JP2022084520A - Oled発光装置、表示装置、電子機器及びoled発光装置の製造方法 - Google Patents

Oled発光装置、表示装置、電子機器及びoled発光装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】素子間のクロストークによる発光品質の低下を抑制する。【解決手段】第1スタック構造発光素子は、二つの発光ユニットと、それらの間の第1電荷発生層を含む。第2スタック構造発光素子は、二つの発光ユニットと、それらの間の第2電荷発生層を含む。第1電荷発生層及び第2電荷発生層は、それぞれ、1以上の電荷発生構成層で構成される。第1電荷発生層の第1端部と第2電荷発生層の第2端部とが、素子分離層の頂面において重なっている。第1端部と第2端部とが重なっている部分において、第1電荷発生層及び第2電荷発生層それぞれの同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、第1スタック構造発光素子又は第2スタック構造発光素子の構成層であって、上記同一極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在する。【選択図】図3A

Description

本開示は、OLED発光装置に関する。
OLED(Organic Light-Emitting Diode)素子は電流駆動型の自発光素子であるため、バックライトが不要となる上に、低消費電力、高視野角、高コントラスト比が得られるなどのメリットがあり、フラットパネルディスプレイや光源装置等の発光装置の開発において期待されている。
同一色又は異なる色のOLED構造を有する複数の発光ユニットをスタックする構造が知られている。同一色の発光ユニットをスタックすることで、OLED発光装置の長寿命化及び高輝度化を実現することができる。また、例えば赤、青及び緑の発光ユニットをスタックすることで、白色発光素子を構成することができる。スタック構造を有する発光素子(画素)は、例えば、特許文献1又は2に開示されている。
米国特許出願公開第2015/0357388号 米国特許出願公開第2018/0190731号
スタック構造を有する発光素子は、発光ユニットの間に電荷発生層を必要とする。電荷発生層は、一方の発光ユニットに電子を供給し、他方のユニットに正孔を供給する。しかし、隣接する発光素子の間において、電荷発生層を介した電荷リークが発生する可能性がある。電荷リークによる発光素子間のクロストークは、OLED発光装置の発光品質を低下させる。
本開示の一態様に係るOLED発光装置は、発光領域を定義する開口と、前記開口間の頂面とを含む、素子分離層と、前記開口内で露出している下部電極と、第1下部電極上に配置されている、第1スタック構造発光素子と、前記第1スタック構造発光素子に隣接し、前記第1下部電極に隣接する第2下部電極上に配置されている、第2スタック構造発光素子と、を含む。前記第1スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第1発光ユニット及び第2発光ユニットと、前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットの間の第1電荷発生層と、を含む。前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、それぞれ発光層を含む。前記第1電荷発生層は、一方極性の電荷を前記第1発光ユニットに供給し、他方極性の電荷を前記第2発光ユニットに供給する。前記第2スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第3発光ユニット及び第4発光ユニットと、前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットの間の第2電荷発生層と、を含む。前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットは、それぞれ発光層を含む。前記第2電荷発生層は、前記一方極性の電荷を前記第3発光ユニットに供給し、前記他方極性の電荷を前記第4発光ユニットに供給する。前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層は、それぞれ、1以上の電荷発生構成層で構成される。前記第1電荷発生層の第1端部と前記第2電荷発生層の第2端部とが、前記素子分離層の頂面において重なっている。前記第1端部と前記第2端部とが重なっている部分において、前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層それぞれの同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、前記第1スタック構造発光素子又は前記第2スタック構造発光素子の構成層であって、前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在する。
本開示の一態様に係る、OLED発光装置の製造方法は、下部電極を形成し、発光領域を定義する開口と前記開口間の頂面とを含む素子分離層を、前記下部電極が前記開口それぞれから露出するように形成し、前記素子分離層上に、隣接する第1スタック構造発光素子及び第2スタック構造発光素子を形成することを含む。前記第1スタック構造発光素子は、前記第1スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第1発光ユニット及び第2発光ユニットと、前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットの間の第1電荷発生層と、を含む。前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、それぞれ発光層を含む。前記第1電荷発生層は、一方極性の電荷を前記第1発光ユニットに供給し、他方極性の電荷を前記第2発光ユニットに供給する。前記第2スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第3発光ユニット及び第4発光ユニットと、前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットの間の第2電荷発生層と、を含む。前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットは、それぞれ発光層を含む。前記第2電荷発生層は、前記一方極性の電荷を前記第3発光ユニットに供給し、前記他方極性の電荷を前記第4発光ユニットに供給する。前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層は、それぞれ、1以上の電荷発生構成層で構成される。前記第1電荷発生層の第1端部と前記第2電荷発生層の第2端部とが、前記素子分離層の頂面において重なっている。前記第1端部と前記第2端部とが重なっている部分において、前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層それぞれの同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、前記第1スタック構造発光素子又は前記第2スタック構造発光素子の構成層であって、前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在している。
本開示の一態様によれば、発光素子間のクロストークによる発光品質の低下を抑制できる。
OLED表示装置の構成例を模式的に示す。 スタック構造発光素子アレイの一部の平面図を示す。 図2AにおけるIIB-IIB切断線での断面構造を模式的に示す。 図2Bにおける破線の円IICで囲まれた部分の拡大図を示す。 隣接するスタック構造発光素子の電荷発生層の異なる構成例を示す断面図である。 図3Aにおける破線の円IIIBで囲まれた部分の拡大図を示す。 電荷発生層生成するために使用可能なメタルマスクの開口パターンを模式的に示す。 電荷発生層生成するために使用可能なメタルマスクの開口パターンの他の例を模式的に示す。 画素定義層を形成した後の製造工程の一部のフローチャートを示す。 隣接するスタック構造発光素子の異なる構成例を示す断面図である。 図7Aにおける破線の円VIIBで囲まれた部分の拡大図を示す。 隣接するスタック構造発光素子の異なる構成例を示す断面図である。 図8Aにおける破線の円VIIIBで囲まれた部分の拡大図を示す。 隣接するスタック構造発光素子の異なる構成例を示す断面図である。 図9Aにおける破線の円IXBで囲まれた部分の拡大図を示す。 隣接するスタック構造発光素子の異なる構成例を示す断面図である。 スタック構造発光素子アレイの一部の平面図を示す。 図11AにおけるXIB-XIB切断線での断面構造の一部を模式的に示す。 図11AにおけるXIC-XIC切断線での断面構造の一部を模式的に示す。 隣接するスタック構造発光素子の構成例を示す断面図である。 図12に示す赤、緑又は青の光を放出するスタック構造発光素子のレイアウト例を示す平面図である。 スタック構造発光素子の他の構造例を示す。 車両及び車載ディスプレイの構成例を模式的に示す。 スマートフォンの構成例を模式的に示す。 本明細書の実施形態に係るOLED発光装置を適用した生体センサの例を示す。
以下、添付図面を参照して実施形態を説明する。実施形態は本開示を実現するための一例に過ぎず、本開示の技術的範囲を限定するものではない。各図において共通の構成については同一の参照符号が付されている。説明をわかりやすくするため、図示した物の寸法、形状については、誇張して記載している場合もある。
