JP2022188253A - 熱交換ユニットおよびこれを備えた洗浄装置 - Google Patents

熱交換ユニットおよびこれを備えた洗浄装置 Download PDF

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Abstract

【課題】被加熱物を効果的に加熱可能な熱交換ユニットを提供する。【解決手段】本開示の熱交換ユニットは、長手方向に延びる、両端が開放された筒状のセラミック体、およびセラミック体に埋設され、セラミック体の長手方向一方端部から他方端部に向かって延びる発熱抵抗体を含むヒータと、一端部が閉塞され、他端部が開放されている筒状のケースであって、開放された他端部の開口にヒータが挿着され、セラミック体の一方端部寄りの部分を収容するケースとを備え、セラミック体の内周面によって規定される第1空間とセラミック体の外周面およびケースの内周面によって規定される第2空間とが連通して、流体の流路を形成する。ケースは、第2空間と外部とを連通させる流出口を有し、発熱抵抗体は、セラミック体の、流出口に対向する部位まで延びる。【選択図】図2A

Description

本開示は、流体加熱装置、粉体加熱装置、気体加熱装置、酸素センサ、はんだごて等に用いられる熱交換ユニットおよびこれを備えた洗浄装置に関する。
流体加熱装置に用いられる熱交換ユニットとして、特許文献1は、筒状のセラミックヒータを、流体流路を内部に有し、流体流路と外部とを連通させる流出口が設けられているケースに挿着してなり、流体をセラミックヒータの内部および外部にて加熱し、ケースの流出口から外部に流出させる熱交換ユニットを開示している。
被加熱物を効果的に加熱可能な熱交換ユニットを提供することが求められている。特許文献1は、セラミックヒータに含まれる発熱抵抗体の具体的な構成を開示していない。そのため、特許文献1に記載された熱交換ユニットでは、流体を効果的に加熱できないことがある。
特開2014-228252号公報
本開示の一つの態様の熱交換ユニットは、長手方向に延びる、両端が開放された筒状のセラミック体と、前記セラミック体に埋設され、前記セラミック体の長手方向一方端部から他方端部に向かって延びており、複数の直線状部分と複数の折り返し部分とを含むミアンダ状の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に接続して前記セラミック体の前記他方端部に向かって延びる引出導体と、前記セラミック体が挿通される孔を有し、接合材を介して前記セラミック体の前記他方端部寄りの外周面に接合されているフランジと、を含むヒータと、一端部が閉塞され、他端部が開放されている筒状のケースであって、開放された前記他端部の開口に前記ヒータが挿着され、少なくとも、前記セラミック体の一方端部寄りの部分を収容しているケースと、を備え、前記セラミック体の内周面によって規定される第1空間と前記セラミック体の外周面および前記ケースの内周面によって規定される第2空間とが連通し、前記第1空間および前記第2空間が流体の流路を形成し、前記ケースは、前記第2空間と外部とを連通させる流出口を有し、前記ヒータは、前記フランジが前記ケースの開口を塞ぐように前記ケースに挿着されており、前記発熱抵抗体における複数の折り返し部分が、前記接合材と重なる部分に位置していることを特徴とする。
また、本開示の一つの態様の熱交換ユニットは、長手方向に延びる、両端が開放された筒状のセラミック体と、前記セラミック体に埋設され、前記セラミック体の長手方向一方端部から他方端部に向かって延びており、複数の直線状部分と複数の折り返し部分とを含むミアンダ状の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体に接続して前記セラミック体の前記他方端部に向かって延びる引出導体と、前記セラミック体が挿通される孔を有し、接合材を介して前記セラミック体の前記他方端部寄りの外周面に接合されているフランジと、を含むヒータと、一端部が閉塞され、他端部が開放されている筒状のケースであって、開放された前記他端部の開口に前記ヒータが挿着され、少なくとも、前記セラミック体の一方端部寄りの部分を収容しているケースと、を備え、前記セラミック体の内周面によって規定される第1空間と前記セラミック体の外周面および前記ケースの内周面によって規定される第2空間とが連通し、前記第1空間および前記第2空間が流体の流路を形成し、前記ケースは、前記第2空間と外部とを連通させる流出口を有し、前記ヒータは、前記フランジが前記ケースの開口を塞ぐように前記ケースに挿着されており、前記発熱抵抗体と前記引出導体との境界は、前記接合材と重なる部分に位置していることを特徴とする。
