JP2022180397A - 表示装置、モジュールおよび機器 - Google Patents

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Abstract

Figure 2022180397000001
【課題】 表示装置の信頼性や表示品質の低下を抑制する上で有利な技術を提供する。
【解決手段】 本発明の一実施形態に係る表示装置は、表示領域および前記表示領域の周辺に位置する周辺領域を有する表示デバイスと、前記表示デバイスに重なる透光板と、を備える表示装置であって、
前記表示領域と前記透光板との間には空隙が設けられており、前記周辺領域と前記透光板との間には、前記表示デバイスと前記透光板とを接合する接合部材が設けられており、前記空隙は、前記接合部材に対して前記空隙とは反対側に存在する空間に連通していることを特徴する。
【選択図】 図8

Description

本発明は、表示装置に関する。
表示装置では、表示デバイスに対向する透光板が設けられる。特許文献1には、カラーフィルタ層が配された半導体デバイスと透光板が接合部材で貼り合わされ、カラーフィルタ層と透光板との間に空隙を設けた表示装置が開示されている。
特開2020-72187号公報
表示装置に空隙を設ける場合には、空隙を設けない場合に比べて、表示装置の信頼性や表示品質が低下する可能性が高まる。そこで本発明は、表示装置の信頼性や表示品質の低下を抑制する上で有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の一実施形態に係る表示装置は、表示領域および前記表示領域の周辺に位置する周辺領域を有する表示デバイスと、前記表示デバイスに重なる透光板と、を備える表示装置であって、前記表示領域と前記透光板との間には空隙が設けられており、前記周辺領域と前記透光板との間には、前記表示デバイスと前記透光板とを接合する接合部材が設けられており、前記空隙は、前記接合部材に対して前記空隙とは反対側に存在する空間に連通していることを特徴する。
本発明によれば、表示装置の信頼性や表示品質の低下を抑制する上で有利な技術を提供することができる。
モジュールおよび表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 表示装置を説明する模式図。 機器を説明する模式図。
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態を説明する。なお、以下の説明および図面において、複数の図面に渡って共通の構成については共通の符号を付している。そのため、複数の図面を相互に参照して共通する構成を説明し、共通の符号を付した構成については適宜説明を省略する。
図1(a)は、表示装置800を備えた表示モジュール900の断面図である。図1(b)は表示装置800の平面図であり、図1(c)は表示装置800の断面図である。以下、表示装置800の例示的な構成を説明するが、本発明は例示的な表示装置800の構成の全ての特徴を兼ね備える必要はない。表示装置800は、表示領域500(図1(b)、(c)参照)を有する表示デバイス100と、表示デバイス100に重なる透光板300と、を備える。透光板300は、表示領域500に空隙180を介して対向して配置されている。つまり、表示領域500と透光板300との間には空隙180が設けられている。表示装置800は、透光板300と表示デバイス100とを接合する接合部材200と、を備える。表示領域500には複数の画素140が配列されている。画素140は発光素子、反射素子、シャッター素子などの表示素子を含む。表示デバイス100は基板105を含む。基板105は導電体基板、絶縁体基板あるいは半導体基板のいずれでもよいが、本例ではシリコンからなる単結晶半導体基板である。画素140に付属する半導体素子の少なくとも一部は、基板105の中あるいは基板105の上に設けられている。表示デバイス100は表示領域500の周辺に位置する周辺領域600を有する。透光板300は、表示領域500および周辺領域600に対向して配置されている。接合部材200は、透光板300と表示デバイス100の周辺領域600との間に配置されており、接合部材200は透光板300と表示デバイス100とに接している。
図1(a)、(c)に示すように、表示装置800は、画素140と透光板300との間に空隙180が設けられる。透光板300は、主面310と、主面310とは反対面である主面320と、側面330と、を有する。透光板300の主面310は主面320よりも表示デバイス100の近くに位置する面である。そして、透光板300の2つの主面310、320のうちの主面310が空隙180に接する面である。表示デバイス100は、表面101と、表面101とは反対面である裏面102と、端面103とを有する。表示デバイス100の表面101は裏面102よりも透光板300の近くに位置する。そして、表示デバイス100の表面101、裏面102うちの表面101が空隙180に接する面である。空隙180は真空の空間であるか、気体が存在する空間である。空隙180を設けずに表示領域500と透光板300との間を透光部材で充填すると、光が透光部材に吸収されて、光の利用効率が低下し、輝度などの表示品質が低下する。空隙180を設けることで、表示デバイス100の表面101と透光板300の主面310との間での光の損失(吸収)を抑制できるため、光の利用効率の向上に有利である。空隙180に存在する気体は典型的には空気であり、空隙180のことをエアギャップと称することもできる。空隙180に存在する気体は、空気に限らず窒素やアルゴンなどの不活性ガスであってもよいし、活性ガスであってもよい。透光板300は、表示領域500および周辺領域600に対向して配置されている。接合部材200は、透光板300の主面310と表示デバイス100の表面101との間に配置されており、接合部材200は透光板300の主面310および表示デバイス100の表面101に接している。表示領域500に設けられた画素140に含まれる表示素子の少なくとも一部は、透光板300と基板105との間に配置されている。
ここで、空隙180の厚さに相当する寸法として、表示デバイス100の空隙180に接する表面101から透光板300の空隙180に接する主面310までの距離Gを定義する。距離Gの詳細については後述する。本例では、透光板300が接合部材200を介して表示デバイス100によって支持されているが、透光板300と表示デバイス100との間に接合部材200を設けずに、表示デバイス100に接しない別の支持部材によって透光板300を支持してもよい。例えば表示デバイス100を、枠部で囲まれた凹部を有する支持部材の凹部の底面に固定し、透光板300を枠部に固定してもよい。そうすれば、枠部によって透光板300と表示デバイス100との間に空隙180を形成できる。
表示デバイス100は、外部接続端子190を有する。外部接続端子190は、表示デバイス100と透光板300とが重なる方向において透光板300に重ならない位置に配されている。図1(b)に示す様に、透光板300は表示デバイス100よりも平面視での面積が小さくなっている。したがって、表示デバイス100の表示領域500を含む大部分は透光板300に重なるものの、表示デバイス100の残りの一部は透光板300に重ならない。表示デバイス100のうちの、この透光板300に重ならない部分に外部接続端子190が設けられている。なお、基板105に貫通電極を設ければ、外部接続端子190を透光板300に重なる位置に設けることも可能である。
表示モジュール900は、表示装置800の表示デバイス100の外部接続端子190に接続されたフレキシブル配線板などの配線部材400を備える。外部接続端子190を表示デバイス100のうちの透光板300に重ならない部分に設けたので、透光板300が配線部材400に干渉しない。外部接続端子190とフレキシブル配線板などの配線部材400との電気的な接続部は、半田やACF(異方性導電性フィルム)などの導電部材410によって構成される。表示モジュール900は、表示装置800に固定された遮光部材450と、遮光部材450に固定され、透光板300を覆う透光部材470と、をさらに備えることができる。透光部材470と透光板300との間には、遮光部材450で囲まれた空間460が位置する。遮光部材450が空間460を囲むことから、遮光部材450を枠部材あるいは外囲部材と称することもできる。透光部材470は空間460を塞ぐカバーとしての役割を有する。透光部材470はレンズやプリズムのような光学部材であってもよい。ユーザーは透光部材470および透光板300を介して表示デバイス100の表示領域500に表示された画像を観察することができる。
図1(b)は表示装置800を表示デバイス100の主面である表面101あるいは裏面102に対して平面視した際の平面図を示している。平面視における配置とは、表示デバイス100の主面である表面101あるいは裏面102に対して垂直な方向(主面の法線方向)から表示装置800を視た際の配置であり、重なっている部材については、透視可能であるものとする。表示デバイス100の主面である表面101あるいは裏面102に対する平面視において、透光板300が表示デバイス100の表示領域500に重なる。透光板300が表示デバイス100および画素140に対向する方向(対向方向)は、表示デバイス100の主面である表面101あるいは裏面102に対して垂直な方向(主面の法線方向)である。表示デバイス100は、有効画素が設けられた表示領域500および表示領域500の周辺に位置する周辺領域600を有する。表示領域500を有効画素領域と称することもできる。表示領域500は四辺形であり、表示領域500の各辺の長さは例えば1~100mm、例えば5~50mmであり、対角長は例えば1~100mm、例えば5~50mmである。表示領域500の縦横比は例えば16:V(V=8~13、典型的にはV=9または12)である。表示領域500の対角長は24mm以上であることが好ましい。成人の眼球のサイズの平均値は24mmであり、対角長が24mm以上である表示領域500を有するヘッドマウントディスプレイは、優れた映像体験をユーザーに提供できる。周辺領域600は、周辺回路が配された周辺回路領域を含みうる。表示装置における周辺回路は、有効画素を駆動するための駆動回路や、有効画素に入力する信号を処理する、DAC(デジタルアナログ変換回路)等の処理回路を含む。周辺領域600は、周辺回路領域と表示領域500との間に位置し、非有効画素が設けられた非有効画素領域を含みうる。非有効画素とは、有効画素としては機能しない、ダミー画素や基準画素、テスト画素、モニタ画素などである。
図1(c)は表示装置800の断面図である。表示装置800は、表示デバイス100に形成された外部接続端子190に、半田や異方性導電性フィルム(ACF)などの導電部材410を介してフレキシブル配線板(FPC)などの配線部材400が接続されている。表示デバイス100は、基板105と、半導体素子110と、絶縁部材120と、配線構造130と、画素140と、外部接続端子190(パッドとも称する)を含む。表示デバイス100には、接合部材200を介して透光板300が接合されており、画素140と透光板300との間には所定の距離Gを有する空隙180が設けられる。基板105は単結晶シリコンなどの半導体からなる。半導体素子110はトランジスタやダイオードであり、その少なくとも一部は基板105の中に設けられている。配線構造130はアルミニウム層や銅層などの多層配線層と、ビアプラグやコンタクトプラグを含む。外部接続端子190は配線構造130に含まれる配線層で構成されうる。
絶縁部材120は、複数の層間絶縁層を含み、酸化シリコン層や窒化シリコン層、炭化シリコン層などからなる。なお、酸窒化シリコンや炭窒化シリコンは、窒素とシリコンを主たる元素とすることから、窒化シリコンの一種とみなす。表示デバイス100の表示領域500には画素140が設けられている。画素140に含まれる表示素子は、ELD(エレクトロルミネッセンスディスプレイ)におけるEL素子、LCD(リキッドクリスタルディスプレイ)における液晶素子(シャッター素子)、DMD(デジタルミラーデバイス)における反射素子である。
