JP2022176027A - アクチュエータ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば環境温度が変化したとしても、所望の駆動特性を安定して得ることができるアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】配線基板によって支持された金属基板３は、可動部と、第１延在部３３と、第１延在部３３と可動部とを連結する第１連結部３５と、第１延在部３３に接続された第１接続部３７と、を有する。第１接続部３７は、配線基板に固定された第１固定領域３７１と、第１延在部３３及び第１固定領域３７１に接続された第１接続領域３７２と、を含む。第１接続領域３７２は、第１曲部分３７２ｃを含む。第１曲部分３７２ｃは、可動部側の第１外縁Ｐ１及び可動部とは反対側の第２外縁Ｐ２を有し、第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２のそれぞれは、Ｚ軸方向から見た場合に可動部側に曲がっている。【選択図】図６

Description

本発明は、アクチュエータ装置に関する。

支持体と、支持体によって支持された金属基板と、金属基板が有する本体部に配置された振動素子と、を備えるアクチュエータ装置が知られている。そのようなアクチュエータ装置では、金属基板が、可動部と、可動部が間に位置するように本体部から延在する一対の延在部と、一対の延在部と可動部とを連結する一対の連結部と、一対の延在部に接続された一対の接続部と、を更に有し、各接続部の一部分が支持体に固定されている場合がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２０－１８７２９２号公報

上述したようなアクチュエータ装置では、環境温度の変化に起因して支持体が膨張したり収縮したりすることで、支持体に固体された各接続部の一部分を介して各連結部及び本体部に不要な応力が作用し、その結果、金属基板の共振周波数が変化する等、所望の駆動特性が得られないおそれがある。

本発明は、例えば環境温度が変化したとしても、所望の駆動特性を安定して得ることができるアクチュエータ装置を提供することを目的とする。

支持体と、支持体によって支持された金属基板と、金属基板が有する本体部に配置された振動素子と、を備え、金属基板は、可動部と、可動部が間に位置するように本体部から延在する第１延在部及び第２延在部と、第１延在部と可動部とを連結する第１連結部と、第２延在部と可動部とを連結する第２連結部と、第１延在部に接続された第１接続部と、第２延在部に接続された第２接続部と、本体部に接続された第３接続部と、を更に有し、第１接続部は、支持体に固定された第１固定領域と、第１延在部及び第１固定領域に接続された第１接続領域と、を含み、第２接続部は、支持体に固定された第２固定領域と、第２延在部及び第２固定領域に接続された第２接続領域と、を含み、第３接続部は、支持体に固定された第３固定領域と、本体部及び第３固定領域に接続された第３接続領域と、を含み、第１接続領域は、第１曲部分を含み、第２接続領域は、第２曲部分を含み、第１曲部分は、可動部側の第１外縁及び可動部とは反対側の第２外縁を有し、第２曲部分は、可動部側の第３外縁及び可動部とは反対側の第４外縁を有し、第１外縁及び第２外縁のそれぞれは、金属基板の厚さ方向から見た場合に可動部側に曲がっており、第３外縁及び第４外縁のそれぞれは、金属基板の厚さ方向から見た場合に可動部側に曲がっている。

このアクチュエータ装置では、例えば環境温度の変化に起因して支持体が膨張したり収縮したりしたとしても、第１接続領域及び第２接続領域において第１曲部分及び第２曲部分が変形することで、支持体に固体された第１固定領域及び第２固定領域を介して第１連結部、第２連結部及び本体部に不要な応力が作用しにくくなると共に、支持体に固体された第３固定領域を介して本体部に不要な応力が作用しにくくなり、金属基板の共振周波数の変化が抑制される。よって、このアクチュエータ装置によれば、例えば環境温度が変化したとしても、所望の駆動特性を安定して得ることができる。

本発明のアクチュエータ装置では、第１接続領域は、第１延在部から直線状に延在する第１部分を更に含み、第２接続領域は、第２延在部から直線状に延在する第２部分を更に含み、第１部分は、第１曲部分に接続されており、第２部分は、第２曲部分に接続されていてもよい。これにより、第１延在部と第１連結部との接続部分に第１曲部分の変形の影響が及ぶのを抑制することができる。同様に、第２延在部と第２連結部との接続部分に第２曲部分の変形の影響が及ぶのを抑制することができる。

本発明のアクチュエータ装置では、第１接続領域は、第１固定領域から直線状に延在する第３部分を更に含み、第２接続領域は、第２固定領域から直線状に延在する第４部分を更に含み、第３部分は、第１部分と交差する位置関係を有し、第１曲部分と接続されており、第４部分は、第２部分と交差する位置関係を有し、第２曲部分と接続されていてもよい。これにより、例えば環境温度の変化に起因して支持体が膨張したり収縮したりした場合に、第１接続領域及び第２接続領域において第１曲部分及び第２曲部分を局所的に変形させることができる。

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、本体部及び可動部が並ぶ方向に対して第３部分が成す角度は、０度よりも大きく且つ９０度以下であり、金属基板の厚さ方向から見た場合に、本体部及び可動部が並ぶ方向に対して第４部分が成す角度は、０度よりも大きく且つ９０度以下であってもよい。これにより、例えば環境温度の変化に起因して支持体が膨張したり収縮したりした場合に、第１接続領域及び第２接続領域において第１曲部分及び第２曲部分を確実に変形させることができる。

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第１外縁及び第２外縁のそれぞれは、可動部とは反対側に凸となるように湾曲しており、金属基板の厚さ方向から見た場合に、第３外縁及び第４外縁のそれぞれは、可動部とは反対側に凸となるように湾曲していてもよい。これにより、例えば環境温度の変化に起因して支持体が膨張したり収縮したりした場合に、第１曲部分及び第２曲部分において応力の集中が緩和されるため、第１曲部分及び第２曲部分の破損を防ぐことができる。

本発明のアクチュエータ装置では、第１固定領域及び第２固定領域は、本体部及び可動部が並ぶ方向において可動部に対して本体部とは反対側に位置する領域を挟んで、互いに離間していてもよい。これにより、例えば、可動部に光が照射される場合に、第１固定領域又は第２固定領域によって当該光が反射されることで迷光が発生するリスクを低減することができる。

本発明のアクチュエータ装置では、金属基板は、第３固定領域及び第１固定領域に接続された第１中間部と、第３固定領域及び第２固定領域に接続された第２中間部と、を更に有してもよい。これにより、アクチュエータ装置の製造時における金属基板のハンドリング性を向上させることができる。

本発明によれば、例えば環境温度が変化したとしても、所望の駆動特性を安定して得ることができるアクチュエータ装置を提供することが可能となる。

一実施形態のアクチュエータ装置の斜視図である。 図１に示されるアクチュエータ装置の平面図である。 図１に示される配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。 図１に示される配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。 図１に示される配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。 図１に示される金属基板の一部分の平面図である。 図１に示される金属基板の一部分の平面図である。 第１変形例の配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。 第２変形例の配線基板及び金属基板の一部分の平面図である。 第３変形例の金属基板の平面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［アクチュエータ装置の構成］

図１及び図２に示されるように、アクチュエータ装置１は、配線基板（支持体）２と、金属基板３と、第１接着部材４と、光学面５１を有する光学機能部５と、駆動用圧電素子（振動素子）６と、検知用圧電素子７と、第２接着部材８と、を備えている。光学機能部５は、金属基板３に設けられている。アクチュエータ装置１は、例えば、パッケージ（図示せず）に収容されている。一例として、パッケージは、側壁、底壁、及び光を透過する材料からなる天壁を有し、箱状を呈している。例えば、アクチュエータ装置１において、レーザ光が天壁を介してパッケージ内に入射されると、レーザ光が、駆動用圧電素子６によって金属基板３を介して周期的に揺動されている光学機能部５の光学面５１で反射され、天壁を介して外部に出射される。パッケージからのレーザ光の出射方向は、光学面５１の揺動に応じて周期的且つ連続的に変化する。つまり、本実施形態では、アクチュエータ装置１は、光走査装置である。

