JP2022101775A - 誘導加熱コイル及びこれを用いた単結晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 原料ロッド
3 種結晶
4 シリコン単結晶
4a シリコン単結晶のテーパー部
4b シリコン単結晶の直胴部
5 溶融帯
10 反応炉
11 上軸
12 下軸
14 単結晶重量保持具
15 ガスドープ装置
16 原料保持具
17 種結晶保持具
20 誘導加熱コイル
21 コイル本体
22 開口部
23 スリット
24 スリット
24A 端子電極
24B 端子電極
25 流路
25A 流路の入口
25B 流路の出口
26,26A,26B 整流部材
Claims (6)
- FZ法による単結晶の製造に用いられる誘導加熱コイルであって、
円環状のコイル本体と、
前記コイル本体の中央に設けられた開口部から前記コイル本体の外周端に向かって延在するスリットと、
前記コイル本体の内部に形成された円環状の冷却水の流路と、
前記スリットを挟んで互いに近接する前記コイル本体の周方向の一端及び他端にそれぞれ設けられた前記流路の入口及び出口と、
前記流路の途中に設けられ、前記流路の外周側の冷却水の流れを内周側に誘導する少なくとも一つの整流部材とを備えることを特徴とする誘導加熱コイル。 - 前記入口から前記出口に向かう方向を順方向とした前記流路の周方向における前記整流部材の形成位置は、前記スリットの位置を基準として160°以降の領域内に設定されている、請求項1に記載の誘導加熱コイル。
- 前記整流部材は、前記スリットの位置を基準として180°の位置に設けられている、請求項2に記載の誘導加熱コイル。
- 前記整流部材は、前記スリットの位置を基準として180°の位置に設けられた第1整流部材と、前記スリットの位置を基準として270°の位置に設けられた第2整流部材を含む、請求項2に記載の誘導加熱コイル。
- 前記整流部材は前記コイル本体と一体的に形成されている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の誘導加熱コイル。
- FZ法による単結晶の製造に用いられる単結晶製造装置であって、
原料ロッドを回転可能及び昇降可能に支持する上軸と、
前記上軸の下方に配置され、種結晶を回転可能及び昇降可能に支持する下軸と、
前記原料ロッドを加熱する請求項1乃至5のいずれか一項に記載の誘導加熱コイルとを備えることを特徴とする単結晶製造装置。
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