JP2022090212A - ロータリーアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】装置上で省スペースとなるロータリーアクチュエータを提供する。
【解決手段】ロータリーアクチュエータは、回転軸が平行かつ異なる位置にある内軸ロータと外軸ロータとを有し、回転軸から径方向外側に向かって、内軸ロータ、内軸ステータ、外軸ステータ、外軸ロータが順に配置された偏芯二軸一体型モータを備える。偏芯二軸一体型モータは、内軸ロータと接続または一体化された第１の回転出力部と、外軸ロータと接続または一体化された第２の回転出力部と、内軸ステータと外軸ステータとの間に設けられて内軸ステータおよび外軸ステータが固定されたステータ固定部と、をさらに備える。第１の回転出力部および第２の回転出力部のうち一方の回転出力部が動かないベースに対して回転不可能に固定され、他方の回転出力部が駆動対象物に接続または一体化されている。
【選択図】 図３

Description

本発明は、ロータリーアクチュエータに関する。

従来、平行に配置した２つのロール間に材料を通し、２つのロールによって材料を挟み込んで送り出し、材料の成形や加工、搬送を行う装置がある。このような装置としては、例えば、押出し法による薄膜成形装置などが挙げられる。
薄膜成形装置では、一方のロールを可動ロール、もう一方を固定ロールとし、アクチュエータの推力によって可動ロールを動かすことで、固定ロールへの押付け力や固定ロールとの間の隙間を調整している。
例えば特許文献１には、油圧サーボをアクチュエータとして用いたロール隙間調整機構を備える薄膜部材成形装置が開示されている。このロール隙間調整機構では、アクチュエータは、ロール間の隙間を狭める方向の荷重を、可動ロールを支持する軸受部に付加している。

特開２０１８－２０２７２４号公報

上記特許文献１に記載の技術のように、ロールの軸受部分に推力を付加する構成である場合、アクチュエータをロール回転軸に対して直交するように配置しなければならない。そのため、アクチュエータが装置内で大きなスペースを占有してしまうという問題があった。
そこで、本発明は、装置上で省スペースとなるロータリーアクチュエータを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の一つの態様のロータリーアクチュエータは、回転軸が平行かつ異なる位置にある内軸ロータと外軸ロータとを有し、前記回転軸から径方向外側に向かって、前記内軸ロータ、内軸ステータ、外軸ステータ、前記外軸ロータが順に配置された偏芯二軸一体型モータを備え、前記偏芯二軸一体型モータは、前記内軸ロータと接続または一体化された第１の回転出力部と、前記外軸ロータと接続または一体化された第２の回転出力部と、前記内軸ステータと前記外軸ステータとの間に設けられて前記内軸ステータおよび前記外軸ステータが固定されたステータ固定部と、をさらに備え、前記第１の回転出力部および前記第２の回転出力部のうち一方の回転出力部が動かないベースに対して回転不可能に固定され、他方の回転出力部が駆動対象物に接続または一体化されている。

このように、一方の回転出力部を動かないベースに固定することで、当該一方の回転出力部のロータの回転力は、ステータ固定部を回転させる力となり、他方の回転出力部を偏芯回転させることができる。ここで、他方の回転出力部は、駆動対象物に接続または一体化されているので、上記の他方の回転出力部の偏芯回転により、駆動対象物を回転軸に直交する平面内で移動させ、駆動対象物と相手部材との隙間を調整することができる。また、上記の他方の回転出力部のロータを駆動することで、駆動対象物を、回転軸を中心として回転させることができる。つまり、駆動対象物の回転機能と隙間調整機能とを備えるアクチュエータとすることができる。さらに、アクチュエータを駆動対象物と同軸上に配置することが可能であるため、装置上でアクチュエータが占めるスペースを小さくすることができる。

また、上記のロータリーアクチュエータにおいて、前記内軸ロータが前記ベースに対して回転不可能に固定されていてもよい。
この場合、内軸ロータの回転力がステータ固定部を回転させる力となり、アクチュエータ全体を偏芯回転させることができる。したがって、アクチュエータ全体を偏芯カムのように用いることができる。

さらに、上記のロータリーアクチュエータにおいて、前記外軸ロータが前記ベースに対して回転不可能に固定されていてもよい。
この場合、外軸ロータの回転力がステータ固定部を回転させる力となり、内軸ロータを偏芯回転させることができる。したがって、内軸ロータを偏芯カムのように動かすことができる。

また、上記のロータリーアクチュエータにおいて、前記一方の回転出力部は、前記一方の回転出力部のロータからの駆動力を減速して前記ステータ固定部に伝達する減速機構を備えていてもよい。
この場合、一方の回転出力部のロータを駆動してステータ固定部が回転する際のトルクを増大させることができる。例えば、駆動対象物が押付け対象である場合、駆動対象物を物体に押し付ける力を増大させることができる。

さらにまた、上記のロータリーアクチュエータにおいて、前記減速機構は、前記一方の回転出力部のロータと同軸上に配置された遊星歯車機構であってもよい。
この場合、比較的簡易な構成で、一方の回転出力部のロータからの駆動力を適切に減速してステータ固定部に伝達することができる。また、減速機構をコンパクトに配置することができる。

また、上記のロータリーアクチュエータは、前記ステータ固定部の回転を停止するブレーキ機構をさらに備えていてもよい。この場合、上記他方の回転出力部の位置固定が可能となる。
さらにまた、上記のロータリーアクチュエータにおいて、前記ブレーキ機構は、前記一方の回転出力部のロータと前記ステータ固定部とを固定可能な永久磁石式電磁ブレーキであってもよい。この場合、比較的簡易な構成で、上記他方の回転出力部の位置を固定することができる。

また、上記のロータリーアクチュエータは、前記一方の回転出力部のロータの軸方向両端部をそれぞれ支持する軸受をさらに備えていてもよい。
この場合、一方の回転出力部のロータを駆動してステータ固定部を回転させる際の剛性を向上させることができる。

