JP2022168666A - 部品装着装置及び部品装着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】生産の時間的損失の発生を抑制することができる部品装着装置等を提供する。【解決手段】部品装着装置１は、部品を基板３に装着する部品装着装置１であって、部品を吸着する第１吸着ノズル１５ｂ１と、第１吸着ノズル１５ｂ１と並んで設けられた、部品を吸着する第２吸着ノズル１５ｂ２と、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する計測部（流量センサ１６）とを備えている。そして、計測部は、第１吸着ノズル１５ｂ１が基板３への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。【選択図】図５

Description

本開示は、部品装着装置及び部品装着方法に関する。

従来の特許文献１には、吸着ノズルの吸着面を予めカメラで撮像してからプリント基板を搬出した生産後に、吸着ノズルの吸着面をカメラで再度撮像して、撮像した画像を比較することで吸着面の異常の有無を判断する部品装着装置が開示されている。

また、従来の特許文献２には、生産中に吸着ノズルが不良品である場合、部品吸着動作をさせずに流量計測部にて吸着ノズルのエア流量を計測し、計測した値を制御部に取り込むことで、吸着ノズルの良否を判定し、２回以上連続して不良と判定された時にだけノズル交換部により新たな吸着ノズルと交換する部品装着装置が開示されている。

特許第３９０１３４４号公報 特開平７－２２７８３号公報

しかしながら、特許文献１の部品装着装置では、生産後に吸着ノズルの吸着面をカメラで再度撮像して吸着ノズルの吸着面の異常の有無を判断するため、生産外において、時間を要することになる。

また、特許文献２の部品装着装置では、生産中に吸着ノズルの先端を計測ブロックまで移動させてから、吸着ノズルのエア流量を計測する。この場合でも、吸着ノズルを計測ブロックにアクセスさせるために、時間を要することになる。

そこで、本開示は、生産の時間的損失の発生を抑制することができる部品装着装置及び部品装着方法を提供することを目的とする。

本開示の一態様に係る部品装着装置は、部品を基板に装着する部品装着装置であって、部品を吸着する第１吸着ノズルと、前記第１吸着ノズルと並んで設けられた、部品を吸着する第２吸着ノズルと、前記第１吸着ノズル又は前記第２吸着ノズルを流れる空気の流量を計測する計測部とを備え、前記計測部は、前記第１吸着ノズルが前記基板への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない前記第２吸着ノズルを流れる空気の前記流量を計測する。

本開示の部品装着装置及び部品装着方法によれば、生産の時間的損失の発生を抑制することができる。

図１は、実施の形態に係る部品装着装置を示す平面図である。 図２は、実施の形態に係る部品装着装置に用いられる装着ヘッドを示す斜視図である。 図３は、実施の形態に係る部品装着装置における真空吸引系統及びエアブロー系統の構成を示すブロック図である。 図４は、実施の形態に係る部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図である。 図５は、実施の形態に係る部品装着装置の処理動作を示すフローチャートである。 図６は、実施の形態に係る部品装着装置の吸着ノズルが部品認識カメラの上方を通過する様子を示す平面図である。 図７は、吸着ノズルの先端部に部品が吸着されている場合と部品が吸着されていない場合とにおける、時間と流量との関係を示す図である。 図８は、真空流量からブロー流量に切り替える場合の時間と流量との関係を示す図である。 図９は、真空流量又はブロー流量において、時間と流量との関係を示す図である。 図１０は、吸着面が正常な吸着ノズルを示す画像図、及び、その輝度分布図である。 図１１は、吸着面が異常な吸着ノズルを示す画像図、及び、その輝度分布図である。

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序等は、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。また、以下の実施の形態において、略水平等の表現を用いている。例えば、略水平は、完全に水平であることを意味するだけでなく、実質的に水平である、すなわち、例えば数％程度の誤差を含むことも意味する。また、略水平は、本開示による効果を奏し得る範囲において水平という意味である。他の「略」を用いた表現についても同様である。

また、以下の実施の形態では、基板搬送方向をＸ軸方向（図１における左右方向）と規定し、基板搬送方向と直交する方向であり水平面と平行な方向をＹ軸方向と規定し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と直交する方向をＺ軸方向（上下方向）と規定する。

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

（実施の形態）
＜構成：部品装着装置１＞
図１は、実施の形態に係る部品装着装置１の平面図である。

図１に示すように、部品装着装置１では、部品（電子部品）を基板３の所定位置に装着（実装）して実装基板を製造することができる。なお、部品装着装置１では、電子部品以外の部品を装着対象物に装着することもできる。

本実施の形態の部品装着装置１は、基台１ａ、基板搬送部２、部品供給部４、Ｙ軸ビーム６、Ｘ軸ビーム７、装着ヘッド８、部品認識カメラ１１、部品廃棄ボックス１０、及び、基板認識カメラ１２を備えている。

基台１ａは、基板３及び基板搬送部２等を配置することが可能である。基台１ａには、その上面に、Ｘ軸方向に沿って延びる基板搬送部２が配設されている。

基板搬送部２は、上流側装置から受け渡された基板３を搬送することで、実装作業位置に基板３を位置決めして保持する。基板搬送部２に対するＹ軸方向の両側には、部品供給部４がそれぞれ配置されている。

部品供給部４は、装着ヘッド８が部品を取り出すため、言い換えれば、装着ヘッド８に部品を供給するための構造体である。部品供給部４には、複数のテープフィーダ５が並設して装着されている。テープフィーダ５は部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、部品実装機構を構成する装着ヘッド８は、実装位置に部品を位置させることができる。

また、基台１ａの上面におけるＸ軸プラス方向側の一端部には、長尺状のＹ軸ビーム６がＹ軸方向に沿って略水平に配設されている。また、Ｙ軸ビーム６には、長尺状の一対のＸ軸ビーム７がＹ軸方向に沿ってスライド自在に装着されている。

一対のＸ軸ビーム７のうちの一方が基板搬送部２に対してＹ軸プラス方向側に配設され、一対のＸ軸ビーム７のうちの他方が基板搬送部２に対してＹ軸マイナス方向側に配設されている。また、一対のＸ軸ビーム７は、Ｘ軸方向に沿って略水平に配設されている。

一対のＸ軸ビーム７は、Ｙ軸ビーム６が有するリニア駆動機構によってＹ軸方向に移動することができる。一対のＸ軸ビーム７のそれぞれには、装着ヘッド８がスライド自在に装着されている。

装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９を有している。また、装着ヘッド８は、Ｘ軸ビーム７が有するリニア駆動機構によりＸ軸方向に沿って移動することができる。