以下において、OLED(Organic Light-Emitting Diode)発光装置を開示する。OLED発光装置の代表的な一例は、OLED表示装置である。本明細書の一実施形態に係るOLED表示装置は、それぞれOLED構造を有する複数の発光ユニットをスタックしたスタック構造発光素子を含む。一つのスタック構造発光素子において、スタックされた複数の発光ユニットは、同一色又は異なる色の発光層を含む。本明細書において、特に明示のない場合、画素は、画像を表示するために特定の色を放出する要素であって、例えば、赤、青、緑又は白の光を放出する。なお、赤、青、又は緑の画素を、副画素と呼ぶことがある。スタック構造発光素子は、一つの画素に対応する。
スタック構造発光素子において、電圧を印加することで電荷が発生する電荷発生層が、隣接する上下の発光ユニットの間に挟まれている。電荷発生層は、一方の発光ユニットに電子を供給し、他方のユニットに正孔を供給する。隣接するスタック構造発光素子の電荷発生層の間において電荷リークが発生すると、この微少電流が、隣接画素をわずかに発光させる(いわゆる、クロストーク)。本実施の形態では、この電荷リークを低減又は無くす、OLED表示装置の構造を説明する。
本明細書の一実施形態に係るOLED表示装置の表示領域は、画素に対応するスタック構造発光素子を含む。スタック構造発光素子は、スタックされた複数の発光ユニットを含み、さらに、発光ユニット間に電荷発生層を含む。隣接するスタック構造発光素子の電荷発生層の端部は、画素定義層の頂面において重なっている。画素定義層は、素子分離層の例である。電荷発生層端部が重なっている部分において電荷発生層それぞれの同一極性の電荷を生成する構成層の間に、当該極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在する。これにより、電荷発生層間の電荷リークを抑制できる。
[装置構成]
図1は、OLED表示装置1の構成例を模式的に示す。OLED表示装置1は、OLED素子及び画素回路が形成されるTFT(Thin Film Transistor)基板10と、有機発光素子を封止する薄膜封止構造(TFE:Thin Film Encapsulation)20と、を含んで構成されている。薄膜封止構造20は、封止構造部の一つであり、他の例として、封止構造部は、有機発光素子を封止する封止基板と、TFT基板10と封止基板とを接合する接合部(ガラスフリットシール部)を含むことができる。TFT基板10と封止基板との間には、例えば、乾燥窒素が封入される。
TFT基板10の表示領域25の外側のカソード電極形成領域14の周囲に、走査ドライバ31、エミッションドライバ32、保護回路33、ドライバIC34、デマルチプレクサ36が配置されている。ドライバIC34は、FPC(Flexible Printed Circuit)35を介して外部の機器と接続される。走査ドライバ31、エミッションドライバ32、保護回路33は、TFT基板10に形成された周辺回路である。
走査ドライバ31はTFT基板10の走査線を駆動する。エミッションドライバ32は、エミッション制御線を駆動して、各画素の発光期間を制御する。ドライバIC34は、例えば、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)を用いて実装される。
保護回路33は、画素回路内の素子の静電破壊を防ぐ。ドライバIC34は、走査ドライバ31及びエミッションドライバ32に電源及びタイミング信号(制御信号)を与える。さらに、ドライバIC34は、デマルチプレクサ36に、電源及びデータ信号を与える。
デマルチプレクサ36は、ドライバIC34の一つのピンの出力を、d本(dは2以上の整数)のデータ線に順次出力する。デマルチプレクサ36は、ドライバIC34からのデータ信号の出力先データ線を、走査期間内にd回切り替えることで、ドライバIC34の出力ピン数のd倍のデータ線を駆動する。
[スタック構造発光素子の構成]
図2Aは、スタック構造発光素子アレイの一部の平面図を示す。図2Aは、表示領域25における、複数のスタック構造発光素子のレイアウト例を示す。図2Aの構成例において、各スタック構造発光素子は、白の光を放出する。例えば、不図示のカラーフィルタがスタック構造発光素子の前側に形成され、各画素は、赤、青又は緑の光を放出することができる。他の構成例において、各スタック構造発光素子が、赤、青又は緑の光を放出してもよい。赤、青、及び緑画素により、映像フレームにおける一つの画素の情報を表示する。
図2Aにおいて、スタック構造発光素子の発光領域251は角の丸い長方形であって、それらはマトリックス状に配置されている。図2Aにおけるスタック構造発光素子の発光領域のうち、一つの発光領域のみが、例として符号251で指示されている。なお、スタック構造発光素子の発光領域の形状及びレイアウトは任意である。
それぞれの発光領域251は、絶縁性の画素定義層253で囲まれている。画素定義層253は、画素(発光領域251)それぞれを画定する。発光領域251は、画素定義層253の開口254内に形成されている。図2Aにおいては、一つの開口が、例として符号254で指示されている。開口254の間の領域は、画素定義層253の頂面である。
後述するように、発光領域251は、開口254の底において露出しているアノード電極の領域である。図2Aの例において、画素定義層253の開口を画定する壁面はテーパ形状を有しており、開口面積は底に向かって減少している。
図2Bは、図2AにおけるIIB-IIB切断線での断面構造を模式的に示す。図2Bは、任意の隣接するスタック構造発光素子210A及びスタック構造発光素子210Bの積層構造を示す。スタック構造発光素子210A、210Bは、それぞれ、画素定義層253の開口254から露出するアノード電極上に配置されている。スタック構造発光素子210A、210Bは、それぞれ、スタックされた複数の発光ユニット及び発光ユニット間の電荷発生層を含んで構成されている。
図2Bに示す例において、スタック構造発光素子210A、210Bそれぞれのスタックされた発光ユニットは、二つの発光ユニットで構成されている。上側発光ユニット280が、下側発光ユニット270の上にスタックされている。図2Bにおいて、一つの上側発光ユニット及び一つの下側発光ユニットが例として符号で指示されている。下側発光ユニット270及び上側発光ユニット280は、異なる色、例えば青の光と黄緑の光を放出してもよい。下側発光ユニット270及び上側発光ユニット280は、それぞれ、同一の白の光を放出してもよい。
上側発光ユニット280と下側発光ユニット270との間には、電荷発生層が存在する。スタック構造発光素子210A、210Bの電荷発生層291A、291Bは、それぞれ、上側発光ユニット280と下側発光ユニット270と界面を形成する。電荷発生層291A、291Bは、二つの構成層(電荷発生構成層)で構成されている。電荷発生層291A、291Bの構成の詳細は後述する。
スタック構造発光素子210Aは第1スタック構造発光素子の例である。その下側発光ユニット270、電荷発生層291A及びその上側発光ユニット280は、それぞれ、第1発光ユニット、第1電荷発生層、及び第2発光ユニットの例である。スタック構造発光素子210Bは第2スタック構造発光素子の例である。その下側発光ユニット270、電荷発生層291B及びその上側発光ユニット280は、それぞれ、第3発光ユニット、第2電荷発生層、及び第4発光ユニットの例である。
図2Bに示すように、OLED表示装置1は、絶縁基板上に配置された、TFT回路層(TFTアレイ)260と、複数の分離した下部電極、例えば、アノード電極261とを含む。アノード電極261は、発光ユニットからの光を反射する。OLED表示装置1は、さらに、上部電極、例えば、カソード電極262を含む。カソード電極262は、発光ユニットからの光を透過させる。例えば、各画素のカソード電極262は、一つの電極膜の一部である。なお、アノード電極とカソード電極の位置関係が逆でもよい。この構成においては、各層の極性は逆となる。
絶縁基板は、例えばガラス又は樹脂で形成されており、不撓性又は可撓性基板である。絶縁基板に近い側を下側、遠い側を上側と記す。カソード電極262とアノード電極261との間に、各スタック構造発光素子が配置されている。複数のアノード電極261は、TFT回路層260の面上(例えば、平坦化膜上)に配置され、1つのアノード電極261の上に1つのスタック構造発光素子が配置されている。
カソード電極262は、有機発光層からの可視光の一部又は全てを封止構造部に向けて透過させる透明電極(半透明を含む)である。画素それぞれのカソード電極262は、連続するシート状導電膜の異なる一部である。なお、カソード電極262の上には、不図示のキャップ層が形成されてもよい。
TFT回路層260は、それぞれが複数のTFTを含む複数の画素回路を含む。画素回路の各々は、絶縁基板とアノード電極261との間に形成され、アノード電極261の各々に供給する電流を制御する。アノード電極261は、不図示の平坦化膜のコンタクトホールに形成されたコンタクト部によって画素回路に接続される。任意構成の画素回路を使用することができる。画素回路の一例は、例えば、画素選択スイッチTFT、OLED素子の駆動TFT、OLED素子への駆動電流の供給と停止を制御するスイッチTFT、及び、保持容量を含む。
画素定義層253は、アノード電極261それぞれの周辺部を覆うように形成されている。アノード電極261の中心を含む一部は、画素定義層253の開口254内に存在している(開口254において露出している)。アノード電極261の開口254内の領域が、発光領域251に対応する。アノード電極261の開口254内の領域上に、スタック構造発光素子が積層されている。
下側発光ユニット270は、正孔輸送層271、発光層272及び電子輸送層273を含む。正孔輸送層271、発光層272及び電子輸送層273は、この順に、下から積層されている。図2Bの構成例において、正孔輸送層271は、アノード電極261と接触して、界面を形成する。本例において、発光層272は、青く発光する。これら層は、適切な任意の材料で形成してよい。
