JP2023009789A - 磁気エンコーダの着磁方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複列トラックのうちの一列を着磁する際に磁束が他列のトラックに洩れにくくし、かつ、効率的な着磁が行える磁気エンコーダの着磁方法を提供する。【解決手段】相隣接して並列に配置された複列トラック１０ａ、１０ｂを有する磁気エンコーダ１０の着磁方法であって、未着磁の磁性部材に対し着磁ヨークを用いて、トラック１０ａ、１０ｂ毎に着磁する着磁工程を有する。着磁ヨークは、相近接して対向する一対の先端部３０ａ、３１ａを備える。一対の先端部は、トラックの列方向に並んで配置され、磁性部材の被着磁面に近接した状態でトラックの列方向に沿って相対移動しながらトラックを着磁する。先端部の幅寸法Ｄ２は、複列トラックのいずれのトラックの幅寸法Ｄ１０、Ｄ１１よりも大とし、先端部の幅方向の一方の端面位置を複列トラックの境界部５に合わせるようにして、着磁ヨークを配置する。【選択図】図３

Description

本発明は、磁気エンコーダの着磁方法に関する。

従来の磁気エンコーダには、隣り合って並ぶ複列トラックを有するものがある。この種の磁気エンコーダのトラックは個別に着磁されており、その着磁方法として、トラックごとに、未着磁の磁性部材を着磁ヨークの一対の先端部間に挟みこんで着磁する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
このようなトラックごとの着磁処理によれば、一方のトラックを着磁する際に他方のトラックへ磁束洩れによる悪影響が及ぶおそれがあるが、特許文献１の発明では、磁束洩れによる悪影響がないように、他方のトラックを強磁性体よりなるマスク材で磁気シールドする方法が採られている。

国際公開第２０１０／９２７９９号

しかしながら、特許文献１の着磁方法では、マスク材をトラックに配設するための配設工程が必要とされ、しかもマスク材をトラックごとに付け替えなければならず、決して効率的な着磁方法とはいえない。

本発明は、このような事情を考慮して提案されたもので、その目的は、複列トラックのうちの一列を着磁する際に磁束が他列のトラックに洩れにくくし、かつ効率的な着磁が行える磁気エンコーダの着磁方法を提供することにある。

上述の目的を達成するために、相隣接して並列に配置された複列トラックを有する磁気エンコーダの着磁方法であって、未着磁の磁性部材に対し着磁ヨークを用いて、トラックごとに着磁する着磁工程を有し、前記着磁ヨークは相近接して対向する一対の先端部を備え、該一対の先端部が前記トラックの列方向に並ぶように配置され、前記磁性部材の被着磁面に近接した状態で前記トラックの列方向に沿って相対移動しながら前記トラックを着磁する構成とされており、前記先端部の幅寸法は前記複列トラックのいずれのトラックの幅寸法よりも大とされ、前記先端部の幅方向の一方の端面位置を前記複列トラックの境界部に合わせるようにして、前記着磁ヨークを配置することを特徴とする。
上記構成によれば、複列トラックの磁気エンコーダをトラックごとに着磁することができるので、隣接する他列のトラックをマスク材等で覆うことなく、効率的な着磁が行える。また着磁ヨークの先端部をトラックの表面に近接した状態で着磁するので、磁束の洩れが発生しにくく、隣接する他列のトラックへの意図しない着磁を回避することができる。さらに着磁ヨークの先端部の幅寸法は、いずれのトラックの幅よりも大きいため、トラックの全幅に対し確実に着磁することができる。また境界部に一端を合わせるため隣接トラックへの影響を減らすことができる。

