JP2022071559A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室内の気泡の排出性を向上する。【解決手段】接続流路２３の上端２３ａは、圧力室２１の下端に接続する部分であり、圧力室２１の幅方向中央に位置している。圧力室２１の下部２１ｂを構成する側壁Ｗ１は、圧力室２１の上端から下端に向かって上端２３ａに近づくように傾斜した傾斜面Ｔ１を有する。【選択図】図５

Description

本発明は、複数の個別流路と第１共通流路とを備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１には、複数の個別流路と、供給共通路（第１共通流路）とを備えたヘッド（液体吐出ヘッド）が示されている。複数の個別流路は、それぞれ、圧力室と、ノズルと、ディセンダ（接続流路）と、供給個別路（第１連通流路）とを含む。圧力室の下端の幅方向（第２方向）中央に、ディセンダと圧力室との接続部（第１接続部）が設けられている。

特開２０１９－１５５８７６号公報（図２）

圧力室内には、第１共通流路からの液体の流入に伴い、気泡が発生し得る。当該気泡は、接続流路を介してノズルから排出され得る。しかしながら、特許文献１の構成では、圧力室の下端の角部において、接続流路に向かう液体の流れが生じ難く、当該角部にある気泡を排出し難い。

本発明の目的は、圧力室内の気泡の排出性を向上できる液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、複数の個別流路と、前記複数の個別流路に連通する第１共通流路と、を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、圧力室と、前記圧力室から第１方向に離隔したノズルと、前記圧力室の前記第１方向の一端に接続する第１接続部と前記ノズルに接続する第２接続部とを有する接続流路と、前記圧力室と前記第１共通流路とを連通させる第１連通流路と、を含み、前記第１接続部は、前記圧力室の前記第１方向と直交する第２方向の中央に位置し、前記圧力室の前記第１方向の一端を構成する第１側壁は、前記圧力室の前記第１方向の他端から一端に向かって前記第１接続部に近づくように傾斜した第１傾斜面を有することを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド１０を含むプリンタ１００の全体構成図である。 図１のＩＩ－ＩＩ線に沿ったヘッド１０の断面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッド１０の断面図である。 図２に示す領域ＩＶの拡大図である。 図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドの図５に対応する断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１実施形態について説明する。

＜プリンタの全体構成＞
図１には、本発明に係る「液体吐出ヘッド」の第１実施形態であるヘッド１０を含む、プリンタ１００の全体構成が示されている。プリンタ１００は、複数のヘッド１０を含むヘッドユニット１３と、プラテン１４と、搬送機構１５と、制御部１６とを備えている。

プラテン１４の上面に、記録媒体である用紙１２が載置される。

搬送機構１５は、搬送方向にプラテン１４を挟んで配置された２つのローラ対１５ａと、搬送モータ１５ｂとを有する。制御部１６の制御により搬送モータ１５ｂが駆動されると、ローラ対１５ａが用紙１２を挟持した状態で回転し、用紙１２が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１３は、プラテン１４の上方に配置されている。ヘッドユニット１３は、搬送方向と直交する方向に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２２から用紙１２に対してインクを吐出するライン式である。ヘッドユニット１３において、複数のヘッド１０は、搬送方向と直交する方向に並んでいる。各ヘッド１０の構成については、後に詳述する。

制御部１６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部１６は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１０のドライバＩＣ７２（図２参照）及び搬送モータ１５ｂを制御し、用紙１２上に画像を記録する。

＜ヘッドの構成＞
次いで、ヘッド１０の構成について説明する。

図１に示すように、各ヘッド１０において、複数のノズル２２は、搬送方向に対して角度θ（例えば３０～６０℃）をなす方向（配列方向）に配列され、配列方向と直交する幅方向に並ぶ２つのノズル列を形成している。２つのノズル列は、互いに同じ数のノズル２２を含む。

ヘッド１０は、図２に示すように、流路ユニット５０と、複数の圧電体６０と、ＣＯＦ（Chip on Film）７０とを有する。

流路ユニット５０は、積層方向（第１方向）に積層されかつ互いに接着された４枚のプレート５１～５４と、保護部材５５と、リザーバ部材５６と、ダンパ膜５７と、スペーサ５８と、プレート５９とを含む。積層方向は、鉛直方向（図１の紙面に直交する方向）であり、図１に示す搬送方向、配列方向及び幅方向（第２方向）のそれぞれと直交する。

