CN106548971A - 一种湿法单片清洗机台的卡盘 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种湿法单片清洗机台的卡盘，包括卡盘本体、卡盘基座、轴承、卡环和卡扣，所述卡盘基座和卡环均位于所述卡盘本体上，所述轴承的内侧套装在所述卡盘基座的外侧上，所述卡环的内侧套装在所述轴承的外侧上，所述卡扣设有多个，多个所述卡扣沿所述卡环的外侧边沿分布在所述卡盘本体上且对所述卡环进行限位，所述卡盘基座和所述轴承之间通过卡锁固定连接。本发明一种湿法单片清洗机台的卡盘在卡盘基座和轴承之间增加卡锁，在卡盘基座磨损的情况下，可以避免卡盘基座和卡环之间的相对移动，减少卡扣的磨损，进而避免因卡扣的急剧磨损而造成的晶圆蚀刻平整度变差甚至晶圆碎片，同时提高卡盘基座的使用周期。

Description

一种湿法单片清洗机台的卡盘
技术领域
本发明涉及一种卡盘，具体涉及一种湿法单片清洗机台的卡盘。
背景技术
随着半导体技术的发展，半导体芯片的规格和尺寸也越来越小，对半导体工艺的要求也越来越严格，尤其是各种制程对蚀刻率和蚀刻的平整度的要求越来越高。在湿法清洗的工艺提升中，单片清洗(single wafer clean)作为当下湿法工艺的主流的工艺提升尤为重要。在单片清洗中，晶圆在卡盘上的旋转式的蚀刻率和平整度主要来自对卡盘的旋转的平衡性和稳定性。因此进一步提升卡盘的旋转的平衡性和稳定性显得尤为重要，也是技术提升的难点所在。
在现有的单片式清洗的卡盘设计中卡盘基座(塑料)和卡环(金属)的轴承之间采用的扩口式固定安装，卡环(金属)和轴承外侧以扩口式固定安装，但是由于材料的缺陷和频繁的拆装导致卡盘基座的塑料有不同程度的磨损，而导致卡环与卡盘基座的固定松动，产生相对移动而影响卡扣的开度和松紧度，进而造成卡扣在制程过程中的磨损，磨损会造成晶圆的晃动，影像蚀刻的平整度，严重的会造成晶圆碎片。随着工艺制程对蚀刻率和蚀刻的平整度的要求越来越高，晶圆在卡盘上卡不紧而造成的相对转动而造成的蚀刻的平整度的影响越来越大，就增大了常规的根据磨损程度更换卡盘的消耗。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种减少磨损、提高使用周期和提高晶圆刻蚀平整度的湿法单片清洗机台的卡盘。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种湿法单片清洗机台的卡盘，包括卡盘本体、卡盘基座、轴承、卡环和卡扣，所述卡盘基座和卡环均位于所述卡盘本体上，所述轴承的内侧套装在所述卡盘基座的外侧上，所述卡环的内侧套装在所述轴承的外侧上，所述卡扣设有多个，多个所述卡扣沿所述卡环的外侧边沿分布在所述卡盘本体上且对所述卡环进行限位，所述卡盘基座和所述轴承通过卡锁固定连接。
本发明的有益效果是：本发明一种湿法单片清洗机台的卡盘在卡盘基座和轴承之间增加卡锁，在卡盘基座磨损的情况下，可以避免卡盘基座和卡环之间的相对移动，减少卡扣的磨损，进而避免因卡扣的急剧磨损而造成的晶圆蚀刻平整度变差甚至晶圆碎片，同时提高卡盘基座的使用周期。
在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
进一步，所述卡锁设在所述卡盘基座和所述轴承之间，所述卡锁包括卡销以及与所述卡销形状和尺寸相匹配的凹槽，所述卡销设置在所述轴承的内侧上，所述凹槽设置在所述卡盘基座的外侧上，所述轴承通过所述卡销卡接在所述凹槽中与所述卡盘基座固定连接。
采用上述进一步方案的有益效果是：卡锁包括卡销以及凹槽，卡销卡接在所述凹槽中可以提高卡盘基座和轴承之间连接的牢靠度，可以完全避免卡盘基座和卡环之间的相对移动。
进一步，所述卡销为U形卡销，所述凹槽为U形凹槽。
进一步，所述卡锁设有多个，多个所述卡锁均匀分布在所述卡盘基座和所述轴承之间。
采用上述进一步方案的有益效果是：卡锁设有多个，且均匀分布，可以提高卡盘基座和轴承之间连接的稳定性。
进一步，所述卡盘基座由塑料材料构成，所述卡环和轴承由金属材料构成。
进一步，所述轴承内侧扩口式套装在所述卡盘基座的外侧上。
