JP2022067179A - ベイパーチャンバーおよびベイパーチャンバーの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】フレキシブル性（柔軟性）に優れるとともに、特に優れた耐久性、熱輸送能力を有するベイパーチャンバーおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明のベイパーチャンバーは、金属材料で構成され、内部に空洞部を有するコンテナと、前記空洞部に配置され、前記コンテナの厚さ方向の変形を防止する機能を有する、樹脂材料で構成された変形防止部材と、前記空洞部に配置された作動液とを有することを特徴とする。前記変形防止部材は、その高さが１０μｍ以上２０００μｍ以下であるのが好ましい。前記変形防止部材は、ウィックとして機能する繊維と一体的に形成されたものであるのが好ましい。【選択図】なし

Description

本発明は、ベイパーチャンバーおよびベイパーチャンバーの製造方法に関するものである。

例えば、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱部材は、ヒートパイプによって冷却されている。

近年では、モバイル端末等の薄型化のために、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベイパーチャンバーの開発が進められている（例えば、特許文献１参照）。

ベイパーチャンバー内には、作動液（作動流体）が封入されており、この作動液が発熱部材の熱を吸収して熱を移動させることで、発熱部材の冷却を行っている。

より具体的には、ベイパーチャンバー内の作動液は、発熱部材に近接した部分（蒸発部）で発熱部材から熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。

ベイパーチャンバー内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、液状になった作動液は、この液流路部を通過して蒸発部に向かって輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。

このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベイパーチャンバー内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。

しかしながら、従来のベイパーチャンバーでは、フレキシブル性（柔軟性）が不足しており、発熱部材の形状等によっては、発熱部材との密着性を十分に優れたものとすることができないことがあった。また、ベイパーチャンバーにおいては、熱輸送能力のさらなる向上が求められている。

ＷＯ２０１７／１０４８１９

本発明の目的は、フレキシブル性（柔軟性）に優れるとともに、特に優れた耐久性、熱輸送能力を有するベイパーチャンバーおよびその製造方法を提供することにある。

このような目的は、下記（１）～（１３）の本発明により達成される。
（１） 金属材料で構成され、内部に空洞部を有するコンテナと、
前記空洞部に配置され、前記コンテナの厚さ方向の変形を防止する機能を有する、樹脂材料で構成された変形防止部材と、
前記空洞部に配置された作動液とを有することを特徴とするベイパーチャンバー。

（２） 前記変形防止部材は、その高さが１０μｍ以上２０００μｍ以下である上記（１）に記載のベイパーチャンバー。

（３） 前記変形防止部材は、前記作動液の流路壁として機能する部位を有するものであり、
前記流路壁の幅が５μｍ以上１０００μｍ以下である上記（１）または（２）に記載のベイパーチャンバー。

（４） 前記変形防止部材は、ウィックとして機能する繊維と一体的に形成されたものである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のベイパーチャンバー。

（５） 前記変形防止部材は、前記作動液の流路壁として機能する部位を有するものであり、
前記繊維で構成された繊維基材が、前記作動液の流路壁として機能する部位を貫通して配置されている上記（４）に記載のベイパーチャンバー。

（６） 前記繊維基材の厚さは、１０μｍ以上１０００μｍ以下である上記（５）に記載のベイパーチャンバー。

（７） 前記繊維は、ガラス繊維である上記（４）ないし（６）のいずれかに記載のベイパーチャンバー。

（８） 前記コンテナは、主としてＣｕまたはＣｕ合金で構成されたものである上記（１）ないし（７）のいずれかに記載のベイパーチャンバー。

（９） 前記コンテナは、シート材が接合して構成されるものであり、
前記シート材の厚さは、１２μｍ以上５００μｍ以下である上記（１）ないし（８）のいずれかに記載のベイパーチャンバー。

（１０） 未硬化状態の樹脂材料を含む材料で構成されたベイパーチャンバー製造用部材を用意するベイパーチャンバー製造用部材用意工程と、
前記ベイパーチャンバー製造用部材を、その一方の面である第１の面において、金属材料で構成された第１のシート材に接合する第１の接合工程と、
前記第１のシート材に接合された前記ベイパーチャンバー製造用部材に対して、所定のパターンで光を照射する露光工程と、
前記露光工程で前記光が照射されなかった部位の前記未硬化状態の樹脂材料を除去する現像工程と、
前記現像工程を経た前記ベイパーチャンバー製造用部材を、前記第１の面とは反対側の面である第２の面において、金属材料で構成された第２のシート材に接合する第２の接合工程と、
前記第１のシート材と前記第２のシート材との間の空間に作動液を注入するとともに、当該空間を密封する作動液供給・密封工程とを有することを特徴とするベイパーチャンバーの製造方法。

