JP2022126393A - タンク支持治具およびタンク洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】タンク支持治具およびタンク洗浄方法を提供する。【解決手段】筒状のタンクを支持するためのタンク支持治具であって、間に間隔をあけて対向する第１端および第２端を有する湾曲状本体と、前記間隔上に配置され、前記間隔を調整できるように前記湾曲状本体の第１端と第２端とを接続する接続部材と、を備え、前記湾曲状本体は、前記タンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接し、前記湾曲状本体と、前記接続部材とが、環状構造を形成することによって、前記タンクは、横置きとなるように前記環状構造中に配置される。【選択図】図６

Description

本発明は治具に関し、特にタンクを洗浄するためのタンク支持治具およびタンク洗浄方法に関するものである。

一般の半導体製造プロセスにおいて、化学薬液を大量に使用することがよくあるため、不純物が半導体装置に残ることを回避するには、化学薬液の純度が極めて重要である。

従来では、化学薬液は化学工場において製造され、タンクに注入されて半導体工場に搬送されるか、半導体工場に設けられているタンクに注入され、半導体工場において半導体製造プロセスに関する作業が行われる。よって、該タンクの内部に不純物が残らないようにするには、タンクに化学薬液が注入される前に、該タンクを予め洗浄する必要がある。こうすることにより、化学薬液に不純物が混入されることなく、化学薬液の純度が保持される。

ただし、従来のタンク洗浄方法は、図１Ａに示すように、まずタンク９’を直立状になるように立たせて、次に噴霧（図１Ａに示す霧状噴液８’）で該タンク９’の内部の洗浄を行う。しかしながら、このようなタンク洗浄方法は、該タンク９’の内部を均一に洗浄することができないのみならず、噴霧の力が極めて弱く該タンク９’の内壁面上の汚れを洗浄することが困難である。従って、該タンク９’に化学薬液が注入された後、該タンク９’の内部に残留する不純物が化学薬液に混入する場合があり、このような場合には化学薬液の純度は悪くなる。

一方、業界では該タンク９’を洗浄液に浸漬して洗浄する方法もある。例えば、図１Ｂに示すように、立たせたタンク９’内に洗浄液８’’をほぼ最大容量（９割以上）注入し、該タンク９’の不純物を長時間の浸漬で溶解除去した後、該洗浄液８’’を除去する。

しかしながら、従来の洗浄液浸漬の方法では、洗浄液８’’をほぼ最大容量の状態に充填しなければならないため、洗浄液８’’の大量使用および長時間の浸漬が必要あり、洗浄作業の費用コストや洗浄時間が大幅に増加し、洗浄作業の経済的利益は下がる。

さらに、従来の洗浄液浸漬の方法では、安全性の考慮のため、該タンク９’の内部の上端空間までに洗浄液８’’を注入することはないので、該タンク９’の内部の上端空間を洗浄することができない。よって、該タンク９’に化学薬液が注入された後、該タンク９’の内部の上端空間に残留した不純物が化学薬液に混入し、化学薬液の純度は悪くなり、該半導体の製造の歩留まりに影響することになる。

従って、上記従来技術の種々の問題を解消することは、現在解決しようとする極めて重要な課題となっている。

上記の従来技術の種々の欠点に鑑み、本発明は、筒状のタンクを支持するためのタンク支持治具であって、間に間隔をあけて対向する第１端および第２端を有する湾曲状本体と、前記間隔上に配置され、前記間隔を調整できるように前記湾曲状本体の第１端と第２端とを接続する接続部材と、を備え、前記湾曲状本体は、前記タンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接し、前記湾曲状本体と、前記接続部材とが、環状構造を形成することによって、前記タンクは、横置きとなるように前記環状構造中に配置されるタンク支持治具を提供する。

上記のタンク支持治具において、前記湾曲状本体は、互いに接続されている複数の支持部を含んでもよい。例えば、前記複数の支持部は、着脱自在に互いに接続されていってもよい。

上記のタンク支持治具において、前記支持部は、ロッドまたはシートであってもよい。また、前記支持部は、円弧状を呈してもよい。

上記のタンク支持治具において、前記接続部材は、馬蹄状を呈してもよい。

上記のタンク支持治具において、前記接続部材は、ネジ部材により前記湾曲状本体の第１端と第２端に接続されてもよい。

上記のタンク支持治具において、前記湾曲状本体を載置するベースをさらに有してもよい。例えば、前記タンクが横置きとなるように前記環状構造中に配置された際に前記タンクの回転を許容できるように、前記ベースは、前記湾曲状本体の外周面に周方向にスライド可能に接触してもよい。

