到達していたりしてもよい。また、例えば、突出部１５の－Ｄ１側の側面に位置する中間部１１ｃ、及び／又は主部１３に位置する部分（下面部１１ｂ、上面部１１ａ及び／又は中間部１１ｃ）が存在してもよい。

図示の例では、上面部１１ａ及び下面部１１ｂそれぞれは、Ｄ１方向を長手方向とする矩形状とされている。その１辺は、図示の例では、突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の１辺と一致している。なお、図示の例とは異なり、下面部１１ｂ及び／又は上面部１１ａは、矩形状以外の形状（例えば、円形状、楕円状又は多角形状（矩形状を除く））であってもよい。また、下面部１１ｂ及び／又は上面部１１ａにおいて、長手方向は他の方向（例えばＤ２方向）であってもよいし、長手方向及び短手方向の区別ができなくてもよい。

図示の例では、中間部１１ｃは、Ｄ１方向を長手方向とする矩形状とされている。また、中間部１１ｃのＤ１方向の長さは、下面部１１ｂ（より詳細には－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部）のＤ１方向の長さ、及び上面部１１ａ（より詳細には－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部）のＤ１方向の長さと概ね同じである。そして、中間部１１ｃは、Ｄ１方向において、下面部１１ｂ及び上面部１１ａの全長に亘って両者を接続している。図示の例とは異なり、中間部１１ｃは、Ｄ１方向において、下面部１１ｂ及び／又は上面部１１ａに対して、短く、又は長くてもよい。

（３．３．引出電極）
各引出電極９の位置、形状及び寸法は、自己に対応する励振電極７及び接続電極１１を相互に接続することができる限り、種々のものとされてよい。図示の例では、引出電極９は、まず、励振電極７の－Ｄ１側の縁部の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側（別の観点では自己に対応する接続電極１１が位置する側）の端部からＤ１方向に平行に－Ｄ１側へ直線状に一定の幅で延びている。その後、引出電極９は、水晶素板３の＋Ｄ３側又は－Ｄ３側の面上において、一定の幅を維持しつつ、主部１３の－Ｄ１側（突出部１５側）の縁部、及び突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部に沿って延び、接続電極１１に至っている。引出電極９の幅（延びる方向に直交する方向の長さ）は、接続電極１１のＤ２方向の長さと同等とされている。

特に図示しないが、引出電極９に関して、上記（図示の例）とは異なる態様の例をいくつか例示する。

例えば、引出電極９は、励振電極７の－Ｄ１側の縁部と、－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部とがなす角部から延び出ていてもよいし、－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部の－Ｄ１側の端部から延び出ていてもよい。また、引出電極９は、励振電極７からＤ１方向に平行に延び出るのではなく、－Ｄ１側ほど水晶素板３のＤ２方向の外側に位置するようにＤ１方向に対して傾斜する方向に延び出ていてもよい。そして、引出電極９は、適宜な位置でＤ２方向の内側に方向転換することなどにより、突出部１５へ向かってよい。これらの態様においては、引出電極９は、励振電極７に対して－Ｄ１側に隣接する部分が低減される。その結果、例えば、ＡＴカット型において、励振電極７の－Ｄ１側に隣接する領域における振動に引出電極９が及ぼす影響が低減される。

また、例えば、引出電極９は、水晶素板３の側面に位置する部分を有していてもよい。より詳細には、例えば、上記のように、引出電極９が励振電極７からＤ１方向に対して傾斜する方向に延び出ている態様において、引出電極９は、主部１３の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に位置する部分を有していてもよい。また、例えば、引出電極９が励振電極７からＤ１方向又はＤ１方向に傾斜する方向に延び出ている態様において、引出電極９は、主部１３の－Ｄ１側の側面に位置する部分を有していてもよい。また、例えば、引出電極９は、突出部１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に位置する部分を有していてもよい。また、例えば、引出電極９の中途部分、又は引出電極９の接続電極１１側の端部は、水晶素板３の側面のみに位置していてもよい（水晶素板３の主面に位置していなくてもよい。）。

また、例えば、引出電極９は、その全体が水晶素板３の主面上において直線状に延びていてもよい。より詳細には、例えば、引出電極９は、接続電極１１の＋Ｄ１側の縁部からＤ１方向に平行に励振電極７の－Ｄ１側の縁部へ延びていてよい。この場合、引出電極９が励振電極７から延び出る位置は、励振電極７の－Ｄ１側の縁部の端部（励振電極７の角部）から離れていてもよい。

また、例えば、引出電極９は、その幅が変化してもよい、例えば、図示の例において、引出電極９は、Ｄ２方向の内側（例えば＋Ｄ３側の引出電極９においては－Ｄ２側）の縁部が励振電極７から接続電極１１まで直線状になるように、励振電極７側の幅が接続電極１１側の幅よりも広くされていてもよい。また、例えば、引出電極９の幅と、接続電極１１のＤ２方向の長さとは、異なっていてもよい。この場合、前者と後者とのいずれが他方よりも大きくてもよい。

（４．介在部）
図２及び図４に示す介在部１７は、本実施形態では、既述のように、２つの凹部１９を有している。なお、実施形態の説明とは異なり、各凹部１９が介在部の一例として捉えられても構わない。凹部１９は、換言すれば、介在部１７の構成要素であり、特に矛盾が生じない限り、本実施形態の説明における凹部１９の語は、介在部１７の構成要素の語に置換されてよい。凹部１９以外の構成要素としては、既に触れたように、凸部及び貫通孔が挙げられる。

介在部１７（別の観点では凹部１９）は、被実装面１５ｍにおいて、２つの接続電極１１の間に位置している。このようにいうとき、介在部１７は、接続電極１１から離れていてもよいし、接続電極１１と（縁部同士が）接していてもよいし、一部が接続電極１１に重なっていてもよい。なお、ここでの説明とは異なり、介在部１７の構成要素（例えば凹部１９）の一部が接続電極１１に重なっているとき、その一部を除いて介在部が定義されてもよい。

また、介在部１７は、その全体（全ての凹部１９の全面積）が突出部１５（又は被実装面１５ｍ）のみに位置していてもよいし、突出部１５及び主部１３に跨っていてもよい。前者の態様において、介在部１７（別の観点では凹部１９）は、突出部１５の縁部（例えば－Ｄ１側の縁部）から離れていてもよいし（図示の例）、離れていなくてもよい。後者の態様においては、例えば、介在部１７の大部分（例えば全ての凹部１９の面積の８割以上）が突出部１５（又は被実装面１５ｍ）に位置してよい。なお、ここでの説明とは異なり、突出部１５及び主部１３に跨る凹部が存在するとき、当該凹部の被実装面１５ｍに位置する部分のみを介在部１７の構成要素として捉えてもよい。

凹部１９の数は任意である。例えば、凹部１９の数は、図２及び図４の例のように２つであってもよいし、図２及び図３の例とは異なり、１つのみであってもよいし（後述する図１１（ａ）参照）、又は３以上であってもよい（後述する図１１（ｂ）参照）。なお、本実施形態の説明では、便宜上、凹部１９が２つであることを前提とした説明及び表現をすることがある。

介在部１７は、Ｄ１方向において、各接続電極１１の全長に亘っていてもよいし（図示の例）、一部に亘っていてもよい。より詳細には、例えば、介在部１７が含む全ての凹部１９（又は任意の１つの凹部１９若しくは接続電極１１に最も近い凹部１９）をＤ２方向にＤ１軸上に投影した第１範囲は、接続電極１１をＤ２方向にＤ１軸上に投影した第２範囲の全体に亘っていてもよいし（両者が一致する態様を含む。）、第２範囲の一部のみに亘っていてもよい。後者の態様において、第２範囲に対する第１範囲の位置は任意であり、例えば、第１範囲は、第２範囲の中央側の一部に位置していてもよいし、第２範囲の＋Ｄ１側又は－Ｄ１側の一部に位置していてもよい。また、介在部１７が含む全ての凹部１９の面積及び各凹部１９の面積（又は幅）は任意である。