プレート５１～５４及びリザーバ部材５６には、流路を構成する貫通孔や凹部が形成されている。

当該流路は、複数の個別流路２０と、それぞれ複数の個別流路２０に連通する２つの供給流路４０及び１つの帰還流路３０とを含む。供給流路４０が本発明の「第１共通流路」に該当し、帰還流路３０が本発明の「第２共通流路」に該当する。

２つの供給流路４０及び１つの帰還流路３０は、図２及び図３に示すように、幅方向に並んでいる。幅方向において２つの供給流路４０の間に１つの帰還流路３０が配置されている。２つの供給流路４０及び１つの帰還流路３０はそれぞれ配列方向に延びている。

複数の個別流路２０は、図３に示すように、配列方向に千鳥状に配列され、幅方向に並ぶ２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂを形成している。２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂは、互いに同じ数の個別流路２０を含む。２つの供給流路４０の一方（図３の左側の供給流路４０）は、個別流路列２０Ａに連通し、２つの供給流路４０の他方（図３の右側の供給流路４０）は、個別流路列２０Ｂに連通している。帰還流路３０は、２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂの双方に連通している。

２つの供給流路４０は、連結流路４５を介して連結されている。連結流路４５は、幅方向に延び、各供給流路４０の配列方向の一端に連結している。連結流路４５の幅方向の中央に、供給管１８の一端が接続されている。供給管１８の他端は、インクを貯留するタンク１９に接続している。

帰還流路３０の配列方向の一端に、帰還管１７の一端が接続されている。帰還管１７の他端は、タンク１９に接続している。帰還管１７には、ポンプ１７ａが設けられている。

制御部１６の制御によりポンプ１７ａが駆動されると、帰還流路３０内のインクが帰還管１７を通ってタンク１９に流入する。タンク１９内のインクは、供給管１８を通って連結流路４５に流入し、連結流路４５から２つの供給流路４０のそれぞれに流入する。各供給流路４０に流入したインクは、当該供給流路４０内を配列方向に移動しつつ、対応する個別流路列２０Ａ，２０Ｂに属する複数の個別流路２０に供給される。各個別流路２０に供給されたインクは、個別流路２０を通って帰還流路３０に排出され、タンク１９に戻される。このようにタンク１９と流路ユニット５０との間でインクを循環させることで、流路ユニット５０内の供給流路４０及び帰還流路３０、さらには各個別流路２０における、気泡の排出、インクの増粘防止、及び、淀みの解消が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

各個別流路２０は、図２に示すように、圧力室２１と、圧力室２１から積層方向に離隔したノズル２２と、圧力室２１とノズル２２とを接続する接続流路２３と、圧力室２１と対応する供給流路４０とを連通させる流入流路２４と、接続流路２３と帰還流路３０とを連通させる流出流路２５とを含む。流入流路２４が本発明の「第１連通流路」に該当し、流出流路２５が本発明の「第２連通流路」に該当する。

ノズル２２は、プレート５１に形成された貫通孔で構成され、流路ユニット５０の下面に開口している。

圧力室２１は、プレート５４に形成された貫通孔からなる上部２１ａと、プレート５３の上面に形成された凹部からなる下部２１ｂとで構成され、流路ユニット５０の上面に開口している。下部２１ｂは圧力室２１の下端（第１方向の一端）を構成し、上部２１ａは圧力室２１の上端（第１方向の他端）を構成する。圧力室２１の下端（下部２１ｂの凹部底面）に、接続流路２３の上端（第１接続部）２３ａが接続している。接続流路２３の上端２３ａは、圧力室２１の幅方向の中央に位置している。

接続流路２３は、圧力室２１から下方に延びる円柱状の流路であり、プレート５３に形成された貫通孔（下部２１ｂの凹部に接続する貫通孔）からなる上部と、プレート５２に形成された貫通孔からなる下部とで構成される。上部は接続流路２３の上端２３ａを構成し、下部は接続流路２３の下端（第２接続部）２３ｂを構成する。接続流路２３の下端２３ｂに、ノズル２２が接続している。ノズル２２は、図３に示すように、積層方向と直交する平面において、接続流路２３の中央に位置する。また、接続流路２３は積層方向に延びることから、ノズル２２は積層方向と直交する平面において接続流路２３の下端２３ｂの中央に位置する。