（１１） 前記樹脂材料は、アルカリ可溶性樹脂と光重合性樹脂とを含むものである上記（１０）に記載のベイパーチャンバーの製造方法。

（１２） 前記アルカリ可溶性樹脂は、（メタ）アクリル基とフェノール性水酸基とを含むものである上記（１１）に記載のベイパーチャンバーの製造方法。

（１３） 前記樹脂材料は、さらに、前記アルカリ可溶性樹脂とは異なる熱硬化性樹脂を含むものであり、
前記第２の接合工程での熱処理で、前記樹脂材料に粘着性を発現させ、その後、前記樹脂材料を熱硬化させる上記（１１）または（１２）に記載のベイパーチャンバーの製造方法。

本発明によれば、フレキシブル性（柔軟性）に優れるとともに、特に優れた耐久性、熱輸送能力を有するベイパーチャンバーおよびその製造方法を提供することができる。

本発明のベイパーチャンバーの一例を模式的に示す縦断面図である。 本発明のベイパーチャンバーの他の一例を模式的に示す縦断面図である。 本発明のベイパーチャンバーの他の一例を模式的に示す縦断面図である。 本発明のベイパーチャンバーの他の一例を模式的に示す縦断面図である。 本発明のベイパーチャンバーが備えるウィック構造体を模式的に示す平面図である。 ベイパーチャンバー製造用部材の一例を模式的に示す斜視図である。 ベイパーチャンバー製造用部材の一例を模式的に示す縦断面図である。 ベイパーチャンバー製造用部材の他の一例を模式的に示す縦断面図である。 ベイパーチャンバー製造用部材の他の一例を模式的に示す縦断面図である。 本発明のベイパーチャンバーの製造方法の一例を模式的に示す縦断面図である。 本発明のベイパーチャンバーの製造方法の一例を模式的に示す縦断面図である。

以下、添付図を参照しつつ、本発明について詳細に説明する。
［１］ベイパーチャンバー
まず、本発明のベイパーチャンバーについて説明する。

図１は、本発明のベイパーチャンバーの一例を模式的に示す縦断面図である。図２～図４は、それぞれ、本発明のベイパーチャンバーの他の一例を模式的に示す縦断面図である。図５は、本発明のベイパーチャンバーが備えるウィック構造体を模式的に示す平面図である。なお、図５中、繊維１３１の図示は省略した。以下の説明では、ベイパーチャンバー１００は、図１～図４中の下側の面（第１のシート材２１の表面）において、ベイパーチャンバー１００が適用される部材（発熱部材）と接触する場合について中心的に説明するが、図１～図４中の上側の面において、ベイパーチャンバー１００が適用される部材（発熱部材）と接触するようにして用いてもよい。また、図１～図４では、第１のシート材２１が下側を向く状態を示しているが、ベイパーチャンバー１００の使用時におけるベイパーチャンバー１００の向きは、特に限定されず、例えば、第１のシート材２１が上側を向く状態で用いてもよい。

ベイパーチャンバー１００は、内部に空洞部を有するコンテナ２０と、前記空洞部に配置され、コンテナ２０の厚さ方向の変形を防止する機能を有する変形防止部材１０と、前記空洞部に配置された作動液（作動流体）３０とを有している。

そして、コンテナ２０は、金属材料で構成されたものであり、変形防止部材１０は、樹脂材料で構成されたものである。

言い換えると、ベイパーチャンバー１００は、金属材料で構成され、内部に空洞部を有するコンテナ２０と、前記空洞部に配置され、コンテナ２０の厚さ方向の変形を防止する機能を有する、樹脂材料で構成された変形防止部材１０と、前記空洞部に配置された作動液３０とを有する。

これにより、フレキシブル性（柔軟性）に優れるとともに、特に優れた耐久性、熱輸送能力を有するベイパーチャンバー１００を提供することができる。また、ベイパーチャンバー１００のフレキシブル性（柔軟性）を優れたものとすることができるため、ベイパーチャンバー１００が適用される部材や配置等によらず、ベイパーチャンバー１００と前記部材との密着状態を良好なものとすることができ、優れた熱輸送能力をより確実に発揮することができる。特に、ベイパーチャンバー１００の厚さは比較的薄い場合（例えば、ベイパーチャンバー１００の厚さが５０μｍ以上５００μｍ未満の場合）には、より優れたフレキシブル性（柔軟性）が発揮され、ベイパーチャンバー１００の厚さは比較的厚い場合（例えば、ベイパーチャンバー１００の厚さが５００μｍ以上２１００μｍ以下の場合）には、ベイパーチャンバー１００の立体成形性をより優れたものとすることができる。

