CN207966947U - 一种用于清洗晶圆的花篮装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于清洗晶圆的花篮装置，属于晶圆清洗技术领域，其包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括四个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，四个卡杆圆周均布的与卡盘连接；所述卡杆上设置齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；四个卡杆能够对晶圆起到限位以及支撑的作用。本实用新型与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

Description

一种用于清洗晶圆的花篮装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，特别是一种用于清洗晶圆的花篮装置。

背景技术

在晶圆加工过程中，清洗工艺多次进行，花篮装置作为清洗时固定晶圆片的装置而使用。目前清洗中使用的花篮与晶圆片的接触面积比较大，造成清洗槽内超声、兆声等辅助功能在花篮边缘位置衰减，使得晶圆片边缘位置清洗效果差，表面不均匀等，影响晶圆片整体的洁净程度和质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于清洗晶圆的花篮装置，其与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种用于清洗晶圆的花篮装置，其特征在于：包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括至少三个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，三个卡杆分别为一个第一卡杆和两个第二卡杆，所述两个第二卡杆在一个水平面，所述第一卡杆位于两个第一卡杆下方；所述卡杆上设置若干间距相等的齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；所述两个第二卡杆的齿槽是用于对晶圆进行水平方向的限位，所述第一卡杆的齿槽是用于对所述晶圆进行支撑。

所述内部固定件还包括第三卡杆，所述第三卡杆位于第二卡杆上方并且可拆卸的连接在侧板上，所述第三卡杆与所述第一卡杆一起作用来限制所述晶圆在竖直方向的运动。

所述卡杆与所述侧板是通过卡块和卡盘固定的，所述卡块通过螺杆和螺母固定在所述侧板上，所述卡块能够嵌入所述卡盘的卡槽内，以固定卡盘；所述卡盘端面设置有垂直端面的凸起，所述凸起与所述卡杆两端固定的缺口螺母相配合来实现卡杆的可拆卸固定。

所述齿槽为半环形齿槽或环形齿槽。

所述外部支撑部件还包括两个插杆，所述插杆位于两个侧板底部的两侧。所述插杆通过螺栓与所述侧板固定。

所述外部支撑部件还包括提杆，所述提杆设置在侧板上方，所述提杆通过螺栓与所述侧板固定。

所述侧板底部还设置有定位槽。

本实用新型提供的一种用于清洗晶圆的花篮装置，具有如下有益效果：

所述花篮装置与晶圆接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆片，避免清洗过程中晶圆片因抛动等产生的力而脱离花篮。

附图说明

图1为本实用新型的一种用于清洗晶圆的花篮装置的结构示意图。

图中：

1、侧板

2、第二卡杆

3、第三卡杆

4、齿槽

5、晶圆

6、卡块

7、卡盘

71、卡槽

72、凸起

8、缺口螺母

9、插杆

10、提杆

11、定位槽。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本实用新型做进一步说明，以助于理解本实用新型的内容。

如图1所示，本实用新型的一种用于清洗晶圆的花篮装置，包括外部支撑部件和内部固定部件。外部支撑部件包括两个侧板1、两个插杆9以及一个提杆10。两个侧板1平行间隔设置，两个侧板1组成的内部空间底部的两侧分别设置一个插杆9，两个插杆9平行设置，两个侧板1组成的内部空间上方设置提杆10，插杆9和提杆10均通过螺栓与侧板1固定。两个侧板1底部中心位置设置定位槽11。两个侧板1底部较上部宽，增加了外部支撑部件的稳定性，单个提杆10的设计方便手提。内部固定部件包括卡块6、卡盘7和卡杆。卡块6通过螺杆和螺母固定在侧板1上，卡盘7上设置卡槽71，卡块6的结构与卡盘7和卡槽71的结构是相匹配的，能够限制卡盘7沿圆周方向的运动。卡盘7上还设置有凸起72，卡杆两端固定有缺口螺母8，凸起72与缺口螺母8的缺口相配合，能够实现卡杆在外部支撑部件上的可拆卸连接。内部固定部件四个平行设置的卡杆，一个第一卡杆、两个第二卡杆2和一个第三卡杆3，四个卡杆圆周均布的与卡盘7连接，两个第二卡杆2在一个水平面，第一卡杆在两个第二卡杆2中间位置的正下方，第三卡杆3在以两个第二卡杆2连成的直线为对称轴的第一卡杆的对称位置。卡杆上设置若干间距相等的齿槽4，齿槽4的间距与晶圆5的厚度相适应，齿槽4的走向与卡杆的轴向垂直，若干齿槽4沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽71的位置一一对应；两个第二卡杆2的齿槽4是用于对晶圆5进行水平方向的限位，第一卡杆的齿槽4是用于对晶圆5进行支撑。第三卡杆3与第一卡杆一起作用来限制晶圆5在竖直方向的运动。卡杆和齿槽4的设置使得花篮装置与晶圆5接触面积小，且清洗中花篮可封闭固定晶圆5片，避免清洗过程中晶圆5片因抛动等产生的力而脱离花篮。