本発明の磁気エンコーダの着磁方法によれば、複列トラックのうちの一列を着磁する際に磁束が他列のトラックに洩れにくくし、かつ効率的な着磁が行える。

本発明の第１実施形態に係る円盤タイプの磁気エンコーダの着磁方法を説明するための模式的斜視図であり、着磁工程を示している。 （ａ）は同磁気エンコーダの着磁方法において、着磁対象となる磁性部材を着磁装置にセットした状態を説明するための模式的側面図であり、（ｂ）は同磁性部材と着磁ヨークの相対関係を説明するための模式的正面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、同磁気エンコーダの着磁方法を説明するための図であって、磁性部材に対する着磁ヨークの先端部の配置例を示す模式的平面図である。（ｃ）は図３（ｂ）の変形例を説明するための模式的平面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、図２（ｂ）と同様図であり、着磁ヨークの先端部の変形例を示す模式的概略正面図である。 （ａ）は本発明の第１実施形態の変形例として円筒タイプの磁気エンコーダの着磁方法を説明するための模式的正面図であり、（ｂ）は磁気エンコーダの着磁状態を説明するための模式的平面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、本発明の第２実施形態に係る磁気エンコーダの着磁方法を説明するための図であり、磁性部材に対する着磁ヨークの先端部の配置例を説明するための模式的平面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながらより詳細に説明する。図中に示す実線矢印Ｘは磁力線の方向、白抜矢印Ｙ，Ｙ１方向は、スピンドル装置６の基台６ａの回転方向（着磁方向）、点線は磁力線の流れを模式的に示したものである。
本実施形態に係る磁気エンコーダの着磁方法は、相隣接して並列に配置された複列トラック１０ａ，１０ｂ・・・を有する磁気エンコーダ１０の着磁方法であって、未着磁の磁性部材１００に対し着磁ヨーク３を用いて、トラック１０ａ，１０ｂ・・・ごとに着磁する着磁工程を有する。着磁ヨーク３は、相近接して対向する一対の先端部３０ａ，３１ａを備え、一対の先端部３０ａ，３１ａが、トラック１０ａ，１０ｂの列方向に並ぶように配置されて、磁性部材１００の被着磁面１００ａに近接した状態で、トラック１０ａ，１０ｂの列方向に沿って相対移動しながらトラック１０ａ，１０ｂを着磁する構成とされており、先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２（図２（ａ）、図３（ａ）等参照）は複列トラック１０ａ，１０ｂのいずれのトラック１０ａ，１０ｂの幅寸法Ｄ１０，Ｄ１１（図２（ａ）、図３（ａ）等参照）よりも大とされ、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｂ，３１ｂを複列トラック１０ａ，１０ｂの境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置する。以下、詳述する。

まずは図１～図３を参照しながら、円盤タイプ（アキシャルタイプ）の磁気エンコーダ１０の着磁方法を説明する。磁気エンコーダ１０は、一つの磁性部材１００に相隣接して極対数が異なる２列のトラック１０ａ，１０ｂが周方向に並んで一体に設けられ、トラックごとにＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁パターンが着磁される。以下では内周側のトラックを第１トラック１０ａ、外周側のトラックを第２トラック１０ｂという。磁気エンコーダ１０は、モータ、ロボットアーム、ＡＢＳ（Anti‐lock Brake System）の回転角検出に用いられ、磁気エンコーダ１０の被着磁面１００ａから出力される磁力を対向配備される磁気センサ（不図示）で検出し、絶対角が検出される。第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとは、極対数を異ならせて着磁されており、磁気センサによる検出磁界を１回転で相対的に位相が１周ずれるように構成することで、位相差から絶対角の検出を行うことができる。

磁性部材１００は、所定の周長を有する円環状からなり、磁性粉末を含有させたゴム成型物を着磁しゴム磁石とした例を示している。磁性部材１００としてはこの他、硬質磁性体の焼結物、樹脂成型物等であってもよく、着磁されることで、焼結磁石、プラスチック磁石となる。ゴムの材質は特に限定されないが、例えば、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、アクリルゴム、エチレンアクリルゴム、フッ素ゴム等のゴムや、熱可塑性エラストマー等を使用することができる。樹脂の場合も、材質は特に限定されないが、熱可塑性樹脂を使用することができる。例えば、であって、ナイロン６、ナイロン１２、ナイロン６６、ナイロン６Ｔ、ナイロン９Ｔ、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等が挙げられる。磁性材料には、例えば、フェライト、アルニコ、希土類等を使用することができる。磁性部材１００は、図１に示すように芯金２に固着されており、芯金２を回転部材等に取り付けられ固定される。芯金２は金属材からなり、断面Ｌ字状に板金加工されている。芯金２は円筒部２１と円板部２２とを有し、円板部２２の外面２２ａに磁性部材１００が固着一体とされている。

