JP2023105915A - 振動試験装置及び振動試験システム - Google Patents

Abstract

【課題】加振対象物に対して多様な方向に振動を付与する。【解決手段】振動試験装置は、所定の基準面上に配置され、加振対象物が載置されるテーブルと、テーブルが基準面に沿った第１方向、基準面に沿って第１方向に直交する第２方向及び第１方向と第２方向との合成方向に移動自在となりかつ基準面に沿って回転自在となるようにテーブルを支持する支持機構と、基準面に沿ってテーブルを駆動することでテーブルを加振する加振装置とを備える。【選択図】図２

Description

本開示は、振動試験装置及び振動試験システムに関する。

加振対象物を載置した振動台を加振装置により振動させる振動試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許第３２３５８２０号公報

上記のような振動試験装置においては、加振対象物に対して水平面に沿った縦方向及び横方向の振動、回転方向の振動等、多様な方向に振動を付与することが求められる。

本開示は、上記に鑑みてなされたものであり、加振対象物に対して多様な方向に振動を付与することが可能な振動試験装置及び振動試験システムを提供することを目的とする。

本開示に係る振動試験装置は、所定の基準面上に配置され、加振対象物が載置されるテーブルと、前記テーブルが前記基準面に沿った第１方向、前記基準面に沿って前記第１方向に直交する第２方向及び前記第１方向と前記第２方向との合成方向に移動自在となりかつ前記基準面に沿って回転自在となるように前記テーブルを支持する支持機構と、前記基準面に沿って前記テーブルを駆動することで前記テーブルを加振する加振装置とを備える。

本開示に係る振動試験システムは、ベース部と、前記ベース部に支持された第１加振装置と、前記第１加振装置により加振される第１テーブルとを有する第１振動試験装置と、前記第１テーブル上に配置された第２加振装置と、前記第１テーブル上に支持され、前記第２加振装置により加振される第２テーブルとを有する第２振動試験装置とを備え、前記第２振動試験装置として、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の振動試験装置が用いられる。

本開示によれば、加振対象物に対して多様な方向に振動を付与することができる。

図１は、本実施形態に係る振動試験システムの一例を示す図である。 図２は、第１振動試験装置及び第２振動試験装置を拡大して示す側面図である。 図３は、図２におけるＡ－Ａ断面に沿った構成を示す図である。 図４は、他の例に係る振動試験システムの構成を示す図である。 図５は、図４におけるＢ－Ｂ断面に沿った構成を示す図である。 図６は、他の例に係る振動試験システムの構成を示す図である。 図７は、他の例に係る振動試験システムの構成を示す図である。

以下、本開示に係る加振装置及び振動試験装置の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。

図１は、本実施形態に係る振動試験システム１００の一例を示す図である。振動試験システム１００は、ベース部１０と、第１振動試験装置２０と、第２振動試験装置（振動試験装置）３０とを備える。

ベース部１０は、水平な床面等に載置される。ベース部１０は、直方体状の凹部１１を有している。凹部１１の内部には、第１加振装置２２及び第１テーブル２１が収容される。

第１振動試験装置２０は、第１テーブル２１と、第１加振装置２２とを有する。第１テーブル２１は、矩形状に形成され、第１加振装置２２によって鉛直方向及び水平方向に振動する。第１テーブル２１は、上面である基準面２１ａを有する。基準面２１ａは、水平面に沿って配置される。基準面２１ａには、第２振動試験装置３０が配置される。本実施形態において、振動試験システム１００は、第１テーブル２１を振動させることにより、第１テーブル２１に載置される第２振動試験装置３０を加振することができる。

第１加振装置２２は、ベース部１０の凹部１１に支持される。第１加振装置２２は、第１テーブル２１に接続され、第１テーブル２１に振動を付与する。第１振動試験装置２０には、鉛直方向に振動を付与する第１加振装置２２と、水平方向に振動を付与する第１加振装置２２とが設けられる。第１加振装置２２は、例えば駆動源として油圧機構が用いられる油圧式試験装置である。