画素140の表示素子は各々、絶縁部材120に設けられたビア(不図示)を介して配線構造130に接続し、配線構造130を介して半導体素子110と電気的に接続している。一般的には赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色の画素140(ピクセル)が1セットとなって表示単位145の色をフルカラーで表現する。表示単位145に含まれる各色の画素140を副画素(サブピクセル)と称することもできる。各画素140は、少なくとも表示素子で構成され、画素140には、表示素子を駆動するための配線構造130、半導体素子110が付属する。また、各画素140は表示素子に対応したマイクロレンズやカラーフィルタなどの光学素子を含みうる。各画素140の大きさを画素サイズと呼び、本実施形態では画素サイズをXと定義する。
図1(c)の破線Aで囲まれる表示領域500の外周部及び周辺領域600の拡大図を図2(a)に示す。図2(b)には表示領域500と空隙180を含む部分の拡大図を示す。
基板105の主面上に、半導体素子110と、絶縁部材120と、配線構造130と、画素140が設けられ、画素140の表示素子上には保護膜150が設けられる。画素140の表示素子は画素140毎に設けられており、例えば白色EL素子である。画素140は、表示素子である白色EL素子と、白色EL素子に対応付けられた原色のカラーフィルタと、を含んで構成される。白色EL素子から発光した白色光が原色のカラーフィルタを透過することで、画素140は原色を呈する。なお、画素140に含まれる表示素子が原色EL素子であれば、画素140のカラーフィルタを省略することもできるが、色純度向上のためにカラーフィルタを設けてもよい。
画素140のサイズをXと定義する。画素140のサイズは1~100μm、例えば1~50μm、例えば2~20μm、例えば3~10μm、例えば5~10μm、例えば6~8μmである。保護膜150は、画素140への水分や酸素等の浸入を抑制するために設けられており、窒化シリコン、酸窒化シリコン、酸化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機材料層からなる。保護膜150に用いられる無機材料層は、とりわけ保護膜150と基板105との間に存在する有機材料層への水分の侵入を抑制する上で有利である。保護膜150と基板105との間に存在する有機材料層は、例えば表示素子に含まれ、例えば有機発光層である。保護膜150の厚さは例えば1~5μm、例えば2~4μm、例えば3μmである。図2では保護膜150は単層で記載しているが、複数の無機材料層の複層構造としてもよい。例えば、2つの窒化シリコン層が積層された構造を有してもよく、さらに2つの窒化シリコン層の間に酸化アルミニウム層が設けられた構造を有してもよい。この場合、酸化アルミニウム層は2つの窒化シリコン層よりも薄くてよい。保護膜150の上にはカラーフィルタアレイ152が設けられ、カラーフィルタアレイ152の上下には樹脂層151、153が適宜設けられる。樹脂層151は保護膜150の表面凹凸を平坦化するために形成され、アクリル樹脂、エポキシ樹脂など透明な樹脂を用いることができる。樹脂層151の厚さは例えば100~1000nmであり、例えば500nmである。保護膜150の上には少なくとも1つの樹脂層が設けられている。保護膜150の上の樹脂層としては、樹脂層151、カラーフィルタアレイ152、樹脂層153、レンズアレイ170である。保護膜150の上の樹脂層153は、カラーフィルタアレイ152と空隙180との間に設けられている。保護膜150の上の樹脂層151は、カラーフィルタアレイ152と保護膜150に含まれる無機材料層との間に設けられている。
カラーフィルタアレイ152の詳細について説明する。表示領域500におけるカラーフィルタアレイ152は、複数色の原色のカラーフィルタがアレイ状に配されて構成される。カラーフィルタアレイ152の原色は赤色(R)、緑色(G)、青色(B)であるが、シアン(C、マゼンタ(M)、イエロー(Y)などでもよい。各色のカラーフィルタの配列は、ストライプ配列、デルタ配列、ベイヤー配列などである。また、周辺領域600の上においてカラーフィルタアレイ152は、複数色のカラーフィルタがアレイ状に配された部分である、複色部を有する。複色部は表示領域500のカラーフィルタと同じ配列でアレイ状に配されてもよいし、複数色の画素サイズを変えて配してもよい。また周辺領域600におけるカラーフィルタアレイ152に単色のカラーフィルタが延在する部分である、単色部を有してよい。ここで単色部における単色のカラーフィルタの幅は、表示領域500における単色のカラーフィルタの幅(すなわち1画素分の幅)よりも大きい。また、複色部における単色のカラーフィルタの幅よりも大きい。単色部の幅は、例えば10μm以上であり、例えば100μm以上であり、例えば、1000μm以下である。表示領域500の外側に複色部を設け、さらに複色部の外側に単色部を設けてもよい。複色部と単色部の区別は周辺領域600の回路の構成とは無関係に配置することもできる。単色部の色は、カラーフィルタアレイ152に含まれる複数色のカラーフィルタのうち、可視光うちのより長い波長の光を吸収しやすいものを用いることが好ましい。赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、シアン、マゼンタ、イエローの中では青色フィルタを単色部に用いることが好ましい。青色フィルタは緑色光や赤色光を吸収しやすいからである。カラーフィルタアレイ152の厚さは例えば0.5~5μm、例えば1~3μm、例えば1.5~2.5μmである。
樹脂層153はカラーフィルタアレイ152の表面を平坦化することで、後に形成されるレンズアレイ170の形状を安定化することができる。樹脂層153の厚さは100~1000nm、例えば500nmである。樹脂層153上にはレンズアレイ170を設けてもよい。レンズアレイ170は少なくとも表示領域500に設けられるが、周辺領域600にも設けても構わない。レンズアレイ170は画素140の表示素子から出射される光を集光して取り出し効率を上げるために設けられ、透明なアクリル樹脂やスチレン樹脂などの樹脂を用いることができる。レンズアレイ170は透明であれば酸化シリコンや窒化シリコンなどの無機材料であってもよい。典型的なレンズアレイ170は、典型的には球面、略球面または非球面を有するマイクロレンズが縦および横の2次元状に配列されたフライアレイであるが、シリンドリカルレンズを縦または横の1次元状に配列したものであってもよい。フライアレイでは、各マイクロレンズの離散的な頂点の数が画素140の数または表示単位145の数と一致しうる。本例では、レンズアレイ170の1つのマイクロレンズが1つの画素140に対応する。しかし、レンズアレイ170の1つのマイクロレンズが1つの表示単位に対応してもよく、例えば、レンズアレイ170の1つのマイクロレンズが1つの表示単位145に含まれる複数(例えば)3つの画素140R,140G,140Bに対応してもよい。表示領域500におけるレンズアレイ170のマイクロレンズの頂点の数Cは、表示領域500に設けられた表示単位145の数N以上(C≧N)であり、典型的には表示単位145に含まれる画素140の数Sとすると、C=N×Sである。S≧2であれば、C≧2*Nである。本例の様にS=3であれば、C=3×Nである。3色の副画素からなる表示領域500がフルHD規格の解像度(1920×1080)を有する場合、N=2073600であり、C=6220800である。勿論、フルHD規格よりもさらに高解像度な表示領域500を採用してもよい。その場合には、レンズアレイ170は6220800個を超える数の頂点を有する。
レンズアレイ170の高さは例えば0.5~5μm、例えば1~3μm、例えば1.5~2.5μmである。レンズアレイ170を構成する透明材料の屈折率は例えば1.4~2.0程度であり、空隙180の屈折率は1.0である。そのため、空隙180とレンズアレイ170の間の屈折率差を、表示領域500と透光板300の間を屈折率1.1~1.5程度の固体の透光部材で充填する場合に比べて、レンズアレイ170のレンズのパワーを高めることができる。これにより、光利用効率が向上し、表示品質を向上できる。以上のように表示デバイス100は構成され、表示デバイス100の周辺領域600には接合部材200が設けられ透光板300が貼り合わされている。典型的な接合部材200は主に樹脂からなる樹脂部分を有するが、接合部材200はガラスフリットや金属ロウの様な無機材料で構成されていてもよい。接合部材200の樹脂部分の中にはスペーサー210が設けられていることが望ましい。表示デバイス100の表面101を構成するレンズアレイ170と透光板300との間の空隙180の厚さ(距離G)は接合部材200の厚さTに応じて制御できる。さらに、接合部材200がスペーサー210を含有することで、空隙180の厚さは、接合部材200の中に含ませるスペーサー210のサイズに応じて決まりうる。先述したように、空隙180の厚さが距離Gと定義される。スペーサー210は樹脂ビーズやシリカビーズなどを用いることができる。スペーサー210はその姿勢に寄らず寸法を規定できる観点から、球状であることが望ましい。球状のスペーサー210の直径は例えば10~50μm、例えば20~40μm、例えば30μmである。距離Gは、スペーサー210が接する層(保護膜150の無機材料層あるいは樹脂層151,153)と透光板300との間にある層(カラーフィルタアレイ152やレンズアレイ170)の厚さによって決まりうる。スペーサー210が接する層と透光板300との間にある層の合計の厚さが5μm以下であれば、直径30μmのスペーサー210を用いる場合、距離Gは例えば25~30μmでありうる。
透光板300はガラスやアクリルなどの光透過性のある任意の材料を用いることができるが、無アルカリガラスを用いるのが好適である。透光板300の厚さRは特に限定はされないが、例えば0.1~1mm、例えば0.3~0.7mm、例えば0.5mmが好適である。基板105の厚さSは特に限定はされないが、例えば0.3~0.8mmが好適である。基板105の厚さSは透光板300の厚さRよりも厚いこと(S>R)が好ましい。基板105を厚くすることで表示デバイス100の損傷を抑制できるからである。基板105の厚さSを300μm未満にすると基板105が空隙180に向かって撓む可能性がある。透光板300の表示デバイス100と対向する主面310と側面330とに隣接する角部には、透光板300の側面330から主面310にかけて、傾斜面340を設けてもよい。傾斜面340は側面330および主面310に対して傾斜している。傾斜面340は透光板300となる基体を面取りすることで形成できる。この傾斜面340を設けることで、透光板300を表示デバイス100に貼り合わせる際に、透光板の角部が表示デバイス100に接して表示デバイス100が損傷するのを抑制することができる。この点において、傾斜面340の透光板300の主面310と平行な方向における幅は、透光板300の主面310に対する法線方向における幅(深さ)よりも大きくてよい。換言すると、傾斜面340と主面310とが成す角度(鈍角)は、傾斜面340と側面330とが成す角度(鈍角)よりも大きくてよい。傾斜面340の透光板300の主面310と平行な方向における幅は、例えば50~250μm、例えば200μmであり、透光板300の主面310に対する法線方向における幅(深さ)は、例えば50~250μm、例えば150μmである。また透光板300の2つの主面310、320の少なくとも一方は、透光板300の基体の上に形成された反射防止膜(Anti-Refrection膜、略してAR膜)で構成するのが好ましい。AR膜を形成することで、表示光が透光板300の界面で反射し、表示デバイス100で再反射することによって生じるゴースト(画像に複数の輪郭が視認される現象)を抑制することができる。なお、透光板300の主面310は空隙180に接する面として定義されるのであり、透光板300の基体が空隙180に接するのであれば、基体の面が主面310を構成する。透光板300の基体の上に形成された反射防止膜等の機能膜が空隙180に接するのでれば、機能膜が透光板300の主面310を構成する。反射防止膜以外の機能膜としては帯電防止膜や防曇膜、吸湿膜などが挙げられる。