本発明は、タンク支持治具を複数有し、前記複数のタンク支持治具は、前記タンクの軸方向で異なる位置に取り付けられるタンク支持治具群をさらに提供する。

また、本発明は、間に間隔をあけて対向する第１端および第２端を有する湾曲状本体と、前記間隔上に配置され、前記間隔を調整できるように前記湾曲状本体の第１端と第２端とを接続する接続部材と、を備え、前記湾曲状本体は、筒状のタンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接し、前記湾曲状本体と、前記接続部材とが、環状構造を形成することによって、前記タンクは、横置きとなるように前記環状構造中に配置されるよう構成されたタンク支持治具を用意するステップと、前記タンク支持治具を筒状のタンクに取り付け、前記タンク支持治具の前記環状構造をタンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接させることによって、前記タンクを横置きとなるように前記環状構造中に配置するステップと、前記タンクに洗浄液を注入するステップと、前記タンク支持治具が取り付けられ、かつ前記洗浄液が注入されている前記タンクを、前記環状構造の軸線周りに回転させることにより、前記洗浄液により前記タンクの内部を洗浄するステップと、を含む、タンク洗浄方法を提供する。

上記のタンク洗浄方法において、前記洗浄するステップにおいて、前記タンクを往復回転させてもよい。たとえば、前記接続部材を回転ストッパとし、前記回転ストッパを基準に前記タンクを往復回転させてもよい。

上記のタンク洗浄方法において、前記タンク部材に取り付けられた前記タンク支持治具の前記湾曲状本体を、前記タンクの回転を許容できるように前記湾曲状本体の外周面に周方向にスライド可能に接触するベースに載置するステップをさらに含んでもよい。

上記のタンク洗浄方法において、前記洗浄するステップにおいて、人力により前記タンクを動作させ、前記タンクを前記ベースに対して回転させてもよい。また、前記ベースが前記タンクを回転させる動作力を提供してもよい。

上記のように、本発明に係るタンク洗浄方法において、主に該タンクの横置きと該タンクの回転との組み合わせにより、該洗浄液は該タンク内部の不純物を攪拌して溶解除去することができる。従って、従来の噴霧タンク洗浄方法と比較すると、本発明に係るタンク洗浄方法は、該タンク内部のすべての領域を均一に洗浄することができる。また、該タンクの回転力が極めて強いため、タンク内部にある該洗浄液が激しく攪拌され、該タンク内壁面上の汚れを容易に洗浄除去することができる。このように、該タンクに半導体製造プロセスに必要な化学薬液が注入された後、該タンク内の化学薬液に不純物が混入されることがないため、純度は極めて高く、該半導体製造プロセスの歩留まりを確保することができる。

さらに、本発明に係るタンク洗浄方法は、該タンクの横置きと該タンクの回転との組み合わせにより、該タンクに最大容量の半分の洗浄液を注入すれば、洗浄作業を行うことができるため、該洗浄液の使用量を大幅に削減することができ、また長時間浸漬の工程も必要なくなるので、従来のタンク洗浄方法と比較すると、本発明に係るタンク洗浄方法は、洗浄作業の費用コストを大幅に低減させるとともに洗浄時間を短縮させることができ、洗浄作業の経済的利益を高める。

また、本発明に係るタンク洗浄方法は、該タンクの横置きと該タンクの回転との組み合わせにより、該タンクに最大容量の半分の洗浄液を注入すれば、洗浄作業を行うことができるため、洗浄作業の安全性の達成だけでなく、該タンク内部のすべての領域を洗浄することができる。従って、従来の浸漬タンク洗浄方法と比較すると、本発明に係るタンク洗浄方法は、洗浄作業が行われた後、該タンク内部のすべての領域に不純物が残留することはなく、該タンクに半導体製造プロセスに必要な化学薬液が注入された後、該タンク内の化学薬液に不純物が混入されることがないため、純度は極めて高く、該半導体製造プロセスの歩留まりを確保することができる。

また、本発明に係るタンク支持治具は、環状構造に構成され、洗浄液が注入されているタンクの外周面が受ける応力を効果的に分散させることができるため、洗浄液が注入された該タンクを変形させることなく強固に支持することができる。

