JP2023104491A - 圧電素子及び圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】エネルギー損失を低減する圧電素子及び当該圧電素子を有する圧電デバイスを提供する。【解決手段】水晶素子１は、水晶素板３と、励振電極７と、引出電極９と、搭載電極１１と、を有する。水晶素板３は、Ｄ１方向及びＤ１方向に直交するＤ２方向に広がっている。２つの励振電極７は、水晶素板３の表裏に重なっている。２つの搭載電極１１は、－Ｄ１側に位置しており、２つの引出電極９を介して２つの励振電極７と接続されている。平面透視において、４つの線、励振電極７の－Ｄ１側の短辺７ａと、－Ｄ１側の短辺７ａの両端から－Ｄ１側へＤ１方向に平行に延びる２つの仮想線と、２つの搭載電極１１に対して＋Ｄ１側から接するＤ２方向に平行な仮想線と、によって囲まれる領域を第１領域Ａ１とするとき、各引出電極９は、励振電極７の長辺７ｂから、搭載電極１１まで、第１領域Ａ１に重ならずに、一定の幅で延びている。【選択図】図３

Description

本開示は、圧電素子、及び当該圧電素子を有する圧電デバイスに関する。

水晶振動子及び水晶発振器等の圧電デバイスが知られている（例えば下記特許文献参照）。このような圧電デバイスは、水晶素子等の圧電素子と、圧電素子を保持しているパッケージとを有している。

圧電素子は、例えば、圧電素板（板状の圧電体）と、圧電素板の表裏に重なる２つの励振電極と、を有している。２つの励振電極によって圧電素板に電圧が印加されることによって圧電素板が振動する。この振動は、例えば、発振信号（例えば一定の周波数で信号強度が振動する信号）の生成に利用される。

また、圧電素子は、２つの励振電極から圧電素板の一端（例えば矩形状の圧電素板の１つの短辺）に向かって引き出されている２つの引出電極と、圧電素板の一端に位置し、２つの引出電極に接続されている２つの搭載電極と、を有している。２つの搭載電極は、例えば、パッケージが有している２つのパッドと導電性の接合材によって接合される。これにより、圧電素子は、パッケージに電気的に接続されるとともに、パッケージによって支持される。

特許文献１では、励振電極から水晶素板（圧電素板）の側面（水晶素板の表裏の面をつなぐ面）を経由して搭載電極に到達する引出電極が開示されている。水晶素板の側面は、励振電極よりも側方に位置しており、ひいては、引出電極は、励振電極と搭載電極との間の領域に対して側方に位置している。特許文献１の引出電極において、水晶素板の側面上を延びている部分の幅は、水晶素板の表裏にて励振電極から水晶素板の側面に向かって延びている部分の幅よりも広くなっている。

特開２０１７－５０７５１号公報

例えば、エネルギー損失を低減できる圧電素子及び圧電デバイスが提供されることが待たれる。

本開示の一態様に係る圧電素子は、第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に広がっている圧電素板と、前記圧電素板の表裏に重なっている２つの励振電極と、前記２つの励振電極から引き出されている２つの引出電極と、前記２つの励振電極に対して前記第１方向の第１側に位置しており、前記２つの引出電極を介して前記２つの励振電極と接続されている２つの搭載電極と、を有しており、前記２つの励振電極のそれぞれは、前記第１側に位置して前記第２方向に沿っている第１縁部と、前記第１縁部の両端から前記第１方向の第２側へ延びる２つの第２縁部と、を有しており、平面透視において、前記第１縁部と、前記第１縁部の両端から前記第１側へ前記第１方向に平行に延びる２つの仮想線と、前記２つの搭載電極に対して前記第２側から接する、前記第２方向に平行な仮想線と、によって囲まれる領域を第１領域と称するとき、前記２つの引出電極のそれぞれは、前記２つの励振電極のうちの自己に対応する励振電極の前記２つの第２縁部のいずれか１つから、前記２つの搭載電極のうちの自己に対応する搭載電極まで、前記第１領域に重ならずに、一定の幅で延びている。

本開示の一態様に係る圧電デバイスは、上記圧電素子と、前記圧電素子を保持しているパッケージと、を有している。

上記の構成によれば、例えば、エネルギー損失を低減できる。

第１実施形態に係る水晶素子を示す斜視図。 図１の水晶素子を示す他の斜視図。 図１の水晶素子の平面図。 図３の領域IVの拡大図。 図１の水晶素子を有する水晶デバイスの断面図。 第２実施形態に係る水晶素子の一部を示す平面図。 第３実施形態に係る水晶素子の一部を示す平面図。 第４実施形態に係る水晶素子の一部を示す平面図。

以下、本開示に係る実施形態について、図面を参照して説明する。以下の説明で用いられる図は模式的なものである。従って、例えば、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。図面同士において同一の部材の寸法比率も必ずしも一致しない。また、細部の図示が省略されることがあり、一部の形状が誇張されて図示されることがある。ただし、上記は、実際の寸法比率が図面のとおりとされてもよいこと、及び図面から形状及び寸法比率等の特徴が抽出されてよいことを否定するものではない。

図面には、便宜上、直交座標系Ｄ１－Ｄ２－Ｄ３を付すことがある。実施形態に係る圧電素子及び圧電デバイスは、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよい。ただし、便宜上、＋Ｄ３側を上方とした表現をすることがある。また、平面視又は平面透視は、特に断りが無い限り、Ｄ３方向に平行に見ることを指す。また、図面の理解を容易にするために、比較的薄い層（例えば導体層）の表面（すなわち断面でない面）にハッチングを付すことがある。

相対的に後に説明される態様（実施形態及び変形例）の説明においては、基本的に、先に説明された態様との相違点についてのみ述べる。特に言及が無い事項は、先に説明された態様と同様とされたり、先に説明された態様から類推されたりしてよい。先に説明された態様の説明は、矛盾等が生じない限り、後に説明される態様に援用されてよい。複数の態様において、互いに対応する部材については、便宜上、相違点があっても同一の符号を付すことがある。

平面形状の縁部を指す用語としての「辺」は、一般に、多角形の縁部（換言すれば直線）を指すが、実施形態の説明では、便宜上、多角形でなくてもよい形状の縁部（例えば曲線状であってもよい縁部）に用いられることがある。同様に、「長辺」及び「短辺」は、一般に、長方形の辺を指すが、実施形態の説明では、便宜上、長方形以外の縁部に用いられることがある。「平行」は、通常、直線同士の距離が一定である関係を指すが、実施形態の説明では、便宜上、直線でなくてよい線（例えば曲線）同士の距離が一定である関係に用いられることがある。

矩形又は矩形状というとき、特に断りが無い限り、角部が面取りされているなど、厳密に正方形又は狭義の長方形でなくてもよいものとする。矩形以外の多角形についても同様である。ここでいう面取りは、製造上の誤差（公差）によって生じる角部の丸みの大きさよりも大きいものである。公差が存在していてよいことは、面取りに限らず、いうまでもないことだからである。

＜第１実施形態＞
（水晶素子の概要）
図１は、第１実施形態に係る水晶素子１（圧電素子の一例）の斜視図である。図２は、図１とは反対側から水晶素子１を見た斜視図である。図３は、水晶素子１の平面図である。

水晶素子１は、例えば、交流電圧が印加されることによって振動を生じるものである。この振動は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に利用される。換言すれば、水晶素子１は、例えば、水晶振動子又は水晶発振器に含まれるものである。発振信号の周波数は任意である。

水晶素子１は、例えば、水晶素板３（圧電素板の一例）と、水晶素板３に重なっている（少なくとも）２つの導体パターン５（図示の例では第１導体パターン５Ａ及び第２導体パターン５Ｂ）と、を有している。２つの導体パターン５は、互いに短絡されていない。各導体パターン５は、例えば、励振電極７と、励振電極７から引き出されている引出電極９と、引出電極９に接続されている搭載電極１１と、を有している。すなわち、水晶素子１は、１対の励振電極７と、１対の引出電極９と、１対の搭載電極１１と、を有している。

１対の搭載電極１１は、水晶素子１の実装に寄与する。具体的には、例えば、後述する図５に示すように、搭載電極１１とパッケージ１０３とが導電性の接合材１０５によって接合される。これにより、水晶素子１がパッケージ１０３に電気的に接続されるとともに固定される。

なお、水晶素子１は、パッケージ１０３以外の部材（例えば回路基板）に実装されてもよい。ただし、実施形態の説明では、便宜上、パッケージ１０３に実装されることを前提とした表現をすることがある。

パッケージ１０３を介して１対の搭載電極１１に交流電圧が印加されると、その交流電圧は１対の引出電極９を介して１対の励振電極７に印加される。これにより、１対の励振電極７によって水晶素板３に交流電圧（電界）が印加され、水晶素板３が振動する。

図３では、平面透視において２つの励振電極７（１つは図３では不図示）と２つの搭載電極１１との間に位置し、各励振電極７の幅（Ｄ２方向の長さ）と同じ幅を有している領域が破線で囲まれている。この領域を第１領域Ａ１と称するものとする。引出電極９は、励振電極７から搭載電極１１まで第１領域Ａ１に重ならずに一定の幅で延びている。

前段落で述べたような引出電極９の構成によって、例えば、エネルギーの損失が低減される。その詳細については後述するが、例えば、引出電極９の幅が変化する部分において電流の反射が生じる現象が避けられることが挙げられる。

以上が第１実施形態に係る水晶素子１の概要である。以下において、第１実施形態の説明は、概略、下記の順に行う。なお、第１領域Ａ１は、水晶素板３（第２節）における領域であるが、励振電極７及び搭載電極１１によってその範囲が定義されることから、導体パターン５（第３節）の説明において説明する。
１．水晶素子１全般に係る事項
２．水晶素板３
３．導体パターン５
３．１．励振電極７
３．２．搭載電極１１
３．３．第１領域Ａ１
３．４．引出電極９
４．水晶素子の寸法の例
５．水晶素子１の利用例（図５）
６．第１実施形態についてのまとめ

（１．水晶素子全般に係る事項）
上述したように、本実施形態では、２つの引出電極９は、第１領域Ａ１を避けて一定の幅で延びている。この構成は、種々の種類の水晶素子１に適用されてよい。種々の種類の水晶素子１は、例えば、少なくとも、以下の構成要素を有している。水晶素板３（換言すれば板状の水晶片）。水晶素板３の表裏に重なって互いに対向している２つの励振電極７。２つの励振電極７から引き出されている２つの引出電極９。２つの引出電極９に接続されている２つの搭載電極１１。

水晶素板３に関して、板状は、例えば、所定方向（Ｄ３方向）の長さ（厚さ）が上記所定方向に直交する平面に沿う方向（Ｄ１－Ｄ２平面に沿う方向）の長さに比較して十分に短い形状である。厚さ及びその他の長さに基づく板状であるか否かの判断は、合理的になされてよい。なお、板状といえる寸法の例については後述する（第４節参照）。板状の水晶素板３の表裏（２つの励振電極７が重なっている面）は、板形状の最も広い面であり、本実施形態の説明では、主面、又は第１面３ａ及び第２面３ｂと称することがある。