図2Bの構成例において、正孔輸送層271、発光層272及び電子輸送層273は、それぞれ、複数の下側発光ユニット270の当該層を含む連続した膜の一部である。正孔輸送層271及び/又は電子輸送層273は省略されてもよい。下側発光ユニット270は、他の積層構造を有することができる。他の機能層、例えば、正孔注入層がアノード電極261と正孔輸送層271との間に積層されていてもよい。
上側発光ユニット280は、正孔輸送層281、発光層282及び電子輸送層283を含む。正孔輸送層281、発光層282及び電子輸送層283は、この順に、下から積層されている。図2Bの構成例において、電子輸送層283は、カソード電極262と接触して界面を形成する。本例において、発光層282は、黄緑に発光する。これら層は、適切な任意の材料で形成してよい。
図2Bの構成例において、正孔輸送層281、発光層282及び電子輸送層283は、それぞれ、複数の上側発光ユニット280の当該層を含む連続した膜の一部である。正孔輸送層281及び/又は電子輸送層283は省略されてもよい。上側発光ユニット280は、他の積層構造を有することができる。他の機能層、例えば、電子注入層がカソード電極262と電子輸送層283との間に積層されていてもよい。
電荷発生層291A、291Bは、それぞれ、下側発光ユニット270及び上側発光ユニット280の間に積層されている。電荷発生層291A、291Bは、下側発光ユニット270の電子輸送層273及び上側発光ユニット280の正孔輸送層281と接触して、界面を形成する。
後述するように、電荷発生層は、単一構成層又は複数構成層で構成することができる。電荷発生層の構成層は、電子のみ生成する電子発生層、正孔のみ生成する正孔発生層、又は電子及び正孔を生成する電子正孔発生層である。これら構成層それぞれに使用することができる様々な材料が知られておい、いずれの材料を使用してもよい。例えば、VRe、ITOのような無機化合物や、有機化合物を使用することができる。異なる色の発光ユニットの正孔輸送層又は正孔注入層の厚みは、異なっていてもよい。
画素定義層253は、アノード電極261と下側発光ユニット270の正孔輸送層271との間の層である。画素定義層253は、スタック構造発光素子の発光領域251が形成される開口254内の側面と、開口254間の頂面256を含む。図2Bの例において、頂面256はフラットである。
図2Bに示すように、電荷発生層291A、291Bは、分離されている。より具体的には、電荷発生層291A、291Bは、画素定義層253の対応する開口254を覆い、それぞれの端部が、画素定義層253の頂面256上に存在する。それら端部は、面内方向(基板の主面内の方向)において離れている。つまり、電荷発生層291A、291Bの端部の間には、面内方向において間隙が存在する。その間隙は、正孔輸送層281の材料で埋められている。
図2Cは、図2Bにおける破線の円IICで囲まれた部分の拡大図を示す。電荷発生層291A、291Bは、それぞれ、複数層で形成されている。具体的には、それらは二層構造を有し、下側の電子発生層293及び上側の正孔発生層295を含む。
電荷発生層291A、291Bは同一構造を有しており、それぞれの電子発生層293及び正孔発生層295の材料は同一である。図2Cにおいては、電荷発生層291Bの電子発生層及び正孔発生層が、それぞれ、例として符号293及び295で指示されている。電子発生層293は下側発光ユニット270に電子を与え、正孔発生層295は、上側発光ユニット280に正孔を与える。
電荷発生層291A、291Bは、それぞれ、その周囲を囲む画素定義層253の頂面256の一部を覆うように形成されている。電荷発生層291A、291Bは頂面256の一部上のみに形成され、電荷発生層291A、291Bの端は、画素定義層253の頂面256上に存在している。電子発生層293は、正孔発生層295に覆われている。電荷発生層291A、291Bの端は面内方向において離れており、それら間に間隙が存在する。
このように、電荷発生層291A、291Bが分離されていることで、これらの間のリーク電流を抑制することができる。また、電荷発生層291A、291Bの端が画素定義層253の頂面256上に存在するため、スタック構造発光素子の上下の発光ユニットに対してより適切に電荷を供給することができる。
電荷発生層291Aの端部及び電荷発生層291Bの端部は、画素定義層253の頂面256上でテーパ形状を有している。電子発生層293及び正孔発生層295の端部は、テーパ形状を有している。電荷発生層がテーパを持つことで、成膜のアライメントズレにより膜が重なった場合でも膜厚が薄いので、リークパスを遮断することができる。
図2A、2Bに示す構成例において、隣接するスタック構造発光素子は、下側及び上側発光ユニットそれぞれにおいて同一色の発光層を含み、隣接する下側及び上側発光ユニットの発光層は連続している。下側及び上側発光ユニットの発光層の色は異なる。他の構成例において、隣接するスタック構造発光素子は、異なる色の発光層を含むことができる。例えば、一方のスタック構造発光素子は赤、青又は緑の光を放出し、他方のスタック構造発光素子は、それらの色の内の異なる色の光を放出する。この構成において、隣接する下側及び上側発光ユニットの異なる色の発光層は、図2A及び2Bに示す電荷発生層のように、面内方向において分離される。
図3Aは、隣接するスタック構造発光素子210A、210Bの電荷発生層291A、291Bの異なる構成例を示す断面図である。以下において、図2Bに示す構成例との差異を主に説明する。図3Aに示す構成例において、電荷発生層291Aの端部と電荷発生層291Bの端部は、画素定義層253の頂面256上において重なっている。この構成により、隣接するスタック構造発光素子を分離するための空隙を形成する必要がないため、よりOLED表示装置の高精細化を促進することができる。
図3Bは、図3Aにおける破線の円IIIBで囲まれた部分の拡大図を示す。電荷発生層291A、291Bは、それぞれ、二層構造を有する。電荷発生層291Aは、下側の電子発生層293A及び上側の正孔発生層295Aで構成されている。電荷発生層291Bは、下側の電子発生層293B及び上側の正孔発生層295Bで構成されている。
電荷発生層291Aの端部の上に、電荷発生層291Bの端部が積層されている。具体的には、電子発生層293Bの端部が、電荷発生層291Aの正孔発生層295Aの端部の上に積層されている。これらは接触して界面を形成している。これら端部の積層構造は、下側から、電子発生層293A、正孔発生層295A、電子発生層293B及び正孔発生層295Bの順で積層され、これらの層で構成されている。
電荷発生層291Aの端部及び電荷発生層291Bの端部は、画素定義層253の頂面256上でテーパ形状を有している。電子発生層293A及び正孔発生層295Aの端部は、テーパ形状を有している。電子発生層293B及び正孔発生層295Bの端部は、テーパ形状を有している。電荷発生層がテーパを持つことで、リークパスを遮断することができる。
電荷発生層291Aの電子発生層293Aと電荷発生層291Bの電子発生層293Bとの間には、正孔発生層295Aが存在している。正孔発生層295Aは、電子発生層293A及び電子発生層293Bそれぞれと接触して界面を形成する。電子発生層293Aと電子発生層293Bとは直接接触することなく、正孔発生層295Aによって隔てられている。
電荷発生層291Aの正孔発生層295Aと電荷発生層291Bの正孔発生層295Bとの間には、電子発生層293Bが存在している。電子発生層293Bは、正孔発生層295A及び正孔発生層295Bそれぞれと接触して界面を形成する。正孔発生層295Aと正孔発生層295Bとは直接接触することなく、電子発生層293Bによって隔てられている。
電子発生層293A、293Bは、電子を供給輸送し、正孔を流すことなく遮蔽する。一方、正孔発生層295A、295Bは、正孔を供給輸送し、電子を流すことなく遮蔽する。つまり、電子発生層293A、293Bは、二つの極性の電荷のうち電子のみを流し、正孔発生層295A、295Bは、二つの極性の電荷のうち正孔のみを流す。
上述のように、隣接する電荷発生層の端部が重なっている部分において、電荷発生層291A及び電荷発生層291Bそれぞれの一方極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、電荷発生層291A又は291Bの構成層であって、他方極性の電荷のみを生成し、上記一方極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在している。これにより、電荷発生層間の電荷リークを効果的に抑制することができる。
[メタルマスクを使用した成膜方法]
図2Aから3Bを参照して説明した構成を有する電荷発生層は、例えば、所定の開口パターンを有するメタルマスクを使用した蒸着により形成することができる。材料の蒸着は、材料を収容する蒸着源を移動しながら、蒸着源内の材料を加熱する。加熱された材料が気化して、蒸着源の噴出口から外部に噴出する。噴出した材料は、蒸着源とターゲット基板との間にアライメントされているメタルマスクの開口を通過して、ターゲット基板における所定の箇所に蒸着されて製膜される。
図4は、電荷発生層生成するために使用可能なメタルマスクの開口パターンを模式的に示す。図4は、一つのメタルマスクが二つの異なる位置に位置合わせされた状態における、二つの開口パターンを示す。
破線の角の丸い長方形301は、第1の位置に位置合わせされたメタルマスクの開口パターンを模式的に示す。図4において、一つの破線の角の丸い長方形が、例として符号301で指示されている。点線の角の丸い長方形303は、第1の位置と異なる第2の位置に位置合わせされたメタルマスクの開口パターンを模式的に示す。図4において、一つの点線の角の丸い長方形が、例として符号303で指示されている。
図4に示すメタルマスクは、電荷発生層の一つの構成層、例えば、正孔発生層又は電子発生層の蒸着に使用される。各構成層は、異なるチャンバにおいて、以下に説明する方法で蒸着により形成することができる。
