JP2914077B2 - 高周波誘導加熱コイル - Google Patents
高周波誘導加熱コイルInfo
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- JP2914077B2 JP2914077B2 JP6343493A JP6343493A JP2914077B2 JP 2914077 B2 JP2914077 B2 JP 2914077B2 JP 6343493 A JP6343493 A JP 6343493A JP 6343493 A JP6343493 A JP 6343493A JP 2914077 B2 JP2914077 B2 JP 2914077B2
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- JP
- Japan
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- coil
- heating coil
- single crystal
- heating
- groove
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、浮遊帯域溶融法（以
下ＦＺ法という）による大口径シリコン単結晶棒の製造
技術に関するもので、さらに詳しくは、ＦＺ法に用いら
れる高周波誘導加熱コイル（以下加熱コイルという）に
関するものである。
下ＦＺ法という）による大口径シリコン単結晶棒の製造
技術に関するもので、さらに詳しくは、ＦＺ法に用いら
れる高周波誘導加熱コイル（以下加熱コイルという）に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＦＺ法は、上軸に保持された棒状原料多
結晶の下端を溶融し、その溶融帯に、下軸に保持した種
結晶を融着した後、種絞りによって無転位化しつつ前記
コイルと多結晶棒とを相対的に回転させると同時に、前
記溶融帯を多結晶側へ移動させながら、シリコン単結晶
棒を製造する方法である。
結晶の下端を溶融し、その溶融帯に、下軸に保持した種
結晶を融着した後、種絞りによって無転位化しつつ前記
コイルと多結晶棒とを相対的に回転させると同時に、前
記溶融帯を多結晶側へ移動させながら、シリコン単結晶
棒を製造する方法である。
【０００３】この種の製造方法においては、前記棒状原
料多結晶の溶融すべき帯域を軸方向に狭幅溶融させるこ
とが必要であり、また、帯域溶融後のシリコンを不純物
のバラツキ等をなくして安定的に単結晶に成長させるに
は、浮遊帯域と接する単結晶成長面近傍に作用させる磁
界の強度を制御して界面近傍領域の温度勾配を緩やかに
なるよう調節することが必要であり、このような相反す
る要請を満足するために、従来より種々の加熱コイルが
用いられている。
料多結晶の溶融すべき帯域を軸方向に狭幅溶融させるこ
とが必要であり、また、帯域溶融後のシリコンを不純物
のバラツキ等をなくして安定的に単結晶に成長させるに
は、浮遊帯域と接する単結晶成長面近傍に作用させる磁
界の強度を制御して界面近傍領域の温度勾配を緩やかに
なるよう調節することが必要であり、このような相反す
る要請を満足するために、従来より種々の加熱コイルが
用いられている。
【０００４】図８には、この加熱コイルの一例である単
巻偏平加熱コイルが示されている。この加熱コイル１
は、リング状に形成した加熱コイルの内縁８側が縦断面
先細り状に構成され、外縁壁９に給電電極部１０，１１
が付設され、加熱コイル１両端部の端面１２，１２がス
リット２を介して極力接近した構造となっている。この
構造は、加熱コイル１の全周に亘って電流回路の対称性
を保てば前記加熱コイルの加熱能力の均一化が図れる、
との思想に基づいて採用されたものである。この種の加
熱コイル１は特公昭５１−２４９６４号公報その他に記
載されている。
巻偏平加熱コイルが示されている。この加熱コイル１
は、リング状に形成した加熱コイルの内縁８側が縦断面
先細り状に構成され、外縁壁９に給電電極部１０，１１
が付設され、加熱コイル１両端部の端面１２，１２がス
リット２を介して極力接近した構造となっている。この
構造は、加熱コイル１の全周に亘って電流回路の対称性