本開示の一つの態様の洗浄装置は、上記の熱交換ユニットを備え、前記流路を流過する、前記ヒータによって加熱された流体を、前記流出口を介して外部に流出させることを特徴とする。
本開示の目的、特色、および利点は、下記の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
本開示の熱交換ユニットの実施形態の一例を示す斜視図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の一例を示す、図1Aとは異なる視点の斜視図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の一例を示す断面図である。 図2Aに示す熱交換ユニットにおけるセラミック体の展開図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。 図3Aに示す熱交換ユニットにおけるセラミック体の展開図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。 図4Aに示す熱交換ユニットにおけるセラミック体の展開図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。 本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。
以下、本開示の熱交換ユニットの実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1Aは、本開示の熱交換ユニットの実施形態の一例を示す斜視図であり、図1Bは、本開示の熱交換ユニットの実施形態の一例を示す、図1Aとは異なる視点の斜視図であり、図2Aは、本開示の熱交換ユニットの実施形態の一例を示す断面図であり、図2Bは、図2Aに示す熱交換ユニットにおけるセラミック体の展開図である。なお、図1A,1Bでは、ケースを省略して図示している。なお、図2Aは、貫通導体および電極パッドを模式的に示しており、図2Aおける貫通導体および電極パッドの位置は、正確に図示されたものではない。図1B,2Bでは、発熱抵抗体および引出導体にハッチングを付して示している。図2Bでは、セラミック体の表層部の、芯材に臨む面を展開して示している。
熱交換ユニット1は、ヒータ3とケース4とを備える。ヒータ3は、セラミック体5と発熱抵抗体6とを含んでいる。
セラミック体5は、長手方向(図2Aにおける左右方向)に延びる筒状の部材である。セラミック体5の、長手方向における一方端部(先端)5dおよび他方端部(後端)5eは開放されている。セラミック体5は、三角筒状、四角筒状、円筒状、楕円筒状等であってもよく、その他の形状であってもよい。本実施形態では、例えば図1A,1Bに示すように、セラミック体5は円筒状とされている。
セラミック体5は、絶縁性のセラミック材料からなる。セラミック体5で用いられる絶縁性のセラミック材料としては、例えば、アルミナ、窒化珪素または窒化アルミニウムが挙げられる。耐酸化性を有し、製造しやすいという観点からは、アルミナを用いることができる。高強度、高靱性、高絶縁性および耐熱性に優れるという観点からは、窒化珪素を用いることができる。熱伝導に優れるという観点からは、窒化アルミニウムを用いることができる。セラミック体5は、発熱抵抗体6に含まれる金属元素の化合物を含有していてもよい。例えば、発熱抵抗体6にタングステンまたはモリブデンが含まれている場合には、セラミック体5は、WSiまたはMoSiを含有していてもよい。
セラミック体5の内周面5fおよび外周面5gの少なくとも一方は、金属材料から成る被覆層によって被覆されていてもよい。被覆層に用いられる金属材料としては、例えば、銀、金、銅、ニッケル等を含む金属材料が挙げられる。被覆層の外表面には、酸化膜が形成されていてもよい。セラミック体5の内周面5fおよび外周面5gの少なくとも一方を被覆層で被覆することにより、セラミック体5の耐蝕性を向上させることができ、ひいては、熱交換ユニット1の耐久性を高めることができる。
本実施形態では、例えば図1A,1B,2Aに示すように、セラミック体5は、芯材5aと表層部5bとを有している。芯材5aは、セラミック体5の長手方向に延びる円筒状の部材であり、両端部が開放されている。表層部5bは、芯材5aの外周面に配設されている。表層部5bは、芯材5aの外周面の全てを覆っていてもよく、芯材5aの外周面の一部のみを覆っていてもよい。本実施形態では、芯材5aの両端部が、表層部5bによって覆われておらず、表層部5bから露出している。芯材5aは、例えば、セラミック体5の長手方向における全長が30mm~150mmであり、外径が10mm~20mmであり、内径が8mm~18mmである。表層部5bは、例えば、セラミック体5の長手方向における全長が28mm~148mmであり、厚みが0.2mm~1mmである。
