JP2022183107A - 測定される瞳内で照明光によって照明されるときの光学系の結像品質を決定するための方法 - Google Patents
測定される瞳内で照明光によって照明されるときの光学系の結像品質を決定するための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022183107A JP2022183107A JP2022085924A JP2022085924A JP2022183107A JP 2022183107 A JP2022183107 A JP 2022183107A JP 2022085924 A JP2022085924 A JP 2022085924A JP 2022085924 A JP2022085924 A JP 2022085924A JP 2022183107 A JP2022183107 A JP 2022183107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test structure
- pupil
- illumination
- optical system
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 190
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 title claims abstract description 161
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 80
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 76
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 123
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 103
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 87
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 33
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 26
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 206010027646 Miosis Diseases 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0207—Details of measuring devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0257—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
- G01M11/0264—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested by using targets or reference patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0271—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by using interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70283—Mask effects on the imaging process
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70491—Information management, e.g. software; Active and passive control, e.g. details of controlling exposure processes or exposure tool monitoring processes
- G03F7/705—Modelling or simulating from physical phenomena up to complete wafer processes or whole workflow in wafer productions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Geometry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
1)最初に、照明方向の変位がマスクスペクトルの変位のみにつながる、すなわち、
2)小さい<<1、例えば、σ≦0.2を有する比較的コヒーレントな照明設定が存在する。以下は、照明角度分布の重みのために生ずる。
1.上述したように、さまざまな照明角度分布の空間像スタックの強度測定から生じるスペクトル
2.これから、上記の式(8)から、空間像
3.前のステップ2で計算される空間像と、さまざまなz位置でかつさまざまな照明角度分布によって検出装置25を用いて測定される空間像Imeasと、の差が最小化されるまで、すなわち、以下の最小化問題が解けるまで、伝搬スペクトル
[当初請求項1]
光学系の測定される瞳(22、24)内で照明光(1)によって照明されるときの前記光学系の結像品質を決定するための、および/または、テスト構造の位相効果を適切化するための方法であって、前記方法は、
- 少なくとも1つの次元(x;x,y)で周期的であるテスト構造(5)を前記光学系の物体面(4)に配置するステップ、
- 隣接する完全に照明された最初の瞳領域(19)によって表現される、前記テスト構造(5)を前記照明光(1)で照明するための最初の照明角度分布
を特定するステップであって、前記最初の瞳領域(19)の面積は、前記瞳(22、24)の全瞳面積の10%未満であるステップ、
- 前記テスト構造(5)を、前記特定された最初の照明角度分布で、前記物体面(4)に対して前記テスト構造(5)の異なる距離位置(z)で照明するステップ、
- 前記テスト構造(5)の最初の測定された空間像
を決定するために、空間分解の検出装置(25)を用いて前記光学系の像面(26)における前記照明光(1)の強度を測定するステップであって、各距離位置(z)で前記テスト構造(5)を結像するとき、前記照明光は、前記光学系によって導かれているステップ、
- 隣接する完全に照明されたさらなる瞳領域(19)によって表現される、前記テスト構造(5)を前記照明光(1)で照明するためのさらなる照明角度分布
を特定するステップであって、前記さらなる瞳領域(19)の面積は、前記瞳(22、24)の全瞳面積の10%未満であり、前記さらなる瞳領域(19)は、前記最初の瞳領域(19)に重複していないステップ、