図１Ａは従来のタンク洗浄の方法を示した模式図である。 図１Ｂは従来のタンク洗浄の他の方法を示した模式図である。 図２は本発明に係るタンク支持治具の模式的分解斜視図である。 図３は本発明に係るタンク支持治具の模式的上面図である。 図４は図３の模式的局所拡大図である。 図５は本発明に係るタンク支持治具の接続部材の模式的上面図である。 図６は本発明に係るタンク支持治具群がタンクを支持することを示した模式的斜視図である。 図７は本発明に係るタンク支持治具群がタンクを支持することを示した模式的左側面図である。 図８は図７の模式的局所拡大図である。 図９は本発明に係るタンク支持治具群がタンクを支持することを示した模式的正面図である。 図１０は本発明に係るタンクの内部を示した模式図である。

以下、本発明の実施形態を具体的な実施例に基づいて説明する。

また、本明細書に添付された図面に示す構造、比例、寸法等は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が理解できるように明細書に記載の内容に合わせて説明されるものであり、本発明の実施可能な限定条件を制限するものではない。そのため、技術上の実質的な意味を有せず、いかなる構造の修飾、比例関係の変更又は寸法の調整は、本発明の効果及び目的に影響を与えるものでなければ、本発明に開示された技術内容の範囲に含まれる。さらに、本明細書に記載された例えば「上」、「第１」、「第２」、「第３」等の用語は、説明を容易にするための記述であり、本発明の実施可能な範囲を限定するものではなく、その相対関係の変更または調整は、技術内容に実質的な変更がない場合においても本発明の実施可能な範囲と見なすものである。

図２ないし図５は本発明に係るタンク支持治具を示す図面である。図２に示すように、タンク支持治具１は、湾曲状本体１０と、接続部材１１とを備える。

この実施例において、該タンク支持治具１は、筒状のタンク９（図６参照）を支持するためのものである。例えば、該タンク９は化学薬品用貯蔵タンクであり、図１０に示すように、外観が略円筒状となるタンク本体９０と該タンク本体９０を支持するための脚座９１とを有する。該タンク９はタンク本体９０の直径Ｒが３４００ｍｍかつ総高さＨが５３４６ｍｍの金属容器構造を規格として採用しており、その総重量が約５トンである。ここで注意すべき点は、タンク９の種類が多様であり、上記の規格に限定されるものではないことである。

湾曲状本体１０は、間に間隔Ｇをあけて対向する第１端１０ａおよび第２端１０ｂを有する。

この実施例において、該湾曲状本体１０は、第１の支持部１０１、第２の支持部１０２、及び第３の支持部１０３を備え、これらは互いに接続されている。例えば、該第１の支持部１０１、第２の支持部１０２及び第３の支持部１０３は着脱自在に互いに接続されている。

一つの着脱方法として、該第１の支持部１０１、第２の支持部１０２及び第３の支持部１０３の端側には、図２に示すように、複数の貫通孔１００ａを有する少なくとも一つの板ベース１００が配置されており、互いに隣接する２つの支持部の板ベース１００が互いに位置を合わせて重ねられ、互いに重ね合わされた板ベース１００の該貫通孔１００ａにネジ（図示せず）を貫通させ、該ネジの端側をナット（図示せず）で固定することで、該ネジと該ナットとにより重ね合わされた板ベース１００同士が接続かつ固定され、隣接する２つの支持部が固定される。該貫通孔１００ａはネジ孔であることが好ましい。具体的には、該第１の支持部１０１の相対する両端は、それぞれ該第２の支持部１０２と該第３の支持部１０３とにネジ留めにより接続される。

さらに、該湾曲状本体１０は、該タンク９の周方向Ｗ（図６参照）に沿って該タンク９の外周面Ｓ（図６参照）の少なくとも一部に密接している。例えば、該湾曲状本体１０は、図２に示すように、その外周面Ｃ１においてその周方向に沿って中間段に位置する一つの軌道領域Ａと、該軌道領域Ａの両側にある２つの固定領域Ｂとが画定されているため、該軌道領域Ａによって該湾曲状本体１０が外力で回転され、該固定領域Ｂによって該タンク９の固定が強化される。

