JP2022530669A - エッチング組成物 - Google Patents

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Abstract

本開示は、例えば、酸化コバルト副生成物を実質的に形成することなく、半導体基板からコバルト（Ｃｏ）を選択的に除去するために有用である、エッチング組成物に関する。

Description

関連出願の相互参照
本出願は、その全内容が参照により本明細書に組み込まれている、２０１９年５月１日に出願された米国特許仮出願第６２／８４１，３０５号の優先権を主張するものである。
本開示は、エッチング組成物及びエッチング組成物を使用する方法に関する。特に、本開示は、エッチングされた基板にパッシブ層を実質的に形成することなく、コバルト（Ｃｏ）を選択的にエッチングできるエッチング組成物に関する。
半導体産業では、マイクロ電子デバイス、シリコンチップ、液晶ディスプレイ、ＭＥＭＳ（マイクロ電気機械システム）、プリント配線板等における電子回路及び電子部品の寸法の減少並びに密度の上昇が急速に進んでいる。これらの中の集積回路は階層化又は積層され、各回路層間における絶縁層の厚さが減少し続け、フィーチャサイズ（ｆｅａｔｕｒｅ ｓｉｚｅｓ）はますます小さくなっている。前記フィーチャサイズが縮小するにつれ、パターンはより小さくなり、デバイスの性能パラメーターは、より厳しく堅固になってきた。その結果、従来は許容可能だった様々な問題が、前記フィーチャサイズの縮小によって、もはや許容できなくなるか、又はますます問題となってきた。
先進的な集積回路の製造において、密度の上昇に関連する問題を最小限に抑えるために、及び性能を最適化するために、高ｋ絶縁体及び低ｋ絶縁体の両方、並びに組み合わされたバリア層材料が用いられてきた。
コバルト（Ｃｏ）は、半導体デバイス、液晶ディスプレイ、ＭＥＭＳ（マイクロ電気機械システム）、プリント配線板等に用いられ、貴金属、アルミニウム（Ａｌ）及び銅（Ｃｕ）配線のグラウンド層並びにキャップ層として用いられる。半導体デバイスでは、これは、メタルコンタクト、インターコネクト、トレンチフィル又はキャップ層として用いられ得る。これらの用途のためのデバイスの構築では、Ｃｏをエッチングする必要がある場合が多い。Ｃｏの様々な種類の用途及びデバイス環境では、Ｃｏがエッチングされるのと同時に、他の層は接触しているか又は露出している。これらの他の材料（例えば、金属導電体、誘電体及びハードマーク（ｈａｒｄ ｍａｒｋｓ））の存在下におけるＣｏの高選択的なエッチングは、デバイス歩留まり及び長寿命にとって必須である。
本開示は、半導体デバイスにおいて酸化コバルト副生成物（例えば、（例えばＣｏ又はＣｏＯｘ層上の）パッシブなＣｏＯｘ水酸化物層、又は過剰量のＣｏＯｘ）を実質的に形成することなく、特定のエッチング組成物がＣｏを選択的にエッチングすることができ、これによって均一性が改善され、並びに残留ＣｏＯｘ水酸化物（ＣｏＯｘ-ＯＨ）を少量含むか残留ＣｏＯｘ水酸化物（ＣｏＯｘ-ＯＨ）を含まない、効率的なＣｏエッチングが可能になるという予測できない発見に基づくものである。
１つの態様では、本開示は、１）式（Ｉ）：Ｒ１－Ｏ－Ｎ－Ｒ２Ｒ３の化合物、式（Ｉ）においては、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のそれぞれが、独立に、Ｈ又はＣ１－Ｃ６のアルキルである；２）少なくとも１つの不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸；３）少なくとも１つのレベリング剤；及び４）水を含む、エッチング組成物を特徴とする。
他の態様では、本開示は、Ｃｏフィーチャを含む半導体基板を本開示に記載のエッチング組成物と接触させ、Ｃｏフィーチャの少なくとも一部を除去することを含む方法を特徴とする。
さらに他の態様では、本開示は、前記の方法によって形成される物品であることを特徴とし、前記物品は半導体デバイス（例えば、集積回路）である。
本開示で定義するように、特に断りのない限り、表されるすべてのパーセントは、組成物の総重量に対する重量パーセントであるとして理解されるべきである。特に断りのない限り、周囲温度は摂氏約１６度から約２７度（℃）の間であると定義される。
本開示で定義するように、「水溶性」物質（例えば、水溶性アルコール、ケトン、エステル、エーテル等）は、２５℃の水中において少なくとも０．５重量％（例えば、少なくとも１重量％又は少なくとも５重量％）の溶解度を有する物質を意味する。
本開示において、互変異性化とは、一重及び隣接する二重結合のスイッチを伴う水素原子又はプロトンの形式的な移動として定義される。トリアゾール化合物の記載、説明又は請求項は、トリアゾール環系における互変異性化のための活性化エネルギーが低いことから、トリアゾール化合物の互変異性体をも含む。
一般に、本開示は、１）式（Ｉ）：Ｒ１－Ｏ－Ｎ－Ｒ２Ｒ３の化合物、式（Ｉ）においては、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のそれぞれが、独立に、Ｈ又はＣ１－Ｃ６のアルキルである；２）少なくとも１つの不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸；３）少なくとも１つのレベリング剤；及び４）水を含む（例えば、を含む（Comprises）、から実質的に構成される（consists essentially of）、あるいは、から構成される（consists of））、エッチング組成物（例えば、Ｃｏを選択的に除去又はエッチングするためのエッチング組成物）を特徴とする。
本開示のエッチング組成物は、少なくとも１つ（例えば、２つ、３つ、又は４つ）の式（Ｉ）：Ｒ１－Ｏ－Ｎ－Ｒ２Ｒ３の化合物を含むことができ、式（Ｉ）においては、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のそれぞれは、独立に、Ｈ又はＣ１－Ｃ６のアルキル（例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ－ブチル、又はｔ－ブチル）である。好適な式（Ｉ）の化合物の例としては、ヒドロキシルアミン、Ｎ－ｔｅｒｔ－ブチル－ヒドロキシルアミン、及びＮ，Ｏ－ジメチルヒドロキシルアミンが挙げられる。
いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つの式（Ｉ）の化合物は、エッチング組成物の総重量の、少なくとも約０．０１重量％（例えば、少なくとも約０．０５重量％、少なくとも約０．１重量％、少なくとも約０．２重量％、少なくとも約０．３重量％、少なくとも約０．４重量％、少なくとも約０．５重量％、少なくとも約０．６重量％、少なくとも約０．７重量％、少なくとも約０．８重量％、少なくとも約０．９重量％、又は少なくとも約１重量％）から、最大で約１０重量％（例えば、最大で約８重量％、最大で約６重量％、最大で約５重量％、最大で約４重量％、最大で約２重量％、最大で約１重量％、又は最大で約０．８重量％）であることができる。理論に拘束されることを望まないが、前記式（Ｉ）の化合物は、エッチングプロセスの間にＣｏと中間体を形成し、半導体基板上のＣｏの除去を促進及び向上することができると考えられる。
一般に、本開示のエッチング組成物は、少なくとも１つ（例えば、２つ、３つ、又は４つ）の不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸を含むことができる。いくつかの実施形態では、前記不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸は、１つ又は複数（例えば、２つ、又は３つ）の炭素－炭素二重結合又は炭素－炭素三重結合、及び／又は、１つ又は複数（例えば、２つ、又は３つ）のカルボン酸基を含むことができる。いくつかの実施形態では、前記不飽和カルボン酸は、非芳香族及び／又は非環状（例えば、環構造を有さない）であることができる。いくつかの実施形態では、前記不飽和カルボン酸は、カルボキシル基中の酸素原子に加えて、１つ又は複数のヘテロ原子（例えば、Ｎ，Ｏ，又はＳ）を含むことができる。いくつかの実施形態では、前記不飽和カルボン酸は、式（ＩＩ）：Ｒ－（ＣＯＯＨ）ｎの酸であることができ、式（ＩＩ）において、ｎは１、２、又は３、並びにＲはＣ２－Ｃ１１のアルケニル又はＣ２－Ｃ１１のアルキニルであり、前記アルケニル又はアルキニルは、Ｃ１－Ｃ４のアルキル、アリール（例えば、フェニル）、又はヘテロアリール（例えば、フリル）で任意に置換されている。例えば、前記不飽和カルボン酸は、アクリル酸、クロトン酸、２－ペンテン酸、ｔｒａｎｓ－２－ヘキセン酸、フマル酸、１０－ウンデセン酸、２－メチル－２－ペンテン酸、２－ペンテン酸、２－メチル－４－ペンテン酸、２－オクテン酸、及び３－（２－フリル）アクリル酸を含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つの不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸は、エッチング組成物の総重量の、少なくとも約０．０１重量％（例えば、少なくとも約０．０２重量％、少なくとも約０．０５重量％、少なくとも約０．１重量％、少なくとも約０．２重量％、又は少なくとも約０．５重量％）から、最大で約３重量％（例えば、最大で約２．５重量％、最大で約２重量％、最大で約１．５重量％、最大で約１重量％、最大で約０．８重量％、又は最大で約０．５重量％）であることができる。理論に拘束されることを望まないが、前記不飽和カルボン酸は、ＣｏＯｘ層上における二次的なパッシブＣｏＯｘ水酸化物層の形成、あるいは半導体基板における過剰量のＣｏＯｘの形成を低減又は防止することができると考えられる。
いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、少なくとも１つのレベリング剤を含むことができる。本開示で使用されるように、「レベリング剤」の用語は、実質的に平面の金属層を提供できる有機化合物を意味する。いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つのレベリング剤は、例えば、含硫黄ポリマー又は含窒素ポリマー等のポリマーを含むことができる。レベリング剤の例としては、ポリ（４－スチレンスルホン酸）、ポリエチレンイミン、ポリグリシン、ポリ（アリルアミン）、ポリアニリン、スルホン化ポリアニリン、ポリウレア、ポリアクリルアミド、ポリ（メラミン－ｃо－ホルムアルデヒド）、ポリアミノアミド、又はポリアルカノールアミンが挙げられる。
いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つのレベリング剤は、エッチング組成物の総重量の、少なくとも約０．０１重量％（例えば、少なくとも約０．０２重量％、少なくとも約０．０５重量％、少なくとも約０．１重量％、少なくとも約０．２重量％、又は少なくとも約０．５重量％）から、最大で約３重量％（例えば、最大で約２．５重量％、最大で約２重量％、最大で約１．５重量％、最大で約１重量％、最大で約０．８重量％、又は最大で約０．５重量％）であることができる。理論に拘束されることを望まないが、前記レベリング剤は、半導体基板上に実質的に平面の金属層を形成することができると考えられる。
一般に、本開示のエッチング組成物は、溶媒として水を含むことができる。いくつかの実施形態では、前記水は、脱イオン水及び超純水であることができ、有機汚染物質を含まず、約４～約７メガオーム又は少なくとも約１７メガオームの最小低効率を有することができる。いくつかの実施形態では、前記水は、エッチング組成物の、少なくとも約５０重量％（例えば、少なくとも約５０重量％、少なくとも約５５重量％、少なくとも約６５重量％、少なくとも約７０重量％、少なくとも約７５重量％、少なくとも約８０重量％、少なくとも約８５重量％、少なくとも約９０重量％、又は少なくとも約９５重量％）から、最大で約９９重量％（例えば、最大で約９８重量％、最大で約９７重量％、最大で約９５重量％、最大で約９０重量％、最大で約８５重量％、最大で約８０重量％、最大で約７５重量％、又は最大で約７０重量％）の量であることができる。理論に拘束されることを望まないが、水の量が組成物の９９重量％より多い場合、Ｃｏエッチング速度に悪影響を与え、エッチングプロセスでのＣｏ除去を低減すると考えられる。一方で、理論に拘束されることを望まないが、本開示のエッチング組成物は、他のすべての成分の可溶化を維持し、エッチング性能の低減を避けるために、一定レベルの水（例えば、少なくとも約５０重量％）を含むべきであると考えられる。
いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、少なくとも１つ（例えば、２つ、３つ、又は４つ）のＣｏエッチング促進剤を任意にさらに含むことができる。前記Ｃｏエッチング促進剤は、カルボン酸又はアミノ酸（例えば、モノ－、バイ－、トリ－、及びポリカルボン酸基を含むもの）からなる群から選択することができる。いくつかの実施形態では、前記Ｃｏエッチング促進剤は、水溶性カルボン酸又は水溶性アミノ酸を含むことができる。好適なＣｏエッチング促進剤の例としては、クエン酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、グリシン、グリコール酸、マロン酸、乳酸、及びジエチレントリアミンペンタ酢酸を挙げることができる。
いくつかの実施形態では、前記Ｃｏエッチング促進剤は、エッチング組成物の、少なくとも約０．０１重量％（例えば、少なくとも約０．０２重量％、少なくとも約０．０５重量％、少なくとも約０．１重量％、少なくとも約０．２重量％、又は少なくとも約０．５重量％）から、最大で約３重量％（例えば、最大で約２．５重量％、最大で約２重量％、最大で約１．５重量％、最大で約１重量％、最大で約０．８重量％、又は最大で約０．５重量％）の量である。理論に拘束されることを望まないが、前記Ｃｏエッチング促進剤は、半導体基板からのＣｏのエッチング又は除去を促進できると考えられる。
いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、少なくとも１つ（例えば、２つ、３つ、又は４つ）の有機溶媒を任意にさらに含むことができる。前記有機溶媒は、水溶性アルコール、水溶性ケトン、水溶性エステル、及び水溶性エーテルからなる群から選択することができる。
水溶性アルコール類には、アルカンジオール（アルキレングリコールを含むが、これには限定されない）、グリコール、アルコキシアルコール（グリコールモノエーテルを含むが、これには限定されない）、飽和脂肪族一価アルコール、不飽和非芳香族一価アルコール、及び環構造を有する低分子量アルコールが含まれるが、これらには限定されない。
水溶性アルカンジオールの例としては、２－メチル－１，３－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、２，２－ジメチル－１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、１，２－ブタンジオール、２，３－ブタンジオール、ピナコール、及びアルキレングリコールが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性アルキレングリコールの例としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、及びテトラエチレングリコールが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性アルコキシアルコールの例としては、３－メトキシ―３－メチル―１－ブタノール、３－メトキシ―１－ブタノール、１－メトキシ―２－ブタノール、及び水溶性グリコールモノエーテルが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性グリコールモノエーテルの例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ－プロピルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノｎ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、１－メトキシ―２－プロパノール、２－メトキシ－１－プロパノール、１－エトキシ－２－プロパノール、２－エトキシ―１－プロパノール、プロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ－ｎ－プロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル、及びジエチレングリコールモノベンジルエーテルが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性飽和脂肪族一価アルコールの例としては、メタノール、エタノール、ｎ－プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、１－ブタノール、２－ブタノール、イソブチルアルコール、ｔｅｒｔ－ブチルアルコール、２‐ペンタノール、ｔ－ペンチルアルコール、及び１－ヘキサノールが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性不飽和非芳香族一価アルコールの例としては、アリルアルコール、プロパルギルアルコール、２‐ブテニルアルコール、３－ブテニルアルコール、及び４－ペンテン－２－オールが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性の環構造を有する低分子量アルコールの例としては、テトラヒドロフルフリルアルコール、フルフリルアルコール、及び１，３－シクロペンタンジオールが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性ケトンの例としては、アセトン、プロパノン、シクロブタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、２－ブタノン、５－ヘキサンジオン、１，４－シクロヘキサンジオン、３－ヒドロキシアセトフェノン、１，３－シクロヘキサンジオン、及びシクロヘキサノンが挙げられるが、これらには限定されない。