セラミック体5は、外周面5gに長手方向に延びる凹部5cを有している。凹部5cは、例えば図1A,1Bに示すように、表層部5bが芯材5aの外周面の全てを覆っておらず、芯材5aの外周面の一部が露出することによって形成されている。凹部5cは、表層部5bの、セラミック体5の長手方向における全長にわたって設けられていてもよく、表層部5bの、セラミック体5の長手方向における一部のみに設けられていてもよい。
発熱抵抗体6は、導電性を有する、線状または帯状の部材である。発熱抵抗体6は、電流が流れることによって発熱し、セラミック体5を介して、被加熱物を加熱する。発熱抵抗体6は、セラミック体5に埋設され、セラミック体5の一方端部5dから他方端部5eに向かって延びている。本実施形態では、例えば図1Bに示すように、発熱抵抗体6は、芯材5aと表層部5bとの間に配設されており、芯材5aの露出した外周面には配設されていない。
発熱抵抗体6は、高融点の金属を主成分とする導電性材料から成る。発熱抵抗体6で用いられる導電性材料としては、例えば、タングステン、モリブデンまたはレニウム等を主成分とする導電性材料が挙げられる。発熱抵抗体6は、セラミック体5の形成材料を含んでいてもよい。また、発熱抵抗体6の寸法は、例えば、幅を0.3mm~2mm、厚みを0.01mm~0.1mm、全長を500mm~5000mmと設定することができる。発熱抵抗体6の寸法は、発熱抵抗体6の発熱温度および発熱抵抗体6に印加する電圧等に応じて適宜設定される。
発熱抵抗体6は、セラミック体5の周方向に沿って一方端部5dと他方端部5eとの間で繰り返して折り返して往復した形状の導体パターンを有している。換言すると、発熱抵抗体6は、複数の直線状部分6aと複数の折り返し部分6bとを含むミアンダ状の導体パターンを有している。複数の直線状部分6aは、セラミック体5の長手方向に沿って延び、それぞれが間隙を介して並設されている。複数の折り返し部分6bは、セラミック体5の長手方向に垂直な断面で見たときに、セラミック体5の周方向に沿って延び、隣り合う直線状部分6aの端部同士を接続している。折り返し部分6bは、図1B,2Bに示すような直線形状であってもよく、曲線形状であってもよい。発熱抵抗体6の横断面は、円形状、楕円形状、矩形状等であってもよく、その他の形状であってもよい。
セラミック体5は、一対の引出導体7と、貫通導体8と、電極パッド9とをさらに有している。
引出導体7は、セラミック体5の長手方向に延びる、線状または帯状の部材である。引出導体7は、例えば図2Aに示すように、芯材5aと表層部5bとの間に配設されている。各引出導体7の一方の端部は、発熱抵抗体6に接続されている。また、各引出導体7の他方の端部は、発熱抵抗体6に接続された一方の端部よりも、セラミック体5の他方端部5e側に位置している。
引出導体7は、高融点の金属を主成分とする導電性材料から成る。引出導体7で用いられる導電性材料としては、例えば、タングステン、モリブデンまたはレニウム等を主成分とする導電性材料が挙げられる。引出導体7は、セラミック体5の形成材料を含んでいてもよい。
引出導体7は、発熱抵抗体6よりも単位長さ当たりの抵抗値が低くされていてもよい。引出導体7は、セラミック体5の形成材料の含有量を発熱抵抗体6よりも少なくすることによって、発熱抵抗体6よりも単位長さ当たりの抵抗値が低くされていてもよい。あるいは、引出導体7は、引出導体7の横断面の面積を発熱抵抗体6の横断面の面積よりも大きくすることによって、発熱抵抗体6よりも単位長さ当たりの抵抗値が低くされていてもよい。
貫通導体8は、セラミック体5の内部に配設され、セラミック体5の径方向に延びている。本実施形態では、貫通導体8は、セラミック体の表層部5bを径方向に貫通している。貫通導体8の一方の端面は、引出導体7の、発熱抵抗体6に接続されていない他方の端部に接続され、貫通導体8の他方の端面は、セラミック体5の外周面5gに露出している。
貫通導体8は、高融点の金属を主成分とする導電性材料から成る。貫通導体8で用いられる導電性材料としては、例えば、タングステン、モリブデンまたはレニウム等を主成分とする導電性材料が挙げられる。貫通導体8は、セラミック体5の形成材料を含んでいてもよい。
