JP2022515471A - 走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2019年11月5日に中国特許局へ提出され、出願番号が201921890783.Xで、出願の名称が「走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス」である中国特許出願、及び2019年10月21日に中国特許局へ提出され、出願番号が201921763316.0で、出願の名称が「走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室(in-situ観測室)」である中国実用新案出願に基づいて優先権を主張し、その全ての内容を援用によって本願に組み込む。
本願は、サンプル封入技術分野に関し、特に、走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置に関する。
該方法に、
不活性ガスに保護されているグローブボックス内において、サンプルを前記観察室に入れ、前記観察室を前記筐体の底部に押し込むことと、
前記走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスを走査型電子顕微鏡のキャビティ内に置き、前記観察室が前記非磁性弾性部材によって前記筐体内から押し出されるように、キャビティの空気を抜き、前記切り欠きから前記観察室内のサンプルを観察することと、
前記サンプル封入装置の周囲の気圧が上昇するように、前記走査型電子顕微鏡のキャビティ内に気体を注入し、これにより、前記観察室を上昇した外気圧によって筐体内に押し戻すことと、が含まれる。
該方法に、
アルゴンに保護されているグローブボックス内において前記観測室と前記試験固体電池を組み立て、前記可動端駆動モータによって前記可動端を駆動して前記試験固体電池をクランプ固定することと、
前記気密チャンバー駆動モータによって前記気密チャンバーを駆動して前記気密チャンバースライドレールに沿って前記気密ゴムリングに向かう方向に移動させ、前記試験固体電池の封入を完成させることと、
前記固体電池その場観測室を走査型電子顕微鏡のキャビティ内に置き、キャビティの空気を抜き、前記気密チャンバー駆動モータによって再び気密チャンバーを開くように駆動し、グローブボックスから走査型電子顕微鏡のキャビティ内への前記試験固体電池の移送を完成させることと、が含まれる。
Claims (25)
- 走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置であって、
チャンバー(10)と、
サンプルを収容するための収容空間を有し、少なくとも部分的に前記チャンバー(10)内に入れられたり前記チャンバー(10)から移し出されたりするように、前記チャンバー(10)と相対的に移動可能に前記チャンバー(10)内に設けられた収容部(20)と、
前記収容部(20)に接続され、且つ前記収容部(20)が少なくとも部分的に前記チャンバー(10)内に収容されている時に、前記収容部(20)と前記チャンバー(10)との間の封止を実現する封止部材(30)と、
前記チャンバー(10)と前記収容部(20)の相対移動を駆動するように構成された駆動部(40)と、を含む
ことを特徴とする走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - 前記封止部材(30)は気密ゴムリングである
ことを特徴とする請求項1に記載の走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - 前記収容部(20)は前記チャンバー(10)の内部空間に連通し、且つ前記収容部(20)に、前記収容部(20)が前記チャンバー(10)に入る過程において前記チャンバー(10)内のガスを排出するように配置された空気逆止弁が設けられている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - 前記駆動部(40)は、非磁性弾性部材であり、前記収容部(20)が前記チャンバー(10)に入った後、前記収容部(20)の押圧により変形状態となり、一方、前記チャンバー(10)の外部の気圧が前記チャンバー(10)内の気圧より小さい場合に変形が回復し、変形の回復の過程において前記収容部(20)を前記チャンバー(10)から押し出すように配置されている
ことを特徴とする請求項3に記載の走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - スライドレールをさらに含み、
前記チャンバー(10)は、前記スライドレールに摺動可能に接続され、
前記駆動部(40)はモータであって前記チャンバー(10)を前記スライドレールに沿って摺動駆動するように構成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - 前記サンプルを前記収容部(20)に固定するためのクランプ固定モジュールをさらに含む
ことを特徴とする請求項5に記載の走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - 前記クランプ固定モジュールは、同軸に配置された可動端及び固定端を含み、前記サンプルを前記固定端と可動端との間の領域に収容するように構成されている
ことを特徴とする請求項6に記載の走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置。 - スペースを有する筐体(6)及び観察室(1)を含み、前記観察室(1)が筐体(6)内に摺動可能に設けられ、観察室内の物品を観察するための切り欠き(5)が前記筐体(6)に設けられている走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスにおいて、
前記筐体(6)と前記観察室(1)はそれぞれ非磁性筐体と非磁性観察室であり、
前記観察室(1)内のスペースと筐体(6)内のスペースとは導通し、
前記観察室(1)に、空気逆止弁(4)と、筐体(6)と観察室(1)との封止のための気密ゴムリング(3)とが設けられ、
前記観察室(1)と筐体(6)との間には、観察室(1)が筐体(6)から離れないように観察室(1)を筐体(6)内から押し出すための非磁性弾性部材(7)が設けられている
ことを特徴とする走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記筐体(6)は主筐体及び主筐体裏蓋(8)を含み、前記主筐体裏蓋(8)と主筐体との間は接続ボルトによって接続され、前記非磁性弾性部材(7)の一端は主筐体裏蓋(8)と取り外し可能に接続され、前記非磁性弾性部材(7)の他端は観察室(1)の凹溝内に係止されている
ことを特徴とする請求項8に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記非磁性弾性部材(7)は非磁性バネである
ことを特徴とする請求項8に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記非磁性バネは、SUS304Lバネ、 SUS304Hバネ、又はSUS316Lバネである
ことを特徴とする請求項10に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記気密ゴムリング(3)は前記観察室(1)の係止溝内に係止されることによって前記観察室(1)に接続されている
