JP2023036565A - 尿素を検出する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本開示は、尿素を検出する方法および装置に関する。
環境の変化により水不足が生じるリスクが日増しに高まっており、産業界や各国政府は、工業用水として使用するための新たな水源または再生水の積極的な確保に取り組んでいる。ウェハ製造工程におけるDUV液浸リソグラフィプロセスは、超純水を介して光源の光を集める。超純水の水質、例えば有機不純物(例として尿素)は現像プロセスに影響を及ぼして、T-トッピング(T-topping)が生じてしまい、製品の線幅が影響を受ける。よって、ウェハの歩留まりを確保するべく、ウェハ製造工程で使用する超純水の水質中における微量の尿素含量を制御する必要がある。
水中における微量の尿素の検出方式は、液体クロマトグラフ質量分析計(LC-MS/MS)で分析および確認を行うものとすることができるが、前述した検出方法は、人の手で試料を採取し、実験室に持ち帰って検出を行なわなければならず、現場におけるオンライン検出には適用できない。
関連文献では、ジアセチルモノオキシムを用いる尿素検出を提示しているが、かかる方法は50℃以上、150℃以下の環境下で行う必要があり、かつジアセチルモノオキシムは尿素と似た構造を有する化合物と反応しやすいため、尿素の定量分析において誤判定を引き起こし易い。また、関連文献では、9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)を用いて酸性環境下で尿素と反応させ、定量分析を行うことも提示されている。しかしながら、単に9-ヒドロキシキサンテンを用いて尿素と反応させる場合、反応時間は比較的長く、かつ検出の感度があまり良くないため、オンラインのリアルタイム検出の開発が制限され、かつ半導体産業における検出のニーズを満たすことはできない。
よって目下、微量の尿素のオンライン検出における化学試薬の応用のボトルネックを克服する新規な装置および方法が求められている。
本開示は尿素検出方法を提供する。前記尿素検出方法は以下のステップを含む。誘導体化試薬をサンプルと反応させて混合物を得る。前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬は、一定の反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御される。前記誘導体化生成物を前記混合物から分離し、そして、分離された誘導体化生成物の含量を分析して、前記サンプル中の尿素の濃度を決定する。
本開示の実施形態によれば、本開示は尿素検出装置を提供する。前記尿素検出装置は、供給ユニット、反応ユニット、体積制御ユニット、分離ユニット、および分析ユニットを含む。前記供給ユニットと前記反応ユニットとは接続し、誘導体化試薬とサンプルを前記供給ユニットから前記反応ユニットに導入するようになっている。前記誘導体化試薬が前記反応ユニット中で前記サンプルと反応して混合物が得られ、かつ前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とは一定の反応時間内に誘導体化生成物を形成する。前記体積制御ユニットと前記反応ユニットとは接続し、混合物を前記体積制御ユニットに導入するようになっている。前記分離ユニットと前記体積制御ユニットとは接続し、前記体積制御ユニットが固定容量の前記混合物を前記分離ユニットに導入し、そして前記混合物中の前記誘導体化生成物が分離ユニットで分離されるようになっている。前記分析ユニットと前記分離ユニットとは接続し、分離された誘導体化生成物の含量を分析すると共に、前記サンプル中の尿素の濃度を算出するのに用いられる。
本開示のいくつかの実施形態により、本開示は、上記尿素検出装置を使用して行う尿素検出方法を提供する。前記尿素検出方法は以下のステップを含む。誘導体化試薬をサンプルと前記反応ユニット中で反応させて前記混合物を得る。前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬は、前記反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御される。混合物を前記体積制御ユニットに導入し、固定容量の前記混合物を前記分離ユニットに導入する。前記分離ユニットが前記誘導体化生成物を前記混合物から分離し、そして前記分析ユニットが分離された誘導体化生成物の含量を分析し、前記サンプル中の尿素の濃度が決定される。
本開示は尿素検出方法および装置を提供する。本開示に係る尿素検出方法は、誘導体化試薬とサンプル中の尿素とが反応して誘導体化生成物を形成し、さらに誘導体化生成物を分離することで、高精度の定性および定量検出を行うことができる。本開示に係る尿素検出装置は、反応制御エレメント(例えばマイクロリアクター、ブレンダーまたは乱流器)を有する反応ユニットに導入することにより、サンプルおよび誘導体化試薬が、リアルタイムかつ安定に誘導体化生成物を生成することができる。また、本開示に係る尿素検出装置は、分離ユニット(例えばクロマトグラフィー用カラム)および分析ユニット(例えば、質量分析計または光学検出システム)を利用して、従来の統尿素検出システムが複雑な水質(例えば都市汚水、放流水、流入水、井戸水、地下水)には適用不可能という技術的問題を克服し、かつ検出感度を改善することができる(水中尿素検出の適用可能範囲は0から300ppb)。さらに、本開示に係る尿素検出装置の分離ユニットは、複数のクロマトグラフィー用カラム(互いに並列接続する方式で前記分離ユニット内に設置される)を含み得るため、体積制御ユニットと組み合わせることで、誘導体化生成物に対しシリアル分析(serial analysis)を行うという技術的目的が達成される。また、分離ユニットが複数のクロマトグラフィー用カラムを有する場合、それら複数のクロマトグラフィー用カラムは交換して使用することができる。
