JP2022511262A - ピクセルごとの暗基準ボロメータ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- リードオンリー集積回路(ROIC)基板と、
前記ROIC基板に配置され、2次元配列で並べられた複数の検出器要素を含み、各検出器要素が、
見られているシーンから8から12マイクロメートルの範囲にある波長を有する赤外線放射を受け、該赤外線放射を受けことに応答して、各々の検出器要素における熱雑音に起因して生じた成分を含むイメージ信号を生成するよう構成されるイメージングマイクロボロメータであり、前記ROIC基板の上に浮かされた熱感知材の層を含む前記イメージングマイクロボロメータと、
前記赤外線放射を受けることから保護され、前記熱雑音を示す基準信号を生成するよう構成される基準マイクロボロメータであり、前記熱感知材から作られた基準抵抗を含み、前記イメージングマイクロボロメータの前記熱感知材の層の下にそれと位置合わせされて置かれた前記ROIC基板の表面に配置されている前記基準マイクロボロメータと
を含む、マイクロボロメータアレイと、
前記ROIC基板に形成され、前記マイクロボロメータアレイへ結合され、各検出器要素について前記基準信号を前記イメージ信号から減じて補正イメージ信号を生成し、前記複数の検出器要素からの前記補正イメージ信号に基づいて、前記見られているシーンのイメージを生成するよう構成される回路と
を有するサーマルイメージングデバイス。 - 前記熱感知材は、酸化バナジウムである、
請求項1に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記基準マイクロボロメータは、前記イメージングマイクロボロメータのジオメトリを模倣するジオメトリで構成される、
請求項1に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記基準抵抗は、前記イメージングマイクロボロメータの前記熱感知材の層の抵抗値に等しい抵抗値を有する、
請求項1に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 各検出器要素は、前記基準抵抗の上に配置され、前記赤外線放射を受けることから前記基準マイクロボロメータを保護するよう構成された赤外線反射材の層を更に含む、
請求項1に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記赤外線反射材は、アルミニウムである、
請求項5に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記回路は、各検出器要素について、前記基準マイクロボロメータと前記イメージングマイクロボロメータとの間に直列に接続された相補型トランジスタの対を含む、
請求項1に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 各イメージングマイクロボロメータは、前記熱感知材の層を支持する支持層を含み、該支持層は、前記イメージングマイクロボロメータのイメージング性能に影響を及ぼさないようなサイズの複数の穴を含む、
請求項1に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記支持層は、窒化ケイ素である、
請求項8に記載のサーマルイメージングデバイス。 - リードオンリー集積回路(ROIC)基板と、
前記ROIC基板に配置され、複数の検出器要素の2次元配列を含むマイクロボロメータアレイであり、各検出器要素が、
前記ROIC基板の第1表面に形成され、熱感知材から形成され、前記検出器要素における熱雑音を表す基準信号を生成するよう構成される基準抵抗と、
前記基準抵抗及び前記ROIC基板の前記第1表面の上に配置され、赤外線反射材から形成され、前記マイクロボロメータアレイによって見られているシーンから赤外線放射を受けることから前記基準抵抗を保護するよう構成される反射体と、
前記反射体の上に浮かされ、熱絶縁レッグの対によって前記ROIC基板から熱的に分離されているイメージングマイクロボロメータであり、支持層によって支持された前記熱感知材の層を含み、前記見られているシーンから8から12マイクロメートルの範囲を有する前記赤外線放射を受け、該受けた赤外線放射及び前記検出器要素における熱雑音に基づいてイメージ信号を生成するよう構成される前記イメージングマイクロボロメータと
を含む、前記マイクロボロメータアレイと、
前記ROIC基板に形成され、前記マイクロボロメータアレイへ結合され、各検出器要素について前記基準信号を前記イメージ信号から減じて補正イメージ信号を生成し、前記複数の検出器要素からの前記補正イメージ信号に基づいて、前記見られているシーンのイメージを生成するよう構成される回路と
を有するサーマルイメージングデバイス。 - 前記熱感知材は、酸化バナジウムである、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記基準抵抗は、前記イメージングマイクロボロメータにおける前記熱感知材の前記層の抵抗値に等しい抵抗値を有する、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記支持層は、窒化ケイ素である、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記ROIC基板へ結合され、前記マイクロボロメータアレイを覆って空洞を設けるよう構成されるリッドウェハを更に有し、該リッドウェハは、赤外線放射が前記マイクロボロメータアレイで受け取られることを可能にするよう前記赤外線放射に対して光学的に透過である領域を含む、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記赤外線反射材は、アルミニウムである、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記支持層は、複数の穴を含む、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記回路は、各検出器要素について、前記基準抵抗と前記イメージングマイクロボロメータとの間に直列に接続された相補型トランジスタの対を含む、
請求項10に記載のサーマルイメージングデバイス。 - マイクロボロメータアレイの複数の検出器要素の夫々のイメージングマイクロボロメータで、見られているシーンから8から12マイクロメートルの範囲にある波長を有する赤外線放射を受けることと、
前記複数の検出器要素の夫々に含まれている前記イメージングマイクロボロメータにより、前記受け取られた赤外線放射と各々の検出器要素における熱雑音との組み合わせからイメージ信号を生成することと、
前記複数の検出器要素の夫々に含まれており、前記赤外線放射を受け取ることから保護されている基準マイクロボロメータにより、前記熱雑音に基づいて基準信号を生成することと、
各検出器要素について、前記基準信号を前記イメージ信号から減じて補正イメージ信号を生成することと、
前記複数の検出器要素からの前記補正イメージ信号に基づいて、前記見られているシーンのイメージを生成することと
を有するサーマルイメージング方法。 - サーマルイメージングデバイスであって、
リードオンリー集積回路(ROIC)基板と、
前記ROIC基板に配置され、2次元配列で並べられた複数の検出器要素を含み、各検出器要素が、イメージングマイクロボロメータ及び基準マイクロボロメータを含み、前記イメージングマイクロボロメータが、見られているシーンから電磁放射を受け、該電磁放射を受けたことに応答してイメージ信号を生成するよう構成され、前記イメージ信号が、各々の検出器要素における熱雑音に起因して生じた成分を含み、前記基準マイクロボロメータが、前記電磁放射を受けることから保護され、前記熱雑音を示す基準信号を生成するよう構成され、各検出器要素が、基準信号を前記イメージ信号から減じて補正イメージ信号を生成するよう構成される回路を更に含み、前記回路が、前記基準マイクロボロメータと前記イメージングマイクロボロメータとの間に直列に接続された相補型トランジスタの対を含む、マイクロボロメータアレイと
を有し、
当該サーマルイメージングデバイスは、前記複数の検出器要素からの前記補正イメージ信号から、前記見られているシーンのイメージを生成するよう構成される、
