JP2022528586A - 複合相巨大誘電体セラミック材料及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、複合相巨大誘電体セラミック材料であって、前記複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AxBnxTi1-(n+1)xO2であり、ここで、Aが、Nb、Ta、V、Mo、Sbからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、Bが、In、Ga、Al、Co、Cr、Sc、Fe(III)、3価の希土カチオンからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、nがBとAとのモル比であり、かつ、1<n≦5、0<x≦0.1である材料を開示する。本願で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料は、巨大誘電率、低損失、優れた周波数・温度安定性を示す上で、特に、高絶縁電気抵抗率の高電圧絶縁破壊耐性を有し、その絶縁電気抵抗率が1011Ω・cmよりも高く、高エネルギー保存デバイスおよびスーパーコンデンサに適用することができる。そして、本発明は、前記複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法を開示する。

Description

本発明は、複合相巨大誘電体セラミック材料及びその製造方法に関する。
高エネルギー保存デバイス、スーパーコンデンサ及び機器の小型化に対する研究によると、この中で必要不可欠な誘電材料として、巨大誘電率、低損失、優れた温度・周波数安定性及び優れた高電圧絶縁破壊耐性を同時に持つものが求められている。デバイスのエネルギー保存能力は、使用される誘電材料の作動電圧の平方に比例するものであり、従って、誘電セラミック材料の破壊耐性に対する研究が必要である。
様々な研究により、BaTiOのような強誘電体材料は、高誘電率を有するが、その誘電率が温度によって大きく変化する。また、CaCuTi12(CCTO)、ドープNiO及びLa2xSrNiO(x=1/3、1/8)などの他の非強誘電体材料は、誘電率が比較的に広い温度範囲内に10以上となるが、誘電損失がかなり高い(>0.1)。
そこで、高誘電率、低損失、優れた温度・周波数安定性及び優れた高電圧絶縁破壊耐性を同時に有する誘電セラミック材料を製造することが求められる。
上記事情に鑑みて、本発明の目的は、上記従来技術の欠点を克服し、複合相巨大誘電体セラミック材料を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明が採用する技術案は、複合相巨大誘電体セラミック材料であって、前記複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AnxTi1-(n+1)xであり、ここで、Aが、Nb、Ta、V、Mo、Sbからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、Bが、In、Ga、Al、Co、Cr、Sc、Fe(III)、3価の希土カチオンからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、nが、BとAとのモル比であり、かつ、1<n≦5、0<x≦0.1である複合相巨大誘電体セラミック材料である。
本願で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料は、巨大誘電率、低損失、優れた周波数・温度安定性を有する上で、特に、高絶縁電気抵抗率の高電圧絶縁破壊耐性を有し、その絶縁電気抵抗率が1011Ω・cmよりも高く、高エネルギー保存デバイス及びスーパーコンデンサに適用することができる。
好ましくは、前記複合相巨大誘電体セラミック材料の主相が、A5+とB3+が共ドープされたルチル型二酸化チタンであり、副相が、BTiOであり、かつ副相が、主相に均一に分散される。主相は、巨大誘電率を提供し、副性は、極めて優れた電気絶縁性能を有する。非連続的に、均一に主相との結晶境界で分布する副相は、弱い分極電荷の伝送を効果的に阻害することができ、これにより、材料の作動電圧及び破壊電圧を大幅に向上させながら、巨大誘電率の悪化を引き起こすことがない。
より好ましくは、前記副相が、直方晶構造のBTiOである。前記副相は、一回の合成過程において、主相よりも低い合成温度を有することにより、自発的相分離可能な直方晶構造のBTiOである。
好ましくは、前記複合相巨大誘電体セラミック材料の電気抵抗率が、1011Ω・cmを超える。
好ましくは、前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、20Hz~2×10Hzの周波数範囲内の誘電率が、10000を超え、そして、前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、周波数が2×10Hz未満である場合、誘電損失が、0.05未満である。
好ましくは、前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、-160℃~170℃の温度範囲内の誘電率が、10000を超え、そして、前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、-50℃~150℃の温度範囲内の誘電損失が、0.05未満である。
そして、本発明は、前記の複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法であって、