磁性部材１００は、着磁装置１によって着磁される。図２（ａ）に示す着磁装置１は、磁性部材１００を回動移動させるスピンドル装置６と磁界を生じさせる着磁ヨーク３とで構成される機械部分と、電源部８と制御部９とで構成される回路部分とを有する。スピンドル装置６は、例えばステッピングモータ（不図示）等を駆動源とし、その動力を装置内に設けられた動力伝達機構（不図示）によって伝達して基台６ａを回転させる。基台６ａには芯金２に固着された磁性部材１００を保持するチャック６ｂが設けられている。チャック６ｂは円柱を４等分割したような形状の複数の可動片からなり、それらの可動片を拡径又は縮径方向に移動させることで、芯金２の円筒部２１を内側から保持又は解放するようになっている。なお、駆動源はステッピングモータに限定されず、回転速度が正確に制御、測定できるものであればよい。

着磁ヨーク３は、例えば鉄、パーマロイ、パーメンジュール、ＳＳ４００等の磁性金属からなり、その途中に空隙部Ｇ１を有する概ねＣ字形状とされ、空隙部Ｇ１を隔たてて一対のヘッド部３０，３１を備えている。空隙部Ｇ１の隙間寸法は特に限定されるものではない。一対のヘッド部３０，３１は、先端部３０ａ，３１ａに向けて正面視において図２（ｂ）に示すように略逆三角形状の頂点部の様に突出して形成されており、鉄芯からなる先端部３０ａ，３１ａの被着磁面１００ａに対する近接部位は、刃形状に形成されている。先端部３０ａ，３１ａの被着磁面１００ａに対する近接部位は、被着磁面１００ａに向けて正面視において若干ハの字形状となっている。これにより、先端部３０ａ，３０ｂから生成される磁束を被着磁面１００ａに向けて局部的に集中させることができ、磁束の洩れを発生しにくくすることができる。着磁ヨーク３は、チャック６ｂに保持された磁性部材１００の被着磁面１００ａに対し、所定の隙間Ｇ２を空けて近接させ、その状態で、第１トラック１０ａ，第２トラック１０ｂとトラックごとに着磁するための位置決め手段７を備えている。第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとは磁性部材１００の幅寸法の略中央を境界部５とし、一対のヘッド部３０，３１の先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２（（図２（ａ）等参照）は、それぞれのトラック（１０ａ，１０ｂ）の幅寸法Ｄ１０，Ｄ１１（図２（ａ）等参照）よりも大とされる。そして着磁ヨーク３によって着磁する際には、図３（ａ）等に示すように先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｂ，３１ｂを境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置する。着磁ヨーク３には、銅線等からなるコイル４が巻設されており、コンデンサ式電源等で構成された電源部８よりコイル４へ電源供給がなされると、着磁ヨーク３の空隙部Ｇ１，隙間Ｇ２に磁界を生成され、被着磁面１００ａに磁束を通す（図２（ｂ）参照）。そしてスピンドル装置６の基台６ａを回転させることで、磁気シールドすることなく、第１トラック１０ａ及び第２トラック１０ｂの周方向にＮ極とＳ極を交互に着磁することができる。