また、該湾曲状本体１０の内周面Ｃ２は、該タンク９の外周面Ｓへの密接に寄与するために、例えば黒色ゴムなどの軟質ゴムパッド面である。

上記の接続部材１１は、間隔Ｇ上に配置され、該間隔Ｇの幅ｔ（図３参照）を調整できるように該湾曲状本体１０の第１端１０ａと第２端１０ｂとを接続する。また、該湾曲状本体１０と該接続部材１１とが環状構造１ａ（図３参照）を形成し、該タンク９は、横置きとなるように該環状構造１ａ中に配置される。

この実施例において、該接続部材１１は、図５に示すように正面視において馬蹄状を呈しており、枠体１１１と該枠体１１１の対向する両側に形成された脚座１１２、１１３とから構成されている。例えば、該枠体１１１は、ヒレ状または肋骨状となり、該ヒレまたは肋骨には少なくとも１つの開口１１０ａが形成され、該２つの脚座１１２、１１３には、必要に応じて少なくとも１つの開口１１０ａ’が形成され、該２つの脚座１１２、１１３の側面上には例えばネジ孔である複数の貫通孔１１０ｂが形成されている。

さらに、該接続部材１１は、複数のネジ部材２１（図６参照）により、図２に示すように該湾曲状本体１０の第１端１０ａと第２端１０ｂに接続されている。例えば、該湾曲状本体１０の第１端１０ａと第２端１０ｂに例えばネジ孔である複数の貫通孔１００ｂを有する板ベース１００’がそれぞれ配置されることで、２つの脚座１１２、１１３の側面はそれぞれ該第１端１０ａの板ベース１００’と第２端１０ｂの板ベース１００’とに位置を合わせて重ねられ、さらに該ネジ部材２１によりそれらの貫通孔１００ｂ、１１０ｂを対応させて接合することで、該ネジ部材２１によりそれらの脚座１１２、１１３とそれらの板ベース１００’とが接続かつ固定され、該接続部材１１と該湾曲状本体１０とが固定される。具体的には、該接続部材１１の２つの脚座１１２、１１３は、それぞれ該第２の支持部１０２と該第３の支持部１０３とにネジ留めにより接続されている。

例えば、図３に示したように、該環状構造１ａは略円形環体に形成され、該第１の支持部１０１が１７０度角（図３に示す該環状構造１ａの円心Ｏに基づいた中心角度α）の弧形セグメントとなるように形成される。また、該第２の支持部１０２及び第３の支持部１０３は、該接続部材１１の構造や強度に基づいて角度の要求に応じた弧形セグメントを呈しているため、該接続部材１１はその材質特性またはネジ部材２１の回転締め付けの程度に応じて該間隔Ｇの幅ｔを調整することができる。このように、該接続部材１１、該第２の支持部１０２及び第３の支持部１０３は１９０度角の弧形セグメントとなる。例えば、該第２の支持部１０２及び第３の支持部１０３はそれぞれ弧度が同一の弧形セグメント（図３に示す該環状構造１ａの円心Ｏに基づいた８０度の対称角度β）である。

好ましくは、該接続部材１１の脚座１１２、１１３と、該第２の支持部１０２及び／または該第３の支持部１０３との間にブラケット（図示せず）を配置し、それらの脚座１１２、１１３が該第２の支持部１０２及び／または該第３の支持部１０３とが間隔（図４に示すピッチｄ）を開けるようにすることで、該間隔Ｇの幅ｔを調整し、即ち該幅ｔを増大させてもよい（例えば該ピッチｄに該接続部材１１の２つの脚座１１２、１１３の側面の間の距離が加えられる）。ここで注意すべき点は、該ネジ部材２１により、それらの脚座１１２、１１３と、ブラケットと、それらの板ベース１００’とが接続かつ固定されることである。

また、該開口１１０ａ、１１０ａ’の構成により、該接続部材１１の応力分散も有利になり、応力集中による該接続部材１１の亀裂の問題を回避することができる。従って、該間隔Ｇの幅ｔを調整する過程において、該接続部材１１の構造を損壊から保護することができる。

他の実施例において、図６ないし図９を併せて参照すると、該タンク支持治具１は、該湾曲状本体１０を載置するための少なくとも１つのベース２０をさらに備える。例えば、該ベース２０は、該タンク９を該湾曲状本体１０に横置きする際に該タンク９の回転を許容するように、該湾曲状本体１０の外周面Ｃ１と周方向へ摺動自在に接触している。具体的には、該ベース２０は、図７に示すように、該湾曲状本体１０が外力により回転可能となるように、該湾曲状本体１０の軌道領域Ａに摺動自在に接触している。