詳細な説明を以下の実施形態において行う。
尿素検出方法および装置について、以下の実施形態において詳細に説明する。以下の詳細な記載では、説明の目的で、本開示がより十分に理解されるよう、多数の特定の詳細および実施形態が示される。以下の詳細な説明において記載される特定の構成要素および構成は、本開示の説明を明確にするために示される。しかしながら、ここに示される例示的な実施形態は、説明の目的で用いられるに過ぎず、それら例示的な実施形態に限定されることなく本発明概念は様々な形で具体化され得るということは、明らかであろう。本明細書中で使用される場合、量に関する用語における「約」という語は、当業者にとって通常かつ妥当な量を増やす、または減らすことを指す。
図1は、本開示の一実施形態に係る尿素検出方法10のステップフロー図である。
本開示に係る尿素検出方法10は以下のステップを含む。先ず、誘導体化試薬(derivatization reagent)をサンプルと反応させて混合物を得る。このうち、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬は一定の反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御されている(ステップ12)。次いで、前記誘導体化生成物を前記混合物から分離する(ステップ14)。次いで、分離された誘導体化生成物の含量を分析して、前記サンプル中の尿素の濃度を決定する(ステップ16)。
本開示の実施形態によれば、前記誘導体化試薬は、化合物と酸性有機溶液とを反応させた後に得られた生成物を含み得る。本開示の実施形態によれば、前記化合物は9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)、ジアセチルモノオキシム(diacetyl monoxime)、またはこれらの組み合わせであってよい。本開示の実施形態によれば、前記酸性有機溶液は、塩酸有機溶液、硝酸有機溶液、硫酸有機溶液、トリフルオロ酢酸有機溶液、またはこれらの組み合わせであってよい。本開示の実施形態によれば、前記酸性有機溶液の濃度は約0.05Mから6Mであってよく、酸性有機溶液を調製するのに用いる有機溶媒は、各種異なる形式のアルコール類であってよい。
本開示の実施形態によれば、前記誘導体化試薬の濃度(つまり、前記化合物の誘導体化試薬における濃度)は、約0.02wt%から0.2wt%、例えば約0.03wt%、0.05wt%、0.08wt%、0.1wt%、または0.15wt%であり得る。誘導体化試薬濃度が低すぎると、尿素検出方法の感度が低下する(誘導体化試薬と尿素との反応性が低下する)。誘導体化試薬の濃度が高すぎると、誘導体化試薬の保存が難しくなってしまう(結晶が析出する)。
本開示の実施形態によれば、前記誘導体化試薬は混合物を含んでいてよく、前記混合物は、9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)と酸性有機溶液と混合し、酸性化反応を進行させて得られるものである。9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)有機溶液の総重量に対し、9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)の添加量は約0.02wt%から0.2wt%であってよい。
図2は、異なる濃度の9-ヒドロキシキサンテンにおける誘導体化試薬の反応性の強度を示している(使用したサンプルの尿素濃度は5ppb)。9-ヒドロキシキサンテンの濃度が低すぎると、尿素検出方法の感度が低下する(誘導体化試薬と尿素との反応性が低下する)。9-ヒドロキシキサンテンの濃度が高すぎると、誘導体化試薬の保存が難しくなってしまう(結晶が析出する)。上述した9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)の酸性化反応は以下のとおりである。
また、尿素と前記誘導体化試薬とが誘導体化生成物を形成する反応は以下のとおりである。
本開示の実施形態によれば、本開示に係る尿素検出方法10は、ステップ12において、誘導体化試薬とサンプルとの反応をさらに最適化することができ(例えば反応温度を高める、乱流設計を追加する、リアクターの数を増やす等)、これにより誘導体化試薬の使用量の低減および反応時間の短縮の目的が達成される。こうすることで、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが前記反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御されて、誘導体化生成物を迅速かつ安定に形成する、および副産物の生成を抑えるという目的が達成され、本開示に係る尿素検出方法がオンラインサンプルのリアルタイム尿素含量検出に適用可能となる。本開示の実施形態によれば、誘導体化試薬とサンプルとは室温下で反応を進行することができる。また、本開示の実施形態によれば、誘導体化試薬とサンプルとを約25℃から40℃(例えば約30℃、35℃)に制御することができる。
本開示の実施形態によれば、前記反応時間は、8秒から60秒(例えば10秒、15秒、20秒、25秒、30秒、35秒、40秒、45秒、50秒、または55秒)に制御することができる。反応時間が短すぎると、尿素検出方法の感度が低下し、かつ副産物が析出しやすくなってしまう(管路が詰まる)。反応時間が長すぎると、尿素検出方法の全所要時間が長くなってしまう。本開示の実施形態によれば、本開示に係る尿素検出方法は、感度が高く(サンプルの尿素濃度が5ppb未満であり得る)、かつ適用範囲が広い(検出尿素含量0から300ppbのサンプルに使用可能)。