配線基板２は、載置面２ａを有している。配線基板２には、載置面２ａ及び載置面２ａとは反対側の面に開口する開口２ｂが形成されている。配線基板２は、例えば、矩形枠状を呈している。配線基板２の材料の例としては、シリコン、セラミック、石英、ガラス及びプラスチックが挙げられる。配線基板２としては、例えば、ガラス布とガラス不織布とを混ぜ合わせた基材にエポキシ樹脂を含浸させたガラスコンポジット基板（ＣＥＭ－３）、ガラス繊維製の布を重ねたものに、エポキシ樹脂を含浸したガラスエポキシ基板（ＦＲ－４）、銅、アルミニウム等を基材としたメタル放熱基板等を用いることができる。配線基板２の厚さは、十分な剛性が確保できる厚さとすればよく、例えば、０．８ｍｍ以上である。本実施形態では、配線基板２の厚さは、１．６ｍｍである。以下の説明では、配線基板２の厚さ方向をＺ軸方向（金属基板の厚さ方向）といい、Ｚ軸方向に垂直な一方向をＸ軸方向といい、Ｚ軸方向及びＸ軸方向の両方向に垂直な方向をＹ軸方向（本体部３１及び可動部３２が並ぶ方向）という。

配線基板２の載置面２ａには、複数（本実施形態では、３つ）の電極パッド２１，２２，２３が配置されている。複数の電極パッド２１，２２，２３は、配線基板２の開口２ｂに対してＹ軸方向における一方の側に位置しており、Ｘ軸方向に沿って並んでいる。載置面２ａには、コネクタ２４が取り付けられている。コネクタ２４は、駆動用圧電素子６及び検知用圧電素子７のそれぞれに対して電圧信号等を入出力するためのポートである。コネクタ２４は、例えば、複数の電極パッド２１，２２，２３に対してＹ軸方向における一方の側に位置している。コネクタ２４は、複数の端子２５を有している。コネクタ２４は、複数の端子２５及び配線基板２の配線等を介して、複数の電極パッド２１，２２，２３と電気的に接続されている。

金属基板３は、配線基板２によって支持されている。金属基板３は、例えば、鉄系、ステンレス系、銅系、パーマロイド系、チタン系、タングステン系、モリブデン系等の金属からなり、板状を呈している。金属基板３の厚さは、例えば、５０～５００μｍである。第１接着部材４は、配線基板２と金属基板３とを接着している。第１接着部材４は、導電性を有している。第１接着部材４の材料の例としては、Ａｇ粒子を含有するエポキシ樹脂が挙げられる。

金属基板３は、本体部３１と、可動部３２と、第１延在部３３と、第２延在部３４と、第１連結部３５と、第２連結部３６と、第１接続部３７と、第２接続部３８と、第３接続部３９と、を有している。可動部３２、第１延在部３３、第２延在部３４、第１連結部３５、第２連結部３６、第１接続部３７、第２接続部３８及び第３接続部３９は、一体的に形成されている。

本体部３１は、駆動用圧電素子６が固定されている（配置されている）部分である。本体部３１は、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板２の開口２ｂ内に位置している。可動部３２は、光学機能部５が配置されている部分である。可動部３２は、本体部３１に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。

第１延在部３３及び第２延在部３４は、可動部３２が間に位置するように本体部３１から延在している。本実施形態では、可動部３２は、第１延在部３３及び第２延在部３４の中間に位置している。第１延在部３３及び第２延在部３４は、例えば、Ｙ軸方向に沿って、互いに平行に延在している。本実施形態では、第１延在部３３は、第２延在部３４と同一の形状を有している。なお、第１延在部３３及び第２延在部３４は、可動部３２の少なくとも一部分が間に位置するように（すなわち、Ｘ軸方向において可動部３２が第１延在部３３と第２延在部３４との間に位置するように）本体部３１から延在していればよい。

第１連結部３５は、第１延在部３３と可動部３２との間でＸ軸方向に沿って延在している。第１連結部３５の一端部は、第１延在部３３と接続されており、第１連結部３５の他端部は、可動部３２と接続されている。すなわち、第１連結部３５は、第１延在部３３と可動部３２とを連結している。

第２連結部３６は、第２延在部３４と可動部３２との間でＸ軸方向に沿って延在している。第２連結部３６の一端部は、第２延在部３４と接続されており、第２連結部３６の他端部は、可動部３２と接続されている。すなわち、第２連結部３６は、第２延在部３４と可動部３２とを連結している。

本実施形態では、第１連結部３５及び第２連結部３６は、Ｘ軸方向に沿った単一の直線上に位置している。上述した第１延在部３３及び第２延在部３４と可動部３２との位置関係から、Ｘ軸方向における第１連結部３５の長さは、Ｘ軸方向における第２連結部３６の長さと同一となる。本実施形態では、第１連結部３５は、第２連結部３６の形状と同一の形状を有している。

可動部３２、第１延在部３３、第２延在部３４、第１連結部３５及び第２連結部３６は、Ｚ軸方向から見た場合に、配線基板２の開口２ｂ内に位置している。第１連結部３５及び第２連結部３６は、第１延在部３３及び第２延在部３４の変形（変位）に応じてねじれるように弾性変形するトーションバーとして機能する。可動部３２は、第１連結部３５及び第２連結部３６の弾性変形に応じて、Ｘ軸方向に沿った軸の周りに揺動される。すなわち、可動部３２は、第１連結部３５及び第２連結部３６を介して、第１延在部３３及び第２延在部３４に、揺動可能に支持されている。

光学機能部５は、可動部３２における開口２ｂとは反対側の面に配置されている。光学機能部５は、例えば、円板状を呈している。光学機能部５は、光学面５１が可動部３２とは反対側に向くように、可動部３２に取り付けられている。光学面５１は、Ｘ軸方向において、第１延在部３３と第２延在部３４との中間に位置している。本実施形態では、金属基板３及び光学面５１のそれぞれは、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の形状を有している。一例として、光学機能部５は、シリコン等の半導体材料又はガラスからなり、光学面５１は、光学機能部５において可動部３２とは反対側の面に形成された反射膜によって構成されている。すなわち、光学面５１は、ミラー面（反射面）である。なお、光学機能部５の反射膜は省略可能である。その場合、上記反対側の面自体を光学面５１としてもよい。

第１接続部３７は、第１延在部３３に接続されている。第１接続部３７は、第１延在部３３に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。第１接続部３７において、Ｙ軸方向における他方の側の部分は、配線基板２の一部分と対向している。第１接続部３７の当該他方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。なお、配線基板２の当該一部分には、電極パッド２３と同電位となるように電極パッド２３と電気的に接続された電極パッド（図示せず）が配置されていてもよい。

第２接続部３８は、第２延在部３４に接続されている。第２接続部３８は、第２延在部３４に対してＹ軸方向における他方の側に位置している。第２接続部３８において、Ｙ軸方向における他方の側の部分は、配線基板２の一部分と対向している。第２接続部３８の当該他方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。なお、配線基板２の当該一部分には、電極パッド２３と同電位となるように電極パッド２３と電気的に接続された電極パッド（図示せず）が配置されていてもよい。本実施形態では、第１接続部３７と第２接続部３８とは、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の関係にある。

第３接続部３９は、本体部３１に接続されている。第３接続部３９は、本体部３１に対してＹ軸方向における一方の側に位置している。第３接続部３９において、Ｙ軸方向における一方の側の部分は、配線基板２の一部分（電極パッド２３が配置されている部分）と対向している。第３接続部３９の当該一方の側の部分と配線基板２の当該一部分との間には、第１接着部材４が配置されている。

駆動用圧電素子６は、金属基板３に板波を発生させてアクチュエータ装置１を駆動させるための素子である。駆動用圧電素子６は、本体部３１における開口２ｂとは反対側の載置面３１ａに配置されている。Ｘ軸方向における駆動用圧電素子６の中心は、Ｘ軸方向における可動部３２の中心（すなわち、Ｘ軸方向における光学面５１の中心）と一致している。駆動用圧電素子６は、駆動用圧電体６１と、第１電極６２と、第２電極（図示せず）と、を含んでいる。