- 前記テスト構造(5)を、前記特定されたさらなる照明角度分布
で、前記物体面(4)に対して前記テスト構造(5)の異なる距離位置(z)で照明するステップ、
- 前記テスト構造(5)のさらに測定された空間像
を決定するために、前記空間分解の検出装置(25)を用いて前記光学系の前記像面(26)における前記照明光(1)の強度を測定するステップであって、各距離位置(z)で前記テスト構造(5)を結像するとき、前記照明光は、前記光学系によって導かれているステップ、
- 前記測定された空間像の比較から前記光学系の結像寄与を決定するステップ、
- 前記測定された結像寄与から少なくとも1つの結像品質パラメータを決定するステップ、および/または、
- 前記測定された結像寄与から前記テスト構造(5)の複素数値回折スペクトルを決定するステップ、
を含む方法。
[当初請求項2]
前記瞳(22、24)は、少なくともほぼ円形または楕円形の端を有し、それぞれの前記照明角度分布を表現する前記瞳領域(19)は、前記瞳(22、24)の半径の30%以下である半径を有する円形または楕円形の領域によって少なくとも近似可能である、当初請求項1に記載の方法。
[当初請求項3]
「さらなる照明角度分布を特定する」ステップ、「前記テスト構造を前記特定されたさらなる照明角度分布で照明する」ステップおよび「強度を測定する」ステップは、少なくとも1回繰り返される、当初請求項1または2に記載の方法。
[当初請求項4]
測定されたスペクトル(S)は、前記強度を測定するステップの範囲内で測定され、前記光学系を通して導かれる前記周期的テスト構造(5)の回折スペクトル(M)として測定される、当初請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。
[当初請求項5]
前記瞳(22、24)における前記テスト構造の回折スペクトル(M)の純粋な変位は、さまざまな前記照明角度分布
で前記結像寄与を決定するステップに含まれる、当初請求項4に記載の方法。
[当初請求項6]
前記周期的テスト構造(5)の前記回折スペクトル(M)および前記光学系の伝達関数(T)の両方は、前記測定されたスペクトル(S)に含まれ、前記結像寄与を決定するステップは、前記伝達関数(T)が、それぞれ特定された前記照明角度分布
内で各照明方向に対して一定であるという仮定を含む、当初請求項4または5に記載の方法。
[当初請求項7]
前記測定されたスペクトル(S)の再構成は、前記結像寄与を決定するステップに含まれる、当初請求項4~6のいずれか1項に記載の方法。
[当初請求項8]
測定された空間像
と、再構成される前記測定されたスペクトル(S)に依存する空間像
と、の差は、前記測定されたスペクトル(S)の前記再構成の間最小化される、当初請求項7に記載の方法。
[当初請求項9]
前記光学系の伝達関数(T)は、前記結像寄与を決定するとき、振幅および位相が再構成される、当初請求項1~8のいずれか1項に記載の方法。
[当初請求項10]
前記さらなる瞳領域(19)の中心は、前記テスト構造(5)の回折スペクトル(18)の正確に1つの回折次数によって、前記最初の瞳領域(19)の中心から離れている、当初請求項1~9のいずれか1項に記載の方法。
[当初請求項11]
前記瞳領域(19)の1つは、前記瞳(22、24)の中心に位置する、当初請求項1~10のいずれか1項に記載の方法。
[当初請求項12]
それぞれの前記照明角度分布
は、絞りを前記光学系の前の照明ビーム経路(12)に位置決めすることによって特定されることを特徴とする、当初請求項1~11のいずれか1項に記載の方法。
[当初請求項13]
当初請求項1~12のいずれか1項に記載の方法を実行するための計測システム(2)であって、
- 前記テスト構造(5)のためのホルダ(14)を有し、
- 前記ホルダ(14)により特定された物体面(4)に照明光(1)を導くための照明光学装置(9)を有し、
- 前記照明角度分布
を特定するための特定装置(10)を有し、
- その結像品質に関して調べられる前記光学系(17)を有し、
- 前記像面(26)における前記照明光(1)の前記強度を測定するための空間分解の検出装置(25)を有し、
- 前記特定装置(10)は、駆動される方法で変位可能で、前記物体面(4)の前の照明光ビーム経路(12)に位置する絞りとして実施される、
計測システム(2)。
[当初請求項14]
前記照明光(1)のための光源(8)を特徴とする、当初請求項13に記載の計測システム。
Claims (14)
- 光学系の測定される瞳(22、24)内で照明光(1)によって照明されるときの前記光学系の結像品質を決定するための、および/または、テスト構造の位相効果を適切化するための方法であって、前記方法は、
- 少なくとも1つの次元(x;x,y)で周期的であるテスト構造(5)を前記光学系の物体面(4)に配置するステップ、
- 隣接する完全に照明された最初の瞳領域(19)によって表現される、前記テスト構造(5)を前記照明光(1)で照明するための最初の照明角度分布
- 前記テスト構造(5)を、前記特定された最初の照明角度分布で、前記物体面(4)に対して前記テスト構造(5)の異なる距離位置(z)で照明するステップ、
- 前記テスト構造(5)の最初の測定された空間像
- 隣接する完全に照明されたさらなる瞳領域(19)によって表現される、前記テスト構造(5)を前記照明光(1)で照明するためのさらなる照明角度分布
- 前記テスト構造(5)を、前記特定されたさらなる照明角度分布
- 前記テスト構造(5)のさらに測定された空間像
- 前記測定された空間像の比較から前記光学系の結像寄与を決定するステップ、
- 前記測定された結像寄与から少なくとも1つの結像品質パラメータを決定するステップ、および/または、
- 前記測定された結像寄与から前記テスト構造(5)の複素数値回折スペクトルを決定するステップ、
を含む方法。 - 前記瞳(22、24)は、少なくともほぼ円形または楕円形の端を有し、それぞれの前記照明角度分布を表現する前記瞳領域(19)は、前記瞳(22、24)の半径の30%以下である半径を有する円形または楕円形の領域によって少なくとも近似可能である、請求項1に記載の方法。
- 「さらなる照明角度分布を特定する」ステップ、「前記テスト構造を前記特定されたさらなる照明角度分布で照明する」ステップおよび「強度を測定する」ステップは、少なくとも1回繰り返される、請求項1または2に記載の方法。