リニア駆動機構の駆動によってＸ軸ビーム７及び装着ヘッド８がＸ－Ｙ平面において、自在に移動することにより、装着ヘッド８は、ノズルユニット９に設けられた複数の吸着ノズル１５によって、それぞれの部品供給部４に配置されたテープフィーダ５から部品を真空吸引（部品を吸着）して取り出し、基板３の上方に移動して部品を基板３の実装位置に搭載する。

また、基台１ａにおいて基板搬送部２とそれぞれの部品供給部４との間には、部品認識カメラ１１と部品廃棄ボックス１０とが配設されている。部品供給部４から部品を取り出した装着ヘッド８が部品認識カメラ１１の上方を通過することにより、部品認識カメラ１１は、装着ヘッド８が通過する撮像タイミングで、装着ヘッド８に装着された複数の吸着ノズル１５のうちの第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に保持された状態の部品を撮像する。このため、部品認識カメラ１１は、複数の吸着ノズル１５のうちの第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に吸着された部品を認識することができる。

部品廃棄ボックス１０は、装着ヘッド８が部品認識カメラ１１の上方を通過する経路上であり、部品認識カメラ１１と隣り合う様に、部品認識カメラ１１とＸ軸方向に沿って配列されている。部品を吸着した装着ヘッド８は、部品廃棄ボックス１０の上方に位置した際に、部品を廃棄することができる。

また、第１吸着ノズル１５ｂ１が部品を吸着し、かつ第２吸着ノズル１５ｂ２が部品を吸着していない状態において、第１吸着ノズル１５ｂ１と第２吸着ノズル１５ｂ２とが部品認識カメラ１１の上方を通過する際に、部品認識カメラ１１は、第１吸着ノズル１５ｂ１に吸着された部品と第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａとを認識する。部品認識カメラ１１は、第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａとして、第２吸着ノズル１５ｂ２の吸着面１５ａ１、又は、第２吸着ノズル１５ｂ２の長さを認識する。つまり、部品認識カメラ１１は、平面的（二次元的）な認識及び立体的（三次元的）な認識を行うことができる。本実施の形態では、第２吸着ノズル１５ｂ２は、第１吸着ノズル１５ｂ１と並んで設けられている。また、第１吸着ノズル１５ｂ１及び第２吸着ノズル１５ｂ２を総称して吸着ノズル１５と呼ぶことがある。部品認識カメラ１１は、認識部の一例である。

また、第１吸着ノズル１５ｂ１及び第２吸着ノズル１５ｂ２は、部品を吸着（真空吸着）することができ、吸着した部品を離間させたりすることができる。また、第１吸着ノズル１５ｂ１及び第２吸着ノズル１５ｂ２は、このような真空吸着だけでなく、ブローしたりすることもできる。

また、第２吸着ノズル１５ｂ２は、特定の装着ターンにおいて部品吸着に使用されないことがある。これにより、部品認識カメラ１１によって、第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａを認識する対象か否かを判別する機会を得ることができる。

また、部品認識カメラ１１が第１吸着ノズル１５ｂ１に吸着された部品及び第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａを認識する場合、部品認識カメラ１１は、第１照明条件で部品を認識し、第１照明条件とは異なる第２照明条件で先端部１５ａを認識する。つまり、部品認識カメラ１１は、部品及び吸着ノズル１５の先端部１５ａを照明する照明部、及び、撮像タイミングに基づいて、照明部の発光を制御する照明制御部を有している。照明制御部が部品認識カメラ１１の撮像タイミングに基づいて、第１照明条件の下で第１吸着ノズル１５ｂ１に吸着された部品を照明部に照明させることで、部品認識カメラ１１は、部品を認識することができる。また、照明制御部が部品認識カメラ１１の撮像タイミングに基づいて、第２照明条件の下で第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａを照明部に照明させることで、部品認識カメラ１１は、第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａを認識することができる。第１照明条件は、部品を認識するための照明条件であり、所定の照射角度を有する光である。照明制御部は、部品に照射する光の明るさ、照射角度、又は、照明の種類（例えば、透過照明及び反射照明）を変えることで、照明条件を切り替えることができる。ここで、第１照明条件は、部品を認識することができる照明条件であり、例えば部品に対して所定の照射角度を有する光を照射する照明条件である。また、第２照明条件は、先端部１５ａを認識することができる照明条件であり、例えば先端部１５ａに対して垂直方向に光を照射する照明条件である。

装着ヘッド８が取り付けられている結合プレート８ａには、Ｘ軸ビーム７の下面側に位置し、装着ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ１２が配設されている。基板認識カメラ１２は、撮像方向を下向きにした姿勢で結合プレート８ａに配設されている。基板搬送部２に保持された基板３の上方に装着ヘッド８を移動させることにより、基板認識カメラ１２は、基板３の位置認識マーク等を撮像したり、部品実装後に基板３の上方に移動して基板３に搭載された部品を撮像したりする。

部品認識カメラ１１、及び、基板認識カメラ１２によって取得された撮像データを画像認識処理することにより、装着ヘッド８において吸着ノズル１５に保持された状態の部品の位置ズレ、及び、基板搬送部２に保持された基板３の位置ズレを検出することができる。装着ヘッド８は、部品実装動作において、これらの位置ズレを加味して、位置を補正して部品を基板３の実装位置に実装する。

次に、装着ヘッド８について、図１及び図２を用いて説明する。図２は、実施の形態に係る部品装着装置１に用いられる装着ヘッド８を示す斜視図である。

図１及び図２に示すように、装着ヘッド８は、結合プレート８ａを介してＸ軸ビーム７に装着されている。装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９を並べた状態で配置している。それぞれのノズルユニット９は、ノズル駆動部９ａからノズル軸１３を下方に延出させるように配置している。ノズル軸１３の下端部に結合されたノズル装着部１４には、複数の吸着ノズル１５が着脱自在に装着されている。それぞれのノズル駆動部９ａは、ノズル軸１３と結合された昇降軸をリニアモータにより昇降させるノズル昇降機構を有している。ノズル駆動部９ａが駆動することにより、ノズル装着部１４に装着された複数の吸着ノズル１５は、個別に昇降する。このような、装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９の他に、ノズル駆動部９ａ、ノズル軸１３、ノズル装着部１４及び吸着ノズル１５を有している。なお、装着ヘッド８は、複数のノズルユニット９、複数のノズル駆動部９ａ、複数のノズル軸１３、複数のノズル装着部１４及び複数の吸着ノズル１５を有しているが、特に言及しない限り、１つのノズルユニット９、１つのノズル駆動部９ａ、１つのノズル軸１３、１つのノズル装着部１４及び１つの吸着ノズル１５について説明する。

吸着ノズル１５は、真空吸引する部品のサイズ、及び、形状に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きなサイズの部品には、吸着ノズル１５の下端部における図３の吸着面１５ａ１が大きな吸着ノズル１５が使用される。