水晶素板３は、第１方向（Ｄ１方向）及び第１方向に直交する第２方向（Ｄ２方向）に広がっている。平面透視において、２つの搭載電極１１は、２つの励振電極７に対して、Ｄ１方向の一方側（－Ｄ１側。別の観点では第１端３ｃの側）に位置している。これにより、水晶素板３において、２つの励振電極７と２つの搭載電極１１との間に位置する第１領域Ａ１を定義できる。また、第１領域Ａ１を避けて一定の幅で延びるという引出電極９の構成を適用できる。

水晶素子１は、例えば、いわゆるＡＴカット型の水晶素子とされている。ＡＴカット型においては、１対の励振電極７によって水晶素板３に交流電圧が印加されることによって、いわゆる厚み滑り振動が生じる。水晶素子１は、厚み滑り振動以外の振動を利用するものであっても構わない。厚み滑り振動以外の振動としては、例えば、屈曲振動モード、捩じり振動モード、長さ縦振動モード、幅縦振動モード、幅・長さ縦結合振動モード及び輪郭すべり振動モードが挙げられる。また、厚み滑り振動を利用する水晶素子１は、ＡＴカット以外のカット角のものであっても構わない。例えば、水晶素子１は、ＢＴカット型のものであってもよい。

なお、本実施形態の説明では、便宜上、特に断り無く、水晶素子１がＡＴカット型のものであることを前提とした説明及び表現をすることがある。

水晶素子１は、例えば、後に詳述するように、パッケージ１０３の凹部Ｒ１の底面（第１基板面１１１ｃ）に対向するように実装される（図５参照）。水晶素子１は、＋Ｄ３側の面（第１面３ａ）及び－Ｄ３側の面（第２面３ｂ）のいずれを第１基板面１１１ｃに対向させることも可能に構成されていてもよいし、そのように構成されていなくてもよい（図示の例）。例えば、水晶素子１は、Ｄ１方向に平行な不図示の対称軸（中心線）に関して１８０°回転対称の構成とされていてもよいし、そのような構成とされていなくてもよい（図示の例）。本実施形態の説明では、基本的に、第１面３ａ及び第２面３ｂのうち第２面３ｂが第１基板面１１１ｃに対向する面として想定されている態様を例にとる。

水晶素子１は、種々の方法によって作製されてよい。例えば、水晶素板３は、エッチング（例えばウェットエッチング）によって作製されてよい。

エッチングによって作製される水晶素板３は、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、側面等に傾斜面（別の観点では結晶面）を有していることがある。実施形態の説明では、そのような傾斜面の存在については基本的に無視する。寸法等の説明において、厳密性が要求される場合においては、その説明は、合理性を欠いたり、矛盾が生じたりしない限り、傾斜面を無視して適用されてもよいし、傾斜面を考慮して適用されてもよい。例えば、水晶素板３のＤ１方向の長さというとき、当該長さは、第１面３ａ又は第２面３ｂの長さ（結晶面を除いた長さ）であってもよいし、平面透視における最大長さ（結晶面を考慮した長さ）であってもよい。

（２．水晶素板）
上記の説明から理解されるように、水晶素板３のカット角は任意である。ＡＴカットの水晶素板３においては、例えば、結晶のＸ軸はＤ１方向に平行であり、結晶のＹ’軸はＤ３方向に平行であり、結晶のＺ’軸はＤ２方向に平行である。Ｙ’軸及びＺ’軸は、典型的には、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸回りに３５°１５′だけ回転させて得られる軸である。３５°１５′は、３５°１５′±１０°とされてもよい。厚み滑り振動は、第１面３ａと第２面３ｂとをＤ１方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる振動である。Ｄ１方向の正側とＸ軸の正側とは互いに同じ側であってもよいし、互いに逆側であってもよい。他の方向の正負と他の軸の正負との関係についても同様である。

水晶素板３の具体的な形状は、種々のものとされてよい。図示の例では、水晶素板３は、平板状とされている。すなわち、第１面３ａ及び第２面３ｂは、互いに平行な平面状である。また、別の観点では、水晶素板３の厚さは一定である。

水晶素板３の形状は、平板状以外の形状であってもよい。そのような形状としては、例えば、以下のものを挙げることができる。１対の励振電極７と重なって励振される中央の領域（メサ部）が、その外周の領域よりも厚い、いわゆるメサ型。上記とは逆に、１対の励振電極７と重なって励振される中央の領域（逆メサ部）が外周の領域よりも薄い、いわゆる逆メサ型。１対の励振電極７と重なって励振される振動部と、当該振動部の縁部の一部（例えば１辺、２辺又は３辺）に隣接し、振動部よりも厚く、１対の搭載電極１１が位置する固定部と、を有するもの。外周部において外周縁に近づくほど薄くなるベベル型。上記の振動部及び固定部を有する水晶素板においては、固定部が、振動部に対して、一方の面側（例えば－Ｄ３側）に厚くなるものと、両面側（－Ｄ３側及び＋Ｄ３側）に厚くなるものとがある。

また、図示の例では、水晶素板３の平面形状は、矩形状とされている。すなわち、水晶素板３は、互いに平行な１対の辺と、互いに平行な他の１対の辺とを有している。前者の１対の辺と後者の１対の辺とは互いに直交している。別の観点では、水晶素板３の平面形状は、互いに対向する１対の縁（直線とは限らない）と、互いに対向する他の１対の縁（直線とは限らない）とを有している。前者の１対の縁と後者の１対の縁とは互いに交差している（直交するとは限らない）。換言すれば、水晶素板３の平面形状は、その輪郭が４つの縁によって構成されていると捉えることができる形状である。

水晶素板３の平面形状は、矩形状以外の形状であってもよい。そのような形状としては、例えば、円形状、楕円形状又は矩形状以外の多角形状が挙げられる。また、水晶素板３の平面形状は、多角形の任意の数の辺（例えば矩形状の１辺、２辺、３辺又は４辺）を外側に曲線状に膨らませた形状とされてもよい。また、水晶素板３の平面形状は、一部に突起又は切欠きを有する形状であってもよい。なお、矩形状の任意の数の辺を外側に曲線状に膨らませた形状は、４つの縁によって構成されていると捉えることができる水晶素板３の平面形状の例である。

水晶素板３の平面形状は、Ｄ１方向及びＤ２方向のいずれを長手方向としていてもよいし、そのような区別ができない形状（例えば正方形状又は円形状）であってもよい。なお、Ｄ１方向は、既述のとおり、２つの励振電極７から２つの搭載電極１１への方向であり、また、別の観点では、厚み滑り振動の方向である。ＡＴカット型の水晶素板３の平面形状が長手方向及び短手方向の区別ができるものである場合においては、Ｄ１方向が長手方向とされることが多い（本実施形態においてもそのようにされてよい。）。ただし、図１～図３に示す例では、厚み滑り振動の方向に直交する方向（Ｄ２方向）が長手方向とされている。

水晶素板３の形状は、対称性を有していてもよいし（図示の例）、有していなくてもよい。後者の例としては、例えば、既述の振動部及び固定部を有する水晶素板において、固定部が振動部に対して一方の面側（－Ｄ３側）にのみ厚くなっているもの、及び平面視において固定部が振動部の２辺又は３辺に沿って位置しているもの（固定部がＬ字状又はＵ字状を呈しているもの）を挙げることができる。

水晶素板３は、図示の例とは異なり、適宜な位置に、種々の目的で、凹部、凸部及び貫通孔を有していてもよい。このような凹部、凸部及び／又は貫通孔は、第１領域Ａ１に位置していても構わない。第１領域Ａ１に位置している凹部、凸部及び／又は貫通孔は、例えば、搭載電極１１のパッケージ１０３に対する固定が励振電極７の領域における振動に及ぼす影響を低減することに寄与してよい。また、貫通孔は、例えば、導体パターン５の表裏の導通に寄与してよい。

（３．導体パターン）
導体パターン５の材料は、例えば、金属とされてよい。金属としては、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）若しくは銀（Ａｇ）又はこれらの少なくとも１つを主成分とする合金を挙げることができる。導体パターン５は、単一の材料からなる１層の導体層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の導体層が積層されて構成されていてもよい。導体パターン５は、例えば、その面積全体に亘って材料の構成が同じであってもよいし、領域によって材料の構成が異なっていてもよい。

導体パターン５の厚さは、基本的に、その全体に亘って一定である。従って、例えば、引出電極９において、横断面（延びる方向に直交する断面）の面積は平面視における幅に比例する。また、例えば、引出電極９において、幅が一定であれば、単位長さ当たりの抵抗値は一定である。ただし、導体パターン５において、一部の領域の厚さは、他の領域の厚さと異なっていてもよい。例えば、水晶素板が、Ｄ１－Ｄ２平面に平行な面と、Ｄ１－Ｄ２平面に傾斜する面とを有しており、上記のいずれの面にも導体パターン５（例えば引出電極９）が重なっている態様において、前者の面に重なっている部分と、後者の面に重なっている部分とで厚さが異なっていてもよい。

（３．１．励振電極）
１対の励振電極７は、既述のように水晶素板３に電圧を印加すべく、水晶素板３の両主面（第１面３ａ及び第２面３ｂ）に位置している。１対の励振電極７は、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる位置、形状及び大きさで設けられている。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極７の位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。

例えば、励振電極７は、水晶素板３の中央側の領域に位置している。別の観点では、励振電極７は、水晶素板３の外縁から離れて位置している。励振電極７の幾何中心は、例えば、水晶素板３の平面視における幾何中心とＤ２方向において概ね一致している。また、励振電極７の幾何中心は、水晶素板３の幾何中心に対して、例えば、＋Ｄ１側（２つの搭載電極１１とは反対側）に位置している。

図示の例では、励振電極７の形状（特に断りが無い限り平面形状）は、矩形状とされている。例えば、励振電極７は、互いに平行な１対の短辺７ａと、互いに平行な１対の長辺７ｂとを有している。１対の短辺７ａと１対の長辺７ｂとは直交している。別の観点では、励振電極７の形状は、互いに対向する１対の縁（直線とは限らない）と、互いに対向する他の１対の縁（直線とは限らない）とを有している。前者の１対の縁と後者の１対の縁とは互いに交差している（直交するとは限らない）。換言すれば、励振電極７の形状は、その輪郭が４つの縁によって構成されていると捉えることができる形状である。

励振電極７の形状は、搭載電極１１側の第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）と、第１縁部の両端から搭載電極１１とは反対側に延びる２つの第２縁部（２つの長辺７ｂ）とを有する種々の形状とされてよい。例えば、励振電極７の４つの辺のうち１辺、２辺（例えば１対の短辺又は１対の長辺）、３辺又は４辺は、外側に曲線状に膨らんでいてもよい。また、例えば、搭載電極１１とは反対側の縁部（＋Ｄ１側の短辺７ａ）と、２つの第２縁部（２つの長辺７ｂ）とは、その境界が明瞭でなくても構わない。例えば、励振電極７の＋Ｄ１側は、半楕円状であってもよい。