流入流路２４は、図２に示すように、プレート５３に形成された貫通孔からなる下部２４ａと、プレート５４に形成された貫通孔からなる上部２４ｂとで構成される。下部２４ａは、供給流路４０の上面に接続している。上部２４ｂは、圧力室２１の幅方向の一端に接続している。

流出流路２５は、図２及び図４に示すように、プレート５２の下面に形成された凹部からなる上部２５ａと、プレート５１の上面に形成された凹部からなる下部２５ｂとで構成される。これら凹部は、プレート５１，５２にハーフエッチングを行うことで形成される。上部２５ａは、接続流路２３の側面に接続している。下部２５ｂは、帰還流路３０の下面に接続している。上部２５ａは、本発明の「第１部分」に該当し、接続流路２３の下端２３ｂから幅方向に延び、ノズル２２と幅方向に重ならない。下部２５ｂは、本発明の「第２部分」に該当し、上部２５ａに接続し、ノズル２２と幅方向に重なる。幅方向において下部２５ｂとノズル２２との間には、プレート５１の隔壁５１ｗが介在している。隔壁５１ｗは、プレート５１におけるノズル２２の貫通孔と下部２５ｂの凹部との間の部分である。

流入流路２４及び流出流路２５は、図３に示すように、幅方向に延びている。流入流路２４及び流出流路２５は、それぞれ、圧力室２１の幅（配列方向の長さ）よりも小さい幅を有し、絞りとして機能する。

２つの供給流路４０は、図２に示すように、それぞれ、リザーバ部材５６の下面に形成された凹部からなる上部４１と、プレート５２，５３に形成された貫通孔からなる下部４２とで構成される。下部４２は、プレート５３に形成された貫通孔からなる基部４３と、プレート５２に形成された貫通孔からなる幅広部４４とを含む。基部４３は、上部４１と幅方向の長さが同じであり、積層方向に上部４１と重なっている。幅広部４４は、基部４３よりも幅方向の長さが長く、積層方向に基部４３と重なる部分と、積層方向に基部４３と重ならない部分とを有する。幅広部４４は、上部４１及び基部４３から幅方向の一方に突出している。幅広部４４の当該突出部分の上面に、流入流路２４の下部２４ａが接続している。

供給流路４０の下部４２は、プレート５２の下面に開口している。当該開口部は、可撓性フィルムからなるダンパ膜５７によって覆われている。ダンパ膜５７が変形することにより、供給流路４０内のインクの圧力変動が抑制される。ダンパ膜５７は、スペーサ５８を介してプレート５９で覆われている。

帰還流路３０は、プレート５４に形成された貫通孔からなる上部３１と、プレート５２，５３に形成された貫通孔からなる下部３２とで構成される。下部３２は、プレート５３に形成された貫通孔からなる基部３３と、プレート５２に形成された貫通孔からなる幅広部４４とを含む。基部３３は、上部３１と幅方向の長さが同じであり、積層方向に上部３１と重なっている。幅広部３４は、基部３３よりも幅方向の長さが長く、積層方向に基部３３と重なる部分と、積層方向に基部３３と重ならない部分とを有する。幅広部３４は、上部３１及び基部３３から幅方向の一方及び他方のそれぞれに突出している。幅広部３４の当該突出部分の下面に、流出流路２５の下部２５ｂが接続している。

帰還流路３０の下部３２は、プレート５２の下面に開口している。当該開口部は、プレート５１によって覆われている。

幅方向において、１つの帰還流路３０を挟むように２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂの接続流路２３が配置され、帰還流路３０及び２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂの接続流路２３を挟むように２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂの流入流路２４及び２つの供給流路４０が配置されている。

幅方向において、帰還流路３０の上部３１を挟むように２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂの圧力室２１が配置され、帰還流路３０の上部３１及び２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂの圧力室２１を挟むように２つの供給流路４０の上部４１が配置されている。

帰還流路３０の幅広部３４は、各接続流路２３と幅方向に重なり、かつ、各圧力室２１と積層方向に重なっている。幅広部３４は、本発明に係る「重複部」に該当する。各圧力室２１は、幅方向の一端において帰還流路３０の幅広部３４と積層方向に重なり、幅方向の他端において流入流路２４と連通している。