実施形態の一例である有機EL表示装置について、図2を用いて説明する。図2に示すように、本実施形態による有機EL表示装置は基板105を含む。基板105は例えばシリコンなどの単結晶半導体基板を用いることができる。基板105の表面である主面1には、トランジスタ等の半導体素子110が設けられている。この他、基板105をガラスや樹脂などの絶縁体基板としてもよく、絶縁体基板の上に半導体素子110としてのTFT(薄膜トランジスタ)を配置してもよい。半導体素子110及び基板105の主面の上には、絶縁部材120が設けられている。絶縁部材120は酸化シリコン、窒化シリコン等が用いられる。絶縁部材120には、半導体素子110に電気的に接続されたコンタクトプラグ(不図示)が配されている。コンタクトプラグにはタングステン等の導電部材が埋め込まれている。絶縁部材120の内部には、コンタクトプラグを介して半導体素子110に電気的に接続された配線構造130が設けられている。配線構造130はアルミニウム、銅などの金属部材が用いられ、絶縁層への金属拡散を抑制するために絶縁層と配線構造130との界面にTi、Ta、TiN、TaN等のバリアメタルを設けてもよい。基板105の周辺領域600には配線構造130と同じ層で外部接続端子190や接地配線130Eが設けられる。図1(c)に示すように、外部接続端子190上では絶縁部材120に開口が設けられ、絶縁部材120の開口から外部接続端子190が露出した状態とする。同様に、接地配線130E上において絶縁部材120に開口が設けられ、絶縁部材120の開口から接地配線130Eが露出した状態とし、後の工程で表示素子の対向電極と接地される。
表示領域500における絶縁部材120の上には画素140に含まれる表示素子14としての有機EL素子が設けられる。表示素子14は配線構造130へビアプラグを介して電気的に接続された画素電極141、対向電極142、画素電極141と対向電極142との間に設けられる有機材料層143を含みうる。画素電極141はバンクなどの画素分離部(不図示)により画素毎に分離して配置され、有機EL素子(表示素子14)における陽極(アノード)および陰極(カソード)の一方(本例では陽極)として機能する。対向電極142は、有機EL素子における陽極(アノード)および陰極(カソード)の他方(本例では陰極)として機能する。画素電極141間には画素電極141と対向電極142の短絡を抑制するために絶縁層による画素分離部(バンク)により画素電極141の端部を被覆する構造を採用するのが好ましい。画素電極141から正孔を注入、輸送しやすくするために正孔注入層、正孔輸送層を有機発光層と画素電極141の間に形成するのが好ましい。また対向電極142から電子を注入、輸送しやすくするために電子輸送層、電子注入層を有機発光層と対向電極142の間に形成するのが好ましい。ここでは画素電極141/正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層/対向電極142の積層構造とした。正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層のぞれぞれは有機材料層であり、これらの有機材料層を構成する有機材料は、典型的には低分子有機材料であるが、高分子有機材料であってもよい。なお、典型的な樹脂は高分子有機材料である。なお、シリコーン樹脂は、無機の主骨格と側鎖の有機基とを有しており、無機と有機の両方の性質を兼ね備えたハイブリッド材料であり、有機材料に分類することも無機材料に分類することもできる。対向電極142は全画素共通の電極であり、周辺領域600まで延伸配置され前述の接地配線130Eに接続される。対向電極142は、表示領域500から周辺領域600にかけて設けられた導電体膜である。対向電極142は、例えば銀(Ag)などの金属材料、銀(Ag)とマグネシム(Mg)との合金(AgMg)などの合金材料、ITOなどの透明導電材料などからなる導電体膜でありうる。配線構造130の接地配線130Eと対向電極142の各々は、互いの接続を行うための、カソードコンタクトと呼ばれる接触部700を含む。有機材料層143や対向電極142はメタルマスクを用いた蒸着やスパッタリングにより表示領域500の全面に形成されるが、メタルマスクと基板105との間に距離が生じるためメタルマスク開口よりも外側に回り込みが発生する。有機材料層143の回り込みは0.2mm以上であるため、接触部700の位置は少なくとも表示領域500の端部から0.2mm以上外側に設けることが好ましい。接触部700の幅は例えば50μm以上であり、例えば500μm以下であり、例えば100~200μmである。
この後、有機EL素子(表示素子14)上に水分の浸透を抑制するための封止用の保護膜150を形成する。保護膜150は表示素子を保護するために設けられ、パッシベーション膜や封止膜とも称される。保護膜150の上に光取り出し効率を高めるためのレンズ構造を別途設けてもよい。後述のカラーフィルタアレイ152を形成する前に、有機EL素子の画素間段差を緩和するために平坦化用の樹脂層151を形成することができる。次いで少なくとも表示領域500における表示素子14(有機EL素子)上にカラーフィルタアレイ152が設けられる。カラーフィルタアレイ152の有効画素部は赤、緑、青色の3色のカラーフィルタからなり、例えばデルタ配列で配置される。表示領域500の外側には主に周辺回路が配置される周辺領域600となっており、周辺領域600における絶縁部材120の上にもカラーフィルタアレイ152が設けられる。周辺領域600におけるカラーフィルタアレイ152は、表示領域と同様に赤、緑、青色の3色並列配置でもよいし、遮光性を高めるために3色積層構造でもよいし、いずれかの色の単色配置でも構わない。単色配置の場合、有機EL表示装置のように表示領域(表示領域500)外側の背景が暗部となる用途においては、カラーフィルタアレイ152の周辺回路部を青色にすると最も視認しづらいため好ましい。カラーフィルタアレイ152の周辺回路部は、カラーフィルタアレイのようなデルタ配置である必要はなく、任意のパターンで配置することができるが、この先の工程で形成される接合部材200との位置関係については後述する。また前述の接触部700の近傍は凹凸が大きいため、カラーフィルタアレイ152は接触部700の内側に配置し、接触部700上には設けないのが好ましい。よって対向電極142の外端部142Eはカラーフィルタアレイ152の外縁152Eよりも外側に配置するのが好ましい。その結果、カラーフィルタアレイ152の外縁152Eは対向電極142に重なることになる。本例では、対向電極142となる導電膜が接合部材200に重なっている。カラーフィルタアレイ152の表面保護や平坦化の目的のため、カラーフィルタアレイ152の上に透明な樹脂層153が形成される。樹脂層153の上にはレンズアレイ170が設けられる。レンズアレイ170は画素140毎に設けられる複数のマイクロレンズで構成され、露光及び現像プロセスで形成することができる。具体的には、マイクロレンズを形成するための材料による膜(フォトレジスト膜)を形成し、連続的な階調変化を有するマスクを用いて、フォトレジスト膜を露光及び現像を行う。このようなマスクとしてはグレートーンマスク、或いは、露光装置の解像度以下の遮光膜からなるドットの密度分布を変化させることで結像面に連続した階調を有する光照射を可能とする面積階調マスクを用いることが可能である。また、露光及び現像プロセスで形成したマイクロレンズに対して、エッチバックを行うことにより、レンズ形状を調整することが可能である。本例では、レンズアレイ170の材料として、感光性の透明なアクリル樹脂を用いた。レンズアレイ170は表示領域500だけでなく、周辺領域600にも任意の位置に配置してもよく、周辺領域600に配置されるレンズアレイの形状は表示領域500に配置されるレンズアレイの形状と変えてもよい。
次いで基板105の周辺領域600における外部接続端子190を除く領域に接合部材200となる樹脂材料をディスペンスやスクリーン印刷等の手法で形成する。そして、透光板300を基板105に貼り合わせた後に樹脂材料を硬化させ、接合部材200を形成する。図2に示すように表示デバイス100の最表面、つまりレンズアレイ170と透光板300との距離Gは硬化後の接合部材200の厚さTによって決定される。接合部材200はUV硬化樹脂、熱硬化樹脂、2液混合型樹脂等のエポキシ、アクリル、ウレタン、ポリイミド等の任意の樹脂を用いることができ、樹脂の中に適宜スペーサーを含有するのが好ましい。スペーサーを含有することで、スペーサーのサイズによって基板105と透光板300を貼り合わせた際の接合部材200の厚さTの制御が容易になり、レンズアレイ170と透光板300との距離Gを精密に制御することができるので好適である。またスペーサー210はガラスビーズや樹脂ビーズ等任意のスペーサーを用いることができるが、基板105上の絶縁部材120や保護膜150が損傷しにくい樹脂ビーズを用いるのが好ましい。接合部材200が形成される全領域において、接合部材200の下にカラーフィルタアレイ152が配置されていない場合、カラーフィルタアレイ152及びレンズアレイ170の合計厚さよりも接合部材200の厚さTが大きくなるように設定すればよい。このようにすれば、レンズアレイ170と透光板300との間の距離Gを規定する空隙180を設けることができる。距離Gは厚さTと等しくてもよいが、典型的には距離Gは厚さTよりも小さい(G<T)。カラーフィルタアレイ152の厚さが例えば1.5μm、レンズアレイ170の厚さが2μmである場合、接合部材200の厚さTは3.5μm以上が望ましく、接合部材200の厚さTは50μm以下であれば十分である。したがって、距離Gは50μm未満でありうる。本例では、透光板300は無アルカリガラスを用いている。透光板300の厚さは、例えば0.1~1mm、例えば0.3~0.7mm、例えば0.5mmである。また透光板300の表示デバイス100と対向する主面310と側面330との角部には面取りによって形成された傾斜面340が設けられる。
なお、ウエハレベルでのパッケージングを行うこともできる。例えば、基板105をシリコンウエハとして用意し、シリコンウエハ上に複数の表示デバイスを形成し、表示デバイス毎にカラーフィルタアレイ152を形成する。そして、シリコンウエハの上に各表示デバイスを囲むように接合部材200を形成する。透光板300となるガラスウエハを用意し、接合部材200を介してシリコンウエハにガラスウエハを貼り合わせる。そして、シリコンウエハとガラスウエハの接合体を、デバイス毎にダイシングする。ガラスウエハのうち、外部接続端子190の上方の部分は、ダイシング後に除去すればよい。
この後、ボンディングワイヤ、バンプ、異方性導電樹脂等の実装手段(不図示)を用いて外部接続端子190と外部電源(不図示)が接続され、本発明の有機EL表示装置が完成する。さらにあらかじめ透光部材470が取り付けられた遮光部材450を表示装置800の透光板300に当接させ、任意の箇所に設けられた接着剤(不図示)で固定することで表示モジュール900が完成する。