上記のベース２０は、図６に示すように、ベース本体２０ａと、該ベース本体２０ａ上に設けられた複数の作用部材２０ｂとを含む。例えば、単一の作用部材２０ｂは、図９に示すように、支持ホルダー２０１により、該ベース本体２０ａに２つのローラ２００を並列配置する。また、該支持ホルダー２０１は該ベース本体２０ａ上に固定され、該２つのローラ２００は、該湾曲状本体１０の軌道領域Ａに接触できるように、その回転軸が該支持ホルダー２０１に接続されている（図７参照）。

さらに、それらの作用部材２０ｂは、図９に示すように、それらのローラ２００が該湾曲状本体１０を安定して回転させるように、該第１の支持部１０１の外周面Ｃ１の軌道領域Ａ上に対称的に配置されている。好ましくは、図７に示すように、該ベース本体２０ａは、それらの支持ホルダー２０１を複数の調整部材２０ｃにより固定してもよく、そのうち、該調整部材２０ｃは、図８に示すように、階段構造２０２を有しており、いずれか一つの階段２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃに該支持ホルダー２０１が係止されることにより、必要に応じて該支持ホルダー２０１の高低位置を変更し、それらのローラ２００の該第１の支持部１０１の外周面Ｃ１の軌道領域Ａにおける位置を調整することができる。このように、それらの作用部材２０ｂは該湾曲状本体１０の弧度の大きさに応じて適切な位置に調整することができる。

他の実施例において、図６ないし図９に示すように、複数（例えば３つ）のタンク支持治具１をタンク支持治具群２として組み立てることができる。また、それらのタンク支持治具１は、該タンク９の軸線Ｌの方向について異なる位置にそれぞれ取り付けられている。例えば、それらのタンク支持治具１は、該タンク９の軸線Ｌの方向に沿って間隔をあけて配列されている。ここで注意すべき点は、それらのタンク支持治具１は、長筒状のタンク支持治具群を呈するように密接して配列されてもよく、必要に応じて、該長筒状のタンク支持治具群の代わりに単一の長筒状のタンク支持治具を製造してもよい。

上記のタンク支持治具群２は、隣接するタンク支持治具１を接続する複数のホルダー２２を備える。例えば、該ホルダー２２の対向する両端側には複数の固定孔（符号付記なし）を有し、該タンク支持治具１は、湾曲状本体１０の外周面Ｃ１の固定領域Ｂに固定孔（図示せず）を有する複数の固定部材１２（図２参照）が配置されており、該ホルダー２２の対向する両端側がそれぞれ隣接するタンク支持治具１の固定部材１２に位置合わせて重ねられ、さらに、ネジ部材２１’によりそれらの固定孔を対応させて接合することで、それらの固定部材１２とそれらのホルダー２２とがネジ部材２１’により接続かつ固定され、隣接するタンク支持治具１が固定される。具体的には、それらのホルダー２２はそれぞれ隣接する第１の支持部１０１、隣接する第２の支持部１０２及び／または隣接する第３の支持部１０３をネジ留めにより接続する。

さらに、該固定部材１２の配置位置は、該タンク支持治具群２の構造強度を調整するために、必要に応じて調整することができる。例えば、図３に示す該環状構造１ａに基づいて、該固定部材１２は、該湾曲状本体１０の外周面Ｃ１の固定領域Ｂに対称的または均一的に配置可能である。例えば図３に示す該円心Ｏに対する９０度角の４つの箇所に配置可能である。そのうち、該第１の支持部１０１は、２つの箇所にそれらの固定部材１２が配置され、該第２の支持部１０２及び該第３の支持部１０３はそれぞれ一つの箇所にのみそれらの固定部材１２が配置されている。好ましくは、図９に示すように、該タンク９の４つの脚座９１はそれぞれそれらの固定部材１２の位置に対応する。

ここで注意すべき点は、該タンク支持治具１の種類は必要に応じて選択可能であり、例えば湾曲状本体１０が１つ、２つまたは４つ以上の弧形セグメントに変更されてもよく、該接続部材１１の形態が変更されてもよく、上記形態に限定されるものではないことである。

該タンク支持治具１を使用する場合は、図６に示すように、タンク９を横置きで該環状構造１ａに配置し、該湾曲状本体１０の内周面Ｃ２に密接させ、外力で該湾曲状本体１０を回動させることで、該タンク支持治具１をそれらのローラ２００に接しながら回転させる。これにより、該タンク支持治具１は、該タンク９の洗浄作業に適用することができる。

