JP2023001209A

JP2023001209A - 測定装置

Info

Publication number: JP2023001209A
Application number: JP2022172567A
Authority: JP
Inventors: 晃二山本; Koji Yamamoto; 庄悟宮鍋; Shiyougo Miyanabe
Original assignee: Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Corp
Priority date: 2018-02-22
Filing date: 2022-10-27
Publication date: 2023-01-04
Also published as: EP3757605A1; WO2019163526A1; EP3757605A4; EP3757605B1; JPWO2019163526A1; US20200393546A1; EP3757605C0

Abstract

【課題】電磁波を出射する測定装置が移動体に搭載された後に、その電磁波の移動範囲を修正できるようにする。【解決手段】照射器（１０）によって照射された電磁波は、可動反射部（２０）に入射して反射する。制御部（３０）は、照射器（１０）及び可動反射部（２０）を制御する。センサ（４０）は、電磁波の照射方向が第１の方向に移動する際に電磁波が通過する位置に配置されている。そして、制御部（３０）は、可動反射部（２０）の移動範囲を設定する際に、以下の処理をする。まず、第１の方向においてセンサ（４０）の前に位置する第１位置Ｓａに光を照射したときのセンサ（４０）の検出値（第１検出値）を認識する。次に、第１の方向においてセンサ（４０）の後に位置する第２位置Ｓｂに光を照射したときのセンサ（４０）の検出値（第２検出値）を認識する。そして、第１検出値と第２検出値を用いて、可動反射部（２０）の移動範囲を設定する。【選択図】図１

Description

本発明は、測定装置に関する。

近年は、車両などの移動体に電磁波方式のセンサを設け、このセンサの検出結果を用いて移動体の制御を行うことがある。このような用途のセンサでは、出射する電磁波は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）などのデバイスを用いて移動されている。

電磁波を移動させるためのデバイスの一例が、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載のデバイスは可動式の反射ミラーを有している。この反射ミラーは、電極に生じる静電気力によって振動する。この静電気力は、電極に印加される電圧によって制御される。

特開２０１７－１６７２５４号公報

センサの電磁波の移動範囲は、移動体に搭載された後においても様々な要因でずれる可能性がある。このため、センサを有する測定装置が移動体に搭載された後であっても、電磁波の移動範囲を修正できるようにする必要がある。

本発明が解決しようとする課題としては、電磁波を出射する測定装置が移動体に搭載された後に、その電磁波の移動範囲を修正できるようにすることが一例として挙げられる。

請求項１に記載の発明は、電磁波を照射する照射器と、
前記電磁波を反射する可動反射部と、
前記照射器及び前記可動反射部を制御することにより、前記電磁波を第１の方向に沿って移動させる制御部と、
前記電磁波を受信可能なセンサと、
を備え、
前記センサは、前記電磁波が前記第１の方向に移動する際に前記電磁波が通過する位置に配置されており、
前記制御部は、
前記第１の方向において前記センサの前に位置する第１位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第１検出値と、前記第１の方向において前記センサの後に位置する第２位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第２検出値と、を用いて、前記可動反射部の移動範囲を設定する、測定装置である。

本発明の一例は、電磁波を照射する照射器と、前記電磁波を反射する可動反射部と、前記照射器及び前記可動反射部を制御することにより、前記電磁波を第１の方向に沿って移動させる制御部と、前記電磁波を受信可能なセンサと、を備えた測定装置によって利用される制御方法であって、
前記センサは、前記電磁波が前記第１の方向に移動する際に前記電磁波が通過する位置に配置されており、
前記第１の方向において前記センサの前に位置する第１位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第１検出値と、前記第１の方向において前記センサの後に位置する第２位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第２検出値と、を用いて、前記可動反射部の移動範囲を設定する設定工程を含む、制御方法である。