図2(b)を用いて、表示領域500における距離Gについて説明する。表示デバイス100の表面101は表示領域500において、高低差Hを有する。高低差Hは例えば0.5~5μm、例えば1~3μm、例えば1.5~2.5μmである。表面101のうちの相対的に高い部分を高部170Tと呼び、相対的に低い部分を低部170Bと呼ぶ。便宜的に高部170Tと低部170Bの境界は高低差Hの半分となる位置に設定してよい。この高低差Hは図2(b)ではレンズアレイ170の形状による凹凸によって形成されうるものである。あるいは図3(a)に示す様に、カラーフィルタアレイ152の各カラーフィルタによる凹凸によって形成されうるものである。高低差Hにはレンズアレイ170とカラーフィルタアレイ152の両方の形状が反映されていてもよいし、保護膜150等の他の構成要素の形状が反映されていてもよい。
表示装置800では、表示装置800のユーザーが表示領域500を光学的に観察するため、異物により表示品質が低下する場合がある。異物による光学的な表示品質の低下を信号処理などの電気的な手法で補正することは困難である。そのため、表示装置800では異物への対策が重要である。異物に対する対策において考慮する高低差Hは1μmよりも大きい。高低差Hが1μm以下である場合については、おおむね平坦であるとみなして、ここでは検討を省略する。特に、表示装置500で利用される可視光の波長(400~800nm、典型的に550nmとする)よりも小さい異物はユーザーにとっての表示品質に大きな影響を与えないと考えられる。高低差Hが100nm以下であれば、表面101はほぼ平坦であるとみなしてよい。透光板300の主面310のうちの表示領域500に対向する領域の高低差は、表示デバイス100の表面101のうちの表示領域500における高低差Hよりも小さいことが好ましい。透光板300の主面310のうちの表示領域500に対向する部分の高低差は例えば1μm以下であり、例えば500nm以下であり、例えば100nmである。本実施形態の特徴の1つは、表示領域500と透光板300との間において、距離Gは、高低差Hよりも大きいことである。
ここで、距離Gについて、表示領域500と透光板300との間に存在する異物DUSとの関係について検討する。異物DUSのサイズQが高低差Hを超えない場合(Q≦H)において、仮に表面101と主面310が接している状態(G=0)であっても、異物DUSは表面101の低部170Bと透光板300の間に存在できるので異物の影響は小さい。しかし、異物DUSのサイズQが高低差H以下である場合(Q≦H)において、異物DUSが高部170Tの上に付着している場合がある。この場合、距離Gが異物DUSのサイズ以下である(G≦Q)と、異物DUSが表面101と主面310の両方に接し、異物DUSが固定されてしまいうる。さらに、透光板300によって異物DUSが表示デバイス100に押し付けられる可能性がある。異物DUSの固定は画質の低下を招いたり、異物DUSの押し付けは表示デバイス100の損傷を招いたりする可能性がある。これらの問題を軽減するには、距離Gが異物DUSのサイズQよりも大きければよい(G>Q)。ここで、Q≦Hであることを考慮すると、Q≦H<Gとすればよい。つまり、距離Gは高低差Hよりも大きいことが、高低差Hよりも小さいサイズQを有する異物DUSに対して、表示装置の信頼性や表示品質の低下を抑制する上で有利であることが分かる。高低差Hよりも小さいサイズQを有する異物DUSへの対策としては、距離Gは10μm以下であってもよい。
図2(b)を用いて、本実施形態における画素サイズXと距離Gとの関係について詳述する。本実施形態の特徴の1つは、表示領域500と透光板300との間において、距離Gは、画素サイズXよりも大きいこと(G>X)である。図3(a)では、表示デバイス100における半導体素子や配線構造等は省略し、画素140のみを記載している。表示素子は画素140毎に設けられる。本例では、1つの表示単位145は赤色の画素140R、緑色の画素140G、青色の画素140Bから構成される。
図4(a)及び図4(b)は表示単位145を表示デバイス100の主面である表面101に対する法線方向から見た場合の画素140の平面レイアウトを示している。図4(a)はストライプ配列の場合、図4(b)はデルタ配列の場合を示している。図4(b)において1つの表示単位145に含まれる画素140を太線で囲んである。画素サイズXは全ての色の画素140が周期的に並ぶ方向における画素140の長さを採用することが好ましい。画素140の輪郭の平面形状が多角形である場合、画素サイズXは多角形の対辺間の距離で定義されうる。対辺間の距離が、対辺毎に異なる場合はより短い距離を画素サイズXとして採用してよい。例えば図4(a)の例では画素140の輪郭は長方形であり、画素サイズXは長方形の長辺間の距離、すなわち、短辺の長さで定義される。図4(a)の例では、長方形の長辺同士が並ぶ方向(図面上で横方向)に画素140R,140G,140Bが周期的に並ぶからである。例えば図4(b)の例では画素140の輪郭は六角形であり、画素サイズXは六角形の対辺間の距離で定義される。図4(b)の例では、六角形の対辺同士が並ぶ方向(図面上で横方向)に画素140R,140G,140Bが周期的に並ぶからである。
図3(a)、(b)および図4(a)、(b)を用いて、表示デバイス100と透光板300との間、つまり空隙180に異物DUSが混入した場合について説明する。異物DUSはもともと表示デバイス100または透光板300に付着している場合もあれば、透光板300を表示デバイス100に貼り合わせる際に混入する場合もある。画素サイズXを超えない小さい異物の混入を抑制するには限界がある。画素サイズXと同じかそれよりも小さい異物が混入する場合に、表示品質を損なわない表示デバイス100の構造について説明する。図3(a)に示すように、サイズQの異物DUSは直径Qの球状をしているモデルを考える。異物DUSのサイズQは画素サイズX以下であるのでQ≦Xである。距離Gが異物DUSのサイズQ以下である場合(G≦Q)、透光板300を表示デバイス100に貼り合わせる際に異物が画素140に押し込まれて、画素140が損傷し非発光化する恐れがある。また、異物DUSが透光板300と表示デバイス100に挟まれて固定し、異物DUSが、画素140の光を遮断したり光路を変えたりする可能性がある。つまり距離Gが画素サイズXよりも小さい場合、異物DUSによって表示品質を損なう恐れがある。一方、本実施形態のように、距離Gを異物DUSのサイズQよりも大きくすること(G>Q)で、異物DUSが画素140に押し込まれることを抑制することができる。したがって、Q≦XおよびQ<Gを満たすためにQ≦X<Gを満たすこと、つまり距離Gを画素サイズXよりも大きくすること(X<G)で、異物DUSによる表示品質の低下を抑制することができる。以上のように、画素サイズXよりも距離Gを広く設計すること(G>X)で、表示品質を向上することが可能となる。
画素サイズXよりも大きい異物DUSが画素140上に存在すると、異物DUSによって出射光が遮られ、表示デバイス100の規格によっては画素不良となり得る。図5を用いて、距離Gの好ましい範囲について説明する。図5において、第1色(例えば赤色)の画素140Rの画素サイズXを定義し、第1色とは異なる第2色(例えば緑色)の画素140Gの画素サイズYを定義し、第2色とは異なる第3色(例えば青色)の画素140Bの画素サイズZを定義する。図5において、同色を呈する画素には同じハッチングを付しており、図5のハッチングと図4(a)、(b)のハッチングは色毎に共通である。図5における画素140R、140G、140Bは、図4(a)および図4(b)において、横方向において並ぶ画素140R、140G、140Bに対応する。画素サイズX、Y、Zは互いに異なっていてもよい(X<Y<ZあるいはX>Y>ZあるいはY<X<Z)し、同じであってもよい(X=Y=Z)。画素140Rと同色(例えば赤色)の画素140R’の画素サイズX’を定義し、第1色の画素140Rと同色(例えば赤色)の画素140R”の画素サイズX”を定義する。画素サイズX、X’、X”は互いに異なっていてもよい(X<X’<X”あるいはX>X’>X”あるいはX’<X<X”)し、同じであってもよい(X=X’=X”)。第2色の画素140Gと同色(例えば緑色)の画素140G’の画素サイズY’を定義し、第3色の画素140Bと同色(例えば青色)の画素140B’の画素サイズZ’を定義する。画素サイズY、Y’は互いに異なっていてもよい(Y<Y’あるいはY>Y’)し、同じであってもよい(Y=Y’)。画素サイズZ、Z’は互いに異なっていてもよい(Z<Z’あるいはZ>Z’)し、同じであってもよい(Z=Z’)。
ここでは、画素サイズXの画素140Rに注目する。注目する画素140Rの両隣に同色の画素140R’、140R”が位置する。画素140Rと両隣の同色の画素140R’及び140R”との間には他色の画素が配列される。図5に示すように、1つの画素が赤色、緑色、青色の3色構成で、注目する画素140Rが赤色の場合、画素140Rと両隣の同色の画素140R’及び画素140R”との間には緑色、青色の画素が配列される。画素140Rから画素140R’までの距離Daと定義し、画素140Rから画素140R”までの距離Dbを定義する。典型的にはDa=Y’+Zであり、Db=Y+Z’である。画素140Rと画素140R’とのピッチPaと、画素140Rと画素140R”とのピッチPbと定義する。2つの画素のピッチとは2つの画素のそれぞれの中心間の距離である。Pa=X/2+Da+X’/2であり、Pb=X/2+Db+X”/2であり、典型的には、Pa=X+Daであり、Pb=X+Dbである。
G>Xについての説明では、画素サイズXよりも小さいサイズQの異物DUSによる、表示品質への影響について検討した。以下では、画素サイズXよりも大きいサイズQの異物DUSについて検討する。異物DUSが透光板300と表示デバイス100に挟まれ固定されることによる表示不良や、異物DUSが表示デバイス100に押し付けられることによる表示不良は、異物DUSが大きいほど、その範囲も広くなる。従って、このような、異物DUSの固定や押付けに起因する表示不良は、注目する画素とその両隣の画素の3つの画素の範囲内に収めることが望ましい。図5において、サイズQcで示された範囲が、この指標で検討する異物DUSのサイズQに相当する。第1色(例えば赤色)を呈する1つの画素140Rは第2色(例えば緑色)を呈する1つの画素140Gと第3色(例えば青色)を呈する1つの画素140Bとの間に位置する。サイズQ=Qc=X+Y+Zに対して、G<Qであればよい。つまり、距離Gが、画素140Rの画素サイズXと、画素140Gの画素サイズYと、画素140Bの画素サイズZと、の和よりも大きいこと(G>X+Y+Z)が好ましい。G>X+Y+ZにX=Y=Zを適用するとG>3*Xである。画素サイズXが6μmより大きければ、距離Gは18μm以上であればよい。
次に、表示領域500と透光板300の間の空隙180の外から侵入する異物DUSについて考える。後述のように接合部材200のパターンの一部に接合部材200が設けられていない開口(隙間250)が設けられる場合において、距離Gが大きいほど異物が侵入しやすくなる。また、距離Gが広くなると、表示光の一部が透光板300で反射して表示デバイスで再反射することで画像の輪郭が複数視認される、いわゆるゴーストが発生しやすくなるため、距離Gには適切な上限を設ける必要がある。表示装置800の品質規格は製品毎の仕様によって異なるが、近接する同色または異色の複数の画素に及ぶ表示不良を抑制とすることを指標とする。