本発明の一つの態様によれば、装置上で省スペースとなるロータリーアクチュエータを提供することができる。

図１は、本実施形態におけるロータリーアクチュエータの適用例である。 図２は、第一の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図３は、偏芯による押付け機構の動作イメージ図である。 図４は、第二の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図５は、第三の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図６は、第四の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図７は、第五の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図８は、第六の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図９は、第七の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図１０は、第八の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図１１は、第九の実施形態のロータリーアクチュエータの断面図である。 図１２は、第九の実施形態のロータリーアクチュエータの別の例を示す断面図である。

以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。

（第一の実施形態）
図１は、本実施形態におけるロータリーアクチュエータの適用例を示す図である。
本実施形態では、ロータリーアクチュエータを、薄膜成形装置１に適用する場合について説明する。
図１に示すように、薄膜成形装置１は、固定ロール２と可動ロール３とを備え、これら２つのロールでＴダイ４から吐出された材料を挟み込んで送り出し、薄膜部材を成形するフィルム押出成形機である。ここで、成形される薄膜部材は、例えば樹脂製の薄膜状の部材とすることができる。固定ロール２および可動ロール３は、回転可能な状態で固定配置されている。また、可動ロール３は、固定配置された状態で、固定ロール２に対して近づく方向や離れる方向に移動可能に構成されている。可動ロール３を固定ロール２に対して移動させることで、２つのロール２、３間の隙間を調整することができる。
本実施形態におけるロータリーアクチュエータは、固定ロール２に対する可動ロール３の移動と、材料の送り出しのための回転駆動とを実現するアクチュエータとして用いることができる。

図２は、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａの主要構成を示す断面図である。
本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａは、駆動対象物を回転させる回転機能に加えて、駆動対象物を移動させ、駆動対象物と相手部材との隙間を調整する隙間調整機能を有する。
図２に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ａは、二つのロータが偏心している偏芯二軸一体型モータ１１０と、ベース２００と、を備える。偏芯二軸一体型モータ１１０は、回転軸Ｐ１を回転中心とするインナモータ１２０と、回転軸Ｐ１と平行で、かつ回転軸Ｐ１とは異なる位置にある回転軸Ｐ２を回転中心とするアウタモータ１３０と、を有する。

インナモータ１２０およびアウタモータ１３０はそれぞれ、円筒状のロータと、当該ロータに設けられたマグネット（永久磁石）と、モータステータと、を有する。
具体的には、インナモータ１２０は、円筒状のインナロータ（内軸ロータ）１２１と、インナロータ１２１の外周面に沿って環状に配置されたマグネット１２２と、モータステータ（内軸ステータ）１２３と、を有する。モータステータ１２３は、ステータコア１２３ａと、ステータコア１２３ａに巻回されたコイル１２３ｂと、を有する。
また、アウタモータ１３０は、円筒状のアウタロータ（外軸ロータ）１３１と、アウタロータ１３１の内周面に沿って環状に配置されたマグネット１３２と、モータステータ１３３（外軸ステータ）と、を有する。モータステータ１３３は、ステータコア１３３ａと、ステータコア１３３ａに巻回されたコイル１３３ｂと、を有する。

インナロータ１２１とアウタロータ１３１とは、ステータ固定部１１１を挟んでそれぞれステータ固定部１１１の内周側と外周側とで回転可能に設けられている。ここで、ステータ固定部１１１は、インナロータ１２１の外径よりも大きく、アウタロータ１３１の内径よりも小さい径を有する円筒状の部材である。具体的には、ステータ固定部１１１の内周の中心が中心軸Ｐ１に一致され、ステータ固定部１１１の外周の中心が中心軸Ｐ２に一致されている。
インナモータ１２０のモータステータ１２３は、ステータ固定部１１１の内周面に固定されており、アウタモータ１３０のモータステータ１３３は、ステータ固定部１１１の外周面に固定されている。つまり、回転軸Ｐ１、Ｐ２から径方向外側に向かって、インナロータ１２１、モータステータ１２３、モータステータ１３３、アウタロータ１３１の順に配置されている。
このような構成により、コイル１２３ｂに対する電力供給に応じてインナロータ１２１が回転する。同様に、コイル１３３ｂに対する電力供給に応じてアウタロータ１３１が回転する。

さらに、偏芯二軸一体型モータ１１０は、ステータ固定部１１１の一端側から順に設けられた検出部と、軸受部と、を有する。なお、以下の説明では、回転軸Ｐ１、Ｐ２に沿った方向における図２の上側を「一端側」、図２の下側を「他端側」という。
また、特に図示しないが、ステータ固定部１１１の側面（内周面、外周面）および端面には、ステータ固定部１１１に固定される検出部、軸受部、モータステータ等の各部構成に応じた段差、突起、陥没部、穴等が設けられていてよい。

検出部は、第１検出部１１２と、第２検出部１１３と、を有する。
第１検出部１１２は、インナロータ１２１の回転角度を検出する。具体的には、第１検出部１１２は、インナロータ１２１に固定されてインナロータ１２１とともに回転する第１回転部と、ステータ固定部１１１に固定されて第１回転部の回転角度を検出する第１固定部と、を有する。第１検出部１１２は、例えばレゾルバである。
第２検出部１１３は、アウタロータ１３１の回転角度を検出する。具体的には、第２検出部１１３は、アウタロータ１３１に固定されてアウタロータ１３１とともに回転する第２回転部と、ステータ固定部１１１に固定されて第２回転部の回転角度を検出する第２固定部と、を有する。第２検出部１１３は、例えばレゾルバである。