駆動用圧電体６１は、第１主面６１ａ及び第２主面（図示せず）を含んでいる。第１主面６１ａは、駆動用圧電体６１における載置面３１ａとは反対側の主面である。第１主面６１ａには、第１電極６２が配置されている。第２主面は、駆動用圧電体６１における載置面３１ａ側の主面である。第２主面には、第２電極が配置されている。第１電極６２及び第２電極のそれぞれは、例えば、Ｎｉ／Ａｕ層である。Ｎｉ／Ａｕ層においては、Ｎｉ層が第１主面６１ａに配置され、Ａｕ層がＮｉ層上に配置されており、Ｎｉ層の厚さがＡｕ層の厚さと比較して大きい。駆動用圧電体６１、第１電極６２及び第２電極のそれぞれは、例えば、矩形板状を呈している。駆動用圧電体６１は、第１電極６２と接合されることにより、第１電極６２と電気的に接続されている。駆動用圧電体６１は、第２電極と接合されることにより、第２電極と電気的に接続されている。第２電極と本体部３１との間には、第２接着部材８が配置されている。第２接着部材８は、駆動用圧電体６１と金属基板３とを接着している。第２接着部材８は、導電性を有している。第２接着部材８の材料の例としては、Ａｇ粒子を含有するエポキシ樹脂が挙げられる。

検知用圧電素子７は、可動部３２の動作量を検知するための素子である。本実施形態では、検知用圧電素子７は、可動部３２の揺動角度及び位相を検知する。検知用圧電素子７は、表面６２ａに配置されている。表面６２ａは、第１電極６２における駆動用圧電体６１とは反対側の主面である。Ｘ軸方向における検知用圧電素子７の中心は、Ｘ軸方向における駆動用圧電素子６の中心と一致している。検知用圧電素子７は、検知用圧電体７１と、第３電極７２と、第４電極（図示せず）と、を含んでいる。検知用圧電体７１は、第３主面７１ａ及び第４主面（図示せず）を含んでいる。第３主面７１ａは、検知用圧電体７１における第１電極６２とは反対側の主面である。第３主面７１ａには、第３電極７２が配置されている。第４主面は、検知用圧電体７１における第１電極６２側の主面である。第４主面には、第４電極が配置されている。第３電極７２及び第４電極のそれぞれは、例えば、Ｎｉ／Ａｕ層である。検知用圧電体７１、第３電極７２及び第４電極のそれぞれは、例えば、矩形板状を呈している。検知用圧電体７１は、第３電極７２と接合されることにより、第３電極７２と電気的に接続されている。駆動用圧電体６１は、第４電極と接合されることにより、第４電極と電気的に接続されている。第４電極と第１電極６２との間には、第２接着部材８が配置されている。第２接着部材８は、検知用圧電体７１と駆動用圧電体６１とを接着している。

ここで、配線基板２、金属基板３、駆動用圧電素子６及び検知用圧電素子７の電気的な接続関係について説明する。図２に示されるように、駆動用圧電素子６の第１電極６２は、ワイヤ１１を介して、電極パッド２１と電気的に接続されている。電極パッド２１は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、駆動用圧電素子６の第１電極６２は、ワイヤ１１、電極パッド２１、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

駆動用圧電素子６の第２電極は、第２電極と本体部３１との間に配置された第２接着部材８を介して、金属基板３と電気的に接続されている。金属基板３の第３接続部３９は、第３接続部３９と電極パッド２３との間に配置された第１接着部材４を介して、電極パッド２３と電気的に接続されている。電極パッド２３は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、駆動用圧電素子６の第２電極は、第２接着部材８、金属基板３、第１接着部材４、電極パッド２３、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

検知用圧電体７１の第３電極７２は、ワイヤ１２を介して、電極パッド２２と電気的に接続されている。電極パッド２２は、配線基板２の配線を介して、コネクタ２４の端子２５と電気的に接続されている。つまり、検知用圧電体７１の第３電極７２は、ワイヤ１２、電極パッド２２、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

検知用圧電素子７の第４電極は、第４電極と駆動用圧電素子６の第１電極６２との間に配置された第２接着部材８を介して、駆動用圧電素子６の第１電極６２と電気的に接続されている。つまり、検知用圧電素子７の第４電極は、第２接着部材８、駆動用圧電素子６の第１電極６２、ワイヤ１１、電極パッド２１、及び配線基板２の配線を介して、コネクタ２４と電気的に接続されている。

以上のような電気的な接続関係により、アクチュエータ装置１は、例えば以下のように駆動される。具体的には、駆動用圧電素子６の第１電極６２及び検知用圧電素子７の第４電極が、ワイヤ１１、電極パッド２１、配線基板２の配線、及びコネクタ２４を介して、基準電位（例えば、接地電位）に接続された状態で、アクチュエータ装置１の外部から、コネクタ２４、配線基板２の配線、電極パッド２３、第１接着部材４、金属基板３、及び第２接着部材８を介して、駆動用圧電素子６の第２電極に駆動用の電圧信号が入力される。これにより、駆動用圧電素子６が変形及び／又は振動し、本体部３１に周期的な板波が発生させられる。この周期的な板波の発生によって、第１連結部３５及び第２連結部３６にねじれ振動（ねじれ共振）が誘起され、可動部３２及び光学面５１が揺動する。すなわち、アクチュエータ装置１では、第１連結部３５、第２連結部３６、可動部３２及び光学面５１のねじれ共振系と駆動用圧電素子６とが離れた位置に配置されながら、ラム波共鳴構造が採られることで、高い駆動効率でねじれ共振が発生させられる。その一方で、可動部３２及び光学面５１の揺動による角度の変化に応じた電圧信号が、検知用圧電体７１の第３電極７２から、ワイヤ１２、電極パッド２２、配線基板２の配線、及びコネクタ２４を介して、アクチュエータ装置１の外部に出力され、光学面５１の揺動角度及び位相が検知される。なお、アクチュエータ装置１は、圧電ユニット１０を備えている。圧電ユニット１０は、上述した金属基板３、駆動用圧電素子６、検知用圧電素子７及び第２接着部材８によって構成されている。
［配線基板、金属基板及び第１接着部材の構成］

図３に示されるように、第１接続部３７は、第１領域Ｒ１と、第２領域Ｒ２と、第３領域Ｒ３と、を含んでいる。第１領域Ｒ１は、Ｚ軸方向において部分２６と対向している領域である。部分２６は、配線基板２の一部分である。第２領域Ｒ２は、第１領域Ｒ１から連続している領域である。第３領域Ｒ３は、第２領域Ｒ２から連続し、第１延在部３３に接続されている領域である。「第１延在部３３に接続されている領域」は、第３領域Ｒ３が第１延在部３３に直接的に（すなわち、別の部分を介さずに）接続されている領域、及び第３領域Ｒ３が第１延在部３３に間接的に（すなわち、別の部分を介して）接続されている領域のいずれも含む。つまり、第３領域Ｒ３は、第１接続部３７において第１延在部３３と第２領域Ｒ２との間の部分の全体とは限られず、第２領域Ｒ２に連続的に接続されている領域である。本実施形態では、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３は、Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない。

以下の説明では、Ｚ軸方向から見た場合において、第３領域Ｒ３が第２領域Ｒ２に接続されている方向を接続方向Ａとし、接続方向Ａに垂直な方向を方向Ｂとする。本実施形態では、接続方向Ａは、Ｚ軸方向から見た場合において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと交差している。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２からなる領域は、多角形状を呈しており、第２領域Ｒ２は、多角形状の一つの角部Ｋを構成している。一例として、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２からなる領域は、略矩形状を呈しており、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２との境界線は、角部Ｋの頂点とは反対側に凸となるように湾曲している。Ｚ軸方向から見た場合に、第２領域Ｒ２は、例えば、扇状を呈している。一例として、Ｚ軸方向から見た場合に、第３領域Ｒ３は、接続方向Ａを長手方向とする長方形状を呈しており、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における最も一方の側且つＹ軸方向における最も一方の側の部分に接続されている。

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２は、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２が、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界部分を除き、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２の最小値が、方向Ｂにおける第３領域Ｒ３の幅Ｗ３の最大値よりも大きいことを意味する。

なお、Ｚ軸方向において配線基板２の部分２６と対向する第１領域Ｒ１に対して、第２領域Ｒ２は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域、又はｉｉ）Ｚ軸方向における第１領域Ｒ１と配線基板２との距離よりも、Ｚ軸方向における配線基板２までの距離が大きい領域を含む。本実施形態では、第２領域Ｒ２は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域である。

