CN204257602U - 一种石墨舟舟片拆洗夹具装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括两块主边板、两块挡板、舟片卡槽和支撑主横杆；所述两块主边板和两块挡板组成矩形框架，所述舟片卡槽设置在矩形框架内部，所述支撑主横杆设置在矩形框架内底部；所述舟片卡槽为两组、分别设置在所述矩形框架内部两侧，每组所述舟片卡槽连接在所述两块主边板之间。本实用新型通过设置支撑框架、设于支撑框架内用于放置石墨舟舟片的舟片卡槽，为石墨舟提供拆洗的可能，保证石墨舟舟片表面氮化硅清洗更加彻底。

Description

一种石墨舟舟片拆洗夹具装置

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟舟片拆洗夹具装置。

背景技术

太阳能电池生产制造工艺有制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷，其在PECVD工序，需要用到一种硅片载具—石墨舟，PECVD管式镀膜即将插满刻蚀后硅片的石墨舟一同进入CT炉管镀氮化硅薄膜，每镀膜一次，石墨舟舟片表面都会吸附一定量的氮化硅膜，当该石墨舟使用到一定次数时，其舟片表面将会沉积一层较厚的氮化硅膜，且石墨舟上的工艺卡点槽内也会积满氮化硅，舟片表面附着较厚的氮化硅后，再次镀膜时，石墨舟片较吸附较少的氮化硅，而硅片必然将吸附更多的氮化硅，这会造成硅片表面膜厚不均匀，极易产生色差片，造成返工，工艺卡点槽内的氮化硅的积多会使硅片插不进工艺卡点，极易造成崩边、崩点，产生碎片。这时需要对石墨舟进行清洗，而目前大多采用整舟清洗，即将整个石墨舟放置清洗机内进行清洗，这样能洗掉舟片上的大量氮化硅，但仍然有少量氮化硅残留在舟片上，当这样的石墨舟返回车间继续使用会造成大量色差片、返工片，产生崩边片崩点片、降级片，乃至直接造成碎片，这使我们的生产成本大大提高，浪费大量人力物力。

发明内容

发明目的：针对现有技术的不足，本实用新型提供一种给拆洗石墨舟时清洗备件的专用清洗夹具装置，能使石墨舟得到更彻底的清洗。

技术方案：本实用新型所述的石墨舟备件专用清洗夹具装置，包括两块主边板、两块挡板、舟片卡槽和支撑主横杆；所述两块主边板和两块挡板组成矩形框架，所述舟片卡槽设置在矩形框架内部，所述支撑主横杆设置在矩形框架内底部。

进一步完善上述技术方案，所述主边板为矩形板材，两侧设有进液开孔、中部设有倒梯形开口。优选地，进液开孔设为矩形状。

所述挡板的顶部设有开孔把手，用于提供抬、搬取时的操作把手，方便工作人员进行相关作业。优选地，开孔把手设为矩形状。

所述舟片卡槽为两组、分别设置在所述矩形框架内部两侧，每组所述舟片卡槽连接在所述两块主边板之间。

每组所述舟片卡槽包括均匀排列的立杆以及设于立杆底端的支撑细横杆，相邻立杆之间形成石墨舟舟片的卡位区，立杆的高度与石墨舟舟片的高度相同。

每组所述舟片卡槽由22根立杆均匀排列组成，共形成21个石墨舟舟片的卡位区。

所述支撑主横杆设于所述矩形框架内底部中间，连接所述两块主边板。

所述舟片卡槽与所述两块挡板的距离均为180mm，所述舟片卡槽与所述主边板高度相同，所述舟片卡槽相邻立杆之间的距离为5mm。

所述主边板的长度为1255mm、高度为225mm。

所述主边板为采用PP材料制成的主边板，所述挡板为采用PP材料制成的挡板，所述舟片卡槽为采用PP材料制成的舟片卡槽，所述支撑主横杆为采用PP材料制成的支撑主横杆采用PP材质制成，耐酸耐碱，有效延长使用寿命。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型的优点：

1、本实用新型为电池PECVD工序所用载具石墨舟提供拆洗的可能，通过设置支撑框架、设于支撑框架内用于放置石墨舟舟片的舟片卡槽，给PECVD工序提供清洁的载具，实现石墨舟拆分再清洗，保证石墨舟舟片表面氮化硅清洗更加彻底，然后再对石墨舟进行烘干和组装，从而避免有脏污的石墨舟流入车间使用，造成不良电池片的产生，拆洗后的石墨舟给电池片制造工艺提供有效的质量保证。

2、设置两组舟片卡槽、每组舟片卡槽包含多个卡位区，清洗效率更高，且在石墨舟舟片清洗时起分隔、固定作用，有效防止清洗时石墨舟舟片的偏移，导致相互碰撞产生破坏。

3、主边板设置矩形进液开口和倒梯形开口在清洗石墨舟舟片的过程中能让酸液全方位地与石墨舟舟片接触，使清洗效果达到最优；挡板的顶部设有矩形开孔把手，用于提供抬、搬取时的操作把手，方便工作人员进行相关作业。