凹部１９の形状は任意である。図示の例では、凹部１９の平面視における形状は、Ｄ１方向を長手方向とする長方形状（別の観点ではＤ１方向に延びる凹溝状）とされている。図示の例とは異なり、凹部１９の平面視における形状は、例えば、円形状、楕円状、又は多角形状（長方形状を除く）であってよい。また、例えば、凹部１９の平面視における形状は、上記のような形状を組み合わせた形状であってもよい。そのような形状としては、例えば、Ｌ字状、Ｔ字状、Ｕ字状又は環状（円周状に限定されず、例えば、多角形の辺状であってもよい。）が挙げられる。また、例えば、凹部１９は、Ｄ１方向以外の方向（例えばＤ２方向）を長手方向とする形状であってもよいし、長手方向及び短手方向を区別できない形状であってもよい。また、２以上の凹部１９を含む介在部１７全体としての形状も任意である。

また、凹部１９のＤ２－Ｄ３断面（別の観点では凹部１９の長手方向に直交する断面）の形状は、例えば、矩形状（図示の例）、台形状、三角形状又は半円状とされてよい。別の観点では、凹部１９のＤ２－Ｄ３断面における幅（Ｄ２方向の長さ）は、深さ方向（Ｄ３方向）において、一定であってもよいし、変化していてもよい。後者の例としては、開口側（－Ｄ３側）ほど凹部１９の幅が広くなるように凹部１９の内面がＤ３軸に対して傾斜している態様が挙げられる。この傾斜面からなる内面は、エッチングに対する水晶の異方性に起因して現れる結晶面であってもよい。また、凹部１９のＤ２－Ｄ３断面における形状は、底面を有する形状（例えば矩形状又は台形状）であってもよいし、底面を有さない形状（例えば三角形状）であってもよい。なお、Ｄ２－Ｄ３断面を例に取ったが、他の断面（例えばＤ１－Ｄ３断面）においても、矛盾等が生じない限り、上記の説明が援用されてよい。

２以上の凹部１９の位置、形状及び／又は寸法は、水晶素板３（及び／又は突出部１５）のＤ１方向に平行な中心線（不図示）に対して、線対称であってもよいし（図示の例）、線対称でなくてもよい。なお、線対称の場合においては、上記中心線上に位置する１つ以上の凹部１９が存在しても構わない。

２以上の凹部１９は、例えば、Ｄ２方向において並んでいる。換言すれば、２以上の凹部１９は、Ｄ１方向の範囲に関して少なくとも一部同士が重複しており、かつＤ２方向に互いに離れている。図示の例では、既述のように、２つの凹部１９は線対称の位置、形状及び寸法を有しており、ひいては、２つの凹部１９は、Ｄ１方向の範囲が互いに一致している。

各凹部１９のＤ２方向の位置は任意である。例えば、凹部１９が２つの凹部１９を有している態様において、－Ｄ２側の凹部１９（その－Ｄ２側の縁部）と－Ｄ２側の接続電極１１（その＋Ｄ２側の縁部）との距離は、－Ｄ２側の凹部１９（その＋Ｄ２側の縁部）と突出部１５の中心線との距離、又は２つの凹部１９同士（互いに対向する縁部同士）の距離に対して、短くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、長くてもよい。－Ｄ２側の凹部１９を例に取ったが、＋Ｄ２側の凹部１９についても同様である。

凹部１９は、種々の方法によって形成されてよい。例えば、凹部１９は、水晶素板３となる部分を含む水晶ウェハの－Ｄ３側の主面を覆い、凹部１９が形成される領域に開口を有するマスクを介して、エッチング（例えばウェットエッチング）が行われることによって形成されてよい。このエッチングは、主部１３の少なくとも一部を形成するエッチングと同時に行われるものであってもよいし、そうでなくてもよい。凹部１９の深さは、例えば、マスクにおける凹部１９に対応する開口の大きさ、及びエッチングの条件（例えばエッチングの時間長さ）等によって調整されてよい。また、凹部１９は、レーザー加工によって形成されたり、工具による切削によって形成されたりしてもよい。

（５．水晶素子の実装構造）
図３～図５に示すように、水晶素子１は、接続電極１１とパッケージ１０３のパッド１１３とが導電性の接合材１０５によって接合されることによってパッケージ１０３に実装される。パッド１１３については、後に水晶素子１の利用例の説明（第７節）において説明する。

接合材１０５の材料は任意である。例えば、接合材１０５は、導電性接着剤からなる。導電性接着剤は、金属からなるフィラーを混ぜ込んだ熱硬化性樹脂によって構成されている。接合材１０５は、接続電極１１に対して、下面部１１ｂのみに接合されていてもよいし、下面部１１ｂに加えて中間部１１ｃに接合されていてもよいし（図示の例）、さらに上面部１１ａに接合されていてもよい。

念のために記載すると、接合材１０５は、例えば、導体パターン５のうち接続電極１１以外の部分（引出電極９及び励振電極７）に接合されておらず、また、水晶素板３の表面のうち導体パターン５から露出している領域に接合されていない。ただし、接合材１０５は、水晶素子１の特性が大きく低下しない量で、引出電極９の接続電極１１側の一部、及び／又は水晶素板３の表面のうち接続電極１１の周囲の領域に接合されていてもよい。

図３の例では、２つの接合材１０５のうち、－Ｄ２側の接合材１０５は、突出部１５の被実装面１５ｍに下面部１１ｂを介して接合されているだけでなく、突出部１５の－Ｄ２側の側面にも中間部１１ｃを介して接合されている。なお、後者の接合は、中間部１１ｃを介さない直接的なものであってもよい。一方で、－Ｄ２側の接合材１０５は、突出部１５の－Ｄ１側の側面から離れている。換言すれば、－Ｄ２側の接合材１０５は、突出部１５の－Ｄ１側の側面に直接的に又は間接的に接合されていない。さらに、－Ｄ２側の接合材１０５は、突出部１５の－Ｄ２側の側面の－Ｄ１側の縁部から離れている。－Ｄ２側の接合材１０５を例に取ったが、＋Ｄ２側の接合材１０５についても同様である（ただし、－Ｄ２を＋Ｄ２に置換する。）。

既述のように、また、図５に示すように、突出部１５の－Ｄ２側及び＋Ｄ２側の側面１５ｃは、Ｄ１方向に見たときに、Ｄ３方向に対して傾斜する２以上の傾斜面（１５ｃａ及び１５ｃｂ）を有していてよく、また、２以上の傾斜面は、ｍ面１５ｃａを有していてよい。図５に示す例では、２つの接合材１０５のいずれも、ｍ面１５ｃａを含む２つの面（換言すれば２以上の面）に跨っている（換言すれば、２つの面の境界を越えて＋Ｄ３側に広がっている。）。なお、念のために記載すると、接合材１０５が２つの面に跨っているというとき、接合材１０５は、２つの面に直接的に又は接続電極１１を介して間接的に接合されている（換言すれば重なっている。）。

上記のように接合材１０５が側面１５ｃの２つの面（１５ｃａ及び１５ｃｂ）に跨っている態様において、各接合材１０５の上端（最も高い位置）は、２つの面のうち＋Ｄ３側の面の任意の高さ（Ｄ３方向の位置）に位置してよい。例えば、接合材１０５の上端は、＋Ｄ３側の面のＤ３方向の高さの中央の位置に対して、下方に位置していてもよいし、概ね一致していてもよいし、上方に位置していてもよい。また、例えば、接合材１０５の上端は、＋Ｄ３側の面の上端に到達していなくてもよいし、＋Ｄ３側の面の上端に概ね一致していてもよいし、＋Ｄ３側の面の上端を超えて突出部１５の上面にまで広がっていてもよい。

接合材１０５の形状は任意である。図示の例では、接合材１０５は、概略、半球状に対して突出部１５の一部が食い込んだ形状とされている。図示の例以外の形状としては、例えば、概略円柱状に対して突出部１５の一部が食い込んだ形状、又は半球状若しくは円柱状が上方から平面（被実装面１５ｍ）によって押し潰された形状が挙げられる。接合材１０５の体積、及び接合材１０５のうちパッド１１３と下面部１１ｂとの間に介在する部分の厚さ（別の観点では水晶素子１とパッケージ１０３との間隔）も任意である。

（６．水晶素子の寸法の例）
以下に、水晶素子１の各部の寸法の例を示す。なお、ここでの寸法の例は、特に断りが無い限り、後述する実施形態又は変形例にも適用されてよいものである。逆に言えば、ここで例示される寸法の範囲は、本実施形態（図示の例）に係る水晶素子１に適用できない寸法を含むことがある。