本明細書の一実施形態は、一つのメタルマスクを異なる位置に順次位置合わせし、蒸着による二回の成膜によって、電荷発生層の各構成層を形成する。これにより、二つのチャンバを用意することなく、図3Aに示す構造を有する電荷発生層の電子発生層及び正孔発生層の各層を形成することができる。
図4に示す構成例において、メタルマスクの開口は、千鳥配列でレイアウトされている。つまり、開口パターンは、X軸に沿って(図4における左右方向において)並ぶ開口からなる開口行が、Y軸に沿って(図4における上下方向において)配列されている。隣接する開口行の一方の開口の重心は、他方の重心とY軸に沿って半ピッチずれている。
電荷発生層の構成層の形成は、例えば、第1の位置にメタルマスクを位置合わせした状態で材料を蒸着し、その後、メタルマスクをずらして第2の位置に位置合わせし、同一の材料を蒸着する。
図4に示す例において、X軸にそって、開口301と開口302が交互に配列されており、Y軸にそって開口301と開口302が交互に配列されている。X軸に沿って隣接する開口301と開口303とは、部分的に重なっている。一方、Y軸に沿って隣接する開口301と開口303とは、離間しており、重なっている部分が存在しない。そのため、X軸に沿って隣接するスタック構造発光素子の電荷発生層の端部は積層され、Y軸に沿って隣接するスタック構造発光素子の電荷発生層の端部は、離れている。
例えば、図4におけるA-A切断線に示す部分の断面構造は、図3Aに示す断面構造を有する。一方、図4におけるB-B切断線に示す部分の断面構造は、図2Bに示す断面構造を有する。
図5は、電荷発生層生成するために使用可能なメタルマスクの開口パターンの他の例を模式的に示す。図5は、一つのメタルマスクが二つの異なる位置に位置合わせされた状態における、二つの開口パターンを示す。
破線の角の丸い長方形305は、第1の位置に位置合わせされたメタルマスクの開口パターンを模式的に示す。図5において、一つの破線の角の丸い長方形が、例として符号305で指示されている。点線の角の丸い長方形307は、第1の位置と異なる第2の位置に位置合わせされたメタルマスクの開口パターンを模式的に示す。図5において、一つの点線の角の丸い長方形が、例として符号307で指示されている。
図5に示すメタルマスクの開口パターンは、図4の構成例と同様に、千鳥配列である。図5に示す例において、X軸にそって、開口305と開口307が交互に配列されており、Y軸にそって開口305と開口307が交互に配列されている。
X軸に沿って隣接する開口305と開口307のペアの一部において、開口が部分的に重なっている。X軸に沿って隣接する開口305と開口307のペアの他の一部において、開口が離間しており、重なっている部分が存在しない。また、Y軸に沿って隣接する開口305と開口307のペアの一部において、開口が部分的に重なっている。Y軸に沿って隣接する開口305と開口307のペアの他の一部において、開口が離間しており、重なっている部分が存在しない。
このように、電荷発生層の端部が積層されているスタック構造発光素子ペアと、電荷発生層の端部が離れているスタック構造発光素子ペアが存在する。図5の構成例において、各開口305は、X軸に沿って隣接する一方(左)の開口307と部分的に重なり、他方(右)の開口307から離れている。また、各開口305は、Y軸に沿って隣接する一方(上)の開口307と部分的に重なり、他方(下)の開口307から離れている。
例えば、図5におけるC-C切断線及びE-E切断線に示す部分の断面構造は、図3Aに示す断面構造を有する。図5におけるD-D切断線及びF-F切断線に示す部分の断面構造は、図2Bに示す断面構造を有する。
図4及び5を参照して説明したように、隣接するスタック構造発光素子の電荷発生層は、方向によって、異なる構造を有していてもよい。他の構成例において、各スタック構造発光素子の電荷発生層の端部は、X軸及びY軸に沿って隣接する全てのスタック構造発光素子の電荷発生層の端部から離れていてもよく、又は、重っていてもよい。
[OLED表示装置の製造方法]
OLED表示装置1の製造方法の一例を説明する。以下の説明において、同一工程で(同時に)形成される要素は、同一層の要素である。OLED表示装置1の製造は、まず、絶縁基板上に、TFT回路層260を形成する。TFT回路層260の形成は、公知の技術を利用することができ、詳細な説明を省略する。
次に、TFT回路層260上にアノード電極を形成する。例えば、スパッタを使用して、コンタクトホールを形成した平坦化膜上に、アノード電極261を形成する。アノード電極261の層構成及び材料は任意である。例えば、金属材料の蒸着又はスパッタにより形成することができる。アノード電極261は、コンタクト部を介して、TFT回路層260内の画素回路に接続される。
次に、スピンコート法等によって、例えば感光性の有機樹脂膜を堆積し、パターニングを行って画素定義層253を形成する。パターニングにより画素定義層253には開口254が形成され、各画素のアノード電極261が、形成された開口254で露出する。画素定義層253により、発光領域が分離される。
画素定義層253を形成した後の製造工程の一部を、図6のフローチャートを参照して説明する。画素定義層253を形成した表示領域全面に、正孔輸送層271、発光層272、電子輸送層273を、順に形成する(S101)。これら層の形成は、例えば蒸着法を使用することができる。
次に、電子発生層293A及び293Bのパターンに対応したメタルマスクを介した蒸着により、電子発生層の材料を基板に付着して、電子発生層293Aを形成する(S102)。図4又は5を参照して説明した方法により、電子発生層293Aが形成される。
次に、正孔発生層295A及び295Bのパターンに対応したメタルマスクを介した蒸着により、正孔発生層の材料を基板に付着して、正孔発生層295Aを形成する(S103)。図4又は5を参照して説明した方法により、正孔発生層295Aが形成される。
次に、電子発生層293A及び293Bのパターンに対応したメタルマスクを介した蒸着により、電子発生層の材料を基板に付着して、電子発生層293Bを形成する(S104)。図4又は5を参照して説明した方法により、電子発生層293Bが形成される。
次に、正孔発生層295A及び295Bのパターンに対応したメタルマスクを介した蒸着により、正孔発生層の材料を基板に付着して、正孔発生層295Bを形成する(S105)。図4又は5を参照して説明した方法により、正孔発生層295Bが形成される。
次に、表示領域全面に、正孔輸送層281、発光層282、電子輸送層283を、順に形成する(S106)。これら層の形成は、例えば蒸着法を使用することができる。次に、カソード電極262のための金属材料を付着する(S107)。カソード電極262は、表示領域の全域に成膜する。カソード電極262の層構成及び材料は任意である。例えば、金属材料の蒸着又はスパッタにより形成することができる。カソード電極262を形成した後、カラーフィルタ層及び封止構造部が形成される。
上記製造方法は一例であって、他の製造方法によってOLED表示装置を製造することができる。例えば、OLED表示装置が、赤、青、及び緑のスタック構造発光素子により画像を表示する場合、これらの色の発光層は、対応するメタルマスクを使用した蒸着法により形成することができる。この構成において、カラーフィルタは省略される。
[スタック構造発光素子の他の構成例]
以下において、スタック構造発光素子の他の構成例を説明する。主に図3Aを参照して説明した構成例との相違点を説明する。図7Aは、隣接するスタック構造発光素子210A、210Bの異なる構成例を示す断面図である。図7Bは、図7Aにおける破線の円VIIBで囲まれた部分の拡大図を示す。
図7Aに示す構成例は、図3Aに示す電荷発生層291A及び291Bに代えて、電荷発生層351A及び351Bを含む。電荷発生層351Aの端部と電荷発生層351Bの端部は、画素定義層253の頂面256上において重なっている。この構成により、よりOLED表示装置の高精細化を促進することができる。
電荷発生層351A、351Bは、それぞれ、二層構造を有し、二つの構成層で構成されている。具体的には。電荷発生層351Aは、下側の電子正孔発生層353A及び上側の正孔発生層355Aで構成されている。同様に、電荷発生層351Bは、下側の電子正孔発生層353B及び上側の正孔発生層355Bで構成されている。電子正孔発生層353A、353Bは、例えばアルカリ金属化合物またはアルカリ土類金属化合物で形成され、電子及び正孔のいずれの電荷(キャリア)も供給輸送可能である。正孔発生層355A、355Bは、正孔のみ供給輸送可能である。
図7Bに示すように、電荷発生層351Aの端部の上に、電荷発生層351Bの端部が積層されている。電荷発生層351Aの端部は、スタック構造発光素子210Aの下側発光ユニットの電子輸送層273Aの端部上に積層されている。電荷発生層351Aの端部及び電荷発生層351Bの端部は、画素定義層253の頂面256上でテーパ形状を有している。電子正孔発生層353A及び正孔発生層355Aの端部は、テーパ形状を有している。電子正孔発生層353B及び正孔発生層355Bの端部は、テーパ形状を有している。電荷発生層がテーパを持つことで、リークパスを遮断することができる。
電荷発生層351Aの端部と電荷発生層351Bの端部との間に、スタック構造発光素子210Bの下側発光ユニットの電子輸送層273Bの端部が介在している。電荷発生層351Bの端部は、電子輸送層273Bの端部を介して、電荷発生層351Aの端部の上に積層されている。電子輸送層273Bの端部は、電荷発生層351A、351Bそれぞれの端部と接触して界面を形成する。
電荷発生層端部の積層構造は、下側から、電子正孔発生層353A、正孔発生層355A、電子輸送層273B、電子正孔発生層353B及び正孔発生層355Bの順で積層され、これらの層で構成されている。
電荷発生層351Aの正孔発生層355Aと電荷発生層351Bの電子正孔発生層353Bとの間には、電子輸送層273Bが存在している。電子輸送層273Bは、正孔発生層355A及び電子正孔発生層353Bそれぞれと接触して界面を形成する。正孔発生層355Aと電子正孔発生層353Bとは直接接触することなく、電子輸送層273Bによって隔てられている。