このため、図２ないし図１０を併せて参照すると、本発明は、タンク９の洗浄作業のためのタンク洗浄方法をさらに提供する。該洗浄作業で使用されるタンク洗浄方法についての具体的な工程は下記の通りである。

この実施例において、該タンク支持治具１の使用方法としては、該ベース２０の載置表面を基準面（例えば、地面などの環境表面）として、該タンク９の横置き方向を前後方向（すなわち、タンク９の軸線Ｌの方向。例えば、図６に示す矢印方向Ｘ）として定義し、該基準面の他方の座標軸を左右方向（例えば、図６に示す矢印方向Ｙ）として定義し、さらに該タンク９の横置き前の直立方向を上下方向（該基準面に垂直する方向。例えば、図６に示す矢印方向Ｚ）として定義する。

まず、該第１の支持部１０１を該ベース２０に配置し、該タンク９を傾倒させて該第１の支持部１０１に横置きで配置する。次に、該第２の支持部１０２及び該第３の支持部１０３を該第１の支持部１０１に接続かつ固定させ、さらに該接続部材１１で該第２の支持部１０２及び該第３の支持部１０３を接続かつ固定させることにより、環状構造１ａを形成する。これにより、該環状構造１ａは、図６に示すように、該タンク９の周方向Ｗに沿って該タンク９の外周面Ｓの少なくとも一部に密接して、該タンク支持治具１を構成する。そして、該タンク９は横置きで該タンク支持治具群２に固定される。

次に、図１０に示すように、洗浄液８を、該タンク９の輸送ポート９２を介して該タンク９の該タンク本体９０に注入する。また、洗浄液８は、該タンク９のタンク本体９０の最大容量ではなく、最大容量の約半分までに注入される。例えば、該輸送ポート９２には、該タンク本体９０内に入り込む輸送管９２０が接続されており、これにより該洗浄液８が該タンク本体９０内に注入される。

この実施例において、該洗浄液８は３１％の過酸化水素（Ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｐｅｒｏｘｉｄｅ）を含有し、その密度が１．１１ｇ／ｃｍ³である。該洗浄液８が多くともタンク本体９０の最大容量の半分の状態（重量が約２０トン）となっているため、該タンク支持治具１がそれらのローラ２００に接しながら回転される際に、該タンク本体９０内の洗浄液８は揺れ動かされる。

なお別の手順として、タンク９を傾倒させる前に、まず該洗浄液８を該タンク本体９０に注入し、それから該タンク９を傾倒させて該第１の支持部１０１に横置きで配置してもよい。

その後、例えば人力または電動等の外力で該湾曲状本体１０を回動させる。これにより、該タンク支持治具１（または該タンク支持治具群２）が設けられているとともに該洗浄液８が注入されている該タンク９は、該タンク９の軸線Ｌを回転軸として回転し、該タンク本体９０内の洗浄液８は揺れ動かされる。このように揺れ動かされた該洗浄液８により、該タンク本体９０の内部が洗浄される。

この実施例において、該接続部材１１は該ベース２０のローラ２００を通り越して摺動することができないため、該タンク９の回転は、該接続部材１１を始点として左方向（逆時計方向）または右方向（時計方向）、例えば図９に示す回転方向Ｆで揺動可能であるが、一回り回転することができない。例えば、該タンク９の回転角度は、該回転軸を中心として左方向へ約１３０度の角度で揺動したり右方向へ約１３０度の角度で揺動したり、または左下から右下へまたは右下から左下へ２６０度の角度で大幅に揺動することができる。従って、該洗浄過程において、該タンク９は往復回動、即ち逆時計方向と時計方向とで往復揺動可能である。ここで注意すべき点は、該タンク９の回転角度は該接続部材１１と該ベース２０の寸法により決めされており、該接続部材１１と該ベース２０の寸法を調整すれば、該タンク９の回転角度を変更することができる。

洗浄作業が終了すると、洗浄液８を該輸送管９２０により該タンク９の輸送ポート９２を介して該タンク本体９０から抽出し、該タンク９外の所定箇所、例えば廃液収集所（図示せず）に輸送する。