なお、本実施形態では、第１検出部１１２および第２検出部１１３がレゾルバである場合について説明するが、上記に限定されるものではなく、第１検出部１１２および第２検出部１１３は、例えば光学式のエンコーダであってもよい。
また、第１検出部１１２および第２検出部１１３の配置位置は、図２に示す位置に限定されない。第１検出部１１２および第２検出部１１３は、図２に示す位置よりもステータ固定部１１１の他端側、例えば、軸受部とモータステータとの間やモータステータよりも他端側に配置してもよい。

また、軸受部は、第１軸受１１４と、第２軸受１１５と、を有する。
第１軸受１１４は、インナロータ１２１と連動して回転する。第２軸受１１５は、アウタロータ１３１と連動して回転する。
具体的には、第１軸受１１４は、ステータ固定部１１１に対して内周側かつインナロータ１２１に対して外周側である位置に設けられている。このように第１軸受１１４がステータ固定部１１１とインナロータ１２１との間に介在していることで、インナロータ１２１はステータ固定部１１１に対して回転可能に軸支されている。第２軸受１１５は、ステータ固定部１１１に対して外周側かつアウタロータ１３１に対して内周側に設けられている。このように第２軸受１１５がステータ固定部１１１とアウタロータ１３１との間に介在していることで、アウタロータ１３１はステータ固定部１１１に対して回転可能に軸支されている。

このように、偏芯二軸一体型モータ１１０は、２つのダイレクトドライブモータ（ＤＤモータ）を備えて構成されている。ここで、２つのＤＤモータ（インナモータ１２０、アウタモータ１３０）は、互いに平行で異なる軸上に配置され、尚且つ、インナモータ１２０はアウタモータ１３０の内側に配置されている。
そして、本実施形態では、図２に示すように、インナロータ１２１を動かないベース２００に固定し、アウタロータ１３１を駆動対象物である可動ロール３（図１参照）に接続する。なお、アウタロータ１３１は駆動対象物である可動ロール３と一体であってもよい。

動かないベース２００にインナロータ１２１を固定することで、インナロータ１２１の回転力はステータ固定部１１１を回転させる力となる。つまり、インナモータ１２０を駆動してステータ固定部１１１をインナモータ１２０の回転軸Ｐ１を中心に回転させると、モータ全体が回転軸Ｐ１を中心に偏心カムのように回転され、アウタロータ１３１に接続された可動ロール３が回転軸Ｐ１、Ｐ２に直交する平面内で移動する（隙間調整機能）。
また、アウタモータ１３０を駆動してアウタロータ１３１を回転させれば、可動ロール３を回転駆動することができる（回転機能）。したがって、上記隙間調整機能により可動ロール３を移動して固定ロール２と可動ロール３との間の隙間を調整した状態で、アウタモータ１３０を駆動してアウタロータ１３１を回転させれば、２つのロール２、３によって材料を挟み込んで送り出し、材料の成形を行うことができる。

以下、本実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ａの動作について具体的に説明する。
図３（ａ）に示すように、固定ロール２と可動ロール３とが離隔されている状態から、図３（ｂ）に示すように、インナモータ１２０を駆動してインナロータ１２１を、回転軸Ｐ１を中心に回転させる。なお、図３（ｂ）に示す回転方向は、偏芯二軸一体型モータ１１０を出力側から見た回転方向であってもよいし、反出力側から見た回転方向であってもよい。
図３（ｂ）に示すようにインナロータ１２１を時計回り方向に回転させると、ステータ固定部１１１及びアウタロータ１３１が回転軸Ｐ１を中心に一体となって偏芯回転し、可動ロール３が接線方向に変位する。これにより、可動ロール３が固定ロール２に近づく方向に移動し、可動ロール３を固定ロール２に押付ける力が発生する。このとき、可動ロール３の変位量をコントロールすれば、固定ロール２への押付け力および固定ロール２との間の隙間をコントロールすることができる。

この状態で、アウタモータ１３０を駆動してアウタロータ１３１を回転させる。例えば図３（ｂ）に示すように、固定ロール２が時計回り方向に回転している場合、アウタロータ１３１を、回転軸Ｐ２を中心に反時計回り方向に回転させ、可動ロール３を反時計回り方向に回転させる。これにより、材料５の送り出しを行うことができる。
このように、インナロータ１２１の回転で可動ロール３を固定ロール２に押付け、アウタロータ１３１の回転で材料５の送り出しを行う。
なお、図３（ｂ）に示す状態で、インナロータ１２１を反時計回り方向に回転させると、アウタロータ１３１が回転軸Ｐ１を中心に偏芯回転し、可動ロール３が固定ロール２から離れる方向に移動する。これにより、図３（ａ）に示す状態に戻すことが可能である。

以上説明したように、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａは、偏芯二軸一体型モータ１１０を備える。ここで、偏芯二軸一体型モータ１１０は、回転軸が互いに平行かつ異なる位置にあるインナロータ（内軸ロータ）１２１とアウタロータ（外軸ロータ）１３１とを有し、回転軸Ｐ１、Ｐ２から径方向外側に向かって、インナロータ１２１、モータステータ（内軸ステータ）１２３、モータステータ（外軸ステータ）１３３、アウタロータ１３１が順に配置された構成を有する。
また、偏芯二軸一体型モータ１１０は、インナロータ１２１と接続または一体化された第１の回転出力部と、アウタロータ１３１と接続または一体化された第２の回転出力部と、モータステータ１２３とモータステータ１３３との間に設けられてモータステータ１２３およびモータステータ１３３が固定されたステータ固定部１１１と、をさらに備える。

そして、２つの回転出力部のうち一方の回転出力部、具体的にはインナロータ１２１を動かないベース２００に対して回転不可能に固定し、他方の回転出力部、具体的にはアウタロータ１３１を駆動対象物に接続または一体化させる。
このように、インナロータ１２１を動かないベース２００に固定することで、インナモータ１２０を駆動した際のインナロータ１２１の回転力は、ステータ固定部１１１を回転させる力となり、アクチュエータ全体を偏芯カムのように動かすことができる。また、アウタモータ１３０を駆動することで、駆動対象物を回転駆動させることができる。
つまり、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａは、回転軸Ｐ１を偏芯カムの回転軸とした隙間調整機能と、回転軸Ｐ２を中心とした回転機能とを実現することができる。具体的には、駆動対象物を薄膜成形装置１が備える可動ロール３とすれば、可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。