本開示の実施形態によれば、前記誘導体化生成物を前記混合物から分離する方法は液体クロマトグラフィーであってよい。本開示の実施形態によれば、分離された誘導体化生成物の含量を分析する方法は、蛍光信号、分子量、または紫外線吸収信号により測定することができる。本開示の実施形態によれば、尿素濃度が既知のサンプルをあらかじめ調製しておいて、それを標準物質とし(誘導体化試薬と反応して、含量の異なる誘導体化生成物を生成する)、検量線を作成してから、測定された信号強度を照合し、前記サンプル中の尿素の濃度を算出することができる。
本開示の実施形態によれば、本開示は尿素検出装置も提供する。図3は、本開示の実施形態に係る尿素検出装置100の概略図である。
図3に示されるように、前記尿素検出装置100は、供給ユニット110、反応ユニット120、体積制御ユニット130、分離ユニット140、および分析ユニット150を含んでいてよい。本開示の実施形態によれば、前記供給ユニット110と前記反応ユニット120とは接続し、誘導体化試薬とサンプルを前記供給ユニット110から前記反応ユニット120に導入するようになっており、前記誘導体化試薬は前記反応ユニット120中で前記サンプルと反応して混合物が得られると共に、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが一定の反応時間内に誘導体化生成物を形成する。前記体積制御ユニット130と前記反応ユニット120とは接続し、混合物を前記体積制御ユニット130に導入するようになっている。前記分離ユニット140と前記体積制御ユニット130とは接続している。前記体積制御ユニット130は、固定容量の前記混合物を前記分離ユニット140に導入することができる。前記混合物中の前記誘導体化生成物は前記分離ユニット140により分離され得る。前記分析ユニット150と前記分離ユニット140とは接続し、分離された誘導体化生成物の含量を分析すると共に、前記サンプル中の尿素の濃度を算出するのに用いられる。
本開示の実施形態によれば、前記分離ユニット140は、少なくとも1つのクロマトグラフィー用カラム(図示せず)および溶離液供給ユニット(図示せず)を含む。また、本開示の実施形態によれば、前記分離ユニット140は、複数(例えば少なくとも2つ)のクロマトグラフィー用カラムを含んでいてよく、かつそれら少なくとも複数のクロマトグラフィー用カラムは前記分離ユニット内に並列接続の方式で設置される。このようであると、前記体積制御ユニット130は、固定容量の前記混合物を各クロマトグラフィー用カラムに順次導入して、誘導体化生成物に対しシリアル分析(serial analysis)を行うという技術的な目的が達成され得る。
本開示の実施形態によれば、分離ユニットが複数のクロマトグラフィー用カラムを有する場合、前記複数のクロマトグラフィー用カラムは交換して使用することもできる。例えば、分離ユニットが第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラムを有する場合、第1のクロマトグラフィー用カラムを用いて誘導体化生成物の分離を行っている際、同時に第2のクロマトグラフィー用カラムを洗浄することができる。
本開示の実施形態によれば、前記体積制御ユニット130は多方弁(例えば六方弁、または十方弁)を含み、前記多方弁は前記反応ユニット120と分離ユニット140との連通を制御(固定容量の混合物をクロマトグラフィー用カラム中に導入するため)、または前記溶離液供給ユニットとクロマトグラフィー用カラムとの連通を制御(溶離液をクロマトグラフィー用カラム中に導入し、混合物に対してクロマトグラフィーを行うため)することができる。本開示の実施形態によれば、前記分析ユニット150は、蛍光分光計、質量分析計、または可視・紫外分光光度計を含み得る。
本開示の実施形態によれば、前記分析ユニット150は照合エレメント(図示せず)を含み、測定されたサンプルの信号強度を標準物質の検量線と照合し、前記サンプル中の尿素の濃度を算出するようになっていてよい。本開示の実施形態によれば、本開示に係る溶離液は、高極性溶媒、例えば水、アルコール類等の組み合わせであり得る。
図4は、本開示のその他の実施形態に係る尿素検出装置100の概略図である。
図4に示されるように、混合エレメント115が前記供給ユニット110中にさらに設置されてよく、化合物と酸性有機溶液とが前記混合エレメント115中で前記誘導体化試薬を形成する。また、反応制御エレメント125が前記反応ユニット120中にさらに設置されてよい。前記反応制御エレメント125により、誘導体化試薬とサンプルとの反応をさらに最適化して(例えば、反応温度を高める、乱流設計を追加する、リアクターの数を増やす等)、サンプル中の尿素と誘導体化試薬とが確実に前記反応時間内に完全に反応して前記誘導体化生成物を形成するようにすることができる。本開示の実施形態によれば、前記した追加の乱流設計は反応コイルであってよく、前記反応コイルは一定の内径および長さを有し、内径は0.75から1.2ミリメートル(mm)、長さは約94~200センチメートル(cm)である。前記反応コイルは、反応時間を延長し、乱流を増加して反応を十分に混合させることができる。
本開示の実施形態によれば、前記反応制御エレメント125は、マイクロリアクター、ブレンダー、乱流器(例えば、Y型コネクタもしくはT型コネクタ)、温度コントローラ、またはこれらの組み合わせを含んでいてよい。本開示の実施形態によれば、前記温度コントローラは、誘導体化試薬とサンプルとを室温または25℃から40℃で反応させることができる。