また、例えば、主部１３のＤ２方向の長さは、主部１３の＋Ｄ２側及び／又は－Ｄ２側の縁部が曲線状である態様において一定ではない。このように、所定の寸法が一定でない態様においては、以下に例示する寸法は、特に断りが無い場合は、最大寸法、最小寸法又は平均寸法のいずれに適用されてもよい。特異部分（例えば水晶素板３の比較的小さい突起部分）については、以下に例示する寸法の測定において、考慮されてもよいし、考慮外とされてもよい。

また、例えば、接続電極１１において、下面部１１ｂ、上面部１１ａ及び中間部１１ｃは、Ｄ１方向（又はＤ２方向）の長さが互いに異なっていてもよい。以下の説明において、接続電極１１の語は、矛盾等が生じない限り、下面部１１ｂ、上面部１１ａ及び中間部１１ｃのいずれかの語に置換されても構わない。

各種の寸法の範囲は、矛盾が生じないように適宜に組み合わされてよい。例えば、励振電極７のＤ１方向の長さの範囲の上限の例として、水晶素板３のＤ１方向の長さの範囲の下限の例よりも大きい値が示されるが、励振電極７のＤ１方向の長さの範囲の例と、水晶素板３のＤ１方向の長さの範囲の例とは、励振電極７のＤ１方向の長さが水晶素板３のＤ１方向の長さを超えないことを条件として、組み合わされてよい。矛盾が生じない条件は、論理的に明らかであることから、以下では特に説明しない。

主部１３のＤ１方向における長さは、２００μｍ以上１０００μｍ以下とされてよい。主部１３のＤ２方向における長さの範囲も、上記の主部１３のＤ１方向における長さの範囲と同様とされてよい。主部１３のＤ１方向における長さが、主部１３のＤ２方向における長さよりも長くされる態様においては、前者は、後者に対して、１．１倍以上１．５倍以下とされてよい。主部１３の厚さ（１対の励振電極７間の厚さ）は、３μｍ以上１００μｍ以下とされてよい。

厚み滑り振動を利用する水晶素子１においては、水晶素板３の１対の励振電極７間の厚さは、発振信号の周波数を決定する因子となっている。例えば、公知のように、ＡＴカットの水晶素子においては、基本的には、ｆ＝１．６７×ｎ／ｔの関係が成り立つ。ここで、ｆは周波数（ＭＨｚ）、ｎは利用される振動の次数、ｔ（ｍｍ）は厚さである。水晶素子１は、基本波モードを利用するものであってもよいし、オーバートーンモードを利用するものであってもよい。なお、基本波モードが利用されてよいこと、及び厚さｔが３μｍ以上１００μｍ以下とされてよいことから理解されるように、水晶素子１が利用する周波数は、例えば、１６ＭＨｚ以上５００ＭＨｚ以下とされてよい。

励振電極７のＤ１方向における長さは、１００μｍ以上８００μｍ以下とされてよい。また、励振電極７のＤ１方向における長さは、主部１３のＤ１方向における長さに対して、１／３以上、１／２以上、２／３以上又は３／４以上とされてよく、また、９／１０以下、４／５以下、３／４以下又は２／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

前段落における励振電極７のＤ１方向における長さの説明は、励振電極７のＤ２方向における長さに援用されてよい。ただし、励振電極７及び主部１３に関するＤ１方向の語はＤ２方向の語に置換する。また、励振電極７において、Ｄ１方向における長さをＤ２方向の長さよりも長くする場合は、前者は後者の１．１倍以上１．５倍以下とされてよい。

引出電極９の幅（引出電極９が延びる方向に直交する方向の長さ。例えば、主面上における幅）は、２０μｍ以上２００μｍ以下とされてよい。また、引出電極９の幅は、励振電極７の幅（Ｄ２方向の長さ）の１／１０以上１／３以下とされてよい。

突出部１５のＤ１方向における長さは、例えば、１００μｍ以上５００μｍ以下とされてよい。突出部１５のＤ１方向における長さは、主部１３のＤ１方向における長さに対して、１／５以上、１／３以上又は１／２以上とされてよく、また、２／３以下、１／２以下、１／３以下又は１／４以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

前段落における突出部１５のＤ１方向における長さの説明は、突出部１５のＤ２方向における長さに援用されてよい。ただし、突出部１５及び主部１３に関するＤ１方向の語はＤ２方向の語に置換する。突出部１５のＤ２方向における長さは、励振電極７のＤ２方向における長さに対して、１／５以上、１／３以上、１／２以上又は１倍以上とされてよく、また、２倍以下、１．５倍以下、１倍以下、２／３以下、１／２以下又は１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

突出部１５のＤ１方向における長さは、突出部１５のＤ２方向の長さに対して、１／３以上、１／２以上、１倍以上又は２倍以上とされてよく、３倍以下、２倍以下又は１倍以下、１／２以下、１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

接続電極１１のＤ１方向における長さは、突出部１５のＤ１方向における長さの１／２以上又は２／３以上とされてよく、また、１倍以下又は４／５以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

接続電極１１（その－Ｄ１側の縁部）と突出部１５の－Ｄ１側の側面（その縁部）とのＤ１方向における距離は、接続電極１１のＤ１方向の長さに対して、０倍以上又は１／５以上とされてよく、また、１／２以下又は１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

前段落における接続電極１１と突出部１５の－Ｄ１側の側面とのＤ１方向における距離の説明は、接続電極１１（その＋Ｄ１側の縁部）と主部１３の－Ｄ１側の側面（縁部１３ｅ）との距離に援用されてよい。接続電極１１と突出部１５の－Ｄ１側の側面とのＤ１方向における距離と、接続電極１１と主部１３の－Ｄ１側の側面とのＤ１方向における距離とは、同等であってもよいし（図示の例）、いずれか一方が他方よりも大きくてもよい。

各接続電極１１のＤ２方向における長さは、突出部１５のＤ２方向における長さの１／５以上、１／４以上又は１／３以上とされてよく、また、４／９以下、２／５以下又は１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

２つの接続電極１１同士（その互いに対向する縁部同士）のＤ２方向における距離（例えば最短距離）は、突出部１５のＤ２方向における長さの１／９以上、１／５以上又は１／３以上とされてよく、また、３／５以下、１／２以下又は１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

介在部１７の寸法として、例えば、平面視において全ての凹部１９を包含する最小の領域の寸法が参照されてよい。この領域の外縁の形状は、例えば、数学でいう凸集合の境界線の形状とされてよい。既に述べたように、凹部１９の一部は、接続電極１１に重なってよい。従って、介在部１７のＤ２方向の最大長さは、２つの接続電極１１同士の距離よりも大きくてもよい。

介在部１７のＤ２方向の長さは、例えば、２つの接続電極１１同士の距離に対して、１／５以上、１／３以上、１／２以上、２／３以上、４／５以上又は１倍以上とされてよく、また、１倍以下、４／５以下、２／３以下、１／２以下又は１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

介在部１７と１つの接続電極１１との距離（その互いに対向する縁部同士の距離）の範囲の例は、２つの接続電極１１同士の距離の例から上記の介在部１７のＤ２方向の長さの例を引いた値の１／２とされてよい。念のために記載すると、介在部１７と１つの接続電極１１との距離は、２つの接続電極１１同士の距離に対して、０以上、１／１０以上、１／６以上、１／４以上又は１／３以上とされてよく、また、２／５以下、１／３以下、１／４以下、１／６以下又は０以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。上記の下限及び上限は、介在部１７及び２つの接続電極１１等がＤ１方向に平行な対称軸に対して線対称でない態様に適用されても構わない。

介在部１７のＤ１方向の長さは、例えば、１つの接続電極１１のＤ１方向の長さに対して、１／３以上、１／２以上、２／３以上、４／５以上又は１倍以上とされてよく、また、２倍以下、１．５倍以下、１倍以下、４／５以下、２／３以下又は１／２以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

既述のように、介在部１７が含む凹部１９の数は、１つであってもよい。この場合、凹部１９の寸法（Ｄ３方向において凹部１９の形状が変化する場合は被実装面１５ｍにおける寸法。以下、同様。）と、介在部１７の寸法とは同じである。従って、上記の介在部１７に関する寸法の例の説明は、平面視における凹部１９に関する寸法の例に援用されてよい。