また、装着ヘッド８は、装着する吸着ノズル１５の種類に応じて複数の種類が用意されている。例えば、大きな部品を吸着する大きな吸着ノズル１５を装着する場合は、大きなノズルユニット９を有する装着ヘッド８が使用される。

次に、真空吸引系統及びエアブロー系統について、図１～３を用いて説明する。図３は、実施の形態に係る部品装着装置１における真空吸引系統及びエアブロー系統の構成を示すブロック図である。

図１～３に示すように、ノズル軸１３は、ノズル装着部１４を挿通して吸着ノズル１５に連通している。ノズル軸１３の内部に設けられた流路孔は、流量センサ１６を介して出力経路１７に接続されている。すなわち、ノズル軸１３の吸引孔と出力経路１７は、流量センサ１６及び出力経路１７を介して、切換バルブ１８の出力ポートＡ１に接続されることで、切換バルブ１８と吸着ノズル１５とを接続する吸引・エアブロー回路となる。

流量センサ１６は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。つまり、流量センサ１６は、複数の吸着ノズル１５における所定の吸着ノズル１５の内部を流れる空気の流量を計測する。例えば、流量センサ１６は、流量センサ１６からノズル軸１３の方向（矢印ａ）に流れ出る正方向と、ノズル軸１３から流量センサ１６の方向（矢印ｂ）に流れ込む負方向の、正逆２方向の空気の流量を計測する。言い換えれば、流量センサ１６は、吸着ノズル１５が吸引した場合の真空流量、又は、吸着ノズル１５がブローした場合のブロー流量を計測する。

また、流量センサ１６が第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測するには、次のタイミングがある。例えば、流量センサ１６は、第１吸着ノズル１５ｂ１が基板３への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。つまり、流量センサ１６は、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２の空き時間を利用して、第２吸着ノズル１５ｂ２の内部を流れる空気の流量を計測する。また、流量センサ１６は、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品を基板３に装着した後（装着動作完了後）に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。また、第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されていないと判定部２５が判定した場合、流量センサ１６は、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。

流量センサ１６は、吸引流量の計測結果、及び、ブロー流量の計測結果をノズル制御部２３が有する判定部２５に出力する。流量センサ１６は、計測部の一例である。

切換バルブ１８は、２つの入力ポートＰ１、Ｐ２と出力ポートＡ１を有する電磁弁等で構成されている。切換バルブ１８では、外部からの選択信号により、入力ポートＰ１から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態と、入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態とが切り換えられる。切換バルブ１８の入力ポートＰ１は真空ポンプ１９に、入力ポートＰ２はブローバルブ２０の出力ポートＡ２に、出力ポートＡ１は流量センサ１６に通じる出力経路１７に、それぞれ接続されている。また、真空ポンプ１９は、負の圧力（真空）を発生させることができる。

ブローバルブ２０は、２つの入力ポートＰ３、Ｐ４と出力ポートＡ２を有する電磁弁等で構成されている。ブローバルブ２０では、外部からの選択信号により、入力ポートＰ３から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態と、入力ポートＰ４から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態とが切り換えられる。ブローバルブ２０の入力ポートＰ３はエア供給源２１に、入力ポートＰ４は大気供給源２２に、出力ポートＡ２は切換バルブ１８の入力ポートＰ２に、それぞれ接続されている。また、エア供給源２１は、正圧空気を供給することができる。また、大気供給源２２は、大気圧の空気を供給することができる。なお、大気供給源２２は、ブローバルブ２０の入力ポートＰ４を開放状態にすることでも実現することができる。

切換バルブ１８及びブローバルブ２０は、ノズル制御部２３が有するバルブ制御部２４に接続されている。流量センサ１６の計測結果は、ノズル制御部２３が有する判定部２５に入力される。ノズル制御部２３が有するバルブ記憶部２６には、バルブ制御部２４によって切換バルブ１８とブローバルブ２０との状態を切り換えるタイミング情報、判定部２５によって流量センサ１６が計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するタイミング情報、及び、所定値（判定値）が記憶されている。ノズル制御部２３は、装着ヘッド８に配設されており、装着ヘッド８を結合プレート８ａに取り付けた状態で、装置制御部３０と接続される。

バルブ制御部２４が切換バルブ１８を制御して、入力ポートＰ１から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態（吸引状態）にすると、真空ポンプ１９が切換バルブ１８及び流量センサ１６を介して吸着ノズル１５と連通し、吸着ノズル１５は下端部の吸着面１５ａ１から真空吸引する。

吸着面１５ａ１に部品が当接している状態で吸着ノズル１５が部品を真空吸引すると、吸着ノズル１５によって部品が真空吸着される。この時、流量センサ１６が計測する空気の流量（真空流量）は、実質的にゼロとなる。吸着面１５ａ１に部品が当接していない状態で吸着ノズル１５から真空吸引すると、吸着ノズル１５より外気（空気）が吸引される。このため、流量センサ１６は、負の空気の流量を計測することができる。

バルブ制御部２４が切換バルブ１８を制御して入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させ、ブローバルブ２０を制御して入力ポートＰ３から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態（ブロー状態）にすると、エア供給源２１は、ブローバルブ２０、切換バルブ１８及び流量センサ１６を介して吸着ノズル１５と連通し、吸着ノズル１５から正圧空気が吐出される。すなわち、エア供給源２１は、吸着ノズル１５から正圧空気を吐出させるエアブロー手段となる。この時、流量センサ１６によって、正の空気の流量が計測される。

バルブ制御部２４が切換バルブ１８を制御して入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させ、ブローバルブ２０を制御して入力ポートＰ４から出力ポートＡ２への経路を開通させた状態（大気圧状態）にすると、大気供給源２２がブローバルブ２０、切換バルブ１８及び流量センサ１６を介して吸着ノズル１５と連通し、吸着ノズル１５が大気圧となる。この時、流量センサ１６が計測する空気の流量は、実質的にゼロとなる。

このように、切換バルブ１８及びブローバルブ２０は、真空ポンプ１９とエア供給源２１とを選択的に吸着ノズル１５に接続させる切換手段となる。そして、流量センサ１６は、この切換手段（切換バルブ１８及びブローバルブ２０）と吸着ノズル１５とを接続する吸引・エアブロー回路に介設され、吸引・エアブロー回路を通過する空気の流量を正逆２方向で計測する。

判定部２５は、流量センサ１６が計測した空気の流量とバルブ記憶部２６が記憶する所定値とを比較して、空気の流量が所定値を超えたか否かを判定する。具体的には、判定部２５は、部品認識カメラ１１の認識結果に基づいて第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されているか否かを判定する。