第２振動試験装置３０は、第２テーブル（テーブル）３１と、支持機構３２と、第２加振装置（加振装置）３３とを備える。図２は、第１振動試験装置２０及び第２振動試験装置３０を拡大して示す側面図である。図３は、図２におけるＡ－Ａ断面に沿った構成を示す図である。

図２及び図３に示すように、第２テーブル３１は、第１テーブル２１の上に配置される。第２テーブル３１は、第１テーブル２１の基準面２１ａに沿って配置される。第２テーブル３１は、加振対象物１２を載置する載置面３１ａを有する。載置面３１ａは、水平面に沿って配置される。第２テーブル３１は、上下方向の上端に配置される平面視矩形状の天板部３１ｔと、天板部３１ｔの各辺に沿って矩形枠状に形成される側壁部３１ｆとを有する。天板部３１ｔと側壁部３１ｆとで囲まれた部分に空間が形成される。つまり、第２テーブル３１は、第１テーブル２１の基準面２１ａと対向する部分に当該空間に相当する凹部３１ｓが形成される。第２テーブル３１は、第２方向Ｄ２の寸法が第１テーブル２１と同一又はほぼ同一となっている。なお、第２テーブル３１は、第１方向Ｄ１の寸法が第１テーブル２１と同一又はほぼ同一であってもよい。つまり、第２テーブル３１は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の寸法が第１テーブル２１と同一又はほぼ同一であってもよい。このように、第２テーブル３１は、第１テーブル２１上に広い範囲に亘って配置されるように寸法が設定されている。このため、寸法の大きい加振対象物１２を載置することが可能となっている。

支持機構３２は、第１テーブル２１上において、第２テーブル３１の凹部３１ｓに配置される。支持機構３２は、第２テーブル３１が基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となるように、第２テーブル３１を支持する。第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２とは、基準面２１ａに沿った方向であり、互いに直交する。支持機構３２は、第１テーブル２１上に複数、例えば４つ配置される。支持機構３２の数は、４つに限定されず、３つ以上であればよい。

各支持機構３２は、柱状部３２ａ及び転動部３２ｂを有する。柱状部３２ａは、基準面２１ａに固定される。転動部３２ｂは、柱状部３２ａの上端部に設けられる。転動部３２ｂは、柱状部３２ａにより転動可能に支持される。転動部３２ｂとしては、例えばボール状部材のように球面に沿って転動可能な構成であってもよいし、キャスターのように円筒面に沿って転動可能であり、転動方向を変更可能に支持される円柱状部材であってもよい。本実施形態において、支持機構３２は、基準面２１ａに固定される。各支持機構３２は、柱状部３２ａの下端から転動部３２ｂの上端までの距離（高さ）がそれぞれ等しくなっている。このため、第１テーブル２１の基準面２１ａと第２テーブル３１の載置面３１ａとが平行となっている。

第２テーブル３１は、４つの支持機構３２に支持される。第２テーブル３１は、載置面３１ａの天板部３１ｔが４つの支持機構３２の転動部３２ｂにより支持される。転動部３２ｂが天板部３１ｔを転動することにより、第２テーブル３１が第１テーブル２１の基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となる。

第２加振装置３３は、第２テーブルを加振する。第２加振装置３３は、基準面２１ａに沿って第２テーブル３１を駆動することで第２テーブル３１に振動を付与する。第２加振装置３３は、第２テーブル３１の凹部３１ｓに収容されるように第１テーブル２１上に配置される。このように、第１テーブル２１上において凹部３１ｓに第２加振装置３３を配置することにより、第２テーブル３１を第１テーブル２１上の広い範囲に亘って配置させることができる。このため、第１テーブル２１上のスペースを有効的に活用することができる。