また、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」、ｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の変化率が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」、又はｉｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」を含む。本実施形態では、第２領域Ｒ２と第３領域Ｒ３との境界は、ｉｉｉ）方向Ｂにおける第１接続部３７の幅が「方向Ｂに沿ったライン」を境界に方向Ｂにおける第１接続部３７の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｂに沿ったライン」である。なお、第３領域Ｒ３は、第１接続部３７のうち方向Ｂにおける第１接続部３７の最小の幅を有する部分を少なくとも含む領域であり、第１接着部材４の第２部分（詳細は後述）は、方向Ｂにおける第１接続部３７の最小の幅となるラインを少なくとも超えない。

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１は、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１が、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１領域Ｒ１の幅Ｗ１の最大値が、方向Ｂにおける第２領域Ｒ２の幅Ｗ２の最大値よりも大きいことを意味する。このように、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｂにおける第１接続部３７の幅は、第３領域Ｒ３から第１領域Ｒ１に向かうにつれて段階的に大きくなっている。

本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積よりも大きく、第２領域Ｒ２の面積は、第３領域Ｒ３の面積よりも大きい。更に、Ｚ軸方向から見た場合に、第１領域Ｒ１の面積は、第２領域Ｒ２の面積及び第３領域Ｒ３の面積の総和よりも大きい。第２領域Ｒ２の剛性は、第３領域Ｒ３の剛性よりも大きい。第１領域Ｒ１の剛性は、第２領域Ｒ２の剛性よりも大きい。

第１接着部材４（図２等参照）は、配線基板２の部分２６と第１接続部３７とを接着している。第１接着部材４は、第１部分（図示せず）と、第２部分（図示せず）と、を有している。第１部分は、第１接着部材４のうち、部分２６と第１領域Ｒ１との間に配置されている部分である。第２部分は、第１接着部材４のうち、第１部分から連続し、第２領域Ｒ２に至っており、第３領域Ｒ３に至っていない部分である。すなわち、第２部分は、第２領域Ｒ２に接触しており、第３領域Ｒ３には接触していない。一例として、第２部分は、第２領域Ｒ２及び部分２６の側面に接触しており、第２部分における前記第２領域Ｒ２とは反対側の表面は、空間に露出している。つまり、第１接着部材４は、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２のそれぞれに接触しており、第３領域Ｒ３には接触していない。このように、第１接続部３７においては、第１領域Ｒ１と第３領域Ｒ３との間に第２領域Ｒ２が設けられていることで、金属基板３において、第１領域Ｒ１からはみ出した第１接着部材４が第２領域Ｒ２に留まり、第１延在部３３に接続されている第３領域Ｒ３には、第１接着部材４が接触していない。

図４に示されるように、第２接続部３８も、第１接続部３７と同様に、第１領域Ｒ１と、第２領域Ｒ２と、第３領域Ｒ３と、を含んでいる。第２接続部３８の第１領域Ｒ１は、Ｚ軸方向において配線基板２の一部分である部分２７と対向している領域である。第２接続部３８の第２領域Ｒ２は、第１領域Ｒ１から連続している領域である。第２接続部３８の第３領域Ｒ３は、第２領域Ｒ２から連続し、第２延在部３４に接続されている領域である。第１接着部材４（図２等参照）は、配線基板２の部分２７と第２接続部３８とを接着している。配線基板２の部分２７と第２接続部３８とを接着している第１接着部材４も、部分２６と第１接続部３７とを接着している第１接着部材４と同様に、第１部分（図示せず）と、第２部分（図示せず）と、を有している。第２接続部３８及び第１接着部材４の構成は、第１接続部３７及び第１接着部材４の構成と同様である（Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の関係にある）。

図５に示されるように、第３接続部３９は、第４領域Ｒ４と、第５領域Ｒ５と、第６領域Ｒ６と、を含んでいる。第４領域Ｒ４は、Ｚ軸方向において部分２８と対向している領域である。部分２８は、配線基板２の部分２６とは別の一部分である。第５領域Ｒ５は、第４領域Ｒ４から連続している領域である。第６領域Ｒ６は、第５領域Ｒ５から連続し、本体部３１に接続されている領域である。「本体部３１に接続されている領域」は、第６領域Ｒ６が本体部３１に直接的に（すなわち、別の部分を介さずに）接続されている領域、及び第６領域Ｒ６が本体部３１に間接的に（すなわち、別の部分を介して）接続されている領域のいずれも含む。つまり、第６領域Ｒ６は、第３接続部３９において本体部３１と第５領域Ｒ５との間の部分の全体とは限らず、第５領域Ｒ５に連続的に接続されている領域である。

以下の説明では、Ｚ軸方向から見た場合において、第６領域Ｒ６が第５領域Ｒ５に接続されている方向（別の接続方向）を接続方向Ｃとし、接続方向Ｃに垂直な方向を方向Ｄとする。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４及び第５領域Ｒ５からなる領域は、多角形状を呈しており、第５領域Ｒ５は、多角形状の一つの辺部の一部を構成している。一例として、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４及び第５領域Ｒ５からなる領域は、矩形状を呈しており、第４領域Ｒ４と第５領域Ｒ５との境界線は、上記辺部とは反対側に凸となるように湾曲している。Ｚ軸方向から見た場合に、第５領域Ｒ５は、例えば、半楕円状を呈している。Ｚ軸方向から見た場合に、第６領域Ｒ６は、例えば、略矩形状を呈しており、第２領域Ｒ２においてＸ軸方向における中央且つＹ軸方向における最も他方の側の部分に接続されている。

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５は、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５が、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６との境界部分を除き、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５の最小値が、方向Ｄにおける第６領域Ｒ６の幅Ｗ６の最大値よりも大きいことを意味する。

なお、Ｚ軸方向において配線基板２の部分２８と対向する第４領域Ｒ４に対して、第５領域Ｒ５は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域、又はｉｉ）Ｚ軸方向における第４領域Ｒ４と配線基板２との距離よりも、Ｚ軸方向における配線基板２までの距離が大きい領域を含む。本実施形態では、第５領域Ｒ５は、ｉ）Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない領域である。

また、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６との境界は、ｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」、ｉｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅の変化率が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に不連続に変化する場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」、又はｉｉｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に方向Ｄにおける第３接続部３９の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」を含む。本実施形態では、第５領域Ｒ５と第６領域Ｒ６との境界は、ｉｉｉ）方向Ｄにおける第３接続部３９の幅が「方向Ｄに沿ったライン」を境界に方向Ｄにおける第３接続部３９の幅の最小値の１．１倍を超える場合における当該「方向Ｄに沿ったライン」である。なお、第６領域Ｒ６は、第３接続部３９のうち方向Ｄにおける第３接続部３９の最小の幅を有する部分を少なくとも含む領域であり、第１接着部材４の第４部分（詳細は後述）は、方向Ｄにおける第３接続部３９の最小の幅となるラインを少なくとも超えない。

Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第４領域Ｒ４において第５領域Ｒ５よりもＹ軸方向における一方の側に位置する部分の幅Ｗ４は、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５よりも大きい。「Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第４領域Ｒ４において方向Ｄにおける第５領域Ｒ５よりもＹ軸方向における一方の側に位置する部分の幅Ｗ４が、第５領域Ｒ５の幅Ｗ５よりも大きい」とは、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける幅Ｗ４の最大値が、方向Ｄにおける第５領域Ｒ５の幅Ｗ５の最大値よりも大きいことを意味する。このように、Ｚ軸方向から見た場合に、方向Ｄにおける第３接続部３９の幅は、第６領域Ｒ６から第４領域Ｒ４に向かうにつれて段階的に大きくなっている。

本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４の面積は、第５領域Ｒ５の面積よりも大きい。更に、Ｚ軸方向から見た場合に、第４領域Ｒ４の面積は、第５領域Ｒ５の面積及び第６領域Ｒ６の面積の総和よりも大きい。第５領域Ｒ５の剛性は、第６領域Ｒ６の剛性よりも大きい。第４領域Ｒ４の剛性は、第５領域Ｒ５の剛性よりも大きい。