プレート５４の上面には、複数の圧力室２１及び帰還流路３０の上部３１の開口部を覆うように、振動板６２が配置されている。

振動板６２の上面全体に、複数の圧電体６０に共通の電極である共通電極（図示略）が配置されている。共通電極の上面に、複数の圧力室２１のそれぞれと積層方向に重なる複数の圧電体６０が配置されている。各圧電体６０の上面には、個別電極が設けられている。個別電極は個別配線６１を介してＣＯＦ７０と電気的に接続され、共通電極は共通配線（図示略）を介してＣＯＦ７０と電気的に接続されている。

保護部材５５は、リザーバ部材５６の中空部５６ｘ内において、振動板６２の上面に、上記共通電極を介して配置されている。中空部５６ｘは、リザーバ部材５６を積層方向に貫通している。幅方向において、中空部５６ｘを挟むように２つの供給流路４０の上部４１が配置されている。

保護部材５５は、下面に形成された２つの凹部２６と、積層方向に貫通した貫通孔からなる中空部５５ｘとを有する。幅方向において、中空部５５ｘを挟むように２つの凹部２６が配置されている。２つの凹部２６及び中空部５５ｘは、それぞれ、配列方向に延びている。２つの凹部２６には、それぞれ、２つの個別流路列２０Ａ，２０Ｂのそれぞれに対して設けられた複数の圧電体６０が収容されている。

ＣＯＦ７０は、フィルム状の基板７１と、基板７１に搭載されたドライバＩＣ７２とを含む。基板７１は、中空部５５ｘに配置された一端と、制御部１６（図１参照）に接続された他端とを有する。基板７１の一端は、個別配線６１及び共通配線と電気的に接続されている。

ドライバＩＣ７２は、制御部１６（図１参照）からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、駆動信号を個別配線６１を介して各個別電極に供給する。これにより、個別電極の電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。共通電極の電位は、グランド電位に維持される。このとき、圧電体６０が圧力室２１に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２１の容積が変化し、圧力室２１内のインクに圧力が付与され、ノズル２２からインクが吐出される。

＜圧力室の構成＞
次いで、圧力室２１の構成について、より詳細に説明する。

圧力室２１は、図２を参照して上述したとおり、プレート５４に形成された貫通孔からなる上部２１ａと、プレート５３の上面に形成された凹部からなる下部２１ｂとで構成されている。

図５に示すように、幅方向と直交する平面において、上部２１ａの貫通孔は逆台形状であり、下部２１ｂの凹部はＶ字状である。ここで、下部２１ｂを構成するプレート５３の一対の側壁Ｗ１（第１側壁）、及び、上部２１ａを構成するプレート５４の一対の側壁Ｗ２（第２側壁）は、それぞれ、圧力室２１の上端（第１方向の他端）から下端（第１方向の一端）に向かって接続流路２３の上端２３ａに近づくように傾斜した傾斜面Ｔ１，Ｔ２を有する。配列方向において、下部２１ｂを挟むように一対の側壁Ｗ１が配置され、上部２１ａを挟むように一対の側壁Ｗ２が配置されている。傾斜面Ｔ１，Ｔ２は、共に、幅方向に延び、かつ、配列方向及び積層方向の双方に対して交差している。

傾斜面Ｔ１が本発明の「第１傾斜面」に該当し、傾斜面Ｔ２が本発明の「第２傾斜面」に該当する。また、プレート５３が本発明の「第１プレート」に該当し、プレート５４が本発明の「第２プレート」に該当する。

プレート５３は、（１１０）配向のシリコンウエハーである。一方、プレート５４は、（１１０）配向のシリコンウエハーに限定されず、金属（例えばステンレス鋼）、セラミックス、合成樹脂（例えばポリイミド）等、任意の材料からなってよい。

プレート５３の上面（傾斜面Ｔ１が形成された表面）に対する傾斜面Ｔ１の角度αは、３０～４０度（例えば３５度）である。プレート５４の上面（傾斜面Ｔ２が形成された表面）に対する傾斜面Ｔ２の角度βは、角度αよりも大きく、６０～７０度である。なお、角度α，βは、それぞれ、プレート５３，５４の上面に対する鋭角側の角度である。プレート５３の上面と傾斜面Ｔ１との間の角度αに対応する部分に、圧力室２１の下部２１ｂが形成されている。プレート５４の上面と傾斜面Ｔ２との間の角度βに対応する部分に、圧力室２１の上部２１ａが形成されている。