従って、本発明に係るタンク洗浄方法において、主に該タンク９の横置きと該タンク９の回転との組み合わせにより、該洗浄液８は該タンク９内部の不純物を攪拌して溶解除去することができる。従って、従来の噴霧洗浄方法と比較すると、本発明に係るタンク洗浄方法は、そのタンク９の回転角度が該タンク９のタンク本体９０の内部のすべての領域を効果的かつ均一に洗浄することができる。また、該タンク９の回転力が強く、タンク内部にある該洗浄液８が激しく攪拌されることで、該タンク９のタンク本体９０の内壁面上の汚れを容易に洗浄除去することができる。このように、該タンク９のタンク本体９０に半導体製造プロセスに必要な化学薬液が注入された後、該タンク９のタンク本体９０内の化学薬液に各種の不純物が混入されることがないため、純度は高くなり、該半導体製造プロセスの歩留まりを確保することができる。

さらに、従来の浸漬洗浄方法と比較すると、本発明に係るタンク洗浄方法は、該タンク９の横置きと該タンク９の回転との組み合わせにより、該タンク９のタンク本体９０にタンク本体９０の最大容量の半分の洗浄液８を注入すれば、洗浄作業を行うことができるため、該洗浄液８の使用量を大幅に削減することができ、長時間浸漬工程を行う必要もなくなる。従って、本発明に係るタンク洗浄方法は、洗浄作業の費用コストを大幅に低減するとともに洗浄時間を短縮することができ、洗浄作業の経済的利益を高める。

また、従来の浸漬洗浄方法と比較すると、本発明に係るタンク洗浄方法は、該タンク９の横置きと該タンク９の回転との組み合わせにより、該タンク９のタンク本体９０にタンク本体９０の最大容量の半分の洗浄液を注入すれば、洗浄作業を行うことができるため、洗浄作業の安全性を満たすだけでなく、該タンク９のタンク本体９０内部のすべての領域を洗浄することができる。従って、本発明に係るタンク洗浄方法は、洗浄作業が行われた後、該タンク９のタンク本体９０内部のすべての領域に不純物が残留することはなく、該タンク９のタンク本体９０に半導体製造プロセスに必要な化学薬液が注入された後、該タンク９のタンク本体９０内の化学薬液に各種の不純物が混入されることがないため、純度が高く、該半導体製造において高い歩留まりを確保することができる。

また、本発明に係るタンク洗浄方法の要求に応じて、本発明に係るタンク支持治具１（または該タンク支持治具群２）は、主に環状構造１ａの構成により、該タンク９の横置きや回転時の変形耐性（即ち、該タンク支持治具１または該タンク支持治具群２による強度補助機能）を強化し、洗浄液８が注入されているタンク９の外周面Ｓが受ける応力（例えば回転遠心力）を効果的に分散させることができるため、応力集中の問題が生じない。従って、該タンク支持治具１（または該タンク支持治具群２）は、洗浄液８が注入されている該タンク９（総重量約２５トン）を強固に支持することができ、該タンク９（洗浄液８が注入されてもよく、されなくてもよい）が変形することはない。

さらに、本発明に係るタンク支持治具１（タンク支持治具群２）は、ベース２０の構成により、該タンク９の回転時に外周面Ｓが受ける応力を分散させる。特に、該タンク９の重量を４つのローラ２００で支持する構成を採用しているため、洗浄液８が注入されているタンク９のローラ２００側に位置する外周面Ｓが受ける応力をより一層分散させることができる。従って、該タンク支持治具１（または該タンク支持治具群２）は、洗浄液８が注入されている該タンク９を強固に支持することができ、該タンク９が変形することはない。

上記のように、本発明に係るタンク支持治具およびタンク洗浄方法は、横置きのタンクを環状構造のタンク支持治具で支持するとともに該タンクを回転させる等の構成により、高い洗浄効果を発揮する洗浄作業を実現し、洗浄時間の短縮によって、例えば半導体ウェハ製造プロセスの起動時間（生産ラインの立ち上げ期間）を短縮することができるため、半導体製造プロセスの技術発展に寄与することになる。

さらに、本発明の横置き回転洗浄過程において、洗浄液が多くとも該タンクの最大容量の半分まで注入されれば良いため、洗浄液の費用を削減するのみならず、該洗浄作業で排出された洗浄液（即ち廃液）も少なくなり、廃液処理の費用を大幅に削減することができる。