また、ロータリーアクチュエータ１００Ａは、偏芯回転によって接線方向に発生する変位を利用して、可動ロール３の固定ロール２への押付け機能を実現する。そのため、ロータリーアクチュエータ１００Ａを可動ロール３の回転軸と同軸上に配置することができる。したがって、アクチュエータをロール回転軸に対して直交するように配置する従来の構成と比べて、装置上でアクチュエータが占めるスペースを小さくすることができる。また、ロータリーアクチュエータ１００Ａは、インナモータ１２０をアウタモータ１３０の内側に配置した偏芯二軸一体型モータ１１０を有する構成であるため、アクチュエータの省スペース化を実現することができる。
さらに、ロータリーアクチュエータ１００Ａは、油圧駆動機構を備えないため、装置のクリーン性も向上する。さらにまた、ロールを可動とするための直動スライダなども不要になるほか、一つのアクチュエータでロールの押付けと材料の送り出しとが可能になるため、装置全体の部品点数の削減を図れる。

また、インナロータ１２１は、回転軸Ｐ１に沿って貫通する中空穴を有することができる。したがって、配線や配管（エアチューブ等）が容易となる。
なお、インナロータ１２１は、中空構造を有していなくてもよい。つまり、インナモータ１２０は中実モータであってもよい。

（第二の実施形態）
次に、本発明における第二の実施形態について説明する。
この第二の実施形態では、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａのインナロータ１２１に減速機構を配した場合について説明する。
図４は、第二の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｂの主要構成を示す断面図である。なお、この図４において、図２に示すロータリーアクチュエータ１００Ａと同様の構成を有する部分には、図２と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図４に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｂは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、減速機構１４０Ａと、を備える。偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。
減速機構１４０Ａは、インナロータ１２１からの駆動力を減速してステータ固定部１１１に伝達する。

本実施形態において、減速機構１４０Ａは、偏芯二軸一体型モータ１１０のインナモータ１２０と同軸上に配置された遊星歯車機構である。
図４に示すように、減速機構１４０Ａは、外歯車（サンギヤ）１４１ａと、複数の遊星歯車（プラネタリギヤ）１４２ａと、キャリア１４３ａと、キャリア軸（プラネタリギヤ支持軸）１４４ａと、内歯車（リングギヤ）１４５ａと、を備える。
外歯車１４１ａは、内歯車１４５ａの内側においてインナロータ１２１と同軸上に配置されており、複数の遊星歯車１４２ａは、外歯車１４１ａと内歯車１４５ａとに噛合している。また、複数の遊星歯車１４２ａは、キャリア１４３ａに一端が固定されたキャリア軸１４４ａにより回転自在に支持されている。なお、遊星歯車１４２ａの数は特に限定されない。

そして、図４に示すように、外歯車１４１ａの他端側（図４の下側）は、インナロータ１２１の一端側（図４の上側）に連結されている。また、キャリア軸１４４ａの一端側は、ベース２００に連結されている。さらに、内歯車１４５ａの他端側は、キャリア固定部１１１の一端側に連結されている。
外歯車１４１ａは、回転軸Ｐ１を中心軸として貫通する中空穴を有しており、当該中空穴は、外歯車１４１ａが円筒状のインナロータ１２１に連結された状態において、インナロータ１２１の中空穴と連通する。
本実施形態における減速機構１４０Ａは、キャリア１４３ａがキャリア軸１４４ａを介してベース２００に連結されて固定されているため、外歯車１４１ａと内歯車１４５ａとの間で複数の遊星歯車１４２ａが自転のみで公転しない、所謂スター型の遊星歯車機構である。

可動ロール３を固定ロール２に押し付ける、または、可動ロール３を固定ロール２から引き離す場合には、上述した第一の実施形態と同様に、インナモータ１２０を駆動する。すると、本実施形態では、インナロータ１２１が回転し、インナロータ１２１とともに減速機構１４０Ａの外歯車１４１ａが回転する。このとき、外歯車１４１ａに噛み合う遊星歯車１４２ａが自転し、遊星歯車１４２ａに噛み合う内歯車１４５ａを回転させる。そして、内歯車１４５ａがステータ固定部１１１を回転させる。つまり、ステータ固定部１１１の発生トルクは、インナロータ１２１から減速機構１４０Ａを介して発生されたトルクとなり、可動ロール３の固定ロール２に対する押付けトルクの増大が可能となる。

以上説明したように、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｂは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、減速機構１４０Ａと、を備える。具体的には、偏芯二軸一体型モータ１１０が備える２つの回転出力部のうちインナロータ１２１と接続された第１の回転出力部が、インナロータ１２１からの駆動力を減速してステータ固定部１１１に伝達する減速機構１４０Ａを備える。
これにより、上述した第一の実施形態と同様に、１つのアクチュエータで可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。また、減速機構１４０Ａを配することで、ロータを駆動してステータ固定部１１１を回転させる際のトルクを増大させることができる。つまり、可動ロール３の固定ロール２への押付けトルクを増大することができる。また、両ロール間の隙間を微調整できる。

ここで、減速機能１４０Ａとしては、遊星歯車機構を採用することができる。具体的には、外歯車１４１ａをインナロータ１２１に連結し、キャリア１４３ａを動かないベース２００に固定し、内歯車１４５ａをステータ固定部１１１に連結することができる。
これにより、インナモータ１２０を駆動させた場合に、インナロータ１２１（外歯車１４１ａ）が遊星歯車１４２ａを駆動し、ステータ固定部１１１（内歯車１４５ａ）に高トルクを発生させることができる。このように、比較的簡易な構成で、可動ロール３の押付け力を増大させることができる。