- 測定されたスペクトル(S)は、前記強度を測定するステップの範囲内で測定され、前記光学系を通して導かれる前記周期的テスト構造(5)の回折スペクトル(M)として測定される、請求項1~3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記測定されたスペクトル(S)の再構成は、前記結像寄与を決定するステップに含まれる、請求項4~6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記光学系の伝達関数(T)は、前記結像寄与を決定するとき、振幅および位相が再構成される、請求項1~8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記さらなる瞳領域(19)の中心は、前記テスト構造(5)の回折スペクトル(18)の正確に1つの回折次数によって、前記最初の瞳領域(19)の中心から離れている、請求項1~9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記瞳領域(19)の1つは、前記瞳(22、24)の中心に位置する、請求項1~10のいずれか1項に記載の方法。
- 請求項1~12のいずれか1項に記載の方法を実行するための計測システム(2)であって、
- 前記テスト構造(5)のためのホルダ(14)を有し、
- 前記ホルダ(14)により特定された物体面(4)に照明光(1)を導くための照明光学装置(9)を有し、
- 前記照明角度分布
- その結像品質に関して調べられる前記光学系(17)を有し、
- 前記像面(26)における前記照明光(1)の前記強度を測定するための空間分解の検出装置(25)を有し、
- 前記特定装置(10)は、駆動される方法で変位可能で、前記物体面(4)の前の照明光ビーム経路(12)に位置する絞りとして実施される、
計測システム(2)。 - 前記照明光(1)のための光源(8)を特徴とする、請求項13に記載の計測システム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102021205328.9A DE102021205328B3 (de) | 2021-05-26 | 2021-05-26 | Verfahren zur Bestimmung einer Abbildungsqualität eines optischen Systems bei Beleuchtung mit Beleuchtungslicht innerhalb einer zu vermessenden Pupille und Metrologiesystem dafür |
DE102021205328.9 | 2021-05-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022183107A true JP2022183107A (ja) | 2022-12-08 |
Family
ID=82068297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022085924A Pending JP2022183107A (ja) | 2021-05-26 | 2022-05-26 | 測定される瞳内で照明光によって照明されるときの光学系の結像品質を決定するための方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220390320A1 (ja) |
EP (1) | EP4095505A1 (ja) |
JP (1) | JP2022183107A (ja) |
KR (1) | KR20220159903A (ja) |
CN (1) | CN115406627A (ja) |
DE (1) | DE102021205328B3 (ja) |
TW (1) | TWI817520B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022200372A1 (de) * | 2022-01-14 | 2023-07-20 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Nachbilden von Beleuchtungs- und Abbildungseigenschaften eines optischen Produktionssystems bei der Beleuchtung und Abbildung eines Objekts mittels eines optischen Messsystems |
DE102022212750A1 (de) * | 2022-11-29 | 2024-05-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum dreidimensionalen Bestimmen eines Luftbildes eines Messobjekts mithilfe eines Metrologiesystems sowie Metrologiesystem zur Durchführung des Bestimmungsverfahrens |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002022609A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Canon Inc | 投影露光装置 |
JP2004140390A (ja) * | 2003-12-01 | 2004-05-13 | Canon Inc | 照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2015503231A (ja) * | 2011-11-23 | 2015-01-29 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 投影露光装置のための照明及び変位デバイス |
JP2015517095A (ja) * | 2012-03-23 | 2015-06-18 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euvレンズの結像品質を測定するための測定システム |
US20180357758A1 (en) * | 2014-07-22 | 2018-12-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for three-dimensionally measuring a 3d aerial image of a lithography mask |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10220816A1 (de) | 2002-05-10 | 2003-11-20 | Zeiss Carl Microelectronic Sys | Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100 nm |
DE10220815A1 (de) | 2002-05-10 | 2003-11-20 | Zeiss Carl Microelectronic Sys | Reflektives Röntgenmikroskop und Inspektionssystem zur Untersuchung von Objekten mit Wellenlängen 100 nm |