励振電極７は、Ｄ１方向及びＤ２方向のいずれを長手方向としていてもよいし、そのような区別ができなくてもよい（例えば正方形状）。なお、Ｄ１方向は、既述のとおり、２つの励振電極７から２つの搭載電極１１への方向であり、また、別の観点では、厚み滑り振動の方向である。ＡＴカット型の水晶素子１の励振電極７が長手方向及び短手方向の区別ができるものである場合においては、Ｄ１方向が長手方向とされることが多い。図示の例においても、励振電極７は、Ｄ１方向が長手方向とされている。すなわち、Ｄ１方向の最大長さ（又は平均長さ）は、Ｄ２方向の最大長さ（又は平均長さ）よりも長い。

平面視において、励振電極７の形状と、水晶素板３の形状とは、類似していてもよいし、異なる形状であってもよい。前者としては、例えば、水晶素板３の形状及び励振電極７の形状の双方が矩形状である態様が挙げられる。後者としては、例えば、水晶素板３の形状及び励振電極７の形状の一方が矩形状であり、他方が矩形の１辺、２辺、３辺又は４辺を外側に膨らむ曲線状とした態様が挙げられる。

（３．２．搭載電極）
２つの搭載電極１１は、既述のように、２つの励振電極７に対して第１方向（Ｄ１方向）の一方側（－Ｄ１側、第１端３ｃの側）に位置している。なお、このようにいうとき、２つの励振電極７と、２つの搭載電極１１とは、Ｄ１方向に直交するＤ２方向における配置範囲の一部同士が、互いに重複していてもよいし（図示の例）、互いに重複していなくてもよい。２つの搭載電極１１が共に－Ｄ１側に位置していることから、２つの搭載電極１１が接合材１０５によってパッケージ１０３に固定されると、水晶素子１は、片持ち梁状に支持される（図５参照）。

２つの搭載電極１１は、第１端３ｃ（水晶素板３の－Ｄ１側の縁部）に沿って並んでいる。２つの搭載電極１１は、例えば、水晶素板３のＤ１方向に平行な中心線（不図示）に対して、概略、線対称の位置、形状及び大きさで設けられてよい。ただし、両者は、位置、形状及び／又は大きさが非対称であっても構わない。例えば、２つの搭載電極１１は、下記に述べる中間部１１ｃの位置及び／又は面積が互いに異なっていてもよい。

各搭載電極１１は、例えば、以下の３つの部分を有していると捉えることができる。水晶素板３の第１面３ａに重なっている上面部１１ａ。水晶素板３の第２面３ｂに重なっている下面部１１ｂ。水晶素板３の側面に重なり、上面部１１ａと下面部１１ｂとをつないでいる中間部１１ｃ。第２面３ｂは、既述のように、パッケージ１０３の第１基板面１１１ｃに対向する面である。従って、下面部１１ｂは、第１基板面１１１ｃに対向する部分である。

平面透視したとき、上面部１１ａ及び下面部１１ｂの位置、形状及び大きさは、互いに異なっていてもよいし（図示の例）、互いに同じであってもよい。別の観点では、既述のように、水晶素子１がパッケージ１０３に実装されるとき、第１基板面１１１ｃに対向する面は、第１面３ａ及び第２面３ｂの一方（ここでは第２面３ｂ）に限られていてもよいし（図示の例）、限られていなくてもよい。前者の態様において、搭載電極１１は、下面部１１ｂのみ、又は下面部１１ｂ及び中間部１１ｃのみを有していてもよい。

上記の各部の具体的な位置、形状及び大きさは適宜に設定されてよい。図示の例では、以下のとおりである。

上面部１１ａ及び下面部１１ｂそれぞれは矩形状とされている。別の観点では、上面部１１ａ及び下面部１１ｂそれぞれは、第１面３ａ及び第２面３ｂの－Ｄ１側の縁部及び当該縁部につながる縁部（－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の縁部）に一致する２つの縁部を有している。また、上面部１１ａ及び下面部１１ｂそれぞれは、励振電極７の搭載電極１１側の短辺７ａ（縁）に沿う（例えば平行な）１つの縁部を有している。

また、図示の例では、上面部１１ａ及び下面部１１ｂそれぞれにおいて、長手方向は、Ｄ２方向（２つの励振電極７から２つの搭載電極１１への方向に直交する方向）とされている。短手方向（Ｄ１方向）の長さ（例えば最大長さ）に対する長手方向（Ｄ２方向）の長さ（例えば最大長さ）の比は、一般的な搭載電極１１に比較して大きくされている。例えば、長手方向の長さは、短手方向の長さの２倍以上、３倍以上又は５倍以上とされてよい。

図示の例では、下面部１１ｂの面積は、上面部１１ａの面積よりも大きくされている。また、下面部１１ｂのＤ１方向における長さは、上面部１１ａのＤ１方向における長さよりも長くされている。下面部１１ｂのＤ２方向における長さは、上面部１１ａのＤ２方向における長さに対して、短くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、長くてもよい。

図示の例では、中間部１１ｃは、水晶素板３の－Ｄ１側の側面に位置しているとともに、水晶素板３の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に位置している。水晶素板３の－Ｄ１側の側面に位置している部分は、当該側面のＤ３方向の全体に亘っているとともに、上面部１１ａのＤ２方向の長さ及び下面部１１ｂのＤ２方向の長さの少なくとも短い方の長さ（図示の例では更に長い方の長さ）に亘っている。水晶素板３の－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に位置している部分は、当該側面のＤ３方向の全体に亘っているとともに、上面部１１ａのＤ１方向の長さ及び下面部１１ｂのＤ１方向の長さの少なくとも短い方の長さ（図示の例では更に長い方の長さ）に亘っている。

搭載電極１１の各部の位置、形状及び大きさに関して、図示の例とは異なる態様の例を挙げる。例えば、下面部１１ｂ及び／又は上面部１１ａは、矩形状以外（例えば円形状、楕円状又は矩形状以外の多角形）であってもよい。下面部１１ｂ及び／又は上面部１１ａの励振電極７側の縁部は、励振電極７の搭載電極１１側の縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）に対して平行でなくてもよいし、更には、短辺７ａに沿っていると捉えることができなくてもよい。下面部１１ｂ及び／又は上面部１１ａは、Ｄ１方向の長さがＤ２方向の長さ以上であってもよい。中間部１１ｃは、－Ｄ１側の側面と、－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面との一方の側面のみに位置していてもよい。また、１つの搭載電極１１の中間部１１ｃは、平面視における水晶素板３の外縁に沿う方向において分離され、２以上の部位を有していてもよい。中間部１１ｃの－Ｄ１側の側面に位置する部分のＤ２方向の長さは、下面部１１ｂのＤ２方向の長さ及び上面部１１ａのＤ２方向の長さよりも短くても構わない。－Ｄ２側又は＋Ｄ２側の側面に位置する部分のＤ１方向の長さについても同様である。

（３．３．第１領域）
これまでに、第１領域Ａ１は、平面透視において、２つの励振電極７と２つの搭載電極１１との間に位置し、各励振電極７の幅（Ｄ２方向の長さ）と同じ幅を有している領域であるものとして説明した。ここでは、励振電極７及び搭載電極１１の位置、形状及び寸法が図示の例とは異なる態様においても、第１領域Ａ１を明確に特定（定義）できるように、他の観点若しくは表現によって第１領域Ａ１について説明する。

水晶素板３は、既述のように、第１方向（図示の例ではＤ１方向）及び当該第１方向に直交する第２方向（図示の例ではＤ２方向）に広がっていると捉えることができる。第１方向は、２つの励振電極７から２つの搭載電極１１への方向である。より詳細には、第１方向は、例えば、水晶素板３（及び／又は水晶素板３のうち励振される領域）の形状を左右対称にしたり、２つの搭載電極１１の形状を左右対称にしたりするときの不図示の対称軸に平行な方向とされてよい。

そして、２つの搭載電極１１は、２つの励振電極７に対して、第１方向の第１側（第１方向の一方側。図示の例では－Ｄ１側。別の観点では第１端３ｃの側）に位置している。なお、このようにいうとき、既に述べたように、２つの励振電極７の第２方向（Ｄ２方向）の配置範囲と、２つの搭載電極１１の第２方向の配置範囲とは、重複していてもよいし、重複していなくてもよい。第１方向の第１側とは反対側（第２方向の他方側。図示の例では＋Ｄ１側）は第２側ということができる。

第１領域Ａ１の励振電極７側（＋Ｄ１側）の境界線は、励振電極７の第１側（－Ｄ１側）の第１縁部（図示の例では－Ｄ１側の短辺７ａ）とされてよい。従って、例えば、－Ｄ１側の短辺７ａが外側（－Ｄ１側）に膨らむ曲線状である態様においては、第１領域Ａ１は、Ｄ２方向の両側部分がＤ２方向の中央側部分よりも＋Ｄ１側に広がる形状となる。

２つの励振電極７は、基本的に、平面透視において互いに過不足無く重複することが想定されている場合が多い。従って、２つの励振電極７の第１縁部のいずれが第１領域Ａ１の特定に用いられてもよい。なお、２つの第１縁部の第１方向における位置が部分的に又は全体的にずれている態様においては、２つの第１縁部のうち相対的に第１側に位置する部分（一方の第１縁部の全部であることもある）が第１領域Ａ１の境界線の部分として捉えられてよい。すなわち、第１領域Ａ１を第１側に狭くするように第１領域Ａ１の境界線が特定されてよい。

第１領域Ａ１の第２方向（Ｄ２方向）の両側の境界線は、第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）の両端から第１側（－Ｄ１側）へ第１方向（Ｄ１方向）に平行に延びる仮想線（符号省略。換言すれば仮想直線）とされてよい。従って、例えば、２つの長辺７ｂが外側（Ｄ２方向の両側）に膨らむ曲線状である態様においては、第１領域Ａ１の幅（Ｄ２方向の長さ）は、励振電極７の最大幅よりも小さくなる。

既述のように、基本的に、２つの励振電極７のいずれの第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）が第１領域Ａ１の特定に用いられてもよい。なお、２つの第１縁部の間で＋Ｄ２側の端部のＤ２方向における位置が互いに異なる場合は、相対的に－Ｄ２側の位置が、第１領域Ａ１の＋Ｄ２側の境界線の、Ｄ２方向における位置の特定に用いられてよい。同様に、２つの第１縁部の間で－Ｄ２側の端部のＤ２方向における位置が互いに異なる場合は、相対的に＋Ｄ２側の位置が、第１領域Ａ１の－Ｄ２側の境界線の、Ｄ２方向における位置の特定に用いられてよい。すなわち、第１領域Ａ１の幅（Ｄ２方向の長さ）を小さくするように第１領域Ａ１の境界線が特定されてよい。

第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）と第２縁部（長辺７ｂ）との角部は面取りがなされていてもよい。この場合、第１縁部の端部は、面取りがなされていない形状を想定することによって特定されてよい。例えば、第１縁部及び／又は第２縁部が直線であれば、その直線を延長したり、第１縁部及び／又は第２縁部が曲線であれば、曲率（曲率が一定でない場合は端部の曲率）が維持されるように曲線を延長したりして、面取りがなされていない場合の第１縁部と第２縁部との仮想的な交点を特定し、当該交点を第１縁部の端部として用いてよい。そして、その特定された端部まで仮想的に延長された第１縁部を用いて、第１領域Ａ１の、第２側（＋Ｄ１側）の境界線及び第２方向の両側（－Ｄ２側及び＋Ｄ２側）の境界線が特定されてよい。