サーマルイメージングデバイス。 - 各検出器要素の前記イメージングマイクロボロメータは、前記ROIC基板の上に浮かされた熱感知材の層を含み、各検出器要素の前記基準マイクロボロメータは、前記熱感知材から作られた基準抵抗を含む、
請求項19に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記熱感知材は、酸化バナジウムである、
請求項20に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記基準抵抗は、前記熱感知材の層の抵抗値に等しい抵抗値で構成される、
請求項20に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記基準抵抗は、前記ROIC基板に配置され、各検出器要素は、前記基準抵抗の上に配置され、前記電磁放射を受けることから前記基準マイクロボロメータを保護するよう構成された赤外線反射材の層を更に含む、
請求項20に記載のサーマルイメージングデバイス。 - 前記ROIC基板に実装され、前記マイクロボロメータアレイへ結合されたROICを更に有し、該ROICは、前記見られているシーンの前記イメージを生成するように、前記複数の検出器要素からの前記イメージ信号及び前記基準信号を処理するよう構成される、
請求項19に記載のサーマルイメージングデバイス。
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KR20210021271A (ko) * | 2019-08-17 | 2021-02-25 | 삼성전자주식회사 | 칩 국부적 열원을 이용한 이미지 센서 내의 열 쉐이딩을 감소시키기 위한 시스템 및 방법 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58162072A (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-26 | Chino Works Ltd | 光−抵抗値変換素子 |
JPH07260579A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Ishizuka Denshi Kk | 赤外線検出器 |
JP2004522162A (ja) * | 2001-06-01 | 2004-07-22 | レイセオン・カンパニー | 改良された高速度でマルチレベルの冷却されないボロメータおよびその製造方法 |
JP2011529572A (ja) * | 2008-07-29 | 2011-12-08 | ユリス | 抵抗型ボロメータマトリックスを通じて赤外線を検出するためのデバイスおよび方法 |
JP2015045641A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-12 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 向上した熱平衡化を有する補償ボロメータを備えるボロメータ型検出器 |
US20150226613A1 (en) * | 2014-02-07 | 2015-08-13 | Raytheon Company | Imaging device with shutterless non-uniformity correction |
US20160320241A1 (en) * | 2013-12-19 | 2016-11-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Measurement circuit for bolometric detector |
US20170016762A1 (en) * | 2015-07-17 | 2017-01-19 | Melexis Technologies Nv | Infrared sensing devices and methods |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6064066A (en) * | 1995-07-21 | 2000-05-16 | Texas Insruments Incorporated | Bolometer autocalibration |
JPH09257587A (ja) | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Terumo Corp | 非接触型温度計 |
JP4153861B2 (ja) | 2003-05-14 | 2008-09-24 | 株式会社東芝 | 赤外線センサ |
US7262412B2 (en) | 2004-12-10 | 2007-08-28 | L-3 Communications Corporation | Optically blocked reference pixels for focal plane arrays |
JP2009168611A (ja) | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線固体撮像素子 |
FR2966595B1 (fr) | 2010-10-26 | 2013-01-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de detection d'un rayonnement electromagnetique. |
US9261411B2 (en) * | 2012-12-19 | 2016-02-16 | Institut National D'optique | Uncooled microbolometer detector and array for terahertz detection |
EP2942609A1 (en) * | 2014-05-07 | 2015-11-11 | ams AG | Bolometer and method for measurement of electromagnetic radiation |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58162072A (ja) * | 1982-03-23 | 1983-09-26 | Chino Works Ltd | 光−抵抗値変換素子 |
JPH07260579A (ja) * | 1994-03-24 | 1995-10-13 | Ishizuka Denshi Kk | 赤外線検出器 |
JP2004522162A (ja) * | 2001-06-01 | 2004-07-22 | レイセオン・カンパニー | 改良された高速度でマルチレベルの冷却されないボロメータおよびその製造方法 |
JP2011529572A (ja) * | 2008-07-29 | 2011-12-08 | ユリス | 抵抗型ボロメータマトリックスを通じて赤外線を検出するためのデバイスおよび方法 |
JP2015045641A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-12 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | 向上した熱平衡化を有する補償ボロメータを備えるボロメータ型検出器 |
US20160320241A1 (en) * | 2013-12-19 | 2016-11-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Measurement circuit for bolometric detector |
US20150226613A1 (en) * | 2014-02-07 | 2015-08-13 | Raytheon Company | Imaging device with shutterless non-uniformity correction |
US20170016762A1 (en) * | 2015-07-17 | 2017-01-19 | Melexis Technologies Nv | Infrared sensing devices and methods |
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