本発明の一例は、コンピュータを、測定装置を制御する制御部として機能させるためのプログラムであって、
前記測定装置は、
電磁波を照射する照射器と、
前記電磁波を反射する可動反射部と、
前記電磁波を受信可能なセンサと、
を備え、
前記センサは、前記電磁波が第１の方向に移動する際に前記電磁波が通過する位置に配置されており、
前記コンピュータに、
前記照射器及び前記可動反射部を制御することにより、前記電磁波を前記第１の方向に沿って移動させる機能と、
前記第１の方向において前記センサの前に位置する第１位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第１検出値と、前記第１の方向において前記センサの後に位置する第２位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第２検出値と、を用いて、前記可動反射部の移動範囲を設定する機能と、
を持たせるプログラムである。

本発明の一例は、上述したプログラムを記憶した記憶媒体である。

上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。

実施形態に係る測定装置１の構成を示す図である。可動反射部による光の照射可能範囲とセンサの位置を説明するための図である。図３（Ａ）は、センサを含む平面における、照射器からの光とセンサの相対位置を示す図である。図３（Ｂ）はセンサからの出力の一例を示す図である。振幅の補正の具体例を説明するための図である。（Ａ）及び（Ｂ）は振幅の補正の具体例を説明するための図である。制御部３０によるセンサの出力の処理の変形例を示す図である。第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂの変形例を示す図である。（Ａ）及び（Ｂ）は可動反射部の照射方向が第１位置Ｓａとなるタイミング及び第２位置Ｓｂとなるタイミングを定める方法を説明するための図である。第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直す方法の第１例を示すフローチャートである。第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直す方法の第２例を示すフローチャートである。図１０に示した方法を模式的に説明するための図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

（実施形態）
図１は、実施形態に係る測定装置１の構成を示す図である。測定装置１は、照射器１０、可動反射部２０、制御部３０、及びセンサ４０を備えている。照射器１０は、電磁波、例えば光を照射する。照射器１０によって照射された電磁波は、可動反射部２０に入射して反射する。可動反射部２０は、例えば揺動することにより、照射器１０が照射した電磁波の進行方向を変える。制御部３０は、照射器１０及び可動反射部２０を制御する。センサ４０は、電磁波を受信可能である。センサ４０は、例えば電磁波の進行方向において可動反射部２０よりも後に配置されている。また、センサ４０は、電磁波の照射方向が第１の方向に移動する際に電磁波が通過する位置に配置されている。そして、制御部３０は、可動反射部２０の移動範囲を設定する（設定工程）際に、以下の処理をする。まず、第１の方向においてセンサ４０の前に位置する第１位置Ｓａに光を照射したときのセンサ４０の検出値（以下、第１検出値と記載）を認識する。次に、第１の方向においてセンサ４０の後に位置する第２位置Ｓｂに光を照射したときのセンサ４０の検出値（以下、第２検出値と記載）を認識する。そして、第１検出値と第２検出値を用いて、可動反射部２０の移動範囲を設定する。以下、測定装置１について詳細に説明する。また、以下の説明において、電磁波は光であるとする。

測定装置１は、例えば車両などの移動体に搭載されている。この場合、測定装置１は、例えばＬＩＤＡＲ（LIght Detection And Ranging）であり、移動体を基準としたときの、移動体の周囲に位置する物体の相対位置を検出する。この場合、測定装置１は、受光器も備えている。

照射器１０は、例えばレーザダイオードなどの半導体レーザであり、電気エネルギーが入力されることによりレーザを発光する。制御部３０は、照射器１０に入力する電力を制御することにより、照射器１０の発光タイミング及び発光強度を制御している。

可動反射部２０は、少なくとも一つの可動ミラーを備えており、照射器１０が発光した光の照射方向を２次元的に変更することができる。可動反射部２０は、例えば、光の照射方向を上記した第１の方向に周期的に移動させると同時に、第１の方向とは異なる第２の方向に周期的に移動させる。可動反射部２０が一つの可動ミラーを有している場合、この可動ミラーの傾きは、互いに直交する２軸のそれぞれを中心に変更できる。可動反射部２０が２つの可動ミラーを有している場合、２つの可動ミラーの軸は互いに直交している。