第１領域Ａ１の第１側（－Ｄ１側）の境界線は、平面透視において２つの搭載電極１１に対して第２側（＋Ｄ１）から接し、第２方向（Ｄ２方向）に平行な仮想線（符号省略。換言すれば仮想直線）とされてよい。従って、例えば、搭載電極１１の＋Ｄ１側の縁部が＋Ｄ１側に膨らむ曲線状であっても、第１領域Ａ１の－Ｄ１側の境界線は直線状である。また、この－Ｄ１側の境界線は、当該境界線と搭載電極１１の＋Ｄ１側の縁部とが接する点（又は線）を除いて、搭載電極１１の全体よりも励振電極７の側（第２側）に位置している。

第１領域Ａ１の第１側（－Ｄ１側）の境界線（仮想線）に関して、２つの搭載電極１１に接するという要件は、２つの搭載電極１１の双方に接することを必要とすることを指すのではなく、２つの搭載電極１１の全体を１つの部材として見たときに当該１つの部材に接することを指す。従って、例えば、一方の搭載電極１１の＋Ｄ１側の縁部が他方の搭載電極１１の＋Ｄ１側の縁部よりも＋Ｄ１側に位置している態様においては、仮想線は、上記一方の搭載電極１１の＋Ｄ１側の縁部に接していればよい。ただし、通常は、１対の搭載電極１１は、第１方向（Ｄ１方向）に平行な対称軸（例えば水晶素板３の中心線）に対して左右対称に構成されるから、仮想線は、２つの搭載電極１１に接することになる。

また、第１領域Ａ１の第１側（－Ｄ１側）の境界線（仮想線）は、「平面透視において」、２つの搭載電極１１に接するものである。従って、図示の例のように、上面部１１ａと下面部１１ｂとの間で＋Ｄ１側の縁部のＤ１方向における位置が互いに異なる態様においては、相対的に＋Ｄ１側に位置する＋Ｄ１側の縁部が境界線の特定に用いられてよい。例えば、図示の例では、下面部１１ｂの＋Ｄ１側の縁部が境界線の特定に用いられてよい。

纏めると、第１領域Ａ１は、平面透視において、（少なくとも１つの）励振電極７の第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）と、第１縁部の両端から第１側（－Ｄ１側）へ第１方向（Ｄ１方向）に平行に延びる２つの仮想線と、２つの搭載電極１１に対して第２側（＋Ｄ１側）から接する、第２方向（Ｄ２方向）に平行な仮想線と、によって囲まれる領域であってよい。

なお、第１領域Ａ１を特定するにあたり、励振電極７及び搭載電極１１の特異的な部分は除外されてもよい。例えば、平面透視において搭載電極１１が＋Ｄ１側の縁部の一部に＋Ｄ１側に突出する比較的小さな凸部（例えば突出量及び幅それぞれが引出電極９の幅よりも小さい凸部）を有する場合においては、このような凸部は無視されてよい。そのような凸部を無視して第１領域Ａ１を定義しても、本開示に係る技術の趣旨に反するとは限らない。

（３．４．引出電極）
既述のように、各引出電極９は、自己に対応する励振電極７の２つの第２縁部（図示の例では長辺７ｂ）のいずれか１つから、自己に対応する搭載電極１１まで、第１領域Ａ１に重ならずに、一定の幅で延びている。この要件を満たす限り、引出電極９の具体的な位置、形状及び寸法は任意である。図示の例では、引出電極９は、励振電極７の第２縁部（長辺７ｂ）から搭載電極１１の第２側（＋Ｄ１側）の縁部まで、第１方向（Ｄ１方向）に角度θ１で傾斜する方向に直線状に延びている。

第１領域Ａ１の励振電極７側（＋Ｄ１側）の境界線は、既述のように、励振電極７の第１側の第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）とされてよい。従って、第１領域Ａ１に重なっていないという要件を満たす引出電極９は、短辺７ａから延び出る部分をその幅内に有していない。例えば、引出電極９は、その全幅に関して、第２縁部（長辺７ｂ）から延び出ている。なお、製造上の誤差（公差）によって、短辺７ａから延び出る部分が存在してもよいことはもちろんである。

第１領域Ａ１に関する先の説明では、第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）と第２縁部（長辺７ｂ）との角部が面取りされている場合の第１縁部の端部が、面取りされていない場合の第１縁部と第２縁部との交点を想定することによって特定されてよいことについて述べた。上記のような仮想的な端部まで延長された第１縁部を用いて特定した第１領域Ａ１と重なっていない引出電極９は、第２縁部のみから延び出ており、第１縁部からは延び出ていないと捉えられてよい。

図４は、図３の領域IVの拡大図である。

既述のように、引出電極９は、励振電極７から搭載電極１１まで一定の幅で延びている。ただし、引出電極９の励振電極７との接続部９ａの幅は、幅の捉え方にもよるが、励振電極７の縁部（より詳細には第２縁部）の形状、及び／又は励振電極７の縁部に対する引出電極９の向きに起因して、一定でなくても構わない。

例えば、図４の例では、引出電極９は、基本的に一定の幅で直線状に延びている。しかしながら、励振電極７の長辺７ｂが延びる方向と引出電極９が延びる方向とが直交していないことから、接続部９ａにおいては、三角形状の領域（斜線のハッチングが付された領域）が構成されている。この三角形状の領域は、例えば、引出電極９の大部分が延びている方向（Ｄ１方向に対して角度θ１で傾斜する方向）に直交する方向の長さを幅として考えたときに、幅が一定とはいえない。このような領域が生じていても構わない。

従って、引出電極９が励振電極７から搭載電極１１まで一定の幅で延びているというとき、引出電極９は、例えば、搭載電極１１側から、引出電極９の幅方向両側の２つの縁部９ｃ及び９ｄのうち少なくとも一方の縁部（図示の例では縁部９ｃ）が励振電極７（長辺７ｂ）と接続される位置までの、Ｄ１方向に角度θ１で傾斜する方向における範囲において、一定の幅を有していればよい。

ただし、図４の例は、励振電極７内に破線で示すように、励振電極７側の端部まで一定の幅で延びている引出電極９と、励振電極７とが一部（破線で示す三角形の領域）同士を重複させていると捉えることもできる。このような捉え方によって、引出電極９は、接続部９ａにおいても一定の幅で延びていると判断されても構わない。

図４の例では、長辺７ｂは第１方向（Ｄ１方向）に平行な直線状であるが、長辺７ｂが直線状でない場合（例えば曲線状である場合）、及び／又はＤ１方向に傾斜している場合においても、上記の説明が適用されてよいことは明らかである。また、引出電極９と第２縁部（長辺７ｂ）とが直交することなどによって、引出電極９が接続部９ａにおいても一定の幅で延びてよいことはもちろんである（後述する図８参照）。

引出電極９の励振電極７との接続部９ａについて述べたが、引出電極９の搭載電極１１との接続部９ｂについても同様である。すなわち、接続部９ｂの幅は、一定でなくても構わない。換言すれば、引出電極９が励振電極７から搭載電極１１まで一定の幅で延びているというとき、引出電極９は、例えば、励振電極７側から、引出電極９の幅方向両側の２つの縁部９ｃ及び９ｄのうち少なくとも一方の縁部（図示の例では縁部９ｃ）が搭載電極１１（より詳細には図示の例では＋Ｄ１側の縁部）と接続される位置までの、Ｄ１方向に角度θ１で傾斜する方向における範囲において、一定の幅を有していればよい。また、搭載電極１１側の端部まで一定の幅で延びている引出電極９と、搭載電極１１とが一部同士を重複させていると捉えられてもよい。

水晶素板３の＋Ｄ２側又は－Ｄ２側の側面は、既に触れたように、Ｄ３方向に対して傾斜する傾斜面を有していることがある。そして、搭載電極１１は、上記傾斜面に位置する部分を有することがある。さらに、引出電極９の搭載電極１１との接続部９ｂも、上記傾斜面に位置する部分を有することがある。このような特異的な部分の形状は、搭載電極１１側の端部まで一定の幅で延びている引出電極９と、搭載電極１１とが一部同士を重複させていると捉えることが困難な形状となっていても構わない。この場合であっても、例えば、既述のように、励振電極７側から２つの縁部９ｃ及び９ｄのうち少なくとも一方の縁部（図示の例では縁部９ｃ）が搭載電極１１と接続される位置までの範囲において引出電極９の幅が一定であれば、励振電極７から搭載電極１１までの幅が一定という要件は満たされると解釈されてよい。

また、既述のように、水晶素板３は、平板状（図示の例）に限られず、例えば、水晶素板３の厚さを徐々に変化させる傾斜面を有していてもよい。そして、引出電極９は、そのような傾斜面上に位置する部分を有していてもよい。引出電極９のうち傾斜面上の部分においては、Ｄ３方向に平行に見たときの引出電極９の幅と、傾斜面の法線方向に見たときの引出電極９の幅とは相違する。このような場合において、引出電極９のうち傾斜面上の部分の幅は、上記の２種の幅のいずれが、他の領域の幅と同一であるか否かの判断に用いられてもよい。理想的には、引出電極９は、各面の法線方向に見たときの幅、及び各面の法線方向における厚みが、複数の面上の部分同士で互いに同じである。この場合、単位長さ当たりの抵抗値が一定になるからである。ただし、設計及び製造方法の都合上、そのようにすることが困難な場合がある。従って、例えば、引出電極９は、平面透視したとき（Ｄ３方向に平行に見たとき）に、一定の幅となっていてよい。

また、水晶素板３がメサ部又は逆メサ部を有するような構成において、励振電極７の縁部は、メサ部又は逆メサ部の周囲の斜面に位置することがある。その結果、引出電極９の励振電極７との接続部９ａが比較的急峻な斜面に位置する特異的な部分を有することがある。このような特異的な部分の形状は、励振電極７側の端部まで一定の幅で延びている引出電極９と、励振電極７とが一部同士を重複させていると捉えることが困難な形状となっていても構わない。この場合であっても、例えば、既述のように、搭載電極１１側から２つの縁部９ｃ及び９ｄのうち少なくとも一方の縁部（図示の例では縁部９ｃ）が励振電極７と接続される位置までの範囲において引出電極９の幅が一定であれば、励振電極７から搭載電極１１までの幅が一定という要件は満たされると解釈されてよい。

引出電極９の、励振電極７の第２縁部（長辺７ｂ）に対する接続位置は任意である。例えば、引出電極９の第１側（－Ｄ１側）の縁部９ｃは、第２縁部の第１側の端部につながってもよいし（図示の例）、第２縁部の第１側の端部から第２側（＋Ｄ１側）に離れていてもよい。後者の場合における縁部９ｃと第２縁部の第１側の端部との距離も任意である。例えば、当該距離は、引出電極９と第２縁部とが接続されている部分の第２縁部に沿う長さ（Ｄ１方向の長さ）よりも短くてもよいし、同等でもよいし、長くてもよい。