また、介在部１７が２以上の凹部１９を含む態様において、本実施形態のように、２以上の凹部１９がＤ２方向に並んでおり、２以上の凹部１９のＤ１方向における位置及び長さが互いに同じ態様においては、凹部１９のＤ１方向の長さと、介在部１７のＤ１方向の長とは同じである。従って、上記の介在部１７のＤ１方向における長さの例の説明は、凹部１９のＤ１方向における長さの例に援用されてよい。

介在部１７がＤ２方向に並んでいる２つ（又は２以上）の凹部１９を有している態様において、各凹部１９のＤ２方向の長さは、２つの接続電極１１同士の距離に対して、１／２０以上、１／１０以上、１／５以上、１／３以上又は１／２以上とされてよく、また、１／２以下、１／３以下、１／５以下又は１／１０以下とされてよい。１／２以上は、２つの凹部１９が互いに離れており、かつ少なくとも一方の凹部１９の一部が、一方の接続電極１１に重なっている態様を想定している。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

介在部１７がＤ２方向に並んでいる２つ（又は２以上の）の凹部１９を有している態様において、最も－Ｄ２側に位置する凹部１９（その－Ｄ２側の縁部）と、－Ｄ２側の接続電極１１（その＋Ｄ２側の縁部）との距離は、介在部１７と－Ｄ２側の接続電極１１との距離と同じである。従って、介在部１７と接続電極１１との距離の例の説明は、最も－Ｄ２側に位置する凹部１９と－Ｄ２側の接続電極１１との距離の例に援用されてよい。－Ｄ２側を例に取ったが、＋Ｄ２側についても同様である。

介在部１７がＤ２方向に並んでいる２つの凹部１９を有している態様において、両者（その互いに対向する縁部）の距離は、２つの接続電極１１同士の距離に対して、１／２０以上、１／１０以上、１／５以上、１／３以上、１／２以上又は２／３以上とされてよく、また、４／５以下、２／３以下、１／２以下、１／３以下、１／５以下又は１／１０以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。また、上記の下限及び上限は、介在部１７がＤ２方向に並んでいる３以上の凹部１９を有している態様において、互いに隣り合う凹部１９同士の距離に援用されてもよい。

介在部１７がＤ２方向に並んでいる２つ（又は２以上）の凹部１９を有している態様において、図２に例示するように、凹部１９は凹溝状（長尺状）であってよい。凹溝状の凹部１９において、長さ（延びる方向の長さ。図示の例では、Ｄ１方向の長さ）は、幅（延びる方向に直交する方向の長さ。図示の例ではＤ２方向の長さ）は、２倍以上、３倍以上又は５倍以上とされてよい。

凹部１９の深さ（Ｄ３方向）は、例えば、突出部１５の厚さに対して、１／５以上、１／３以上又は１／２以上とされてよく、また、４／５以下、２／３以下又は１／２以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

（７．水晶素子の利用例）
図６は、水晶素子１の利用例としての水晶デバイス１０１の分解斜視図である。図７は、図６のVII－VII線における断面図である。

水晶デバイス１０１は、例えば、全体として、概略、薄型の直方体形状を有している電子部品である。水晶デバイスの寸法は、適宜な大きさとされてよい。一例を挙げると、長辺又は短辺の長さは、０．６ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、厚さ（Ｄ３方向）は、０．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。水晶デバイス１０１は、例えば、その下面を不図示の実装基体（例えば回路基板）の上面に対向させて表面実装される。

水晶デバイス１０１は、例えば、水晶振動子として構成されている。水晶デバイス１０１は、例えば、水晶素子１と、当該水晶素子１を保持しているパッケージ１０３とを有している。パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１の保護に寄与するとともに、水晶素子１と上記の不図示の実装基体との電気的接続に寄与する。

パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１を支持する基体１０７と、基体１０７に接合されて水晶素子１を気密に封止する蓋体１０９と、を有している。パッケージ１０３の内部空間は、例えば、真空とされ、又は適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。基体１０７は、例えば、絶縁部材１１１と、絶縁部材１１１に位置している種々の導体とを有している。

絶縁部材１１１は、水晶素子１を収容する凹部Ｒ１を有している。別の観点では、絶縁部材１１１は、平板状の基板部１１１ａと、基板部１１１ａの上面の縁部に沿って設けられている枠部１１１ｂとを有している。基板部１１１ａ及び枠部１１１ｂの材料は任意であり、例えば、セラミックである。基板部１１１ａは、凹部Ｒ１の底面を構成する第１基板面１１１ｃと、水晶デバイス１０１の下面を構成する第２基板面１１１ｄとを有している。

基体１０７が有している導体としては、例えば、以下のものが挙げられる。水晶素子１と電気的に接続される２つのパッド１１３。水晶デバイス１０１を実装基体に実装するための４つの外部端子１１５。２つのパッド１１３と、４つの外部端子１１５のうちの２つとを接続する２つの配線導体１１７（図７）。

２つのパッド１１３は、２つの接合材１０５によって２つの接続電極１１と接合される。これにより、水晶素子１は、パッケージ１０３に固定されるとともにパッケージ１０３に電気的に接続される。すなわち、水晶素子１がパッケージ１０３に実装される。水晶素子１がパッケージ１０３に実装されると、２つの励振電極７は、２つの引出電極９、２つの接続電極１１、２つの接合材１０５、２つのパッド１１３及び２つの配線導体１１７を介して、２つの外部端子１１５に対して電気的に接続される。そして、２つの外部端子１１５に交流電圧が印加されることによって、２つの励振電極７から水晶素板３に交流電圧が印加される。

２つのパッド１１３は、第１基板面１１１ｃに重なる導体層（例えば金属）によって構成されている。２つのパッド１１３は、例えば、基板部１１１ａの長手方向の一端側（－Ｄ１側）において、基板部１１１ａの短手方向（Ｄ２方向）に並んでいる。２つのパッド１１３と、２つの接続電極１１（より詳細には下面部１１ｂ）とは、少なくとも一部同士が対向する。パッド１１３の形状及び寸法は任意である。

４つの外部端子１１５は、第２基板面１１１ｄに重なる導体層（例えば金属）によって構成されている。外部端子１１５の位置、形状及び寸法は任意である。例えば、４つの外部端子１１５は、第２基板面１１１ｄの４隅に位置している。２つのパッド１１３に接続される２つの外部端子１１５の位置も任意である。例えば、当該２つの外部端子１１５は、第２基板面１１１ｄの１対の対角に位置していてもよいし、－Ｄ１側の２隅に位置していてもよい。

２つの配線導体１１７の構成は種々のものとされてよい。例えば、配線導体１１７は、基板部１１１ａを貫通するビア導体を有していてもよいし、第１基板面１１１ｃ、第２基板面１１１ｄ、基板部１１１ａの内部、及び／又は基板部１１１ａの側面（キャスタレーションの内面を含む）に重なる層状導体を有していてもよいし、ビア導体及び層状導体の双方を有していてもよい。なお、図７に例示されている配線導体１１７は、ビア導体のみによって構成されている。

蓋体１０９は、例えば、絶縁体又は金属からなる平板状の部材である。蓋体１０９の基体１０７に対する接合方法も任意である。例えば、両者は、シーム溶接によって接合されてよい。図示の例では、シーム溶接に利用される金属層１１９及び１２１が図示されている。蓋体１０９が金属からなる態様においては、２つのパッド１１３に接続されていない２つの外部端子１１５のうち１つ又は２つは、不図示の配線導体１１７を介して蓋体１０９と接続されていてもよい。

水晶素子１は、上記の利用例の他、種々の態様で利用されてよい。

例えば、水晶振動子（圧電振動子）は、水晶素子１以外の電子素子を有していてもよい。そのような電子素子としては、例えば、感温素子（例えばサーミスタ）が挙げられる。また、水晶デバイス（圧電デバイス）は、水晶素子１に加えて、水晶素子１に電圧を印加して発振信号を生成する集積回路素子（ＩＣ：Integrated Circuit）を有する水晶発振器（圧電発振器）であってもよい。

上記から理解されるように、水晶デバイスが有するパッドの数及び外部端子の数は任意であり、また、複数のパッド及び複数の外部端子の役割及び接続関係も任意である。例えば、発振器においては、水晶素子１が搭載される２つのパッド１１３は、外部端子１１５ではなく、当該発振器内のＩＣに電気的に接続されてよい。