なお、本実施形態において、減速機構として採用する遊星歯車機構は、内歯車を固定し、外歯車を駆動軸、キャリアを出力軸とする、所謂プラネタリ型の遊星歯車機構であってもよい。
また、本実施形態においては、２段以上の減速機構を用いることもできる。この場合、より大きな減速比を得ることができ、より大きなトルクを得ることができる。
さらに、本実施形態においては、減速機構として遊星歯車機構を用いる場合について説明したが、インナロータ１２１からの駆動力を減速してキャリア固定部１１１に伝達することができればよく、他の減速機構、例えばトラクションドライブ減速機などの機構を用いることもできる。

（第三の実施形態）
次に、本発明における第三の実施形態について説明する。
この第三の実施形態では、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａのインナロータ１２１にブレーキ機構を配した場合について説明する。
図５は、第三の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｃの主要構成を示す断面図である。なお、この図５において、図２に示すロータリーアクチュエータ１００Ａと同様の構成を有する部分には、図２と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図５に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｃは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、ブレーキ機構１５０Ａと、を備える。偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。
ブレーキ機構１５０Ａは、ステータ固定部１１１の回転を停止する機能を有する。

ブレーキ機構１５０Ａは、例えば、永久磁石式電磁ブレーキとすることができる。
図５に示すように、ブレーキ機構１５０Ａは、フランジ１５１ａと、スプリング１５２ａと、アーマチュア１５３ａと、マグネットヨーク１５４ａと、を備える。
フランジ１５１ａは、インナロータ１２１の他端側（図５の下側）端部から径方向外側に突出して設けられている。フランジ１５１ａには、スプリング１５２ａを介してアーマチュア１５３ａが取り付けられている。スプリング１５２ａは、アーマチュア１５３ａをフランジ１５１ａ側に付勢している。また、マグネットヨーク１５４ａは、アーマチュア１５３ａに対向するようにステータ固定部１１１に取り付けられている。

第一の実施形態において詳述したように、インナモータ１２０を駆動してステータ固定部１１１をインナモータ１２０の回転軸Ｐ１を中心に回転させることで、モータ全体が回転軸Ｐ１を中心に偏心カムのように動き、アウタロータ１３１に接続または一体化された可動ロール３を移動することができる。これにより、固定ロール２と可動ロール３との間の隙間を所望の隙間に調整することができる。
この隙間調整後に、ブレーキ機構１５０Ａを作動すると、アーマチュア１５３ａとマグネットヨーク１５４ａとが吸着され、インナロータ１２１とステータ固定部１１１とが固定される。これにより、ステータ固定部１１１の位置、すなわち、可動ロール３の位置を固定することができ、両ロール間の隙間を所望値に維持できる。

以上説明したように、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｃは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、ブレーキ機構１５０Ａと、を備える。
これにより、上述した第一の実施形態と同様に、１つのアクチュエータで可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。また、ブレーキ機構１５０Ａを配することで、固定ロール２と可動ロール３との隙間調整後の可動ロール３の位置固定が可能となる。

したがって、例えばロータリーアクチュエータ１００Ｃの偏芯カムの動きで可動ロール３の固定ロール２に対する押付け動作を行っている場合に、何らかの理由により電源が一時的に遮断された場合であっても、可動ロール３の位置が変動してしまうことを防止することができる。つまり、非常用のブレーキとして機能させることができる。
また、可動ロール３の位置を固定することができるので、薄膜成形装置１による材料成形中に固定ロール２と可動ロール３との間の隙間を一定に保つための制御が不要になる。つまり、無駄な電力を削減することができる。

なお、本実施形態においては、フランジ１５１ａをインナロータ１２１に取り付け、マグネットヨーク１５４ａをステータ固定部１１１に取り付ける場合について説明したが、フランジ１５１ａをステータ固定部１１１に取り付け、マグネットヨーク１５４ａをインナロータ１２１に取り付ける構成であってもよい。
さらに、本実施形態においては、ブレーキ機構１５０Ａがインナロータ１２１とステータ固定部１１１とを固定する構成である場合について説明した。しかしながら、ブレーキ機構１５０Ａは、ステータ固定部１１１の回転を止められる構成であればよく、ステータ固定部１１１を、インナロータ１２１とは別の固定部材（例えば、ベース２００等）に固定する構成であってもよい。
また、本実施形態においては、ブレーキ機構が永久磁石式電磁ブレーキである場合について説明したが、ブレーキ機構は上記に限定されるものではない。

（第四の実施形態）
次に、本発明における第四の実施形態について説明する。
この第四の実施形態では、上述した第二の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｂのインナロータ１２１にブレーキ機構を配した場合について説明する。
図６は、第四の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｄの主要構成を示す断面図である。なお、この図６において、図４に示すロータリーアクチュエータ１００Ｂと同様の構成を有する部分には、図４と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図６に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｄは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、減速機構１４０Ａと、ブレーキ機構１５０Ａと、を備える。
偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第二の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｂが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。減速機構１４０Ａは、上述した第二の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｂが備える減速機構１４０Ａと同一構成を有する。ブレーキ機構１５０Ａは、上述した第三の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｃが備えるブレーキ機構１５０Ａと同一構成を有する。

これにより、上述した第二の実施形態と同様に、１つのアクチュエータで可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。また、減速機構１４０Ａを配することで、ロータを駆動してステータ固定部１１１が回転させる際のトルクを増大させることができる。つまり、可動ロール３の固定ロール２への押付けトルクを増大することができる。さらに、ブレーキ機構１５０Ａを配することで、上述した第三の実施形態と同様に、固定ロール２と可動ロール３との隙間調整後の可動ロール３の位置固定が可能となる。