水溶性エステルの例としては、酢酸エチル、グリコールモノエステル（例えば、エチレングリコールモノアセテート、及びジエチレングリコールモノアセテート）、及びグルコールモノエーテルモノエステル（例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、及びエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート）が挙げられるが、これらには限定されない。
いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つの有機溶媒は、エッチング組成物の総重量の、少なくとも約０．５重量％（例えば、少なくとも約１重量％、少なくとも約２重量％、少なくとも約４重量％、少なくとも約５重量％、少なくとも約６重量％、少なくとも約８重量％、又は少なくとも約１０重量％）から、最大で約３０重量％（例えば、最大で約２５重量％、最大で約２０重量％、最大で約１８重量％、最大で約１６重量％、最大で約１５重量％、最大で約１４重量％、最大で約１２重量％、又は最大で約１０重量％）であることができる。
いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、例えば、酸又は塩基である、少なくとも１つ（例えば、２つ、３つ、又は４つ）のｐＨ調整剤を任意にさらに含むことができる。いくつかの実施形態では、前記ｐＨ調整剤は、金属イオンを含まない塩基であることができる。好適な、金属イオンを含まない塩基には、第四級アンモニウム水酸化物（例えば、ＴＭＡＨ等のテトラアルキルアンモニウム水酸化物）、アンモニウム水酸化物、アミン（アルカノールアミンを含む）、アミジン（例えば、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセン（ＤＢＵ）、及び１，５－ジアザビシクロ［４．３．０］－５－ノネン（ＤＢＮ））、及びグアニジン塩（例えば、炭酸グアニジン）が含まれる。いくつかの実施形態では、前記塩基は、第四級アンモニウム水酸化物（例えば、ＴＭＡＨ等のテトラアルキルアンモニウム水酸化物）ではない。
いくつかの実施形態では、前記ｐＨ調整剤は、スルホン酸（例えば、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、及びｐ－トルエンスルホン酸）等の有機酸であることができる。
いくつかの実施形態では、ｐＨ調整剤が有機酸である場合、前記有機酸は前述の不飽和カルボン酸、あるいは１つ又は複数（例えば、２つ、３つ、又は４つ）のカルボキシル基を含む飽和カルボン酸（例えば、クエン酸、シュウ酸、又は酢酸）ではない。いくつかの実施形態では、ｐＨ調整剤は、ハロゲン化水素ではない。
一般に、本開示のエッチング組成物におけるｐＨ調整剤は、エッチング組成物のｐＨを所望の値に調整するのに十分な量であることができる。いくつかの実施形態では、前記ｐＨ調整剤は、エッチング組成物の総重量の、少なくとも約０．０１重量％（例えば、少なくとも約０．０５重量％、少なくとも約０．１重量％、少なくとも約０．５重量％、少なくとも約１重量％、又は少なくとも約２重量％）から、最大で約６重量％（例えば、最大で約５．５重量％、最大で約５重量％、最大で約４重量％、最大で約３重量％、最大で約２重量％、又は最大で約１重量％）であることができる。
いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、少なくとも約０（例えば、少なくとも約０．２、少なくとも約０．４、少なくとも約０．５、少なくとも約０．６、少なくとも約０．８、少なくとも約１、少なくとも約１．５、少なくとも約２、少なくとも約２．５、又は少なくとも約３）、及び／又は最大で約７（例えば、最大で約６．５、最大で約６、最大で約５．５、最大で約５、最大で約４．５、最大で約４、最大で約３．５、又は最大で約３）のｐＨを有することができる。理論に拘束されることを望まないが、７より高いｐＨを有するエッチング組成物は、十分なＣｏエッチング速度を有さないと考えられる。さらに、０より低いｐＨを有するエッチング組成物では、過剰なＣｏエッチングが引き起こされ、組成物中の特定の成分（例えば、金属腐食防止剤）の働きが阻害され、あるいは強力な酸性により組成物中の特定の成分が分解されると考えられる。
加えて、いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、任意成分として、追加の腐食防止剤、界面活性剤、追加の有機溶媒、殺生物剤、及び消泡剤等の添加物を含んでもよい。好適な消泡剤の例としては、ポリシロキサン消泡剤（例えば、ポリジメチルシロキサン）、ポリエチレングリコールメチルエーテルポリマー、エチレンオキシド／プロピレンオキシド共重合体、及びグリシジルエーテルでキャップされたアセチレンジオールエトキシレート（例えば、参照により本開示に取り込まれる米国特許第６，７１７，０１９号に記載されたもの）が挙げられる。好適な界面活性剤の例としては、カチオン性、アニオン性、非イオン性、又は両性であってもよい。
例えば、本開示のエッチング組成物は、少なくとも１つ（例えば、２つ、３つ、又は４つ）の金属腐食防止剤を含むことができる。腐食防止剤の例としては、トリアゾール化合物、イミダゾール化合物、及びテトラゾール化合物等の置換又は非置換のアゾール化合物が挙げられる。トリアゾール化合物は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、置換トリアゾール、及び置換ベンゾトリアゾールを含むことができる。トリアゾール化合物の例としては、１，２，４－トリアゾール、１，２，３－トリアゾール、あるいはＣ１－Ｃ８アルキル基（例えば、５－メチルトリアゾール）、アミノ基、チオール基、メルカプト基、イミノ基、カルボキシ基、及びニトロ基等の置換基で置換されたトリアゾールが挙げられるが、これらには限定されない。具体例としては、トリルトリアゾール、５－メチル－１，２，４－トリアゾール、３－アミノ－５－メルカプト－１，２，４－トリアゾール、１－アミノ－１，２，４－トリアゾール、１－アミノ－１，２，３－トリアゾール、１－アミノ－５－メチル－１，２，３－トリアゾール、３－アミノ－１，２，４－トリアゾール、３－メルカプト－１，２，４－トリアゾール、３－イソプロピル－１，２，４－トリアゾール等が挙げられる。
いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つの金属腐食防止剤は、アルキル基、アリール基、ハロゲン基、アミノ基、ニトロ基、アルコキシ基、及びヒドロキシル基からなる群から選択される少なくとも１つの置換基で任意に置換されたベンゾトリアゾールを含むことができる。例としては、ベンゾトリアゾール、５－アミノベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール（例えば、１－ヒドロキシベンゾトリアゾール）、５‐フェニルチオール－ベンゾトリアゾール、ハロ－ベンゾトリアゾール（ハロ＝Ｆ，Ｃｌ，Ｂｒ，又はＩ）（例えば、５‐クロロベンゾトリアゾール、４－クロロベンゾトリアゾール、５－ブロモベンゾトリアゾール、４－ブロモベンゾトリアゾール、５－フルオロベンゾトリアゾール、及び４－フルオロベンゾトリアゾール）、ナフトトリアゾール、トリルトリアゾール、５－フェニル－ベンゾトリアゾール、５－ニトロベンゾトリアゾール、４－ニトロベンゾトリアゾール、３－アミノ－５－メルカプト－１，２，４－トリアゾール、２－（５－アミノ－ペンチル）－ベンゾトリアゾール、１－アミノ－ベンゾトリアゾール、５－メチル－１Ｈ－ベンゾトリアゾール、ベンゾトリアゾール－５－カルボン酸、４－メチルベンゾトリアゾール、４－エチルベンゾトリアゾール、５－エチルベンゾトリアゾール、４－プロピルベンゾトリアゾール、５－プロピルベンゾトリアゾール、４－イソプロピルベンゾトリアゾール、５－イソプロピルベンゾトリアゾール、４－ｎ－ブチルベンゾトリアゾール、５－ｎ－ブチルベンゾトリアゾール、４－イソブチルベンゾトリアゾール、５－イソブチルベンゾトリアゾール、４－ペンチルベンゾトリアゾール、５－ペンチルベンゾトリアゾール、４－ヘキシルベンゾトリアゾール、５－ヘキシルベンゾトリアゾール、５－メトキシベンゾトリアゾール、５－ヒドロキシベンゾトリアゾール、ジヒドロキシプロピルベンゾトリアゾール、１－［Ｎ，Ｎ－ビス（２－エチルヘキシル）アミノメチル］－ベンゾトリアゾール、５－ｔ－ブチルベンゾトリアゾール、５－（１’、１’－ジメチルプロピル）－ベンゾトリアゾール、５‐（１’、１’、３’－トリメチルブチル）ベンゾトリアゾール、５－ｎ－オクチルベンゾトリアゾール、及び５－（１’、１’、３’、３’－テトラメチルブチル）ベンゾトリアゾールが挙げられる。
イミダゾール化合物の例としては、２－アルキル－４－メチルイミダゾール、２‐フェニル－４－アルキルイミダゾール、２－メチル－４（５）－ニトロイミダゾール、５－メチル－４－ニトロイミダゾール、４－イミダゾールメタノールハイドロクロライド、及び２－メルカプト－１－メチルイミダゾール等が挙げられるが、これらには限定されない。
テトラゾール化合物の例としては、１－Ｈ－テトラゾール、５－メチル－１Ｈ－テトラゾール、５－フェニル－１Ｈ－テトラゾール、５－アミノ－１Ｈ－テトラゾール、１－フェニル－５－メルカプト－１Ｈ－テトラゾール、５，５’－ビス－１Ｈ－テトラゾール、１－メチル－５－エチルテトラゾール、１－メチル－５－メルカプトテトラゾール、１－カルボキシメチル－５－メルカプトテトラゾール等が挙げられる。
いくつかの実施形態では、前記少なくとも１つの金属腐食防止剤は、エッチング組成物の総重量の、少なくとも約５０ｐｐｍ又は約０．００５重量％（例えば、少なくとも約０．０１重量％、少なくとも約０．０２重量％、少なくとも約０．０５重量％、少なくとも約０．１重量％、少なくとも約０．２重量％、又は少なくとも約０．５重量％）から、最大で約３重量％（例えば、最大で約２．５重量％、最大で約２重量％、最大で約１．５重量％、最大で約１重量％、最大で約０．８重量％、又は最大で約０．５重量％）であることができる。
一般に、本開示のエッチング組成物は、比較的高いＣｏ／誘電体材料（例えば、ＳｉＮ、ポリシリコン、高ｋ誘電体、ＡｌＯｘ，ＳｉＯｘ，又はＳｉＣＯ）エッチング選択率（つまり、誘電体材料のエッチング速度に対するＣｏエッチング速度の高い比）を有することができる。いくつかの実施形態では、エッチング組成物は、少なくとも約２（例えば、少なくとも約３、少なくとも約４、少なくとも約５、少なくとも約６、少なくとも約７、少なくとも約８、少なくとも約９、少なくとも約１０、少なくとも約１５、少なくとも約２０、少なくとも約３０、少なくとも約４０、又は少なくとも約５０）、及び／又は最大で約５００（例えば、最大で約１００）のＣｏ／誘電体材料のエッチング選択率を有することができる。
いくつかの実施形態では、本開示のエッチング組成物は、１つ又は複数の添加剤成分を、複数の場合は任意の組み合わせで、特に除外してもよい。このような成分は、有機溶媒、ｐＨ調整剤、ポリマー（例えば、カチオン性ポリマー、又はアニオン性ポリマー）、脱酸素剤、第四級アンモニウム塩（第四級アンモニウム水酸化物を含む）、アミン、アルカリ性塩基（例えば、ＮａＯＨ、ＫＯＨ、及びＬｉＯＨ）、消泡剤以外の界面活性剤、消泡剤、含フッ素化合物、酸化剤（例えば、過酸化物、過酸化水素、無機酸化剤（例えば、硝酸鉄、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、及び硝酸）、亜塩素酸アンモニウム、塩素酸アンモニウム、ヨウ素酸アンモニウム、過ホウ酸アンモニウム、過塩素酸アンモニウム、過ヨウ素酸アンモニウム、過硫酸アンモニウム、亜塩素酸テトラメチルアンモニウム、塩素酸テトラメチルアンモニウム、ヨウ素酸テトラメチルアンモニウム、過ホウ酸テトラメチルアンモニウム、過塩素酸テトラメチルアンモニウム、過ヨウ素酸テトラメチルアンモニウム、過硫酸テトラメチルアンモニウム、過酸化尿素水素、及び過酸（例えば、過酢酸））、研磨剤（例えば、カチオン性研磨、又はアニオン性研磨剤）、ケイ酸塩、ヒドロキシカルボン酸（例えば、２つより多いヒドロキシル基を含むもの）、カルボン酸及びポリカルボン酸（例えば、アミノ基を含むもの、又は含まないもの）、シラン（例えば、アルコキシシラン）、環状化合物（例えば、アゾール（ジアゾール、トリアゾール、又はテトラゾール等）、トリアジン、及び置換又は非置換のナフタレンあるいは置換又は非置換のビフェニルエーテル等の少なくとも２つの環を含む環状化合物）、緩衝剤、非アゾール系腐食防止剤、アゾール（例えば、ジアゾール、トリアゾール、又はテトラゾール）、及び塩（例えば、硫酸塩、スルホン酸塩、ハロゲン化物塩（例えば、塩化物塩）、硝酸塩、酢酸塩、リン酸塩、並びに、金属ハロゲン化物、カリウム塩（例えば、硝酸カリウム、ナトリウム塩、及び銀塩等の金属塩）からなる群から選択される。