接続流路２３の上端２３ａは、一対の側壁Ｗ１の傾斜面Ｔ１の交差部分（Ｖ字の底部）に配置されている。

以上に述べたように、本実施形態によれば、圧力室２１の下部２１ｂを構成する側壁Ｗ１が、圧力室２１の上端から下端に向かって接続流路２３の上端２３ａに近づくように傾斜した傾斜面Ｔ１を有する（図５参照）。これにより、圧力室２１内の気泡は、傾斜面Ｔ１に沿って接続流路２３の上端２３ａに流入し、接続流路２３を介してスムーズに排出される。したがって、本実施形態によれば、圧力室２１内の気泡の排出性を向上できる。また、圧力室２１内に淀みが生じる場合があるが、傾斜面Ｔ１が設けられたことで、圧力室２１内におけるインクの流れがスムーズになり、淀みが解消される。さらに、接続流路２３の上端２３ａが圧力室２１の幅方向の中央に位置するため（図２参照）、圧電体６０の変形による圧力が効率よくノズル２２に伝わり、吐出圧を高めることができる。

圧力室２１は、傾斜面Ｔ１が形成された上面を有するプレート５３と、プレート５３の上面に積層されたプレート５４とで構成されている（図５参照）。この場合、圧力室２１を構成する２つのプレート５３，５４の一方（プレート５３）に対する加工により、傾斜面Ｔ１を容易に形成できる。

プレート５３は、（１１０）配向のシリコンウエハーである。この場合、ウエットエッチングにより傾斜面Ｔ１を容易に形成できる。具体的には、（１１０）配向のシリコンウエハーであるプレート５３の上面に対してウエットエッチングを行い、（１１１）面をストッパー層として利用することで、当該ストッパー層となる（１１１）面が傾斜面Ｔ１として形成される。

プレート５３の上面に対する傾斜面Ｔ１の角度αは、３０～４０度である（図５参照）。この場合、（１１０）配向のシリコンウエハーであるプレート５３を用いたウエットエッチングにより、当該角度の傾斜面Ｔ１を精度よく形成できる。

接続流路２３は、積層方向に延びている（図５参照）。この場合、シリコンウエハーの配向に関わらず、ドライエッチングにより接続流路２３の貫通孔を容易に形成できる。

ノズル２２は、積層方向と直交する平面において、接続流路２３の下端２３ｂの中央に位置する（図２及び図３参照）。この場合、圧力室２１からの接続流路２３を介した圧力が効率よくノズル２２に伝わり、吐出圧を高めることができる。

帰還流路３０は、接続流路２３と幅方向に重なりかつ圧力室２１と積層方向に重なる幅広部３４を有する（図２参照）。この場合、帰還流路３０の容積を大きくすることができるため、帰還流路３０におけるインクの流れに対する抵抗が低減され、帰還流路３０に連通する複数の圧力室２１間の抵抗差（ひいては、複数のノズル２２間の吐出速度の差及び吐出量の差）を抑制できる。また、帰還流路３０が設けられたことで、上記のようなタンク１９と流路ユニット５０との間でのインクの循環（図３参照）が可能となり、傾斜面Ｔ１に沿って排出された圧力室２１内の気泡は、接続流路２３、流出流路２５及び帰還流路３０を通ってタンク１９に入り、タンク１９の上部空気として回収される。

流出流路２５は、接続流路２３の下端２３ｂから幅方向に延び、ノズル２２と幅方向に重ならない上部２５ａと、上部２５ａに接続し、ノズル２２と幅方向に重なる下部２５ｂであって、幅方向にノズル２２との間に隔壁５１ｗを挟む下部２５ｂを含む。この場合、接続流路２３から流出流路２５へのインクの流れがノズル２２からのインク吐出の妨げるという問題を抑制できる。

圧力室２１の上部２１ａを構成する側壁Ｗ２が、圧力室２１の上端から下端に向かって接続流路２３の上端２３ａに近づくように傾斜した傾斜面Ｔ２を有する（図５参照）。この場合、圧力室の下端のみでなく上端にも傾斜面Ｔ２を設けたことで、圧力室２１内の気泡の排出性がより一層向上し、淀みの解消もより確実に実現できる。