第２加振装置３３は、第１方向Ｄ１について互いに反対向きに駆動力を付与する２つの第１駆動部３４と、第２方向Ｄ２について互いに反対向きに駆動力を付与する２つの第２駆動部３５とを有する。第２加振装置３３としては、例えば駆動源としてモータを有する電動アクチュエータが用いられる。

第１駆動部３４は、それぞれ本体部３４ａ及び伝達部３４ｂを有する。本体部３４ａは、駆動源及び当該駆動源を収容する筐体を含む。伝達部３４ｂは、棒状又は柱状であり、本体部３４ａから第１方向Ｄ１に延びて、第２テーブル３１の側壁部３１ｆにそれぞれ接続される。

第２駆動部３５は、それぞれ本体部３５ａ及び伝達部３５ｂを有する。本体部３５ａは、駆動源及び当該駆動源を収容する筐体を含む。伝達部３５ｂは、棒状又は柱状であり、本体部３５ａから第１方向Ｄ１に延びて、第２テーブル３１の側壁部３１ｆにそれぞれ接続される。

２つの第１駆動部３４は、第２方向Ｄ２について互いに異なる位置に配置される。また、２つの第２駆動部３５は、第１方向Ｄ１について互いに異なる位置に配置される。この配置により、２つの第１駆動部３４及び２つの第２駆動部３５の動作を調整することで、第２テーブル３１に対して回転方向θの駆動力を付与することができる。

上記の振動試験システム１００では、第１テーブル２１及び第２テーブル３１が重ねて配置される構成において、第１加振装置２２により第１テーブル２１に対して加振力を付与し、第２加振装置３３により第２テーブル３１に対して加振力を付与することで、第２テーブル３１上に配置される加振対象物１２に対して、高加速度かつ長ストロークの加振力を付与することができる。

また、第２振動試験装置３０において、第２加振装置３３の２つの第１駆動部３４により、第２テーブル３１に対して第１方向Ｄ１の加振力を付与することができる。また、２つの第２駆動部３５により、第２テーブル３１に対して第２方向Ｄ２の加振力を付与することができる。また、２つの第１駆動部３４及び２つの第２駆動部３５の動作を調整することで、第２テーブル３１に対して回転方向θの駆動力を付与することができる。

第２テーブル３１は、支持機構３２により第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、これらの合成方向及び回転方向θに移動自在又は回転自在に支持される。このため、第２加振装置３３の駆動により、第２テーブル３１に対して第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、これらの合成方向に振動が付与される。また、第２加振装置３３として電動アクチュエータを用いることで、測定対象物１２に対して高周波数の振動を付与することができる。

このため、振動試験システム１００では、加振対象物に対して、高加速度、長ストロークかつ高周波数の振動を付与することができる。例えば、振動試験システム１００では、重量の大きい加振対象物に対して、高加速度、長ストロークかつ高周波数の振動を付与することができる。

以上のように、本実施形態に係る第２振動試験装置３０は、所定の基準面２１ａ上に配置され、加振対象物１２が載置される第２テーブル３１と、第２テーブル３１が基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、基準面２１ａに沿って第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となりかつ基準面２１ａに沿って回転自在となるように第２テーブル３１を支持する支持機構３２と、基準面２１ａに沿って第２テーブル３１を駆動することで第２テーブル３１を加振する第２加振装置３３とを備える。

この構成では、第２テーブル３１が、支持機構３２により第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、これらの合成方向及び回転方向θに移動自在又は回転自在に支持される。このため、第２加振装置３３の駆動により、第２テーブル３１に対して第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、これらの合成方向及び回転方向θに振動が付与される。これにより、加振対象物１２に対して多様な方向に振動を付与することができる。

上記の第２振動試験装置３０において、支持機構３２は、第２テーブル３１と基準面２１ａとの間で転動可能な転動部３２ｂを含む。従って、転動部３２ｂが転動することにより第２テーブル３１を容易に第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、これらの合成方向及び回転方向θに移動または回転させることができる。