引出電極９の、搭載電極１１に対する接続位置も任意である。図示の例では、引出電極９は、搭載電極１１の第２側（＋Ｄ１側）の縁部に接続されている。より詳細には、図１、図３及び図４に示されているように、上面側（＋Ｄ３側）の引出電極９は、自己に対応する搭載電極１１の上面部１１ａの＋Ｄ１側の縁部に接続されている。また、下面側（－Ｄ３側）の引出電極９は、図２及び図３に示されているように、自己に対応する搭載電極１１の下面部１１ｂの＋Ｄ１側の縁部に接続されている。別の観点では、各引出電極９（その幅の一部又は全部（図示の例では全部））は、第１面３ａ又は第２面３ｂにおいて搭載電極１１に接続されている。

引出電極９の、搭載電極１１に対する他の接続位置としては、例えば、以下のものを挙げることができる。引出電極９は、搭載電極１１の第２側（＋Ｄ１）の縁部に加えて、又は代えて、搭載電極１１の他の縁部に接続されていてもよい。既述のように、搭載電極１１は、上面部１１ａを有さず、中間部１１ｃ及び下面部１１ｂのみを有していてもよい。この場合において、上面側（＋Ｄ３側）の引出電極９は、例えば、中間部１１ｃの上面側の縁部に接続されていてもよい。さらに、既述のように、搭載電極１１は、上面部１１ａ及び中間部１１ｃを有さず、下面部１１ｂのみを有していてもよい。この場合において、上面側（＋Ｄ３側）の引出電極９は、水晶素板３の側面を経由して、下面部１１ｂの任意の位置の縁部に接続されていてもよい。なお、導体パターン５のうち水晶素板３の側面に位置している部分が、引出電極９の一部であるか、搭載電極１１の中間部１１ｃであるかは、その形状等から合理的に判断されてよい。

引出電極９（その幅の一部又は全部）は、水晶素板３の側面において、搭載電極１１の第２側（＋Ｄ１側）の縁部に接続されていてもよい。このとき、水晶素板３の側面は、Ｄ３方向に平行であってもよいし、Ｄ３方向に対して一部又は全部が傾斜していてもよい。後者の態様において、水晶素板３の側面は、例えば、エッチングに対する水晶の異方性によって現れる結晶面（例えばｍ面）を有していてよい。引出電極９は、その幅の全体が１つの結晶面内で搭載電極１１に接続されていてもよい。なお、既述のように、実施形態の説明では、特に断りが無い限り、傾斜面の存在を無視されており、次段落における説明は、第１面３ａ又は第２面３ｂにおけるものである。

図示の例のように引出電極９が搭載電極１１の＋Ｄ３側の縁部に接続される態様において、その具体的な位置も任意である。図１、図３及び図４に示されているように、図示の例では、上面側（＋Ｄ３側）の引出電極９は、第２側（＋Ｄ１側）の縁部９ｄが上面部１１ａの＋Ｄ１側の縁部の－Ｄ２側（２つの搭載電極１１の並び方向において自己に対応する搭載電極１１が位置する側）の端部につながっている。また、図２及び図３から理解されるように、下面側（－Ｄ３側）の引出電極９は、Ｄ１方向に平行な不図示の中心線に関して、上面側の引出電極９と１８０°回転対称の関係を有している。そして、下面側の引出電極９は、第２側（＋Ｄ１側）の縁部９ｄが、下面部１１ｂの＋Ｄ１側の縁部の＋Ｄ２側（２つの搭載電極１１の並び方向において自己に対応する搭載電極１１が位置する側）の端部から－Ｄ２側に若干離れた位置につながっている。

もちろん、図示の例とは異なり、２つの引出電極９は、１８０°回転対称の関係となっていなくてもよい。上面側（＋Ｄ３側）の引出電極９の縁部９ｄは、上面部１１ａの＋Ｄ１側の縁部の－Ｄ２側の端部から離れていてもよい。下面側（－Ｄ３側）の引出電極９の縁部９ｄは、下面部１１ｂの＋Ｄ１側の縁部の＋Ｄ２側の端部につながっていてもよい。
＋Ｄ３側又は－Ｄ３側の引出電極９の縁部９ｄが上面部１１ａ又は下面部１１ｂの＋Ｄ１側の縁部の端部から離れている場合の距離は任意である。

（４．水晶素子の寸法の例）
以下に、水晶素子１の各部の寸法の例を示す。なお、ここでの寸法の例は、特に断りが無い限り、後述する実施形態に適用されてよいものである。逆に言えば、ここで例示される寸法の範囲は、本実施形態に係る水晶素子１に適用できない寸法を含むことがある。

また、例えば、水晶素板３のＤ１方向の長さは、水晶素板３の＋Ｄ１側及び／又は－Ｄ１側の縁部が曲線状である態様において一定ではない。このように、所定の寸法が一定でない態様においては、以下に例示する寸法は、特に断りが無い場合は、最大寸法、最小寸法又は平均寸法のいずれに適用されてもよい。特異部分（例えば水晶素板３の比較的小さい突起部分）については、以下に例示する寸法の測定において、考慮されてもよいし、考慮外とされてもよい。

各種の寸法の範囲は、矛盾が生じないように適宜に組み合わされてよい。例えば、励振電極７のＤ１方向の長さの範囲の上限の例として、水晶素板３のＤ１方向の長さの範囲の下限の例よりも大きい値が示されるが、励振電極７のＤ１方向の長さの範囲の例と、水晶素板３のＤ１方向の長さの範囲の例とは、励振電極７のＤ１方向の長さが水晶素板３のＤ１方向の長さを超えないことを条件として、組み合わされてよい。矛盾が生じない条件は、論理的に明らかであることから、以下では特に説明しない。

水晶素板３（別の観点では水晶素子１）の第１方向（Ｄ１方向）における長さは、５００μｍ以上１５００μｍ以下とされてよい。水晶素板３の第２方向（Ｄ２方向）における長さは３００μｍ以上２０００μｍ以下とされてよい。水晶素板３の厚さ（１対の励振電極７間の厚さ）は、３μｍ以上１００μｍ以下とされてよい。

厚み滑り振動を利用する水晶素子１においては、水晶素板３の１対の励振電極７間の厚さは、発振信号の周波数を決定する因子となっている。例えば、公知のように、ＡＴカットの水晶素子においては、基本的には、ｆ＝１．６７×ｎ／ｔの関係が成り立つ。ここで、ｆは周波数（ＭＨｚ）、ｎは利用される振動の次数、ｔ（ｍｍ）は厚さである。水晶素子１は、基本波モードを利用するものであってもよいし、オーバートーンモードを利用するものであってもよい。なお、基本波モードが利用されてよいこと、及び厚さｔが３μｍ以上１００μｍ以下とされてよいことから理解されるように、水晶素子１が利用する周波数は、例えば、１６ＭＨｚ以上５００ＭＨｚ以下とされてよい。

励振電極７の第１方向（Ｄ１方向）における長さは、２００μｍ以上１２００μｍ以下とされてよい。励振電極７の第２方向（Ｄ２方向）における長さの範囲も上記と同様とされてよい。励振電極７において、第１方向における長さを第２方向の長さよりも長くする場合は、前者は後者の１．１倍以上１．５倍以下とされてよい。

水晶素板３の第１方向（Ｄ１方向）の長さは、励振電極７の第１方向における長さに対して、１．１倍以上２倍以下とされてよい。水晶素板３の第２方向（Ｄ２方向）の長さは、励振電極７の第２方向における長さに対して、１．１倍以上３倍以下とされてよい。

励振電極７の第２側の縁部（＋Ｄ１側の短辺７ａ）から水晶素板３の第２側の縁部までの第１方向（Ｄ１方向）における距離は５０μｍ以上３００μｍ以下とされてよい。また、当該距離は、励振電極７の第１方向における長さの１／２０以上１／３以下とされてよい。

励振電極７の第２方向（Ｄ２方向）の両側の縁部（＋Ｄ２側又は－Ｄ２側の長辺７ｂ）から水晶素板３の第２方向の両側の縁部までの第２方向における距離ｄ１（図４参照）それぞれは５０μｍ以上８００μｍ以下とされてよい。また、距離ｄ１は、励振電極７の幅（第２方向の長さ）に対して、１／２０以上１倍以下とされてよい。

励振電極７と搭載電極１１との第１方向（Ｄ１方向）における距離ｄ２（別の観点では第１領域Ａ１の第１方向の長さ。図４参照）は、５０μｍ以上３００μｍ以下とされてよい。また、当該距離は、励振電極７の第１方向における長さの１／２０以上１／３以下とされてよい。

なお、距離ｄ２が５０μｍ以上、８０μｍ以上又は１００μｍ以上確保されていると、例えば、接合材１０５が励振電極７に到達してしまう蓋然性が低減される。また、例えば、距離ｄ２が上記のような下限以上であると、水晶素子１が利用する周波数が１００ＭＨｚ以上の態様において、接合材１０５による固定が励振電極７による励振に及ぼす影響が低減されやすい。

第１領域Ａ１と水晶素板３の第１側（－Ｄ１側）の縁部との第１方向（Ｄ１方向）における距離ｄ３（別の観点では搭載電極１１の第１方向における長さ。図４参照）は、５０μｍ以上３００μｍ以下とされてよい。また、当該距離は、励振電極７の第１方向における長さの１／２０以上１／３以下とされてよい。

第１方向（Ｄ１方向）に対する直線状の引出電極９が延びる方向の角度θ１は、０°以上、１０°以上、２０°以上、３０°以上又は４０°以上とされてよく、また、６０°以下、５０°以下、４５°以下、４０°以下又は３５°以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように任意のもの同士が組み合わされてよい。例えば、角度θ１は、３０°以上４５°以下とされてよい。

引出電極９の幅（引出電極９が延びる方向に直交する方向の長さ）は、２０μｍ以上、５０μｍ又は１００μｍ以上とされてよく、また、３００μｍ以下、２００μｍ以下又は１００μｍ以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように任意のもの同士が組み合わされてよい。また、引出電極９の幅は、励振電極７の幅（Ｄ２方向の長さ）の１／１０以上１／３以下とされてよい。

本実施形態においては、引出電極９は、励振電極７の第２縁部（長辺７ｂ）から第１方向（Ｄ１方向）に角度θ１で傾斜する方向に直線状に延びて搭載電極１１に到達する。このような態様において、引出電極９が水晶素板３の主面（第１面３ａ又は第２面３ｂ）上において搭載電極１１に到達するためには、距離ｄ１は、少なくとも、ｄ２×ｔａｎθ１の長さを要する。すなわち、距離ｄ１の範囲の下限は、ｄ２×ｔａｎθ１とされてよい。距離ｄ１の範囲の下限がｄ２×ｔａｎθ１である場合においても、既述の距離ｄ１の範囲の例（５０μｍ以上８００μｍ以下及び／又は励振電極７の幅に対して１／２０以上１倍以下）は適用されてよい。