を保てば前記加熱コイルの加熱能力の均一化が図れる、
との思想に基づいて採用されたものである。この種の加
熱コイル１は特公昭５１−２４９６４号公報その他に記
載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示す加熱コイル１にあっても、図９に示すように、直径
方向の拡がり抵抗分布は５０〜７０％程度の大きなばら
つきを持つ。
示す加熱コイル１にあっても、図９に示すように、直径
方向の拡がり抵抗分布は５０〜７０％程度の大きなばら
つきを持つ。
【０００６】図８に示す加熱コイル１の加熱能力特性
を、発熱温度分布測定具４０（図２参照）を用い冷却水
の流れ方向に沿って測定すると、図１０に示すような結
果が得られた。加熱コイル１の内側Ａでは加熱コイル１
両端部の加熱能力が低い。コイルの中央部Ｂでは、給電
電極部を起点としコイル中心から冷却水の流れ方向に沿
った角度が３０°近傍で加熱能力が高い。加熱コイル１
の外側Ｃでは、加熱コイル１両端部の加熱能力が高い。
この加熱能力の不均一性が抵抗変動を引き起こす原因と
みられる。
を、発熱温度分布測定具４０（図２参照）を用い冷却水
の流れ方向に沿って測定すると、図１０に示すような結
果が得られた。加熱コイル１の内側Ａでは加熱コイル１
両端部の加熱能力が低い。コイルの中央部Ｂでは、給電
電極部を起点としコイル中心から冷却水の流れ方向に沿
った角度が３０°近傍で加熱能力が高い。加熱コイル１
の外側Ｃでは、加熱コイル１両端部の加熱能力が高い。
この加熱能力の不均一性が抵抗変動を引き起こす原因と
みられる。
【０００７】抵抗変動は、デバイス製造の歩留りや信頼
性に大きな影響を与える。本発明は、加熱コイル１の加
熱能力分布（図１０参照）を改善すべくなされたもの
で、給電電極部に不可避的に存在するスリット近傍の加
熱能力に、加熱コイル全周の加熱能力を合わせるように
してある。そして、従来技術よりもさらに直径方向の抵
抗変動を低減できる加熱コイルを提供することを目的と
している。
性に大きな影響を与える。本発明は、加熱コイル１の加
熱能力分布（図１０参照）を改善すべくなされたもの
で、給電電極部に不可避的に存在するスリット近傍の加
熱能力に、加熱コイル全周の加熱能力を合わせるように
してある。そして、従来技術よりもさらに直径方向の抵
抗変動を低減できる加熱コイルを提供することを目的と
している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の加熱コイ
ルは、浮遊帯域溶融法に用いられる単巻偏平高周波誘導
加熱コイルにおいて、コイル内縁にも外縁にも開口しな
い空隙および／またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷
却水の流れ方向に沿った角度が１５°〜６０°の部分に
設け、コイル内縁だけに開口する空隙および／またはコ
イル表面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向に沿った
角度が９０°〜２７０°の部分に一箇所以上設けたこと
を特徴とする。請求項２記載の加熱コイルは、浮遊帯域
溶融法に用いられる単巻偏平高周波誘導加熱コイルにお
いて、コイル内縁にも外縁にも開口しない空隙および／
またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向
に沿った角度が１５°〜６０°の部分に設け、コイル外
縁だけに開口する空隙および／またはコイル表面の単結
晶側の溝を、一対の給電電極部の各々となす角度が０°
〜９０°の部分に一箇所以上設けたことを特徴とする。
請求項３記載の加熱コイルは、浮遊帯域溶融法に用いら
れる単巻偏平高周波誘導加熱コイルにおいて、コイル内
縁にも外縁にも開口しない空隙および／またはコイル表
面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向に沿った角度が
１５°〜６０°の部分に設け、コイル内縁だけに開口す
る空隙および／またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷
却水の流れ方向に沿った角度が９０°〜２７０°の部分