制御部９は、電源部８及びスピンドル装置６の駆動源を制御し、着磁設定部と、位置情報生成部とを有する。着磁設定部は、磁性部材１００の被着磁面１００ａに対してトラックの数に応じて着磁ヨーク３を配置位置の制御、極対数の変更等を受け付ける。本実施形態では第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとの極対数が異なるように着磁設定部で設定される。位置情報生成部は、各トラック（１０ａ，１０ｂ）の列方向に沿って一定速度で移動させている磁性部材１００の位置情報を判別し出力する。これにより制御部９は、位置情報生成部の出力している位置情報に基づいて、トラック毎に磁性部材１００の被着磁面１００ａの各々がそれぞれ対応する正又は逆方向の磁界を受けるように電源部８を制御する。

図３には、磁性部材１００に対する着磁ヨーク３の先端部３０ａ，３１ａの配置例と着磁パターンの一例を模式的にいずれも平面図で示している。
図３（ａ）は、第１トラック１０ａに着磁していく過程を示している。ここに示すように先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２は第１トラック１０ａの幅寸法Ｄ１０よりも大とされているので、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｂ，３１ｂを境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置すると、他方の端面３０ｃ，３１ｃが第１トラック１０ａの端面１０ａａより突出した状態となる。またここに示すようにスピンドル装置６の基台６ａが白抜矢印Ｙ方向に回転する場合、先端部３１ａに対応した磁極が着磁される。図例の場合は、先端部３０ａから正方向の磁束が通じＮ極が着磁されるので、先端部３１ａに対応する磁極はＳ極となる。

図３（ｂ）は、第２トラック１０ｂに着磁していく過程を示している。ここでも、第１トラック１０ａで使用した着磁ヨーク３と同じものを使用し、図３（ａ）と同様に先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２は第２トラック１０ｂの幅寸法Ｄ１１よりも大とされる。よって、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の他方の端面３０ｃ，３１ｃを境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置するので、一方の端面３０ｂ，３１ｂが第２トラック１０ｂの端面１０ｂａより突出した状態となる。図中、Ｄ３は先端部３０ａ，３０ｂの突出寸法を示している。またここに示すようにスピンドル装置６の基台６ａが白抜矢印Ｙ方向に回転する場合、先端部３１ａに対応した磁極が着磁される。図例の場合は、先端部３０ａから正方向の磁束が通じＮ極が着磁されるので、先端部３１ａに対応する磁極はＳ極となる。

図３（ｃ）は、第２トラック１０ｂに着磁していく過程の変形例を示している。図１、図３（ａ）及び図３（ｂ）では、第１トラック１０ａを着磁した後、外側の第２トラック１０ｂを着磁している過程を示しているがこれに限定されず、第２トラック１０ｂから着磁し、その後、内側の第１トラック１０ａを着磁してもよい。またスピンドル装置６の基台６ａの回転方向や磁力線の向きも図例に限定されず、図３（ｃ）に示すように図３（ａ）とは逆向きの白抜矢印Ｙ１方向に基台６ａを回転させてもよい。この場合は先端部３０ａから正方向の磁束が通じＮ極が着磁されるので、先端部３０ａに対応する磁極はＮ極となる。