圧電デバイスにおいて、水晶素子１をパッケージングするパッケージの構造は、適宜な構成とされてよい。例えば、パッケージは、上面及び下面に凹部を有する断面Ｈ型のものであってもよい。この場合、下面の凹部には、例えば、上記の感温素子又はＩＣが実装されてよい。また、パッケージは、基板状の基体（凹部を有していない基体）と、基体に被せられるキャップ状の蓋体とで構成されるものであってもよい。また、例えば、圧電デバイス（パッケージ）は、恒温槽を有するものであってもよい。

（８．第１実施形態についてまとめ）
以上のとおり、本実施形態に係る圧電素子（水晶素子１）は、圧電素板（水晶素板３）と、２つの励振電極７と、２つの引出電極９と、２つの接続電極１１とを有している。水晶素板３は、主部１３と、突出部１５とを有している。主部１３は、第１方向（Ｄ１方向）及びＤ１方向に直交する第２方向（Ｄ２方向）に広がっている板状である。突出部１５は、主部１３の平面視において、主部１３のＤ１方向の第１側（－Ｄ１側）の第１縁部（縁部１３ｅ）のうちの中央側の一部から－Ｄ１側へ突出している。２つの励振電極７は、主部１３の表裏に重なっている。２つの引出電極９は、２つの励振電極７から引き出されている。２つの接続電極１１は、突出部１５に位置しており、２つの引出電極９を介して２つの励振電極７と接続されている。突出部１５は、水晶素板３の厚み方向の一方側（－Ｄ３側）に面している被実装面１５ｍを有している。２つの接続電極１１は、被実装面１５ｍに位置している部分（下面部１１ｂ）を有しているとともに被実装面１５ｍにおいてＤ２方向に互いに離れている。被実装面１５ｍの、２つの接続電極１１の間に、凹部、凸部及び貫通孔の少なくとも１つ（本実施形態では２つの凹部１９）を含む介在部１７が位置している。

別の観点では、本実施形態に係る圧電デバイス（水晶デバイス１０１）は、上記のような水晶素子１と、パッケージ１０３と、接合材１０５とを有している。パッケージ１０３は、２つのパッド１１３を有している。接合材１０５は、２つの接続電極１１と２つのパッド１１３とを接合しているとともに導電性を有している。

従って、例えば、既述のように、２つの接続電極１１に加えられる力に起因する歪が主部１３における振動に及ぼす影響を低減しつつ、２つの接合材１０５が短絡する蓋然性を低減できる。また、例えば、凹部１９に接合材１０５が入り込んでいる態様においては、水晶素板３が凹部１９を有していない態様に比較して、接合材１０５の水晶素子１に対する接合面積が増加していることになる。その結果、接合強度が向上する。別の観点では、水晶素子１の小型化に有利である。

突出部１５のＤ２方向の最大長さ（換言すれば突出部１５の最大幅。本実施形態では、Ｄ１方向の任意の位置における突出部１５の幅と同じ。）は、主部１３の－Ｄ１側の縁部１３ｅの両端間の距離（換言すれば主部１３の－Ｄ１側の端部の幅。本実施形態では、Ｄ１方向の任意の位置における主部１３の幅と同じ。）よりも短くされてよい。

この場合、例えば、全体が矩形状の水晶素板の２隅に２つの接続電極１１が位置している態様に比較して、２つの接続電極１１の距離が短くなる。従って、突出部１５に生じる歪が低減される。その結果、例えば、突出部１５の歪が主部１３の振動に及ぼす影響を低減する効果が向上することが期待される。一方で、２つの接続電極１１が互いに近づくことによって、２つの接合材１０５が短絡する蓋然性が高くなる。その結果、介在部１７によって２つの接合材１０５が短絡する蓋然性を低減する効果の有用性が高くなる。

介在部１７は、Ｄ２方向に並んでいる少なくとも２つの凹部１９を有していてよい。

この場合、突出部１５の一部を掘り下げることによって介在部１７を実現できる。ここで、突出部１５（凹部１９の配置領域を除く）の厚さが既定であるものとする。この場合、凹部１９に代えて凸部によって介在部１７が実現される態様（当該態様も本開示に係る態様に含まれる）においては、既定の突出部１５の厚みよりも大きい厚みの水晶ウェハを用意して、凸部を有する突出部１５を形成しなければならない。しかし、本実施形態では、そのような突出部１５の厚みよりも大きい厚みの水晶ウェハを用意しなくてもよい。また、凹部１９が１つの態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）においては、２つの接合材１０５の双方が１つの凹部１９に入り込んだ場合に、１つの凹部１９内で接合材１０５が短絡する可能性が生じる。しかし、Ｄ２方向に２つの凹部１９が位置していることによって、凹部１９内で２つの接合材１０５が短絡する蓋然性が低減される。

２つの接続電極１１は、被実装面１５ｍのＤ２方向の両側の縁部に重なっていてよい。

この場合、例えば、２つの接続電極１１の距離を確保することが容易化される。その結果、例えば、２つの接合材１０５が短絡する蓋然性を低減できる。別の観点では、２つの接続電極１１の距離を確保することが容易であることから、突出部１５の幅（Ｄ２方向の長さ）を小さくすることができる。突出部１５の幅を狭くすることによって、例えば、突出部１５の歪が主部１３の振動に及ぼす影響を低減する効果を向上させることができる。

突出部１５の－Ｄ１側の側面は、水晶素子１が有する導体（導体パターン５。別の観点では接続電極１１）の非配置領域となっていてよい。

この場合、例えば、２つの接合材１０５が突出部１５の－Ｄ１側の側面に濡れ広がる蓋然性が低減される。ひいては、２つの接合材１０５が突出部１５の－Ｄ１側の側面にて短絡する蓋然性が低減される。なお、全体が矩形状の水晶素板（一般的な水晶素板）においては、本実施形態とは異なり、－Ｄ１側の側面は、導体が配置されて、接合材１０５の接合領域として積極的に利用されていることが多い。

突出部１５のＤ２方向の両側に位置している第１側面及び第２側面（－Ｄ２側の側面１５ｃ及び＋Ｄ２側の側面１５ｃ）それぞれは、水晶素板３の厚み方向の位置が互いに異なる２つの面（１５ｃａ及び１５ｃｂ）を有していてよい。２つの側面１５ｃそれぞれの２つの面（１５ｃａ及び１５ｃｂ）は、ｍ面１５ｃａを含んでいてよい。２つの接合材１０５の第１接合材（－Ｄ２側の接合材１０５）は、－Ｄ２側の側面１５ｃの２つの面（１５ｃａ及び１５ｃｂ）に跨っていてよい。同様に、２つの接合材１０５の第２接合材（＋Ｄ２側の接合材１０５）は、＋Ｄ２側の側面１５ｃの２つの面（１５ｃａ及び１５ｃｂ）に跨っていてよい。

この場合、例えば、接合材１０５の側面１５ｃに対する接合面積は比較的広くされているといえる。従って、まず、接合強度が向上する。また、突出部１５の側面１５ｃにおける輪郭振動が接合材１０５によって規制される。ひいては、突出部１５における不要振動が主部１３に及ぼす影響が低減される。

２つの接合材１０５の第１接合材（－Ｄ２側の接合材１０５）は、突出部１５のＤ２方向の第２側（－Ｄ２側）の側面１５ｃに接合されているとともに突出部１５の第１側（－Ｄ１側）の側面から離れていてよい。同様に、２つの接合材１０５の第２接合材（＋Ｄ２側の接合材１０５）は、突出部１５のＤ２方向の第３側（＋Ｄ２側）の側面１５ｃに接合されているとともに突出部１５の－Ｄ１側の側面から離れていてよい。

この場合、例えば、２つの接合材１０５が突出部１５の－Ｄ１側の側面に接合されている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、例えば、２つの接合材１０５から突出部１５に加えられる力の向きがＤ２方向を中心とする方向に限定されやすくなり、ひいては、歪の態様が限定的となる。その結果、特性のばらつき又は変動を低減できる。なお、既述のように、全体が矩形状の水晶素板（一般的な水晶素板）においては、本実施形態とは異なり、－Ｄ１側の側面は、接合材１０５の接合領域として積極的に利用されていることが多い。