に一箇所以上設け、さらに、コイル外縁だけに開口する
空隙および／またはコイル表面の単結晶側の溝を、一対
の給電電極部の各々となす角度が０°〜９０°の部分に
一箇所以上設けたことを特徴とする。
ルは、浮遊帯域溶融法に用いられる単巻偏平高周波誘導
加熱コイルにおいて、コイル内縁にも外縁にも開口しな
い空隙および／またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷
却水の流れ方向に沿った角度が１５°〜６０°の部分に
設け、コイル内縁だけに開口する空隙および／またはコ
イル表面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向に沿った
角度が９０°〜２７０°の部分に一箇所以上設けたこと
を特徴とする。請求項２記載の加熱コイルは、浮遊帯域
溶融法に用いられる単巻偏平高周波誘導加熱コイルにお
いて、コイル内縁にも外縁にも開口しない空隙および／
またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向
に沿った角度が１５°〜６０°の部分に設け、コイル外
縁だけに開口する空隙および／またはコイル表面の単結
晶側の溝を、一対の給電電極部の各々となす角度が０°
〜９０°の部分に一箇所以上設けたことを特徴とする。
請求項３記載の加熱コイルは、浮遊帯域溶融法に用いら
れる単巻偏平高周波誘導加熱コイルにおいて、コイル内
縁にも外縁にも開口しない空隙および／またはコイル表
面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向に沿った角度が
１５°〜６０°の部分に設け、コイル内縁だけに開口す
る空隙および／またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷
却水の流れ方向に沿った角度が９０°〜２７０°の部分
に一箇所以上設け、さらに、コイル外縁だけに開口する
空隙および／またはコイル表面の単結晶側の溝を、一対
の給電電極部の各々となす角度が０°〜９０°の部分に
一箇所以上設けたことを特徴とする。
【０００９】
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、空隙や、コイル表面の
単結晶側の溝は、加熱コイル表面を流れる高周波電流を
その周辺に広げ、その箇所での加熱能力を低下させるこ
とにより、その箇所の加熱能力を、給電電極部に不可避
的に存在するスリット近傍の低い加熱能力と合致させる
ように働く。したがって、加熱コイル全周に亘って加熱
能力が均一化されることとなり、半導体単結晶における
抵抗変動の低減が図れる。
単結晶側の溝は、加熱コイル表面を流れる高周波電流を
その周辺に広げ、その箇所での加熱能力を低下させるこ
とにより、その箇所の加熱能力を、給電電極部に不可避
的に存在するスリット近傍の低い加熱能力と合致させる
ように働く。したがって、加熱コイル全周に亘って加熱
能力が均一化されることとなり、半導体単結晶における
抵抗変動の低減が図れる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明に係る加熱コイルの実施例を説
明する。
明する。
【００１２】図１には実施例の単巻偏平加熱コイルが示
されている。この加熱コイル２１は銅製で、外径１６０
ｍｍ、内径４０ｍｍのリング状に形成され、加熱コイル
の内縁２８側が縦断面先細り状に構成され、外縁壁２９
に給電電極部３０，３１が付設され、加熱コイル２１両
端部の端面３２，３２が、スリット３３を介して極力接
近した構造となっている。
されている。この加熱コイル２１は銅製で、外径１６０
ｍｍ、内径４０ｍｍのリング状に形成され、加熱コイル
の内縁２８側が縦断面先細り状に構成され、外縁壁２９
に給電電極部３０，３１が付設され、加熱コイル２１両
端部の端面３２，３２が、スリット３３を介して極力接
近した構造となっている。
【００１３】また、この加熱コイル２１表面の単結晶側
にはコイル内縁にも外縁にも開口しない溝２４ａが冷却
水の流れ方向に沿った角度３０°の位置に設けられ、コ