本実施形態では、第５領域Ｒ５及び第６領域Ｒ６は、Ｚ軸方向において配線基板２と対向していない。第１接着部材４は、配線基板２の部分（別の一部分）２８と第３接続部３９とを接着している。第１接着部材４（図２等参照）は、第３部分（図示せず）と、第４部分（図示せず）と、を有している。第３部分は、第１接着部材４のうち、部分２８と第４領域Ｒ４との間に配置されている部分である。第４部分は、第１接着部材４のうち、第３部分から連続し、第５領域Ｒ５に至っており、第６領域Ｒ６に至っていない部分である。すなわち、第４部分は、第５領域Ｒ５に接触しており、第６領域Ｒ６に接触していない。一例として、第４部分は、第５領域Ｒ５及び部分２８の側面に接触しており、第４部分における第５領域Ｒ５とは反対側の表面は、空間に露出している。つまり、第１接着部材４は、第４領域Ｒ４及び第５領域Ｒ５のそれぞれに接触しており、第６領域Ｒ６には接触していない。このように、第３接続部３９においては、第４領域Ｒ４と第６領域Ｒ６との間に第５領域Ｒ５が設けられていることで、金属基板３において、第４領域Ｒ４からはみ出した第１接着部材４が第５領域Ｒ５に留まり、本体部３１に接続されている第６領域Ｒ６には、第１接着部材４が接触していない。
［各接続部の構成］

図３及び図６に示されるように、第１接続部３７は、第１固定領域３７１と、第１接続領域３７２と、を更に含んでいる。第１固定領域３７１は、配線基板２に固定されている。本実施形態では、第１固定領域３７１の少なくとも一部が配線基板２に固定されている。具体的には、第１固定領域３７１は、配線基板２の部分２６と対向し且つ第１接着部材４（図２等参照）により部分２６に固定された第１領域Ｒ１、及び、配線基板２と対向せずに第１接着部材４が至ることにより部分２６に固定された第２領域Ｒ２を含んでいる。なお、第１固定領域３７１は、配線基板２の一部分と対向せず且つ配線基板２に固定されていない部分を更に含んでいてもよい。

第１接続領域３７２は、第１延在部３３及び第１固定領域３７１に接続された領域である。第１接続領域３７２と第１固定領域３７１との境界全体は、第１接続領域３７２と第１延在部３３との接続箇所に対してＸ軸方向における可動部３２側に形成されている。第１接続領域３７２は、第３領域Ｒ３を含んでいる。図６に示されるように、第１接続領域３７２は、部分（第１部分）３７２ａと、部分（第３部分）３７２ｂと、第１曲部分３７２ｃと、を含んでいる。部分３７２ａは、第１延在部３３から直線状に延在する部分である。部分３７２ａは、第１接続領域３７２のうちＹ軸方向における最も一方の側に位置している。本実施形態では、部分３７２ａは、Ｙ軸方向に沿って延在している。

部分３７２ｂは、部分３７２ａと交差する位置関係を有し、第１固定領域３７１から直線状に延在する部分である。部分３７２ｂが部分３７２ａと交差する位置関係とは、例えば、部分３７２ａと部分３７２ｂとが、部分３７２ｂの中心線Ｌ２に沿った方向が部分３７２ａの中心線Ｌ１に沿った方向と交差するように位置する関係にあることである。すなわち、部分３７２ａの中心線Ｌ１は、部分３７２ｂの中心線Ｌ２に平行ではない。部分３７２ｂは、第１接続領域３７２のうちＹ軸方向における最も他方の側に位置している。本実施形態では、部分３７２ｂは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと交差する方向に沿って延在している。

第１曲部分３７２ｃは、第１接続領域３７２において可動部３２側に曲がっている。本実施形態では、第１曲部分３７２ｃは、部分３７２ａ及び部分３７２ｂに接続された部分である。すなわち、第１曲部分３７２ｃは、部分３７２ａと部分３７２ｂとの間に位置している。第１曲部分３７２ｃは、可動部３２側の第１外縁Ｐ１及び可動部３２とは反対側の第２外縁Ｐ２を有している。第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２のそれぞれは、Ｚ軸方向から見た場合に可動部３２側に曲がっている。つまり、第１接続領域３７２は、第１曲部分３７２ｃにおいて屈曲している。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２のそれぞれは、可動部３２とは反対側に凸となるように湾曲している。

Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に対して部分３７２ｂが成す角度θ１は、０度よりも大きく且つ９０度以下である。Ｙ軸方向に対して部分３７２ｂが成す角度θ１は、例えば、Ｙ軸方向に対して部分３７２ｂの中心線Ｌ２が成す角度である。すなわち、角度θ１は、Ｙ軸方向を基準とした場合における可動部３２側への部分３７２ｂの傾きを示す角度である。一例として、角度θ１は、約４５度である。

図４及び図７に示されるように、第２接続部３８は、第２固定領域３８１と、第２接続領域３８２と、を更に含んでいる。第２固定領域３８１は、第１固定領域３７１と同様に、配線基板２に固定されている。本実施形態では、第２固定領域３８１の少なくとも一部が配線基板２に固定されている。具体的には、第２固定領域３８１は、第１固定領域３７１と同様に、配線基板２の部分２７と対向し且つ第１接着部材４（図２等参照）により部分２７に固定された第１領域Ｒ１、及び、配線基板２と対向せずに第１接着部材４が至ることにより部分２７に固定された第２領域Ｒ２を含んでいる。なお、第２固定領域３８１は、配線基板２の一部分と対向せず且つ配線基板２に固定されていない部分を更に含んでいてもよい。

第２接続領域３８２は、第１接続領域３７２と同様に、第２延在部３４及び第２固定領域３８１に接続された領域である。第２接続領域３８２と第２固定領域３８１との境界全体は、第２接続領域３８２と第２延在部３４との接続箇所に対してＸ軸方向における可動部３２側に形成されている。第２接続領域３８２は、第１接続領域３７２と同様に、第３領域Ｒ３を含んでいる。図７に示されるように、第２接続領域３８２は、部分（第２部分）３８２ａと、部分（第４部分）３８２ｂと、第２曲部分３８２ｃと、を含んでいる。部分３８２ａは、第２延在部３４から直線状に延在する部分である。部分３８２ａは、第２接続領域３８２のうちＹ軸方向における最も一方の側に位置している。本実施形態では、部分３８２ａは、Ｙ軸方向に沿って延在している。

部分３８２ｂは、部分３８２ａと交差する位置関係を有し、第２固定領域３８１から直線状に延在する部分である。すなわち、部分３８２ａの中心線Ｌ３は、部分３８２ｂの中心線Ｌ４に平行ではない。部分３８２ｂは、第２接続領域３８２のうちＹ軸方向における最も他方の側に位置している。本実施形態では、部分３８２ｂは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと交差する方向に沿って延在している。

第２曲部分３８２ｃは、第２接続領域３８２において可動部３２側に曲がっている。本実施形態では、第２曲部分３８２ｃは、部分３８２ａ及び部分３８２ｂに接続された部分である。第２曲部分３８２ｃは、可動部３２側の第３外縁Ｐ３及び可動部３２とは反対側の第４外縁Ｐ４を有している。第３外縁Ｐ３及び第４外縁Ｐ４のそれぞれは、Ｚ軸方向から見た場合に可動部３２側に曲がっている。つまり、第２接続領域３８２は、第２曲部分３８２ｃにおいて屈曲している。本実施形態では、Ｚ軸方向から見た場合に、第３外縁Ｐ３及び第４外縁Ｐ４のそれぞれは、可動部３２とは反対側に凸となるように湾曲している。

Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に対して部分３８２ｂが成す角度θ２は、０度よりも大きく且つ９０度以下であって、例えば約４５度である。以上のように、第２固定領域３８１及び第２接続領域３８２の構成は、第１固定領域３７１及び第１接続領域３７２の構成と同様である（Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称の関係にある）。

図２に示されるように、第１固定領域３７１及び第２固定領域３８１は、領域Ｒｈを挟んで、互いに離間している。領域Ｒｈは、Ｙ軸方向において可動部３２に対して本体部３１とは反対側に位置している。本実施形態では、領域Ｒｈは、空間である。すなわち、本実施形態では、第１固定領域３７１及び第２固定領域３８１は、空間を介して互いに離間している。なお、領域Ｒｈは、空間以外の物体を含んでいてもよい。

図５に示されるように、第３接続部３９は、第３固定領域３９１と、第３接続領域３９２と、を更に含んでいる。第３固定領域３９１は、配線基板２に固定された領域である。本実施形態では、第３固定領域３９１の少なくとも一部が配線基板２に固定されている。具体的には、第３固定領域３９１は、配線基板２の部分２８と対向し且つ第１接着部材４（図２等参照）により部分２８に固定された第４領域Ｒ４、及び、配線基板２と対向せずに第１接着部材４が至ることにより部分２８に固定された第５領域Ｒ５を含んでいる。第３接続領域３９２は、本体部３１及び第３固定領域３９１に接続された領域である。第３接続領域３９２は、第６領域Ｒ６を含んでいる。なお、第３固定領域３９１は、配線基板２の一部分と対向せず且つ配線基板２に固定されていない部分を更に含んでいてもよい。一例として、第３接続領域３９２は、本体部３１からＹ軸方向に沿って直線状に延在している。
［作用及び効果］