ことを特徴とする請求項9に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記筐体(6)は、銅、ステンレス鋼、アルミニウム合金、樹脂、又は高分子材料のうち一種または複数種の材料からなる
ことを特徴とする請求項10に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記観察室(1)は、銅、ステンレス鋼、アルミニウム合金、樹脂、又は高分子材料のうち一種または複数種の材料からなる
ことを特徴とする請求項13に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記気密ゴムリング(3)は、シリカゲル、強化ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンのうち一種または複数種の材料からなる
ことを特徴とする請求項12に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - 前記非磁性弾性部材(7)は、数が2つであって、観察室(1)の内壁に対称的に設けられている
ことを特徴とする請求項14に記載の走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックス。 - ハウジング(100)を含む走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室において、
前記ハウジング(100)内に、気密チャンバー(201)と、前記気密チャンバー(201)を駆動して変位させるための気密チャンバー駆動モータ(501)と、クランプ固定モジュールと、クランプ固定モジュールの稼働を駆動するための駆動部と、試験固体電池(700)とが設けられ、
前記クランプ固定モジュールは、前記試験固体電池(700)をクランプ固定するためのものであり、前記クランプ固定モジュールの外面に気密ゴムリング(202)が嵌着され、前記ハウジング(100)内に気密チャンバースライドレール(600)がさらに設けられ、前記気密チャンバー(201)は前記気密チャンバースライドレール(600)に沿って摺動することができ、前記気密チャンバー(201)は前記クランプ固定モジュールに対向して設けられ、前記試験固体電池(700)を封入するためのものである
ことを特徴とする走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 前記クランプ固定モジュールは、同軸に設けられた固定端(300)及び可動端(400)を含み、前記試験固体電池(700)は前記固定端(300)と可動端(400)との間の領域に配置されている
ことを特徴とする請求項17に記載の走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 前記駆動部は可動端駆動モータ(502)を含む
ことを特徴とする請求項17に記載の走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 前記可動端駆動モータ(502)はステータコイル型のモータである
ことを特徴とする請求項19に記載の走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 前記気密チャンバー駆動モータ(501)はステータコイル型のモータである
ことを特徴とする請求項17に記載の走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 前記ハウジング(100)及び気密チャンバー(201)はいずれも非磁性導電性材料からなる
ことを特徴とする請求項17に記載の走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 前記ハウジング(100)及び気密チャンバー(201)は銅からなる
ことを特徴とする請求項22に記載の走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室。 - 走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスの使用方法であって、前記走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスは、スペースを有する筐体(6)と、筐体(6)内に摺動可能に設けられた観察室(1)とを含み、前記筐体(6)に観察室内の物品を観察するための切り欠き(5)が設けられ、前記筐体(6)及び観察室(1)はそれぞれ非磁性筐体及び非磁性観察室であり、前記観察室(1)内のスペースと筐体(6)内のスペースとが導通し、前記観察室(1)には、空気逆止弁(4)と、筐体(6)と観察室(1)との封止のための気密ゴムリング(3)とが設けられ、前記観察室(1)と筐体(6)との間には、観察室(1)が筐体(6)から離れないように観察室(1)を筐体(6)内から押し出すための非磁性弾性部材(7)が設けられている、走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスの使用方法において、
不活性ガスに保護されているグローブボックス内において、サンプルを前記観察室(1)に入れ、前記観察室(1)を前記筐体(6)の底部に押し込むことと、
前記走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスを走査型電子顕微鏡のキャビティ内に置き、前記観察室(1)が前記非磁性弾性部材(7)によって前記筐体(6)内から押し出されるように、キャビティの空気を抜き、前記切り欠き(5)から前記観察室(1)内のサンプルを観察することと、
前記サンプル封入装置の周囲の気圧が上昇するように、前記走査型電子顕微鏡のキャビティ内に気体を注入し、これにより、前記観察室(1)を上昇した外気圧によって筐体(6)内に押し戻すことと、が含まれる
ことを特徴とする走査型電子顕微鏡のサンプル移送ボックスの使用方法。 - 走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室の使用方法であって、前記走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室はハウジング(100)を含み、前記ハウジング(100)内には、気密チャンバー(201)と、前記気密チャンバー(201)を駆動して変位させるための気密チャンバー駆動モータ(501)と、クランプ固定モジュールと、クランプ固定モジュールの稼働を駆動するための駆動部と、試験固体電池(700)とが設けられ、前記クランプ固定モジュールは、前記試験固体電池(700)をクランプ固定するためのものであり、前記クランプ固定モジュールの外面に気密ゴムリング(202)が嵌着され、前記ハウジング(100)内に気密チャンバースライドレール(600)がさらに設けられ、前記気密チャンバー(201)は前記気密チャンバースライドレール(600)に沿って摺動することができ、前記気密チャンバー(201)は、前記クランプ固定モジュールに対向して設けられ、前記試験固体電池(700)を封入するためのものである、走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室の使用方法において、
アルゴンに保護されているグローブボックス内において前記観測室と前記試験固体電池(700)を組み立て、前記可動端駆動モータ(502)によって前記可動端(400)を駆動して前記試験固体電池(700)をクランプ固定することと、
前記気密チャンバー駆動モータ(501)によって前記気密チャンバー(201)を駆動して前記気密チャンバースライドレール(600)に沿って前記気密ゴムリング(202)に向かう方向に移動させ、前記試験固体電池(700)の封入を完成させることと、