電子輸送層273Bは、電子を流し、正孔を流すことなく遮蔽する。したがって、電子輸送層273Bは、電子正孔発生層353Bと正孔発生層355Aとの間の正孔の流れを遮蔽することができる。
電子輸送層273Bと電荷発生層351Aの電子正孔発生層353Aとの間には、電荷発生層351Aの正孔発生層355Aが存在している。正孔発生層355Aは、電子正孔発生層353A及び電子輸送層273Bそれぞれと接触して界面を形成する。電子輸送層273Bと電子正孔発生層353Aとは直接接触することなく、正孔発生層355Aによって隔てられている。したがって、電荷発生層351Aの電子正孔発生層353Aと電荷発生層351Bの電子正孔発生層353Bとは、直接接触することなく、電子輸送層273B及び正孔発生層355Aによって隔てられている。
電子輸送層273Bは、電子を流し、正孔を流すことなく遮蔽する。また、正孔発生層355Aは、電子の流れを遮蔽する。これら層は、電子正孔発生層353Bと電子正孔発生層353Aとの間の電子及び正孔の流れを遮蔽できる。
電荷発生層351Aの正孔発生層355Aと電荷発生層351Bの正孔発生層355Bとの間には、電子輸送層273Bが存在している。電子輸送層273Bは、正孔発生層355A及び電子正孔発生層353Bそれぞれと接触して界面を形成する。正孔発生層355Aと電子正孔発生層353Bとは直接接触することなく、電子輸送層273Bによって隔てられている。電子輸送層273Bは、正孔発生層355Aと正孔発生層355Bと間の正孔の流れを遮蔽することができる。
図7A、7Bを参照して説明したように、電荷発生層351A及び電荷発生層351Bそれぞれの正孔を生成する電荷発生構成層355A、353Bの間に、正孔を遮蔽する電子輸送層273Bの端部が介在する。電子輸送層273Bは、スタック構造発光素子210Bの発光ユニットの構成層である。また、図7A、7Bを参照して説明したように、電子正孔発生層353A、353Bは、正孔及び電子を生成する。電子正孔発生層353A、353Bの間に、正孔を遮蔽する電子輸送層273Bの端部に加えて、電子を遮蔽する正孔発生層355Aの端部が介在する。
上述のように、図7A及び7Bに示す構成例は、隣接する電荷発生層の端部の積層部における電荷リークを効果的に抑制することができる。
図7A及び7Bに示す積層構造の形成は、下側発光ユニットの電子輸送層及び電荷発生層を塗り分け被覆することで形成できる。例えば、電荷発生層の形成で説明した様に、位置合わせ機能を使用してメタルマスクを異なる二つの位置に位置合わせして成膜を行うことで、電子輸送層273A及び273Bの成膜を行う。電子輸送層273A、電荷発生層351A、電子輸送層273B及び電荷発生層351Bの順で形成される。共通メタルマスクの位置合わせにより、効率的にOLED表示装置を製造できる。
図8Aは、隣接するスタック構造発光素子210A、210Bの異なる構成例を示す断面図である。図8Bは、図8Aにおける破線の円VIIIBで囲まれた部分の拡大図を示す。
図8Aに示す構成例は、図3Aに示す電荷発生層291A及び291Bに代えて、電荷発生層371A及び371Bを含む。電荷発生層371Aの端部と電荷発生層371Bの端部は、画素定義層253の頂面256上において重なっている。この構成により、よりOLED表示装置の高精細化を促進することができる。
電荷発生層371A、371Bは、それぞれ、単層構造を有し、単一構成層で構成されている。電荷発生層371A、371Bは、電子及び正孔の双方の極性の電荷を供給輸送可能である。電荷発生層371A、371Bは、例えば、ITO、Vなどで形成することができる。
図8Bに示すように、電荷発生層371Aの端部の上に、電荷発生層371Bの端部が積層されている。電荷発生層371Aの端部は、スタック構造発光素子210Aの下側発光ユニットの電子輸送層273Aの端部上に積層されている。電荷発生層371Aの端部及び371Bの端部は、画素定義層253の頂面256上でテーパ形状を有している。電荷発生層がテーパを持つことで、リークパスを遮断することができる。
電荷発生層371Aの端部と電荷発生層371Bの端部との間に、スタック構造発光素子210Aの上側発光ユニットの正孔輸送層281Aの端部、及び、スタック構造発光素子210Bの下側発光ユニットの電子輸送層273Bの端部が、介在している。電荷発生層371Bの端部は、正孔輸送層281Aの端部及び電子輸送層273Bの端部を介して、電荷発生層371Aの端部の上に積層されている。
正孔輸送層281Aの端部は、電荷発生層371A及び電子輸送層273Bそれぞれの端部と接触して界面を形成する。電子輸送層273Bの端部は、正孔輸送層281A及び電荷発生層371Bそれぞれの端部と接触して界面を形成する。
電荷発生層端部の積層構造は、下側から、電荷発生層371A、正孔輸送層281A、電子輸送層273B、電荷発生層371Bの順で積層され、これらの層で構成されている。
電荷発生層371Aと電荷発生層371Bとの間には、正孔輸送層281A及び電子輸送層273Bが存在している。電荷発生層371Aと電子輸送層273Bとは、直接接触することなく、正孔輸送層281Aによって隔てられている。正孔輸送層281Aと電荷発生層371Bとは、直接接触することなく、電子輸送層273Bによって隔てられている。つまり、電荷発生層371Aと電荷発生層371Bとは、直接接触することなく、正孔輸送層281A及び電子輸送層273Bの積層によって隔てられている。
正孔輸送層281Aは、正孔を流し、電子を流すことなく遮蔽する。電子輸送層273Bは、電子を流し、正孔を流すことなく遮蔽する。したがって、正孔輸送層281A及び電子輸送層273Bの積層は、電荷発生層371Aと電荷発生層371Bとの間の正孔及び電子の流れを遮蔽することができる。
図8A、8Bを参照して説明したように、正孔を生成する電荷発生層371A及び電荷発生層371Bの間に、正孔を遮蔽する電子輸送層273Bの端部が存在する。あるいは、電子を生成する電荷発生層371A及び電荷発生層371Bの間に、電子を遮蔽する正孔輸送層281Aの端部が存在する。また、図8A、8Bを参照して説明したように、電荷発生層371A及び電荷発生層371Bは、電子及び正孔を生成する。電荷発生層371A及び電荷発生層371Bに間には、正孔を遮蔽する電子輸送層273Bの端部に加えて、電子を遮蔽する正孔輸送層281Aの端部が存在する。
上述のように、図8A及び8Bに示す構成例は、隣接する電荷発生層の端部の積層部における電荷リークを効果的に抑制することができる。図8A及び8Bに示す積層構造の形成は、例えば、下側発光ユニットの電子輸送層から上側発光ユニットの正孔輸送層まで塗分け被覆することで形成できる。例えば、電荷発生層の形成で説明した様に、位置合わせ機能を使用してメタルマスクを異なる二つの位置に位置合わせして成膜を行うことで、正孔輸送層281A、281B及び電子輸送層273A、273Bの成膜を行う。電子輸送層273A、電荷発生層371A、正孔輸送層281A、電子輸送層273B、電荷発生層371B、正孔輸送層281Bの順で形成される。共通メタルマスクの位置合わせにより、効率的にOLED表示装置を製造できる。
図9Aは、隣接するスタック構造発光素子210A、210Bの異なる構成例を示す断面図である。図9Bは、図9Aにおける破線の円IXBで囲まれた部分の拡大図を示す。図9Aに示す構成例は、図3Aに示す電荷発生層291A及び291Bに代えて、電荷発生層381A及び381Bを含む。電荷発生層381Aの端部と電荷発生層381Bの端部は、画素定義層253の頂面256上において重なっている。この構成により、よりOLED表示装置の高精細化を促進することができる。
電荷発生層381Aは、下側の電子正孔発生層383A及び上側の正孔発生層385Aで構成されている。同様に、電荷発生層381Bは、下側の電子正孔発生層383B及び上側の正孔発生層385Bで構成されている。電荷発生層381A、381Bは異なる構造を有してもよい。例えば、これらは、図3B、7B又は8Bに示すような層構造を有してもよい。
図9Bに示すように、電荷発生層381Aの端部の上に、電荷発生層381Bの端部が積層されている。電荷発生層381Aの端部と電荷発生層381Bの端部との間に、スタック構造発光素子210Aの上側発光ユニットの正孔輸送層281Aの端部及び同発光ユニットの発光層282Aの端部が介在している。電荷発生層381Bの端部は、正孔輸送層281Aの端部及び発光層282Aの端部を介して、電荷発生層381Aの端部の上に積層されている。
電荷発生層381Aの端部及び電荷発生層381Bの端部は、画素定義層253の頂面256上でテーパ形状を有している。電子正孔発生層383Aの端部及び正孔発生層385Aの端部は、テーパ形状を有している。電子正孔発生層383Bの端部及び正孔発生層385Bの端部は、テーパ形状を有している。電荷発生層がテーパを持つことで、リークパスを遮断することができる。
正孔輸送層281Aの端部は、電荷発生層381Aの正孔発生層385Aの端部及び発光層282Aの端部それぞれと接触して界面を形成する。発光層282Aの端部は、正孔輸送層281Aの端部及び電荷発生層381Bの電子正孔発生層383Bの端部それぞれと接触して界面を形成する。
電荷発生層端部の積層構造は、下側から、電子正孔発生層383A、正孔発生層385A、正孔輸送層281A、発光層282A、電子正孔発生層383B及び正孔発生層385Bの順で積層され、これらの層で構成されている。
正孔輸送層281Aと電荷発生層381Bの電子正孔発生層383Bとの間に、発光層282Aが存在する。正孔輸送層281Aと電子正孔発生層383Bとは直接接触することなく、発光層282Aによって隔てられている。電荷発生層381A、381Bの関係に着目すると、発光層282Aがこれらの間に介在し、これらは直接接触することなく、発光層によって隔てられている。