本開示のいくつかの実施形態によれば、本開示は、図5に示されるような、本開示に係る尿素検出装置を用いて行う尿素検出方法200も提供する。前記尿素検出方法は以下のステップを含む。先ず、誘導体化試薬およびサンプルを前記供給ユニット110から前記反応ユニット120内に導入する(ステップ202)。次いで、誘導体化試薬とサンプルとを前記反応ユニット120で反応させて前記混合物を得る。前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬は、前記反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御される(ステップ204)。次いで、混合物を前記体積制御ユニット130に導入して、固定容量の前記混合物を前記分離ユニット140に導入する(ステップ206)。次いで、前記分離ユニット140が前記誘導体化生成物を前記混合物から分離する(ステップ208)。次いで、前記分析ユニット150が、分離された誘導体化生成物の含量を分析し、前記サンプル中の尿素の濃度が決定される(ステップ210)。
本開示の実施形態によれば、化合物と酸性有機溶液とは混合エレメント115中で前記誘導体化試薬を形成することができる。本開示の実施形態によれば、本開示に係る尿素検出方法200は、ステップ202において、誘導体化試薬とサンプルとの反応を、反応制御エレメント125を用い最適化して(例えば反応温度を高める、乱流設計を追加する、リアクターの数を増やす等)、誘導体化試薬の使用量の低減および反応時間の短縮という目的を達成することができる。こうすることで、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが、前記反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御されて、誘導体化生成物の迅速かつ安定な形成、および副産物生成の低減という目的が達成され、本開示に係る尿素検出方法がオンラインサンプルのリアルタイム尿素含量検出に適用可能となる。
本開示の実施形態によれば、分離ユニット140を用いて前記誘導体化生成物を前記混合物から分離する方法は、液体クロマトグラフィーであってよい。本開示の実施形態によれば、分離された誘導体化生成物の量は、分析ユニット150により、蛍光信号、分子量、または紫外線吸収信号を用いて測定することができる。
以下に、当該分野において通常の知識を有する者が容易に理解できるよう、例示的な実施形態を詳細に記載する。本発明概念は、ここに示される例示的な実施形態に限定されることなく、様々な形で具体化され得る。
実施例1
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は58.3秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間58.3秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は58.3秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間58.3秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
実施例2
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は34.1秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間34.1秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は34.1秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間34.1秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
実施例3
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は26.6秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間26.6秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は26.6秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間26.6秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
実施例4
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は23.6秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間23.6秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は23.6秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間23.6秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
実施例5
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は13.3秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間13.3秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は13.3秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。実験を10回繰り返した後、反応時間13.3秒下での相対標準偏差を得た。結果は表1に示されるとおりである。
表1からわかるように、本開示に係る尿素検出方法は、誘導体化生成物を迅速かつ安定に形成することのできるものである。よって、本開示に係る尿素検出方法は、オンラインサンプルのリアルタイム尿素含量検出に適用することができる。