上述した実施例は、本発明の原理及びその効果を例示的に説明したものに過ぎない。本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が、本発明の主旨を逸脱しない範囲でそれらの実施例に対して種々に修正や変更を施すことは、当然になしうることである。従って、本発明は、記載された実施例に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

１ タンク支持治具
１ａ 環状構造
１０ 湾曲状本体
１０ａ 第１端
１０ｂ 第２端
１００、１００’ 板ベース
１００ａ、１００ｂ、１１０ｂ 貫通孔
１０１ 第１の支持部
１０２ 第２の支持部
１０３ 第３の支持部
１１ 接続部材
１１０ａ、１１０ａ’ 開口
１１１ 枠体
１１２、１１３ 脚座
１２ 固定部材
２ タンク支持治具群
２０ ベース
２０ａ ベース本体
２０ｂ 作用部材
２０ｃ 調整部材
２００ ローラ
２０１ 支持ホルダー
２０２ 階段構造
２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃ 階段
２１、２１’ ネジ部材
２２ ホルダー
８、８’’ 洗浄液
８’ 霧状噴液
９ タンク
９’ タンク
９０ タンク本体
９１ 脚座
９２ 輸送ポート
９２０ 輸送管
α 中心角度
β 対称角度
Ａ 軌道領域
Ｂ 固定領域
Ｃ１ 外周面
Ｃ２ 内周面
ｄ ピッチ
Ｆ 回転方向
Ｇ 間隔
Ｈ 高さ
Ｌ 軸線
Ｏ 円心
Ｒ 直径
Ｓ 外周面
ｔ 幅
Ｗ 周方向
Ｘ、Ｙ、Ｚ 矢印方向

Claims (10)

1. 筒状のタンクを支持するためのタンク支持治具であって、
   間に間隔をあけて対向する第１端および第２端を有する湾曲状本体と、
   前記間隔上に配置され、前記間隔を調整できるように前記湾曲状本体の第１端と第２端とを接続する接続部材と、を備え、
   前記湾曲状本体は、前記タンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接し、前記湾曲状本体と、前記接続部材とが、環状構造を形成することによって、前記タンクは、横置きとなるように前記環状構造中に配置される、タンク支持治具。
2. 前記湾曲状本体は、互いに接続されている複数の支持部を含む、請求項１に記載のタンク支持治具。
3. 前記複数の支持部は、着脱自在に互いに接続されている、請求項２に記載のタンク支持治具。
4. 前記接続部材は、馬蹄状を呈している、請求項１～３のいずれか一項に記載のタンク支持治具。
5. 前記接続部材は、ネジ部材により前記湾曲状本体の第１端と第２端に接続されている、請求項１～３のいずれか一項に記載のタンク支持治具。
6. 前記湾曲状本体を載置するベースをさらに有する、請求項１に記載のタンク支持治具。
7. 前記タンクが横置きとなるように前記環状構造中に配置された際に前記タンクの回転を許容できるように、前記ベースは、前記湾曲状本体の外周面に周方向にスライド可能に接触している、請求項６に記載のタンク支持治具。
8. 請求項１～７のいずれか一項に記載のタンク支持治具を複数有し、前記複数のタンク支持治具は、前記タンクの軸方向で異なる位置に取り付けられる、タンク支持治具群。
9. 間に間隔をあけて対向する第１端および第２端を有する湾曲状本体と、
   前記間隔上に配置され、前記間隔を調整できるように前記湾曲状本体の第１端と第２端とを接続する接続部材と、を備え、
   前記湾曲状本体は、筒状のタンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接し、前記湾曲状本体と、前記接続部材とが、環状構造を形成することによって、前記タンクは、横置きとなるように前記環状構造中に配置されるよう構成されたタンク支持治具を用意するステップと、
   前記タンク支持治具を筒状のタンクに取り付け、前記タンク支持治具の前記環状構造をタンクの周方向に沿って前記タンクの外周面の少なくとも一部に密接させることによって、前記タンクを横置きとなるように前記環状構造中に配置するステップと、
   前記タンクに洗浄液を注入するステップと、
   前記タンク支持治具が取り付けられ、かつ前記洗浄液が注入されている前記タンクを、前記環状構造の軸線周りに回転させることにより、前記洗浄液により前記タンクの内部を洗浄するステップと、を含む、タンク洗浄方法。
10. 前記洗浄するステップにおいて、前記タンクを往復回転させる、請求項９に記載のタンク洗浄方法。

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