JP2022076711A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザー加工前にウェーハの裏面の膜を研削する際に、研削砥石の目詰まりを抑制することができるウェーハの加工方法を提供すること。【解決手段】ウェーハの加工方法は、ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップ1と、膜または基板に対して吸収性を有する波長のレーザー光線によって膜を部分的に除去するレーザー加工溝をウェーハの裏面に形成するレーザー加工溝形成ステップ2と、ウェーハの裏面を研削して膜およびレーザー加工溝を除去し、所定以上の厚さのウェーハを形成する予備研削ステップ3と、基板に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を基板の内部に位置付けてウェーハの裏面側から照射し、分割予定ラインに沿った改質層を基板の内部に形成する改質層形成ステップ4と、ウェーハを裏面側から研削し、ウェーハを仕上げ厚さに薄化すると共に改質層に沿って分割される研削ステップ5と、を有する。【選択図】図2
Description
本発明は、ウェーハの加工方法に関する。
半導体デバイスチップを製造する方法として、基板の表面にデバイスを形成する機能層が積層されたウェーハを切削ブレードやレーザー光線で分割する方法が知られている。レーザー光線で基板の内部に破断起点となる改質層を形成し分割する方法は、切削ブレードによる分割に比べ、分割予定ラインを狭くでき、切削屑の発生を極力抑えられるという効果がある(例えば、特許文献1参照)。
レーザー光線で分割する方法では、レーザー光線を基板の内部に透過させる必要があるため、レーザー光線の透過を妨げる機能層が無いウェーハの裏面からレーザー光線を照射する。この際、所定以上の反射率を有する窒化膜や酸化膜がウェーハの裏面に成膜されている場合は、予め裏面の膜を研削して除去する必要がある。
ところで、裏面の膜の研削では、次工程であるレーザー加工工程への搬送中にウェーハが割れるのを防ぐため、ある程度以上の厚さを残すよう、研削量は抑えられる。このため、研削体積における膜の割合が多くなり、研削砥石が目詰まりしやすくなるので、定期的に研削砥石をドレッシングする必要があり、ドレッシング工数の増加やドレッシングによる研削砥石の摩耗量の増加が発生するという問題があった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、レーザー加工前にウェーハの裏面の膜を研削する際に、研削砥石の目詰まりを抑制することができるウェーハの加工方法を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウェーハの加工方法は、基板の表面に積層された機能層によってデバイスが形成され、該基板の裏面に膜が形成されたウェーハを、該デバイスを区画する複数の分割予定ラインに沿って分割するウェーハの加工方法であって、ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、該膜または該基板に対して吸収性を有する波長のレーザー光線をウェーハの裏面に照射し、該膜を部分的に除去するレーザー加工溝をウェーハの裏面に形成するレーザー加工溝形成ステップと、該レーザー加工溝が形成されたウェーハの裏面を研削砥石で研削して該膜および該レーザー加工溝を除去し、所定以上の厚さのウェーハを形成する予備研削ステップと、該予備研削ステップ後、該基板に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を該基板の内部に位置付け、該膜が除去されたウェーハの裏面側から照射し、該分割予定ラインに沿った改質層を該基板の内部に形成する改質層形成ステップと、該改質層が形成されたウェーハを裏面側から研削砥石で研削し、ウェーハを仕上げ厚さに薄化すると共に該改質層に沿って分割されたウェーハを形成する研削ステップと、を有することを特徴とする。
本願発明は、レーザー加工前にウェーハの裏面の膜を研削する際に、研削砥石の目詰まりを抑制することができる。
本発明を実施するための形態(実施形態)につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
〔実施形態〕
本発明の実施形態に係るウェーハ10の加工方法を図面に基づいて説明する。まず、実施形態の加工対象であるウェーハ10の構成について説明する。図1は、実施形態に係るウェーハ10の加工方法の加工対象のウェーハ10の一例を示す斜視図である。
本発明の実施形態に係るウェーハ10の加工方法を図面に基づいて説明する。まず、実施形態の加工対象であるウェーハ10の構成について説明する。図1は、実施形態に係るウェーハ10の加工方法の加工対象のウェーハ10の一例を示す斜視図である。