（第五の実施形態）
次に、本発明における第五の実施形態について説明する。
上述した第一の実施形態～第四の実施形態では、インナロータ１２１をベース２００に固定し、インナモータ１２０の回転軸Ｐ１を偏芯カムの回転軸として用いる場合について説明した。この第五の実施形態では、アウタロータ１３１をベース２００に固定し、アウタモータ１３０の回転軸Ｐ２を偏芯カムの回転軸として用いる場合について説明する。
図７は、第五の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｅの主要構成を示す断面図である。なお、この図７において、図２に示すロータリーアクチュエータ１００Ａと同様の構成を有する部分には、図２と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図７に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｅは、偏芯二軸一体型モータ１１０を備える。ここで、偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。
本実施形態では、偏芯二軸一体型モータ１１０のアウタロータ１３１が、動かないベース２００に固定され、インナロータ１２１が駆動対象物である可動ロール３（図１参照）に接続されている。

動かないベース２００にアウタロータ１３１を固定することで、アウタロータ１３１の回転力はステータ固定部１１１を回転させる力となる。つまり、アウタモータ１３０を駆動してステータ固定部１１１をアウタモータ１３０の回転軸Ｐ２を中心に回転させると、インナロータ１２１が回転軸Ｐ２を中心に偏心カムのように回転され、インナロータ１２１に接続された可動ロール３が移動する（隙間調整機能）。
また、インナモータ１２０を駆動してインナロータ１２１を回転させれば、可動ロール３を回転駆動することができる（回転機能）。したがって、上記隙間調整機能により可動ロール３を移動して固定ロール２と可動ロール３との間の隙間を調整した状態で、インナモータ１２０を駆動してインナロータ１２１を回転させれば、２つのロール２、３によって材料を挟み込んで送り出し、材料の成形を行うことができる。

以上説明したように、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅは、偏芯二軸一体型モータ１１０の２つの回転出力部のうち一方の回転出力部、具体的にはアウタロータ１３１を動かないベース２００に対して回転不可能に固定し、他方の回転出力部、具体的にはインナロータ１２１を駆動対象物に接続または一体化させる。
このように、アウタロータ１３１を動かないベース２００に固定することで、アウタモータ１３０を駆動した際のアウタロータ１３１の回転力は、ステータ固定部１１１を回転させる力となり、インナロータ１２１を偏芯カムのように動かすことができる。また、インナモータ１２０を駆動することで、駆動対象物を回転駆動させることができる。
つまり、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅは、回転軸Ｐ２を偏芯カムの回転軸とした隙間調整機能と、回転軸Ｐ１を中心とした回転機能とを実現することができる。つまり、上述した第一の実施形態～第四の実施形態と同様に、可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。

（第六の実施形態）
次に、本発明における第六の実施形態について説明する。
この第六の実施形態では、上述した第五の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅのアウタロータ１３１に減速機構を配した場合について説明する。
図８は、第六の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｆの主要構成を示す断面図である。なお、この図８において、図７に示すロータリーアクチュエータ１００Ｅと同様の構成を有する部分には、図７と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図８に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｆは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、減速機構１４０Ｂと、を備える。偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第五の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。
減速機構１４０Ｂは、アウタロータ１３１からの駆動力を減速してステータ固定部１１１に伝達する。

本実施形態において、減速機構１４０Ｂは、偏芯二軸一体型モータ１１０のアウタモータ１３０と同軸上に配置された遊星歯車機構である。
図８に示すように、減速機構１４０Ｂは、外歯車（サンギヤ）１４１ｂと、複数の遊星歯車（プラネタリギヤ）１４２ｂと、キャリア１４３ｂと、キャリア軸（プラネタリギヤ支持軸）１４４ｂと、内歯車（リングギヤ）１４５ｂと、を備える。
外歯車１４１ｂは、内歯車１４５ｂの内側においてアウタロータ１３１と同軸上に配置されており、複数の遊星歯車１４２ｂは、外歯車１４１ｂと内歯車１４５ｂとに噛合している。また、複数の遊星歯車１４２ｂは、キャリア１４３ｂに一端が固定されたキャリア軸１４４ｂにより回転自在に支持されている。なお、遊星歯車１４２ｂの数は特に限定されない。

そして、図８に示すように、外歯車１４１ｂの一端側（図８の上側）は、ベース２００に連結されている。また、キャリア軸１４４ｂの他端側（図８の下側）は、キャリア１４３ｂを介してキャリア固定部１１１の一端側に連結されている。さらに、内歯車１４５ｂの他端側は、アウタロータ１３１の一端側に連結されている。
外歯車１４１ｂは、回転軸Ｐ２を中心軸として貫通する中空穴を有しており、当該中空穴は、外歯車１４１ｂがベース２００に連結された状態において、インナロータ１２１の中空穴と連通する。
本実施形態における減速機構１４０Ｂは、外歯車１４１ｂがベース２００に連結されて固定されているため、外歯車１４１ｂと内歯車１４５ｂとの間で複数の遊星歯車１４２ｂが自転しながら公転する、所謂ソーラー型の遊星歯車機構である。

可動ロール３を固定ロール２に押し付ける、または、可動ロール３を固定ロール２から引き離す場合には、上述した第五の実施形態と同様に、アウタモータ１３０を駆動する。すると、本実施形態では、アウタロータ１３１が回転し、アウタロータ１３１とともに減速機構１４０Ｂの内歯車１４５ｂが回転する。このとき、内歯車１４５ｂに噛み合う遊星歯車１４２ｂが自転しながら公転し、遊星歯車１４２ｂの公転によってステータ固定部１１１が回転する。つまり、ステータ固定部１１１の発生トルクは、アウタロータ１３１から減速機構１４０Ｂを介して発生されたトルクとなり、可動ロール３の固定ロール２に対する押付けトルクの増大が可能となる。