＜第２実施形態＞
図８は、第２実施形態に係る水晶素子２０１の構成を示す断面図であり、第１実施形態の図４に対応している。

水晶素子２０１において、介在部２１７は、凹部１９に代えて、凸部２１９を有している。凹部１９の数、並びに平面視における凹部１９の位置、形状及び寸法についての既述の説明は、凸部２１９の数、並びに平面視における凸部２１９の位置、形状及び寸法に援用されてよい。なお、次段落において述べるように、凸部２１９の断面形状は、矩形状でなくてもよい。この場合、凹部１９の平面視における位置、形状及び寸法の説明は、矛盾等が生じない限り、凸部２１９の頂面（上端面）及び根元（裾野）のいずれに援用されてもよい。

凸部２１９のＤ２－Ｄ３断面（別の観点では突条状の凸部２１９の長手方向に直交する断面）の形状は、例えば、矩形状（図示の例）、台形状、三角形状又は半円状とされてよい。別の観点では、凸部２１９のＤ２－Ｄ３断面における幅（Ｄ２方向の長さ）は、突出方向（Ｄ３方向）において、一定であってもよいし、変化していてもよい。後者の例としては、先端側（－Ｄ３側）ほど凸部２１９の幅が狭くなるように凸部２１９の側面がＤ３軸に対して傾斜している態様が挙げられる。この傾斜面からなる内面は、エッチングに対する水晶の異方性に起因して現れる結晶面であってもよい。また、凸部２１９のＤ２－Ｄ３断面における形状は、頂面（上端面）を有する形状（例えば矩形状又は台形状）であってもよいし、頂面を有さない形状（例えば三角形状）であってもよい。なお、Ｄ２－Ｄ３断面を例に取ったが、他の断面（例えばＤ１－Ｄ３断面）においても、矛盾等が生じない限り、上記の説明が援用されてよい。

凸部２１９は、例えば、水晶素板３の一部である。このような凸部２１９は、例えば、水晶素板３となる部分を含む水晶ウェハの－Ｄ３側の主面のうち、凸部２１９となる領域を覆うマスクを介して、エッチング（例えばウェットエッチング）が行われることによって形成されてよい。このエッチングは、主部１３の少なくとも一部を形成するエッチングと同時に行われるものであってもよいし、そうでなくてもよい。

図示の例とは異なり、凸部２１９は、水晶素板３の材料とは異なる絶縁材料が被実装面１５ｍに配置されることによって実現されていてもよい。凸部２１９の具体的な材料は任意であり、例えば、ＳｉＯ_２（ただし、水晶素板３と一体的な結晶ではない。）とされてよい。このような凸部２１９は、例えば、ＣＶＤ（chemical vapor deposition）によって設けられてよい。

第１実施形態の２つの凹部１９の間の部分は、凹部１９の底面の高さ（Ｄ３方向の位置）を基準とすると、凸部と捉えることができる。本開示に係る説明では、基本的に、そのような捉え方はしない。被実装面１５ｍに凹凸が存在する場合においては、例えば、被実装面１５ｍのうちの接続電極１１（下面部１１ｂの全部又は大部分）が重なっている領域の高さを基準として、被実装面１５ｍに凹部１９及び凸部２１９のいずれが位置しているかが判定されてよい。ただし、既述のように、介在部１７又は２１７の構成要素（凹部１９又は凸部２１９）の一部は、下面部１１ｂに重なっていてよい。従って、その重なりの態様によっては、凹部１９と凸部２１９とのいずれが被実装面１５ｍに位置しているかが明瞭でなくてもよい。

本実施形態においても、水晶素板３は、主部１３と、突出部１５とを有しており、２つの接続電極１１は、突出部１５の被実装面１５ｍに位置している。そして、被実装面１５ｍの、２つの接続電極１１の間に、凹部、凸部（絶縁性のもの）及び貫通孔の少なくとも１つ（本実施形態では２つの凸部２１９）を含む介在部２１７が位置している。

従って、例えば、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、２つの接続電極１１に加えられる力に起因する歪が主部１３における振動に及ぼす影響を低減しつつ、２つの接合材１０５が短絡する蓋然性を低減できる。ただし、第１実施形態では、接合材１０５が凹部１９に入り込むことによって短絡の蓋然性が低減されるのに対して、本実施形態では、凸部２１９によって接合材１０５が堰き止められることによって短絡の蓋然性が低減される。

既述のように、凹部１９の数が１つの態様においては、凹部１９内で２つの接合材１０５が短絡する可能性が生じる。一方、凸部２１９の数が１つの態様においては、そのような不都合は生じない。すなわち、凸部２１９の数は、凹部１９の数よりも少なくされてよい。また、凹部１９は、接合材１０５を収容して接合材１０５の短絡の蓋然性を低減するから、凹部１９の容積は、接合材１０５の短絡の蓋然性に影響する。凹部１９の容積を大きくする場合、例えば、Ｄ２方向の長さが大きくされてよい。一方、凸部２１９のＤ２方向の長さは、接合材１０５を堰き止める効果に直接的には影響しない。従って、凸部２１９はＤ２方向において小さくされてよい。なお、凹部１９は、凸部２１９に比較して、既述のように、形成が容易である。

＜第３実施形態＞
図９は、第３実施形態に係る水晶素子３０１の構成を示す断面図であり、第１実施形態の図４に対応している。

水晶素子３０１において、介在部３１７は、凹部１９に代えて、貫通孔３１９を有している。凹部１９の数、並びに平面視における凹部１９の位置、形状及び寸法についての既述の説明は、貫通孔３１９の数、並びに平面視における貫通孔３１９の位置、形状及び寸法に援用されてよい。ただし、凹部１９は、水晶素板３の縁部から離れていなくてもよいが、貫通孔３１９は、水晶素板３の縁部から離れている。すなわち、ここでいう貫通孔３１９は、切欠きを含まない。次段落において述べるように、貫通孔３１９の断面形状は、矩形状でなくてもよい。この場合、凹部１９の平面視における位置、形状及び寸法の説明は、矛盾等が生じない限り、貫通孔３１９の被実装面１５ｍにおける位置、形状及び寸法に援用されてよい。

貫通孔３１９のＤ２－Ｄ３断面（別の観点ではスリット状の貫通孔３１９の長手方向に直交する断面）の形状は、例えば、矩形状（図示の例）、台形状、又は２つの台形の上底同士を重ねた形状とされてよい。別の観点では、貫通孔３１９のＤ２－Ｄ３断面における幅（Ｄ２方向の長さ）は、貫通方向（Ｄ３方向）において、一定であってもよいし、変化していてもよい。後者の例としては、貫通孔３１９のＤ３方向の中央側ほど貫通孔３１９の幅が狭くなるように貫通孔３１９の内面がＤ３軸に対して傾斜している態様が挙げられる。この傾斜面からなる内面は、エッチングに対する水晶の異方性に起因して現れる結晶面であってもよい。なお、Ｄ２－Ｄ３断面を例に取ったが、他の断面（例えばＤ１－Ｄ３断面）においても、矛盾等が生じない限り、上記の説明が援用されてよい。

貫通孔３１９は、例えば、凹部１９と同様に形成されてよい。ただし、貫通孔３１９は、凹部１９とは異なり、水晶ウェハの両面からのエッチングによって形成されてもよい。

本実施形態においても、水晶素板３は、主部１３と、突出部１５とを有しており、２つの接続電極１１は、突出部１５の被実装面１５ｍに位置している。そして、被実装面１５ｍの、２つの接続電極１１の間に、凹部、凸部及び貫通孔の少なくとも１つ（本実施形態では２つの貫通孔３１９）を含む介在部３１７が位置している。

従って、例えば、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、２つの接続電極１１に加えられる力に起因する歪が主部１３における振動に及ぼす影響を低減しつつ、２つの接合材１０５が短絡する蓋然性を低減できる。貫通孔３１９は、平面視における形状及び寸法が同じ凹部１９に比較して、接合材１０５を収容できる量が多いから、短絡の蓋然性を低減する効果が高い。また、貫通孔３１９は、平面視における形状及び寸法が凹部１９に比較して、接合材１０５を接合可能な面積が大きいから、接合強度を向上させる効果が高い。

なお、凹部１９は、貫通孔３１９に比較して、突出部１５の強度を維持することに有利である。その結果、例えば、凹部１９は、平面視における位置、形状及び寸法の自由度が高い。また、凹部１９は、貫通孔３１９に比較して形成が容易な場合がある。例えば、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、被実装面１５ｍを深く掘り下げることが困難な場合がある。このような場合に、凹部１９（例えば、その深さが貫通孔３１９の貫通長さ（別の観点では突出部１５の厚さ）の１／２未満のもの）は、貫通孔３１９に比較して、形成が容易である。