本開示のエッチング組成物は、成分を単に混合することによって調製することができ、又はキット内で２つの組成物を調合することによって調製することができる。キット内の第一組成物は、１つ又は複数の前記成分を含む水溶液であることができる。キット内の第二組成物は、２つの組成物の調合によって本開示の所望のエッチング組成物が得られるように、本開示のエッチング組成物の残りの成分を濃縮形態における所定の比で含むことができる。
いくつかの実施形態では、本開示は、少なくとも１つのＣｏフィーチャ（例えば、Ｃｏ膜又はＣｏ層）を含む半導体基板をエッチングし、Ｃｏフィーチャの少なくとも一部を除去する方法を特徴とする。いくつかの実施形態では、前記Ｃｏフィーチャは、Ｃｏ充填ビア又はＣｏ充填トレンチであることができる。いくつかの実施形態では、前記方法は、少なくとも約１０％（例えば、少なくとも約２０％、少なくとも約３０％、少なくとも約４０％、少なくとも約５０％、少なくとも約６０％、少なくとも約７０％、少なくとも約８０％、少なくとも約９０％、又は１００％）のＣｏフィーチャ（例えば、ビア又はトレンチに充填したＣｏ）を除去できる。
いくつかの実施形態では、前記方法は、前記少なくとも１つのＣｏフィーチャを含む半導体基板を本開示のエッチング組成物と接触させ、前記Ｃｏフィーチャの少なくとも一部を除去することを含むことができる。前記方法は、前記接触工程の後、リンス溶媒で前記半導体基板をリンスすること、及び／又は、前記リンス工程の後、前記半導体基板を乾燥することをさらに含むことができる。
いくつかの実施形態では、本開示に記載された前記方法の利点は、前記エッチング組成物に曝される半導体基板におけるＣｏＯｘ層上にコバルト水酸化物（ＣｏＯｘ水酸化物、又はＣｏＯｘ－ＯＨ）層を実質的に形成しないことである。例えば、前記方法は、約５Å超（例えば、約３Å超、又は約１Å超）のＣｏＯｘ水酸化物層を半導体基板上に形成しない。理論に拘束されることを望まないが、前記ＣｏＯｘ－ＯＨ層は、暗色であることができ、不均一なエッチングを引き起こす可能性がある様々な厚さの不均一多孔性酸化物であることができると考えられる。したがって、このような二次酸化物層は、通常のＣｏ／ＣｏＯ金属表面において一般に望ましくない。
いくつかの実施形態では、本開示に記載された前記方法の他の利点は、前記方法により、Ｃｏを選択的に均一に除去すること、及び／又は、目的とする深さ又は厚さにまでＣｏをエッチングすることが可能になることを含む。いくつかの実施形態では、前記方法は、エッチング後に粗さのないＣｏ表面を提供することができる。
いくつかの実施形態では、前記エッチング方法は：
（Ａ）Ｃｏフィーチャを含む半導体基板を提供する工程；
（Ｂ）前記半導体基板を本開示に記載のエッチング組成物と接触させる工程；
（Ｃ）前記半導体基板を１つ又は複数の好適なリンス溶媒でリンスする工程；並びに
（Ｄ）任意に、前記半導体基板を乾燥する工程（例えば、前記リンス溶媒を除去し、前記半導体基板の完全性を損なわない、好適ないずれかの手段による）、
を含む。
本開示に記載の半導体基板（例えば、ウェハ）は、典型的には、シリコン、シリコンゲルマニウム、ＧａＡｓ等の第ＩＩＩ族－Ｖ族化合物、又はこれらのいずれかの組み合わせから構築される。前記半導体基板は、相互接続フィーチャ（例えば、金属線及び誘電体材料）等の露出した集積回路構造を追加で含んでもよい。相互接続フィーチャに用いられる金属及び金属合金としては、アルミニウム、銅との合金化アルミニウム、銅、チタン、タンタル、コバルト、シリコン、窒化チタン、窒化タンタル、及びタングステンが挙げられるが、これらには限定されない。前記半導体基板は、層間誘電体、ポリシリコン、酸化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、酸化チタン、及び炭素ドープ酸化ケイ素の層を含んでもよい。
半導体基板と前記エッチング組成物との接触は、いかなる適切な方法で行われてもよく、例えば、前記エッチング組成物をタンクに入れ、前記エッチング組成物中に前記半導体基板を浸漬させること及び／又は沈めること、前記エッチング組成物を前記半導体基板上にスプレーすること、前記エッチング組成物を前記半導体基板上に流すこと、あるいはこれらのいずれかの組み合わせ等である。
本開示のエッチング組成物は、約８５℃までの温度（例えば、約２０℃から約８０℃まで、約５５℃から約６５℃まで、又は約６０℃から約６５℃まで）で効果的に用いられることができる。Ｃｏのエッチング速度は、この範囲内で温度と共に増加し、したがって、より高い温度での前記プロセスは、より短い時間で行われることができる。逆に、より低い温度でのエッチングは、典型的には、より長いエッチング時間を必要とする。
エッチング時間は、特定のエッチング法、厚さ、及び用いられる温度に応じて、広範囲にわたって様々であることができる。浸漬バッチタイプのプロセスでエッチングを行う場合、好適な時間範囲は、例えば、最大で約１０分間（例えば、約１分間から約７分間、約１分間から約５分間、又は約２分間から約４分間）である。単一ウェハプロセスのエッチング時間は、約３０秒間から約５分間（例えば、約３０秒間から約４分間、約１分間から約３分間、又は約１分間から約２分間）の範囲であることができる。サイクルプロセス（例えば、ウェハをエッチングし、リンスし、及び乾燥することを最大１６サイクル）におけるエッチング時間は、１サイクル当たり約１０秒間から約２分間の範囲であることができる。