例えば、判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品の吸着動作を行った後に流量センサ１６によって計測された流量が所定値以上の場合、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていないと判定する。また、判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品の吸着動作を行った後に流量センサ１６によって計測された流量が所定値未満の場合、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていると判定する。判定部２５が判定するタイミングは、バルブ記憶部２６が記憶するタイミング情報に基づいて、バルブ制御部２４によって制御される。判定部２５による判定結果は、バルブ制御部２４を介して装置制御部３０に送信される。

また、流量が真空流量である場合、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値以上か否かを判定する。判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値以上であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量は正常であると判定する。また、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値未満であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量は異常であると判定する。

また、流量がブロー流量である場合、判定部２５は、ブロー流量が第２所定値以上か否かを判定する。判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量が第２所定値以上であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量は正常であると判定する。また、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量が第２所定値未満であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量は異常であると判定する。

また、判定部２５は、部品認識カメラ１１による第２吸着ノズル１５ｂ２の先端部１５ａの認識結果に基づいて、第２吸着ノズル１５ｂ２の良否を判定する。判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常（不良品）であると判定すると、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを示す判定結果を報知部３４に出力する。また、判定部２５は、第２吸着ノズル１５ｂ２が正常（良品）であると判定すると、第２吸着ノズル１５ｂ２が正常であることを示す判定結果を報知部３４に出力する。

次に、部品装着装置１の構成について、図１～４を用いて説明する。図４は、実施の形態に係る部品装着装置１の制御系の構成を示すブロック図である。

図１～４に示すように、部品装着装置１は、装置制御部３０、装置記憶部３１、基板搬送部２、部品供給部４、装着ヘッド８、Ｙ軸ビーム６、Ｘ軸ビーム７、部品認識カメラ１１、基板認識カメラ１２、真空ポンプ１９、エア供給源２１、大気供給源２２、入力部３２、表示部３３及び報知部３４を備えている。また、装着ヘッド８は、さらにノズル制御部２３を備えている。

ノズル制御部２３は、バルブ制御部２４、判定部２５及びバルブ記憶部２６を備えている。ノズル制御部２３には、流量センサ１６、切換バルブ１８、及び、ブローバルブ２０が接続されている。

装置制御部３０は、ＣＰＵ機能を備える演算処理装置であり、内部処理機能として実装制御部３０ａ及び異常処理部３０ｂを備えている。装置記憶部３１は、記憶装置であり、実装データ３１ａ、バルブ制御データ３１ｂ、判定制御データ３１ｃ等の生産データを記憶している。

実装データ３１ａには、基板３における部品の実装位置、実装される部品の種類（部品名）等の情報が含まれる。実装制御部３０ａは、実装データ３１ａに基づいて、基板搬送部２、部品供給部４、装着ヘッド８、ノズル駆動部９ａ、Ｙ軸ビーム６及びＸ軸ビーム７を制御することで、吸着ノズル１５によって、基板３の実装位置に部品が実装できるように制御する。

バルブ制御データ３１ｂには、吸着ノズル１５が真空吸着した部品を基板３に搭載する際に、バルブ制御部２４が切換バルブ１８、ブローバルブ２０を切り換えるタイミング情報等が記憶されている。

判定制御データ３１ｃには、ノズル制御部２３の判定部２５により流量センサ１６の計測結果を判定するタイミング情報、計測した空気の流量が正常であるか否かを判定するための閾値である所定値等が記憶されている。

バルブ制御データ３１ｂのタイミング情報、判定制御データ３１ｃのタイミング情報、及び、所定値は、装着ヘッド８の種類（ノズルユニット９の数等）、装着ヘッド８の装着される吸着ノズル１５の種類に応じた値が、実験及び経験に基づいて予め決定されている。そして、部品装着装置１に装着される装着ヘッド８の種類、ノズルユニット９に装着される吸着ノズル１５の種類等、部品装着装置１の構成に対応する各種データは、バルブ制御データ３１ｂ、及び、判定制御データ３１ｃからノズル制御部２３が有するバルブ記憶部２６に転送されることで記憶される。

入力部３２は、キーボード、タッチパネル、マウス等の入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時等に用いられる。

表示部３３は、液晶パネル等の表示装置であり、入力部３２による操作のための操作画面等の各種情報の他、基板認識カメラ１２によって撮像された撮像画像を表示する。

報知部３４は、報知灯、フラッシュランプ、ブザー等であり、部品装着装置１の異常等の稼動状況を作業者に報知する。例えば、真空流量が第１所定値未満であると判定された場合、又は、ブロー流量が第２所定値未満であると判定された場合、報知部３４は、エラーを報知する。また、報知部３４は、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを、判定部２５が判定した場合、第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを示すエラーを報知する。

異常処理部３０ｂは、判定部２５によって真空吸引系統、又は、エアブロー系統の異常が検出された場合に異常処理を実行する。具体的には、異常処理部３０ｂは、異常が検出された際に基板３に搭載されていた部品の実装位置を基板認識カメラ１２によって撮像させることで、撮像させた撮像画像を表示部３３に表示させる。さらに、異常処理部３０ｂは、報知部３４を作動させて作業者に異常を報知させる。

すなわち、判定部２５によって、真空ポンプ１９、エア供給源２１、切換バルブ１８、ブローバルブ２０、及び、吸引・エアブロー回路のいずれかが異常と判定されると、判定部２５によって異常と判定された際に部品が搭載されたことが期待される基板３上の実装位置を、基板認識カメラ１２が撮像する。そして、表示部３３が基板認識カメラ１２によって撮像された基板３上の位置の撮像画像を表示することで、報知部３４は、合わせて異常を報知する。

＜処理動作＞
次に、本実施の形態に係る部品装着装置１及び部品装着方法の処理動作について説明する。図５は、実施の形態に係る部品装着装置１の処理動作を示すフローチャートである。なお、図５において、ノズルユニット９には複数の吸着ノズル１５が設けられているが、特に言及しない限り、複数の吸着ノズル１５のうちの１つの吸着ノズル１５について説明する。

まずは、図５に示すように、判定部２５は、装着ヘッド８に設けられているノズルユニット９の吸着ノズル１５が今回の装着ターンで使用する吸着ノズル１５であるか否かを判定する（Ｓ１１）。例えば、判定部２５は、装置記憶部３１又はバルブ記憶部２６に記憶されている生産データに基づいて、今回の装着ターンで使用する吸着ノズル１５がノズルユニット９に装着されているか否かを判定する。