以上説明したように、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｆは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、減速機構１４０Ｂと、を備える。具体的には、偏芯二軸一体型モータ１１０が備える２つの回転出力部のうちアウタロータ１３１と接続された第２の回転出力部が、アウタロータ１３１からの駆動力を減速してステータ固定部１１１に伝達する減速機構１４０Ｂを備える。
これにより、上述した第五の実施形態と同様に、１つのアクチュエータで可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。また、減速機構１４０Ｂを配することで、上述した第二の実施形態と同様に、ロータを駆動してステータ固定部が回転する際のトルクを増大させることができる。つまり、可動ロール３の固定ロール２への押付けトルクを増大することができる。また、両ロール間の隙間を微調整できる。

（第七の実施形態）
次に、本発明における第七の実施形態について説明する。
この第七の実施形態では、上述した第五の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅのアウタロータ１３１にブレーキ機構を配した場合について説明する。
図９は、第七の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｇの主要構成を示す断面図である。なお、この図９において、図７に示すロータリーアクチュエータ１００Ｅと同様の構成を有する部分には、図７と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図９に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｇは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、ブレーキ機構１５０Ｂと、を備える。偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第五の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。
ブレーキ機構１５０Ｂは、ステータ固定部１１１の回転を停止する機能を有する。

ブレーキ機構１５０Ｂは、例えば、永久磁石式電磁ブレーキとすることができる。
図９に示すように、ブレーキ機構１５０Ｂは、フランジ１５１ｂと、スプリング１５２ｂと、アーマチュア１５３ｂと、マグネットヨーク１５４ｂと、を備える。
フランジ１５１ｂは、ステータ固定部１１１の他端側（図９の下側）端部から径方向外側に突出して設けられている。フランジ１５１ｂには、スプリング１５２ｂを介してアーマチュア１５３ｂが取り付けられている。スプリング１５２ｂは、アーマチュア１５３ｂをフランジ１５１ｂ側に付勢している。また、マグネットヨーク１５４ｂは、アーマチュア１５３ｂに対向するようにアウタロータ１３１に取り付けられている。

第五の実施形態において詳述したように、アウタモータ１３０を駆動してステータ固定部１１１をアウタモータ１３０の回転軸Ｐ２を中心に回転させることで、モータ全体が回転軸Ｐ２を中心に偏心カムのように動き、インナロータ１２１に接続または一体化された可動ロール３を移動することができる。これにより、固定ロール２と可動ロール３との間の隙間を所望の隙間に調整することができる。
この隙間調整後に、ブレーキ機構１５０Ｂを作動すると、アーマチュア１５３ｂとマグネットヨーク１５４ｂとが吸着され、アウタロータ１３１とステータ固定部１１１とが固定される。これにより、ステータ固定部１１１の位置、すなわち、可動ロール３の位置を固定することができ、両ロール間の隙間を所望値に維持できる。

以上説明したように、本実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｇは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、ブレーキ機構１５０Ｂと、を備える。
これにより、上述した第五の実施形態と同様に、１つのアクチュエータで可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。また、ブレーキ機構１５０Ｂを配することで、上述した第三の実施形態と同様に、固定ロール２と可動ロール３との隙間調整後の可動ロール３の位置固定が可能となる。

なお、本実施形態においては、フランジ１５１ｂをステータ固定部１１１に取り付け、マグネットヨーク１５４ｂをアウタロータ１３１に取り付ける場合について説明したが、フランジ１５１ｂをアウタロータ１３１に取り付け、マグネットヨーク１５４ｂをステータ固定部１１１に取り付ける構成であってもよい。
さらに、本実施形態においては、ブレーキ機構１５０Ｂがアウタロータ１３１とステータ固定部１１１とを固定する構成である場合について説明した。しかしながら、ブレーキ機構は、ステータ固定部１１１の回転を止められる構成であればよく、ステータ固定部１１１を、アウタロータ１３１とは別の固定部材（例えば、ベース２００等）に固定する構成であってもよい。
また、本実施形態においては、ブレーキ機構が永久磁石式電磁ブレーキである場合について説明したが、ブレーキ機構は上記に限定されるものではない。

（第八の実施形態）
次に、本発明における第八の実施形態について説明する。
この第八の実施形態では、上述した第六の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｆのアウタロータ１３１にブレーキ機構を配した場合について説明する。
図１０は、第八の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｈの主要構成を示す断面図である。なお、この図１０において、図８に示すロータリーアクチュエータ１００Ｆと同様の構成を有する部分には、図８と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図１０に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｈは、偏芯二軸一体型モータ１１０と、減速機構１４０Ｂと、ブレーキ機構１５０Ｂと、を備える。
偏芯二軸一体型モータ１１０は、上述した第六の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｆが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。減速機構１４０Ｂは、上述した第六の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｆが備える減速機構１４０Ｂと同一構成を有する。ブレーキ機構１５０Ｂは、上述した第七の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｇが備えるブレーキ機構１５０Ｂと同一構成を有する。

これにより、上述した第六の実施形態と同様に、１つのアクチュエータで可動ロール３の固定ロール２への押付け機能と、可動ロール３の材料の送り出し機能とを実現することができる。また、減速機構１４０Ｂを配することで、可動ロール３の固定ロール２への押付けトルクを増大することができる。さらに、ブレーキ機構１５０Ｂを配することで、上述した第七の実施形態と同様に、固定ロール２と可動ロール３との隙間調整後の可動ロール３の位置固定が可能となる。

（第九の実施形態）
次に、本発明における第九の実施形態について説明する。
この第九の実施形態では、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａのインナロータ１２１の他端側にも軸受を配した場合について説明する。
図１１は、第九の実施形態のロータリーアクチュエータ１００Ｉの主要構成を示す断面図である。なお、この図１１において、図２に示すロータリーアクチュエータ１００Ａと同様の構成を有する部分には、図２と同一符号を付し、ここでは具体的な説明は省略する。