本開示のエッチング組成物のエッチング能力をさらに向上させるために、機械的撹拌手段を用いることができる。好適な撹拌手段の例としては、前記基板上での前記エッチング組成物の循環、前記基板上での前記エッチング組成物の流動又はスプレー、並びに前記エッチングプロセス中における超音波撹拌又はメガソニック撹拌が挙げられる。地表面に対する前記半導体基板の配向は、いかなる角度であってもよい。水平又は垂直配向が好ましい。
前記エッチングに続いて、前記半導体基板を、好適なリンス溶媒により、撹拌手段を用いて、又は用いずに、約５秒間から最大で約５分間にわたってリンスすることができる。様々なリンス溶媒を用いる複数のリンス工程を用いることができる。好適なリンス溶媒の例としては、脱イオン（ＤＩ）水、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、Ｎ－メチルピロリドン、ガンマ－ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド、乳酸エチル、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられるが、これらには限定されない。代わりに、又は追加として、ｐＨ＞８の水性リンス剤（例えば、希釈水酸化アンモニウム水溶液等）を用いることができる。リンス溶媒の例としては、希釈水酸化アンモニウム水溶液、ＤＩ水、メタノール、エタノール、及びイソプロピルアルコールが挙げられるが、これらには限定されない。前記リンス溶媒は、本開示に記載のエッチング組成物の付与に用いられる手段に類似の手段を用いて付与することができる。前記エッチング組成物は、前記リンス工程の開始前に前記半導体基板から除去してもよく、あるいは前記リンス工程の開始時に依然として前記半導体基板と接触していてもよい。いくつかの実施形態では、前記リンス工程で用いられる温度は、１６℃と２７℃との間である。
任意に、前記半導体基板は、前記リンス工程の後に乾燥される。本技術分野で公知であるいかなる適切な乾燥手段が用いられてもよい。好適な乾燥手段の例としては、スピン乾燥、前記半導体基板にわたる乾燥ガスの流動、ホットプレート又は赤外線ランプ等の加熱手段を用いた前記半導体基板の加熱、マランゴニ乾燥、ロタゴニ乾燥、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）乾燥、あるいはこれらのいずれかの組み合わせが挙げられる。乾燥時間は、用いられる具体的な方法に応じて異なるが、典型的には、３０秒間から最大で数分間のオーダーである。
いくつかの実施形態では、本開示に記載のエッチング方法は、前述した方法によって得られる前記半導体基板から半導体デバイス（例えば、半導体チップ等の集積回路デバイス）を形成することをさらに含む。
本開示は、以下の例を参照してより詳細に説明されるが、これらは説明のためのものであり、本開示の範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
列挙したパーセントはいずれも、特に断りのない限り、重量基準（重量％）である。試験では、特に断りのない限り、１／２インチの撹拌バーによる３２５ｒｐｍでの制御撹拌を行った。
一般手順１
配合物の調合
エッチング組成物のサンプルを、算出した量の溶媒に配合物の残りの成分を撹拌しながら添加することによって調製した。均一な溶液が得られた後、任意の添加剤を用いる場合は、添加した。
一般手順２
材料及び方法
ブランケット試験片（Ｂｌａｎｋｅｔ ｔｅｓｔ ｃｏｕｐｏｎｓ）は、一般手順３に記載の手順に従って、一般手順１により調製した試験溶液においてエッチング及び材料適合性を評価した。
膜におけるブランケット膜エッチング速度の測定は、市販の未パターン化２００ｍｍ径ウェハを評価のための１．０×１．０インチの試験片にダイシングしたものを用いて行った。試験に用いた前記ブランケット膜材料は、シリコン基板上に堆積された厚さ約２０００ÅのＣｏ膜であった。
前記ブランケット膜試験片は、処理前及び処理後の厚さについて測定し、ブランケット膜のエッチング速度を特定した。前記Ｃｏ膜の厚さは、ＣＤＥ ＲＥＳＭＡＰ４点プローブを用いて、処理前及び処理後に測定した。
前記ＣｏＯｘ－ＯＨ層は、Ｗｏｏｌａｍエリプソメーターを用いて、以下のように測定した。まず、固有のＣｏＯｘ層を有するＣｏ膜を、数種類の前洗浄したＣｏ膜を用いてエリプリメトリモデルに基づき測定し、厚さ約１０Åを有するＣｏＯｘ層が不透明なＣｏ金属層上にのみ検出されることを確認した。次に、前記１０ÅのＣｏＯｘ層における前記ＣｏＯｘ－ＯＨ層の厚さを測定するためのリプリメトリモデルを確立するため、前記ＣｏＯｘ層を第一層として用いた。前記ＣｏＯｘ層及び前記ＣｏＯｘ－ＯＨ層の存在は、ＸＰＳで確認した。
一般手順３
ビーカー試験によるエッチング評価
全てのブランケット膜エッチング試験は、１００ｇのサンプル溶液を入れた１２５ｍＬのＰＴＦＥボトルを６００ｍＬガラスビーカー水浴に入れ、３２５ｒｐｍで連続的に撹拌しながら５０℃で行い、蒸発による損失を最小限に抑えるために加熱中はＰＴＦＥボトルキャップシールを使用した。１つの側が前記サンプル溶液に曝されたブランケット誘電体膜を有するブランケット試験片はすべて、ダイヤモンドスクライバによって、ビーカースケール試験用の０．５×０．５インチの正方形試験片サイズにダイシングした。個々の試験片は、各々、長さ４インチのプラスチック製ロッキングピンセットクリップ（ｌｏｃｋｉｎｇ ｐｌａｓｔｉｃ ｔｗｅｅｚｅｒｓ ｃｌｉｐ）を一つ用いて所定の位置に固定した。一方のエッジ部を前記ロッキングピンセットクリップで固定した前記試験片を、１２５ｍＬのＰＴＦＥボトル中に吊り下げ、１００ｇのサンプル溶液中に浸漬し、同時に、前記溶液を、５０℃において３２５ｒｐｍで連続撹拌した。前記ＰＴＦＥボトルは、試験片処理時間の短い間のみ大気に開放し、加熱又は処理時間の遅延のいずれの間も前記ボトルキャップで再度封をした。