また、本実施形態においては、距離ｄ１の範囲の下限は、比較的大きくされてもよい。これにより、水晶素板３の主面上で励振電極７から搭載電極１１まで第１領域Ａ１を避けて直線状に延びる引出電極９の実現が容易化される。例えば、距離ｄ１の下限は、１００μｍ又は２００μｍとされてよく、また、励振電極７の幅の１／３又は１／２とされてよい。

（５．水晶素子の利用例）
図５は、水晶素子１の利用例としての水晶デバイス１０１の断面図である。この図は、図１のＶ－Ｖ線に対応している。

水晶デバイス１０１は、例えば、全体として、概略、薄型の直方体形状を有している電子部品である。水晶デバイスの寸法は、適宜な大きさとされてよい。一例を挙げると、長辺又は短辺の長さは、０．６ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、上下方向の厚さは、０．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。水晶デバイス１０１は、例えば、その下面を不図示の実装基体（例えば回路基板）の上面に対向させて表面実装される。

水晶デバイス１０１は、例えば、水晶振動子として構成されている。水晶デバイス１０１は、例えば、水晶素子１と、当該水晶素子１を保持しているパッケージ１０３とを有している。パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１の保護に寄与するとともに、水晶素子１と上記の不図示の実装基体との電気的接続に寄与する。

パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１を支持する基体１０７と、基体１０７に接合されて水晶素子１を気密に封止する蓋体１０９と、を有している。パッケージ１０３の内部空間は、例えば、真空とされ、又は適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。基体１０７は、例えば、絶縁部材１１１と、絶縁部材１１１に位置している種々の導体とを有している。

絶縁部材１１１は、水晶素子１を収容する凹部Ｒ１を有する形状とされている。別の観点では、絶縁部材１１１は、平板状の基板部１１１ａと、基板部１１１ａの上面の縁部に沿って設けられている枠部１１１ｂとを有している。基板部１１１ａ及び枠部１１１ｂの材料は任意であり、例えば、セラミックである。基板部１１１ａは、凹部Ｒ１の底面を構成する第１基板面１１１ｃと、水晶デバイス１０１の下面を構成する第２基板面１１１ｄとを有している。

基体１０７が有している導体としては、例えば、以下のものが挙げられる。水晶素子１と電気的に接続される２つのパッド１１３（１つのみ図示）。水晶デバイス１０１を実装基体に実装するための４つの外部端子１１５（２つのみ図示）。２つのパッド１１３と、４つの外部端子１１５のうちの２つとを接続する２つの配線導体１１７（１つのみ図示）。２つのパッド１１３に２つの配線導体１１７を介して接続されている２つの外部端子１１５に交流電圧が印加されることによって水晶素子１に交流電圧が印加される。

２つのパッド１１３は、２つの接合材１０５によって２つの引出電極９と接合される。これにより、水晶素子１が固定されるとともに、２つの励振電極７が２つの外部端子１１５と電気的に接続される。すなわち、水晶素子１がパッケージ１０３に実装される。２つのパッド１１３は、第１基板面１１１ｃに重なる導体層（例えば金属）によって構成されている。２つの搭載電極１１の位置から理解されるように、２つのパッド１１３は、基板部１１１ａの長手方向の一端側（－Ｄ１側）において、基板部１１１ａの短手方向（Ｄ２方向）に並んでいる。パッド１１３の形状及び寸法は任意である。

４つの外部端子１１５は、第２基板面１１１ｄに重なる導体層（例えば金属）によって構成されている。外部端子１１５の位置、形状及び寸法は任意である。例えば、４つの外部端子１１５は、第２基板面１１１ｄの４隅に位置している。２つのパッド１１３に接続される２つの外部端子１１５の位置も任意である。例えば、当該２つの外部端子１１５は、第２基板面１１１ｄの１対の対角に位置していてもよいし、－Ｄ１側の２隅に位置していてもよい。

２つの配線導体１１７の構成は種々のものとされてよい。例えば、配線導体１１７は、基板部１１１ａを貫通するビア導体を有していてもよいし、第１基板面１１１ｃ、第２基板面１１１ｄ、基板部１１１ａの内部、及び／又は基板部１１１ａの側面（キャスタレーションの内面を含む）に重なる層状導体を有していてもよいし、ビア導体及び層状導体の双方を有していてもよい。なお、図５に例示されている配線導体１１７は、ビア導体のみによって構成されている。

接合材１０５の材料は任意である。例えば、接合材１０５は、導電性接着剤からなる。導電性接着剤は、金属からなるフィラーを混ぜ込んだ熱硬化性樹脂によって構成されている。接合材１０５は、搭載電極１１に対して、下面部１１ｂのみに接合されていてもよいし、下面部１１ｂに加えて中間部１１ｃに接合されていてもよいし（図示の例）、さらに上面部１１ａに接合されていてもよい。

念のために記載すると、接合材１０５は、例えば、導体パターン５のうち搭載電極１１以外の部分（引出電極９及び励振電極７）に接合されておらず、また、水晶素板３の主面（第１面３ａ及び第２面３ｂ）のうち導体パターン５から露出している領域に接合されていない。ただし、接合材１０５は、特性が大きく低下しない量で、搭載電極１１からその外側に比較的少量で食み出して、引出電極９の搭載電極１１側の一部等に接合されていてもよい。

蓋体１０９は、例えば、絶縁体又は金属からなる平板状の部材である。蓋体１０９の基体１０７に対する接合方法も任意である。例えば、両者は、シーム溶接によって接合されてよい。図示の例では、シーム溶接に利用される金属層１１９及び１２１が図示されている。蓋体１０９が金属からなる態様においては、２つのパッド１１３に接続されていない２つの外部端子１１５のうち１つ又は２つは、不図示の配線導体１１７を介して蓋体１０９と接続されていてもよい。

水晶素子１は、上記の利用例の他、種々の態様で利用されてよい。

例えば、水晶振動子（圧電振動子）は、水晶素子１以外の電子素子を有していてもよい。そのような電子素子としては、例えば、感温素子（例えばサーミスタ）が挙げられる。また、水晶デバイス（圧電デバイス）は、水晶素子１に加えて、水晶素子１に電圧を印加して発振信号を生成する集積回路素子（ＩＣ：Integrated Circuit）を有する水晶発振器（圧電発振器）であってもよい。

上記から理解されるように、水晶デバイスが有するパッドの数及び外部端子の数は任意であり、また、複数のパッド及び複数の外部端子の役割及び接続関係も任意である。例えば、発振器においては、水晶素子１が搭載される２つのパッド１１３は、外部端子１１５ではなく、当該発振器内のＩＣに電気的に接続されてよい。

圧電デバイスにおいて、水晶素子１をパッケージングするパッケージの構造は、適宜な構成とされてよい。例えば、パッケージは、上面及び下面に凹部を有する断面Ｈ型のものであってもよい。この場合、下面の凹部には、例えば、上記の感温素子又はＩＣが実装されてよい。また、パッケージは、基板状の基体（凹部を有していない基体）と、基体に被せられるキャップ状の蓋体とで構成されるものであってもよい。また、例えば、圧電デバイス（パッケージ）は、恒温槽を有するものであってもよい。

（６．第１実施形態についてまとめ）
以上のとおり、本実施形態に係る圧電素子（水晶素子１）は、圧電素板（水晶素板３）と、２つの励振電極７と、２つの引出電極９と、２つの搭載電極１１とを有している。水晶素板３は、第１方向（Ｄ１方向）及びＤ１方向に直交する第２方向（Ｄ２方向）に広がっている。２つの励振電極７は、水晶素板３の表裏に重なっている。２つの引出電極９は、２つの励振電極７から引き出されている。２つの搭載電極１１は、２つの励振電極７に対してＤ１方向の第１側（－Ｄ１側）に位置しており、２つの引出電極９を介して２つの励振電極７と接続されている。２つの励振電極７のそれぞれは、－Ｄ１側に位置してＤ２方向に沿っている第１縁部（－Ｄ１側の短辺７ａ）と、第１縁部の両端からＤ１方向の第２側（＋Ｄ２側）へ延びる２つの第２縁部（長辺７ｂ）と、を有している。

ここで、平面透視において、以下の縁部及び仮想線によって囲まれる領域を第１領域Ａ１と称するものとする。－Ｄ１側の短辺７ａ。－Ｄ１側の短辺７ａの両端から－Ｄ１側へＤ１方向に平行に延びる２つの仮想線（符号省略）。２つの搭載電極１１に対して＋Ｄ１側から接する、Ｄ２方向に平行な仮想線。このように第１領域Ａ１を規定するとき、２つの引出電極９のそれぞれは、２つの励振電極７のうちの自己に対応する励振電極７の２つの長辺７ｂのいずれか１つから、２つの搭載電極１１のうちの自己に対応する搭載電極１１まで、第１領域Ａ１に重ならずに、一定の幅で延びている。

従って、例えば、第１領域Ａ１に引出電極９が位置する態様に比較して、励振電極７から水晶素板３の－Ｄ１側の縁部まで励振電極７の幅で広がる領域（第１領域Ａ１を含む。）に励振電極７以外の導体（引出電極９及び搭載電極１１）が集中しない。これにより、例えば、水晶素子１が小型化されて励振電極７と搭載電極１１との距離が短くされたときに、励振電極７以外の導体の影響によって、励振電極７の領域及びその周囲の領域における振動が意図されていたものと異なってしまう蓋然性が低減される。特に、Ｄ１方向に第１面３ａと第２面３ｂとが相対移動する厚み滑り振動を利用するＡＴカット型においては、第１領域Ａ１に引出電極９が重ならないことによって、引出電極９が振動に及ぼす影響を低減しやすい。別の観点では、本実施形態では、第１領域Ａ１に引出電極９が位置する態様に比較して、水晶素子１を小型化することが容易である。

ここで、本開示に係る発明者の鋭意検討の結果、第１領域Ａ１に重ならないように引出電極９を配置して引出電極９が振動に及ぼす影響を低減しても、期待された電気的特性の向上が必ずしも確認されない場合が生じ得ることが分かった。さらに、その原因を追究すると、引出電極９が第１領域Ａ１に重ならないように配置された結果、一般的な態様（引出電極９が励振電極７の－Ｄ１側の短辺７ａから搭載電極１１までＤ１方向に平行に延びる態様）に比較して、引出電極９の形状が複雑化し、引出電極９が直接的に電気的特性に影響を及ぼしていることが分かった。

一方、本実施形態では、励振電極７から搭載電極１１まで引出電極９の幅を一定にしている。従って、例えば、引出電極９の幅が変化する部分における電流（別の観点では電気信号）の反射が低減される。その結果、エネルギーの損失が低減され、前段落で述べた引出電極９自体に起因する電気的特性の低下が低減される。この効果は、特に、水晶素子１が小型化されて引出電極９の幅が小さくされ、引出電極９の抵抗値が比較的大きいときに有効である。

水晶素板３は、その表裏に位置する２つの主面（第１面３ａ及び第２面３ｂ）と、２つの主面をつなぐ側面と、を有していてよい。２つの引出電極９の一方（＋Ｄ３側の引出電極９）は、（その幅の少なくとも一部が）２つの主面の一方（第１面３ａ）において２つの搭載電極１１の一方につながっていてよい。２つの引出電極９の他方（－Ｄ３側の引出電極９）は、（その幅の少なくとも一部が）２つの主面の他方（第２面３ｂ）において２つの搭載電極１１の他方につながっていてよい。