複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式AnxTi1-(n+1)xに従って、対応するチタン源、A源及びB源をはかりとる工程(1)と、
上記反応物をボールミルタンクに置き、ボールミル処理を行い、乾燥し、均一な混合物粉体を得る工程(2)と、
工程(2)で得られる混合物粉体を乳鉢に置き、前記混合物粉体重量の5%~10%の精製水を加えて、均一に混合し、その後、粉体を金型に置き、少なくとも400MPaの圧力で圧力を保持し、生地シートを得て、そして、生地シートを乳鉢に置き、粉砕研磨し、予備粉体を得る工程(3)と、
工程(3)で得られる予備粉体を金型に置き、少なくとも2MPaの圧力で圧力を保持して成形し、その後焼結処理を行い、具体的には、焼結を、昇温速度:1.5~15℃/min、温度範囲:1200℃~1500℃、保温時間:1~24時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、緻密なセラミックシートを得る工程(4)と、
工程(4)で得られるセラミックシートを表面研磨処理し、その後焼入れを行い、具体的には、焼入れを、昇温速度:1.5~15℃/min、温度範囲:1000℃~1200℃、保温時間:1~24時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、複合相巨大誘電体セラミック材料を得る工程(5)と、
を含む製造方法を提供する。
好ましくは、前記工程(1)において、チタン源がTiOであり、A源がAであり、B源が、B、B(C、B(Cの水合物、B(NO、B(NOの水合物、B(SO、B(SOの水合物、B(CO、B(COの水合物、B(C、B(Cの水合物からなる群より選ばれる少なくとも1種である。非酸化物であるB源は、副相の合成温度と結晶境界での変異性をさらに低下させ、B相の非連続的な均一な分布を形成することに寄与する。
好ましくは、前記工程(2)におけるボールミル処理は、分散剤としてエチルアルコールまたはアセトンを使用し、ボールミル媒介としてイットリア安定化ジルコニアボールを使用し、12時間以上ボールミル処理を行うことであり、前記工程(4)及び工程(5)において、焼結及び焼入れの雰囲気が、空気である。
好ましくは、前記工程(5)において、表面研磨処理は、まず、240メッシュのサンドペーパーで粗研磨し、その後、1200メッシュのサンドペーパーで仕上げ研磨することである。これにより、平坦な表面を形成することができ、表面粗さの焼入れ後の試料の性能に対する影響を回避できる。
従来技術と比較して、本発明の有益な効果は、以下のとおりである。
本発明によれば、A5+とB3+金属イオンが同時にドープされたことで化学的修飾されたルチル型二酸化チタン構造により、主相が、A5+とB3+が共ドープされたルチル型二酸化チタンであり、かつ副相(BTiO)が主相に均一に分散された複合相材料を得る。この材料は、巨大誘電率、低損失、優れた周波数・温度安定性を示す上で、特に、高絶縁電気抵抗率の高電圧絶縁破壊耐性を有し、そのため、高エネルギー保存デバイス及びスーパーコンデンサに適用することができる。その利点は、以下の3つの点で示される。
(1)複合相巨大誘電体セラミック材料の主相は、A5+とB3+が共ドープされたルチル型二酸化チタンであり、副相は、BTiOであり、かつ副相が、主相に均一に分散される。
(2)当該複合相巨大誘電体セラミック材料は、高絶縁電気抵抗率の高電圧絶縁破壊耐性能力を有し、その電気抵抗率≧1011Ω・cmである。
(3)20Hz~2×10Hzの周波数範囲内、及び、-160℃~170℃の温度範囲内で、その誘電率(>10)が、極めて小さい周波数・温度依存性を示し、同時に、周波数が2×10Hz未満であり、温度範囲が-50℃~150℃である場合、その誘電損失が0.05未満である。
実施例1と実施例2で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料のXRDパターンである。 実施例1と実施例2で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料の後方散乱電子(BSE)写真と対応する二次電子(SE)写真である。 実施例1で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料の室温下での誘電率及び誘電損失と周波数の関係を示す図である。 実施例1で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料の所定の4つの周波数(100Hz、1KHz、10KHzと100KHz)での誘電率及び誘電損失と温度の関係を示す図である。 実施例2で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料の後方散乱電子(BSE)写真である。
本発明の目的、技術案及び利点をよりよく説明するために、以下、図面及び具体的な実施例を参照しながら、本発明についてさらに説明する。
実施例1
本発明に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の一実施例として、本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AnxTi1-(n+1)xであり、ここで、AがNbであり、BがInであり、x=0.0125、n=2である。
本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法は、以下のとおりである。
