JP2022168265A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI825353B (zh) * 2019-10-07 2023-12-11 日商牛尾電機股份有限公司 紫外線照射裝置
TWI841791B (zh) * 2019-10-07 2024-05-11 日商牛尾電機股份有限公司 紫外線照射裝置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001332216A (ja) * 2000-03-14 2001-11-30 Toshiba Lighting & Technology Corp 放電ランプ、光照射装置、殺菌装置、液体処理装置および空気清浄装置
JP2003017005A (ja) * 2001-06-27 2003-01-17 Harison Toshiba Lighting Corp 低圧放電ランプ
JP2003100482A (ja) * 2001-07-16 2003-04-04 Harison Toshiba Lighting Corp 誘電体バリア放電ランプ点灯装置
US6858988B1 (en) * 2001-10-31 2005-02-22 Old Dominion University Research Foundation Electrodeless excimer UV lamp
JP3702850B2 (ja) * 2002-01-24 2005-10-05 ウシオ電機株式会社 誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法
JP2004079270A (ja) * 2002-08-13 2004-03-11 Stanley Electric Co Ltd 外部電極型蛍光ランプ
JP3645897B2 (ja) * 2003-02-19 2005-05-11 Necライティング株式会社 外部電極方式放電ランプ及びその製造方法
WO2004110932A2 (en) * 2003-05-27 2004-12-23 Abq Ultraviolet Pollution Solutions, Inc. Method and apparatus for a high efficiency ultraviolet radiation source
JP2006092800A (ja) * 2004-09-21 2006-04-06 Harison Toshiba Lighting Corp 紫外線ランプ、空気清浄機
JP2006147387A (ja) * 2004-11-22 2006-06-08 Harison Toshiba Lighting Corp 低圧放電ランプ
JP2006286447A (ja) * 2005-04-01 2006-10-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 外部電極型蛍光ランプおよびバックライトユニット
JP4826446B2 (ja) * 2006-11-27 2011-11-30 ウシオ電機株式会社 光源装置
JP2008218403A (ja) * 2007-02-09 2008-09-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 放電ランプ、バックライトユニット、および液晶表示装置
JP5057071B2 (ja) * 2008-01-31 2012-10-24 ウシオ電機株式会社 エキシマランプ
JP2010262895A (ja) * 2009-05-11 2010-11-18 Ushio Inc 光源装置
JP6537418B2 (ja) * 2015-09-14 2019-07-03 株式会社オーク製作所 紫外線照射装置

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