図１１に示すように、ロータリーアクチュエータ１００Ｉは、偏芯二軸一体型モータ１１０Ａを備える。偏芯二軸一体型モータ１１０Ａは、インナロータ１２１の他端側（図１１の下側）に第３軸受１１６が追加されていることを除いては、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａが備える偏芯二軸一体型モータ１１０と同一構成を有する。
第３軸受１１６は、ステータ固定部１１１に対して内周側かつインナロータ１２１に対して外周側である位置に設けられている。

このように、インナロータ１２１の他端側に第３軸受１１６を配置することで、アクチュエータの剛性を向上させることができる。
なお、本実施形態では、上述した第一の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ａのインナロータ１２１の他端側に第３軸受１１６を配する場合について説明したが、上述した第二の実施形態～第四の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｂ～１００Ｄについても、同様にインナロータ１２１の他端側に第３軸受１１６を配することができる。

また、上述した第五の実施形態～第八の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅ～１００Ｈについては、ステータ固定部１１１に対して外周側かつアウタロータ１３１に対して内周側である位置に、第３軸受１１６を配することができる。
図１２は、第五の実施形態におけるロータリーアクチュエータ１００Ｅのアウタロータ１３１の他端側に第３軸受１１６を配する場合の構成例である。
このように、ベース２００に固定された回転出力部のロータ（第一の実施形態～第四の実施形態ではインナロータ１２１、第五の実施形態～第八の実施形態ではアウタロータ１３１）の軸方向両端部をそれぞれ軸受によって支持することで、当該ロータを駆動してステータ固定部１１１を回転させる際の剛性を向上させることができる。

（変形例）
上記各実施形態においては、検出部（第１検出部１１２、第２検出部１１３）に近い側のロータ回転出力面をベース２００との固定面とする場合について説明したが、その反対側（検出部から遠い側）のロータ回転出力面をベース２００との固定面としてもよい。
また、上記各実施形態におけるロータリーアクチュエータは、駆動対象物に対して複数設けてもよい。例えば、薄膜成形装置１の可動ロール３の場合、上記各実施形態におけるロータリーアクチュエータは、可動ロール３の軸方向両端に配置してもよい。ただし、この場合、両端に配置したアクチュエータの同期が必要となる。

さらに、上記各実施形態においては、ロータリーアクチュエータを薄膜成形装置の可動ロールの駆動に適用する場合について説明したが、上記に限定されるものではない。例えば、薄膜成形装置のテンションロールの駆動に適用することもできる。また、薄膜成形装置が備えるロール以外にも、例えばフィルムの巻取機などの薄膜搬送装置が備えるロールの駆動にも適用可能である。要は、駆動対象物は、回転駆動と位置調整とを要する部材であればよい。
また、上記各実施形態においては、２つのＤＤモータ（インナモータ１２０、アウタモータ１３０）は、互いに平行で異なる軸上に配置され、尚且つ、インナモータ１２０がアウタモータ１３０の内側に配置されている場合について説明した。しかしながら、２つのＤＤモータは直列に接続されていても実現可能である。

１…薄膜成形装置、２…固定ロール、３…可動ロール、１００Ａ～１００Ｉ…ロータリーアクチュエータ、１１０…偏芯二軸一体型モータ、１１１…ステータ固定部、１２０…インナモータ、１２１…インナロータ（内軸ロータ）、１２２…マグネット、１２３…モータステータ（内軸ステータ）、１２３ａ…ステータコア、１２３ｂ…コイル、１３０…アウタモータ、１３１…アウタロータ（外軸ロータ）、１３２…マグネット、１３３…モータステータ（外軸ステータ）、１３３ａ…ステータコア、１３３ｂ…コイル、１４０Ａ，１４０Ｂ…減速機構、１５０Ａ，１５０Ｂ…ブレーキ機構、２００…ベース

Claims (8)

1. 回転軸が平行かつ異なる位置にある内軸ロータと外軸ロータとを有し、前記回転軸から径方向外側に向かって、前記内軸ロータ、内軸ステータ、外軸ステータ、前記外軸ロータが順に配置された偏芯二軸一体型モータを備え、
   前記偏芯二軸一体型モータは、
   前記内軸ロータと接続または一体化された第１の回転出力部と、
   前記外軸ロータと接続または一体化された第２の回転出力部と、
   前記内軸ステータと前記外軸ステータとの間に設けられて前記内軸ステータおよび前記外軸ステータが固定されたステータ固定部と、をさらに備え、
   前記第１の回転出力部および前記第２の回転出力部のうち一方の回転出力部が動かないベースに対して回転不可能に固定され、他方の回転出力部が駆動対象物に接続または一体化されていることを特徴とするロータリーアクチュエータ。
2. 前記内軸ロータが前記ベースに対して回転不可能に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のロータリーアクチュエータ。
3. 前記外軸ロータが前記ベースに対して回転不可能に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のロータリーアクチュエータ。
4. 前記一方の回転出力部は、
   前記一方の回転出力部のロータからの駆動力を減速して前記ステータ固定部に伝達する減速機構を備えることを特徴とする請求項１に記載のロータリーアクチュエータ。
5. 前記減速機構は、前記一方の回転出力部のロータと同軸上に配置された遊星歯車機構であることを特徴とする請求項４に記載のロータリーアクチュエータ。
6. 前記ステータ固定部の回転を停止するブレーキ機構をさらに備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のロータリーアクチュエータ。
7. 前記ブレーキ機構は、前記一方の回転出力部のロータと前記ステータ固定部とを固定可能な永久磁石式電磁ブレーキであることを特徴とする請求項６に記載のロータリーアクチュエータ。
8. 前記一方の回転出力部のロータの軸方向両端部をそれぞれ支持する軸受をさらに備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のロータリーアクチュエータ。

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