(1)Nb0.2492g、In0.5206g及びTiO11.5312g をはかりとった。
(2)上記反応物をボールミルタンクに置き、分散剤としてエチルアルコールまたはアセトンを使用し、ボールミル媒介としてイットリア安定化ジルコニアボールを使用し、12時間以上ボールミル処理を行い、均一に混合して、乾燥後、均一な混合物粉体を得た。
(3)工程(2)で得られた混合物粉体に対して造粒処理を行い、具体的には、造粒処理において、混合粉体を乳鉢に置き、混合物粉体重量の5%の精製水を加えて、均一に混合し、その後、粉体を32mm金型に置き、416MPaの圧力で圧力を保持し、生地シートを得て、そして、前記生地シートを乳鉢に置き、粉砕研磨し、予備粉体を得た。
(4)工程(3)で得られた予備粉体を1.2mm金型に置き、2MPaの圧力で圧力を保持して成形し、その後、空気中に焼結した。具体的には、焼結を、昇温速度:15℃/min、温度範囲:1420℃、保温時間:3時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、緻密なセラミックシートを得た。
(5)工程(4)で得られたセラミックシートを、順に240メッシュ及び1200メッシュのサンドペーパーで表面研磨処理し、その後、空気中に焼入れを行った。具体的には、焼入れを、昇温速度:15℃/min、温度範囲:1200℃、保温時間:1時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、最終の複合相巨大誘電体セラミック材料を得た。
実施例2
本発明に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の一実施例として、本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AnxTi1-(n+1)xであり、ここで、AがNbであり、BがInであり、x=0.075、n=2である。
本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法は、以下のとおりである。
(1)Nb1.4952g、In3.1233g及びTiO9.2849gをはかりとった。
(2)上記反応物をボールミルタンクに置き、分散剤としてエチルアルコールまたはアセトンを使用し、ボールミル媒介としてイットリア安定化ジルコニアボールを使用し、12時間以上ボールミル処理を行い、均一に混合して、乾燥後、均一な混合物粉体を得た。
(3)工程(2)で得られた混合物粉体に対して造粒処理を行い、具体的には、造粒処理において、混合粉体を乳鉢に置き、混合物粉体重量の10%の精製水を加えて、均一に混合し、その後、粉体を32mm金型に置き、416MPaの圧力で圧力を保持し、生地シートを得て、そして、前記生地シートを乳鉢に置き、粉砕研磨し、予備粉体を得た。
(4)工程(3)で得られた予備粉体を1.2mm金型に置き、2MPaの圧力で圧力を保持して成形し、その後、空気中に焼結した。具体的には、焼結を、昇温速度:3.8℃/min、温度範囲:1200℃、保温時間:24時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、緻密なセラミックシートを得た。
(5)工程(4)で得られたセラミックシートを、順に240メッシュ及び1200メッシュのサンドペーパーで表面研磨処理し、その後、空気中に焼入れを行った。具体的には、焼入れを、昇温速度:5℃/min、温度範囲:1000℃、保温時間:24時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、最終の複合相巨大誘電体セラミック材料を得た。
実施例3
本発明に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の一実施例として、本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AnxTi1-(n+1)xであり、ここで、AがNbであり、BがInであり、x=0.0125、n=3である。
本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法は、以下のとおりである。
(1)Nb0.2492g、In0.7809g、TiO11.3809gをはかりとった。
(2)上記反応物をボールミルタンクに置き、分散剤としてエチルアルコールまたはアセトンを使用し、ボールミル媒介としてイットリア安定化ジルコニアボールを使用し、12時間以上ボールミル処理を行い、均一に混合して、乾燥後、均一な混合物粉体を得た。
(3)工程(2)で得られた混合物粉体に対して造粒処理を行い、具体的には、造粒処理において、混合粉体を乳鉢に置き、混合物粉体重量の5%の精製水を加えて、均一に混合し、その後、粉体を32mm金型に置き、416MPaの圧力で圧力を保持し、生地シートを得て、そして、前記生地シートを乳鉢に置き、粉砕研磨し、予備粉体を得た。
(4)工程(3)で得られた予備粉体を1.2mm金型に置き、2MPaの圧力で圧力を保持して成形し、その後、空気中に焼結した。具体的には、焼結を、昇温速度:3.8℃/min、温度範囲:1420℃、保温時間:3時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、緻密なセラミックシートを得た。
(5)工程(4)で得られたセラミックシートを、順に240メッシュ及び1200メッシュのサンドペーパーで表面研磨処理し、その後、空気中に焼入れを行った。具体的には、焼入れを、昇温速度:5℃/min、温度範囲:1200℃、保温時間:1時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、最終の複合相巨大誘電体セラミック材料を得た。