アクチュエータ装置１では、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりしたとしても、第１接続領域３７２において第１曲部分３７２ｃが変形し、第２接続領域３８２において第２曲部分３８２ｃが変形することで、配線基板２に固体された第１固定領域３７１及び第２固定領域３８１を介して第１連結部３５、第２連結部３６及び本体部３１に不要な応力が作用しにくくなると共に、配線基板２に固体された第３固定領域３９１を介して本体部３１に不要な応力が作用しにくくなり、金属基板３の共振周波数の変化が抑制される。よって、このアクチュエータ装置１によれば、例えば環境温度が変化したとしても、所望の駆動特性を安定して得ることができる。

アクチュエータ装置１の効果について更に述べる。アクチュエータ装置１では、例えば環境温度の変化に起因して、配線基板２が膨張したり収縮したりする場合には、第１固定領域３７１は、Ｙ軸方向に対して可動部３２とは反対側へと傾いた方向に沿って移動し、第２固定領域３８１は、Ｙ軸方向に対して可動部３２とは反対側へと傾いた方向に沿って移動する。一例として、配線基板２が膨張する場合には、第１固定領域３７１は上記方向に沿って外側に移動し、第２固定領域３８１は上記方向に沿って外側に移動する。このようなアクチュエータ装置１では、仮に、各接続領域３７２，３８２が、各曲部分３７２ｃ，３８２ｃを含まずに各延在部３３,３４から各固定領域３７１，３８１までＹ軸方向に沿って直線状に延在していると、以下の問題が生じ得る。すなわち、上記構成においては、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合、各接続領域３７２，３８２が変形する部分を含まないため、各固定領域３７１，３８１を介して第１連結部３５、第２連結部３６及び本体部３１に不要な応力が作用し、その結果、金属基板３の共振周波数が変化してしまう。

また、仮に、Ｚ軸方向から見た場合に、第１接続領域３７２において、第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２のそれぞれが可動部３２とは反対側に曲がっており、部分３７２ｂがＹ軸方向に対して可動部３２とは反対側に傾いており、第２接続領域３８２において、第３外縁Ｐ３及び第４外縁Ｐ４のそれぞれが可動部３２とは反対側に曲がっており、部分３７２ｂがＹ軸方向に対して可動部３２とは反対側に傾いていると、以下の問題が生じ得る。すなわち、上記構成においては、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合、部分３７２ｂが延在する方向と、第１固定領域３７１が移動する方向とが平行に近くなり、部分３８２ｂが延在する方向と、第２固定領域３８１が移動する方向とが平行に近くなるため、各曲部分３７２ｃ，３８２ｃが変形しにくくなる。その結果、各固定領域３７１，３８１，３９１を介して第１連結部３５、第２連結部３６及び本体部３１に不要な応力が作用し、金属基板３の共振周波数が変化してしまう。

また、可動部３２において所望の揺動角度を得るための駆動電圧は、金属基板３全体の共振モード（以下、「板ばね共振モードという」）における共振周波数と、可動部３２の共振モードにおける共振周波数との比に影響を受ける。そのため、例えば、上記各構成において、環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合、各固定領域３７１，３８１を介して第１連結部３５、第２連結部３６及び本体部３１に不要な応力が作用し、板ばね共振モードにおける共振周波数が変化すると、板ばね共振モードの共振周波数と可動部共振モードの共振周波数との比に変化が生じ、所望の駆動特性が得られないおそれがある。

これに対し、アクチュエータ装置１では、第１接続領域３７２が第１曲部分３７２ｃを含んでおり、第２接続領域３８２が第２曲部分３８２ｃを含んでいるため、配線基板２の変形により各固定領域３７１，３８１が移動した場合に、各曲部分３７２ｃ，３８２ｃに応力を集中的に発生させることができる。これは、各固定領域３７１，３８１を介して金属基板３に作用する引張応力又は圧縮応力を、各曲部分３７２ｃ，３８２ｃに作用する曲げ応力に変換することができるためである。つまり、配線基板２の変形によって金属基板３に作用する応力を、金属基板３において共振周波数の変化に影響を及ぼしにくい第１接続領域３７２及び第２接続領域３８２で吸収させて、金属基板３において共振周波数の変化に影響を及ぼしやすい第１連結部３５、第２連結部３６及び本体部３１に応力が作用することを抑制することができる。

なお、仮に、各接続領域３７２，３８２が、各曲部分３７２ｃ，３８２ｃを含まず、第１延在部３３と第１連結部３５との接続部分よりも本体部３１側（Ｙ軸方向における一方の側）に、第１延在部３３よりも可動部３２側に曲がった第１曲部分が設けられ、第２延在部３４と第２連結部３６との接続部分よりも本体部３１側（Ｙ軸方向における一方の側）に、第２延在部３４よりも可動部３２側に曲がった第２曲部分が設けられている例においては、以下の問題が生じ得る。すなわち、上記構成においては、第１延在部３３と第１連結部３５との接続部分が第１曲部分よりも第１固定領域３７１側に位置し、第２延在部３４と第２連結部３６との接続部分が第２曲部分よりも第２固定領域３８１側に位置することとなる。そのため、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合、第１延在部３３と第１連結部３５との接続部分、及び第２延在部３４と第２連結部３６との接続部分に不要な応力が作用しやすくなり、その結果、金属基板３の共振周波数が大幅に変化してしまう。

これに対し、アクチュエータ装置１では、第１延在部３３と第１連結部３５との接続部分よりも本体部３１とは反対側（Ｙ軸方向における他方の側）に位置する第１接続領域３７２に第１曲部分３７２ｃが設けられており、第２延在部３４と第２連結部３６との接続部分よりも本体部３１とは反対側（Ｙ軸方向における他方の側）に位置する第２接続領域３８２に第２曲部分３８２ｃが設けられている。これにより、板ばね共振モード及び可動部共振モードの両方において共振周波数の大幅な変動を抑制し、所望の駆動特性を安定して得ることができる。

また、仮に、Ｚ軸方向から見た場合に、第１接続領域３７２において、可動部３２とは反対側の外縁がＹ軸方向に沿って延在しており、可動部３２側の外縁のみが可動部３２側に曲がっており、第２接続領域３８２において、可動部３２とは反対側の外縁がＹ軸方向に沿って延在しており、可動部３２側の外縁のみが可動部３２側に曲がっている例においては、以下の問題が生じ得る。すなわち、当該例においては、各接続領域３７２，３８２が曲部分を含まず、Ｘ軸方向における第１接続領域３７２の幅が第１延在部３３側から第１固定領域３７１に近づくにつれて大きくなり、Ｘ軸方向における第２接続領域３８２の幅が第２延在部３４側から第２固定領域３８１に近づくにつれて大きくなる。そのため、配線基板２が膨張したり収縮したりした場合、金属基板３に作用する引張応力又は圧縮応力が曲げ応力に変換され難くなってしまう。これに対し、アクチュエータ装置１では、第１接続領域３７２において第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２の両方が可動部３２側に曲がっている第１曲部分３７２ｃが形成されており、第２接続領域３８２において第３外縁Ｐ３及び第４外縁Ｐ４の両方が可動部３２側に曲がっている第２曲部分３８２ｃが形成されているため、配線基板２が膨張したり収縮したりした場合、金属基板３に作用する引張応力又は圧縮応力を、各曲部分３７２ｃ，３８２ｃに作用する曲げ応力に効果的に変換することができる。

アクチュエータ装置１では、第１延在部３３から直線状に延在する部分３７２ａが第１曲部分３７２ｃに接続されており、第２延在部３４から直線状に延在する部分３７２ｂが第２曲部分３８２ｃに接続されている。これにより、第１延在部３３と第１連結部３５との接続部分に曲部分３７２ｃの変形の影響が及ぶのを抑制することができる。同様に、第２延在部３４と第２連結部３６との接続部分に曲部分３８２ｃの変形の影響が及ぶのを抑制することができる。