上記の第２振動試験装置３０において、支持機構３２は、基準面２１ａに固定される。したがって、第２テーブル３１に支持機構３２の荷重が加わらないため、第２加振装置３３の負荷を低減することができる。

上記の第２振動試験装置３０において、第２テーブル３１は、基準面２１ａに対向する部分に凹部３１ｓを有し、第２加振装置３３は、凹部３１ｓに収容されるように配置される。従って、凹部３１ｓに第２加振装置３３を配置することにより、第２テーブル３１を第１テーブル２１上の広い範囲に亘って配置させることができる。このため、第１テーブル２１上のスペースを有効的に活用することができる。

上記の第２振動試験装置３０において、第２加振装置３３は、第１方向Ｄ１について駆動力を付与する２つの第２駆動部３５と、第２方向Ｄ２について駆動力を付与する２つの第１駆動部３４と、を有する。従って、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２について容易に第２テーブル３１に加振力を付与することができる。

上記の第２振動試験装置３０において、２つの第１駆動部３４は、第２方向Ｄ２について互いに異なる位置に配置され、２つの第２駆動部３５は、第１方向Ｄ１について互いに異なる位置に配置される。従って、２つの第１駆動部３４及び２つの第２駆動部３５の駆動を調整することにより、第２テーブル３１に対して回転方向θの加振力を容易に付与することができる。

上記の第２振動試験装置３０において、第２加振装置３３として、電動アクチュエータが用いられる。従って、第２テーブル３１に対して第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、これらの合成方向及び回転方向θに高周波数の振動を付与することができる。これにより、加振対象物１２に対して多様な方向に高周波数の振動を付与することができる。

本実施形態に係る振動試験システム１００は、ベース部１０と、ベース部１０に支持された第１加振装置２２と、第１加振装置２２により加振される第１テーブル２１とを有する第１振動試験装置２０と、第１テーブル２１上に配置された第２加振装置３３と、支持機構３２により第１テーブル２１上に支持され、第２加振装置３３により加振される第２テーブル３１とを有する第２振動試験装置３０とを備える。従って、第１テーブル２１及び第２テーブル３１が重ねて配置される構成において、第１加振装置２２により第１テーブル２１に対して加振力を付与し、第２加振装置３３により第２テーブル３１に対して加振力を付与することで、第２テーブル３１上に配置される加振対象物１２に対して、高加速度かつ長ストロークの加振力を付与することができる。また、第２加振装置３３として電動アクチュエータが用いられる場合、加振対象物１２に対して多様な方向に高周波数の振動を付与することができる。

図４は、他の例に係る振動試験システム２００の構成を示す図である。図５は、図４におけるＢ－Ｂ断面に沿った構成を示す図である。図４及び図５に示す振動試験システム２００では、第２振動試験装置１３０の支持機構３６の構成が上記の第２振動試験装置３０の支持機構３２の構成とは異なっており、他の構成については上記振動試験システム１００と同様である。以下、相違点を中心に説明する。

第２振動試験装置１３０は、第２テーブル（テーブル）３１と、支持機構３６と、第２加振装置（加振装置）３３とを備える。第２テーブル３１及び第２加振装置３３については、上記構成と同様である。

支持機構３６は、第１テーブル２１上において、第２テーブル３１の凹部３１ｓに配置される。支持機構３６は、第２テーブル３１が基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となるように、第２テーブル３１を支持する。支持機構３６は、上記同様、第１テーブル２１上に複数、例えば４つ配置される。支持機構３６の数は、４つに限定されず、３つ以上であればよい。

各支持機構３６は、柱状部３６ａ及び転動部３６ｂを有する。柱状部３６ａは、第２テーブル３１の天板部３１ｔに固定される。転動部３６ｂは、柱状部３６ａの下端部に設けられる。転動部３６ｂは、柱状部３６ａにより転動可能に支持される。このように、本実施形態において、支持機構３６は、第２テーブル３１に固定される。各支持機構３６は、柱状部３６ａの上端から転動部３６ｂの下端までの距離（高さ）がそれぞれ等しくなっている。このため、第１テーブル２１の基準面２１ａと第２テーブル３１の載置面３１ａとが平行となっている。

