JP2022176902A - リングキャリヤー及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
基板処理装置500は処理容器510、ゲートバルブ520、排気ライン530、電源ユニット540、支持ユニット550、第1リフトピンモジュール560、第2リフトピンモジュール570、バッフル板580、そしてガス供給ユニット590を含むことができる。
上述した例では第1容器21に基板Wが収納され、第2容器22にリング部材Rが収納されることを例として説明したが、これに限定されることではない。例えば、基板Wとリング部材Rは同一容器20内に収納されることができる。
20 容器
21 第1容器
22 第2容器
W 基板
N ノッチ
R リング部材
FZ フラットゾーン
RZ ラウンドゾーン
G アラインメント溝
30 リングキャリヤー
31 本体
32 開口
33 アラインメントホール
34 ガイド突起
35 第1ガイド突起
35F 第1フラット部
35R 第1ラウンド部
36 第2ガイド突起
36F 第2フラット部
36R 第2ラウンド部
200 整列ユニット
210 チャック
220 照射部
230 受光部
310 ロードロックチャンバー
311 ハウジング
312 内部空間
313 ベントホール
314 減圧ホール
320 支持シェルフ
510 処理容器
511 処理空間
512 搬入口
514 排気ホール
520 ゲートバルブ
530 排気ライン
540 電源ユニット
542 電源
544 整合器
550 支持ユニット
552 チャック
554 絶縁板
556 クォーツリング
R リング部材
560 第1リフトピンモジュール
570 第2リフトピンモジュール
580 バッフル板
582 バッフルホール
590 ガス供給ユニット
592 ガス供給源
594 ガス供給ライン
700 制御器
Claims (20)
- リング部材を搬送するのに使用されるリングキャリヤーにおいて、
板形状を有する本体と、
前記リング部材の内周と対向するように前記本体の上面から突出されて形成されるガイド部と、を含み、
前記本体には、
前記リングキャリヤーを整列する時に使用されるアラインメントホールが前記本体を貫通して形成されるリングキャリヤー。 - 前記ガイド部は、
前記リング部材が有するフラットゾーン(Flat Zone)の内周と対向する位置に形成される請求項1に記載のリングキャリヤー。 - 前記本体は、
中央領域がブロッキングプレート(Blocking Plate)である円板形状を有する請求項1に記載のリングキャリヤー。 - 前記ガイド部は、
第1ガイド部と、
前記第1ガイド部と離隔されて形成される第2ガイド部と、を含み、
前記アラインメントホールは、
前記第1ガイド部、そして前記第2ガイド部の間に形成される請求項1乃至請求項3中のいずれか一項に記載のリングキャリヤー。 - 前記本体の縁領域には、
少なくとも1つ以上の開口が前記本体を貫通して形成される請求項1乃至請求項3中のいずれか一項に記載のリングキャリヤー。 - 前記開口は、
前記本体の外周を含む前記本体の縁領域に形成される請求項5に記載のリングキャリヤー。 - 前記リングキャリヤーは、
前記本体の下面に提供される少なくとも1つ以上の滑り防止パッドを含む請求項1乃至請求項3中のいずれか一項に記載のリングキャリヤー。 - 前記リングキャリヤーは、
前記本体の下面から下方向に突出される滑り防止ピンを含む請求項1乃至請求項3中のいずれか一項に記載のリングキャリヤー。 - 基板を処理するシステムにおいて、
搬送ハンドを有する搬送ロボットが提供される第1チャンバーと、
前記第1チャンバーと連結される第2チャンバーと、
前記第1チャンバー、そして前記第2チャンバーの間でリング部材を搬送する間に前記リング部材を支持するリングキャリヤーと、
前記リングキャリヤーを整列する整列ユニットと、を含み、
前記リングキャリヤーは、
円板形状を有する本体と、
前記本体に置かれる前記リング部材のスライディングを防止するガイド突起と、を含み、
前記本体には、
前記整列ユニットが前記リングキャリヤーを整列する時に使用されるアラインメントホールが前記本体を貫通して形成される基板処理システム。 - 前記アラインメントホールは、
前記基板に形成されたノッチと重畳される位置に形成される請求項9に記載の基板処理システム。 - 前記ガイド突起は、
前記リング部材が有するフラットゾーン(Flat Zone)の内周と対向する位置に形成される請求項9に記載の基板処理システム。 - 前記ガイド突起は、
前記フラットゾーンの内周と対応するフラット部と、
前記フラット部から曲がって延長され、前記リング部材が有するラウンドゾーン(Round-Zone)の内周と対応するラウンド部を含む請求項11に記載の基板処理システム。 - 前記ラウンド部の外周と前記ラウンドゾーンの内周は、互いに同一の曲率半径を有する請求項12に記載の基板処理システム。
- 前記ガイド突起は、
第1ガイド突起と、
前記第1ガイド突起と離隔されて形成され、前記第1ガイド突起と対称された形状を有する第2ガイド突起と、を含む請求項12に記載の基板処理システム。 - 前記本体の縁領域には、
複数の開口が前記本体を貫通して形成され、
前記開口は、
上部から見る時、前記第2チャンバーに提供される支持シェルフと重畳される位置に形成される請求項9乃至請求項14中のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 前記開口は、
前記本体の外周を含む前記本体の縁領域に形成される請求項15に記載の基板処理システム。 - 前記整列ユニットは、
前記リングキャリヤーを支持及び回転させるチャックと、
前記チャックに支持された前記リングキャリヤーの前記アラインメントホールに向かって光を照射する照射部と、
前記アラインメントホールを通過した前記光を受光する受光部と、を含む請求項9乃至請求項14中のいずれか一項に記載の基板処理システム。 - 基板を処理するシステムにおいて、
内部が大気圧雰囲気に維持され、搬送ロボットが提供されるインデックスチャンバーと、
プラズマを利用して基板を処理する工程チャンバーと、
前記インデックスチャンバー、そして前記工程チャンバーの間に配置され、内部が大気圧雰囲気、そして真空圧雰囲気の間で転換されるロードロックチャンバーと、
前記ロードロックチャンバー、そして前記インデックスチャンバーの間に前記工程チャンバーに提供されるリング部材を搬送するのに使用されるリングキャリヤーと、
制御器と、を含み、
前記制御器は、
前記搬送ロボットのハンドが前記リング部材が置かれる前記リングキャリヤーを前記ロードロックチャンバー、そして前記インデックスチャンバーの間に搬送するように前記搬送ロボットを制御し、
前記リングキャリヤーは、
円板形状を有する本体と、
前記リング部材が有するフラットゾーン(Flat Zone)の内周と対向するように前記本体の上面から突出されて形成されるガイド部と、を含み、
前記本体には、
前記リングキャリヤーを整列する時に使用されるアラインメントホールが前記本体を貫通して形成される基板処理システム。 - 前記装置は、
前記基板に形成されたノッチ又は前記リングキャリヤーに形成された前記アラインメントホールの方向を整列する整列ユニットをさらに含み、
前記アラインメントホールは、
上部から見る時、前記ノッチと重畳される位置に形成される請求項18に記載の基板処理システム。 - 前記ロードロックチャンバーは、
前記基板又は前記リング部材を支持する複数の支持シェルフを有し、
前記本体の縁領域には、
複数の開口が前記本体を貫通して形成され、
前記開口は、
上部から見る時、各々前記支持シェルフと重畳される位置に形成される請求項18又は請求項19に記載の基板処理システム。
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