＜第２実施形態＞
続いて、本発明の第２実施形態について説明する。

本実施形態は、圧力室２１の構成が第１実施形態と異なり、その他は第１実施形態と同じである。

図６に示すように、本実施形態では、幅方向と直交する平面において、圧力室２１の下部２１ｂの凹部は、第１実施形態（図５）と同様、Ｖ字状であるが、圧力室２１の上部２１ａの貫通孔は、第１実施形態（図５）と異なり、略Ｖ字状の部分と、当該部分の下方に接続する矩形状の部分とを含む。

プレート５４に形成された上部２１ａを構成する貫通孔は、一対の側壁Ｗ２’（第２側壁）によって配列方向に挟まれた部分（略Ｖ字状の部分）と、一対の側壁Ｗ３（第３側壁）によって配列方向に挟まれた部分（矩形状の部分）とを含む。一対の側壁Ｗ２’は、圧力室２１の上端（第１方向の他端）を構成する。一対の側壁Ｗ３は、積層方向において一対の側壁Ｗ１と一対の側壁Ｗ２’との間にあり、側壁Ｗ１の上端と側壁Ｗ２’の下端とを接続している。

一対の側壁Ｗ２’は、それぞれ、圧力室２１の上端（第１方向の他端）から下端（第１方向の一端）に向かって接続流路２３の上端２３ａに近づくように傾斜した傾斜面Ｔ２’（第２傾斜面）を有する。一方、一対の側壁Ｗ３は、それぞれ、積層方向に沿って延びている。傾斜面Ｔ１，Ｔ２’は、共に、幅方向に延び、かつ、配列方向及び積層方向の双方に対して交差している。側壁Ｗ３は、積層方向及び幅方向に平行であり、配列方向と直交する。

プレート５４の上面（傾斜面Ｔ２’が形成された表面）に対する傾斜面Ｔ２’の角度αは、プレート５３の上面（傾斜面Ｔ１が形成された表面）に対する傾斜面Ｔ１の角度αと同じである。換言すると、傾斜面Ｔ２’の積層方向に対する角度α’は、傾斜面Ｔ１の積層方向に対する角度α’と同じである。

なお、第１実施形態では、プレート５３が（１１０）配向のシリコンウエハーであるのに対し、プレート５４は任意の材料からなってよいが、本実施形態では、プレート５３，５４は共に、（１１０）配向のシリコンウエハーである。この場合、ウエットエッチングにより傾斜面Ｔ１，Ｔ２’を容易に形成できる。具体的には、（１１０）配向のシリコンウエハーであるプレート５３の上面に対してウエットエッチングを行い、（１１１）面をストッパー層として利用することで、当該ストッパー層となる（１１１）面が傾斜面Ｔ１として形成される。また、（１１０）配向のシリコンウエハーであるプレート５４の上面に対してウエットエッチングを行い、（１１１）面をストッパー層として利用することで、当該ストッパー層となる（１１１）面が傾斜面Ｔ２’として形成される。

以上に述べたとおり、本実施形態によれば、傾斜面Ｔ１の積層方向に対する角度α’と、傾斜面Ｔ２’の積層方向に対する角度α’とが、互いに同じである。この場合、ウエットエッチングにより、当該角度α’の傾斜面Ｔ１，Ｔ２’を精度よく形成できる。

圧力室２１は、積層方向において側壁Ｗ１と側壁Ｗ２’との間に、積層方向に沿った側壁Ｗ３を有する。この場合、圧力室２１の上端の開口サイズが大きくなるのを抑制しつつ、傾斜面Ｔ１，Ｔ２’による効果（圧力室２１内の気泡の排出性向上、圧力室２１内に生じ得る淀みの解消等の効果）を得ることができる。また、側壁Ｗ３は、ウエットエッチング又はドライエッチングにより形成できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

上述の実施形態（図５及び図６参照）では、圧力室２１の上部２１ａを構成する側壁Ｗ２；Ｗ２’が傾斜面Ｔ２；Ｔ２’を有するが、側壁Ｗ２；Ｗ２’が、傾斜面Ｔ２；Ｔ２’を有さず、積層方向に沿った面を有してもよい。

傾斜面は、直線状に限定されず、一部又は全体が湾曲状であってもよい。

上述の実施形態（図５及び図６参照）では、傾斜面Ｔ１，Ｔ２；Ｔ２’が幅方向（即ち、圧力室２１の長手方向：図３参照）に延び、かつ、配列方向及び積層方向の双方に対して交差しているが、これに限定されない。例えば、傾斜面Ｔ１，Ｔ２；Ｔ２’が配列方向（即ち、圧力室２１の幅方向：図３参照）に延び、かつ、幅方向及び積層方向の双方に対して交差してもよい。