電極パッド9は、セラミック体5の外周面に配設されている。電極パッド9は、貫通導体8の、セラミック体5の外周面5gに露出している端面を覆っている。電極パッド9は、リード端子が接合され、リード端子を介して、外部回路(外部電源)と電気的に接続される。電極パッド9は、導電性材料から成り、電極パッド9で用いられる導電性材料としては、例えば、タングステン、モリブデン等からなる導電性材料が挙げられる。また、電極パッド9の外表面には、例えば、ニッケル-ボロン、金等からなるめっき層が設けられていてもよい。電極パッド9は、例えば、厚みが10μm~300μmであり、長さおよび幅が1mm~10mmである。
ヒータ3は、図2Aに示すように、金属層11とフランジ12とをさらに有している。
金属層11は、セラミック体5の外周面5gに配設されている。金属層11は、例えば図2Aに示すように、電極パッド9よりも、セラミック体5の一方端部5d側に位置している。金属層11は、例えば、タングステン、モリブデン等の金属材料から成る。
金属層11の外表面には、接合材13を介して、フランジ12が接合される。金属層11の外表面には、ニッケル、錫、金等から成るめっき層が形成されていてもよい。これにより、金属層11と接合材13との濡れ性を向上させることができ、ひいては、セラミック体5とフランジ12との接合強度を高めることができる。
フランジ12は、例えば金属材料から成る、環状の部材である。フランジ12は、ヒータ3を外部機器に取り付けやすくするための部材であり、ヒータ3のセラミック体5が挿通される孔12dを有している。フランジ12に用いられる金属材料としては、例えば、ステンレス鋼、鉄-ニッケル-コバルト合金等が挙げられる。耐蝕性の観点からは、ステンレス鋼を用いることができる。また、フランジ12の表面は、ニッケル、錫、金等の金属を主成分とするめっき層で被覆されていてもよく、これにより、フランジ12の耐蝕性を向上させることができる。
フランジ12は、第1部分12a、第2部分12bおよび第3部分12cを有している。第1部分12aは、金属層11から外周側に垂直に立ち上がっている。第2部分12bは、第1部分12aの外周側の端部から、セラミック体5の他方端部5e側に向かって延びている。第3部分12cは、第2部分12bの他方端部5e側の端部から外周側に延びている。換言すると、フランジ12は、例えば図2Aに示すように、セラミック体5の長手方向を含む断面で見たときに、内周から外周に至る途中に2つの屈曲部を有している。
フランジ12の第1部分12aは、接合材13を介して、金属層11に接合されている。接合材13としては、金属層11とフランジ12を接合するための材料を適宜用いることができる。本実施形態では、接合材13として、銀ろう、銀-銅ろう等のろう材を用いている。
金属層11およびフランジ12は、セラミック体5の長手方向における金属層11の長さが、セラミック体5の長手方向における第1部分12aの長さよりも大きくされていてもよい。これにより、接合材13は、金属層11からフランジ12の第1部分12aにかけて広がるメニスカス部を有するので、セラミック体5とフランジ12との接合強度を高めることができ、ひいては、熱交換ユニット1の耐久性を向上させることができる。
熱交換ユニット1のケース4は、一端部(先端部)が閉塞され、他端部(後端部)が開放された筒状の部材である。ケース4は、三角筒状、四角筒状、円筒状、楕円筒状等であってもよく、その他の形状であってもよい。本実施形態では、ケース4は円筒状とされている。セラミック体5およびケース4は、セラミック体5の軸線とケース4の軸線とが一致するように配置されていてもよい。ケース4は、耐熱性に優れた樹脂材料から成る。ケース4に用いられる樹脂材料としては、例えば、フッ素樹脂が挙げられる。また、ケース4の寸法は、例えば、セラミック体5の長手方向における全長が40mm~160mmであり、内径が10mm~25mmである。
ケース4の、開放された他端部の開口4aには、ヒータ3が挿着されている。ケース4は、セラミック体5の一方端部5d寄りの部分を収容している。ヒータ3は、例えば図2Aに示すように、フランジ12の第2部分12bの一部が開口4aに圧入固定されることによって、ケース4に挿着されている。第2部分12bは、Oリングを介して、ケース4の開口4aに圧入固定されていてもよい。
熱交換ユニット1では、セラミック体5の内周面5fによって規定される第1空間10aと、セラミック体5の外周面5gおよびケース4の内周面4cによって規定される第2空間10bとが連通し、被加熱物である流体が流過する流路10を形成している。また、ケース4は、第2空間10bと外部とを連通させる流出口4bを有している。流出口4bは、ヒータ3によって加熱された流体を外部に流出させるための開口である。流出口4bは、例えば図2Aに示すように、ケース4の側壁のうち、セラミック体5の他方端部5e寄りの箇所に設けられている。流出口4bは、例えば、内径が1mm~5mmである。