比較例1
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は4.9秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。
供給ユニットの混合エレメント中で9-ヒドロキシキサンテンと塩酸有機溶液(0.3M、メタノールに溶解)とを反応させ、誘導体化試薬を調製した(濃度0.15wt%)。次いで、供給ユニットより誘導体化試薬および標準物質(尿素濃度5ppb)を反応ユニットに導入した。前記誘導体化試薬の流速を16μL/s、前記標準物質の流速を16μL/sとした。次いで、誘導体化試薬と標準物質とを反応ユニットで反応させ(反応温度は35℃に制御)、混合物を得ると共に、反応ユニット内の反応制御エレメントにより誘導体化試薬と標準物質との反応時間を制御した。ここで、誘導体化試薬と標準物質との反応時間は4.9秒に制御された。次いで、体積制御ユニットにより混合物を分離ユニットの第1のクロマトグラフィー用カラムおよび第2のクロマトグラフィー用カラム中に導入して分離を行い、誘導体化生成物を得た。最後に、得られた誘導体化生成物を分析ユニット中の蛍光分光計に導いて測定を進行し、照合後に尿素の濃度を算出した。
実施例3および比較例1の尿素検出方法の1回目の測定後、それぞれ180分供給および運転を続けた。30分ごとに尿素誘導体化生成物について測定された蛍光強度を記録した。結果は図6に示されるとおりである。
図6からわかるように、反応制御エレメントを調整して誘導体化試薬と尿素とを反応ユニット中で反応させる反応時間を短くしすぎると、尿素検出方法の安定性が低下してしまう。
実施例6
サンプルである5ppb尿素標準物質を再生水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、再生水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で再生水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
サンプルである5ppb尿素標準物質を再生水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、再生水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で再生水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
実施例7
サンプルである5ppb尿素標準物質を地下水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、地下水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で地下水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
サンプルである5ppb尿素標準物質を地下水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、地下水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で地下水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
実施例8
サンプルである5ppb尿素標準物質を水道水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、水道水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で水道水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
サンプルである5ppb尿素標準物質を水道水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、水道水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で水道水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
実施例9
サンプルである5ppb尿素標準物質を5ppbのN-メチル尿素を含むサンプルに変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、5ppbのN-メチル尿素を含むサンプル中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で、5ppbのN-メチル尿素を含むサンプルの尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
サンプルである5ppb尿素標準物質を5ppbのN-メチル尿素を含むサンプルに変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、5ppbのN-メチル尿素を含むサンプル中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で、5ppbのN-メチル尿素を含むサンプルの尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
実施例10
サンプルである5ppb尿素標準物質を超純水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、超純水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で超純水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