これに対し、上記のような条件を満たさない場合には、満足のいく結果が得られない。
例えば、ベイパーチャンバーが変形防止部材を有していない場合、作動液を収納するコンテナの空洞部の厚さ方向の変形、例えば、作動液の沸点を下げるために空洞部を減圧する際における変形を十分に防止することができず、作動液の円滑な流動が妨げられる。その結果、ベイパーチャンバーの熱輸送能力を十分に優れたものとすることができない。

また、コンテナおよび変形防止部材の両方が、金属材料で構成されたものである場合、
ベイパーチャンバーのフレキシブル性（柔軟性）が著しく低下する。また、ベイパーチャンバーのフレキシブル性（柔軟性）が低下することにより、ベイパーチャンバー１００が適用される部材（例えば、発熱部材）との密着性が低下し、ベイパーチャンバーの実質的な熱輸送能力が低下する。特に、高低差を有する部材に適用する場合（複数個の部材に跨って適用する場合を含む）に、このような傾向は顕著となる。

また、コンテナおよび変形防止部材の両方が、樹脂材料で構成されたものである場合、コンテナの熱伝導率が低く発熱部材の熱を作動液に伝達しにくくなるため、熱輸送能力が低下する。また、コンテナの水蒸気バリア性、ガスバリア性が低いため、コンテナを介した作動液の熱移動（放熱等）を円滑に行うことができず、ベイパーチャンバー全体としての熱輸送能力が低下する。

［１－１］コンテナ
コンテナ２０は、変形防止部材１０および作動液３０を収納するものであり、主に、蒸発部においては、例えば、発熱部材のような冷却すべき部材と接触し、コンテナ２０の内部に収納された作動液３０に伝熱する機能を発揮し、凝縮部においては、気体状態から液体状態に相転移する作動液３０から受け取った熱を放熱する機能を有している。

コンテナ２０は、金属材料で構成されたものである。
金属材料は、一般に、高い熱伝導性を有するとともに、強度、延展性等にも優れている。したがって、例えば、ベイパーチャンバー１００が適用される部材（例えば、発熱部材のような冷却すべき部材等）に対する形状追従性、密着性を優れたものとすることができ、ベイパーチャンバー１００としての実質的な熱輸送能力を特に優れたものとすることができるとともに、ベイパーチャンバー１００の耐久性を優れたものとすることができる。特に、金属製の比較的薄いシート材を用いてコンテナ２０を好適に形成することができるため、ベイパーチャンバー１００の薄型化、ベイパーチャンバー１００の原料コストの低減等の観点からも有利である。

コンテナ２０を構成する金属材料としては、例えば、Ｃｕ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｚｎやこれらのうち少なくとも１種を含む合金等が挙げられる。

中でも、コンテナ２０を構成する金属材料は、ＣｕまたはＣｕ合金であるのが好ましい。

これにより、金属材料で構成されたコンテナ２０を備えることによる効果をより顕著に発揮させることができる。すなわち、ＣｕまたはＣｕ合金は、各種金属材料の中でも、比較的安価であるとともに、特に優れた熱伝導性、延展性を有しているため、ベイパーチャンバー１００が適用される部材（例えば、発熱部材のような冷却すべき部材等）に対する形状追従性、密着性を特に優れたものとすることができ、ベイパーチャンバー１００としての実質的な熱輸送能力をさらに優れたものとすることができる。また、ベイパーチャンバー１００の耐久性をさらに優れたものとすることができる。

コンテナ２０が金属製のシート材が接合して構成されるものである場合、当該シート材の厚さは、１２μｍ以上５００μｍ以下であるのが好ましく、１８μｍ以上２５０μｍ以下であるのがより好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー１００の薄型化、フレキシブル性（柔軟性）や熱輸送能力のさらなる向上、ベイパーチャンバー１００の原料コストの低減等の観点から特に有利であるとともに、ベイパーチャンバー１００の耐久性、信頼性をより優れたものとすることができる。