第２テーブル３１は、４つの支持機構３６の転動部３６ｂが第１テーブル２１の基準面２１ａに接触した状態で支持される。転動部３６ｂが基準面２１ａを転動することにより、第２テーブル３１が第１テーブル２１の基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となる。

このように、上記の第２振動試験装置１３０において、支持機構３６は、第２テーブル３１に固定される。したがって、支持機構３６が第２テーブル３１に固定されるため、第２テーブル３１の移動及び回転の自由度を高くすることができる。このため、振動のストロークを大きく確保することができる。

図６は、他の例に係る振動試験システム３００の構成を示す図である。図６に示す振動試験システム３００は、第２振動試験装置２３０の支持機構３７の構成が上記の第２振動試験装置３０の支持機構３２の構成とは異なっており、他の構成については上記振動試験システム１００と同様である。以下、相違点を中心に説明する。

第２振動試験装置２３０は、第２テーブル（テーブル）３１と、支持機構３７と、第２加振装置（加振装置）３３とを備える。第２テーブル３１及び第２加振装置３３については、上記構成と同様である。

支持機構３７は、第１テーブル２１上において、第２テーブル３１の凹部３１ｓに配置される。支持機構３７は、第２テーブル３１が基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となるように、第２テーブル３１を支持する。支持機構３７は、上記同様、第１テーブル２１上に複数、例えば４つ配置される。支持機構３７の数は、４つに限定されず、３つ以上であればよい。

各支持機構３７は、柱状部３７ａ及び浮上機構３７ｂを有する。柱状部３７ａは、基準面２１ａに固定される。浮上機構３７ｂは、柱状部３７ａの上端部に設けられる。浮上機構３７ｂは、第２テーブル３１を基準面２１ａに対して浮上させる構成である。このような浮上機構３７ｂとしては、例えば圧縮空気の圧力で第２テーブル３１を浮上させる構成、磁石の磁力（反発力）により第２テーブル３１を浮上させる構成等が挙げられる。

図６の上段に示す状態から、４つの支持機構３７の浮上機構３７ｂを作動させることにより、図６の下段に示すように、天板部３１ｔに圧縮空気の圧力又は磁力等の浮上力が作用し、この浮上力により第２テーブル３１が基準面２１ａから浮上した状態となる。第２テーブル３１を基準面２１ａから浮上させることにより、第２テーブル３１が第１テーブル２１の基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となる。

図７は、他の例に係る振動試験システム４００の構成を示す図である。図７に示す振動試験システム４００は、第２振動試験装置３３０の支持機構３８の構成が上記の第２振動試験装置３０の支持機構３２の構成とは異なっており、他の構成については上記振動試験システム１００と同様である。以下、相違点を中心に説明する。

第２振動試験装置３３０は、第２テーブル（テーブル）３１と、支持機構３８と、第２加振装置（加振装置）３３とを備える。第２テーブル３１及び第２加振装置３３については、上記構成と同様である。

支持機構３８は、第１テーブル２１上において、第２テーブル３１の凹部３１ｓに配置される。支持機構３８は、第２テーブル３１が基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となるように、第２テーブル３１を支持する。支持機構３８は、上記同様、第１テーブル２１上に複数、例えば４つ配置される。支持機構３８の数は、４つに限定されず、３つ以上であればよい。

各支持機構３８は、柱状部３８ａ及び浮上機構３８ｂを有する。柱状部３８ａは、第２テーブル３１に固定される。浮上機構３８ｂは、柱状部３８ａの下端部に設けられる。浮上機構３８ｂは、第２テーブル３１を基準面２１ａに対して浮上させる。浮上機構３８ｂとしては、上記同様、例えば圧縮空気の圧力で第２テーブル３１を浮上させる構成、磁石の磁力（反発力）により第２テーブル３１を浮上させる構成等が挙げられる。