次に、判定部２５は、今回の装着ターンで使用する吸着ノズル１５であることを判定すると（Ｓ１１でＹＥＳ）、装着ヘッド８は、ノズルユニット９に設けられた吸着ノズル１５によって、部品供給部４に配置されたテープフィーダ５から部品を吸着して取り出す（吸着動作をする）。このとき、流量センサ１６は、部品吸着動作後の流量確認として、吸着ノズル１５を流れる空気の流量を計測する（Ｓ１２）。流量センサ１６は、計測結果を判定部２５に出力する。

次に、判定部２５は、流量センサ１６から計測結果を取得すると、吸着ノズル１５における流量が正常か否かを判定する（Ｓ１３）。

ここで、部品吸着動作後の流量確認に基づいた、吸着ノズル１５における流量が正常か否かの判定について、図７を用いて説明する。図７は、吸着ノズル１５の先端部１５ａに部品が吸着されている場合（図７のａ）と部品が吸着されていない場合（図７のｂ）とにおける、時間と流量との関係を示す図である。図７では、横軸を時間とし、縦軸を流量とする。

図７のａの実線に示すように、吸着ノズル１５の先端部１５ａに部品が吸着される場合、部品の吸着前では、流量が破線で示す第１所定値よりも高く、部品の吸着後では先端部１５ａの開口を部品が覆うため、流量が破線で示す第１所定値よりも低く、流量が実質的に０になっている。このため、部品の吸着前においては、判定部２５は、流量センサ１６によって計測された吸着ノズル１５（第２吸着ノズル１５ｂ２）の流量が第１所定値以上の場合、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていないと判定する。また、部品の吸着後においては、判定部２５は、例えば第２吸着ノズル１５ｂ２が部品の吸着動作を行った後に流量センサ１６によって計測された流量が第１所定値未満の場合（図７のａでは流量が実質的に０）、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていると判定する。第１所定値は、所定値の一例である。

しかし、図７のｂの実線に示すように、吸着ノズル１５の流量が一時的に下がったものの、元の流量に戻っている。これは、吸着ノズル１５が部品を吸着したものの、部品の吸着に失敗しため、流量が一旦低下した後に元に戻ったものである。この場合、第２吸着ノズル１５ｂ２の流量が第１所定値以上となるため、判定部２５は、部品は第２吸着ノズル１５ｂ２によって吸着されていないと判定する。

上述の説明より、例えば、吸着ノズル１５における流量が正常であることを、判定部２５が判定した場合（Ｓ１３でＹＥＳ）、部品認識カメラ１１は、複数の吸着ノズル１５のうちの第１吸着ノズル１５ｂ１に吸着された部品を認識する（Ｓ１４）。つまり、図６の実線矢印に示すように、第１吸着ノズル１５ｂ１が部品を吸着した状態で部品認識カメラ１１の上方を通過するタイミングである撮像タイミングに基づいて、部品認識カメラ１１は、当該部品を撮像することで、部品を認識する。図６は、実施の形態に係る部品装着装置１の吸着ノズル１５が部品認識カメラ１１の上方を通過する様子を示す平面図である。

次に、部品認識カメラ１１は、認識した部品が正常な部品であるか否かを判定する（Ｓ１５）。例えば、部品認識カメラ１１は、生産データに基づく部品であるか否か、部品の向き、部品の破損の有無、部品への異物の付着等に基づいて、正常な部品であるか否かを判定する。

次に、認識した部品が正常な部品であることを、部品認識カメラ１１が判定した場合（Ｓ１５でＹＥＳ）、判定部２５は、ノズルユニット９に部品装着済みの吸着ノズル１５（第１吸着ノズル１５ｂ１）が存在しているか否かを判定する（Ｓ１６）。

ノズルユニット９に部品装着済みの吸着ノズル１５が存在していないことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ１６でＮＯ）、部品を保持した吸着ノズル１５によって部品装着し（Ｓ２０）、ステップＳ２１に進む。例えば、今回の装着ターンにおいて、複数の吸着ノズル１５のうち、いずれの吸着ノズル１５も部品装着を終えていない場合、判定部２５は、部品装着済みの吸着ノズル１５が存在していないことを判定する。

一方、ノズルユニット９に部品装着済みの吸着ノズル１５が存在していることを、判定部２５が判定した場合（Ｓ１６でＹＥＳ）、部品を保持した吸着ノズル１５による部品装着と並行して、流量センサ１６は、部品装着済み吸着ノズル１５の真空流量、又は、吸着ノズル１５のブロー流量を測定する（Ｓ１７）。

ここで、真空流量又はブロー流量の測定について、図８を用いて説明する。図８は、真空流量からブロー流量に切り替える場合の時間と流量との関係を示す図である。図８では、横軸を時間とし、縦軸を流量とする。

通常は真空流量を常時計測しているが、ブロー流量を計測するとき、切換バルブ１８は、入力ポートＰ１から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態を閉鎖してから、入力ポートＰ２から出力ポートＡ１への経路を開通させた状態に切り換える。図５及び図８に示すように、吸着ノズル１５の吸引（吸引方向）からブロー（吐出方向）に切り替えた場合、流量センサ１６は、吸着ノズル１５におけるブロー流量を計測する。流量センサ１６は、真空流量の計測結果又はブロー流量の計測結果を判定部２５に出力する。

次に、判定部２５は、流量センサ１６から真空流量の計測結果又はブロー流量の計測結果を取得すると、ステップＳ１７における吸着ノズル１５の流量（真空流量又はブロー流量）が正常か否かを判定する（Ｓ１８）。

例えば、ブロー流量において、吸着ノズル１５の流量が図８の一点鎖線で示すように、破線で示す第２所定値未満の場合、判定部２５は、流量が異常である（正常でない）ことを判定する（Ｓ１８でＮＯ）。例えば、吸着ノズル１５のブロー流量が破線で示す第２所定値未満の場合、図８の一点鎖線に示すように、判定部２５は、流量が異常であることを判定する。なお、真空流量においても同様である。第２所定値は、所定値の一例である。

次に、報知部３４は、ステップＳ１８でＮＯの場合、吸着ノズル１５が異常であることを示すエラーを報知する（Ｓ１９）。これにより、作業者は、吸着ノズル１５が異常であることを認識することができる。

例えば、一方、ブロー流量において、吸着ノズル１５の流量が図８の実線で示すように、破線で示す第２所定値以上の場合、判定部２５は、流量が正常であることを判定する（Ｓ１８でＹＥＳ）。例えば、吸着ノズル１５のブロー流量が第２所定値以上の場合、図８の実線に示すように、判定部２５は、流量が正常であることを判定する。なお、真空流量においても同様である。

図５に示すように、ステップＳ１８でＹＥＳの場合、又は、ステップＳ２０を経由した場合、判定部２５は、正常な吸着ノズル１５によって基板３への部品の装着動作が完了しているか否かを判定する（Ｓ２１）。正常な吸着ノズル１５は、基板３に部品を適切に供給することが可能なノズルである。