卡杆数量也可以为三个，即第三卡杆3可以省略，通过第一卡杆和第二卡杆2也可以实现固定晶圆5，从而进行清洗。

齿槽4可以为半环形齿槽或环形齿槽，本实施例中优选半环形齿槽，带有半环形齿槽的卡杆在使用时齿槽4在内侧接触晶圆5，裸露在外面的卡杆是光滑的，避免齿槽4裸露在外侧造成误划晶圆5或者对其他物品造成损伤。

花篮装置的全部部件均由PVDF材质制成，由于晶圆5在生产过程中需要接触浓度较高的酸碱溶液，并会有较高的使用温度，采用PVDF材质既可以提高花篮装置的耐酸碱度，又可以承受较高的温度。

本文中应用了具体个例对实用新型构思进行了详细阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离该实用新型构思的前提下，所做的任何显而易见的修改、等同替换或其他改进，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于清洗晶圆的花篮装置，其特征在于：包括外部支撑部件和内部固定部件；所述外部支撑部件包括两个平行间隔设置的侧板；所述内部固定部件包括至少三个平行设置的卡杆，所述卡杆的两端分别固定在两个侧板相对面的下方，三个卡杆分别为一个第一卡杆和两个第二卡杆，所述两个第二卡杆在一个水平面，所述第一卡杆位于两个第一卡杆下方；所述卡杆上设置若干间距相等的齿槽，所述齿槽的间距与晶圆片厚度相适应，所述齿槽的走向与卡杆的轴向垂直，所述齿槽沿卡杆的轴向分布，分布在不同卡杆上的卡槽的位置一一对应；所述两个第二卡杆的齿槽是用于对晶圆进行水平方向的限位，所述第一卡杆的齿槽是用于对所述晶圆进行支撑。

2.根据权利要求1所述的花篮装置，其特征在于：所述内部固定件还包括第三卡杆，所述第三卡杆位于第二卡杆上方并且可拆卸的连接在侧板上，所述第三卡杆与所述第一卡杆一起作用来限制所述晶圆在竖直方向的运动。

3.根据权利要求1或2所述的花篮装置，其特征在于：所述卡杆与所述侧板是通过卡块和卡盘固定的，所述卡块通过螺杆和螺母固定在所述侧板上，所述卡块能够嵌入所述卡盘的卡槽内，以固定卡盘；所述卡盘端面设置有垂直端面的凸起，所述凸起与所述卡杆两端固定的缺口螺母相配合来实现卡杆的可拆卸固定。

4.根据权利要求3所述的花篮装置，其特征在于：所述齿槽为半环形齿槽。

5.根据权利要求3所述的花篮装置，其特征在于：所述齿槽为环形齿槽。

6.根据权利要求4或5所述的花篮装置，其特征在于：所述外部支撑部件还包括两个插杆，所述插杆位于两个侧板底部的两侧。

7.根据权利要求6所述的花篮装置，其特征在于：所述插杆通过螺栓与所述侧板固定。

8.根据权利要求7所述的花篮装置，其特征在于：所述外部支撑部件还包括提杆，所述提杆设置在侧板上方。

9.根据权利要求8所述的花篮装置，其特征在于：所述提杆通过螺栓与所述侧板固定。

10.根据权利要求9所述的花篮装置，其特征在于：所述侧板底部设置定位槽。