进一步，所述卡环的内侧扩口式套装在所述轴承的外侧上。
附图说明
图1为本发明一种湿法单片清洗机台的卡盘的平面结构示意图；
图2为本发明一种湿法单片清洗机台的卡盘的剖视图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、卡盘本体，2、卡盘基座，3、轴承，4、卡环，5卡扣，6、卡锁。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
如图1和图2所示，一种湿法单片清洗机台的卡盘，包括卡盘本体1、卡盘基座2、轴承3、卡环4和卡扣5，所述卡盘基座2由塑料材料构成，所述卡环4和轴承3由金属材料构成；所述卡盘基座2和卡环4均位于所述卡盘本体1上，所述轴承3的内侧扩口式套装在所述卡盘基座2的外侧上，所述卡环4的内侧扩口式套装在所述轴承3的外侧上，所述卡扣5设有多个，多个所述卡扣5沿所述卡环4的外侧边沿分布在所述卡盘本体1上且对所述卡环4进行限位；所述卡盘基座2和所述轴承3之间通过卡锁6固定连接。所述卡锁6设在所述卡盘基座2和所述轴承3之间,所述卡锁6包括卡销以及与所述卡销形状和尺寸相匹配的凹槽，所述卡销设置在所述轴承3的内侧上，所述凹槽设置在所述卡盘基座2的外侧上，所述轴承3通过所述卡销卡接在所述凹槽中与所述卡盘基座2固定连接。所述卡销为U形卡销，所述凹槽为U形凹槽。所述卡锁6设有多个，多个所述卡锁6均匀分布在所述卡盘基座2和所述轴承3之间。
本发明一种湿法单片清洗机台的卡盘在卡盘基座和轴承之间采用的扩口式固定安装基础上，在卡盘基座和轴承之间设计U形卡锁，来完全避免由于卡盘基座磨损而造成的松动，进而避免卡扣的急剧磨损造成的晶圆蚀刻平整度变差甚至晶圆碎片的问题；同时可以提高卡扣和卡盘基座的使用周期。
本发明适用于各种湿法单片清洗机台型号的卡盘。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：包括卡盘本体(1)、卡盘基座(2)、轴承(3)、卡环(4)和卡扣(5)，所述卡盘基座(2)和卡环(4)均位于所述卡盘本体(1)上，所述轴承(3)的内侧套装在所述卡盘基座(2)的外侧上，所述卡环(4)的内侧套装在所述轴承(3)的外侧上，所述卡扣(5)设有多个，多个所述卡扣(5)沿所述卡环(4)的外侧边沿分布在所述卡盘本体(1)上且对所述卡环(4)进行限位，所述卡盘基座(2)和所述轴承(3)通过卡锁(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：所述卡锁(6)设在所述卡盘基座(2)和所述轴承(3)之间,所述卡锁(6)包括卡销以及与所述卡销形状和尺寸相匹配的凹槽，所述卡销设置在所述轴承(3)的内侧上，所述凹槽设置在所述卡盘基座(2)的外侧上，所述轴承(3)通过所述卡销卡接在所述凹槽中与所述卡盘基座(2)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：所述卡销为U形卡销，所述凹槽为U形凹槽。
4.根据权利要求1至3任一项所述的一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：所述卡锁(6)设有多个，多个所述卡锁(6)均匀分布在所述卡盘基座(2)和所述轴承(3)之间。
5.根据权利要求1至3任一项所述的一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：所述卡盘基座(2)由塑料材料构成，所述卡环(4)和轴承(3)由金属材料构成。
6.根据权利要求1至3任一项所述的一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：所述轴承(3)内侧扩口式套装在所述卡盘基座(2)的外侧上。
7.根据权利要求1至3任一项所述的一种湿法单片清洗机台的卡盘，其特征在于：所述卡环(4)的内侧扩口式套装在所述轴承(3)的外侧上。
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