第1の指標としては、注目する1つの画素とその両側の同色画素におよぶ表示不良を抑制する。異物DUSが、画素140Rと、画素140R’と、画素140R”との合計3つの同色(例えば赤色)の画素にまたがる場合には表示不良が生じやすいとみなせる。ここで、3つの同色の画素は、図5において下記の様に例示される。第1色(例えば赤色)を呈する画素140Rが画素サイズXを有する方向において、画素140Rは第1色(例えば赤色)を呈する2つの画素140R’、140R”の間に位置する。図5において、Qaで示された範囲が、この第1の指標で検討する異物DUSのサイズQに相当する。第1色を呈する2つの画素140R’、140R”の間には、第2色(例えば緑色)を呈する2つの画素140G、140G”および第3色(例えば青色)を呈する2つの画素140B、140B’が設けられている。ここでサイズQの異物DUSが3つの同色(例えば赤色)の画素にまたがる場合とは、Q>Pa+Pbという条件をみたす場合である。このようなサイズQの異物DUSの混入あるいは侵入を抑制するためには、G<Qとすればよく、G<Pa+Pb<Qという条件を満たすことが合理的である。距離Gが、画素140Rと2つの画素140R’、140”の一方(画素140R’)とのピッチPaと、画素140Rと2つの画素140R’、140”(画素140R”)とのピッチPbと、の和よりも小さいこと(G<Pa+Pb)が好ましい。G<Pa+PbにPa=X+DaおよびPb=X+Dbを代入すると、G<X+Da+X+Dbである。よってQ>X+Da+X+Dbを満たす異物DUSに起因する表示不良、つまり、3つの同色画素におよぶ表示不良を抑制するためには、Q<X+Da+X+Dbであればよい。異物DUSが球状であると仮定すると、距離G<Qにすることで、サイズQ以上の異物DUSが、接合部材200に設けられた開口(隙間250)から侵入し、表示不良となるのを抑制することができる。つまり、G<X+Da+X+Dbとすればよい。G<X+Da+X+DbにDa=Y’+ZおよびDb=Y+Z’を代入すると、G<X+Y’+Z+X+Y+Z’であり、G<X+Y’+Z+X+Y+Z’にY’=Z=X=Y=Z’を適用すると、G<6*Xである。
G<6*Xということは、画素サイズXが例えば8μmより小さければ、その場合、距離Gは48μm以下にすればよい。画素サイズXよりも大きいサイズQを有する異物DUSへの対策としては、距離Gは20μm以上であることが好ましい。しかし、工業的に管理が容易な異物DUSの大きさを考慮すると、距離Gは50μm未満であれば十分である。
第2の指標としては、注目する1つの画素とその両側の異色画素におよぶ表示不良を低減する。図5において、サイズQbで示された範囲が、この第2の指標で検討する異物DUSのサイズQに相当する。サイズQ=Qb=Da+X+Dbに対して、G<Qであればよい。つまり、距離Gが、2つの画素140R’、140”の間の距離よりも小さいこと(G<Da+X+Db)も好ましい。G<Da+X+DbにDa=Y’+ZおよびDb=Y+Z’を代入すると、G<Y’+Z+X+Y+Z’である。G<Y’+Z+X+Y+Z’にY’=Z=X=Y=Z’を適用すると、G<5*Xである。G<5*Xということは、画素サイズXが8μmより小さければ、距離Gは40μm以下であればよい。
なお、ここでは透光板300と表示デバイス100の間の異物DUSについて説明したが、異物は透光板300の主面320に付着する場合もある。主面320の上の異物はユーザーに視認される可能性がある。しかし、主面320上の異物が表示領域500から大きく離れていれば、表示領域500を見る際に主面320上の異物には焦点が合わないため、その異物の存在の影響を低減できる。つまり、主面320が表示領域500から十分に離れているためには、主面320と主面310との間の距離、すなわち、透光板300の厚さRは、少なくとも距離Gよりも大きいこと(R>G)が望ましい。換言すれば、距離Gは透光板300の厚さRよりも小さくてよいことになる。接合部材200で封止された狭い空隙180に異物が存在する可能性は、主面320に異物が付着する可能性よりも小さいので、R>Gの関係を満たすことは、異物対策として適切である。厚さRが0.1~1mmでありうるのに対して、距離Gは100μm未満であってもよい。
表示領域500の面積が大きいほど、異物の存在確率が高くなるため、異物の影響は大きくなる。表示領域500の1辺の長さは例えば5~50mmであり、表示領域500の面積は例えば25~2500mmでありうる。表示デバイス100の工業的な生産を検討する場合、表示領域500の面積は2912mmより小さいことが好ましい。2912mmより小さい表示領域500は、市販されている半導体露光装置(キヤノン社製i線ステッパー FPA-5510iX 露光範囲は最大で52mm×56mm)を用いた一括露光で形成可能である。表示領域500の面積は1392mmより小さいことも好ましい。1392mmより小さい表示領域500は、市販されている半導体露光装置(キヤノン社製KrFスキャナー FPA-6300ESW 露光範囲は33mm×42.2mm)を用いた一括露光で形成可能である。1392mmより小さい表示領域500をKrFスキャナーで形成すれば、i線ステッパーを用いるよりも微細な構造を形成可能である。表示領域500の面積は858mmより小さいくてもよい。858mmより小さい表示領域500は、市販されている半導体露光装置(キヤノン社製KrFスキャナー FPA-6300ES6a 露光範囲は26mm×33mm)を用いた一括露光で形成可能である。858mmより小さい表示領域500は、市販されている半導体露光装置(ニコン社製ArFスキャナー NSR-S322F 露光範囲は26mm×33mm)を用いた一括露光で形成可能である。858mmより小さい表示領域500をArFスキャナーで形成すれば、KrFスキャナーを用いるよりも微細な構造を形成可能である。露光範囲が26mm×33mmである露光装置を用いる場合、表示領域500の面積が214mmよりも大きくても、1ショットで2つ以上のデバイスの表示領域500を露光することができるので、生産性が高い。一方、表示領域500の長辺が16.5mm以上である場合、露光範囲が33mmである方向においては1ショットで1つのデバイスの表示領域500しか並べることができず、表示デバイス100の生産性が低くなりうる。そのため、前述した異物対策が特に有用である。表示領域500の長辺が16.5mm以上である場合、表示領域500のアスペクトが16:9であれば、対角長は19.0mm以上であり、表示領域500の面積は153mm以上である。表示領域500の長辺が16.5mm以上である場合、表示領域500のアスペクトが4:3であれば、対角長は20.7mm以上であり、表示領域500の面積は205mmである。したがって、表示領域500の対角長が19mm以上である表示デバイス100や、表示領域500の面積が153mm以上である表示デバイス100を備えた表示装置100には、本実施形態が好適である。表示領域500の対角長が24mm以上である場合、表示領域500のアスペクトが16:9であれば、表示領域500の面積は245mm以上であり、表示領域500のアスペクトが4:3であれば、表示領域500の面積は276mm以上である。なお、上記では一括露光を用いる場合を説明したが、分割露光(繋ぎ露光)を用いれば、半導体露光装置の制限なく、大面積の表示領域500を形成可能である。露光範囲が26mm×33mmである露光装置を用いても分割露光を用いれば、858mmより大きい表示領域500を有する表示デバイス100を製造可能である。858mmより大きい表示領域500を有する表示デバイス100はさらに生産性が低いため、前述した異物対策がさらに有用である。表示デバイス100の製造工程に、露光範囲が26mm×33mmである露光装置と、露光範囲が33mm×42.2mmである露光装置と、露光範囲が52mm×56mmである露光装置と、を併用してもよい。また、表示デバイス100の製造工程に、工程応じて一括露光と分割露光を使い分けてもよい。なお、表示デバイス100に周辺領域600があることを考慮すると、上記した寸法の表示領域500を有する表示デバイス100を製造するには、表示領域500よりも大きい範囲を露光できる露光装置や露光方法(一括露光/分割露光)を適用すればよい。
図3(b)には各画素140において、表示素子の上にレンズアレイ170が設けられた表示デバイス100の断面図を示している。図3(b)も、図3(a)と同様に、表示デバイス100における半導体素子や配線構造等は省略し、基板105と、レンズアレイ170を含む画素140のみを記載している。図3(a)に示すように、表示デバイス100と透光板300は接合部材200を介して貼り合わされている。レンズアレイ170と透光板300との間は距離Gだけ離間しており、レンズアレイ170と透光板300との間には空隙180が設けられる。R、G、B3色を構成する各画素140R、140G、140Gを一組として表示単位145を構成している。図2(b)は図2(a)、図3(b)の表示単位145の拡大図である。レンズアレイ170はマイクロレンズであり各画素に設けられる。ここでレンズアレイ170の高低差をHとする。隣接するレンズアレイが離間している場合は、レンズアレイの膜厚がレンズアレイ170の高低差Hに相当する。隣接するレンズアレイが離間しておらず、当接している場合は、図2(b)に示すようにレンズアレイ170による表面101の高部170Tと低部170Bの間の距離がレンズアレイ170の高低差Hに相当する。レンズアレイ170のマイクロレンズが画素サイズXと同じ直径を有する半球(高さが直径の半分)であると仮定すると、レンズアレイ170の高低差Hは画素サイズXの半分(H=X/2)でありうる。しかし、半球のマイクロレンズは光学的に非効率的であるし、生産性もよくない。そこで、非球面のマイクロレンズにするか、半球よりも小さいマイクロレンズであることが望ましい。したがって、レンズアレイ170の高低差Hは画素サイズXの半分よりも小さいことが好ましい。このようなレンズアレイ170を採用する場合、表示領域500における表面101の高低差Hは、表示領域500を構成する複数の画素の内の1つの画素のサイズXの半分よりも小さい(H<X/2)。したがって、H<X/2を満たすことが好ましいといえる。
透光板300を貼り合わせる前に、表示デバイス100の表面に付着した異物は洗浄により除去されるが、レンズアレイ170の表面の凹凸の間に入り込んだ異物で、かつ高低差Hよりも小さな微小異物は洗浄で除去できずに残存することがある。図3(b)に示すように、高低差Hの表面凹凸に対して、サイズQ<Hの関係を有する異物DUSは残存しやすい。この異物DUSがレンズアレイ170の高部170Tに移動した後に透光板300が貼り合わされる場合、透光板300とレンズアレイ170との距離Gが狭すぎると異物DUSが表示デバイス100を損傷する恐れがある。そこで、距離GをサイズQ<Hの関係を有する異物よりも大きく設定することで、つまりG>Hとすることで、レンズアレイの表面凹凸間に残存した異物による表示デバイスへの損傷を抑制することができる。ここでレンズアレイ170の高低差は、高低差Hは例えば0.5~5μm、例えば1~3μm、例えば1.5~2.5μmであり、距離Gは例えば3~10μmである。表示領域500における表面101の高低差Hがレンズアレイ170に起因する場合、極めて多くの凹凸が繰り返されるため、表示領域500における表面101の高低差Hが1μm以下であったとしても、G>Hの関係を満たすことが好ましい。