図1に示すように、ウェーハ10は、シリコン(Si)、サファイア(Al2O3)、ガリウムヒ素(GaAs)または炭化ケイ素(SiC)等を基板11とする円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハである。ウェーハ10は、基板11の表面12に形成される複数の分割予定ライン13と、格子状に交差する複数の分割予定ライン13によって区画された各領域に形成されるデバイス14とを有する。デバイス14が形成された表面12と反対側に位置するウェーハ10の面を裏面15とする。基板11の裏面15側には、所定以上の反射率を有する窒化膜または酸化膜等の膜17が成膜されている。
デバイス14は、例えば、IC(Integrated Circuit)、あるいやLSI(Large Scale Integration)等の集積回路、CCD(Charge Coupled Device)、あるいはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等のイメージセンサ、またはMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)等である。
基板11の表面12側には、機能層16が積層されている。機能層16は、SiOF、BSG(SiOB)等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体被膜(以下、Low-k膜と呼ぶ)と、導電性の金属により構成された導電体膜とを備えている。Low-k膜は、導電体膜と積層されて、デバイス14を形成する。導電体膜は、デバイス14の回路を構成する。このために、デバイス14は、互いに積層されたLow-k膜と、Low-k膜間に積層された導電体膜とにより構成される。なお、分割予定ライン13の機能層16は、Low-k膜により構成され、導電体膜を備えていない。
次に、実施形態に係るウェーハ10の加工方法を説明する。図2は、実施形態に係るウェーハ10の加工方法の流れを示すフローチャートである。ウェーハ10の加工方法は、保護部材配設ステップ1と、レーザー加工溝形成ステップ2と、予備研削ステップ3と、改質層形成ステップ4と、研削ステップ5と、を有する。
(保護部材配設ステップ1)
図3は、図2に示す保護部材配設ステップ1の一例を示す斜視図である。図4は、保護部材配設ステップ1の後のウェーハ10を示す斜視図である。保護部材配設ステップ1は、ウェーハ10の表面12に保護部材20を配設するステップである。
図3は、図2に示す保護部材配設ステップ1の一例を示す斜視図である。図4は、保護部材配設ステップ1の後のウェーハ10を示す斜視図である。保護部材配設ステップ1は、ウェーハ10の表面12に保護部材20を配設するステップである。
保護部材20は、後述のレーザー加工装置40(図5参照)または研削装置70(図7参照)のチャックテーブル50、80に保持されるウェーハ10の表面12側のデバイス14を異物の付着や接触による損傷から保護するものである。保護部材20は、実施形態において、ウェーハ10より大径の円板形状のテープである。保護部材20は、例えば、合成樹脂により構成された基材層と、基材層の表面および裏面の少なくともいずれかに積層された粘着性を有する糊層とを含む。
図2に示すように、保護部材配設ステップ1では、まず、保護部材20を、フレーム21の裏面側に貼着する。フレーム21は、ウェーハ10の外径より大きな開口を有する。次に、ウェーハ10を、フレーム21の開口の所定の位置に位置決めし、裏面15を保護部材20に貼着させる。これにより、図3に示すように、ウェーハ10を、保護部材20およびフレーム21に固定させる。
(レーザー加工溝形成ステップ2)
図5は、図2に示すレーザー加工溝形成ステップ2の一例を一部断面で示す側面図である。図6は、レーザー加工溝形成ステップ2の後のウェーハ10を示す斜視図である。レーザー加工溝形成ステップ2は、レーザー光線30をウェーハ10の裏面15に照射し、膜17を部分的に除去するレーザー加工溝18をウェーハ10の裏面15に形成するステップである。
図5は、図2に示すレーザー加工溝形成ステップ2の一例を一部断面で示す側面図である。図6は、レーザー加工溝形成ステップ2の後のウェーハ10を示す斜視図である。レーザー加工溝形成ステップ2は、レーザー光線30をウェーハ10の裏面15に照射し、膜17を部分的に除去するレーザー加工溝18をウェーハ10の裏面15に形成するステップである。