図示の構成では、コンテナ２０は、第１のシート材２１および第２のシート材２２を用いて形成されている。

第１のシート材２１と第２のシート材２２とは、同一の材料で構成されていてもよいし、異なる材料で構成されていてもよい。

また、第１のシート材２１と第２のシート材２２とは、同一の厚さのものであってもよいし、異なる厚さのものであってもよい。

第１のシート材２１と第２のシート材２２とは、これらの外周部において、封止部２３により封止されている。これにより、変形防止部材１０および作動液３０が収納された空洞部が密封されており、液密状態、気密状態が保たれている。

封止部２３は、例えば、第１のシート材２１または第２のシート材２２と同一の材料で構成されていてもよいし、第１のシート材２１および第２のシート材２２と異なる材料で構成されていてもよい。

封止部２３は、例えば、メッキアップ、レーザー溶接、シーム溶接、冷間圧接、拡散接合、ロウ付け、接着により形成することができる。

［１－２］変形防止部材
変形防止部材１０は、コンテナ２０の厚さ方向の変形（例えば、作動液３０の沸点を下げるために空洞部を減圧する際の変形等）を防止する機能を有する部材である。

このような変形防止部材１０がコンテナ２０の空洞部に配置されていることにより、コンテナ２０の空洞部に作動液の流路を好適に確保することができ、コンテナ２０の変形により空洞部における作動液３０の流動が阻害されてしまうことを効果的に防止することができる。

変形防止部材１０は、作動液３０の流路壁１６として機能する部位を有するものであり、変形防止部材１０の流路壁１６が配されていない部位が作動液３０の流路部分１５となっている。

流路壁１６の幅（流路壁１６の長手方向に直交する断面での幅）は、特に限定されないが、５μｍ以上１０００μｍ以下であるのが好ましく、１０μｍ以上５００μｍ以下であるのがより好ましい。

これにより、コンテナ２０の厚さ方向の不本意な変形を十分に防止しつつ、ベイパーチャンバー１００のフレキシブル性（柔軟性）を特に優れたものとすることができる。

図示の構成では、変形防止部材１０は、その長手方向に延在する流路壁１６として機能する部位を複数有している。

隣り合う流路壁１６の間隔Ｓ（すなわち、流路部分１５の幅）は、特に限定されないが、１００μｍ以上１０００μｍ以下であるのが好ましく、２００μｍ以上８００μｍ以下であるのがより好ましく、３００μｍ以上７００μｍ以下であるのがさらに好ましい。

これにより、変形防止部材１０、ベイパーチャンバー１００の大型化を抑制しつつ、作動液３０（気体状の作動液３０および液状の作動液３０）の移動をより円滑に行わせることができる。また、コンテナ２０の厚さ方向の不本意な変形を十分に防止しつつ、ベイパーチャンバー１００のフレキシブル性（柔軟性）を特に優れたものとすることができる。

流路部分１５の幅Ｓ［μｍ］に対する流路壁１６の幅Ｌ［μｍ］の比率（Ｌ／Ｓ）は、特に限定されないが、０．０５以上０．５０以下であるのが好ましく、０．０８以上０．４０以下であるのがより好ましく、０．１０以上０．３５以下であるのがさらに好ましい。

これにより、コンテナ２０の厚さ方向の不本意な変形を十分に防止しつつ、ベイパーチャンバー１００のフレキシブル性（柔軟性）を特に優れたものとすることができる。また、変形防止部材１０、ベイパーチャンバー１００の大型化を抑制しつつ、ベイパーチャンバー１００の熱輸送能力、ベイパーチャンバー１００の耐久性等をより優れたものとすることができる。これに対し、Ｌ／Ｓの値が前記下限値未満であると、コンテナ２０を構成するシート材の厚さ、構成材料等によっては、コンテナ２０の厚さ方向の変形が発生しやすくなる。また、Ｌ／Ｓの値が前記上限値を超えると、熱輸送効率が低下する。

図示の構成では、流路部分１５および流路壁１６は、一定の幅を有するものであるが、これらは、幅が異なる部位を有するものであってもよい。

また、図示の構成では、流路部分１５および流路壁１６は、一方向に直線的に設けられているが、これらは、湾曲する部位や屈曲する部位を有していてもよい。

変形防止部材１０の高さ（厚さ）は、１０μｍ以上２０００μｍ以下であるのが好ましく、２０μｍ以上１０００μｍ以下であるのがより好ましく、３０μｍ以上５００μｍ以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー１００が必要以上に厚型化することを防止しつつ、作動液３０の流路部分（特に、気体状の作動液３０の流路部分、および、液状の作動液３０の流路部分）をより好適に確保することができる。