次に磁性部材１００への着磁方法の一例を説明する。ここで説明する着磁方法は、設置工程、配備工程、着磁工程を有し、着磁を行う順番は特に限定されないがここでは第１トラック１０ａを着磁した後、第２トラック１０ｂを着磁する場合について説明する。
＜設置工程＞
まず、未着磁の磁性部材１００が固着された芯金２の円筒部２１をチャック６ｂに取り付け固定する。
＜配備工程＞
位置決め手段７によって、一対のヘッド部３０，３１の先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第１トラック１０ａの被着磁面１００ａに近接配備する。具体的には図３（ａ）に示すように先端部３０ａ，３１ａの幅方向の一方の端面３０ｂ，３１ｂ位置を境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置する。このとき、先端部３０ａ，３１ａと被着磁面１００ａとの隙間Ｇ２は特に限定されないが、例えば０．１ｍｍ～２．０ｍｍ程度に設定される。隙間Ｇ２が０．１ｍｍより小さいと、近接させすぎて、回動により先端部３０ａ，３１ａと被着磁面１００ａとが接触するおそれがある。隙間Ｇ２が２．０ｍｍより大きいと被着磁面１００ａの所望する位置への着磁がし難い傾向となり、磁束の漏れも生じやすい傾向となる。
＜着磁工程＞
制御部９はスピンドル装置６の駆動源を制御して基台６ａを一定の回転速度に回動させ、コイル４へ電源部８より電源供給して着磁処理を実行する。制御部９は、位置情報生成部から刻々と出力される位置情報より、その時点で着磁ヨーク３の空隙部Ｇ１を通過している磁性部材１００の部位が、着磁パターン情報におけるどの着磁領域に含まれているかを判断し、電源部８を制御し、着磁ヨーク３に磁束を生じさせる。電源部８によって着磁ヨーク３に電源供給されると空隙部Ｇ１に磁界を生成され、第１トラック１０ａの被着磁面１００ａに磁束を通し、Ｎ極そしてＳ極の着磁がなされる。この着磁処理は、磁性部材１００が少なくとも１回転させて終了させるが、それを超えて、１回転以上回動させてから終了させてもよい。

第１トラック１０ａの着磁が完了したら、第２トラック１０ｂの着磁を同様の要領で行う。位置決め手段７によって、先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第２トラック１０ｂの被着磁面１００ａに近接配備する。具体的には図３（ｂ）に示すように先端部３０ａ，３１ａの幅方向の他方の端面３０ｃ，３１ｃ位置を境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置する。そして電源部８によって着磁ヨーク３に電源供給されると空隙部Ｇ１，隙間Ｇ２に磁界を生成され、第２トラック１０ｂの被着磁面１００ａに磁束を通し、Ｎ極そしてＳ極の着磁がなされる。磁性部材１００が、１回転すると相隣接して並列に配置された複列トラック１０ａ，１０ｂを有する磁気エンコーダ１０を得ることができる。

以上の構成によれば、複列トラック１０ａ，１０ｂを有する磁気エンコーダ１０をトラック１０ａ，１０ｂごとに着磁することができるので、隣接する他列のトラックをマスク材等で覆って磁気シールドすることなく、効率的な着磁が行える。また着磁ヨーク３の先端部３０ａ，３０ｂを被着磁面１００ａに近接させた状態で着磁するので、磁束の洩れが発生しにくく、隣接する他列のトラックへの意図しない着磁を回避することができる。さらに先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２は、いずれのトラック１０ａ，１０ｂの幅寸法Ｄ１０，Ｄ１１よりも大きいため、トラック１０ａ，１０ｂの全幅に対し確実に着磁することができる。また未着磁の磁性部材を着磁ヨークの一対の先端部間に挟みこんで着磁する従来タイプの方法とは異なり、被着磁面１００ａ側のみから、先端部３０ａ，３０ｂを近接配備して着磁するので、着磁装置１のコンパクト化を図ることができ、位置決め手段７によって先端部３０ａ，３０ｂを一方向にスライドすればよいので、位置決め手段７の構造が複雑になることもない。