次に図6を用いて、表示装置800の他の特徴的な構成を説明する。図6(a)に示すように、表示デバイス100の表示領域500には複数の画素140が設けられており、表示領域500の外周には周辺領域601、602が設けられる。周辺領域601は表示領域500の左右の周辺領域を指し、周辺領域602は表示領域500の上側の周辺領域を指す。周辺領域の反射を抑制するために表示領域500の外側にもカラーフィルタアレイ152が延在しており、カラーフィルタアレイ152の外端152Eは周辺領域601、602上に配される。本実施形態では図6(a)に示すように周辺領域601に接触部700が設けられる。周辺領域601と周辺領域602の幅を比較すると、接触部700が設けられる周辺領域601のほうが広く、周辺領域602は周辺領域601よりも狭い。そこで本実施形態では、周辺領域602においてカラーフィルタアレイ152の外端152Eと接合部材200の一部が重畳するように接合部材200を配している。接合部材200の空隙180の側の側面である内端201がカラーフィルタアレイ152に重なる。そして、接合部材200の空隙180の側とは反対側の側面である外端202がカラーフィルタアレイ152に重ならない。つまり、接合部材200の内端201がカラーフィルタアレイ152の上に配されており、接合部材200の外端202はカラーフィルタアレイ152の外端152Eの外側に配される。一方で、接触部700が設けられる周辺領域601においては、接合部材200の内端201、外端202はともにカラーフィルタアレイ152の外端152Eの外側に配される。周辺領域601の構造を示すためのX-X’断面を図6(b)に、周辺領域602の構造を示すためのY-Y’断面を図6(c)に示す。図6(b)、図6(c)に示すように、表示デバイス100は基板105を含み、基板105の表面と裏面のうち、トランジスタが設けられた面を主面1とする。基板105の主面1に半導体素子110、絶縁部材120、配線構造130が形成されている。絶縁部材120の上には複数の画素電極141、複数の画素電極141に対抗する対向電極142と、複数の画素電極141と対向電極142との間に設けられた有機材料層143と、が設けられている。ここでは省略するが、複数の画素電極141の間に絶縁性の画素分離部(バンクとも称する)を設けてもよい。このように、画素140の表示素子はEL素子であり、画素電極141と、有機材料層143と、対向電極142と、を含んで構成される。EL素子において、画素電極141がアノード(陽極)、対向電極142がカソード(陰極)として機能する。配線構造130は、複数の画素電極141と基板105の間に設けられている。配線構造130の適当な配線が、画素電極141と対向電極142にそれぞれ接続されている。図6(b)に示すように、周辺領域601には接触部700が設けられており、接触部700では、対向電極142と周辺領域に設けられた配線構造130Eとが接触している。
保護膜150は画素140の表示素子(対向電極142、有機材料層143、画素電極141)や、配線構造130、絶縁部材120、基板105を覆っている。
保護膜150の上に樹脂層151を介してカラーフィルタアレイ152が設けられている。カラーフィルタアレイ152の上に設けられた樹脂層153を備える。換言すると、樹脂層151と樹脂層153との間にカラーフィルタアレイ152が位置する。樹脂層151は接着層として、樹脂層153は平坦化層として機能する。樹脂層153は、表示領域500および周辺領域601、602の上に配されている。カラーフィルタアレイ152は、樹脂層153と表示デバイス100との間に位置する。仮に、周辺領域601、602にカラーフィルタアレイ152を配置しない場合、周辺領域601、602で光が反射したり、周辺領域601、602に光が入射したりするため、画質が低下しうる。そこで、表示領域500からある程度外側の範囲にはカラーフィルタアレイ152が設けられる。ここでカラーフィルタアレイ152の外端は152Eであり、カラーフィルタアレイ152の外端152Eの側面を樹脂層153が覆っている。カラーフィルタアレイ152の外端152Eの外側は、保護膜150の上には樹脂層151と樹脂層153が積層された構造となる。
接合部材200は周辺領域601、602に設けられ、透光板300を接着する。
周辺領域600の遮光性を高めるために、カラーフィルタアレイ152を基板105の端まで形成し、カラーフィルタアレイ152上に接合部材200を形成して透光板300を貼り合わせることが考えられる。しかしながら、カラーフィルタアレイ152は顔料を含有しておりカラーフィルタアレイ152と下地層との密着性が低い。そのため、カラーフィルタアレイ152と接合部材200との界面やカラーフィルタアレイ152と下地層との界面で層間剥離するという問題がある。このような層間剥離は、接合部材200を形成する際の樹脂の硬化収縮や、表示装置が高温高湿環境等に曝された際の膨張収縮によって生じうる。
本例では、後述のように接合部材200の下にカラーフィルタアレイ152を設けない領域を配置している。接合部材200の下にカラーフィルタアレイ152を設けない領域を配置することで、接合部材200が硬化する際の体積収縮による接合部材200と表示デバイス100との間の層間剥離を抑制することができる。また、高温高湿環境下等に曝された場合における材料の膨張収縮による接合部材200と表示デバイス100との間の層間剥離を抑制することができる。また、カラーフィルタアレイ152とカラーフィルタアレイ152の下地層との界面での層間剥離も抑制することができる。とりわけ、カラーフィルタアレイ152が顔料を含有している場合には、カラーフィルタアレイ152が染料を含有している場合に比べて、被着体との密着性が低い。そのため、カラーフィルタアレイ152が顔料を含有している場合には、接合部材200が硬化する際の体積収縮や、表示装置が高温高湿環境等に曝された際に膨張収縮による層間剥離は生じやすい。よって、カラーフィルタアレイ152が顔料を含有している場合には、本例が好適である。
次に、接合部材200の配置位置についての詳細を説明する。図6(b)に示すように、接触部700が設けられる領域においては、接触部700が設けられていない周辺領域602よりも周辺領域601が広いので接合部材200はカラーフィルタアレイ152の外端152Eよりも外側に設けられる。接合部材200は樹脂層151、153と透光板300との間に配されている。つまり、接合部材200と表示デバイス100との間には樹脂層151、153が延在する領域とがある。前述のとおり、接合部材200の下にカラーフィルタアレイ152を設けない領域を配置することで、接合部材200が硬化する際の体積収縮による接合部材200と表示デバイス100との間の層間剥離を抑制することができる。また、高温高湿環境下等に曝された場合における材料の膨張収縮による接合部材200と表示デバイス100との間の層間剥離を抑制することができる。また、カラーフィルタアレイ152とカラーフィルタアレイ152の下地層との界面での層間剥離も抑制することができる。
一方で、接触部700が設けられていない周辺領域602においては、周辺領域601に比べてスペースが狭いため、以下の構造としている。図6(c)に示すように、接合部材200の内端201を表示領域500の外側に形成されたカラーフィルタアレイ152の上に配置し、接合部材200の外端202はカラーフィルタアレイ152の外端152Eの外側に配置している。接合部材200の一部は樹脂層151、153、カラーフィルタアレイ152と透光板300との間に配され、接合部材200の一部は樹脂層151、153と透光板300との間に配される。接合部材200とカラーフィルタアレイ152には重畳領域205が存在する。つまり、接合部材200と表示デバイス100との間には樹脂層151、153が延在する領域と、樹脂層151、153及びカラーフィルタアレイ152が延在する領域とがある。このようにカラーフィルタアレイ152と重畳するように接合部材200を配置することで、重畳領域205の幅の分だけ省スペース化が可能となり、表示デバイス100の小型化が可能となる。重畳領域205においては、前述の層間剥離のリスクがあるが、重畳領域205の外側の領域において、接合部材200はカラーフィルタアレイ152を設けない領域に接地するため、層間剥離が接合部材の幅方向全体に進行することが抑制される。その結果、接合部材200が硬化する際の体積収縮による接合部材200と表示デバイス100との間の層間剥離を抑制することができる。また、高温高湿環境下等に曝された場合における材料の膨張収縮による接合部材200と表示デバイス100との間の層間剥離を抑制することができる。また、カラーフィルタアレイ152とカラーフィルタアレイ152の下地層との界面での層間剥離も抑制することができる。
接合部材200の幅は、例えば0.1~2mm、例えば0.5~1mm、例えば0.8mmである。そのうち、接合部材200の内端201からカラーフィルタアレイ152の外端152Eまでの距離、つまり重畳領域205の幅は、例えば10~500μm、例えば50~200μm、例えば100μmである。カラーフィルタアレイ152の外端152Eから接合部材200の外端202までの距離は、例えば0.1~1mm、例えば0.5~1mm、例えば0.7mmである。接合部材200は、樹脂からなるマトリックスと、マトリックに分散した、樹脂からなるスペーサーと、を含みうる。スペーサーの粒子径によって、表示デバイス100と透光板300との間の距離Gを調整する。図6(c)に示すように、接合部材200とカラーフィルタアレイ152との重畳領域205における接合部材200の厚さによって表示領域500における表示デバイス100と透光板300との距離Gが変動しうる。そのため、距離Gはスペーサー径とレンズアレイ170の厚さとの差となる。レンズアレイ170の総厚は例えば2μmであり、スペーサー粒子径は例えば30μmであり、その場合、距離Gは28μmとなる。接合部材200のマトリックス樹脂が表示デバイス100と透光板300の双方に接触する。接合部材200の他の例として、接合部材200の厚さの大半を占める基部と、基部と表示デバイス100とを接着する接着層と、基部と透光板300とを接着する接着層と、で接合部材200を構成することもできる。
透光板300については、透光板300の表示デバイス100と対向する主面310の端部に面取りによって形成された傾斜面340が設けている。傾斜面340を設けることで、透光板300を貼り合わせる際に透光板の角部が表示デバイス100に当接して、表示デバイス100が損傷するのを抑制することができる。傾斜面340の主面310に平行な方向の幅は例えば0.1mmである。本例では、表示デバイス100と対向する主面310の端部にのみ傾斜面340を形成したが、表示デバイス100と対向しない主面320の端部に面取りによって傾斜面を形成してもよく、両方の主面310、320の端部に形成しても良い。
次に接合部材200の幅をWとし、表示領域500の外端から接合部材200の少なくとも一部までの距離をLとした場合、幅Wと距離Lの関係について図7を用いて説明する。なお、表示領域500の外端から接合部材200までの距離は、表示領域500の外端の全周において均一である必要はない。
図7は、表示領域500の外端の画素140Eからの出射光EMIが出射角θで出射した様子を示す模式図である。ここでは簡略化のためにレンズアレイは省略して図示している。表示デバイス100の主面に対する法線と出射光との角度θを出射角と定義する。表示領域500の外端の画素140Eからの出射光EMIが接合部材200によって遮光されないためには、L>Gtanθにする必要があることが分かる。逆に言うと、L≦Gtanθの関係の場合、表示領域500の外端の画素140Eからの出射光EMIが接合部材200に遮られ、表示不良となり得る。必要な幅Lは視野角によって依存することがわかる。典型的な用途においては45°程度の視野角があれば十分といえる。θ=45°の場合、上記関係式からL>Gであればよい。つまり、表示領域500から接合部材200の少なくとも一部までの距離Lが、距離Gよりも大きいことが好ましい。また表示領域500の外端の画素140Eから接合部材200までの距離Lは、省スペース化のために、接合部材200の幅Wよりも小さいことが好ましい。つまりW>Lとするのが好ましく、前述の画素サイズX<Gの関係も考慮すると、X<G<L<Wとの関係で設計するのが好ましい。例えば、画素サイズXは5~10μmであり、距離Gは10~50μmであり、距離Lは50~500μmであり、幅Wは500~1000μmである。一例では、画素サイズXは6μmであり、距離Gは28μmであり、距離Lは100μmであり、幅Wは700μmである。
本実施形態の特徴の1つは、空隙180は、接合部材200に対して空隙180とは反対側に存在する空間(外部空間)に連通していることである。例えば、図8に示す様に、接合部材200の或る部分と別の部分との間には、空隙180を外部空間に連通させる隙間250が設けられている。接合部材200の或る部分と別の部分とは、接合部材200における隙間250の両側に位置する部分である。隙間250を設ける手法以外に、空隙180を外部空間に連通させるための溝や孔を透光板300や表示デバイス100に設けることもできる。