アクチュエータ装置１では、部分３７２ａと交差する位置関係を有し、第１固定領域３７１から直線状に延在する部分３７２ｂが、第１曲部分３７２ｃと接続されており、部分３７２ｂと交差する位置関係を有し、第２固定領域３８１から直線状に延在する部分３８２ｂが、第２曲部分３８２ｃと接続されている。これにより、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合に、第１接続領域３７２及び第２接続領域３８２において第１曲部分３７２ｃ及び第２曲部分３８２ｃを局所的に変形させることができる。したがって、第１延在部３３と第１連結部３５との接続部分に曲部分３７２ｃの変形の影響が及ぶのをより一層抑制することができる。同様に、第２延在部３４と第２連結部３６との接続部分に曲部分３８２ｃの変形の影響が及ぶのをより一層抑制することができる。また、各部分３７２ｂ，３８２ｂが直線状に延在する形状を呈しているため、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張した場合、及び配線基板２が収縮した場合のいずれにおいても、第１曲部分３７２ｃ及び第２曲部分３８２ｃを適切に変形させることができる。

アクチュエータ装置１では、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に対して部分３７２ｂが成す角度は、０度よりも大きく且つ９０度以下であり、Ｙ軸方向に対して部分３８２ｂが成す角度は、０度よりも大きく且つ９０度以下である。これにより、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合に、第１接続領域３７２及び第２接続領域３８２において第１曲部分３７２ｃ及び第２曲部分３８２ｃを確実に変形させることができる。具体的には、第１固定領域３７１が移動する上述した方向に対して部分３７２ｂが延在する方向が交差し、第２固定領域３８１が移動する上述した方向に対して部分３８２ｂが延在する方向が交差するため、配線基板２の変形量に応じた各曲部分３７２ｃ，３８２ｃの変形が可能となる。

アクチュエータ装置１では、Ｚ軸方向から見た場合に、第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２のそれぞれは、可動部３２とは反対側に凸となるように湾曲しており、第３外縁Ｐ３及び第４外縁Ｐ４のそれぞれは、可動部３２とは反対側に凸となるように湾曲している。これにより、例えば環境温度の変化に起因して配線基板２が膨張したり収縮したりした場合に、第１曲部分３７２ｃ及び第２曲部分３８２ｃにおいて応力の集中が緩和されるため、第１曲部分３７２ｃ及び第２曲部分３８２ｃの破損を防ぐことができる。

アクチュエータ装置１では、第１固定領域３７１及び第２固定領域３８１が、本体部３１及び可動部３２が並ぶ方向において可動部３２に対して本体部３１とは反対側に位置する領域Ｒｈを挟んで、互いに離間している。これにより、例えば、可動部３２に光が照射される場合に、第１固定領域３７１又は第２固定領域３８１によって当該光が反射されることで迷光が発生するリスクを低減することができる。また、第１固定領域３７１と第２固定領域３８１とが離間していることにより配線基板２の膨張及び収縮の影響を受けやすい金属基板３においても、第１接続領域３７２において第１曲部分３７２ｃが変形し、第２接続領域３８２において第２曲部分３８２ｃが変形する結果、金属基板３の共振周波数の変化を抑制することができる。
［変形例］

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、各固定領域３７１、第２固定領域３８１及び第３固定領域３９１のそれぞれは、配線基板２に固定された領域であればよい。各固定領域３７１，３８１，３９１は、例えば、配線基板２の一部分に対向し且つ配線基板２に固定された領域のみを含んでいてもよい。

第１接続領域３７２及び第２接続領域３８２の形状は、上記実施形態のものに限定されない。例えば、Ｚ軸方向から見た場合に、第１接続領域３７２の第１曲部分３７２ｃにおける第１外縁Ｐ１及び第２外縁Ｐ２のそれぞれは、可動部３２とは反対側に凸となるようにＶ字状に屈曲していてもよい。第２接続領域３８２の第２曲部分３８２ｃにおける第３外縁Ｐ３及び第４外縁Ｐ４のそれぞれも、可動部３２とは反対側に凸となるようにＶ字状に屈曲していてもよい。また、Ｙ軸方向に対して部分３７２ｂが成す角度θ１、及びＹ軸方向に対して部分３８２ｂが成す角度θ２のそれぞれは、例えば、９０度よりも大きくてもよい。また、例えば、第１接続領域３７２は、部分３７２ｂを含んでおらず、部分３７２ａと接続された第１曲部分３７２ｃが第１固定領域３７１と直接的に接続されていてもよい。第２接続領域３８２も、部分３８２ｂを含んでおらず、部分３８２ａと接続された第２曲部分３８２ｃが第２固定領域３８１と直接的に接続されていてもよい。

また、図８に示される例では、部分３７２ａがＹ軸方向に沿って延在しており、部分３７２ｂがＸ軸方向に沿って延在している。Ｙ軸方向に対して部分３７２ｂが成す角度θ１は、約９０度である。第２接続領域３８２の部分３８２ｂも、図８に示される部分３７２ｂと同様の構成であってもよい。また、例えば、第１接続領域３７２の部分３７２ａは、第１延在部３３に対して可動部３２側に傾斜していてもよく、第２接続領域３８２の部分３８２ａは、第２延在部３４に対して可動部３２側に傾斜していてもよい。また、例えば、第１延在部３３は、Ｙ軸方向に対して可動部３２側に傾斜しており、部分３７２ａは、第１延在部３３に対して可動部３２側に更に傾斜していてもよく、第２延在部３４は、Ｙ軸方向に対して可動部３２側に傾斜しており、部分３７２ｂは、第２延在部３４に対して可動部３２側に更に傾斜していてもよい。

また、第１接続領域３７２は、例えば、部分３７２ａ及び部分３７２ｂの一方を含んでいなくてもよく、また、例えば、部分３７２ａ及び部分３７２ｂの両方を含んでいなくてもよい。また、第２接続領域３８２は、例えば、部分３８２ａ及び部分３８２ｂの一方を含んでいなくてもよく、また、例えば、部分３８２ａ及び部分３８２ｂの両方を含んでいなくてもよい。一例として、図９に示される例では、第１接続領域３７２が、第１延在部３３及び第１固定領域３７１のそれぞれから連続する第１曲部分３７２ｃを含んでいる点で、上記実施形態と相違する。第１接続領域３７２は、部分３７２ａ及び部分３７２ｂを含んでいない。第１曲部分３７２ｃは、第１延在部３３及び第１固定領域３７１の間で、可動部３２とは反対側に凸となるように湾曲している。なお、第２接続領域３８２も、図９に示される第１接続領域３７２と同様の構成であってもよい。

上記実施形態では、本体部に接続された第３接続部を１つの第３接続部３９が構成していたが、第３接続部は、複数の第３接続部３９によって構成されいてもよい。一例として、第３接続部は、２つの第３接続部３９によって構成されており、当該２つの第３接続部３９は、本体部３１に対してＹ軸方向における一方の側に位置し、且つ、Ｙ軸方向に沿って光学面５１の中心を通る直線に対して線対称に配置されていてもよい。

金属基板３の形状は、上記実施形態に限定されない。例えば、第１固定領域３７１と第２固定領域３８１とは、互いに連結されていてもよい。その場合であっても、配線基板２の厚さが金属基板３の厚さに対して圧倒的に大きく、配線基板２と金属基板３との熱膨張係数の差が大きいため、金属基板３に引張応力又は圧縮応力が掛かるが、上述したように、接続領域３７２に第１曲部分３７２ｃが設けられ、接続領域３８２に第２曲部分３８２ｃが設けられていることで、所望の駆動特性を安定的に得ることができる。