＜第４実施形態＞
図１０は、第４実施形態に係る水晶素子４０１の構成を示す斜視図であり、第１実施形態の図２に対応している。

第１実施形態の説明において、水晶素板３は、一定の厚みの平板状でなくてもよく、例えば、振動部と、振動部よりも厚い固定部とを有してよいことを述べた。水晶素子４０１の水晶素板４０３は、そのような態様の一例となっている。具体的には、突出部４１５は、主部１３よりも厚くなっている。すなわち、主部１３は振動部に相当し、突出部４１５は固定部に相当する。

第１実施形態の説明でも触れたように、突出部４１５は、主部１３に対して、厚さ方向の一方側（－Ｄ３側）にのみ厚くなっていてもよいし（図示の例）、厚さ方向の両側に厚くなっていてもよい。また、水晶素板４０３は、厚い部分（主部１３）と薄い部分（突出部４１５）との間に、薄い部分から厚い部分へ近づくほど厚くなるように、Ｄ１－Ｄ２平面に対して傾斜する傾斜面を有していてもよいし（図示の例）、有していなくてもよい。

平面視における範囲に関して、薄い部分及び厚い部分と、主部１３及び突出部４１５との具体的な関係は任意である。図示の例では、薄い部分と主部１３とは概ね一致しており、厚い部分と突出部４１５とは概ね一致している。別の観点では、厚い部分の範囲は、突出部４１５内に収まっている。

図示の例とは異なり、平面視において、薄い部分と主部１３とは一致していなくてもよいし、厚い部分と突出部４１５とは一致していなくてもよい。例えば、特に図示しないが、突出部４１５の全体と、主部１３の励振電極７よりも－Ｄ１側の一部（例えば－Ｄ３側の１辺の全体又は一部）とが厚い部分とされていてもよい。また、突出部４１５の全体と、主部１３の－Ｄ１側の１辺を含む２辺以上に亘る縁部（励振電極７よりも外側の領域）とが厚い部分とされていてもよい。逆に、突出部４１５の－Ｄ１側の一部（ただし、例えば、接続電極１１の配置領域を含む。）のみが厚い部分とされていてもよい。

前段落に述べたような種々の態様も考慮すると、例えば、突出部４１５のうち被実装面４１５ｍに２つの接続電極１１（２つの下面部１１ｂ）が重なっている部分が、主部１３のうち２つの励振電極７が重なっている部分の厚みよりも厚くされていてよい。

励振電極７は、例えば、水晶素板４０３の相対的に薄い部分（振動部）に収まる。また、接続電極１１は、水晶素板４０３の相対的に厚い部分（固定部）に収まっていてもよいし（図示の例）、収まっていなくてもよい。

接続電極１１が相対的に厚い部分（固定部）に収まっていないような態様も考慮すると、突出部４１５のうち被実装面４１５ｍに２つの接続電極１１が重なっている第１部分の厚みが、主部１３のうち励振電極７が重なっている第２部分の厚みよりも厚いというとき、第１部分の大部分について、そのような厚みの関係が成立していればよい。大部分は、例えば、第１部分の面積の８割以上とされてよい。ただし、突出部１５の薄い部分及び厚い部分に重なっている接続電極１１のうち厚い部分に重なっている部分のみを接続電極として捉え、上記の関係が成立していると判定してもよい。

図示の例では、介在部１７として、第１実施形態のものが例示されている。ただし、介在部の構成は、他の態様のもの（例えば第２実施形態の介在部２１７又は第３実施形態の３１７）であっても構わない。

相対的に薄い部分（主部１３）及び厚い部分（突出部４１５）の具体的な厚さは任意である。例えば、第１実施形態の説明で述べた水晶素板３の厚さの説明は、薄い部分の厚さに援用されてよい。厚い部分の厚さ（－Ｄ３側のみに厚くなっている態様及び－Ｄ３側及び＋Ｄ３側の双方に厚くなっている態様のいずれでもよい。）は、例えば、薄い部分の厚さに対して、１．２倍以上、１．５倍以上、２倍以上又は３倍以上とされてよく、５倍以下、４倍以下、３倍以下、２倍以下又は１．５倍以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾等が生じないように、任意のもの同士が組み合わされてもよい。

本実施形態においても、水晶素板４０３は、主部１３と、突出部４１５とを有しており、２つの接続電極１１は、突出部４１５の被実装面４１５ｍに位置している。そして、被実装面４１５ｍの、２つの接続電極１１の間に、凹部、凸部及び貫通孔の少なくとも１つ（図示の例では２つの凹部１９）を含む介在部１７が位置している。従って、例えば、第１実施形態と同様の効果が奏される。

また、突出部４１５のうち被実装面４１５ｍに２つの接続電極１１が重なっている部分の厚みは、主部１３の２つの励振電極７が重なっている部分の厚みよりも厚くされてよい。

この場合、例えば、相対的に厚い部分が、突出部４１５から主部１３に跨っている態様においては、突出部４１５と主部１３との接続部が厚くされ、当該接続部の強度が向上する。一方、突出部４１５と主部１３との接続部は、平面視において幅（Ｄ２方向の長さ）が変化する部分であるから、応力集中が生じやすい。従って、接続部の強度が向上することによって、水晶素板４０３全体として、破損が生じる蓋然性が低減される。また、例えば、介在部１７が凹部１９又は貫通孔３１９を有する態様においては、凹部１９又は貫通孔３１９を深くすることができる。その結果、例えば、凹部１９又は貫通孔３１９に接合材１０５が入り込むことによる種々の効果が向上する。ひいては、接合材１０５の塗布量のばらつきの影響が低減され、歩留りが向上する。また、例えば、接合材１０５が突出部４１５の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に接合される態様においては、接合面積を増加させることが容易化される。

＜変形例＞
凹部１９の形状及び突出部１５の形状等の変形例について述べる。以下の説明では、便宜上、第１実施形態を変形した例を示す。すなわち、水晶素板として平板状のもの（水晶素板３）が例示され、また、介在部として凹部１９を有するもの（介在部１７）が例示される。ただし、以下の変形例は、他の実施形態に適用されて構わない。すなわち、水晶素板は、平板状でないもの（水晶素板４０３）であってもよいし、介在部は、凸部２１９又は貫通孔３１９を有するもの（介在部２１７又は３１７）であっても構わない。凹部１９の語は、凸部２１９又は貫通孔３１９の語に置換されてよい。

図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、凹部１９の位置、形状及び寸法に係る変形例（変形例に係る水晶素子１Ａ及び１Ｂ）を示す平面図である。

第１実施形態の説明で説明したように、凹部１９の数は、１つのみであってもよいし（図１１（ａ））、３つ以上であってもよい（図１１（ｂ））。前者の態様における凹部１９の平面視における寸法については第１実施形態の説明で述べた。また、後者の態様における凹部１９の寸法も任意である。

図１１（ｂ）の例は、Ｄ２方向に並んでいる２つ以上の凹部１９を有する介在部の一例となっている。より詳細には、図示の例では、８つの凹部１９のうち４つがＤ２方向に並んでいると捉えることができる。

図１１（ｂ）の例では、１つの凹部１９のＤ１方向の長さは、接続電極１１のＤ１方向の長さよりも短い。ただし、Ｄ２方向において隣り合う凹部１９同士は、Ｄ１方向の範囲の一部同士を重複させている（逆にいえば、他の一部同士を重複させていない。）。これにより、複数の凹部１９の全体としては、Ｄ１方向の長さが、接続電極１１のＤ１方向の長さよりも長くなっている。

より詳細には、図１１（ｂ）の例では、介在部は、－Ｄ２側に位置する２以上（図示の例では３つ）の凹部１９からなる凹部群（符号省略）と、＋Ｄ２側に位置する２以上（図示の例では３つ）の凹部１９からなる凹部群（符号省略）と、を有していると捉えることができる。そして、各凹部群において、各凹部１９のＤ１方向の長さは、接続電極１１のＤ１方向の長さよりも短くされており、各凹部群のＤ１方向の長さは、接続電極１１のＤ１方向の長さよりも長くされている。

このような構成においては、例えば、各凹部１９のＤ１方向の長さの自由度が高い。その結果、例えば、凹部１９のＤ１方向の長さが凹部１９を形成するためのエッチングに影響を及ぼす場合にエッチングの調整が容易化される。