発光層は、他の層と比較して移動度が小さい。例えば、正孔輸送層の正孔の移動度は10-4cm2/Vs程度にあるのに対して、発光層の正孔の移動度は、10-11cm2/Vs程度である。そのため、発光層282Aは、隣接する電荷発生層の端部の積層構造における電荷リークを効果的に抑制することができる。
上述のように、図9A及び9Bに示す構成例は、隣接する電荷発生層の端部が重なっている部分において、電荷発生層381A及び荷発生層381Bの間に、発光層282Aが介在する。これにより、電荷発生層381A、381Bの間の電荷リークを効果的に抑制することができる。図9Bの構成例において、発光層282Aの端部は、電荷発生層381Aの端部に直接接触することなく、正孔輸送層281Aの端部により隔てられている。他の構成例において、発光層282Aの端部の一部が、電荷発生層381Aの端部の一部に接触していてもよい。
図9Bに示すように、スタック構造発光素子210Bの上側発光ユニットの正孔輸送層281Bの端部及び発光層282Bの端部は、電荷発生層381Bの端部上に積層されている。図9A及び9Bに示す積層構造の形成は、電荷発生層から上側発発光ユニットの発光層までを塗り分け被覆することで形成することができる。例えば、電荷発生層の形成で説明した様に、位置合わせ機能を使用してメタルマスクを異なる二つの位置に位置合わせして成膜を行うことで、正孔輸送層及び発光層の成膜を行う。電荷発生層381A、正孔輸送層281A、発光層282A、電荷発生層381B、正孔輸送層281B、発光層282Bの順で形成される。共通メタルマスクの位置合わせこれにより、効率的にOLED表示装置を製造できる。
スタック構造発光素子の他の例を説明する。図10は、隣接するスタック構造発光素子210A、210Bの異なる構成例を示す断面図である。図2Bに示す構成例との相違を主に説明する。図10に示す構成例において、下側発光ユニットの正孔輸送層の端部と上側発光ユニットの正孔輸送層の端部とは、画素定義層の頂面上に位置する。
図10において、破線円510は、スタック構造発光素子210Aの電荷発生層291A及び正孔輸送層511Aの端部、並びに、スタック構造発光素子210Bの電荷発生層291B及び正孔輸送層511Bの端部を囲む。
電荷発生層291A、291Bは、画素定義層253の頂面の一部上のみに形成され、電荷発生層291A、291Bの端は、画素定義層253の頂面上に存在している。電荷発生層291A、291Bの端は面内方向において離れており、それら間に間隙が存在する。
正孔輸送層511A、511Bは、画素定義層253の頂面の一部上のみに形成され、正孔輸送層511A、511Bの端は、画素定義層253の頂面上に存在している。正孔輸送層511A、511Bの端は面内方向において離れており、それら間に間隙が存在する。正孔輸送層511Aの端部はテーパ形状を有し、電荷発生層291Aの端部を覆っている。正孔輸送層511Bの端部はテーパ形状を有し、電荷発生層291Bの端部を覆っている。面内方向において、電荷発生層291Aの端部と電荷発生層291B端部との間に、正孔輸送層511A、発光層282及び正孔輸送層511Bが存在している。
図10において、破線円520、スタック構造発光素子210Aの正孔輸送層521Aの端部、並びに、スタック構造発光素子210Bの正孔輸送層521Bの端部を囲む。正孔輸送層521A、521Bは、画素定義層253の頂面の一部上のみに形成され、正孔輸送層521A、521Bの端は、画素定義層253の頂面上に存在している。正孔輸送層521A、521Bの端は面内方向において離れており、それら間に間隙が存在する。正孔輸送層521A、521Bの端部はテーパ形状を有する。面内方向において、正孔輸送層521Aの端部と正孔輸送層521Aの521Bとの間に発光層272が存在する。
次に、スタック構造発光素子の他の構造例を説明する。以下において、図2Aから2Cを参照して説明した構成例との相違を主に説明する。図11Aは、スタック構造発光素子アレイの一部の平面図を示す。図11Bは、図11AにおけるXIB-XIB切断線での、断面構造の一部を示す。図11Cは、図11AにおけるXIC-XIC切断線での、断面構造の一部を示す。XIB-XIB切断線は、X方向に延びる切断線であり、XIC-XIC切断線は、Y方向に延びる切断線である。
図11Bは、X方向において隣接する二つのスタック構造発光素子の境界部を示す。図11Cは、Y方向において隣接する二つのスタック構造発光素子の境界部を示す。図11B及び11Cに示すように、電荷発生層291A、291Bは、それぞれ、その周囲を囲む画素定義層253の頂面256の一部を覆うように形成されている。電荷発生層291A、291Bは頂面256の一部上のみに形成され、電荷発生層291A、291Bの端は、画素定義層253の頂面256上に存在している。電子発生層293は、正孔発生層295に覆われている。電荷発生層291A、291Bの端は面内方向において離れており、それら間に間隙が存在する。
電荷発生層291Aの端部及び電荷発生層291Bの端部は、画素定義層253の頂面上でテーパ形状を有している。電荷発生層がテーパを持つことで、成膜のアライメントズレにより膜が重なった場合でも膜厚が薄いので、リークパスを遮断することができる。また、図11Bに示すX方向のテーパは、図11Cに示すY方向のテーパに比べて急峻になる。詳しく説明すると、図11Bの正孔発生層295及び電子発生層293の端部(第3端部)の傾斜面の角度(画素定義層253の平面部に対する角度)は、図11Cの正孔発生層295及び電子発生層293の端部(第4端部)の傾斜面の角度よりも大きい。
上記異なるテーパ角の構造は、正孔発生層295及び電子発生層293それぞれのマスクを介した蒸着により形成することができる。蒸着源は、ノズルの噴出口から気化した材料を外部に噴出する。例えば、蒸着源は、X方向に配列された1列のノズルを有し、気化した材料を噴出しながらY方向に移動する。
スタック構造発光素子の他の例を説明する。図12は、隣接するスタック構造発光素子の構成例を示す断面図である。図2Bに示す構成例との相違を主に説明する。スタック構造発光素子210Rは赤の光を放出し、スタック構造発光素子210Gは緑の光を放出する。表示領域には、これらに加えて、青の光を放出するスタック構造発光素子が形成されている。
スタック構造発光素子210Rの下側発光ユニット270及び上側発光ユニット280は、共に赤の光を放出する。つまり、スタック構造発光素子210Rの二つの発光ユニットの発光層272R及び282Rは、赤の光を放出する。スタック構造発光素子210Gの下側発光ユニット270及び上側発光ユニット280は、共に緑の光を放出する。つまり、スタック構造発光素子210Gの二つの発光ユニットの発光層272G及び282Gは、緑の光を放出する。青のスタック構造発光素子の二つの発光ユニットの発光層は、共に青の光を放出する。
図13は、図12に示す赤、緑又は青の光を放出するスタック構造発光素子のレイアウト例を示す平面図である。図13は、スタック構造発光素子アレイの一部を示し、ストライプレイアウトの例を示す。X方向に赤、緑及び青のスタック構造発光素子がサイクリックに配列され、Y方向にスタック構造発光素子が配列されている。
図11B及びCを参照したテーパ形状の説明が、本構成例にも適用できる。上述のように、X方向のテーパは、Y方向のテーパに比べて急峻になる。これにより、異なる色のスタック構造素子の間における電荷リークを効果的に抑制することができる。
図14は、スタック構造発光素子の他の構造例を模式的に示す。図14は、赤、緑、及び青のスタック構造発光素子210R、210G、及び210Bを示す。実施形態に係る上記隣接スタック構造発光素子間の構造は、図14の構成例に対して適用される。赤のスタック構造発光素子210Rは、赤の発光層272R、282R、赤のスタック構造発光素子固有の正孔輸送層271R、281Rを含む。
緑のスタック構造発光素子210Gは、緑の発光層272G、282G、緑のスタック構造発光素子固有の正孔輸送層271G、281Gを含む。青のスタック構造発光素子210Bは、青の発光層272B、282B、青のスタック構造発光素子固有の正孔輸送層271B、281Bを含む。正孔輸送層271R、271G、271Bとアノード電極(ITO)261との間には、正孔注入層297が形成されている。
異なる色のスタック構造発光素子210R、210G、210Gは、異なる厚みの正孔輸送層を有している。具体的には、赤のスタック構造発光素子210Rの正孔輸送層271R、281Rのトータルの厚みが最も大きく、青のスタック構造発光素子210Bの正孔輸送層271B、281Bのトータルの厚みが最も小さい。
図14に示す例においては、正孔輸送層271Rの厚みは正孔輸送層271G、271Bより大きく、正孔輸送層271Gの厚みは、正孔輸送層271Bより大きい。また、正孔輸送層281Rの厚みは正孔輸送層281G、281Bより大きく、正孔輸送層281Gの厚みは、正孔輸送層281Bより大きい。なお、各発光ユニットは、図14において不図示の正孔注入層を含むことができる。
図14に示す例において、異なる色のスタック構造発光素子の下側発光ユニットは、異なる総厚みを有し、異なる色のスタック構造発光素子の上側発光ユニットは、異なる総厚みを有している。具体的には、赤のスタック構造素子の発光ユニットの厚みが最も大きく、青のスタック構造発光素子の発光ユニットの厚みが最も小さい。
このように、スタック構造発光素子の発光層の色に応じて、正孔輸送層/正孔注入層(正孔輸送層又は正孔注入層)の膜厚を変えることで、スタック構造発光素子の発光効率を高めることができる。膜厚を変えるため、発光層ごとに正孔輸送層/正孔注入層が形成される。スタック構造発光素子間で区切られた電荷発生層により、スタック構造発光素子間の電荷リークを抑制できる。
上記各実施形態で説明した表示領域は、トップエミッション型の画素構造を有する。トップエミッション型の画素構造は、光が出射する側(図面上側)に、カソード電極が配置される。カソード電極は、表示領域の全面を完全に覆う形状を有する。本開示の特徴は、ボトムエミッション型の画素構造を有するOLED表示装置にも適用できる。ボトムエミッション型の画素構造は、透明アノード電極と反射カソード電極を有し、TFT基板介して外部に光を出射する。