本実施形態の熱交換ユニット1では、発熱抵抗体6は、セラミック体5の一方端部5dから他方端部5eに向かって、セラミック体5の、流出口4bに対向する部位まで延びている。これにより、流路10を流れる流体は、流出口4bから外部に流出する直前まで発熱抵抗体6によって加熱される。したがって、本実施形態の熱交換ユニット1によれば、被加熱物である流体を効果的に加熱することができる。
次に、本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例について説明する。
図3Aは、本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図であり、図3Bは、図3Aに示す熱交換ユニットにおけるセラミック体の展開図である。図3Aに示す断面図は、図2Aに示した断面図に対応し、図3Bに示す展開図は、図2Bに示した展開図に対応する。なお、図3Aは、貫通導体および電極パッドを模式的に示しており、図3Aおける貫通導体および電極パッドの位置は、正確に図示されたものではない。また、図3Bでは、発熱抵抗体および引出導体にハッチングを付して示している。本実施形態の熱交換ユニット1Aは、上記の熱交換ユニット1に対して、発熱抵抗体6の構成が異なっており、その他については、同様の構成であるので、同様の構成には熱交換ユニット1と同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態の熱交換ユニット1Aは、発熱抵抗体6が、セラミック体5の、流出口4bに対向する部位よりも、セラミック体5の他方端部側に延びる構成とされている。このような構成によれば、流出口4b近傍の全領域において、流体を発熱抵抗体6によって加熱することできる。したがって、本実施形態の熱交換ユニット1Aによれば、流体を効果的に加熱することができる。
図4Aは、本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図であり、図4Bは、図4Aに示す熱交換ユニットにおけるセラミック体の展開図である。図4Aに示す断面図は、図2A,3Aに示した断面図に対応し、図4Bに示す展開図は、図2B,3Bに示した展開図に対応する。なお、図4Aは、貫通導体および電極パッドを模式的に示しており、図4Aおける貫通導体および電極パッドの位置は、正確に図示されたものではない。また、図4Bでは、発熱抵抗体および引出導体にハッチングを付して示している。本実施形態の熱交換ユニット1Bは、上記の熱交換ユニット1,1Aに対して、発熱抵抗体6の構成が異なっており、その他については、同様の構成であるので、同様の構成には熱交換ユニット1,1Aと同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態の熱交換ユニット1Bでは、発熱抵抗体6が、セラミック体5の、フランジ12に近接する部位まで延びるように構成されている。このような構成によれば、第1空間10aおよび第2空間10bの全領域において、流体を発熱抵抗体6によって加熱することできる。したがって、本実施形態の熱交換ユニット1Bによれば、流体を効果的に加熱することができるとともに、流出口4bから流出される流体の温度を安定させることができる。
発熱抵抗体6は、セラミック体5の、ケース4の開口4aに近接する部位までさらに延びていてもよい。これにより、第1空間10aおよび第2空間10bの全領域において、流体を発熱抵抗体6によって加熱することできる。さらに、フランジ12およびフランジ12に接する流体を発熱抵抗体6によって加熱することができるため、流体の熱がフランジ12を介して外部に逃げることを抑制することができる。このように、発熱抵抗体6が開口4aに近接する部位まで延びることにより、流体を効果的に加熱することができるとともに、流出口4bから流出される流体の温度を安定させることができる。
図5は、本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。図5に示す断面図は、図2Aに示す切断面線A-A、図3Aに示す切断面線B-Bおよび図4Aに示す切断面線C-Cで切断したときの、熱交換ユニットの横断面図に対応する。本実施形態の熱交換ユニット1Cは、上記の熱交換ユニット1,1A,1Bに対して、フランジ12の構成が異なっており、その他については、同様の構成であるので、同様の構成には熱交換ユニット1,1A,1Bと同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態の熱交換ユニット1Cでは、フランジ12の第3部分12cの外周部に、径方向に突出する突出部12eが設けられている。これにより、熱交換ユニットを外部機器に取り付ける際に、熱交換ユニットと外部機器との位置合わせが容易になる。