可動反射部２０が有する可動ミラーの傾きは、例えば、可動反射部２０に入力する電圧によって制御できる。この電圧は、制御部３０によって制御されている。具体的には、可動反射部２０に入力される電圧は、周期的に変化する。この電圧は、例えば正弦波である。この場合、可動反射部２０による光の反射方向は、周期的、例えば正弦波的に変化する。

制御部３０は、例えば集積回路を用いて実現される。この集積回路は、例えば、バス、プロセッサ、メモリ、ストレージデバイス、及び入出力インタフェース、及びネットワークインタフェースを有する。バスは、プロセッサ、メモリ、ストレージデバイス、入出力インタフェース、及びネットワークインタフェースが、相互にデータを送受信するためのデータ伝送路である。ただし、プロセッサなどを互いに接続する方法は、バス接続に限定されない。プロセッサは、マイクロプロセッサなどを用いて実現される演算処理装置である。メモリは、RAM（Random Access Memory）などを用いて実現されるメモリである。ストレージデバイスは、ROM（Read Only Memory）やフラッシュメモリなどを用いて実現されるストレージデバイスである。

入出力インタフェースは、集積回路を周辺デバイスと接続するためのインタフェースである。周辺デバイスは、例えば、照射器１０及び可動反射部２０である。

ネットワークインタフェースは、集積回路を通信網に接続するためのインタフェースである。この通信網は、例えばCAN（Controller Area Network）通信網である。なお、ネットワークインタフェースが通信網に接続する方法は、無線接続であってもよいし、有線接続であってもよい。

ストレージデバイスは、制御部３０の機能を実現するためのプログラムモジュールを記憶している。プロセッサは、このプログラムモジュールをメモリに読み出して実行することで、制御部３０の機能を実現する。なお、プログラムモジュールはメモリに格納されてもよい。この場合、集積回路は、ストレージデバイスを備えていなくてもよい。

センサ４０は、光電変換素子を有しており、センサ４０に入射する光の強度を検出する。センサ４０からの信号は、制御部３０に入力される。制御部３０は、センサ４０の検出値を用いて、可動反射部２０の可動ミラーの移動範囲を設定する。具体的には、制御部３０は、センサ４０の検出値を用いて、可動反射部２０に入力する信号を設定する。なお、照射器１０が光以外の電磁波を発する場合、センサ４０は、その波長の電磁波を検出する素子を有している。

図２は、可動反射部２０による光の照射可能範囲とセンサ４０の位置を説明するための図であり、図１のＡ－Ａ断面に対応している。上記したように、可動反射部２０は、照射器１０からの光を移動させる。可動反射部２０によって光が照射できる範囲を移動可能範囲α１とすると、測定装置１の測定に用いられる範囲は、移動可能範囲α１の一部（以下、測定範囲α２と記載）である。具体的には、制御部３０は、可動反射部２０が測定範囲α２に向けて光を反射するタイミングでは照射器１０を発光させ、かつ、可動反射部２０が測定範囲α２の外に向けて光を反射するタイミングでは照射器１０を発光させない。このため、センサ４０が設けられても、測定装置１による測定に影響は生じない。

また、図２に示す例において、制御部３０は、光を、第１方向（Ｈ方向）に周期的に移動させると同時に、第１方向に直交する第２方向（Ｖ方向）にも周期的に移動させている。第１方向は、可動反射部２０の第１の回転軸に対応しており、第２方向は、可動反射部２０の第２の回転軸に対応している。そして、第１方向の移動周期は、第２方向の移動周期よりも短い。例えば、制御部３０は、可動反射部２０に入力する信号のうち、第１方向（Ｈ方向）の移動を制御するための制御信号には正弦波を使用し、第２方向（Ｖ方向）の移動を制御するための制御信号には、前記した正弦波よりも長周期の信号（例えばのこぎり波）を使用する。このため、図２に示すように、光は、図２におけるＨ方向（横方向）に周期的に移動しつつ、徐々にＶ方向（横方向）に移動する。その結果、移動可能範囲α１は略矩形になる。