次に接合部材200の好ましいパターンについて説明する。前述の実施例では接合部材200は表示領域500を取り囲む閉塞したパターンとしたが、接合部材200には少なくとも一か所以上の隙間250を設けるのが好ましい。接合部材200に隙間250を設けない場合、外部環境の変化に伴い空隙180の圧力変動が生じるため、透光板300が変形し表示デバイスの品質や信頼性を損なう恐れがある。例えば、外部環境が室温から急激に氷点下の温度に変化した場合、空隙180の圧力が低下し、接合部材200の内外で圧力差が生じるため透光板300が表示デバイス100側に変形する。前述のとおり、画素サイズXよりも広く距離Gを設定することで異物による表示不良を抑制することができるが、透光板300が変形して距離Gが変動すると内在する異物による表示デバイス100が損傷する恐れが生じる。透光板300の変形量は透光板300の剛性にも依存するため変形量を一概に定義することは難しく、外部環境変動による透光板の変形自体を抑制するのが好ましい。また接合部材200に隙間250を設けない場合、高温と低温との間の急激な温度サイクルが繰り返されると、空隙180は膨張と収縮を繰り返し、接合部材200の界面に繰り返し応力がかかることになる。その結果、接合部材200が表示デバイス100あるいは透光板300から剥離する恐れもある。特に接合部材200の線幅Wが細くなるほど、この問題は顕在化する。さらに結露の問題もある。接合部材200に隙間250を設けない場合、例えば高温高湿環境下に放置された期間に空隙180では飽和水蒸気圧となっており、急激に環境温度が下がると空隙の飽和水蒸気圧が下がり、空隙において結露が発生する。空隙における結露によって、表示品質や信頼性を損なう恐れがある。以上のような問題を抑制するために、接合部材200には少なくとも一か所以上の隙間250を設けるのが好ましい。次に接合部材200に隙間250を設ける場合の配置パターンについて、図8を用いて説明する。
図8は接合部材200に隙間250が設けられた表示装置800を表示デバイス100の主面である表面101に対して平面視した際の平面図を示している。
図8(a)では、隙間250は接触部700が配置される辺に設けている。図8(a)に示すように、表示領域500の輪郭は四辺形であり、隙間250は、輪郭のうちの互いに対向する上辺および下辺を仮想的に延長した2つの直線(一点鎖線で示す)に挟まれる位置に設けられる。なお、外部接続端子190はこの一点鎖線で示された2つの直線に挟まれる位置には存在しない。ディスペンス法を用いて接合部材200を形成する場合、ディスペンスの始点と終点に相当する接合部材200の隙間端部の線幅が、隙間端部以外の線幅と比べて多少太くなることがある。前述のとおり、接触部700が配置される辺は、その他の辺に比べて周辺領域600が広いため、隙間250における接合部材200の線幅が多少太くなっても問題ない。よって隙間250は接触部700が配置される辺に設けるのが好ましい。
別の例として図8(b)では、隙間250は外部接続端子190が配置される辺に設けている。表示領域500の輪郭は四辺形であり、隙間250は、輪郭のうちの互いに対向する左辺および右辺を仮想的に延長した2つの直線(二点鎖線で示す)に挟まれる位置に設けられる。なお、外部接続端子190の少なくとも一部はこの二点鎖線で示された2つの直線に挟まれる位置に存在する。外部接続端子190と表示領域500の間の領域は配線構造の引き回しのために、他の辺よりもスペースが広いことが多い。よって前述同様に隙間を設けるのが容易である。接合部材200の隙間250は異物の侵入経路となり得るため、隙間250を閉塞しないように隙間250の外側に何らかの構造物を配置するのが好ましい。外部接続端子190にはフレキシブルプリント基板(FPC、不図示)が接合されるが、FPCと表示デバイス100との接着力を補強するための補強樹脂を設けることがある。隙間250を外部接続端子190が配置される辺に設けることで、FPCの補強樹脂260を異物侵入抑制のための構造物として利用できるため好適である。
さらに別の例として、図8(c)に示すように、隙間250をコーナーに設けてもよい。表示領域500の輪郭は四辺形であり、隙間250は、輪郭のうちの互いに対向する上辺および下辺を仮想的に延長した2つの直線(一点鎖線で示す)に挟まれない位置に設けられている。さらに、隙間250は、輪郭のうちの互いに対向する左辺および右辺を仮想的に延長した2つの直線(二点鎖線で示す)にも挟まれない位置に設けられている。コーナーに隙間250を設けるほうが、仮に隙間250から異物が侵入した場合に、隙間250から表示領域500までの距離が長いため異物によって表示不良となるリスクを低減することができる。
また図8(d)では接合部材200が2重のパターンを有している。接合部材200は、隙間250を有し外周に設けられる接合部材パターン201と、接合部材パターン201の内側に接合部材パターン201から離間して設けられる接合部材パターン202と、を有する構造を示している。接合部材パターン202は、接合部材パターン201の隙間250と平面視でオーバーラップするよう設けられている。接合部材パターン202は、接合部材パターン201の外側に設けても構わない。接合部材パターン202を設けることで、隙間250をラビリンス構造とし、接合部材200の隙間250から侵入した異物が表示領域500に到達するまでの距離を長くすることができる。その結果、表示不良となるリスクを低減することができる。
以上のように、接合部材200に隙間250を設けることで外部環境の変動に伴う表示不良や信頼性低下のリスクを低減することができる。
以上、本発明によると、表示デバイスと透光板との間の距離を画素サイズよりも大きくすることで、異物による表示不良を抑制することができる。またレンズアレイを設ける場合は、表示デバイスと透光板との間の距離をレンズアレイの高低差よりも大きくすることで異物による表示不良を抑制することができる。さらに接合部材に隙間を設けることで、外部環境変動による表示不良や信頼性低下のリスクを低減することができる。以上のように、表示装置の表示品質と信頼性の向上が実現できる。
本実施形態では、透光板300と表示デバイス100との間に空隙180を設けているために、透光板300と表示領域500との間を透光部材で充填する場合に比べて、透光板300と表示デバイス100との間の接合強度を確保する点で不利である。すなわち、空隙180を設けるために透光板300と表示デバイス100との間の接合面積を大きくすることが困難である。また、空隙180によって表示デバイス100と透光板300との間の熱伝導が低減されるため、表示デバイス100と透光板300の温度差が生じやすくなる。そのため、表示デバイス100と透光板300の熱膨張量が異なりやすいため、表示デバイス100と透光板300との間に応力が生じやすい。また、有機材料層143への熱ダメージを低減するため、樹脂層151、152となる樹脂膜を高温にさらすことは避けることが好ましい。そのため、樹脂膜の硬化が十分でない場合がある。硬化の不十分な樹脂膜を介して表示デバイス100と透光板300を接合部材200で接合すると、硬化の不十分な樹脂膜と保護膜150との界面で剥離が生じてしまう可能性がある。あるいは、硬化の不十分な樹脂膜と接合部材200との界面で剥離が生じてしまう可能性がある。あるいは、硬化の不十分な樹脂膜自体が破断してしまう可能性がある。そこで、限られた接合面積によって透光板300と表示デバイス100との間の接合強度を向上する上で有利な形態を説明する。
図9(a)、(b)は、図6(a)におけるZ-Z’線の断面図である。表示デバイス100は、基板105と、基板105と空隙180との間に位置する無機材料層を含む。この無機材料層は、図9(a)において、保護膜150に含まれうる。保護膜150に含まれる無機材料層は典型的には窒化シリコン層である。保護膜150に含まれる無機材料層は接合部材200と基板105との間に延在している。表示デバイス100は、基板105と保護膜150の無機材料層との間に位置する有機材料層143と、有機材料層143と空隙180との間に位置する少なくとも1つの樹脂層151、153とを含む。樹脂層151、153の端部は接合部材200よりも内側にある。樹脂層151、153は保護膜150に含まれる無機材料層を露出するように形成される。そのため、接合部材200は保護膜150に含まれる無機材料層に接する。樹脂層151、153に接合部材200が接すると接合強度が低下するため、樹脂層151、153を除去して、接合部材200が保護膜150に含まれる無機材料層に接するようになっている。接合部材200と基板105との間に樹脂層が設けられていなければ、樹脂層に起因した剥離は生じにくくなる。
この構造は、基板105上の全面に樹脂層151、153となる樹脂膜を形成したのちに、図9(a)、(b)に記載した残留領域に樹脂膜を残留させ、図9(a)、(b)に記載した除去領域から樹脂膜を除去することで形成できる。例えば、基板105上の全面に、樹脂層151となる樹脂膜と、樹脂層153となる樹脂膜と、を成膜した後に、残留領域をマスクで保護して、除去領域に位置する2つの樹脂膜をエッチングによって除去すればよい。このように不要な膜を一括して除去領域から除去することが効率的である。そのため、樹脂層151の端部と樹脂層153の端部の位置はおおむね一致する。端部がおおむね一致するとは、それぞれの端部の位置のずれが1μm以下であることを意味する。勿論、各樹脂膜を成膜するごとに除去領域から樹脂膜を除去してもよく、その場合には樹脂層151と樹脂層153の端部は一致しなくてもよい。樹脂膜が感光性を有する場合には、各樹脂膜を成膜するごとに、フォトリソグラフィによって樹脂膜をパターニングすることができる。
図9(b)において、レンズアレイ170の上には反射防止膜171が設けられている。反射防止膜171には酸化シリコン層や窒化シリコン層、酸窒化シリコン層などの無機材料層が含まれる。有機材料層143は基板105と反射防止膜171に含まれる無機材料層との間に位置する。反射防止膜171の端部も、樹脂層151、153の端部と同様に、接合部材200よりも内側にある。そのため、接合部材200は反射防止膜171に含まれる無機材料層ではなくて、保護膜150に含まれる無機材料層に接する。反射防止膜171に含まれる無機材料層もまた、樹脂層151、153となる樹脂膜と一括でパターニングすることができる。
反射防止膜171に含まれる無機材料層を樹脂層151、153の除去領域に残すこともできる。その場合には、反射防止膜171に含まれる無機材料層が接合部材200と基板105との間に延在しうる。そして、接合部材200は反射防止膜171に含まれる無機材料層に接しうる。樹脂膜の除去領域に反射防止膜171に含まれる無機材料層を残しても、この無機材料層と基板105との間には、樹脂層151、153がない(除去されている)ため、接合強度の低下が生じにくいという利点がある。
図9(a)に示した周辺領域600は非有効画素領域610と周辺回路領域620とを含んでいる。図9(a)の例では、非有効画素領域610においてカラーフィルタアレイ152は複色部を有しており、図9(b)の例では、非有効画素領域610においてカラーフィルタアレイ152は単色部を有している。図9(a)、(b)にはバンクと呼ばれる画素分離部144を示している。画素分離部144は酸化シリコン層や窒化シリコン層などの無機材料層からなる。画素分離部144を構成する無機材料層を基板105と接合部材200との間に設けてもよい。