また、例えば、金属基板３の第３固定領域３９１と第１固定領域３７１とは互いに連結されていてもよく、第３固定領域３９１と第２固定領域３８１とは互いに連結されていてもよい。図１０に示される例では、金属基板３は、第１中間部３０ａと、第２中間部３０ｂと、を更に有している。第１中間部３０ａは、第１固定領域３７１及び第３固定領域３９１に接続されている。第１中間部３０ａは、配線基板２の一部分と対向する部分を含んでいる。なお、図１０に示される例では、配線基板２等の図示が省略されている。一例として、第１中間部３０ａは、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部３１を囲むＣ字状を呈している。第２中間部３０ｂは、第２固定領域３８１及び第３固定領域３９１に接続されている。第２中間部３０ｂは、配線基板２の一部分と対向する部分を含んでいる。一例として、第２中間部３０ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部３１を囲むＣ字状を呈している。本変形例によれば、アクチュエータ装置１の製造時における金属基板３のハンドリング性を向上させることができる。なお、本変形例においては、例えば、第１中間部３０ａと対向する配線基板２の一部分と第１中間部３０ａとの間、及び第２中間部３０ｂと対向する配線基板２の一部分と第２中間部３０ｂとの間のそれぞれに第１接着部材４が配置され、各固定領域３７１，３８１，３９１、第１中間部３０ａ及び第２中間部３０ｂのすべてが配線基板２に固定されていてもよい。これにより、配線基板２と金属基板３との接着強度を増大させることができる。また、本変形例においては、例えば、各固定領域３７１，３８１，３９１のみが配線基板２に固定されていてもよい。

配線基板２は、上記実施形態の形状に限定されず、例えば、配線基板２は、開口に代えて、中央部分が載置面２ａに対して金属基板３とは反対側に凹んだ凹部を有していてもよい。その場合、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３のそれぞれは、配線基板２の凹部と対向していてもよい。また、例えば、配線基板２は、開口に代えて、複数の柱部を有していてもよい。その場合、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３のそれぞれは、配線基板２と対向していてもよい。また、上記実施形態では、金属基板３を支持する配線基板２が例示されていたが、金属基板３は、例えば、単数又は複数の部材から構成される支持体に支持されていてもよい。

上記実施形態では、第１連結部３５及び第２連結部３６にねじれ振動（ねじれ共振）が誘起され、Ｘ軸周りに可動部３２が揺動していたが、可動部３２の動作の態様については特に限定されない。一例として、アクチュエータ装置１では、上記の可動部３２及び光学面５１が揺動するード（以下、「第１共振モード」という）に加えて、或いは第１共振モードに代えて、周期的な板波の発生によって、第１連結部３５及び第２連結部３６がＺ軸方向に沿って移動する（並進運動する）ことにより、可動部３２がＺ軸方向に沿って移動するモード（以下、「第２共振モード」という）があってもよい。その場合、第１共振モード時では、検知用圧電素子７によって可動部３２の揺動角度及び位相が検知され、第２共振モード時では、検知用圧電素子７によって可動部３２の変位量及び位相が検知されてもよい。

上記実施形態では、光学機能部５が、ミラー面である光学面５１を有していたが、光学機能部５は、例えば、反射型回折格子、透過型回折格子、光学フィルタ等であってもよい。また、上記実施形態では、金属基板３の載置面３１ａ上に駆動用圧電素子６が配置され、駆動用圧電素子６上に検知用圧電素子７が配置されていたが、金属基板３の載置面３１ａ上に検知用圧電素子７が配置され、検知用圧電素子７上に駆動用圧電素子６が配置されていてもよい。また、上記実施形態では、アクチュエータ装置１が振動素子として駆動用圧電素子６を備えていたが、振動素子は、駆動信号により振動する振動源を有するものであればよく、圧電駆動式のものに限られない。例えば、振動素子は、金属基板３の本体部３１に磁石を、金属基板３とは別の箇所にコイルを有する（又は、金属基板３の本体部３１にコイルを、金属基板３とは別の箇所に磁石を有する）電磁駆動式のものであってもよい。アクチュエータ装置１は、配線基板２と、金属基板３と、駆動用圧電素子６と、を備えていればよい。アクチュエータ装置１には、例えば、コネクタ２４、ワイヤ１１及びワイヤ１２が取り付けられていなくてもよい。また、アクチュエータ装置１は、例えば、第１接着部材４及び第２接着部材８を備えていなくてもよく、また、例えば、検知用圧電素子７を備えていなくてもよい。

１…アクチュエータ装置、２…配線基板（支持体）、３…金属基板、６…駆動用圧電素子（振動素子）、３０ａ…第１中間部、３０ｂ…第２中間部、３１…本体部、３２…可動部、３３…第１延在部、３４…第２延在部、３５…第１連結部、３６…第２連結部、３７…第１接続部、３８…第２接続部、３９…第３接続部、３７１…第１固定領域、３７２…第１接続領域、３７２ａ…部分（第１部分）、３７２ｂ…部分（第３部分）、３７２ｃ…第１曲部分、３８１…第２固定領域、３８２…第２接続領域、３８２ａ…部分（第２部分）、３８２ｂ…部分（第４部分）、３８２ｃ…第２曲部分、３９１…第３固定領域、３９２…第３接続領域、Ｐ１…第１外縁、Ｐ２…第２外縁、Ｐ３…第３外縁、Ｐ４…第４外縁、Ｒｈ…領域、θ１，θ２…角度。

Claims (7)

1. 支持体と、
   前記支持体によって支持された金属基板と、
   前記金属基板が有する本体部に配置された振動素子と、を備え、
   前記金属基板は、
   可動部と、
   前記可動部が間に位置するように前記本体部から延在する第１延在部及び第２延在部と、
   前記第１延在部と前記可動部とを連結する第１連結部と、
   前記第２延在部と前記可動部とを連結する第２連結部と、
   前記第１延在部に接続された第１接続部と、
   前記第２延在部に接続された第２接続部と、
   前記本体部に接続された第３接続部と、を更に有し、
   前記第１接続部は、
   前記支持体に固定された第１固定領域と、
   前記第１延在部及び前記第１固定領域に接続された第１接続領域と、を含み、
   前記第２接続部は、
   前記支持体に固定された第２固定領域と、
   前記第２延在部及び前記第２固定領域に接続された第２接続領域と、を含み、
   前記第３接続部は、
   前記支持体に固定された第３固定領域と、
   前記本体部及び前記第３固定領域に接続された第３接続領域と、を含み、
   前記第１接続領域は、第１曲部分を含み、
   前記第２接続領域は、第２曲部分を含み、
   前記第１曲部分は、前記可動部側の第１外縁及び前記可動部とは反対側の第２外縁を有し、
   前記第２曲部分は、前記可動部側の第３外縁及び前記可動部とは反対側の第４外縁を有し、
   前記第１外縁及び前記第２外縁のそれぞれは、前記金属基板の厚さ方向から見た場合に前記可動部側に曲がっており、
   前記第３外縁及び前記第４外縁のそれぞれは、前記金属基板の厚さ方向から見た場合に前記可動部側に曲がっている、アクチュエータ装置。
2. 前記第１接続領域は、前記第１延在部から直線状に延在する第１部分を更に含み、
   前記第２接続領域は、前記第２延在部から直線状に延在する第２部分を更に含み、
   前記第１部分は、前記第１曲部分に接続されており、
   前記第２部分は、前記第２曲部分に接続されている、請求項１に記載のアクチュエータ装置。
3. 前記第１接続領域は、前記第１固定領域から直線状に延在する第３部分を更に含み、
   前記第２接続領域は、前記第２固定領域から直線状に延在する第４部分を更に含み、
   前記第３部分は、前記第１部分と交差する位置関係を有し、前記第１曲部分と接続されており、
   前記第４部分は、前記第２部分と交差する位置関係を有し、前記第２曲部分と接続されている、請求項２に記載のアクチュエータ装置。
4. 前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記本体部及び前記可動部が並ぶ方向に対して前記第３部分が成す角度は、０度よりも大きく且つ９０度以下であり、
   前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記本体部及び前記可動部が並ぶ前記方向に対して前記第４部分が成す角度は、０度よりも大きく且つ９０度以下である、請求項３に記載のアクチュエータ装置。
5. 前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第１外縁及び前記第２外縁のそれぞれは、前記可動部とは反対側に凸となるように湾曲しており、
   前記金属基板の厚さ方向から見た場合に、前記第３外縁及び前記第４外縁のそれぞれは、前記可動部とは反対側に凸となるように湾曲している、請求項１～４のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
6. 前記第１固定領域及び前記第２固定領域は、前記本体部及び前記可動部が並ぶ方向において前記可動部に対して前記本体部とは反対側に位置する領域を挟んで、互いに離間している、請求項１～５のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。
7. 前記金属基板は、
   前記第３固定領域及び前記第１固定領域に接続された第１中間部と、
   前記第３固定領域及び前記第２固定領域に接続された第２中間部と、を更に有する、請求項１～６のいずれか一項に記載のアクチュエータ装置。

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