また、図２に示す例において、センサ４０はラインセンサである。そして、センサ４０が延在する方向、すなわちセンサ４０の長手方向は、第２方向になっている。センサ４０の長さは、センサ４０を含む平面における測定範囲α２の第２方向の辺よりも短い。ただし、センサ４０の長さはこれに限定されない。

なお、センサ４０は、複数設けられていてもよい。本図に示す例において、センサ４０は、図２に示した測定範囲α２の第２方向に延在する２つの辺のそれぞれに沿って、設けられている。センサ４０が測定範囲α２の辺よりも短い場合、２つのセンサ４０は対角をなす位置に設けられるのが好ましい。

図３は、制御部３０による可動反射部２０の移動範囲の設定方法を説明するための図である。詳細には、図３（Ａ）は、センサ４０を含む平面における、照射器１０からの光とセンサ４０の相対位置を示す図であり、図３（Ｂ）はセンサ４０からの出力の一例を示す図である。なお、図３（Ｂ）において、横軸は可動反射部２０の可動ミラーの傾きを示している。

制御部３０は、照射器１０を一定間隔で間欠的に発光させる。このため、図３（Ａ）に示すように、照射器１０から照射される光の中心の位置Ｓは、第１方向（Ｈ方向）に徐々に移動していく。なお、ここでの一定間隔は、時間上の間隔であってもよいし、空間上の間隔（距離）であってもよい。

照射器１０からの光は、センサ４０を含む平面を通過する際、ある程度広がりを有している。このため、センサ４０の出力は、位置Ｓがセンサ４０に重なっていない場合でもある程度の大きさになる。詳細には、図３（Ｂ）に示すように、位置Ｓがセンサ４０と重なっている場合、センサ４０の出力は最も大きくなり、また、位置Ｓがセンサ４０から離れるにつれて、センサ４０の出力は急激に低下する。

ここで、可動反射部２０の振幅は、駆動信号を変えなかった場合でも、様々な要因に起因して変化する恐れがある。このため、測定装置１を移動体に搭載した後であっても、可動反射部２０の振幅を補正できるようにする必要がある。

本実施形態では、第１方向においてセンサ４０の前に位置する第１位置Ｓａに光を照射したときのセンサ４０の検出値、すなわち第１検出値と、第１方向においてセンサ４０の後に位置する第２位置Ｓｂに光を照射したときのセンサ４０の検出値、すなわち第２検出値を用いて、可動反射部２０の振幅を補正している。例えば、可動反射部２０が基準位置、例えば傾斜角度が０°のときを基準とした、照射器１０の発光タイミングを予め定めておく。具体的には、照射器１０の発光タイミングを、第１位置Ｓａとなるべきタイミング、及び、第２位置Ｓｂの位置となるべきタイミングそれぞれに定めておく。このタイミングは、例えば、測定装置１を移動体に搭載する前に予め定められており、かつ、予め制御部３０の記憶媒体に記憶されている。そして各タイミングにおけるセンサ４０の検出値（第１検出値及び第２検出値）が基準を満たすように、可動反射部２０の振幅を補正する。

ここでの基準は、例えば、第１検出値の大きさが基準範囲にあり、かつ、第２検出値の大きさも基準範囲にあることでもよいし、第１検出値と第２検出値の差分が基準範囲にあること（例えば基準値以下にあること）でもよい。前者の場合、第１検出値の基準範囲は、第２検出値の基準範囲と同じであってもよいし異なっていてもよい。

この振幅の補正の具体例について、図４及び図５を用いて具体的に説明する。これらの図において、左側が移動可能範囲α１の中心側であり、右側が移動可能範囲α１の縁側である。図４に示すように、第１位置Ｓａと第２位置Ｓｂの位置は、可動反射部２０の振幅が正常な状態において、センサ４０を基準に互いに対象となるように定められている。そして、可動反射部２０の振幅が正常な状態では、第１検出値と第２検出値が同じになる。