実施例4
本発明に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の一実施例として、本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AnxTi1-(n+1)xであり、ここで、AがNbであり、BがInであり、x=0.0125、n=4である。
本実施例に係る複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法は、以下のとおりである。
(1)Nb0.2492g、In1.0412g及びTiO11.2312gをはかりとった。
(2)上記反応物をボールミルタンクに置き、分散剤としてエチルアルコールまたはアセトンを使用し、ボールミル媒介としてイットリア安定化ジルコニアボールを使用し、12時間以上ボールミル処理を行い、均一に混合して、乾燥後、均一な混合物粉体を得た。
(3)工程(2)で得られた混合物粉体に対して造粒処理を行い、具体的には、造粒処理において、混合粉体を乳鉢に置き、混合物粉体重量の5%の精製水を加えて、均一に混合し、その後、粉体を32mm金型に置き、416MPaの圧力で圧力を保持し、生地シートを得て、そして、前記生地シートを乳鉢に置き、粉砕研磨し、予備粉体を得た。
(4)工程(3)で得られた予備粉体を1.2mm金型に置き、2MPaの圧力で圧力を保持して成形し、その後、空気中に焼結した。具体的には、焼結を、昇温速度:3.8℃/min、温度範囲:1420℃、保温時間:3時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、緻密なセラミックシートを得た。
(5)工程(4)で得られたセラミックシートを、順に240メッシュ及び1200メッシュのサンドペーパーで表面研磨処理し、その後、空気中に焼入れを行った。具体的には、焼入れを、昇温速度:5℃/min、温度範囲:1200℃、保温時間:1時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、最終の複合相巨大誘電体セラミック材料を得た。
図1を参照する。図1は、実施例1(1.25at.%Nb5++2.5at.%In3+)及び実施例2(7.5at.%Nb5++15at.%In3+)で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料のXRDパターンである。図1からわかるように、実施例1及び実施例2で製造された材料は、同時にルチル型二酸化チタンと直方晶InTiOの両方の構造を有する。
図2を参照する。図2は、実施例1(1.25at.%Nb5++2.5at.%In3+)及び実施例2(7.5at.%Nb5++15at.%In3+)で製造された複合相巨大誘電体セラミック材料の後方散乱電子(BSE)写真と対応する二次電子(SE)写真である。図2からさらに証明されるように、実施例1及び実施例2で製造された材料は、2種類の相を有し、かつ副相が、主相に均一に分散された。
図3を参照する。図3は、実施例1(1.25at.%Nb5++2.5at.%In3+)で製造されたセラミック材料の室温下の誘電率及び誘電損失と周波数の関係を示す図である。図3からわかるように、20Hz~2×10Hzの周波数範囲内で、実施例1(1.25at.%Nb5++2.5at.%In3+)で製造されたセラミック材料は、誘電率が10000を超え、かつ極めて小さい周波数依存性を有し、一方、周波数が2×10Hz未満である場合、その誘電損失が0.05未満である。
図4を参照する。図4は、実施例1(1.25at.%Nb5++2.5at.%In3+)で製造されたセラミック材料の所定の4つの周波数(100Hz、1KHz、10KHz、100KHz)での誘電率及び誘電損失と温度の関係を示す図である。図4からわかるように、-160℃~170℃の温度範囲内で、実施例1(1.25at.%Nb5++2.5at.%In3+)で製造されたセラミック材料は、誘電率が10000を超え、かつ極めて小さい温度依存性を有し、一方、-50℃~150℃の温度範囲内で、その誘電損失が0.05未満である。
図5及び表1を参照する。図5は、実施例2(7.5at.%Nb5++15at.%In3+)で製造されたセラミック材料の後方散乱電子(BSE)写真であり、表1は、図5で示す箇所のエネルギー分散図(EDS)による組成解析である。具体的には、以下のとおりである。
Figure 2022528586000002
図1、図5及び表1を参照してさらにわかるように、製造された複合相巨大誘電体セラミック材料は、主相が、Nb5+とIn3+が共ドープされたルチル型二酸化チタンであり、副相が、BTiOである。
表2を参照する。表2は、実施例1、実施例3、実施例4と参照組成の電気抵抗率、誘電率及び誘電損失をまとめて示すものであり、具体的には、以下のとおりである。
Figure 2022528586000003
参照組成成分(1.25at%Nb5+ +1.25at% In3+)と比較し、実施例1、実施例3及び実施例4は、より高い電気抵抗率を有し、かつ同時に高誘電率(>10000)と低誘電損失(<0.05)を有する。これから明らかなように、非連続的、均一に主相との結晶境界で分布する副相は、弱い分極電荷の伝送を効果的に阻害し、材料の作動電圧及び破壊電圧を向上させ、かつ、巨大誘電率の悪化を引き起こすことがない。
なお、以上の実施例は、本発明の技術案を説明するためのものであり、本発明の保護範囲を制限するものではなく、好適な実施例を参照しながら本発明について詳細に説明したものの、当業者であれば、本発明の技術案の趣旨及び範囲を逸脱しない限り、本発明の技術案に対して修正又は均等的な差し替えを行うことができると理解することができる。