突出部12eは、図5に示すように、セラミック体5の長手方向に垂直な断面で見たときに、セラミック体5の図心C1に対して、流出口4bの反対側に位置していてもよい。本実施形態では、外部に熱を逃がしやすい突出部12eが流出口4bの反対側に位置しているため、流出口4b近傍を流れる流体の温度低下を抑制することができる。したがって、本実施形態の熱交換ユニット1Cによれば、流体を効果的に加熱することができる。なお、例えば図5に示すように、セラミック体5の長手方向に垂直な断面において、セラミック体5の図心C1と流出口4bの図心C2とを結ぶ仮想線をL1とし、セラミック体5の図心C1と突出部12eの図心C3とを結ぶ仮想線をL2とする場合、L1とL2とがなす角度αが0°~90°の範囲にあればよい。
図6は、本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。図6に示す断面図は、図2Aに示す切断面線A-A、図3Aに示す切断面線B-Bおよび図4Aに示す切断面線C-Cで切断したときの、熱交換ユニットの横断面図に対応する。本実施形態の熱交換ユニット1Dは、上記の熱交換ユニット1,1A,1Bに対して、流出口4bと凹部5cとの相対位置が異なっており、その他については、同様の構成であるので、同様の構成には熱交換ユニット1,1A,1Bと同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態の熱交換ユニット1Dでは、セラミック体5の長手方向に垂直な断面で見たときに、凹部5cが、セラミック体5の、流出口4bに対向する部位とは反対側に位置している。前述したように、凹部5cの底面を成す、芯材5aの露出した外周面には、発熱抵抗体6が設けられていない。そのため、ヒータ3は、凹部5c近傍の領域の発熱量が、その他の領域の発熱量に比べて少なくなることがある。本実施形態では、凹部5cが、セラミック体5における流出口4bに対向する部位とは反対側に位置しているため、流出口4b近傍を流れる流体の温度低下を抑制することができる。したがって、本実施形態の熱交換ユニット1Dによれば、流体を効果的に加熱することができる。例えば図6に示すように、セラミック体5の長手方向に垂直な断面において、セラミック体5の図心C1と流出口4bの図心C2とを結ぶ仮想線をL1とし、セラミック体5の図心C1と凹部領域5hの図心C4とを結ぶ仮想線をL3とする場合、L1とL3とがなす角度βが0°~90°の範囲にあればよい。ここで、凹部領域5hとは、セラミック体5の外周面5gをセラミック体5の周方向に仮想的に延長した場合に、この仮想的な外周面と凹部5cの内面とで規定される領域を指す。
図7は、本開示の熱交換ユニットの実施形態の他の例を示す断面図である。図7に示す断面図は、図2A,3A,4Aに示した断面図に対応する。なお、図7は、貫通導体および電極パッドを模式的に示しており、図7における貫通導体および電極パッドの位置は、正確に図示されたものではない。また、本実施形態の熱交換ユニット1Eは、上記の熱交換ユニット1,1A,1B,1C,1Dに対して、流出口4bの構成が異なっており、その他については、同様の構成であるので、同様の構成には熱交換ユニット1,1A,1B,1C,1Dと同じ参照符号を付して詳細な説明は省略する。
本実施形態の熱交換ユニット1Eは、図7に示すように、流出口4bが開口4aに近接するように構成されている。このような構成によれば、流体が第2空間10bにおける流出口4bとフランジ12との間の領域に滞留することを抑制することができるため、滞留した流体が流出口4b近傍に移動し、流出口4bから流出される流体の温度を不所望に変化させることを抑制することができるため、流出口4bから流出される流体の温度を安定させることができる。したがって、本実施形態の熱交換ユニット1Eによれば、流体を効果的に加熱することができる。
次に、熱交換ユニット1,1A,1B,1C,1D,1Eの製造方法の一例について説明する。本例では、セラミック体5がアルミナ質セラミックスから成る場合の例について説明する。
まず、Alを主成分とし、SiO,CaO,MgO,ZrOが合計で10質量%以内になるように調整した、セラミック体5の表層部5bとなるアルミナ質セラミックグリーンシートを作製する。このアルミナ質セラミックグリーンシートの表面に、発熱抵抗体6および引出導体7となる所定のパターンを形成する。この所定のパターンの形成方法としては、スクリーン印刷法、転写法、抵抗体埋設法、その他の方法として金属箔をエッチング法などにより形成する方法や、ニクロム線をコイル状に形成し埋設する方法などがある。品質面での安定性および製造コストの抑制の観点からは、スクリーン印刷法が用いられやすい。なお、発熱抵抗体6および引出導体7は、それぞれを別々な形成方法で形成しても良い。