この場合、例えば、引出電極９が励振電極７から水晶素板３の側面に至り、当該側面のみにおいて搭載電極１１につながっている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれてよい。）に比較して、引出電極９は、主面（第１面３ａ又は第２面３ｂ）と側面との境界に跨るように延びる部分が低減される、又は無くされる。その結果、例えば、引出電極９は、３次元的に屈曲する部分が低減される。これにより、屈曲に起因して電流の反射及び／又は電磁波が生じる蓋然性が低減される。また、屈曲部分が低減されることによって、引出電極９の厚さが変化する蓋然性が低減され、ひいては、厚さの変化に起因して電流の反射が生じる蓋然性も低減される。電磁波及び／又は電流の反射が低減されることによって、エネルギーの損失が低減される。また、例えば、対象とする周波数に応じて水晶素板３の厚さが変更されたり、製造方法の条件変更に応じて水晶素板３の側面（結晶面）の形状が変わったりしても、引出電極９の幅が影響を受けにくい。その結果、引出電極９の幅を一定にすることが容易である。

２つの引出電極９のそれぞれは、自己に対応する励振電極７から自己に対応する搭載電極１１まで、２つの励振電極７からＤ１方向に対して傾斜する方向に直線状に延びていてよい。

この場合、エネルギーの損失を低減する効果が向上する。その理由としては、引出電極９が曲がっている部分を有している態様（後述する図６参照）では、曲がっている部分で電気信号の反射が生じる可能性があるが、引出電極９が直線状の場合においては、そのような蓋然性が低いことが挙げられる。また、曲がっている部分においては、電磁波が生じる可能性があるが、そのような蓋然性も低くなる。すなわち、ＥＭＩ（Electro Magnetic Interference）が低減される。さらに、水晶素板３及び励振電極７等の寸法が既定である場合（引出電極９の形状に応じて水晶素板３の寸法等を変更しない場合）においては、引出電極９の長さが最短とされる。この観点からも、エネルギーの損失が低減される。

上記のような直線状の各引出電極９のＤ１方向に対する傾斜角度（角度θ１）は、３０°以上４５°以下とされてよい。

角度θ１が３０°以上の場合においては、例えば、引出電極９を第１領域Ａ１から離しやすい。その結果、上述した引出電極９が振動に及ぼす影響を低減する効果が向上する。また、角度θ１が４５°以下の場合においては、例えば、励振電極７の長辺７ｂから水晶素板３の縁部までの距離ｄ１（＞ｄ２×ｔａｎθ１）を小さくしやすい。ひいては、水晶素子１のＤ２方向における小型化に有利である。

励振電極７の２つの長辺７ｂから、２つの長辺７ｂに対してＤ２方向の両側に位置する水晶素板３の２つの縁部までの距離ｄ２それぞれの最小値は、２つの励振電極７のそれぞれのＤ２方向における幅の最大値の１／２以上とされてよい。

この場合、励振電極７の長辺７ｂから搭載電極１１まで、引出電極９をＤ１方向に対して斜めに、かつ直線状に延ばすことが容易化される。なお、一般的な水晶素子１においては、励振電極７の側方（－Ｄ２側又は＋Ｄ２側）にこのような広い領域は確保されない。特に、水晶素板３が平板状のものにおいては、このような広い領域は確保されない。

また、本実施形態に係る圧電デバイス（水晶デバイス１０１）は、上記に述べたような水晶素子１と、水晶素子１を保持しているパッケージ１０３と、を有している。これにより、例えば、エネルギーの損失が低減された水晶デバイス１０１が実現される。

＜第２実施形態＞
図６は、第２実施形態に係る水晶素子２０１の一部を示す平面図である。この図は、第１実施形態の図４に対応している。なお、この図では、説明の便宜上、引出電極２０９の互いに異なる領域に対して互いに異なるハッチングを付している。

第２実施形態においても、引出電極２０９は、励振電極７の長辺７ｂから搭載電極１１まで、第１領域Ａ１に重ならずに、一定の幅で延びている。ただし、第１実施形態の引出電極９が直線状に延びていたのに対して、本実施形態の引出電極２０９は、第１方向の第１側（－Ｄ１側）に向かって曲がる曲がり部２０９ｆを有している。これにより、例えば、第１実施形態に比較して、距離ｄ１を小さくすることが容易化されている。なお、念のために記載すると、図６では不図示の他の引出電極２０９（及び他の引出電極２０９に関連する距離ｄ１）も、図示された引出電極２０９と同様（１８０°回転対称）である。

より詳細には、図示の例では、引出電極２０９は、励振電極７に接続されている接続部２０９ａ（例えば斜線のハッチングが付された領域）と、当該接続部２０９ａから直線的に延びている第１直線部２０９ｅと、当該第１直線部２０９ｅに接続されている上記の曲がり部２０９ｆ（例えば斜線のハッチングが付された領域）と、曲がり部２０９ｆから搭載電極１１まで直線状に延びている第２直線部２０９ｇと、を有している。

接続部２０９ａ及び第１直線部２０９ｅは、第１実施形態の引出電極９の、励振電極７側の一部に相当している。接続部２０９ａにおいては、幅の捉え方にもよるが、第１実施形態の接続部９ａと同様に、幅が一定でなくてもよい。第１直線部２０９ｅは、第１実施形態の引出電極９と同様に、Ｄ１方向に対して角度θ１で傾斜する方向に直線状に延びている。第１直線部２０９ｅの長さは任意である。例えば、当該長さは、引出電極２０９の幅に対して、短くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、長くてもよく、また、第２直線部２０９ｇの長さに対して、短くてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、長くてもよい。

第２直線部２０９ｇは、Ｄ１方向に平行に延びている。換言すれば、Ｄ１方向に対する第２直線部２０９ｇが延びる方向の角度は０°である。図示の例とは異なり、第２直線部２０９ｇは、Ｄ１方向に対して、搭載電極１１に近づくほど第１領域Ａ１から離れる側へ（すなわち、自己に対応する第１直線部２０９ｅが傾斜している側と同じ側へ）傾斜していてもよい。この場合の第２直線部２０９ｇのＤ１方向に対する角度は、角度θ１よりも小さい。また、上記とは異なり、第２直線部２０９ｇは、Ｄ１方向に対して、搭載電極１１に近づくほど第１領域Ａ１に近づく側に傾斜していてもよい。ただし、この場合の第２直線部２０９ｇのＤ１方向に対する角度は、引出電極２０９が第１領域Ａ１に重ならないように設定される。上記から理解されるように、引出電極２０９が－Ｄ１側に向かって曲がっているというとき、その曲がった後の方向（第２直線部２０９ｇが延びる方向）のＤ１方向に対する角度は、０°（図示の例）に限定されず、角度θ１と正負が同じで絶対値が小さい角度、又は角度θ１と正負が異なる角度であってもよい。

第２直線部２０９ｇの長さ（第２直線部２０９ｇが延びる方向の長さ）は任意である。例えば、第２直線部２０９ｇのＤ１方向の長さ（図示の例では第２直線部２０９ｇが延びる方向の長さと同じ）は、第１領域Ａ１のＤ１方向の長さ（距離ｄ２）に対して、１／２未満であってもよいし、１／２程度であってもよいし、１／２超であってもよい（図示の例）。

引出電極２０９は、搭載電極１１との接続部（符号省略。第２直線部２０９ｇに含まれる。）においても幅が一定となっている。ただし、第１実施形態で述べたように、搭載電極１１の形状、及び／又は引出電極２０９と搭載電極１１との接続の向き等に起因して、幅が一定でなくなっていてもよい。例えば、第２直線部２０９ｇがＤ１方向に対して角度θ１よりも小さい（ただし０°ではない）角度で傾斜している態様において、第１実施形態と同様に、接続部によって三角形状の領域（幅が一定でない領域）が構成されていてもよい。

曲がり部２０９ｆの形状は種々のものとされてよい。図示の例では、曲がり部２０９ｆは、扇状の領域とされている。なお、扇状の領域及びその周囲の領域を曲がり部２０９ｆとして捉えてもよい。図示の例の曲がり部２０９ｆは、外周側に、屈曲点Ｐ１を中心とする弧状（上位概念で言えば曲線状）の縁部２０９ｊを有している。屈曲点Ｐ１は、２つの直線状の縁部２０９ｈ及び２０９ｉの交点である。換言すれば、屈曲点Ｐ１は、第１直線部２０９ｅの、曲がり部２０９ｆの内周側に位置する縁部２０９ｈの、曲がり部２０９ｆ側の端部であり、また、第２直線部２０９ｇの、曲がり部２０９ｆの内周側に位置する縁部２０９ｉの、曲がり部２０９ｆ側の端部である。弧状の縁部２０９ｊ（扇状の領域）の中心角の大きさは、例えば、第１直線部２０９ｅ（縁部２０９ｈ）のＤ１方向に対する角度θ１と、第２直線部２０９ｇ（縁部２０９ｉ）のＤ１方向に対する傾斜角度（符号省略。図示の例では０°）との差と同じであり、図示の例では角度θ１と同じである。

特に図示しないが、引出電極２０９が曲がっている部分において、引出電極２０９が延びる方向の種々の位置における引出電極２０９の幅は、例えば、当該曲がっている部分の外周側の縁部の種々の位置と、その種々の位置における接線に直交する方向における引出電極２０９の長さによって定義されてよい。図示の例の曲がり部２０９ｆ（扇状の領域）においては、縁部２０９ｊの種々の位置における接線に直交する方向は、弧状の縁部２０９ｊの半径方向であり、引出電極２０９の幅は、縁部２０９ｊがなす弧の半径となるから、一定である。すなわち、曲がり部２０９ｆにおいて引出電極２０９の幅は一定である。ひいては、引出電極２０９の幅は、第１直線部２０９ｅ、曲がり部２０９ｆ及び第２直線部２０９ｇの全体に亘って一定である。

図示の例とは異なる態様の曲がり部としては、例えば、以下のものを挙げることができる。内縁と外縁とが、中心及び中心角が同じで、半径が異なる弧状である態様。内縁及び外縁のそれぞれが、曲率が変化する曲線状であり（換言すれば弧状ではなく）、前段落の定義による引出電極２０９の幅が一定である態様。

以上のとおり、本実施形態においても、２つの引出電極２０９のそれぞれは、２つの励振電極７のうちの自己に対応する励振電極７の２つの第２縁部（長辺７ｂ）のいずれか１つから、２つの搭載電極１１のうちの自己に対応する搭載電極１１まで、第１領域Ａ１に重ならずに、一定の幅で延びている。

従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、引出電極２０９が振動に及ぼす影響を低減することができるとともに、引出電極２０９においてエネルギーの損失が低減される。

２つの引出電極２０９のそれぞれは、自己に対応する励振電極７から自己に対応する搭載電極１１へ延びる過程で第１側（－Ｄ１側）へ向かって曲がる曲がり部２０９ｆを有していてよい。曲がり部２０９ｆの外周側の縁部２０９ｊが曲線状であってよい。