続いて図４（ａ）及び図４（ｂ）を参照しながら着磁ヨーク３の先端部３０ａ，３０ｂの変形例について説明する。先端部３０ａ，３１ａの形状は、図２（ｂ）に示すものに限定されず、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すようにトラック１０ａ，１０ｂに対する近接部位が略平坦面とされたものであってもよく、着磁対象となる磁気エンコーダ１０の大きさ、形状、着磁パターン等に応じて選択できる。一対のヘッド部３０，３１は先端部３０ａ，３１ａに向かって正面視において略逆三角形状の頂点部様に突出して形成されている。図４（ａ）の一対のヘッド部３０，３１は、先端部３０ａ，３０ｂに向けて先細り形状に形成され、図４（ｂ）の一対のヘッド部３０，３１は、基部３０ｄ，３１ｄから先端部３０ａ，３１ａまで略同寸に形成されている。鉄芯からなる先端部３０ａ，３１ａの平坦面は、被着磁面１００ａに相対して略平行且つ近接するように設けられる。また図４（ａ）及び図４（ｂ）のいずれの場合も先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２は複列トラック１０ａ，１０ｂのいずれのトラック１０ａ，１０ｂの幅寸法Ｄ１０，Ｄ１１よりも大とされ、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｂ，３１ｂを複列トラック１０ａ，１０ｂの境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置して着磁する点は図２（ｂ）等を示しながら説明した上記実施形態と同様である。さらに一対のヘッド部３０，３１間の空隙部Ｇ１の隙間寸法、先端部３０ａ，３１ａと被着磁面１００ａとの隙間Ｇ２の隙間寸法も上記実施形態と同様であり、着磁ヨーク３の先端部３０ａ，３１ａを被着磁面１００ａに近接させた状態で着磁するので、磁束の洩れが発生しにくく、隣接する他列のトラックへの意図しない着磁を回避することができるという同様の効果を奏する。図２（ｂ）の実施形態のものに比べて図４（ａ）及び図４（ｂ）に被着磁面１００ａに対向する面が平坦であるので、被着磁面１００ａが図２（ｂ）に示す例よりも広い場合に好適といえる。また図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す形状の場合も被着磁面を上下から挟み込む従来のものと比べても、磁束密度を集中させやすく隣接するトラックへの着磁漏れを低減することができる。

図５（ａ）及び図５（ｂ）を参照しながら、上記実施形態に係る他の形状として円筒タイプ（ラジアルタイプ）の磁気エンコーダ１０’への着磁方法を説明する。この実施形態においても、円盤タイプの磁気エンコーダ１０と同様に、トラック１０ａ，１０ｂ・・・ごとに着磁する。着磁装置１の構成自体は上記実施形態と同様であるが、磁性部材１００が固着された芯金２は円筒部２１のみで構成され、円筒部２１が嵌合されるチャック（不図示）とこれに対向配備される着磁ヨーク３の配置関係が図２（ａ）と異なる。また第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとが、同一の径寸法、同一面上に設けられる。この実施形態においても、一対のヘッド部３０，３１は、先端部３０ａ，３１ｂに向けて正面視において略逆三角形状の頂点部様に突出して形成され、鉄芯からなる先端部３０ａ，３１ａが被着磁面１００ａに近接するよう設けられる。また先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２は複列トラック１０ａ，１０ｂのいずれのトラック１０ａ，１０ｂの幅寸法Ｄ１０,Ｄ１１よりも大とされ、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｂ，３１ｂを複列トラック１０ａ，１０ｂの境界部５に合わせるようにして、着磁ヨーク３を配置して着磁する点は上記第１実施形態と同様である。さらに一対のヘッド部３０，３１間の空隙部Ｇ１の隙間寸法、先端部３０ａ，３１ａと被着磁面１００ａとの隙間Ｇ２の隙間寸法も上記実施形態と同様であり、着磁ヨーク３の先端部３０ａ，３０ｂを被着磁面１００ａに近接させた状態で着磁するので、磁束の洩れが発生しにくく、隣接する他列のトラックへの意図しない着磁を回避することができるという同様の効果を奏する。