ここで、図５（Ａ）に示すように、可動反射部２０の振幅が設定よりも大きくなった場合を考える。一般的に、可動反射部２０の振幅が変わっても可動反射部２０の１周期に必要な時間は一定であるため、可動反射部２０の振幅が大きくなると、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂは、ともに外側（図５における右側）に移動する。このため、第１検出値は基準よりも大きくなり、第２検出値は基準よりも小さくなる。また、第１検出値から第２検出値を引いた値は正の値となり、かつ、基準よりも大きくなる。第１検出値及び第２検出値がこのようになった場合、制御部３０は、可動反射部２０の移動範囲、例えば振幅を小さくする。

次に、図５（Ｂ）に示すように、可動反射部２０の振幅が設定よりも大きくなった場合を考える。この場合、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂは、ともに内側（図６における左側）に移動する。このため、第１検出値は基準よりも小さくなり、第２検出値は基準よりも大きくなる。また、第１検出値から第２検出値を引いた値は負となり、かつ基準よりも大きくなる。第１検出値及び第２検出値がこのようになった場合、制御部３０は、可動反射部２０の移動範囲、例えば振幅を大きくする。

図６は、制御部３０によるセンサ４０の出力の処理の変形例を示す図である。本図に示す例では、複数の周期のそれぞれにおいて、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂで測定を行う。このようにすると、複数の第１測定値が得られるとともに、複数の第２測定値がられる。制御部３０は、これら複数の第１測定値を積分するとともに、複数の第２測定値も積分する。そして、これらの積分値の差分が上記した基準を満たすように、可動反射部２０の移動範囲、例えば振幅を制御する。このようにすると、センサ４０の測定誤差が積分によって小さくなるため、高い精度で可動反射部２０の振幅を補正できる。なお、第１測定値の積分及び第２測定値の積分は、制御部３０とは異なる回路が行ってもよい。

図７は、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂの変形例を示す図である。上記したように、制御部３０は、光を、第１方向（Ｈ方向）に周期的に移動させると同時に、第１方向に直交する第２方向（Ｖ方向）にも周期的に移動させている。このため、可動反射部２０の振幅の補正は、第１方向及び第２方向のそれぞれで行われるのが好ましい。

第１の例では、図７における第１方向（Ｈ方向）の振幅を補正する際、第１位置ＳａとしてはＳ２を、第２位置ＳｂとしてはＳ４を用いる。この場合、センサ４０の幅方向すなわち第１方向において、第１位置Ｓａ、センサ４０の中心、及び第２位置Ｓｂがこの順に並んでいる。この場合、制御部３０は、第１検出値と第２検出値の差分が基準値以下になるように、可動反射部２０のＨ方向の振幅を補正する。

また、図７における第２方向（Ｖ方向）の振幅を補正する場合、第１位置ＳａとしてはＳ１を、第２位置ＳｂとしてはＳ３を、それぞれ用いる。言い換えると、第１位置Ｓａは、センサ４０が延在する方向（Ｖ方向）においてセンサ４０の外、かつセンサ４０の幅方向（Ｈ方向）においてセンサ４０と重なっている。また、第２位置Ｓｂは、Ｖ方向及びＨ方向のそれぞれにおいて、センサ４０と重なっている。この場合、制御部３０は、第２検出値が第１検出値よりも基準値以上大きくなる（第２検出値＞＞第１検出値）ように、制御部３０のＶ方向の振幅を補正する。

なお、センサ４０は、測定範囲α２の互いに対向する２辺のそれぞれに沿って設けられている。そして、上記した補正は、２つのセンサ４０のそれぞれに対して行われる。

第２の例では、Ｖ方向において一方のセンサ４０の上方に設けられたＳ１を第１位置Ｓａとして、Ｖ方向において他方のセンサ４０の下方に設けられたＳ５´を第２位置Ｓｂとする。言い換えると、第１位置Ｓａと第２位置Ｓｂは、測定範囲α２の対角上に位置している。この場合、制御部３０は、第１検出値と第２検出値差分が基準値以下になるように、可動反射部２０のＨ方向の振幅を補正するとともにＶ方向の振幅を補正する。