レーザー加工溝形成ステップ2では、レーザー加工装置40によるアブレーション加工によって、ウェーハ10の裏面15側にレーザー加工溝18を形成する。レーザー光線30は、膜17または基板11に対して吸収性を有する波長のレーザー光線である。レーザー加工装置40は、チャックテーブル50と、レーザー光線照射ユニット60と、チャックテーブル50とレーザー光線照射ユニット60とを相対的に移動させる不図示の移動ユニットと、ウェーハ10を撮像する不図示の撮像ユニットと、を含む。
レーザー加工溝形成ステップ2では、まず、チャックテーブル50の保持面51に保護部材20を介してウェーハ10の表面12側を吸引保持し、フレーム21の外縁をクランプ部52で固定する。なお、この際、フレーム21をウェーハ10の表面12より下方に押し下げた状態で固定することによって、ウェーハ10の表面12は、チャックテーブル50の保持面51に固定される。
レーザー加工溝形成ステップ2では、次に、不図示の移動ユニットによってチャックテーブル50を加工位置まで移動させ、不図示の撮像ユニットでウェーハ10を撮像しアライメントすることによってレーザー光線照射ユニット60の照射部61を、ウェーハ10のレーザー加工溝18を形成する位置に位置合わせする。
なお、レーザー加工溝18を分割予定ライン13に沿って形成する場合は、不図示の撮像ユニットでウェーハ10を撮像し、分割予定ライン13を割り出すアライメントを実行する。レーザー加工溝18を形成する位置を問わない場合は、例えば、ウェーハ10の外縁の位置を3箇所以上検出し、外縁の座標を算出することによってウェーハ10の位置を割り出すアライメントを実行してもよい。また、ウェーハ10をチャックテーブル50上に搬送する際に、常に同一の位置に位置付けることが可能であれば、上記のアライメントを実行しなくてもよい。
レーザー加工溝形成ステップ2では、次に、レーザー光線照射ユニット60に対してチャックテーブル50を相対的に移動させながら、チャックテーブル50の保持面51に保持されたウェーハ10に向けてレーザー光線30を照射する。この際、ウェーハ10の裏面15側からパルス状のレーザー光線30を、膜17に集光点31を位置付けて照射する。膜17に集光点31を位置付けたレーザー光線30を、ウェーハ10の裏面15に沿って照射することによって、ウェーハ10の裏面15にレーザー加工溝18が形成される。
なお、本発明においてレーザー光線30は、基板11に対してのみ吸収性を有する波長であってもよく、膜17に対して吸収性を有する波長であっても、膜17に対して吸収性を有しない波長であってもよい。レーザー光線30が基板11に対してのみ吸収性を有する波長であっても、レーザー光線30によって膜17を除去することは可能である。
レーザー加工溝18の形成される位置および本数は特に限定されないが、レーザー加工溝18は、例えば、格子状に形成されることが好ましい、また、レーザー加工溝18の形成される深さは特に限定されないが、レーザー加工溝18は、膜17を高さ方向に貫通することが好ましい。また、膜17がレーザー光線30を透過しやすい場合は、レーザー光線30の吸収を促進する酸化物または窒化物等の吸光材を含む水溶性の液状樹脂を、膜17の表面に塗布してからレーザー加工を行ってもよい。これにより、膜17がレーザー光線30を透過しやすい場合であっても、レーザー加工による膜17の除去を促進できる。レーザー加工溝形成ステップ2では、レーザー加工溝18をウェーハ10の裏面15側の全域に亘って形成すると、レーザー光線30の照射、チャックテーブル50の吸引保持を解除し、予備研削ステップ3に進む。
(予備研削ステップ3)
図7は、図2に示す予備研削ステップ3の一例を一部断面で示す側面図である。予備研削ステップ3は、レーザー加工溝18が形成されたウェーハ10の裏面15を研削砥石93で研削して膜17およびレーザー加工溝18を除去し、所定以上の厚さのウェーハ10を形成するステップである。
図7は、図2に示す予備研削ステップ3の一例を一部断面で示す側面図である。予備研削ステップ3は、レーザー加工溝18が形成されたウェーハ10の裏面15を研削砥石93で研削して膜17およびレーザー加工溝18を除去し、所定以上の厚さのウェーハ10を形成するステップである。
予備研削ステップ3では、研削装置70による研削加工よって、ウェーハ10の裏面15側の膜17およびレーザー加工溝18を除去し、所定以上の厚さのウェーハ10を形成する。研削装置70は、チャックテーブル80と、研削ユニット90と、を備える。研削ユニット90は、回転軸部材であるスピンドル91と、スピンドル91の下端に取り付けられたホイール基台92と、ホイール基台92の下面に装着される研削砥石93と、研削水供給ノズル94と、を備える。ホイール基台92は、チャックテーブル80の軸心と平行な回転軸で回転する。
予備研削ステップ3では、まず、チャックテーブル80の保持面81に保護部材20を介してウェーハ10の表面12側を吸引保持し、フレーム21の外縁をクランプ部82で固定する。なお、この際、フレーム21をウェーハ10の表面12より下方に押し下げた状態で固定することによって、ウェーハ10の表面12は、チャックテーブル80の保持面81に固定される。