判定部２５は、基板３への部品の装着動作が完了していないと判定した場合（Ｓ２１でＮＯ）、ステップＳ１６に処理動作を戻す。

一方、基板３への部品の装着動作が完了したことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ２１でＹＥＳ）、部品装着装置１は、ステップＳ２２に処理動作を進める。

また、ステップＳ１５の説明に戻る。

認識した部品が異常な部品（正常でない部品）であることを、部品認識カメラ１１が判定した場合（Ｓ１５でＮＯ）、判定部２５は、吸着ノズル１５の先端部１５ａに部品が吸着されているか否かを判定する（Ｓ２３）。

図５に示すように、判定部２５は、吸着ノズル１５の先端部１５ａに部品が吸着されていないことを判定した場合（Ｓ２３でＮＯ）、ステップＳ３１に進む。

一方、判定部２５は、吸着ノズル１５の先端部１５ａに部品が吸着されていることを判定した場合（Ｓ２３でＹＥＳ）、正常な吸着ノズル１５によって基板３への部品の装着の動作が完了しているか否かを判定する（Ｓ２４）。

判定部２５は、基板３への部品の装着動作が完了していないと判定した場合（Ｓ２４でＮＯ）、ステップＳ２４に処理動作を戻す。

一方、基板３への部品の装着動作が完了したことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ２４でＹＥＳ）、流量センサ１６は、当該吸着ノズル１５のブロー流量を測定する（Ｓ２５）。

流量センサ１６は、ブロー流量の計測結果を判定部２５に出力する。

なお、ステップＳ２４でＹＥＳにおいて、ステップＳ２５の間に、吸着ノズル１５に部品が吸着されていることがある場合、その部品を廃棄ボックスに廃棄する処理動作を実行してもよい。

次に、判定部２５は、流量センサ１６からブロー流量の計測結果を取得すると、ステップＳ２５における吸着ノズル１５のブロー流量が正常か否かを判定する（Ｓ２６）。

ここでは、正常な吸着ノズル１５が部品装着動作をしている間に、吸着ノズル１５のブロー流量を測定することで、吸着ノズル１５のブロー流量が正常か否かの判定について、図９を用いて説明する。図９は、真空流量（図９のｂ）又はブロー流量（図９のａ）において、時間と流量との関係を示す図である。図９のａ、ｂでは、横軸を時間とし、縦軸を流量とする。なお、原則、真空流量は、部品吸着から部品廃棄箱に移動するまで常時ＯＮ状態であるが、ブロー流量を確認する場合は、切換バルブ１８を操作して、真空流量をＯＦＦにして一時的にブロー流量をＯＮにする。

図５及び図９のａに示すように、吸着ノズル１５のブロー流量においては、判定部２５は、図９のａの一点鎖線で示すブロー流量が第２所定値以上か否かを判定する。図９のａの一点鎖線で示す吸着ノズル１５のブロー流量が、破線で示す第２所定値未満の場合、吸着ノズル１５の先端部１５ａの変形又は異物の付着等が考えられる。このため、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量が第２所定値未満であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量は異常であると判定する（Ｓ２６でＮＯ）。そして、報知部３４は、吸着ノズル１５が異常であることを示すエラーを報知する（Ｓ２７）。これにより、作業者は、吸着ノズル１５が異常であることを認識することができる。

一方、図９のａの実線で示す吸着ノズル１５のブロー流量が、破線で示す所定値以上の場合、吸着ノズル１５の先端部１５ａが正常であると考えられる。このため、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量が第２所定値以上であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量は正常であると判定する（Ｓ２６でＹＥＳ）。そして、部品装着装置１は、ステップＳ２２に処理動作を進める。

また、ステップＳ１１及びステップＳ１３の説明に戻る。

今回の装着ターンで使用する吸着ノズル１５ではないことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ１１でＮＯ）、又は、吸着ノズル１５における流量が異常である（正常でない）ことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ１３でＮＯ）、部品認識カメラ１１は、吸着ノズル１５の先端部１５ａを認識する。具体的には、部品認識カメラ１１は、複数の吸着ノズル１５が部品認識カメラ１１の上方を通過するタイミングで、当該複数の吸着ノズル１５のうちの使用しない吸着ノズル１５の先端部１５ａ、又は、流量が第１所定値以上の吸着ノズル１５の先端部１５ａを認識する（Ｓ２８）。

次に、部品認識カメラ１１は、認識した吸着ノズル１５の先端部１５ａが正常であるか否かを判定する（Ｓ２９）。

ここで、吸着ノズル１５の先端部１５ａが正常であるか否かの判定について、図１０及び図１１を用いて具体的に説明する。図１０は、先端部１５ａが正常な吸着ノズル１５の画像図（図１０のａ）、及び、その輝度分布図（図１０のｂ）である。図１１は、先端部１５ａが異常な吸着ノズル１５の画像図（図１１のａ）、及び、その輝度分布図（図１１のｂ）である。

図１０のａに示すように、画像Ａ１には、吸着ノズル１５の先端部１５ａが示されている。線Ａ２は、輝度を測定する対象となる画素の集合を示す直線である。また、図１０のｂに示すように、波形Ｂ１は、線Ａ２上にある画素の輝度分布を表し、横軸を先端部１５ａの画像Ａ１の線Ａ２上の相対位置とし、縦軸を輝度としたグラフである。

まず、部品認識カメラ１１は、正常な吸着ノズル１５の先端部１５ａを予め撮像し、撮像した画像を装置記憶部３１に予め記憶する。部品認識カメラ１１は、吸着ノズル１５が部品認識カメラ１１の上方を通過するタイミングで吸着ノズル１５の先端部１５ａを再度撮像する。部品認識カメラ１１は、装置記憶部３１に予め記憶している吸着ノズル１５の先端部１５ａの画像（第１画像）と、再度撮像した吸着ノズル１５の先端部１５ａの画像（第２画像）とを比較する。例えば、線Ａ２における第１画像の輝度分布が波形Ｂ１のように表れ、線Ａ４における第２画像の輝度分布が波形Ｂ２のように表れた場合、図１１のｂの個所Ｃの輝度分布が図１０のｂの同様の個所の輝度分布と異なるため、部品認識カメラ１１は、先端部１５ａに異常が発生したと判定する。なお、先端部１５ａに異常が発生していないと判定された吸着ノズル１５であっても、繰り返し撮影する間に位置及び輝度等にばらつきが生じることが予想される。この場合には、位置及び輝度のそれぞれに所定の許容範囲を設け、これを外れた先端部１５ａのみを異常と判定してもよい。