以上、本実施形態によれば、測定装置１はセンサ４０を有している。センサ４０は、制御部３０は、第１方向においてセンサ４０の前に位置する第１位置Ｓａに光を照射したときのセンサ４０の検出値（第１検出値）と、第１方向においてセンサ４０の後に位置する第２位置Ｓｂに光を照射したときのセンサ４０の検出値（第２検出値）を用いて、可動反射部２０の揺動範囲を設定する。これにより、測定装置１が移動体に搭載された後であっても、制御部３０は、可動反射部２０の振幅を補正することができる。

（変形例１）
上記した実施形態において、照射器１０が発光すべきタイミング、すなわち、可動反射部２０の照射方向が第１位置Ｓａとなるタイミング及び第２位置Ｓｂとなるタイミングは、予め制御部３０に記憶されている。本変形例では、このタイミングを定める方法について、図８（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。

第１位置Ｓａとなるタイミング、及び、第２位置Ｓｂとなるタイミングは、測定装置１とは別の外部センサ１００を用いて定められる。具体的には、先ず、図８（Ａ）に示すように、可動反射部２０を基準位置、例えば傾斜角度が０°にした状態で、測定装置１から光を出射させる。この状態で、外部センサ１００に測定装置１からの光が入射するようにする。

次いで、外部センサ１００を、上記した位置から、測定装置１を中心にして所定角度θ（例えば１０°）移動させる。そして、可動反射部２０へ入力する信号を徐々に変更する。これにより、可動反射部２０の角度は徐々に変わり、その結果、測定装置１から出射する光の向きが変わる。そして、外部センサ１００に光が入射したときの可動反射部２０への入力信号を、光を上記した所定角度θに向けるときの信号として扱う。外部の書き込み装置は、この信号を用いて、測定装置１の光の出射方向を各角度にするときの、可動反射部２０への入力信号を算出し、算出した信号を示す情報を１の制御部３０の記憶媒体に書き込む。

なお、上記した処理は、第１方向（Ｈ方向）及び第２方向（Ｖ方向）のそれぞれに対して行われる。

そして、制御部３０は、制御部３０の記憶媒体に書き込んだ情報を用いて、可動反射部２０の傾斜方向を変化させ、センサ４０に光が入射するときの可動反射部２０の向きを検出する。これにより、センサ４０の正確な位置、すなわち光が入射するときの可動反射部２０の傾きが特定される。そして、制御部３０は、この向きを基準に、第１位置Ｓａとなるタイミング及び第２位置Ｓｂとなるタイミングを設定する。例えば、センサ４０の出力が最大となるときから所定時間前のタイミングを第１位置Ｓａとなるタイミングに設定し、また、センサ４０の出力が最大となるときから所定時間後のタイミングを第２位置Ｓｂとなるタイミングに設定する。

測定装置１の内部におけるセンサ４０の位置には、例えば、取付時に起因した誤差がある。また、複数の測定装置１に同じ信号を入力しても、測定装置１の個体差に起因して可動反射部２０の傾斜角度にはばらつきが生じる。このため、センサ４０の位置を正確に認識することは難しい。これに対して本変形例では、外部センサ１００を用いて可動反射部２０の傾斜角度を制御するための信号を設定している。このため、センサ４０の位置を精度よく検出でき、その結果、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを適切な位置に設定できる。

（変形例２）
可動反射部２０の振幅は、経時的に変化することがある。この場合、測定装置１の制御部３０は、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直す必要がある。本変形例では、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直す方法について、説明する。

図９は、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直す方法の第１例を示すフローチャートである。まず、制御部３０は、仮の第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂ（例えばその時点で設定されている第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂ）のそれぞれにおいて、照射器１０を発光させる（ステップＳ１０）。そして、第１位置Ｓａで照射器１０を発光させたときのセンサ４０の出力、及び第２位置Ｓｂで照射器１０を発光させたときのセンサ４０の出力のそれぞれを測定する（ステップＳ２０）。制御部３０は、２つの出力の双方が基準範囲内にある場合（ステップＳ３０：Ｙｅｓ）は、処理を終了する。