予備研削ステップ3では、次に、チャックテーブル80を軸心回りに回転させた状態で、ホイール基台92を軸心回りに回転させる。研削水供給ノズル94から研削水95を供給するとともに、ホイール基台92の下面に装着された研削砥石93をチャックテーブル80に所定の送り速度で近付けることによって、研削砥石93でウェーハ10を裏面15側から研削する。
予備研削ステップ3では、ウェーハ10の裏面15側の膜17およびレーザー加工溝18を除去する。すなわち、レーザー加工溝18の深さより多く研削する。この際、仕上げ厚さよりウェーハ10の厚みを残して、所定以上の厚さのウェーハ10を形成する。予備研削ステップ3で研削する厚さは、例えば、100μm以下である。
予備研削ステップ3でウェーハ10の裏面15側の膜17を研削する際に、レーザー加工溝18が形成されていることによって、研削体積に対する膜17の体積は、レーザー加工溝18がない場合に比べて減少する。また、レーザー加工溝18による凹凸によって、研削砥石93が凸部に衝突する際に衝撃となり、研削砥石93のドレッシング効果が期待できる。予備研削ステップ3では、所定以上の厚さのウェーハ10を形成すると、チャックテーブル80および研削ユニット90の回転を停止し、チャックテーブル80の吸引保持を解除し、改質層形成ステップ4に進む。
(改質層形成ステップ4)
図8は、図2に示す改質層形成ステップ4の一例を一部断面で示す側面図である。改質層形成ステップ4は、予備研削ステップ3の後に実施される。改質層形成ステップ4は、レーザー光線30を膜17が除去されたウェーハ10の裏面15側から照射し、分割予定ライン13に沿った改質層19を基板11の内部に形成するステップである。
図8は、図2に示す改質層形成ステップ4の一例を一部断面で示す側面図である。改質層形成ステップ4は、予備研削ステップ3の後に実施される。改質層形成ステップ4は、レーザー光線30を膜17が除去されたウェーハ10の裏面15側から照射し、分割予定ライン13に沿った改質層19を基板11の内部に形成するステップである。
改質層19とは、密度、屈折率、機械的強度またはその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味する。改質層19は、例えば、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、およびこれらの領域が混在した領域等である。改質層19は、ウェーハ10の他の部分よりも機械的な強度等が低い。
改質層形成ステップ4では、レーザー加工装置40によるステルスダイシングによって、ウェーハ10の基板11の内部に改質層19を形成する。レーザー光線30は、基板11に対して透過性を有する波長のレーザー光線である。レーザー加工装置40は、レーザー加工溝形成ステップ2で使用した装置と同一の装置でもよい。
改質層形成ステップ4では、まず、レーザー加工溝形成ステップ2と同様に、チャックテーブル50の保持面51に保護部材20を介してウェーハ10の表面12側を吸引保持し、フレーム21の外縁をクランプ部52で固定する。次に、不図示の移動ユニットによってチャックテーブル50を加工位置まで移動させ、不図示の撮像ユニットでウェーハ10を撮像しアライメントすることによってレーザー光線照射ユニット60の照射部61を、ウェーハ10の分割予定ライン13に位置合わせする。
改質層形成ステップ4では、次に、レーザー光線照射ユニット60に対してチャックテーブル50を相対的に移動させながら、ウェーハ10の裏面15側からパルス状のレーザー光線30を、基板11の内部に集光点31を位置付けて照射する。基板11の内部に集光点31を位置付けたレーザー光線30を、分割予定ライン13に沿って照射することによって、分割予定ライン13に沿って基板11の内部に改質層19が形成される。改質層形成ステップ4では、改質層19を全ての分割予定ライン13に沿って形成すると、レーザー光線30の照射、チャックテーブル50の吸引保持を解除し、研削ステップ5に進む。
(研削ステップ5)
図9は、図2に示す研削ステップ5の一例を一部断面で示す側面図である。図10は、研削ステップ5の後のウェーハ10を示す斜視図である。研削ステップ5は、改質層19が形成されたウェーハ10を裏面15側から研削砥石93で研削し、ウェーハ10を仕上げ厚さに薄化すると共に改質層19に沿って分割されたウェーハ10を形成するステップである。
図9は、図2に示す研削ステップ5の一例を一部断面で示す側面図である。図10は、研削ステップ5の後のウェーハ10を示す斜視図である。研削ステップ5は、改質層19が形成されたウェーハ10を裏面15側から研削砥石93で研削し、ウェーハ10を仕上げ厚さに薄化すると共に改質層19に沿って分割されたウェーハ10を形成するステップである。