図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照しながら、第２実施形態に係る磁気エンコーダ１０Ａの着磁方法についてさらに説明する。ここで説明する磁気エンコーダは円盤タイプ（アキシャルタイプ）のものを想定しているが、図５に示す円筒タイプのものも同様に適用できる。第１実施形態では２列の複列トラック１０ａ，１０ｂを有する磁気エンコーダ１０について説明したが、上記着磁方法は３列以上の複列エンコーダに適用可能であり、ここでは一例として、３列の複列トラック１０ａ，１０ｂを有する磁気エンコーダ１０Ａの着磁方法について説明する。以下においても図２（ａ）及び図２（ｂ）等に示す着磁装置１を使用することができるため、以下では第１実施形態と主に異なる事項を説明し、共通する事項については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図６（ａ）には、第１トラック１０ａから第２トラック１０ｂ、第３トラック１０ｃと順に着磁する例を示している。この場合は、まず先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｃ，３１ｃを第１トラック１０ａの端面１０ａａに合わせて着磁ヨーク３を配置する。すると一方の端面３０ｂ，３１ｂが第３トラック１０ｃの端面１０ｃａより突出した状態となる。そして、先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第１トラック１０ａの被着磁面１００ａに近接配備した状態で上記実施形態と同様にスピンドル装置６の基台６ａを回転させ、被着磁面１００ａを着磁していく。このとき、第２トラック１０ｂ及び第３トラック１０ｃにも磁束が通じ着磁されるが、のちに第２トラック１０ｂ及び第３トラック１０ｃもそれぞれのトラックに応じた着磁を行うため、マスク材等で覆う必要はない。第１トラック１０ａの着磁が完了したら、着磁ヨーク３を位置決め手段７によって、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｃ，３１ｃを第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとの境界部５に合わせるように移動させる。そして先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第２トラック１０ｂの被着磁面１００ａに近接配備した状態で同様にスピンドル装置６の基台６ａを回転させ、被着磁面１００ａを着磁していく。第２トラック１０ｂの着磁が完了したら、着磁ヨーク３を位置決め手段７によって、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の他方の端面３０ｃ，３１ｃを第２トラック１０ｂと第３トラック１０ｃとの境界部５に合わせるように移動させる。そして先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第３トラック１０ｃの被着磁面１００ａに近接配備した状態で同様にスピンドル装置６の基台６ａを回転させ、被着磁面１００ａを着磁すれば、一つの磁性部材に相隣接して極対数が異なる３列のトラック１０ａ，１０ｂ，１０ｃを有する磁気エンコーダ１０Ａを得ることができる。

図６（ｂ）には第２トラック１０ｂから着磁を開始し、第３トラック１０ｃを着磁した後、第１トラック１０ａを着磁する例を示している。この場合は、まず先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｃ，３１ｃを第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとの境界部５に合わせて着磁ヨーク３を配置する。するとこの場合も、先端部３０ａ，３０ｂの一方の端面３０ｂ，３１ｂが第３トラック１０ｃの端面１０ｃａより突出した状態となる。先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第２トラック１０ｂの被着磁面１００ａに近接配備した状態で上記実施形態と同様にスピンドル装置６の基台６ａを回転させ、被着磁面１００ａを着磁していく。このときも、第３トラック１０ｃに磁束が通じ着磁されるが、のちに第３トラック１０ｃの着磁を行うため、マスク材等で覆う必要はない。第２トラック１０ｂの着磁が完了したら、着磁ヨーク３を位置決め手段７によって、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の端面３０ｃ，３１ｃを第２トラック１０ｂと第３トラック１０ｃとの境界部５に合わせるように移動させる。そして先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第３トラック１０ｃの被着磁面１００ａに近接配備した状態で同様にスピンドル装置６の基台６ａを回転させ、被着磁面１００ａを着磁していく。第３トラック１０ｃの着磁が完了したら、着磁ヨーク３を位置決め手段７によって、先端部３０ａ，３１ａの幅方向の他方の端面３０ｂ，３１ｂを第１トラック１０ａと第２トラック１０ｂとの境界部５に合わせるように移動させる。そして先端部３０ａ，３１ａを磁性部材１００の第１トラック１０ａの被着磁面１００ａに近接配備した状態で同様にスピンドル装置６の基台６ａを回転させ、被着磁面１００ａを着磁すれば、一つの磁性部材に相隣接して極対数が異なる３列のトラック１０ａ，１０ｂ，１０ｃを有する磁気エンコーダ１０Ａを得ることができる。