4、主边板和挡板组成矩形框架，矩形框架内底部中间设有用于固定支出的支撑主横杆，在立杆的底部设有支撑细横杆，多处结构的设计保证整个结构的稳定性，同时在主边板上设有便于酸液进入的进液孔和倒梯形开口，充分利用主体结构，使清洗效率达到最大。

5、通过对主板板以及组成舟片卡槽的立杆尺寸进行设计，保证石墨舟舟片稳固地放置在立杆之间，清洗效果更佳。

附图说明

图1为本实用新型示意立体图。

图2为本实用新型主视图。

图3为本实用新型左视图。

图4为本实用新型俯视图。

具体实施方式

下面通过附图对本实用新型技术方案进行详细说明。

实施例1：如图1至图4所示的石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括两块主边板1、两块挡板3、两组舟片卡槽5和支撑主横杆7。两块主边板1和两块挡板3组成矩形框架，两组舟片卡槽5分别设置在矩形框架内部两侧、每组舟片卡槽5连接在两块主边板1之间，支撑主横杆7设于矩形框架内底部中间、连接两块主边板1。设置两组舟片卡槽5，在石墨舟舟片清洗时起分隔、固定作用，有效防止清洗时石墨舟舟片的偏移，导致相互碰撞产生破坏；支撑主横杆7设在两块主边板1之间，起固定连接和支撑作用。

主边板1为矩形板材，两侧设有矩形进液开孔2、中部设有倒梯形开口4，设置矩形进液开口和倒梯形开口4在清洗石墨舟舟片的过程中能让酸液全方位地与石墨舟舟片接触，使清洗效果达到最优；挡板3的顶部设有矩形开孔把手8，用于提供抬、搬取时的操作把手，方便工作人员进行相关作业。

舟片卡槽5与两块挡板3的距离均为180mm，舟片卡槽5与主边板1高度相同；主边板1的长度为1255mm、高度为225mm。每组舟片卡槽5由22根均匀排列的立杆9以及设于立杆9底端的支撑细横杆6组成，相邻立杆9之间的距离为5mm，立杆9的高度与石墨舟舟片的高度相同，相邻立杆9之间用于放置2mm的石墨舟舟片，共形成21个石墨舟舟片的卡位区。支撑细横杆6起到支撑石墨舟舟片的作用，使得石墨舟舟片卡入在立杆9之间不会掉落。

主边板1为采用PP材料制成的主边板1，挡板3为采用PP材料制成的挡板3，舟片卡槽5为采用PP材料制成的舟片卡槽5，支撑主横杆7为采用PP材料制成的支撑主横杆7。

    如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。

Claims (10)

1.一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：包括两块主边板（1）、两块挡板（3）、舟片卡槽（5）和支撑主横杆（7）；所述两块主边板（1）和两块挡板（3）组成矩形框架，所述舟片卡槽（5）设置在矩形框架内部，所述支撑主横杆（7）设置在矩形框架内底部。

2.根据权利要求1所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述主边板（1）为矩形板材，两侧设有进液开孔（2）、中部设有倒梯形开口（4）。

3.根据权利要求1所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述挡板（3）的顶部设有开孔把手（8）。

4.根据权利要求1所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述舟片卡槽（5）为两组、分别设置在所述矩形框架内部两侧，每组所述舟片卡槽（5）连接在所述两块主边板（1）之间。

5.根据权利要求4所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：每组所述舟片卡槽（5）包括均匀排列的立杆（9）以及设于立杆（9）底端的支撑细横杆（6），相邻立杆（9）之间形成石墨舟舟片的卡位区，立杆（9）的高度与石墨舟舟片的高度相同。

6.根据权利要求5所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：每组所述舟片卡槽（5）由22根立杆（9）均匀排列组成，共形成21个石墨舟舟片的卡位区。

7.根据权利要求1所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述支撑主横杆（7）设于所述矩形框架内底部中间，连接所述两块主边板（1）。

8.根据权利要求5所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述舟片卡槽（5）与所述两块挡板（3）的距离均为180mm，所述舟片卡槽（5）与所述主边板（1）高度相同，所述舟片卡槽（5）相邻立杆（9）之间的距离为5mm。

9.根据权利要求1-8任一所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述主边板（1）的长度为1255mm、高度为225mm。

10.根据权利要求1-8任一所述的石墨舟舟片拆洗夹具装置，其特征在于：所述主边板（1）为采用PP材料制成的主边板（1），所述挡板（3）为采用PP材料制成的挡板（3），所述舟片卡槽（5）为采用PP材料制成的舟片卡槽（5），所述支撑主横杆（7）为采用PP材料制成的支撑主横杆（7）。