一方、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂの少なくとも一方が基準範囲から外れている場合は、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂのうち外れている方の位置を修正する（ステップＳ４０）。具体的には、第１位置Ｓａにおけるセンサ４０の出力が基準範囲より大きい場合、第１位置Ｓａを第２位置Ｓｂから離す。また、第１位置Ｓａにおけるセンサ４０の出力が基準範囲より小さい場合、第１位置Ｓａを第２位置Ｓｂに近づける。同様に、第２位置Ｓｂにおけるセンサ４０の出力が基準範囲より大きい場合、第２位置Ｓｂを第１位置Ｓａから離す。また、第２位置Ｓｂにおけるセンサ４０の出力が基準範囲より小さい場合、第２位置Ｓｂを第１位置Ｓａに近づける。その後、ステップＳ３０に示した処理を再び行う。

図１０は、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直す方法の第２例を示すフローチャートである。図１１は、図１０に示した方法を模式的に説明するための図である。まず、制御部３０は、仮の第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂ（例えばその時点で設定されている第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂ）のそれぞれにおいて、照射器１０を発光させる（ステップＳ１１０）。そして、第１位置Ｓａで照射器１０を発光させたときのセンサ４０の出力、及び第２位置Ｓｂで照射器１０を発光させたときのセンサ４０の出力のそれぞれを測定する（ステップＳ１２０）。

そして、差分が第２基準値以下の場合（ステップＳ１３０：Ｎｏ）、図１１（Ａ）に示すように、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂの双方がセンサ４０よりも測定範囲α２側に位置する可能性が高い。このため、制御部３０は、可動反射部２０の振幅を広げた（ステップＳ１４０）後、ステップＳ１２０に戻る。

一方、差分が基準値以上の場合（ステップＳ１３０：Ｙｅｓ）、図１１（Ｂ）に示すように、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂはセンサ４０を挟んでいる可能性が高い。そこで、図９のステップＳ２０～Ｓ４０と同様の処理を行う。具体的には、制御部３０は、２つの出力の双方が基準範囲内にある場合（ステップＳ１５０：Ｙｅｓ）は、処理を終了する。一方、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂの少なくとも一方が基準範囲から外れている場合は、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂのうち外れている方の位置を修正する（ステップＳ１６０）。この修正の具体例は、図９のステップＳ４０と同様である。その後、第１位置Ｓａで照射器１０を発光させたときのセンサ４０の出力、及び第２位置Ｓｂで照射器１０を発光させたときのセンサ４０の出力のそれぞれを測定し（ステップＳ１７０）、ステップＳ１５０に戻る。

以上、本変形例によれば、制御部３０は、可動反射部２０の振幅が経時的に変化しても、第１位置Ｓａ及び第２位置Ｓｂを設定し直すことができる。従って、制御部３０は、可動反射部２０の振幅を精度よく補正することができる。

以上、図面を参照して実施形態及び実施例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

この出願は、２０１８年２月２２日に出願された日本出願特願２０１８－０２９８２７号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

１測定装置
１０照射器
２０可動反射部
３０制御部
４０センサ
１００外部センサ

Claims

電磁波を照射する照射器と、
前記電磁波を反射する可動反射部と、
前記照射器及び前記可動反射部を制御することにより、前記電磁波を第１の方向に沿って移動させる制御部と、
前記電磁波を受信可能なセンサと、
を備え、
前記センサは、前記電磁波が前記第１の方向に移動する際に前記電磁波が通過する位置に配置されており、
前記制御部は、
前記第１の方向において前記センサの前に位置する第１位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第１検出値と、前記第１の方向において前記センサの後に位置する第２位置に前記電磁波を照射したときの前記センサの検出値である第２検出値と、を用いて、前記可動反射部の移動範囲を設定する、測定装置。