変形防止部材１０を構成する樹脂材料は、特に限定されないが、本実施形態では、硬化性樹脂（例えば、後に詳述するような光重合性樹脂や熱硬化性樹脂等）の硬化物（樹脂硬化物１４）を含んでいる。

これにより、ベイパーチャンバー１００の耐久性、信頼性をより優れたものとすることができる。

また、変形防止部材１０は、後に詳述するようなアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。

変形防止部材１０は、樹脂材料以外の成分を含んでいてもよい。このような成分としては、例えば、充填剤、紫外線吸収剤、レベリング剤、カップリング剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。

ただし、変形防止部材１０中における樹脂材料以外の成分の含有率（複数種の成分を含む場合には、これらの含有率の総和）は、１０．０質量％以下であるのが好ましく、７．０質量％以下であるのがより好ましく、５．０質量％以下であるのがさらに好ましい。

図示の構成では、変形防止部材１０は、その両面において、コンテナ２０の内面と接触している（より具体的には、一方の面である第１の面１１において、第１のシート材２１と接触しており、他方の面である第２の面１２において、第２のシート材２２と接触している）が、変形防止部材１０とコンテナ２０との間には、他の部材が介在していてもよい。言い換えると、変形防止部材１０は、例えば、他の部材を介して、コンテナ２０の内面に固定されていてもよい。

［１－３］繊維
本実施形態では、変形防止部材１０は、ウィックとして機能する繊維１３１と一体的に形成されたものである。言い換えると、変形防止部材１０と繊維１３１との一体成型物は、コンテナの厚さ方向の変形を防止する機能を有する部材であるとともに、熱輸送に伴う作動液３０の流動、特に、コンテナ２０の蒸発部での受熱により気化した作動液３０の流動や、コンテナ２０の凝縮部での受熱により凝縮した作動液３０の流動が行われる部材でもあるウィック構造体である。

特に、ウィック構造体は、樹脂材料で構成された変形防止部材１０と繊維１３１とを含み、かつ、変形防止部材１０（樹脂材料）が配されていない作動液３０の流路部分１５の一部に繊維１３１が配されている。

このように、変形防止部材１０が、ウィックとして機能する繊維１３１と一体的に形成されたものであることにより、例えば、流路部分１５を、気体状の作動液３０の流路部分（流路部分１５のうち繊維１３１が存在しない部分、または、繊維１３１の密度が低い部分）と、液状の作動液３０の流路部分（流路部分１５のうち、繊維１３１が存在する部分、または、繊維１３１の密度が高い部分）とを有するものとすることができ、液状の作動液３０の流路と気体状の作動液３０の流路とを機能上分離することができる。その結果、ベイパーチャンバー１００の熱輸送能力を特に優れたものとすることができる。また、ベイパーチャンバー１００の耐久性等もより優れたものとすることができる。

繊維１３１は、いかなる材料で構成されたものであってもよく、繊維１３１の構成材料としては、例えば、コットン、麻、ウール、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、分子内に複素環を含有する芳香族系樹脂、ガラス、炭素、鉄、銀、銅等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

中でも、繊維１３１がガラス繊維であると、ベイパーチャンバー１００の耐久性をより優れたものとすることができる。また、ガラス繊維は、一般に、紫外線を含む光の透過性に優れているため、後に詳述するようなベイパーチャンバー１００の製造方法においては、露光工程での硬化反応が不本意に阻害されることを効果的に防止することができ、ベイパーチャンバー１００の生産性、歩留まりを特に優れたものとすることができる。

繊維１３１の太さは、特に限定されないが、１μｍ以上１００μｍ以下であるのが好ましく、４μｍ以上３０μｍ以下であるのがより好ましく、５μｍ以上１５μｍ以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ウィック構造体が必要以上に厚型化することを防止しつつ、繊維１３１同士の隙間をより好適な状態で確保することができ、ベイパーチャンバー１００における毛細管現象による液状の作動液３０の輸送能力をより優れたものとすることができる。その結果、ベイパーチャンバー１００の熱輸送能力をより優れたものとすることができる。

ウィック構造体やベイパーチャンバー１００において、繊維１３１は、例えば、複数本の繊維１３１が束状にまとまった状態、すなわち、繊維束として含まれていてもよい。繊維束としては、例えば、諸撚糸状、片撚糸状、ラング撚糸状、組紐状等の形態が挙げられる。