US6775015B2 (en) * | 2002-06-18 | 2004-08-10 | Timbre Technologies, Inc. | Optical metrology of single features |
DE10317366B4 (de) | 2003-04-15 | 2007-01-18 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Bestimmung der Transmission einer Linse |
DE102007009661A1 (de) | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Phase und Amplitude des elektromagnetischen Feldes in der Bildebene einer Abbildung eines Objektes |
DE102010029049B4 (de) | 2010-05-18 | 2014-03-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Beleuchtungsoptik für ein Metrologiesystem für die Untersuchung eines Objekts mit EUV-Beleuchtungslicht sowie Metrologiesystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik |
WO2012084142A1 (en) * | 2010-12-23 | 2012-06-28 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Method for characterizing a structure on a mask and device for carrying out said method |
JP6324071B2 (ja) | 2011-01-11 | 2018-05-16 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | Euv結像のための装置およびその装置を用いた方法 |
DE102012011315B4 (de) * | 2012-06-04 | 2018-12-27 | Carl Zeiss Ag | Mikroskop und Verfahren zur Charakterisierung von Strukturen auf einem Objekt |
DE102013219524B4 (de) * | 2013-09-27 | 2018-02-08 | Carl Zeiss Ag | Einrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Abbildungsgüte eines optischen Systems sowie optisches System |
DE102016209616A1 (de) | 2016-06-01 | 2017-12-07 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage des mit einer Maske bei Durchführung eines Lithographieprozesses erzielten Abbildungsergebnisses |
DE102016218977B4 (de) | 2016-09-30 | 2020-11-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Ermittlung eines OPC-Modells |
DE102017208340A1 (de) * | 2017-05-17 | 2018-11-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsobjektiv mit Einstellung der Pupillentransmission |
DE102017216703A1 (de) | 2017-09-21 | 2019-03-21 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Charakterisierung mindestens einer optischen Komponente einer Projektionsbelichtungsanlage |
DE102017221005A1 (de) * | 2017-11-23 | 2019-05-23 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung einer diffraktiven Messstruktur |
WO2019109186A1 (en) * | 2017-12-06 | 2019-06-13 | Zilia Inc. | Spectroreflectrometric system provided with a pointer mode for combined imaging and spectral analysis |
DE102018210315B4 (de) | 2018-06-25 | 2021-03-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Erfassung einer Struktur einer Lithografiemaske sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
DE102018211895A1 (de) | 2018-07-17 | 2019-09-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Vermessen einer Inspektionsvorrichtung |
WO2020106335A1 (en) * | 2018-11-21 | 2020-05-28 | Kla-Tencor Corporation | Single cell grey scatterometry overlay targets and their measurement using varying illumination parameter(s) |
DE102019215800A1 (de) | 2019-10-15 | 2021-04-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Bestimmung einer optischen Phasendifferenz von Messlicht einer Messlichtwellenlänge über eine Fläche eines strukturierten Objektes |