このように、部品認識カメラ１１は、認識した吸着ノズル１５の先端部１５ａが正常であるか否かを判定するが、あくまでも一例であり、上述の判定手段に限定されない。

認識した吸着ノズル１５の先端部１５ａが異常である（正常でない）ことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ２９でＮＯ）、報知部３４は、吸着ノズル１５の先端部１５ａが異常であることを示すエラーを報知する（Ｓ３０）。これにより、作業者は、吸着ノズル１５の先端部１５ａが異常であることを認識することができる。

一方、認識した吸着ノズル１５の先端部１５ａが正常であることを、判定部２５が判定した場合（Ｓ２９でＹＥＳ）、流量センサ１６は、正常な吸着ノズル１５によって部品装着動作中に先端部１５ａが正常であると判定された吸着ノズル１５の真空流量を測定する（Ｓ３１）。流量センサ１６は、真空流量の計測結果を判定部２５に出力する。

次に、判定部２５は、流量センサ１６から真空流量の計測結果を取得すると、ステップＳ３１における吸着ノズル１５の真空流量が正常か否かを判定する（Ｓ３２）。

ここでは、正常な吸着ノズル１５が部品装着動作をしている間に、当該吸着ノズル１５の真空流量を測定することで、当該吸着ノズル１５の真空流量が正常か否かの判定について、図９のｂを用いて説明する。

図５及び図９のｂに示すように、吸着ノズル１５の真空流量においては、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値以上か否かを判定する。図９のｂの一点鎖線で示す吸着ノズル１５の真空流量が、破線で示す所定値未満の場合、吸着ノズル１５の先端部１５ａの変形又は異物の付着等が考えられる。このため、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値未満であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量は異常であると判定する（Ｓ３２でＮＯ）。そして、報知部３４は、吸着ノズル１５の先端部１５ａが異常であることを示すエラーを報知する（Ｓ３３）。これにより、作業者は、吸着ノズル１５の先端部１５ａが異常であることを認識することができる。

一方、図９のｂの実線で示す吸着ノズル１５の真空流量が、破線で示す所定値以上の場合、吸着ノズル１５の先端部１５ａが正常であると考えられる。このため、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値以上であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量は正常であると判定する（Ｓ３２でＹＥＳ）。

次に、判定部２５は、正常な吸着ノズル１５によって基板３への部品の装着動作が完了しているか否かを判定する（Ｓ３４）。

判定部２５は、基板３への部品の装着動作が完了していないことを判定する（Ｓ３４でＮＯ）。そして、部品装着装置１は、ステップＳ３４に処理動作を戻す。

一方、基板３への部品の装着動作が完了したことを、判定部２５が判定した場合（Ｓ３４でＹＥＳ）、部品装着装置１は、ステップＳ２２に処理動作を進める。

上述より、ステップＳ２１でＹＥＳの場合、ステップＳ２６でＹＥＳの場合、又は、ステップＳ３４でＹＥＳの場合、部品装着装置１は、生産が完了したか否かを判定する（Ｓ２２）。

部品装着装置１は、生産が完了していないことを判定した場合（Ｓ２２でＮＯ）、ステップＳ１１に処理動作を戻す。

一方、部品装着装置１は、生産が完了したことを判定した場合（Ｓ２２でＹＥＳ）、処理動作を終了する。

＜作用効果＞
次に、本実施の形態における部品装着装置１及び部品装着方法の作用効果について説明する。

上述したように、本実施の形態の部品装着装置１は、部品を基板３に装着する部品装着装置１であって、部品を吸着する第１吸着ノズル１５ｂ１と、第１吸着ノズル１５ｂ１と並んで設けられた、部品を吸着する第２吸着ノズル１５ｂ２と、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する計測部（流量センサ１６）とを備えている。そして、計測部は、第１吸着ノズル１５ｂ１が基板３への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。

例えば従来のように、生産中に吸着ノズルの先端部を所定位置まで移動させた後に、吸着ノズルの内部を通過する流量を計測する場合、吸着ノズルを所定位置までアクセスする時間、及び、別途吸着ノズルの内部を通過する流量を計測する時間を要することとなる。このため、生産を実質的に停止させることになるため、部品装着装置における生産性が低下してしまう恐れがある。

しかしながら、本実施の形態によれば、流量センサ１６は、第１吸着ノズル１５ｂ１が基板３への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測することができる。つまり、流量センサ１６は、第１吸着ノズル１５ｂ１による基板３への部品の装着動作と並行して部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測することができる。このため、本実施の形態では、従来のように、別途、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測させる必要もない。

したがって、この部品装着装置１では、生産の時間的損失の発生を抑制することができる。その結果、例えば、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測させるために部品装着装置１を停止させたり、別途、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測させる時間を要したりすることもないため、部品装着装置１における生産性の低下を抑制することができる。

また、本実施の形態の部品装着方法は、部品装着装置１を用いて部品を基板３に装着する部品装着方法であって、部品装着装置１は、部品を吸着する第１吸着ノズル１５ｂ１と、第１吸着ノズル１５ｂ１と並んで設けられた、部品を吸着する第２吸着ノズル１５ｂ２とを有している。そして、部品装着方法は、第１吸着ノズル１５ｂ１が基板３への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。

この部品装着方法においても、上述と同様の作用効果を奏する。

また、本実施の形態の部品装着装置１において、流量は、真空流量又はブロー流量である。

これによれば、流量センサ１６は、部品を吸着した第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測することができ、部品を吸着していない第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測することもできる。これにより、例えば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２における部品吸着の有無の判定、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の状態の判定をすることができるようになる。

また、本実施の形態の部品装着装置１は、判定部２５をさらに備えている。そして、流量が真空流量である場合、判定部２５は、真空流量が第１所定値以上か否かを判定する。

これによれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の内部を流れる空気の流量を計測することで、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の状態を精度よく判定することができる。例えば、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値以上であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量は正常（第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が正常）であると判定する。また、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量が第１所定値未満であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の真空流量は異常（第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が異常）であると判定することができる。

また、本実施の形態の部品装着装置１において、流量がブロー流量である場合、判定部２５は、ブロー流量が第２所定値以上か否かを判定する。

これによれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２の内部を流れる空気の流量を計測することで、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されていることを精度よく判定することができる。例えば、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量が第２所定値以上であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量は正常（第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が正常）であると判定する。また、判定部２５は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量が第２所定値未満であれば、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２のブロー流量は異常（第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が異常）であると判定する。

また、本実施の形態の部品装着装置１は、報知部３４をさらに備えている。そして、真空流量が第１所定値未満であると判定された場合、又は、ブロー流量が第２所定値未満であると判定された場合、報知部３４は、エラーを報知する。