イル内縁に開口した溝２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが冷却水
の流れ方向に沿った角度１３５°、１８０°、２２５°
の位置に設けられ、コイル外縁に開口した溝２４ｅ，２
４ｆが一対の給電電極部の各々となす角度が１５°の位
置に設けられている。これらの溝は、深さ１．５ｍｍ、
幅２ｍｍに加工されている。
にはコイル内縁にも外縁にも開口しない溝２４ａが冷却
水の流れ方向に沿った角度３０°の位置に設けられ、コ
イル内縁に開口した溝２４ｂ，２４ｃ，２４ｄが冷却水
の流れ方向に沿った角度１３５°、１８０°、２２５°
の位置に設けられ、コイル外縁に開口した溝２４ｅ，２
４ｆが一対の給電電極部の各々となす角度が１５°の位
置に設けられている。これらの溝は、深さ１．５ｍｍ、
幅２ｍｍに加工されている。
【００１４】これらの位置に溝２４（溝を総称する場合
符号２４を用いる）を設けたのは、前述したように、発
熱温度分布測定具による加熱コイル表面の単結晶側の加
熱能力分布の測定結果に基づくものである。
符号２４を用いる）を設けたのは、前述したように、発
熱温度分布測定具による加熱コイル表面の単結晶側の加
熱能力分布の測定結果に基づくものである。
【００１５】その発熱温度分布測定具の一例を、図２を
用いて説明すれば、発熱温度分布測定具４０は、加熱コ
イルによって生じる高周波磁界によって加熱される被加
熱体４１と熱電対４２を有している。この被加熱体４１
は、加熱コイルに向かい合う表面部が多結晶棒の溶融帯
域の傾斜角度に近い角度となるように円錐形に構成さ
れ、加熱コイルと同軸かつ近接位置に配設されるように
なっている。この形状により、前記加熱コイルにより発
生する磁界は、該被加熱体表面部の中央部から外方向に
向けて通過し、実際のＦＺ時に近い状態の磁界の流れが
形成される。
用いて説明すれば、発熱温度分布測定具４０は、加熱コ
イルによって生じる高周波磁界によって加熱される被加
熱体４１と熱電対４２を有している。この被加熱体４１
は、加熱コイルに向かい合う表面部が多結晶棒の溶融帯
域の傾斜角度に近い角度となるように円錐形に構成さ
れ、加熱コイルと同軸かつ近接位置に配設されるように
なっている。この形状により、前記加熱コイルにより発
生する磁界は、該被加熱体表面部の中央部から外方向に
向けて通過し、実際のＦＺ時に近い状態の磁界の流れが
形成される。
【００１６】そして、この被加熱体４１に組み込まれた
熱電対４２によって被加熱体４１表面の温度を測定でき
るようになっている。
熱電対４２によって被加熱体４１表面の温度を測定でき
るようになっている。
【００１７】この発熱温度分布測定具４０で、加熱能力
調整用の溝を持たない加熱コイル１で加熱した被加熱体
４１の発熱温度を測定した結果が図１０に示されてい
る。この図で、Ａ，Ｂ，Ｃは、図８のＡ，Ｂ，Ｃに対応
しており、それぞれコイルの内側、中央部、外側で、給
電電極部を起点とし冷却水の流れ方向に沿った発熱温度
の測定結果を示す。この図を見ると、加熱コイル１の内
側Ａでは給電電極部を起点としコイル中心から冷却水の
流れ方向に沿った角度が１８０°近傍で温度が高く、コ
イルの中央部Ｂでは冷却水の流れ方向に沿った角度が３
０°近傍で温度が高く、加熱コイル１の外側Ｃでは加熱
コイル１両端部の温度が高くなっているのが判る。
調整用の溝を持たない加熱コイル１で加熱した被加熱体
４１の発熱温度を測定した結果が図１０に示されてい
る。この図で、Ａ，Ｂ，Ｃは、図８のＡ，Ｂ，Ｃに対応
しており、それぞれコイルの内側、中央部、外側で、給
電電極部を起点とし冷却水の流れ方向に沿った発熱温度
の測定結果を示す。この図を見ると、加熱コイル１の内
側Ａでは給電電極部を起点としコイル中心から冷却水の
流れ方向に沿った角度が１８０°近傍で温度が高く、コ
イルの中央部Ｂでは冷却水の流れ方向に沿った角度が３
０°近傍で温度が高く、加熱コイル１の外側Ｃでは加熱
コイル１両端部の温度が高くなっているのが判る。
【００１８】そこで、本実施例では、加熱コイル全周に
おける加熱能力を不可避的なスリット近傍の加熱能力と
合わせるように、加熱能力調整用の溝２４を加熱コイル
１表面の単結晶側に設けた。すなわち、図１に示すよう
に、加熱コイルの内側では、冷却水の流れ方向に沿った