図１２は、突出部１５の断面形状に係る変形例（変形例に係る水晶素子１Ｃ）を示す断面図であり、第１実施形態の図４に対応している。

この図に示すように、突出部１５は、介在部１７を構成しない凹部２１（又は凸部若しくは貫通孔）を有していてもよい。すなわち、突出部１５は、２つの接続電極１１（下面部１１ｂ）の間に位置する部分を有さない凹部２１を有していてもよい。図示の例では、２つの凹部２１が被実装面１５ｍのＤ２方向の両側の縁部に位置している。なお、２つの凹部２１は、被実装面１５ｍのＤ２方向の両側の縁部から離れていてもよい。凹部２１は、例えば、接合材１０５の接合面積の増大又は接合材１０５の余剰分の収容に寄与する。

図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、突出部１５の平面形状に係る変形例（変形例に係る水晶素子１Ｄ及び１Ｅ）を示す平面図である。

第１実施形態の説明でも述べたように、また、図１３（ａ）に示すように、突出部１５の平面形状は、台形状であってもよい。この場合、例えば、突出部１５と主部１３との接続部における応力集中を緩和することができる。突出部１５の平面形状が台形状である態様において、その具体的な寸法は任意である。例えば、台形の脚のＤ１方向に対する傾斜角度は、４５°未満であってもよいし、４５°以上であってもよい。

図１３（ｂ）に示すように、突出部１５は、平面視において、切欠き２３（凹部）及び／又は凸部（不図示）を有していてもよい。切欠き２３は、例えば、接合材１０５を収容して接合材１０５が必要以上に広がる蓋然性を低減したり、接合材１０５の接合面積を増大したりすることに寄与する。凸部は、例えば、接合材１０５を堰き止めて接合材１０５が必要以上に広がる蓋然性を低減したり、接合材１０５の接合面積を増大したりすることに寄与する。

切欠き２３及び凸部の、数、並びに平面視における位置、形状及び寸法は任意である。図示の例では、切欠き２３は、突出部１５のＤ２方向の両側の縁部に位置しており、また、接続電極１１に重なっている。ただし、切欠き２３は、突出部１５のＤ２方向の両側の縁部のうち接続電極１１に重ならない領域に位置していてもよいし、突出部１５の－Ｄ１側の縁部に位置していてもよい。切欠き２３の位置について述べたが、凸部の位置についても同様である。

図１４は、実装構造に係る変形例（変形例に係る水晶素子１Ｆ）を示す斜視図であり、第１実施形態の図３に対応している。

第１実施形態の説明でも述べたように、また、図１４に示すように、接続電極１１は、突出部１５の－Ｄ１側の側面に位置する部分を有していても構わない。また、接合材１０５は、接続電極１１を介して間接的に（図示の例）又は接続電極１１を介さずに直接的に、突出部１５の－Ｄ１側の側面に接合される部分を有していてもよい。これらの場合においては、例えば、第１実施形態よりも接合面積を確保することが容易である。

以上の実施形態において、水晶素子１、２０１、３０１、４０１及び１Ａ～１Ｆは、それぞれ圧電素子の一例である。水晶デバイス１０１は圧電デバイスの一例である。水晶素板３及び４０３は、それぞれ圧電素板の一例である。Ｄ１方向は第１方向の一例である。Ｄ２方向は第２方向の一例である。－Ｄ１側は第１方向の第１側の一例である。主部１３の－Ｄ１側の縁部１３ｅは第１縁部の一例である。

本開示に係る技術は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

例えば、既述の実施形態は、適宜に組み合わされてよい。例えば、介在部は、１つ以上の凹部１９と１つ以上の凸部２１９とを有していてもよいし、１つ以上の凹部１９と１つ以上の貫通孔３１９とを有していてもよいし、１つ以上の凸部２１９と１つ以上の貫通孔３１９とを有していてもよい。また、例えば、水晶素子は、突出部の被実装面だけでなく、その反対側の面にも介在部を有していてもよい。

圧電体は、水晶に限定されない。例えば、圧電体は、他の単結晶であってもよいし、多結晶からなるもの（例えばセラミック）であってもよい。なお、水晶に適宜なドーパントが添加されたものは水晶の一種と捉えられてよい。

実施形態の説明では、便宜上、課題（別の観点では効果）として、接合材が短絡する蓋然性の低減を例示した。ただし、そのような課題が必ずしも解決されない態様で、本開示に係る技術が利用されても構わない。例えば、凹部又は貫通孔を有する介在部は、短絡の蓋然性の低減に寄与せずに、２つの接続電極間の歪を吸収することに寄与してよい。

本開示からは、実施形態の説明において主要な特徴として説明した構成を要件としない技術思想が抽出されてよい。例えば、実施形態の説明では、突出部が介在部を有していることを特徴の一つとして説明した。ただし、突出部が介在部を有していない態様の圧電素子の概念が抽出されてよい。例えば、接続電極が被実装面の第２方向の両側の縁部に重なっていることを特徴とする圧電素子の概念が抽出されたり、突出部の第１側（実施形態では－Ｄ１側）の側面が導体の非配置領域となっていることを特徴とする圧電素子の概念が抽出されたりしてよい。

１…水晶素子（圧電素子）、３…水晶素板（圧電素板）、７…励振電極、９…引出電極、１１…接続電極、１３…（水晶素板の）主部、１５…（水晶素板の）突出部、１７…介在部、１９…（介在部の）凹部、１０１…水晶デバイス（圧電デバイス）。

Claims (9)

1. 第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に広がっている板状の主部と、前記主部の平面視において、前記主部の前記第１方向の第１側の第１縁部のうちの中央側の一部から前記第１側へ突出している突出部と、を有している圧電素板と、
   前記主部の表裏に重なっている２つの励振電極と、
   前記２つの励振電極から引き出されている２つの引出電極と、
   前記突出部に位置しており、前記２つの引出電極を介して前記２つの励振電極と接続されている２つの接続電極と、
   を有しており、
   前記突出部は、前記圧電素板の厚み方向の一方側に面している被実装面を有しており、
   前記２つの接続電極は、前記被実装面に位置している部分を有しているとともに前記被実装面において前記第２方向に互いに離れており、
   前記被実装面の、前記２つの接続電極の間に、凹部、凸部又は貫通孔の少なくとも１つを含む介在部が位置している
   圧電素子。
2. 前記突出部の前記第２方向の最大長さが、前記第１縁部の両端間の距離よりも短い
   請求項１に記載の圧電素子。
3. 前記介在部は、
   前記第２方向に並んでいる少なくとも２つの凹部、及び
   前記第２方向に並んでいる少なくとも２つの貫通孔、
   の少なくとも一方を有している
   請求項１又は２に記載の圧電素子。
4. 前記突出部のうち前記被実装面に前記２つの接続電極が重なっている部分の厚みが、前記主部のうち前記２つの励振電極が重なっている部分の厚みよりも厚い
   請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電素子。
5. 前記２つの接続電極は、前記被実装面の前記第２方向の両側の縁部に重なっている
   請求項２に記載の圧電素子。
6. 前記突出部の前記第１側の側面は、当該圧電素子が有する導体の非配置領域となっている
   請求項５に記載の圧電素子。
7. 請求項１～６のいずれか１項に記載の圧電素子と、
   ２つのパッドを有しているパッケージと、
   前記２つの接続電極と前記２つのパッドとを接合しているとともに導電性を有している２つの接合材と、
   を有している圧電デバイス。
8. 前記突出部の前記第２方向の両側に位置している第１側面及び第２側面それぞれは、前記圧電素板の厚み方向の位置が互いに異なる２つの面を有しており、
   前記第１側面及び前記第２側面それぞれの前記２つの面は、ｍ面を含んでおり、
   前記２つの接合材の第１接合材は、前記第１側面の前記２つの面に跨っており、
   前記２つの接合材の第２接合材は、前記第２側面の前記２つの面に跨っている
   請求項７に記載の圧電デバイス。
9. 前記２つの接合材の第１接合材は、前記突出部の前記第２方向の第２側の側面に接合されているとともに前記突出部の前記第１側の側面からは離れており、
   前記２つの接合材の第２接合材は、前記突出部の前記第２方向の第３側の側面に接合されているとともに前記突出部の前記第１側の側面からは離れている
   請求項７又は８に記載の圧電デバイス。

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