真空流量が第１所定値未満であると判定された場合、又は、ブロー流量が第２所定値未満であると判定された場合は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が異常であることを意味している。このため、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が異常（不良品）であることを報知することができるため、部品装着装置１の作業者は、部品装着装置１に異常な第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２が存在していることを認識することができる。このため、即座に異常な第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２を交換したりする等の対応をとることができるようになる。このため、部品装着装置１における製品の歩留まりの低下を抑制することができる。

また、本実施の形態の部品装着装置１において、計測部は、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品を基板３に装着した後に、部品を吸着していない第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。

これによれば、第２吸着ノズル１５ｂ２が部品を基板３に装着した後に、第１吸着ノズル１５ｂ１が基板３への部品の装着動作を行っていても、当該装着動作と平行して、計測部は、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測することができる。このため、部品装着装置１では、生産の時間的損失の発生をより抑制することができる。

また、本実施の形態の部品装着装置１は、第１吸着ノズル１５ｂ１又は第２吸着ノズル１５ｂ２に吸着された部品を認識する認識部（部品認識カメラ１１）をさらに備えている。そして、判定部２５は、認識部の認識結果に基づいて、第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されているか否かを判定する。

これによれば、第２吸着ノズル１５ｂ２に吸着されている部品を認識することができる。このため、例えば、生産データに応じた部品であるか否かを判定したり、第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されているか否かを判定したりすることもできる。

また、本実施の形態の部品装着装置１において、第２吸着ノズル１５ｂ２に部品が吸着されていないと判定部２５が判定した場合、計測部は、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量を計測する。

これによれば、第２吸着ノズル１５ｂ２を流れる空気の流量に基づいて、第２吸着ノズル１５ｂ２が正常であるか否かを判定することができる。このため、第２吸着ノズル１５ｂ２に異常があれば、即座に異常のある第２吸着ノズル１５ｂ２を交換したりする等の対応をとることができるようになる。このため、部品装着装置１における製品の歩留まりの低下を抑制することができる。

（その他の変形例）
以上、本開示に係る部品装着装置及び部品装着方法について、上記各実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思い付く各種変形を実施の形態に施したものも、本開示の範囲に含まれてもよい。

例えば、上記実施の形態に係る部品装着装置及び部品装着方法において、部品認識カメラによる部品が正常か否かの判定、吸着ノズルの先端部が正常であるか否かの判定等は、判定部が行ってもよい。この場合、部品認識カメラは、部品及び吸着ノズルの先端部を撮像した画像データを判定部に出力してもよい。

また、上記実施の形態に係る部品装着装置及び部品装着方法に含まれる各部は典型的に集積回路であるＬＳＩとして実現される。これらは個別に１チップ化されてもよいし、一部又は全てを含むように１チップ化されてもよい。

また、集積回路化はＬＳＩに限るものではなく、専用回路又は汎用プロセッサで実現してもよい。ＬＳＩ製造後にプログラムすることが可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、又はＬＳＩ内部の回路セルの接続や設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用してもよい。

なお、上記各実施の形態において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ又はプロセッサ等のプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリ等の記憶媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

また、上記で用いた数字は、全て本開示を具体的に説明するために例示するものであり、本開示の実施の形態は例示された数字に制限されない。

また、ブロック図における機能ブロックの分割は一例であり、複数の機能ブロックを一つの機能ブロックとして実現したり、一つの機能ブロックを複数に分割したり、一部の機能を他の機能ブロックに移してもよい。また、類似する機能を有する複数の機能ブロックの機能を単一のハードウェア又はソフトウェアが並列又は時分割に処理してもよい。

また、フローチャートにおける各ステップが実行される順序は、本開示を具体的に説明するために例示するためであり、上記以外の順序であってもよい。また、上記ステップの一部が、他のステップと同時（並列）に実行されてもよい。

なお、上記の各実施の形態に対して当業者が思い付く各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

本開示の部品装着装置及び部品装着方法は、部品を基板に実装する分野において有用である。

１ 部品装着装置
３ 基板
１１ 部品認識カメラ（認識部）
１５ 吸着ノズル
１５ａ 先端部
１５ｂ１ 第１吸着ノズル（吸着ノズル）
１５ｂ２ 第２吸着ノズル（吸着ノズル）
１６ 流量センサ（計測部）
２５ 判定部
３４ 報知部

Claims (9)

1. 部品を基板に装着する部品装着装置であって、
   部品を吸着する第１吸着ノズルと、
   前記第１吸着ノズルと並んで設けられた、部品を吸着する第２吸着ノズルと、
   前記第１吸着ノズル又は前記第２吸着ノズルを流れる空気の流量を計測する計測部とを備え、
   前記計測部は、前記第１吸着ノズルが前記基板への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない前記第２吸着ノズルを流れる空気の前記流量を計測する、
   部品装着装置。
2. 前記流量は、真空流量又はブロー流量である、
   請求項１に記載の部品装着装置。
3. 判定部をさらに備え、
   前記流量が前記真空流量である場合、前記判定部は、前記真空流量が第１所定値以上か否かを判定する、
   請求項２に記載の部品装着装置。
4. 前記流量が前記ブロー流量である場合、前記判定部は、前記ブロー流量が第２所定値以上か否かを判定する、
   請求項３に記載の部品装着装置。
5. 報知部をさらに備え、
   前記真空流量が前記第１所定値未満であると判定された場合、又は、前記ブロー流量が前記第２所定値未満であると判定された場合、前記報知部は、エラーを報知する、
   請求項４に記載の部品装着装置。
6. 前記計測部は、前記第２吸着ノズルが部品を前記基板に装着した後に、部品を吸着していない前記第２吸着ノズルを流れる空気の前記流量を計測する、
   請求項５に記載の部品装着装置。
7. 前記第１吸着ノズル又は前記第２吸着ノズルに吸着された部品を認識する認識部をさらに備え、
   前記判定部は、前記認識部の認識結果に基づいて、前記第２吸着ノズルに部品が吸着されているか否かを判定する、
   請求項６に記載の部品装着装置。
8. 前記第２吸着ノズルに部品が吸着されていないと前記判定部が判定した場合、前記計測部は、前記第２吸着ノズルを流れる空気の前記流量を計測する、
   請求項７に記載の部品装着装置。
9. 部品装着装置を用いて部品を基板に装着する部品装着方法であって、
   前記部品装着装置は、部品を吸着する第１吸着ノズルと、前記第１吸着ノズルと並んで設けられた、部品を吸着する第２吸着ノズルとを有し、
   前記部品装着方法は、
   前記第１吸着ノズルが前記基板への部品の装着動作を行っている間に、部品を吸着していない前記第２吸着ノズルを流れる空気の流量を計測する、
   部品装着方法。

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