角度が１８０゜近傍の加熱能力を低下させるためコイル
内縁に開口した長さ４５ｍｍの溝２４ｂ，２４ｃ，２４
ｄを冷却水の流れ方向に沿った角度１３５°、１８０
°、２２５°の位置に設け、加熱コイルの中央部では、
冷却水の流れ方向に沿った角度が３０°近傍の加熱能力
を低下させるためコイル内縁にも外縁にも開口しない長
さ２５ｍｍの溝２４ａを冷却水の流れ方向に沿った角度
３０°の位置に設け、加熱コイルの外側では、コイル両
端部近傍の加熱能力を低下させるためコイル外縁に開口
した長さ４５ｍｍの溝２４ｅ、２４ｆを一対の給電電極
部３０，３１の各々となす角度が１５°の位置に設け
た。
おける加熱能力を不可避的なスリット近傍の加熱能力と
合わせるように、加熱能力調整用の溝２４を加熱コイル
１表面の単結晶側に設けた。すなわち、図１に示すよう
に、加熱コイルの内側では、冷却水の流れ方向に沿った
角度が１８０゜近傍の加熱能力を低下させるためコイル
内縁に開口した長さ４５ｍｍの溝２４ｂ，２４ｃ，２４
ｄを冷却水の流れ方向に沿った角度１３５°、１８０
°、２２５°の位置に設け、加熱コイルの中央部では、
冷却水の流れ方向に沿った角度が３０°近傍の加熱能力
を低下させるためコイル内縁にも外縁にも開口しない長
さ２５ｍｍの溝２４ａを冷却水の流れ方向に沿った角度
３０°の位置に設け、加熱コイルの外側では、コイル両
端部近傍の加熱能力を低下させるためコイル外縁に開口
した長さ４５ｍｍの溝２４ｅ、２４ｆを一対の給電電極
部３０，３１の各々となす角度が１５°の位置に設け
た。
【００１９】加熱コイル４の３０゜部分において、その
中央部にコイル内縁にも外縁にも開口しない溝２４ａを
設けたのは、次の理由による。高周波電流は、加熱コイ
ルの表面でそのパスが最短となるように流れる。例えば
図３において、加熱能力調整用の溝２４が設けられてい
ない場合には、給電電極部の先端から加熱コイルの内周
円に引いた接線に沿って高周波電流は流れる（破線参
照）。この場合、加熱コイルの３０゜部分では高周波電
流パスは既に中央部側に寄っている。またこの位置で
は、冷却水温度が比較的低くコイルの抵抗が低いので電
流密度が高い。したがって、そのパスを周辺に寄せてそ
の部分での加熱能力を低下させるには、溝を設ければ良
い。しかし、電流が最短距離を流れるため、加熱コイル
両端部の内側近傍ではもともと電流密度が極端に低く、
加熱コイルの３０゜部分で溝をコイル内縁に開口させる
ことは逆効果となる。そこで、加熱コイルの３０゜部分
では、コイル内縁にも外縁にも開口しない溝２４ａを入
れることで、電流を半径方向に適度に振り分け、加熱コ
イル両端部の内側近傍でのさらなる加熱能力の低下を防
止している。
中央部にコイル内縁にも外縁にも開口しない溝２４ａを
設けたのは、次の理由による。高周波電流は、加熱コイ
ルの表面でそのパスが最短となるように流れる。例えば
図３において、加熱能力調整用の溝２４が設けられてい
ない場合には、給電電極部の先端から加熱コイルの内周
円に引いた接線に沿って高周波電流は流れる（破線参
照）。この場合、加熱コイルの３０゜部分では高周波電
流パスは既に中央部側に寄っている。またこの位置で
は、冷却水温度が比較的低くコイルの抵抗が低いので電
流密度が高い。したがって、そのパスを周辺に寄せてそ
の部分での加熱能力を低下させるには、溝を設ければ良
い。しかし、電流が最短距離を流れるため、加熱コイル
両端部の内側近傍ではもともと電流密度が極端に低く、
加熱コイルの３０゜部分で溝をコイル内縁に開口させる
ことは逆効果となる。そこで、加熱コイルの３０゜部分
では、コイル内縁にも外縁にも開口しない溝２４ａを入
れることで、電流を半径方向に適度に振り分け、加熱コ
イル両端部の内側近傍でのさらなる加熱能力の低下を防
止している。
【００２０】図１の加熱コイル２１を被加熱体４０によ
り測定して得られた発熱温度分布が図４に示されてい
る。この加熱コイル２１を使用すれば、加熱コイルの内
側と中央部および外側の全周方向において、ほぼ温度が
均一化されることが判る。また、図５にはこの加熱コイ
ル２１によって製造した単結晶棒の径方向の抵抗変動が
示されている。直径方向の拡がり抵抗分布は１０％程度
であり、この抵抗変動を図９に示す従来の加熱コイル１