第１プレート（プレート５３）は、（１１０）配向のシリコンウエハーであることに限定されず、金属（例えばステンレス鋼）、セラミックス、合成樹脂（例えばポリイミド）等であってもよい。

上述の実施形態（図５及び図６参照）では、圧力室２１が２つのプレート５３，５４で構成されるが、３以上のプレートで構成されてもよいし、１つのプレートで構成されてもよい。

上述の実施形態（図３参照）では、第２共通流路（帰還流路３０）が設けられ、タンク１９と流路ユニット５０との間でのインクの循環が可能であるが、これに限定されない。第２共通流路（帰還流路３０）が設けられない構成においても、圧力室２１内の気泡が、傾斜面Ｔ１（図５参照）に沿って接続流路２３の上端２３ａに流入することで、本発明による効果（圧力室２１内の気泡の排出性向上の効果）を得ることができる。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１０ ヘッド（液体吐出ヘッド）
２０ 個別流路
２１ 圧力室
２２ ノズル
２３ 接続流路
２３ａ 上端（第１接続部）
２３ｂ 下端（第２接続部）
２４ 流入流路（第１連通流路）
２５ 流出流路（第２連通流路）
２５ａ 上部（第１部分）
２５ｂ 下部（第２部分）
３０ 帰還流路（第２共通流路）
３４ 幅広部（重複部）
４０ 供給流路（第１共通流路）
５１ｗ 隔壁
５３ プレート（第１プレート）
５４ プレート（第２プレート）
Ｗ１ 側壁（第１側壁）
Ｗ２；Ｗ２’ 側壁（第２側壁）
Ｗ３ 側壁（第３側壁）
Ｔ１ 傾斜面（第１傾斜面）
Ｔ２；Ｔ２’ 傾斜面（第２傾斜面）

Claims (11)

1. 複数の個別流路と、
   前記複数の個別流路に連通する第１共通流路と、を備え、
   前記複数の個別流路は、それぞれ、
   圧力室と、前記圧力室から第１方向に離隔したノズルと、前記圧力室の前記第１方向の一端に接続する第１接続部と前記ノズルに接続する第２接続部とを有する接続流路と、前記圧力室と前記第１共通流路とを連通させる第１連通流路と、を含み、
   前記第１接続部は、前記圧力室の前記第１方向と直交する第２方向の中央に位置し、
   前記圧力室の前記第１方向の一端を構成する第１側壁は、前記圧力室の前記第１方向の他端から一端に向かって前記第１接続部に近づくように傾斜した第１傾斜面を有することを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記圧力室は、前記第１傾斜面が形成された表面を有する第１プレートと、前記第１プレートの前記表面に積層された第２プレートとで構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１プレートは、（１１０）配向のシリコンウエハーであることを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１プレートにおける前記表面に対する前記第１傾斜面の角度は、３０～４０度であることを特徴とする、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記接続流路は、前記第１方向に延びていることを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記ノズルは、前記第１方向と直交する平面において前記第２接続部の中央に位置することを特徴とする、請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記複数の個別流路に連通する第２共通流路をさらに備え、
   前記複数の個別流路は、それぞれ、前記接続流路と前記第２共通流路とを連通させる第２連通流路をさらに含み、
   前記第２共通流路は、前記接続流路と前記第２方向に重なりかつ前記圧力室と前記第１方向に重なる重複部を有することを特徴とする、請求項１～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第２連通流路は、
   前記第２接続部から前記第２方向に延び、前記ノズルと前記第２方向に重ならない第１部分と、
   前記第１部分に接続し、前記ノズルと前記第２方向に重なる第２部分であって、前記第２方向に前記ノズルとの間に隔壁を挟む第２部分と、
   を含むことを特徴とする、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記圧力室の前記第１方向の他端を構成する第２側壁は、前記圧力室の前記第１方向の他端から一端に向かって前記第１接続部に近づくように傾斜した第２傾斜面を有することを特徴とする、請求項１～８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１傾斜面の前記第１方向に対する角度と、前記第２傾斜面の前記第１方向に対する角度とは、互いに同じであることを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記圧力室は、前記第１方向において前記第１側壁と前記第２側壁との間に、前記第１方向に沿った第３側壁を有することを特徴とする、請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。

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