この場合、例えば、少なくとも外周側の縁部２０９ｊが曲線状であることによって、引出電極２０９の幅を一定に維持しつつ、引出電極２０９が延びる方向を変化させることができる。そして、引出電極２０９が延びる方向を変化させることによって、既述のように、第１実施形態に比較して、距離ｄ１を短くすることが容易化される。ひいては、水晶素子２０１を小型化することが容易化される。

２つの引出電極２０９のそれぞれは、曲がり部２０９ｆから第１側（－Ｄ１側）へ向かって直線状に延びる直線部（第２直線部２０９ｇ）を有していてよい。曲がり部２０９ｆの外周側の縁部２０９ｊは、第２直線部２０９ｇの２つの縁部のうち、曲がり部２０９ｆの内周側に位置する縁部２０９ｉの、曲がり部２０９ｆの側の端部（屈曲点Ｐ１）を中心とする弧状の部分を有していてよい。

別の観点では、２つの引出電極２０９のそれぞれは、曲がり部２０９ｆの内周側に位置する縁部が、直線状に延びるとともに屈曲点Ｐ１で互いに交差する２つの部分（２０９ｈ及び２０９ｉ）を有していてよい。曲がり部２０９ｆの外周側の縁部２０９ｊは、屈曲点Ｐ１を中心とする弧状であってよい。

これらの場合、例えば、内周側の縁部及び外周側の縁部の双方が弧状であるような他の態様に比較して、引出電極２０９は、小さいスペースで大きな方向変換を行うことができる。その結果、距離ｄ１を短くする効果が向上する。

＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係る水晶素子３０１の一部を示す平面図である。この図は、第１実施形態の図４の一部に対応している。

第１実施形態では、引出電極９の、励振電極７との接続部９ａの幅は、幅の定義にもよるが、一定でなくてもよいことを述べた。ただし、接続部９ａは、一定の幅とされてもよい。第３実施形態は、そのような例となっている。具体的には、第３実施形態の引出電極３０９の、励振電極７との接続部３０９ａは、第２実施形態の曲がり部２０９ｆと同様の構成とされている。すなわち、接続部３０９ａの外縁は点Ｐ２を中心とする弧状とされている。これにより、接続部３０９ａの幅は一定とされている。

図示の例では、引出電極３０９は、幅の少なくとも一部が励振電極７に接続されている位置（点Ｐ２の位置）から、搭載電極１１（ここでは不図示）まで、第１方向（Ｄ１方向）に対して傾斜する方向に直線状に延びている。従って、引出電極３０９は、第１実施形態の引出電極９と同様に、励振電極７から搭載電極１１まで第１方向（Ｄ１方向）に対して傾斜する方向に直線状に延びている引出電極の一例として捉えられてよい。

また、引出電極３０９は、第２実施形態の曲がり部２０９ｆと同様の構成（接続部３０９ａ）を有している。従って、引出電極３０９は、第２実施形態の引出電極２０９と同様に、自己に対応する励振電極７から自己に対応する搭載電極１１へ延びる過程で第１側（－Ｄ１側）へ向かって曲がる曲がり部（接続部３０９ａ）を有する引出電極の一例として捉えられてもよい。

第３実施形態において、点Ｐ２は、第２実施形態の屈曲点Ｐ１と異なり、引出電極２０９が有する直線状の２つの縁部の交点ではなく、励振電極７の第２縁部（長辺７ｂ）と引出電極３０９の－Ｄ１側（別の観点では曲がり部の内周側）の縁部との交点である。より詳細には、図示の例では、点Ｐ２は、長辺７ｂの－Ｄ１側の端部に位置している。なお、図示の例とは異なり、点Ｐ２（長辺７ｂと引出電極３０９の－Ｄ１側の縁部との交点）は、長辺７ｂの端部から＋Ｄ１側に離れていてもよい。

曲がり部（接続部３０９ａ）よりも搭載電極１１側の直線部分に着目した場合においては、点Ｐ２は、第２実施形態の屈曲点Ｐ１と同様のものとして捉えることができる。すなわち、点Ｐ２は、曲がり部（接続部３０９ａ）から第１側（－Ｄ１側）へ向かって直線状に延びる直線部の２つの縁部のうち、曲がり部の内周側に位置する縁部の、曲がり部の側の端部である。

特に図示しないが、接続部３０９ａは、他の態様の曲がり部（内縁も曲線状の曲がり部）であってもよい。また、第３実施形態では、引出電極３０９の、励振電極７との接続部９ａについて、幅が一定とされてもよいことについて述べた。同様に、引出電極３０９の搭載電極１１との接続部についても、曲がり部２０９ｆ（又は他の態様の曲がり部）と同様の形状が採用されることによって、幅が一定とされてもよい。

引出電極３０９において、接続部３０９ａ（曲がり部）から搭載電極１１へ延びる方向（角度θ１）は任意である。例えば、角度θ１は、第１実施形態の角度θ１と同様に、０°超であってもよいし、第２実施形態の第２直線部２０９ｇのＤ１方向に対する角度と同様に、０°であってもよい。換言すれば、引出電極３０９は、励振電極７の第２縁部（長辺７ｂ）から搭載電極１１まで第１領域Ａ１に重ならずに第１方向に平行に直線状に延びていてもよい。

＜第４実施形態＞
図８は、第４実施形態に係る水晶素子４０１の一部を示す平面図である。この図は、第１実施形態の図４の一部に対応している。

第１実施形態では、引出電極９は、励振電極７からＤ１方向に斜めに傾斜する方向に延び出た。ただし、図８に示すように、引出電極４０９（接続部４０９ａ）は、励振電極７からＤ１方向に直交する方向に直線状に延び出てもよい。そして、引出電極４０９は、第２実施形態と同様に、曲がり部４０９ｆを含むことによって、励振電極７よりも－Ｄ１側に位置する搭載電極１１に向かって延びていてよい。

なお、図示の例では、曲がり部４０９ｆは、図７の曲がり部２０９ｆと同様に扇状の態様となっている。ただし、曲がり部４０９ｆは、他の態様（内縁も曲線状の態様）であってもよい。また、曲がった後の方向は、第２実施形態でも述べたように、Ｄ１方向に平行であってもよいし、Ｄ１方向に傾斜する方向であってもよい。

以上の実施形態において、水晶素子１、２０１、３０１及び４０１は、それぞれ圧電素子の一例である。水晶デバイス１０１は圧電デバイスの一例である。水晶素板３は圧電素板の一例である。Ｄ１方向は第１方向の一例である。Ｄ２方向は第２方向の一例である。－Ｄ１側は第１方向の第１側の一例である。＋Ｄ１側は第１方向の第２側の一例である。励振電極７の－Ｄ１側の短辺７ａは第１縁部の一例である。励振電極７の長辺７ｂは第２縁部の一例である。水晶素板３の第１面３ａ及び第２面３ｂは、それぞれ圧電素板の主面の一例である。

本開示に係る技術は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。

例えば、既述の実施形態は、適宜に組み合わされてよい。例えば、図７に示した幅が一定の接続部３０９ａの形状は、図６に示した引出電極２０９の接続部２０９ａの形状に適用されてもよい。

圧電体は、水晶に限定されない。例えば、圧電体は、他の単結晶であってもよいし、多結晶からなるもの（例えばセラミック）であってもよい。なお、水晶に適宜なドーパントが添加されたものは水晶の一種と捉えられてよい。

１…水晶素子（圧電素子）、３…水晶素板（圧電素板）、７…励振電極、７ａ…短辺（励振電極の第１縁部）、７ｂ…長辺（励振電極の第２縁部）、９…引出電極、１１…搭載電極、１０１…水晶デバイス（圧電デバイス）、Ａ１…第１領域。

Claims (10)

1. 第１方向及び前記第１方向に直交する第２方向に広がっている圧電素板と、
   前記圧電素板の表裏に重なっている２つの励振電極と、
   前記２つの励振電極から引き出されている２つの引出電極と、
   前記２つの励振電極に対して前記第１方向の第１側に位置しており、前記２つの引出電極を介して前記２つの励振電極と接続されている２つの搭載電極と、
   を有しており、
   前記２つの励振電極のそれぞれは、前記第１側に位置して前記第２方向に沿っている第１縁部と、前記第１縁部の両端から前記第１方向の第２側へ延びる２つの第２縁部と、を有しており、
   平面透視において、前記第１縁部と、前記第１縁部の両端から前記第１側へ前記第１方向に平行に延びる２つの仮想線と、前記２つの搭載電極に対して前記第２側から接する、前記第２方向に平行な仮想線と、によって囲まれる領域を第１領域と称するとき、
   前記２つの引出電極のそれぞれは、前記２つの励振電極のうちの自己に対応する励振電極の前記２つの第２縁部のいずれか１つから、前記２つの搭載電極のうちの自己に対応する搭載電極まで、前記第１領域に重ならずに、一定の幅で延びている
   圧電素子。
2. 前記圧電素板は、その表裏に位置する２つの主面と、２つの主面をつなぐ側面と、を有しており、
   前記２つの引出電極の一方は、前記２つの主面の一方において前記２つの搭載電極の一方につながっており、
   前記２つの引出電極の他方は、前記２つの主面の他方において前記２つの搭載電極の他方につながっている
   請求項１に記載の圧電素子。
3. 前記２つの引出電極のそれぞれは、前記自己に対応する励振電極から前記自己に対応する搭載電極まで、前記第１方向に対して傾斜する方向に直線状に延びている
   請求項１又は２に記載の圧電素子。
4. 前記２つの引出電極のそれぞれの前記第１方向に対する傾斜角度が３０°以上４５°以下である
   請求項３に記載の圧電素子。
5. 前記２つの第２縁部から、前記２つの第２縁部に対して前記第２方向の両側に位置している前記圧電素板の２つの縁部までの距離それぞれの最小値が、前記２つの励振電極のそれぞれの前記第２方向における幅の最大値の１／２以上である
   請求項３又は４に記載の圧電素子。
6. 前記圧電素板は平板状である
   請求項５に記載の圧電素子。
7. 前記２つの引出電極のそれぞれは、前記自己に対応する励振電極から前記自己に対応する搭載電極へ延びる過程で前記第１側へ向かって曲がる曲がり部を有しており、前記曲がり部の外周側の縁部は曲線状である
   請求項１に記載の圧電素子。
8. 前記２つの引出電極のそれぞれは、前記曲がり部から前記第１側へ向かって直線状に延びる直線部を有しており、
   前記曲がり部の外周側の縁部は、前記直線部の２つの縁部のうち、前記曲がり部の内周側に位置する縁部の、前記曲がり部の側の端部を中心とする弧状の部分を有している
   請求項７に記載の圧電素子。
9. 前記２つの引出電極のそれぞれは、前記曲がり部の内周側に位置する縁部が、直線状に延びるとともに屈曲点で互いに交差する２つの部分を有しており、
   前記曲がり部の外周側の縁部は、前記屈曲点を中心とする弧状である
   請求項８に記載の圧電素子。
10. 請求項１～９のいずれか１項に記載の圧電素子と、
    前記圧電素子を保持しているパッケージと、
    を有している圧電デバイス。

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