の場合（図８）と比べると、抵抗変動が非常に小さくな
っていることが判る。
り測定して得られた発熱温度分布が図４に示されてい
る。この加熱コイル２１を使用すれば、加熱コイルの内
側と中央部および外側の全周方向において、ほぼ温度が
均一化されることが判る。また、図５にはこの加熱コイ
ル２１によって製造した単結晶棒の径方向の抵抗変動が
示されている。直径方向の拡がり抵抗分布は１０％程度
であり、この抵抗変動を図９に示す従来の加熱コイル１
の場合（図８）と比べると、抵抗変動が非常に小さくな
っていることが判る。
【００２１】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は、かかる実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能で
ある。
が、本発明は、かかる実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能で
ある。
【００２２】少なくとも、図６および図７に示すよう
に、加熱能力調整用の溝が、加熱コイル表面の単結晶側
にあり、コイル内縁にも外縁にも開口せず、冷却水の流
れ方向に沿った角度が１５゜〜６０゜の位置に存在すれ
ば良い。
に、加熱能力調整用の溝が、加熱コイル表面の単結晶側
にあり、コイル内縁にも外縁にも開口せず、冷却水の流
れ方向に沿った角度が１５゜〜６０゜の位置に存在すれ
ば良い。
【００２３】また、コイルの内縁や外縁に開口した溝の
設置場所あるいは設置個数も特許請求の範囲に記載され
た範囲で変更することも可能である。その場合には、適
宜に溝の奥行き寸法を変えたり、設置個数を変えたりし
なければならない。
設置場所あるいは設置個数も特許請求の範囲に記載され
た範囲で変更することも可能である。その場合には、適
宜に溝の奥行き寸法を変えたり、設置個数を変えたりし
なければならない。
【００２４】さらに、前記実施例では、溝によりコイル
の加熱能力調整を行ったが、冷却水の流れ方向に沿った
角度３０°の位置に設けた、コイル内縁にも外縁にも開
口しない溝２４ａの一部あるいは全部を、空隙として良
い。他の部位に設けた溝も適宜空隙に変更することも可
能である。
の加熱能力調整を行ったが、冷却水の流れ方向に沿った
角度３０°の位置に設けた、コイル内縁にも外縁にも開
口しない溝２４ａの一部あるいは全部を、空隙として良
い。他の部位に設けた溝も適宜空隙に変更することも可
能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係る加熱コイルによれば、空隙
や、コイル表面の単結晶側の溝によりコイルの加熱能力
調整を可能としたので、抵抗変動の低減化が図れること
になる。
や、コイル表面の単結晶側の溝によりコイルの加熱能力
調整を可能としたので、抵抗変動の低減化が図れること
になる。
【図１】実施例の加熱コイルの斜視図である。
【図２】発熱温度分布測定具の縦断面図である。
【図３】加熱コイルにおける高周波電流パスを示すため
の平面図である。
の平面図である。
【図４】実施例の加熱コイルによる温度測定値を表すグ
ラフである。
ラフである。
【図５】実施例の加熱コイルによって得られた単結晶の
抵抗変動を示すグラフである。
抵抗変動を示すグラフである。
【図６】他の実施例の加熱コイルの斜視図である。
【図７】さらに他の実施例の加熱コイルの斜視図であ
る。
る。
【図８】従来の加熱コイルの斜視図である。
【図９】図８の加熱コイルによって得られた単結晶の抵
抗変動を示すグラフである。
抗変動を示すグラフである。
【図１０】図８の加熱コイルによる温度測定値を表すグ
ラフである。
ラフである。
１，２１ 加熱コイル ２，３３ スリット ８，２８ 内縁 ９，２９ 外縁壁 １０，１１，３０，３１ 給電電極部 １２，３２ 端面 ２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，２４ｅ，２４
ｆ 溝（空隙および／または溝） ４０ 発熱温度分布測定具 ４１ 被加熱体 ４２ 熱電対
ｆ 溝（空隙および／または溝） ４０ 発熱温度分布測定具 ４１ 被加熱体 ４２ 熱電対