以上の構成によれば、周方向に３列のトラック１０ａ，１０ｂ,１０ｃを有する磁気エンコーダ１０Ａを隣接する他列のトラックにマスク材等を覆ったり、マスク材をトラックごとに付け替えることなく、効率的な着磁が行える。また着磁ヨーク３の先端部３０ａ，３０ｂを被着磁面１００ａに近接させた状態で着磁するので、被着磁面１００ａに磁束密度を集中させることができ、磁束密度の高い着磁を行うことができる。また先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２は、いずれのトラック１０ａ，１０ｂ,１０ｃの幅寸法Ｄ１０,Ｄ１１，Ｄ１２よりも大きいため、トラック１０ａ，１０ｂ,１０ｃの全幅に対し確実に着磁することができる。

なお、上述の実施形態は本発明の技術的範囲を制限するものではなく、既に記載したもの以外でも、本発明の範囲内で種々の変形や応用が可能である。例えば、着磁装置１の構成は図例に限定されず、固定配備された着磁ヨーク３に対して基台６ａが移動し位置合わせする構成であってもよいし、コイル４は模式的に示したものであって、コイル４の巻き数等は適宜設定される。着磁ヨーク３、一対のヘッド部３０，３１、先端部３０ａ，３０ｂ、芯金２、磁性部材１００の形状、構成も図例に限定れない。また被着磁面１００ａの境界部５は、磁性部材１００の幅寸法の略中央に限定されるものではなく、トラックの幅寸法Ｄ１０，Ｄ１１、先端部３０ａ，３１ａの幅寸法Ｄ２、先端部３０ａ，３０ｂの突出寸法Ｄ３も図例に限定されない。例えば上述の実施形態では、各トラック１０ａ，１０ｂの幅寸法Ｄ１０,Ｄ１１が同じものを用いたが、それぞれのトラック１０ａ，１０ｂの幅寸法Ｄ１０,Ｄ１１が異なる複数のトラック１０ａ，１０ｂからなる磁気エンコーダでもよいし、トラック１０ａ，１０ｂの個数も図例に限定されない。さらに図中に示す実線矢印Ｘの磁力線の方向、白抜矢印Ｙ，Ｙ１方向、スピンドル装置６の基台６ａの回転方向（着磁方向）等も図例に限定されず、逆方向であってもよい。

１０，１０’,１０Ａ 磁気エンコーダ
１０ａ 第１トラック
１０ｂ 第２トラック
１０ｃ 第３トラック
３ 着磁ヨーク
３０，３１ 一対のヘッド部
３０ａ，３１ａ 先端部
５ 境界部
Ｄ１０，Ｄ１１,Ｄ１２ トラックの幅寸法
Ｄ２ 先端部の幅寸法
１００ 磁性部材
１００ａ 被着磁面
１ 着磁装置

Claims (4)

1. 相隣接して並列に配置された複列トラックを有する磁気エンコーダの着磁方法であって、
   未着磁の磁性部材に対し着磁ヨークを用いて、トラックごとに着磁する着磁工程を有し、
   前記着磁ヨークは、相近接して対向する一対の先端部を備え、該一対の先端部が、前記トラックの列方向に並ぶように配置され、前記磁性部材の被着磁面に近接した状態で前記トラックの列方向に沿って相対移動しながら前記トラックを着磁する構成とされており、
   前記先端部の幅寸法は前記複列トラックのいずれのトラックの幅寸法よりも大とされ、
   前記先端部の幅方向の一方の端面位置を前記複列トラックの境界部に合わせるようにして、前記着磁ヨークを配置することを特徴とする、磁気エンコーダの着磁方法。
2. 請求項１において、
   前記先端部の前記トラックに対する近接部位が刃形状とされることを特徴とする磁気エンコーダの着磁方法。
3. 請求項１において、
   前記先端部の前記トラックに対する近接部位が略平坦面とされることを特徴とする磁気エンコーダの着磁方法。
4. 請求項１～３のいずれか１項において、
   前記複列トラックは３列以上とされることを特徴とする磁気エンコーダの着磁方法。

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