前記試験片は、処理時間（例えば、２分から１０分）が経過するまで、静止状態の前記クリップを用いて、各々の試験について全く同じ位置で撹拌溶液中に固定した。前記試験溶液における処理時間が経過した後、前記試験片を１２５ｍＬのＰＴＦＥボトルから直ちに取り出し、ＤＩ水で１０秒間のリンスを２回行った。最後のＤＩリンス工程の後、すべての試験片に対して、手持ち型の窒素ガスブロワーを使用して、フィルターした窒素ガスによるブローオフ工程を行い、これによって、微量に残ったＤＩ水がすべて強制的に除去され、試験測定用の最終乾燥サンプルを得た。
例１
配合物例１～９（ＦＥ－１～ＦＥ－９）及び比較配合物例１（ＣＦＥ－１）は、一般手順１に従って作製し、一般手順２及び３に従って評価した。前記配合物及び試験結果を表１にまとめる。
Figure 2022530669000001
表１に示すように、配合物ＦＥ－１、ＦＥ－２、ＦＥ－５、ＦＥ－８及びＦＥ－９は、比較的高いＣｏエッチング速度を示し、前記Ｃｏ金属膜上で鏡面を生じ、並びにパッシブＣｏＯｘ－ＯＨ層にならなかった。対照的に、配合物ＣＦ－１は高いＣｏエッチング速度を示したものの、前記Ｃｏ金属膜はエリプリメトリで読み取れない程に損傷され又は破壊された。
本発明をその特定の実施形態を参照して詳細に記載してきたが、改変及び変更は、記載及び請求される本発明の趣旨及び範囲の中にあると理解される。

Claims (26)

  1. １）式（Ｉ）：Ｒ１－Ｏ－Ｎ－Ｒ２Ｒ３の化合物、前記式（Ｉ）においては、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３のそれぞれが、独立に、Ｈ又はＣ１－Ｃ６のアルキルである；
    ２）少なくとも１つの不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸；
    ３）少なくとも１つのレベリング剤；及び
    ４）水、
    を含む、エッチング組成物。
  2. 前記組成物が、約０から約７のｐＨを有する、請求項１に記載の組成物。
  3. 前記式（Ｉ）の化合物が、ヒドロキシルアミンである、請求項１に記載の組成物。
  4. 前記式（Ｉ）の化合物が、前記組成物の約０．０１重量％～約１０重量％の量である、請求項１に記載の組成物。
  5. 前記少なくとも１つの不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸が、アクリル酸、クロトン酸、２－ペンテン酸、ｔｒａｎｓ－２－ヘキセン酸、フマル酸、１０－ウンデセン酸、２－メチル－２－ペンテン酸、２－ペンテン酸、２－メチル－４－ペンテン酸、２－オクテン酸、又は３－（２－フリル）アクリル酸を含む、請求項１に記載の組成物。
  6. 前記少なくとも１つの不飽和Ｃ３－Ｃ１２カルボン酸が、前記組成物の約０．０１重量％～約３重量％の量である、請求項１に記載の組成物。
  7. 前記少なくとも１つのレベリング剤が、含硫黄ポリマー又は含窒素ポリマーを含む、請求項１に記載の組成物。
  8. 前記少なくとも１つのレベリング剤が、ポリ（４－スチレンスルホン酸）、ポリエチレンイミン、ポリグリシン、ポリ（アリルアミン）、ポリアニリン、スルホン化ポリアニリン、ポリウレア、ポリアクリルアミド、ポリ（メラミン－ｃо－ホルムアルデヒド）、ポリアミノアミド、又はポリアルカノールアミンを含む、請求項１に記載の組成物。
  9. 前記少なくとも１つのレベリング剤が、前記組成物の約０．０１重量％～約３重量％の量である、請求項１に記載の組成物。
  10. 前記水が、前記組成物の約５０重量％～約９９重量％の量である、請求項１に記載の組成物。
  11. 少なくとも１つのＣｏエッチング促進剤をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
  12. 前記少なくとも１つのＣｏエッチング促進剤が、カルボン酸又はアミノ酸からなる群から選択される酸を含む、請求項１１に記載の組成物。
  13. 前記少なくとも１つのＣｏエッチング促進剤が、クエン酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、グリシン、グリコール酸、マロン酸、乳酸、又はジエチレントリアミンペンタ酢酸を含む、請求項１１に記載の組成物。
  14. 前記少なくとも１つのＣｏエッチング促進剤が、前記組成物の約０．０１重量％～約３重量％の量である、請求項１１に記載の組成物。
  15. 少なくとも１つのｐＨ調整剤をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
  16. 前記少なくとも１つのｐＨ調整剤が、塩基又は酸を含む、請求項１５に記載の組成物。
  17. 前記塩基が、金属イオンを含まず、第四級アンモニウム水酸化物又はアルキル水酸化物ではなく、前記酸が、飽和カルボン酸又はハロゲン化水素ではない、請求項１６に記載の組成物。
  18. 前記少なくとも１つのｐＨ調整剤が、前記組成物の約０．０１重量％～約６重量％の量である、請求項１５に記載の組成物。
  19. 水溶性アルコール、水溶性ケトン、水溶性エステル、及び水溶性エーテルからなる群から選択される有機溶媒をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
  20. 前記有機溶媒が、前記組成物の約０．５重量％～約３０重量％の量である、請求項１９に記載の組成物。
  21. Ｃｏフィーチャを含む半導体基板を、請求項１に記載の組成物と接触させ、前記Ｃｏフィーチャの少なくとも一部を除去することを含む、方法。
  22. 前記接触工程の後、リンス溶媒で前記半導体基板をリンスすることをさらに含む、請求項２１に記載の方法。
  23. 前記リンス工程の後、前記半導体基板を乾燥することをさらに含む、請求項２２に記載の方法。
  24. 前記方法が、前記半導体基板において酸化コバルト水酸化物層を実質的に形成しない、請求項２１に記載の方法。
  25. 半導体デバイスである、請求項２１に記載の方法によって形成された物品。
  26. 前記半導体デバイスが、集積回路である、請求項２５に記載の物品。
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