[適用例]
以下において、本明細書の実施形態に係るOLED発光装置の適用例を説明する。図15は、実施形態に係る表示装置を用いた車載ディスプレイの例を模式的に示す。図15は、本実施形態に係る車載ディスプレイを備える自動車400及び車載ディスプレイ410Aから410Dの構成例を示す。
車載ディスプレイは、車両としての自動車400の車内に設けられて各種情報を表示するディスプレイである。図15の車載ディスプレイは、例えば、図15に示す、CID(Center Information Display)410A、クラスターディスプレイ410B、及びサイドディスプレイ410C、410Dである。CID410A、クラスターディスプレイ410B、及びサイドディスプレイ410C、410Dは、表示装置1を用いたディスプレイである。
CID410Aは、自動車400のダッシュボードの中央に設けられ、オーディオやナビゲーションシステム、自動車状態管理システムなどの情報を表示する。クラスターディスプレイ410Bは、スピードメータ等を表示する。また、サイドディスプレイ410C、410Dは、ダッシュボードの左右に設けられてカメラの画像を表示することでサイドミラーとして機能する。
これらの車載ディスプレイが設けられる自動車400の車内は、日光の影響等により高温環境となることがある。車載ディスプレイは、OLED表示装置1を用いることで、高温寿命を長くすることができる。従って、高温環境に晒される車載ディスプレイも長期間にわたって良好な表示を行うことができる。
車載ディスプレイの例として、CID410A、クラスターディスプレイ410B、及びサイドディスプレイ410C、410Dを挙げたが、車載ディスプレイはこれらに限られない。車載ディスプレイは、車中に設けられる任意のディスプレイであることができる。また、本明細書の実施形態に係る表示装置は、高温環境にさらされる産業用輸送機器に用いてもよい。
図16は、本明細書の実施形態に係る表示装置の他の適用例を示す。図16は、実施形態に係る表示装置1を用いた電子機器の例を模式的に示す。図16は、電子機器としてのスマートフォン450の斜視図である。このスマートフォン450は、筐体451の内部に実施形態にかかる表示装置453が設けられ、当該表示装置453の表示面側に設けられたカバーガラス452が設けられている。その他、これらの筐体451には、送信・受信装置、各種の制御装置、記憶装置、スピーカ及びマイクを含む音声装置、バッテリ等、スマートフォンに求められる機能を持つ装置が設けられている。
スマートフォン450は、屋外で使用されるなど高温環境で使用されることがある。スマートフォン450は、本明細書の実施形態に係る表示装置453を用いることで、高温寿命を長くすることができる。従って、高温環境に晒されるスマートフォン450も長期間にわたって良好な表示を行うことができる。
電子機器としてスマートフォンを例に挙げたが、本明細書の実施形態に係る表示装置を適用できる電子機器はこれに限定されるものではなく、例えば、パーソナルコンピューター、PDA(Personal Digital Assistance)、タブレット端末、ヘッドマウントディスプレイ、プロジェクタ、デジタル(ビデオ)カメラ等であってもよい。
図17は、本明細書の実施形態に係るOLED発光装置を適用した生体センサの例を示す。生体センサは、本明細書の実施形態に係るOLED素子及び光検出素子を含む。生体センサは、赤、緑、及び青のスタック構造発光素子610R、610G、及び610Bを含む。生体センサは、さらに、光検出素子630を含む。図17は、それぞれ一つの赤、緑、及び青のスタック構造発光素子610R、610G、及び610Bを例として示し、二つの光検出素子630を例として示す。スタック構造発光素子610R、610G、及び610Bは、上記実施形態に係るOLED表示装置と同様の構造を有する。
赤のスタック構造発光素子610Rは、赤の発光層672R、682R、赤のスタック構造発光素子固有の正孔輸送層671R、681Rを含む。緑のスタック構造発光素子610Gは、緑の発光層672G、682G、緑のスタック構造発光素子固有の正孔輸送層671G、681Gを含む。青のスタック構造発光素子610Bは、青の発光層672B、682B、青のスタック構造発光素子固有の正孔輸送層671B、681Bを含む。光検出素子630は、光検出層632及び光検出素子固有の正孔輸送層631を含む。
スタック構造発光素子610R、610G、610B及び光検出素子630は、それぞれ、アノード電極661とカソード電極662とを含む。正孔輸送層631、671R、671G、671Bとアノード電極661との間には、正孔注入層697が形成されている。
発光層672R、672G、672Bと、正孔輸送層681R、681G、681Bとの間には、電子輸送層673、電子発生層693、正孔発生層695が形成されている。発光層682R、682G、682B及び光検出層632とカソード電極662との間に、電子輸送層683及び電子注入層684が形成されている。
封止構造部621は、全てのスタック構造発光素子610R、610G、610B及び光検出素子630を覆う。保護層622は、封止構造部621を覆うように、封止構造部621上に積層されている。
生体センサは、スタック構造発光素子610R、610G、610Bを順次点灯させる。スタック構造発光素子610R、610G、610Bから出射した光が、人体625により反射し、反射光が光検出素子630に入ることで、様々な生体情報を検出できる。例えば、血中の飽和酸素濃度を測定するには、従来技術において、赤色発光LEDと近赤外発光LEDを用いていた。一方、OLED素子を光源とする場合、赤色発光LEDと近赤外発光LEDの代わりに緑色スタック構造素子を用いることができる。図17では、赤、緑、青色発光のスタック構造素子と光検出素子とを備えるセンサの例を示すが、測定する対象物によって、スタック構造素子の発光色は適宜選択できる。
センサを小型化するには、光源となる発光素子を近接させる必要がある。これに対して、OLED素子は小型で軽量、薄型に形成できる特徴がある。一方、人の体表面を広い範囲で生体モニタリングしたいというニーズもある。OLED素子は、平面上に均一な発光体を形成しやすく、さらにフレキシブル基板上にも素子を形成できることから、人の体表面に広く沿わせやすいといった特徴を実現できる。また、センサ感度を向上させるには、光源からの発光強度を高める必要がある。こうしたセンサのニーズに対して、隣接スタック構造OLED素子間で電荷発生層が離間する構成は、その光源として応用が期待できる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。
1 OLED表示装置
25 表示領域
210A、210B スタック構造発光素子
253 画素定義層
254 開口
256 頂面
261 アノード電極
270 下側発光ユニット
271、281 正孔輸送層
272、282 発光層
273、283 電子輸送層
280 上側発光ユニット
291A、291B、351A、351B、371A、371B、381A、381B 電荷発生層
293 電子発生層
295 正孔発生層
353A、353B、383A、383B 電子正孔発生層
355A、355B、385A、385B 正孔発生層
400 自動車
410A-410C 車載ディスプレイ
450 スマートフォン
453 ディスプレイ

Claims (16)

  1. OLED発光装置であって、
    発光領域を定義する開口と、前記開口間の頂面とを含む、素子分離層と、
    前記開口内で露出している下部電極と、
    第1下部電極上に配置されている、第1スタック構造発光素子と、
    前記第1スタック構造発光素子に隣接し、前記第1下部電極に隣接する第2下部電極上に配置されている、第2スタック構造発光素子と、
    を含み、
    前記第1スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第1発光ユニット及び第2発光ユニットと、前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットの間の第1電荷発生層と、を含み、
    前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、それぞれ発光層を含み、
    前記第1電荷発生層は、一方極性の電荷を前記第1発光ユニットに供給し、他方極性の電荷を前記第2発光ユニットに供給し、
    前記第2スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第3発光ユニット及び第4発光ユニットと、前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットの間の第2電荷発生層と、を含み、
    前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットは、それぞれ発光層を含み、
    前記第2電荷発生層は、前記一方極性の電荷を前記第3発光ユニットに供給し、前記他方極性の電荷を前記第4発光ユニットに供給し、
    前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層は、それぞれ、1以上の電荷発生構成層で構成され、
    前記第1電荷発生層の第1端部と前記第2電荷発生層の第2端部とが、前記素子分離層の頂面において重なっており、
    前記第1端部と前記第2端部とが重なっている部分において、前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層それぞれの同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、前記第1スタック構造発光素子又は前記第2スタック構造発光素子の構成層であって、前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在する、