前記固体電池その場観測室を走査型電子顕微鏡のキャビティ内に置き、キャビティの空気を抜き、前記気密チャンバー駆動モータ(501)によって再び気密チャンバー(201)を開くように駆動し、グローブボックスから走査型電子顕微鏡のキャビティ内への前記試験固体電池(700)の移行を完成させることと、が含まれる
ことを特徴とする走査型電子顕微鏡用の固体電池その場観測室の使用方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201921763316.0 | 2019-10-21 | ||
CN201921763316.0U CN210743910U (zh) | 2019-10-21 | 2019-10-21 | 一种用于扫描电子显微镜的固态电池原位观测舱 |
CN201921890783.XU CN210668268U (zh) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | 一种扫描电子显微镜的样品转移盒 |
CN201921890783.X | 2019-11-05 | ||
PCT/CN2020/117523 WO2021077981A1 (zh) | 2019-10-21 | 2020-09-24 | 用于扫描电子显微镜的样品封闭装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022515471A true JP2022515471A (ja) | 2022-02-18 |
JP7136513B2 JP7136513B2 (ja) | 2022-09-13 |
Family
ID=75620383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021537218A Active JP7136513B2 (ja) | 2019-10-21 | 2020-09-24 | 走査型電子顕微鏡用のサンプル封入装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220216031A1 (ja) |
EP (1) | EP3940743A4 (ja) |
JP (1) | JP7136513B2 (ja) |
KR (1) | KR20220113679A (ja) |
WO (1) | WO2021077981A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117501400A (zh) * | 2021-07-02 | 2024-02-02 | 费罗真空股份公司 | 用于将样本转移装置接合至分析或样本制备装置的装置及用于在环境受控条件下运输样本的容器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11213931A (ja) * | 1998-01-28 | 1999-08-06 | Kanagawa Prefecture | 試料導入装置 |
JP2011090973A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における三次元情報の表示方法 |
WO2014175074A1 (ja) * | 2013-04-23 | 2014-10-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び当該装置を用いる試料作製方法 |
US20150368021A1 (en) * | 2014-06-23 | 2015-12-24 | Shin Hung Yih Technology Co., Ltd. | Vacuum Storage Container |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1095546C (zh) * | 1999-01-12 | 2002-12-04 | 张亚利 | 电子显微镜测试用的辅助装置 |
NL2013783B1 (en) * | 2014-11-12 | 2016-10-07 | Phenom-World Holding B V | Sample stage. |
CN107902265B (zh) * | 2017-12-15 | 2023-10-27 | 苏州冠洁纳米材料科技有限公司 | 一种密封转移装置 |
CN209388997U (zh) * | 2018-12-20 | 2019-09-13 | 合肥国轩高科动力能源有限公司 | 一种扫描电镜样品台装置 |
CN210668268U (zh) * | 2019-11-05 | 2020-06-02 | 上海耐默光电技术有限公司 | 一种扫描电子显微镜的样品转移盒 |
CN210743910U (zh) * | 2019-10-21 | 2020-06-12 | 上海耐默光电技术有限公司 | 一种用于扫描电子显微镜的固态电池原位观测舱 |
-
2020
- 2020-09-24 WO PCT/CN2020/117523 patent/WO2021077981A1/zh unknown
- 2020-09-24 US US17/609,693 patent/US20220216031A1/en active Pending
- 2020-09-24 JP JP2021537218A patent/JP7136513B2/ja active Active
- 2020-09-24 EP EP20880209.0A patent/EP3940743A4/en active Pending
- 2020-09-24 KR KR1020227016463A patent/KR20220113679A/ko unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11213931A (ja) * | 1998-01-28 | 1999-08-06 | Kanagawa Prefecture | 試料導入装置 |
JP2011090973A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における三次元情報の表示方法 |
WO2014175074A1 (ja) * | 2013-04-23 | 2014-10-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び当該装置を用いる試料作製方法 |
US20150368021A1 (en) * | 2014-06-23 | 2015-12-24 | Shin Hung Yih Technology Co., Ltd. | Vacuum Storage Container |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3940743A1 (en) | 2022-01-19 |
US20220216031A1 (en) | 2022-07-07 |
EP3940743A4 (en) | 2022-09-28 |
KR20220113679A (ko) | 2022-08-16 |
JP7136513B2 (ja) | 2022-09-13 |
WO2021077981A1 (zh) | 2021-04-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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