図７の上段に示す状態から、４つの支持機構３８の浮上機構３８ｂを作動させることにより、図７の下段に示すように、基準面２１ａに圧縮空気の圧力又は磁力等の浮上力が作用し、この浮上力により第２テーブル３１が基準面２１ａから浮上した状態となる。第２テーブル３１を基準面２１ａから浮上させることにより、第２テーブル３１が第１テーブル２１の基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となる。

図６及び図７に示す例のように、上記の第２振動試験装置２３０、３３０において、支持機構３７、３８は、第２テーブル３１を基準面２１ａに対して浮上させる浮上機構３７ｂ、３８ｂを含む。この構成によれば、第２テーブル３１を基準面２１ａから浮上した状態とすることができる。第２テーブル３１を基準面２１ａから浮上させることにより、第２テーブル３１が第１テーブル２１の基準面２１ａに沿った第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２及び第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との合成方向に移動自在となり、かつ基準面２１ａに沿って回転方向θに回転自在となる。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。

１０ ベース部
１１，３１ｓ 凹部
１２ 加振対象物
２０ 第１振動試験装置
２１ 第１テーブル
２１ａ 基準面
２２ 第１加振装置
３０，１３０，２３０，３３０ 第２振動試験装置
３１ 第２テーブル
３１ａ 載置面
３１ｆ 側壁部
３１ｔ 天板部
３２，３６，３７，３８ 支持機構
３２ａ，３６ａ，３７ａ，３８ａ 柱状部
３２ｂ，３６ｂ 転動部
３３ 第２加振装置
３４ 第１駆動部
３４ａ，３５ａ 本体部
３４ｂ，３５ｂ 伝達部
３５ 第２駆動部
３７ｂ，３８ｂ 浮上機構
１００，２００，３００，４００ 振動試験システム
θ 回転方向
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向

Claims (10)

1. 所定の基準面上に配置され、加振対象物が載置されるテーブルと、
   前記テーブルが前記基準面に沿った第１方向、前記基準面に沿って前記第１方向に直交する第２方向及び前記第１方向と前記第２方向との合成方向に移動自在となりかつ前記基準面に沿って回転自在となるように前記テーブルを支持する支持機構と、
   前記基準面に沿って前記テーブルを駆動することで前記テーブルを加振する加振装置と
   を備える振動試験装置。
2. 前記支持機構は、前記テーブルと前記基準面との間で転動可能な転動機構を含む
   請求項１に記載の振動試験装置。
3. 前記支持機構は、前記テーブルを前記基準面に対して浮上させる浮上機構を含む
   請求項１又は請求項２に記載の振動試験装置。
4. 前記支持機構は、前記基準面に固定される
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の振動試験装置。
5. 前記支持機構は、前記テーブルに固定される
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の振動試験装置。
6. 前記テーブルは、前記基準面に対向する部分に凹部を有し、
   前記加振装置は、前記凹部に収容されるように配置される
   請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動試験装置。
7. 前記加振装置は、
   前記第１方向について駆動力を付与する２つの第１駆動部と、
   前記第２方向について駆動力を付与する２つの第２駆動部と、を有する
   請求項６に記載の振動試験装置。
8. ２つの前記第１駆動部は、前記第２方向について互いに異なる位置に配置され、
   ２つの前記第２駆動部は、前記第１方向について互いに異なる位置に配置される
   請求項７に記載の振動試験装置。
9. 前記加振装置として、電動アクチュエータが用いられる
   請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の振動試験装置。
10. ベース部と、
    前記ベース部に支持された第１加振装置と、前記第１加振装置により加振される第１テーブルとを有する第１振動試験装置と、
    前記第１テーブル上に配置された第２加振装置と、前記第１テーブル上に支持され、前記第２加振装置により加振される第２テーブルとを有する第２振動試験装置と
    を備え、
    前記第２振動試験装置として、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の振動試験装置が用いられる
    振動試験システム。

Images