    OLED発光装置。
  2. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層は、前記第1電荷発生層又は前記第2電荷発生層の構成層であって、前記同一極性と逆極性の電荷のみを生成する構成層である、
    OLED発光装置。
  3. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層は、前記第1スタック構造発光素子又は前記第2スタック構造発光素子の発光ユニットの構成層であって、前記同一極性と逆極性の電荷輸送層である、
    OLED発光装置。
  4. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層は、前記同一極性の電荷に加えて前記同一極性の逆極性の電荷を生成し、
    前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層それぞれの前記同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層の端部に加えて、前記第1スタック構造発光素子又は前記第2スタック構造発光素子の構成層であって、前記逆極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在する、
    OLED発光装置。
  5. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1電荷発生層は、第1極性の電荷のみを生成する第1電荷発生構成層と、前記第1電荷発生構成層上の第2極性の電荷のみを生成する第2電荷発生構成層と、で構成され、
    前記第2電荷発生層は、前記第1極性の電荷のみを生成する第3電荷発生構成層と、前記第3電荷発生構成層上の前記第2極性の電荷のみを生成する第4電荷発生構成層と、で構成され、
    前記重なっている部分において、下側から、前記第1電荷発生構成層、前記第2電荷発生構成層、前記第3電荷発生構成層、前記第4電荷発生構成層、の順で積層されており、
    前記第2電荷発生構成層は、前記第1電荷発生構成層と前記第3電荷発生構成層との間において前記第1極性の電荷を遮蔽し、
    前記第3電荷発生構成層は、前記第2電荷発生構成層と前記第4電荷発生構成層との間において前記第2極性の電荷を遮蔽する、
    OLED発光装置。
  6. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1電荷発生層は、第1極性及び第2極性の電荷を生成する第1電荷発生構成層と、前記第1電荷発生構成層上の第2極性の電荷のみを生成する第2電荷発生構成層と、で構成され、
    前記第2電荷発生層は、前記第1極性及び前記第2極性の電荷を生成する第3電荷発生構成層と、前記第3電荷発生構成層上の前記第2極性の電荷のみを生成する第4電荷発生構成層と、で構成され、
    前記重なっている部分において、下側から、前記第1電荷発生構成層、前記第2電荷発生構成層、前記第3電荷発生構成層、及び前記第4電荷発生構成層、の順で積層されており、
    前記重なっている部分において、前記第2スタック構造発光素子の構成層であって、前記第1極性の電荷輸送層の端部が、前記第2電荷発生構成層と前記第3電荷発生構成層との間に介在し、
    前記第1極性の電荷輸送層の端部は、前記第2電荷発生構成層と前記第3電荷発生構成層と間において前記第2極性の電荷を遮蔽する、
    OLED発光装置。
  7. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1電荷発生層は、第1極性及び第2極性の電荷を生成する電荷発生構成層で構成され、
    前記第2電荷発生層は、前記第1極性及び前記第2極性の電荷を生成する電荷発生構成層で構成され、
    前記重なっている部分において、前記第1電荷発生層と前記第2電荷発生層との間に、前記第1スタック構造発光素子の前記第2極性の電荷輸送層の端部と、前記第2スタック構造発光素子の前記第1極性の電荷輸送層の端部と、が介在し、
    前記第1極性の電荷輸送層の端部は、前記第1電荷発生層と前記第2電荷発生層との間において前記第2極性の電荷を遮蔽し、
    前記第2極性の電荷輸送層の端部は、前記第1電荷発生層と前記第2電荷発生層との間において前記第1極性の電荷を遮蔽する、
    OLED発光装置。
  8. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記重なっている部分において、前記第1電荷発生層と前記第2電荷発生層との間に、前記第1スタック構造発光素子の発光層の端部が介在する、
    OLED発光装置。
  9. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1電荷発生層の第1端部及び前記第2電荷発生層の第2端部は、前記素子分離層の頂面上で、テーパ形状を有する、
    OLED発光装置。
  10. 請求項9に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1電荷発生層は、前記素子分離層の頂面上で、第1方向に沿って傾斜するテーパ形状を有する第3端部と、前記第1方向に垂直な第2方向に傾斜するテーパ形状を有する第4端部を含み、
    前記第3端部のテーパ角は、前記第4端部のテーパ角より急峻である、
    OLED発光装置。
  11. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、それぞれ、正孔輸送層を含み、
    前記正孔輸送層の端部は、前記素子分離層の頂面上に位置する、
    OLED発光装置。
  12. 請求項1に記載のOLED発光装置であって、
    前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、第1色の光を放出し、
    前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットは、第2色の光を放出し、
    前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、それぞれ、正孔輸送層を含み、
    前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットは、それぞれ、正孔輸送層を含み、
    前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットの前記正孔輸送層の厚みは、前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットの前記正孔輸送層の厚みより大きい、
    OLED発光装置。
  13. 請求項1に記載のOLED発光装置を含む表示装置。
  14. 請求項1に記載のOLED発光装置を含む電子機器。
  15. OLED発光装置の製造方法であって、
    下部電極を形成し、
    発光領域を定義する開口と前記開口間の頂面とを含む素子分離層を、前記下部電極が前記開口それぞれから露出するように形成し、
    前記素子分離層上に、隣接する第1スタック構造発光素子及び第2スタック構造発光素子を形成することを含み、
    前記第1スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第1発光ユニット及び第2発光ユニットと、前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットの間の第1電荷発生層と、を含み、
    前記第1発光ユニット及び前記第2発光ユニットは、それぞれ発光層を含み、
    前記第1電荷発生層は、一方極性の電荷を前記第1発光ユニットに供給し、他方極性の電荷を前記第2発光ユニットに供給し、
    前記第2スタック構造発光素子は、前記素子分離層より上層でスタックされた第3発光ユニット及び第4発光ユニットと、前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットの間の第2電荷発生層と、を含み、
    前記第3発光ユニット及び前記第4発光ユニットは、それぞれ発光層を含み、
    前記第2電荷発生層は、前記一方極性の電荷を前記第3発光ユニットに供給し、前記他方極性の電荷を前記第4発光ユニットに供給し、
    前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層は、それぞれ、1以上の電荷発生構成層で構成され、
    前記第1電荷発生層の第1端部と前記第2電荷発生層の第2端部とが、前記素子分離層の頂面において重なっており、
    前記第1端部と前記第2端部とが重なっている部分において、前記第1電荷発生層及び前記第2電荷発生層それぞれの同一極性の電荷を生成する電荷発生構成層の間に、前記第1スタック構造発光素子又は前記第2スタック構造発光素子の構成層であって、前記同一極性の電荷を遮蔽する構成層の端部が介在している、
    OLED発光装置の製造方法。
  16. 請求項15に記載のOLED発光装置の製造方法であって、
    前記第1電荷発生層の第1電荷発生構成層を、第1の位置に位置合わせされたメタルマスクを使用した蒸着により形成し、
    前記第1電荷発生構成層を形成した後に、前記メタルマスクを前記第1の位置から第2の位置に位置合わせし、
    前記第2の位置における前記メタルマスクを使用した蒸着によって、前記第2電荷発生層の前記第1電荷発生構成層と同材料の第2電荷発生構成層を形成する、
    OLED発光装置の製造方法。
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