CN203967059U - 单片清洗用晶片夹固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种单片清洗用晶片夹固定装置。主要解决了现有技术中存在的现有单片化学试剂清洗中造成晶片刮伤及腐蚀不均的问题。其特征在于：所述的支撑面板（1）中心底部开有圆孔（2），圆孔（2）上部开有锥形面孔（3），支撑面板（1）边缘设置若干个U型口（4），在支撑面板底部设计若干个柱脚（5）。该单片清洗用晶片夹固定装置，能够规范晶片夹旋转角度，不损伤晶片，使晶片各个位置进行均匀腐蚀。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片加工技术领域中一种固定装置，特别是一种单片清洗用晶片夹固定装置。
背景技术
半导体晶片作为半导体器件的衬底材料，其表面性质及状态对器件性能有着至关重要的影响，因此，获得无缺陷表面及更高的表面洁净度是晶片清洗技术发展的方向。当前晶片清洗工艺中通常包括去离子水冲洗、化学试剂清洗、超声或兆声清洗等工序。在化学试剂清洗中需要不断转动晶片夹，以使晶片表面腐蚀均匀，但在转动过程中片夹容易刮蹭容器壁，造成晶片刮伤等缺陷甚至碎裂；片夹在试剂中的转动轨迹不固定，容易出现腐蚀不均的现象；人为因素对晶片清洗质量影响较大，晶片清洗质量的一致性较差。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服背景技术中存在的现有单片化学试剂清洗中造成晶片刮伤及腐蚀不均的问题，而提供一种单片清洗用晶片夹固定装置，该单片清洗用晶片夹固定装置，能够规范晶片夹旋转角度，不损伤晶片，使晶片各个位置进行均匀腐蚀。
本实用新型解决其问题可通过如下技术方案来达到：该单片清洗用晶片夹固定装置，包括圆形支撑面板，所述的支撑面板中心底部开有圆孔，圆孔上部开有锥形面孔，支撑面板边缘设置若干个U型口，在支撑面板底部设计若干个柱脚。
本实用新型与上述背景技术相比较可具有如下有益效果：该单片清洗用晶片夹固定装置由于采用上述结构，晶片在化学试剂清洗过程中可实现固定位置旋转，防止晶面表面损伤，晶片表面腐蚀均匀性好；生产人员可实现一致性操作，有效提高晶片产品一致性，提高生产质量的稳定性。
附图说明：
附图1是本实用新型的结构示意图；
附图2是附图沿A-A向的结构示意图。
图中：1- 支撑面板，2- 圆孔，3-锥形面孔 ，4-U型口 ，5- 柱脚。
具体实施方式：
下面结合附图将对本实用新型作进一步说明：
附图1结合图2所示，该单片清洗用晶片夹固定装置，包括圆形支撑面板1，所述的支撑面板1中心底部开有圆孔2，用于固定片夹；圆孔2上部开有锥形面孔3，与片夹两边部分贴合；支撑面板1边缘设置3个U型口4， U型口4宽度为15-20mm，与成人拇指宽度一致，以方面放取；3个U型口4呈等位分布，在支撑面板1底部设计三个柱脚5，以支撑固定装置，三个柱脚5呈等位分布。
以化学试剂清洗用1000ml烧杯为例，该单片清洗用晶片夹固定装置，其形状与烧杯底部相配合，选用石英玻璃材质，支撑面直径112mm，U型口宽度10mm，圆口直径为10mm，本固定装置适应标准2寸用晶片夹。使晶片夹在试剂清洗中通过固定位置进行旋转，可规范设计晶片夹旋转角度，使之进行一致性操作，使晶片各个位置进行均匀腐蚀。设置柱脚及U型口，使操作更方便。
Claims (4)
1. 一种单片清洗用晶片夹固定装置，包括圆形支撑面板（1），其特征在于：所述的支撑面板（1）中心底部开有圆孔（2），圆孔（2）上部开有锥形面孔（3），支撑面板（1）边缘设置若干个U型口（4），在支撑面板底部设计若干个柱脚（5）。
2.根据权利要求1所述的单片清洗用晶片夹固定装置，其特征在于：所述的 U型口（4）宽度为15-20mm。
3. 根据权利要求1所述的单片清洗用晶片夹固定装置，其特征在于：所述的U型口（4）及柱脚（5）分别呈等位分布。
4. 根据权利要求1或3所述的单片清洗用晶片夹固定装置，其特征在于：所述的U型口（4）及柱脚（5）分别为3个。
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| CN (1) | CN203967059U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106548971A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-03-29 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种湿法单片清洗机台的卡盘 |
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2014
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|---|---|---|---|---|
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Granted publication date: 20141126 |