次に、セラミックグリーンシートの、発熱抵抗体6および引出導体7を形成する面とは反対側の面に、発熱抵抗体6および引出導体7の形成と同様に、電極パッド9および金属層11となるパターンを所定のパターン形状で形成する。また、セラミックグリーンシートには、引出導体7と電極パッド9とを電気的に接続する貫通導体8を形成するための孔加工、および貫通導体8となる導体ペーストの充填がなされる。発熱抵抗体6、引出導体7、貫通導体8および電極パッド9は、例えばタングステン、モリブデン、レニウムなどの高融点金属を主成分とする導電性ペーストを用いることができる。
一方、押し出し成型にて、セラミック体5の芯材5aとなる、円筒状のアルミナ質セラミック成型体を成型する。この円筒状のアルミナ質セラミック成型体に前述のアルミナ質セラミックグリーンシートを巻きつけ、同一の組成のアルミナ質セラミックスを分散させた密着液を塗布して密着させることで、セラミック体5となるアルミナ質一体成型体を得ることができる。なお、アルミナ質セラミック成型体にアルミナ質セラミックグリーンシートを巻きつける際に、アルミナ質セラミック成型体の外周面のうち所定の領域がアルミナ質セラミックグリーンシートによって覆われないようにすることで、凹部5cとなる溝を有するアルミナ質一体成型体を得ることができる。得られたアルミナ質一体成型体を1500~1600の還元雰囲気中(窒素雰囲気)で焼成することで、アルミナ質一体成型体が収縮し、アルミナ質一体焼結体(セラミック体5)を作製することができる。
次に、セラミック体5に形成された電極パッド9および金属層11上にめっきを施す。めっきは、ニッケルめっき、金めっき、錫めっき等が汎用的である。めっきの施術方法は、無電解めっき、電解めっき、バレルめっきなどの施術方法を目的に応じて選択することができる。
フランジ12は、ステンレス鋼の板に切削加工、打ち抜き加工、プレス加工等を施して、第1部分12a、第2部分12bおよび第3部分12cを有するとともに、セラミック体5が挿通される孔12dを有する形状にすることで作製することができる。
次に、治具にセラミック体5をセットし、フランジ12の孔12dがセラミック体5の金属層11と重なるように位置合わせし、接合材13を用いて、還元雰囲気の炉にて約1000の温度でろう付けする。
次に、フランジ12の第2部分12bの外周面に、ゴム等から成るOリングを取り付ける。樹脂製のケース4を準備し、Oリングを取り付けたヒータ3をケース4に挿着することによって、熱交換ユニット1,1A,1B,1C,1D,1Eを製造することができる。
次に、本開示の洗浄装置の実施形態の一例について説明する。
本実施形態の洗浄装置は、上記の熱交換ユニット1,1A,1B,1C,1D,1Eを備える。洗浄装置は、流路10を流過する、ヒータ3によって加熱された流体を、流出口4bを介して外部に流出させるように構成されている。流体は、例えば、公共水道等の水源から供給される水である。流体は、セラミック体5の、他方端部5e側の開口から第1空間10aに流入した後、第2空間10bに流入し、流出口4bから外部へ放出される。流体は、流路10を通過する間にヒータ3によって所定の温度まで加熱される。加熱された流体は、例えば、人体局部の洗浄用に使用される。本実施形態の洗浄装置は、熱交換ユニット1,1A,1B,1C,1D,1Eを備えることにより、流体を効果的に加熱することができる。
以上、本開示の実施形態について詳細に説明したが、また、本開示は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、改良等が可能である。上記各実施形態をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
1,1A,1B,1C,1D,1E 熱交換ユニット
3 ヒータ
4 ケース
4a 開口
4b 流出口
4c 内周面
5 セラミック体
5a 芯材
5b 表層部
5c 凹部
5d,5e 端部
5f 内周面
5g 外周面
5h 凹部領域
6 発熱抵抗体
6a 直線状部分
6b 折り返し部分
7 引出導体
8 貫通導体
9 電極パッド
10 流路
10a 第1空間
10b 第2空間
11 金属層
12 フランジ
12a 第1部分
12b 第2部分
12c 第3部分
12d 孔
12e 突出部
13 接合材

Claims (9)

  1. 長手方向に延びる、両端が開放された筒状のセラミック体と、