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H05B 6/30 - 6/32 H05B 6/36
Claims (3)
- 【請求項１】 浮遊帯域溶融法に用いられる単巻偏平高
周波誘導加熱コイルにおいて、コイル内縁にも外縁にも
開口しない空隙および／またはコイル表面の単結晶側の
溝を、冷却水の流れ方向に沿った角度が１５°〜６０°
の部分に設け、コイル内縁だけに開口する空隙および／
またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向
に沿った角度が９０°〜２７０°の部分に一箇所以上設
けたことを特徴とする高周波誘導加熱コイル。 - 【請求項２】 浮遊帯域溶融法に用いられる単巻偏平高
周波誘導加熱コイルにおいて、コイル内縁にも外縁にも
開口しない空隙および／またはコイル表面の単結晶側の
溝を、冷却水の流れ方向に沿った角度が１５°〜６０°
の部分に設け、コイル外縁だけに開口する空隙および／
またはコイル表面の単結晶側の溝を、一対の給電電極部
の各々となす角度が０°〜９０°の部分に一箇所以上設
けたことを特徴とする高周波誘導加熱コイル。 - 【請求項３】 浮遊帯域溶融法に用いられる単巻偏平高
周波誘導加熱コイルにおいて、コイル内縁にも外縁にも
開口しない空隙および／またはコイル表面の単結晶側の
溝を、冷却水の流れ方向に沿った角度が１５°〜６０°
の部分に設け、コイル内縁だけに開口する空隙および／
またはコイル表面の単結晶側の溝を、冷却水の流れ方向
に沿った角度が９０°〜２７０°の部分に一箇所以上設
け、さらに、コイル外縁だけに開口する空隙および／ま
たはコイル表面の単結晶側の溝を、一対の給電電極部の
各々となす角度が０°〜９０°の部分に一箇所以上設け
たことを特徴とする高周波誘導加熱コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6343493A JP2914077B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 高周波誘導加熱コイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6343493A JP2914077B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 高周波誘導加熱コイル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260273A JPH06260273A (ja) | 1994-09-16 |
| JP2914077B2 true JP2914077B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=13229171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6343493A Expired - Lifetime JP2914077B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 高周波誘導加熱コイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2914077B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2478275A (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-07 | Tubefuse Applic V O F | Induction heating apparatus and method |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP6343493A patent/JP2914077B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06260273A (ja) | 1994-09-16 |
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