Claims (10)

  1. 複合相巨大誘電体セラミック材料であって、前記複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式は、AnxTi1-(n+1)xであり、ここで、Aが、Nb、Ta、V、Mo、Sbからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、Bが、In、Ga、Al、Co、Cr、Sc、Fe(III)、3価の希土カチオンからなる群より選ばれる少なくとも1種であり、nが、BとAとのモル比であり、かつ、1<n≦5、0<x≦0.1であることを特徴とする、複合相巨大誘電体セラミック材料。
  2. 前記複合相巨大誘電体セラミック材料の主相が、A5+とB3+が共ドープされたルチル型二酸化チタンであり、副相が、BTiOであり、かつ副相が、主相に均一に分散されることを特徴とする、請求項1に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料。
  3. 前記副相が、直方晶構造のBTiOであることを特徴とする、請求項2に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料。
  4. 前記複合相巨大誘電体セラミック材料の電気抵抗率が、1011Ω・cmを超えることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料。
  5. 前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、20Hz~2×10Hzの周波数範囲内の誘電率が、10000を超え、そして、前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、周波数が2×10Hz未満である場合、誘電損失が0.05未満であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料。
  6. 前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、-160℃~170℃の温度範囲内の誘電率が、10000を超え、そして、前記複合相巨大誘電体セラミック材料は、-50℃~150℃の温度範囲内の誘電損失が0.05未満であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料。
  7. 請求項1~6のいずれか一項に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法であって、
    複合相巨大誘電体セラミック材料の組成式AnxTi1-(n+1)xに従って、対応するチタン源、A源及びB源をはかりとる工程(1)と、
    上記反応物をボールミルタンクに置き、ボールミル処理を行い、乾燥し、均一な混合物粉体を得る工程(2)と、
    工程(2)で得られる混合物粉体を乳鉢に置き、前記混合物粉体重量の5%~10%の精製水を加えて、均一に混合し、その後、粉体を金型に置き、少なくとも400MPaの圧力で圧力を保持し、生地シートを得て、そして、生地シートを乳鉢に置き、粉砕研磨し、予備粉体を得る工程(3)と、
    工程(3)で得られる予備粉体を金型に置き、少なくとも2MPaの圧力で圧力を保持して成形し、その後、焼結処理を行い、具体的には、焼結を、昇温速度:1.5~15℃/min、温度範囲:1200℃~1500℃、保温時間:1~24時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、緻密なセラミックシートを得る工程(4)と、
    工程(4)で得られるセラミックシートを表面研磨処理し、その後、焼入れを行い、具体的には、焼入れを、昇温速度:1.5~15℃/min、温度範囲:1000℃~1200℃、保温時間:1~24時間という条件にて行い、終了後、室温まで放冷し、複合相巨大誘電体セラミック材料を得る工程(5)と、
    を含むことを特徴とする、製造方法。
  8. 前記工程(1)において、チタン源がTiOであり、A源がAであり、B源が、B、B(C、B(Cの水合物、B(NO、B(NOの水合物、B(SO、B(SOの水合物、B(CO、B(COの水合物、B(C、B(Cの水合物からなる群より選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする、請求項7に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法。
  9. 前記工程(2)におけるボールミル処理は、分散剤としてエチルアルコールまたはアセトンを使用し、ボールミル媒介としてイットリア安定化ジルコニアボールを使用し、12時間以上ボールミル処理を行うことであり、前記工程(4)及び工程(5)において、焼結及び焼入れの雰囲気が空気であることを特徴とする、請求項7に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法。
  10. 前記工程(5)において、表面研磨処理は、まず、240メッシュのサンドペーパーで粗研磨し、その後、1200メッシュのサンドペーパーで仕上げ研磨することであることを特徴とする、請求項7に記載の複合相巨大誘電体セラミック材料の製造方法。
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