研削ステップ5では、研削装置70による研削加工よって、ウェーハ10を裏面15側から研削して仕上げ厚さに薄化する。研削装置70は、予備研削ステップ3で使用した装置と同一の装置でもよい。
研削ステップ5では、まず、予備研削ステップ3と同様に、チャックテーブル80の保持面81に保護部材20を介してウェーハ10の表面12側を吸引保持し、フレーム21の外縁をクランプ部82で固定する。次に、チャックテーブル80を軸心回りに回転させた状態で、ホイール基台92を軸心回りに回転させる。研削水供給ノズル94から研削水95を供給するとともに、ホイール基台92の下面に装着された研削砥石93をチャックテーブル80に所定の送り速度で近付けることによって、研削砥石93でウェーハ10を裏面15側から研削する。
研削ステップ5では、ウェーハ10が仕上げ厚さになるまでウェーハ10を裏面15側から研削する。また、研削ステップ5では、研削ステップ5の研削ユニット90のホイール基台92から作用する研削応力によって、改質層19を破断起点にして、ウェーハ10が分割予定ライン13に沿って個々のチップに分割される。仕上げ厚さまでウェーハ10を研削すると、実施形態におけるウェーハ10の加工方法は、全ての工程を終了する。
以上説明したように、実施形態に係るウェーハ10の加工方法は、ウェーハ10の裏面15にレーザー加工溝18を形成し、予備研削ステップ3の前に予め膜17を部分的に除去しておく。予備研削ステップ3でウェーハ10の裏面15側の膜17を研削する際に、レーザー加工溝18が形成されていることによって、研削体積に対する膜17の体積は、レーザー加工溝18がない場合に比べて減少する。これにより、予備研削ステップ3で研削砥石93が目詰まりすることを抑制することができる。また、レーザー加工溝18による凹凸によって、研削砥石93が凸部に衝突する際に衝撃となり、研削砥石93のドレッシング効果が期待できる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、実施形態のレーザー加工溝形成ステップ2、予備研削ステップ3、改質層形成ステップ4および研削ステップ5では、フレーム21にウェーハ10を固定しているが、本発明では、ウェーハ10と略同径の保護部材20を貼着して、フレーム21を用いずに各ステップを行ってもよい。すなわち、レーザー加工溝形成ステップ2、予備研削ステップ3、改質層形成ステップ4および研削ステップ5において、ウェーハ10には保護部材20が貼着されていればよく、保護部材20を介してフレーム21が固定されていなくてもよい。
10 ウェーハ
11 基板
12 表面
13 分割予定ライン
14 デバイス
15 裏面
16 機能層
17 膜
18 レーザー加工溝
19 改質層
20 保護部材
30 レーザー光線
31 集光点
93 研削砥石
11 基板
12 表面
13 分割予定ライン
14 デバイス
15 裏面
16 機能層
17 膜
18 レーザー加工溝
19 改質層
20 保護部材
30 レーザー光線
31 集光点
93 研削砥石
Claims (1)
- 基板の表面に積層された機能層によってデバイスが形成され、該基板の裏面に膜が形成されたウェーハを、該デバイスを区画する複数の分割予定ラインに沿って分割するウェーハの加工方法であって、
ウェーハの表面に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、
該膜または該基板に対して吸収性を有する波長のレーザー光線をウェーハの裏面に照射し、該膜を部分的に除去するレーザー加工溝をウェーハの裏面に形成するレーザー加工溝形成ステップと、
該レーザー加工溝が形成されたウェーハの裏面を研削砥石で研削して該膜および該レーザー加工溝を除去し、所定以上の厚さのウェーハを形成する予備研削ステップと、
該予備研削ステップ後、該基板に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を該基板の内部に位置付け、該膜が除去されたウェーハの裏面側から照射し、該分割予定ラインに沿った改質層を該基板の内部に形成する改質層形成ステップと、
該改質層が形成されたウェーハを裏面側から研削砥石で研削し、ウェーハを仕上げ厚さに薄化すると共に該改質層に沿って分割されたウェーハを形成する研削ステップと、
を有するウェーハの加工方法。
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- 2020-11-10 JP JP2020187233A patent/JP2022076711A/ja active Pending
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