図10(a)には表示装置DSPLを備える機器EQPの例を示している。表示装置DSPLには上述した表示装置800を適用可能である。機器EQPは、制御装置CTRLと、通信装置IFと、光学装置OPTと、撮像装置ISと、音響装置AUDIOと、の少なくともいずれかを備える。制御装置CTRLは表示装置DSPLを制御する。制御装置CTRLはDSPやASICでありうる。通信装置IFは、表示領域500に表示される情報を含む信号を通信(送信/受信)する。通信装置IFは無線通信機能および/または有線通信機能を有している。通信装置IFは送信機能を持たずに受信機能のみを持っていてもよい。光学装置OPTは表示領域500に表示された画像をスクリーンや網膜に投影する。光学装置OPTは、レンズやプリズム、ミラーでありうる。撮像装置ISは表示領域500に表示される画像を撮影する。撮像装置ISは機器EQPの外部から取り込まれた光を光電変換するCMOSイメージセンサでありうる。音響装置AUDIOは機器EQPの外部から音が入力されるマイクおよび/または音が出力されるスピーカーを含みうる。とりわけ撮像装置ISや音響装置AUDIOは、機器EQPの仕様やユーザーの要望に応じて適宜省略することができる。
また、機器EQPは表示機能を有する情報端末(例えばスマートフォンやウエアラブル端末)やカメラ(例えばレンズ交換式カメラ、コンパクトカメラ、ビデオカメラ、監視カメラ)などの電子機器に適する。また、機器9191は、車両や船舶、飛行体などの輸送機器であり得る。輸送機器としての機器EQPは、表示装置800を輸送するものや、表示機能により運転(操縦)の補助を行うものに好適である。あるいは、機器EQPは眼科用などの医療機器や、測距センサなどの計測機器、複写機などの事務機器であってもよい。
図10(b)には機器EQPの一例としてのヘッドマウントディスプレイHMDの例を示ししている。ヘッドマウントディスプレイHMDは、機器EQPをヘッドマウントディスプレイとして用いるための装着手段WRを備える。装着手段WRはバンドやストラップなどである。ヘッドマウントディスプレイHMDはユーザーが両眼で画像を観察できるように、複数の表示装置DSPLが設けられている。また、ヘッドマウントディスプレイHMDには距離情報を取得できるように、複数の撮像装置ISが設けられている。音響装置AUDIOのマイクがユーザーの口の近くに位置することで、ユーザーの口から発せられる音がマイクへ入力されうる。音響装置AUDIOのスピ-カーがユーザーの耳の近くに位置することで、ユーザーの耳へ向かう音がスピーカーから出力されうる。ヘッドマウントディスプレイHMDにおける表示装置DSPLの表示領域の対角長は24mm以上であってもよい。
以上、説明した実施形態は、技術思想を逸脱しない範囲において適宜変更が可能である。なお、本明細書の開示内容は、本明細書に記載したことのみならず、本明細書および本明細書に添付した図面から把握可能な全ての事項を含む。
なお、例示した具体的な数値範囲について、e~fという記載(e、fは数字)は、e以上および/またはf以下という意味である。また、例示した具体的な数値範囲について、i~jという範囲およびm~nという範囲が併記(i、j、m、nは数字))してある場合には、下限と上限の組は、iとjの組またはmとnの組に限定されるものではない。例えば、複数の組の下限と上限を組み合わせて検討もよい。すなわち、i~jという範囲およびm~nという範囲が併記してある場合には、i~nという範囲で検討を行ってもよいし、m~jという範囲で検討を行ってもよいものである。
また本明細書の開示内容は、本明細書に記載した個別の概念の補集合を含んでいる。すなわち、本明細書に例えば「AはBよりも大きい」旨の記載があれば、たとえ「AはBよりも大きくない」旨の記載を省略していたとしても、本明細書は「AはBよりも大きくない」旨を開示していると云える。なぜなら、「AはBよりも大きい」旨を記載している場合には、「AはBよりも大きくない」場合を考慮していることが前提だからである。
100 表示デバイス
500 表示領域
G 距離
H 高低差
X 画素サイズ
200 接合部材
300 透光板
180 空隙

Claims (21)

  1. 表示領域および前記表示領域の周辺に位置する周辺領域を有する表示デバイスと、
    前記表示デバイスに重なる主面を有する透光板と、を備える表示装置であって、
    前記表示領域と前記透光板との間には空隙が設けられており、
    前記周辺領域と前記透光板との間には、前記表示デバイスと前記透光板とを接合する接合部材が設けられており、
    前記空隙は、前記接合部材に対して前記空隙とは反対側に存在する空間に連通していることを特徴する表示装置。
  2. 前記接合部材の或る部分と別の部分との間には、前記空隙を前記空間に連通させる隙間が設けられている、請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記表示領域の輪郭は四辺形であり、前記隙間は、前記輪郭のうちの互いに対向する第1辺および第2辺を仮想的に延長した2つの直線に挟まれない位置であって、前記輪郭のうちの互いに対向する第3辺および第4辺を仮想的に延長した2つの直線に挟まれない位置に設けられている、請求項2に記載の表示装置。
  4. 前記表示領域の輪郭は四辺形であり、前記隙間は前記輪郭のうちの互いに対向する2つの辺を仮想的に延長した2つの直線に挟まれる位置に設けられている、請求項2に記載の表示装置。
  5. 前記表示デバイスは、基板と、前記基板と前記空隙との間に位置する無機材料層と、を含む、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の表示装置。
  6. 前記接合部材と前記基板との間には、樹脂層が設けられていない、請求項5に記載の表示装置。
  7. 前記無機材料層は窒化シリコン層である、請求項5または6に記載の表示装置。
  8. 前記基板は単結晶半導体基板であり、前記基板の厚さは前記透光板の厚さよりも大きい、請求項5乃至7のいずれか1項に記載の表示装置。
  9. 前記表示デバイスにはレンズアレイが設けられている、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の表示装置。
  10. 前記表示デバイスにはカラーフィルタアレイが設けられている、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の表示装置。
  11. 前記表示デバイスには、カラーフィルタアレイと、前記カラーフィルタアレイと前記空隙との間に設けられたレンズアレイと、が設けられている、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の表示装置。
  12. 前記接合部材は樹脂部分と球状のスペーサーを含む、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の表示装置。
  13. 前記表示領域から前記周辺領域にかけて導電体膜が設けられており、前記接合部材が前記導電体膜に重なる、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の表示装置。
  14. 前記表示デバイスにはカラーフィルタアレイが設けられており、前記接合部材の前記空隙の側の側面が前記カラーフィルタアレイに重なり、前記接合部材の前記空隙の側とは反対側の側面が前記カラーフィルタアレイに重ならない、請求項1乃至13のいずれか1項に記載の表示装置。
  15. 前記透光板は、前記主面に対して傾斜した側面を有し、前記側面から前記主面にかけて、前記側面および前記主面に対して傾斜した面を有する、請求項1乃至14のいずれか1項に記載の表示装置。
  16. 前記表示領域の面積は153mmより大きく2912mmより小さい、請求項1乃至15のいずれか1項に記載の表示装置。
  17. 前記表示領域には複数の有機EL素子が配列されている、請求項1乃至16のいずれか1項に記載の表示装置。
  18. 請求項1乃至17のいずれか1項に記載の表示装置と、
    配線部材と、を備えるモジュールであって、
    前記表示デバイスは、前記表示デバイスと前記透光板とが重なる方向において前記透光板に重ならない位置に配された端子を有し、前記配線部材は前記端子に接続されているモジュール。
  19. 請求項1乃至17のいずれか1項に記載の表示装置と、
    遮光部材と、
    透光部材と、を備えるモジュールであって、
    前記遮光部材が、前記透光部材と前記透光板との間の空間を囲む、モジュール。
  20. 請求項1乃至17のいずれか1項に記載の表示装置を備える機器であって、
    前記表示装置を制御する制御装置と、
    前記表示領域に表示される情報を含む信号を受信する受信装置と、
    前記表示領域に表示された画像を投影する光学装置と、
    前記表示領域に表示される画像を撮影する撮像装置と、
    音が入力または出力される音響装置と、
    の少なくともいずれかを更に備える機器。
  21. 請求項20に記載の機器であって、前記機器をヘッドマウントディスプレイとして用いるための装着手段を備える機器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2554059B2 (ja) * 1986-09-02 1996-11-13 シャープ株式会社 薄膜elデイスプレイユニツト
JP2837013B2 (ja) * 1992-01-17 1998-12-14 株式会社デンソー El表示装置
JPH10133840A (ja) * 1996-11-01 1998-05-22 Olympus Optical Co Ltd 情報処理用システム装置
JP2002305076A (ja) 2001-02-01 2002-10-18 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 表示装置及びその作製方法
US6724150B2 (en) * 2001-02-01 2004-04-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
JP3975739B2 (ja) 2001-12-14 2007-09-12 旭硝子株式会社 有機elディスプレイ用対向基板の製造方法および有機elディスプレイの製造方法
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CN1819300B (zh) 2004-09-17 2010-06-16 株式会社半导体能源研究所 发光器件
JP4986904B2 (ja) 2008-03-26 2012-07-25 富士フイルム株式会社 発光装置及びその製造方法
JP5585458B2 (ja) 2011-01-12 2014-09-10 セイコーエプソン株式会社 有機el装置及び電子機器
KR101984806B1 (ko) 2011-02-28 2019-05-31 코닝 인코포레이티드 낮은 디스플레이 스파클을 갖는 방현 표면을 구비한 유리
KR102060992B1 (ko) * 2013-05-27 2020-01-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판 및 이의 제조 방법
JP6318693B2 (ja) 2014-02-25 2018-05-09 セイコーエプソン株式会社 表示装置及び電子機器
JP6727948B2 (ja) * 2015-07-24 2020-07-22 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像素子、製造方法
US11114483B2 (en) * 2018-08-10 2021-09-07 Omnivision Technologies, Inc. Cavityless chip-scale image-sensor package
JP7378923B2 (ja) * 2018-10-31 2023-11-14 キヤノン株式会社 半導体装置、モジュール、カメラおよび機器

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