    前記セラミック体に埋設され、前記セラミック体の長手方向一方端部から他方端部に向かって延びており、複数の直線状部分と複数の折り返し部分とを含むミアンダ状の発熱抵抗体と、
    該発熱抵抗体に接続して前記セラミック体の前記他方端部に向かって延びる引出導体と、
    前記セラミック体が挿通される孔を有し、接合材を介して前記セラミック体の前記他方端部寄りの外周面に接合されているフランジと、
    を含むヒータと、
    一端部が閉塞され、他端部が開放されている筒状のケースであって、開放された前記他端部の開口に前記ヒータが挿着され、少なくとも、前記セラミック体の一方端部寄りの部分を収容しているケースと、を備え、
    前記セラミック体の内周面によって規定される第1空間と前記セラミック体の外周面および前記ケースの内周面によって規定される第2空間とが連通し、前記第1空間および前記第2空間が流体の流路を形成し、
    前記ケースは、前記第2空間と外部とを連通させる流出口を有し、
    前記ヒータは、前記フランジが前記ケースの開口を塞ぐように前記ケースに挿着されており、
    前記発熱抵抗体における複数の折り返し部分が、前記接合材と重なる部分に位置していることを特徴とする熱交換ユニット。
  2. 長手方向に延びる、両端が開放された筒状のセラミック体と、
    前記セラミック体に埋設され、前記セラミック体の長手方向一方端部から他方端部に向かって延びており、複数の直線状部分と複数の折り返し部分とを含むミアンダ状の発熱抵抗体と、
    該発熱抵抗体に接続して前記セラミック体の前記他方端部に向かって延びる引出導体と、
    前記セラミック体が挿通される孔を有し、接合材を介して前記セラミック体の前記他方端部寄りの外周面に接合されているフランジと、
    を含むヒータと、
    一端部が閉塞され、他端部が開放されている筒状のケースであって、開放された前記他端部の開口に前記ヒータが挿着され、少なくとも、前記セラミック体の一方端部寄りの部分を収容しているケースと、を備え、
    前記セラミック体の内周面によって規定される第1空間と前記セラミック体の外周面および前記ケースの内周面によって規定される第2空間とが連通し、前記第1空間および前記第2空間が流体の流路を形成し、
    前記ケースは、前記第2空間と外部とを連通させる流出口を有し、
    前記ヒータは、前記フランジが前記ケースの開口を塞ぐように前記ケースに挿着されており、
    前記発熱抵抗体と前記引出導体との境界は、前記接合材と重なる部分に位置していることを特徴とする熱交換ユニット。
  3. 前記フランジが金属部材であり、
    前記接合材がろう材であり、
    前記セラミック体の外周面には金属層が配設されており、前記フランジが前記金属層を介して、前記セラミック体と接合されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の熱交換ユニット。
  4. 前記接合材は、前記金属層から前記フランジにかけて広がるメニスカス部を有しており、
    前記メニスカス部は、前記セラミック体の前記一方端部側および前記他方端部に位置する、請求項3に記載の熱交換ユニット。
  5. 前記引出導体の単位長さ当たりの抵抗値は、前記発熱抵抗体よりも低いことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の熱交換ユニット。
  6. 前記フランジは、外周部に、径方向に突出する凸部を有し、前記長手方向に垂直な断面で見たときに、前記凸部は、前記セラミック体の図心に対して、前記流出口の反対側に位置していることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の熱交換ユニット。
  7. 前記セラミック体は、前記外周面に前記長手方向に延びる凹部を有し、
    前記長手方向に垂直な断面で見たときに、前記凹部は、前記セラミック体の、前記流出口に対向する部位とは反対側に位置していることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の熱交換ユニット。
  8. 前記ケースの流出口は、前記ケースの開口に近接していることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の熱交換ユニット。
  9. 請求項1~8のいずれか1つに記載の熱交換ユニットを備え、前記流路を流過する、前記ヒータによって加熱された流体を、前記流出口を介して外部に流出させることを特徴とする洗浄装置。
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