サンプルである5ppb尿素標準物質を超純水に変えたこと以外は、実施例3に記載した方式で行った。測定後、超純水中の尿素濃度を得た。結果は表2に示すとおりである。また、液体クロマトグラフィータンデム質量分析計(LC-MS/MS)で超純水の尿素濃度の測定を行った。結果は表2に示すとおりである。
表2からわかるように、本開示に係る尿素検出装置および方法は、複雑な水質中の微量の尿素含量の検出に使用することができ、かつ尿素と構造の似た化合物の干渉を受けることがない。
上述によれば、本開示に係る尿素検出方法は、誘導体化試薬とサンプル中の尿素とが反応して誘導体化生成物を形成すると共に、誘導体化生成物を分離することで、高精度の定性および定量検出を行うことができる。また、本開示に係る尿素検出装置は、分離ユニットおよび分析ユニットを利用することにより、従来の尿素検出システムが複雑な水質に適用できないという技術的問題を克服することができ、かつ検出感度を改善することができる。
開示された方法および物質に様々な変更および変化を加え得ることは明らかであろう。明細書および実施形態は単に例示とみなされるよう意図されており、本開示の真の範囲は、以下の請求項およびそれらの均等物によって示される。
100…尿素検出装置
110…供給ユニット
115…混合エレメント
120…反応ユニット
125…反応制御エレメント
130…体積制御ユニット
140…分離ユニット
150…分析ユニット
110…供給ユニット
115…混合エレメント
120…反応ユニット
125…反応制御エレメント
130…体積制御ユニット
140…分離ユニット
150…分析ユニット
Claims (13)
- 誘導体化試薬とサンプルとを反応させて混合物を得るステップであって、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが一定の反応時間内に誘導体化生成物を形成するように制御される、ステップと、
前記誘導体化生成物を前記混合物から分離するステップと、
分離された前記誘導体化生成物の含量を分析して、前記サンプル中の尿素の濃度を決定するステップと、
を含む尿素検出方法。 - 前記誘導体化試薬が、化合物と酸性有機溶液とが反応した後に得られる生成物を含み、前記化合物が9-ヒドロキシキサンテン(xanthydrol)、ジアセチルモノオキシム(diacetyl monoxime)、またはこれらの組み合わせであり、かつ前記酸性有機溶液が、塩酸有機溶液、硝酸有機溶液、硫酸有機溶液、トリフルオロ酢酸有機溶液、またはこれらの組み合わせである、請求項1に記載の尿素検出方法。
- 前記誘導体化試薬の濃度が0.02wt%から0.2wt%である、請求項2に記載の尿素検出方法。
- 前記サンプル中の尿素含量が0から300ppbである、請求項1に記載の尿素検出方法。
- 前記反応時間が8秒から60秒である、請求項1に記載の尿素検出方法。
- 供給ユニットと、
前記供給ユニットと接続して、誘導体化試薬とサンプルが前記供給ユニットから導入される反応ユニットであって、前記誘導体化試薬が前記反応ユニット中で前記サンプルと反応して混合物が得られ、かつ前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが一定の反応時間内に誘導体化生成物を形成するようになっている、反応ユニットと、
前記反応ユニットと接続して、前記混合物が導入される体積制御ユニットと、
前記体積制御ユニットと接続して、前記体積制御ユニットにより固定容量の前記混合物が導入され、前記混合物中の前記誘導体化生成物を分離する分離ユニットと、
前記分離ユニットと接続し、分離された前記誘導体化生成物の含量を分析すると共に、前記サンプル中の尿素の濃度を算出するのに用いられる分析ユニットと、
を含む尿素検出装置。 - 前記供給ユニットが混合エレメントを含み、化合物と酸性有機溶液とが前記混合エレメント中で前記誘導体化試薬を形成する、請求項6に記載の尿素検出装置。
- 前記反応ユニットが反応制御エレメントを含み、前記反応制御エレメントにより、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが確実に前記反応時間内に完全に反応して前記誘導体化生成物を形成するようになっている、請求項6に記載の尿素検出装置。
- 前記反応制御エレメントが、マイクロリアクター、ブレンダー、乱流器、温度コントローラ、またはこれらの組み合わせを含む、請求項8に記載の尿素検出装置。
- 前記反応制御エレメントが温度コントローラを含み、前記誘導体化試薬と前記サンプルとを40℃以下で反応させる、請求項9に記載の尿素検出装置。
- 前記分離ユニットが少なくとも2つのクロマトグラフィー用カラムを含み、かつ前記少なくとも2つのクロマトグラフィー用カラムが前記分離ユニット内に並列接続の方式で設置され、前記体積制御ユニットが、固定容量の前記混合物を各クロマトグラフィー用カラムに順次導入する、請求項6に記載の尿素検出装置。
- 前記体積制御ユニットが多方弁を含む、請求項11に記載の尿素検出装置。
- 請求項6から請求項12のいずれか一項に記載の尿素検出装置を用いて行う尿素検出方法であって、
前記誘導体化試薬と前記サンプルとを前記反応ユニットで反応させて前記混合物を得るステップであって、前記サンプル中の尿素と前記誘導体化試薬とが前記反応時間内に前記誘導体化生成物を形成するように制御される、ステップと、
前記混合物を前記体積制御ユニットに導入して、固定容量の前記混合物を前記分離ユニットに導入するステップと、
前記分離ユニットが、前記誘導体化生成物を前記混合物から分離するステップと、
前記分析ユニットが、分離された前記誘導体化生成物の含量を分析して、前記サンプル中の尿素の濃度を決定するステップと、
を含む尿素検出方法。
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