US11526086B2 (en) * | 2021-03-08 | 2022-12-13 | Kla Corporation | Multi-field scanning overlay metrology |
-
2021
- 2021-05-26 DE DE102021205328.9A patent/DE102021205328B3/de active Active
-
2022
- 2022-05-18 EP EP22174035.0A patent/EP4095505A1/de active Pending
- 2022-05-23 KR KR1020220062696A patent/KR20220159903A/ko unknown
- 2022-05-23 US US17/750,947 patent/US20220390320A1/en active Pending
- 2022-05-24 TW TW111119349A patent/TWI817520B/zh active
- 2022-05-26 JP JP2022085924A patent/JP2022183107A/ja active Pending
- 2022-05-26 CN CN202210599990.XA patent/CN115406627A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002022609A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Canon Inc | 投影露光装置 |
JP2004140390A (ja) * | 2003-12-01 | 2004-05-13 | Canon Inc | 照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2015503231A (ja) * | 2011-11-23 | 2015-01-29 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 投影露光装置のための照明及び変位デバイス |
JP2015517095A (ja) * | 2012-03-23 | 2015-06-18 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | Euvレンズの結像品質を測定するための測定システム |
US20180357758A1 (en) * | 2014-07-22 | 2018-12-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method for three-dimensionally measuring a 3d aerial image of a lithography mask |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI817520B (zh) | 2023-10-01 |
EP4095505A1 (de) | 2022-11-30 |
TW202305319A (zh) | 2023-02-01 |
US20220390320A1 (en) | 2022-12-08 |
KR20220159903A (ko) | 2022-12-05 |
CN115406627A (zh) | 2022-11-29 |
DE102021205328B3 (de) | 2022-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110631503B (zh) | 检测光刻掩模的结构的方法和实行该方法的装置 | |
JP4343685B2 (ja) | レチクル及び光学特性計測方法 | |
JP2022183107A (ja) | 測定される瞳内で照明光によって照明されるときの光学系の結像品質を決定するための方法 | |
US11441970B2 (en) | Measurement apparatus for measuring a wavefront aberration of an imaging optical system | |
KR102372739B1 (ko) | 라인 폭 변동에 대한 리소그라피 마스크의 구조-독립적 기여도를 결정하기 위한 방법 | |
US20220101569A1 (en) | Method for determining a production aerial image of an object to be measured | |
JP2011142279A (ja) | 波面収差計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | |
KR102213032B1 (ko) | 리소그래피 마스크를 측정하기 위한 이미징 광학 유닛의 이미징 수차 기여도를 결정하는 방법 | |
WO2024115173A1 (en) | Method for three-dimensional determination of an aerial image of a measurement object with the aid of a metrology system and metrology system for carrying out the determination method | |
TWI745654B (zh) | 用於確定微影光罩的焦點位置的方法及執行此方法的計量系統 | |
JP2011108696A (ja) | 波面計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | |
JP2019179237A5 (ja) | ||
JPH0949784A (ja) | 投影光学系の検査方法及びその検査に用いられる 照明光学系 | |
US11892769B2 (en) | Method for detecting an object structure and apparatus for carrying out the method | |
JP2022552984A (ja) | 計測光に関する物体の反射率を計測するための方法およびその方法を実行するための計量システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220809 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231227 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240312 |