これにより、ウィック構造体が必要以上に厚型化することを防止しつつ、繊維１３１同士の隙間をより好適な状態で確保することができ、ベイパーチャンバー１００における毛細管現象による液状の作動液３０の輸送能力をより優れたものとすることができる。その結果、ベイパーチャンバー１００の熱輸送能力をより優れたものとすることができる。

図示の構成では、繊維１３１は、シート状の繊維基材（繊維シート）１３を構成している。

これにより、例えば、ウィック構造体中において、繊維１３１が独立した状態のみで含まれるのではなく、複数の繊維１３１が絡み合った状態の繊維基材１３を含むものとすることができ、例えば、ウィック構造体中における繊維１３１同士の隙間を、液状の作動液３０を毛細管現象が生じやすい状態に調整しやすく、また、ウィック構造体中における繊維１３１の配置部位を調整しやすい。したがって、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分とをより好適に併存させることができ、前述した効果をより確実に発揮させることができる。また、ウィック構造体の製造も容易となり、ウィック構造体中における繊維１３１の配置状態、分布を調整しやすく、例えば、ウィック構造体中の各部位における不本意な繊維１３１の分布むら（例えば、流路部分１５となるべき部位に繊維１３１が十分に存在しないこと等）を好適に防止することができる。また、繊維基材１３がシート状であることにより、ウィック構造体が必要以上に厚型化することを好適に防止することができるとともに、ベイパーチャンバー１００（ウィック構造体）の製造時における繊維基材１３の不本意な変形、ウィック構造体中における繊維１３１の不本意な移動をより好適に防止することができる。

繊維基材１３は、例えば、不織布であってもよいし、織布であってもよい。
繊維基材１３が織布である場合、当該織布としては、例えば、平織、綾織、朱子織、からみ織、模紗織、斜紋織、二重織等が挙げられる。

また、本実施形態では、繊維１３１で構成された繊維基材１３が、変形防止部材１０の流路壁１６を貫通して配置されている。

これにより、ベイパーチャンバー１００での繊維１３１の不本意な移動がより効果的に防止され、前述したような効果がより顕著に発揮される。また、変形防止部材１０、ウィック構造体の形状の安定性が向上し、ベイパーチャンバー１００の耐久性、信頼性をより優れたものとすることができる。また、後に詳述するようなベイパーチャンバー１００の製造時におけるベイパーチャンバー製造用部材１０’の取り扱いのしやすさ、変形防止部材１０、ウィック構造体の取り扱いのしやすさが向上する。

繊維基材１３の厚さは、１０μｍ以上１０００μｍ以下であるのが好ましく、２０μｍ以上５００μｍ以下であるのがより好ましく、３０μｍ以上２００μｍ以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ウィック構造体が必要以上に厚型化することを防止しつつ、繊維１３１同士の隙間をさらに好適な状態で確保することができ、ベイパーチャンバー１００における毛細管現象による液状の作動液３０の輸送能力をさらに優れたものとすることができる。その結果、ベイパーチャンバー１００の熱輸送能力をさらに優れたものとすることができる。

繊維基材１３は、繊維の密度が異なる部位を有していてもよい。例えば、繊維基材１３は、その厚さ方向に繊維の密度が異なる部位を有していてもよい。

ウィック構造体は、複数の繊維基材１３を含んでいてもよい。この場合、これらの繊維基材１３は、同一の条件のものであってもよいし、異なる条件のものであってもよい。ウィック構造体が複数の繊維基材１３を含む場合、例えば、ウィック構造体の厚さ方向に、複数の繊維基材１３が積層されていてもよい。

ウィック構造体が繊維基材１３を含むものであっても、繊維基材１３から独立した繊維１３１をさらに含んでいてもよい。

ウィック構造体中における繊維１３１の含有率は、１質量％以上８０質量％以下であるのが好ましく、３質量％以上７５質量％以下であるのがより好ましく、５質量％以上７０質量％以下であるのがさらに好ましい。

特に、繊維１３１がガラス、金属等の無機材料で構成されたものである場合のウィック構造体中における繊維１３１の含有率は、３０質量％以上８０質量％以下であるのが好ましく、３５質量％以上７５質量％以下であるのがより好ましく、４０質量％以上７０質量％以下であるのがさらに好ましい。

また、繊維１３１が有機材料で構成されたものである場合のウィック構造体中における繊維１３１の含有率は、１質量％以上３０質量％以下であるのが好ましく、３質量％以上２５質量％以下であるのがより好ましく、５質量％以上２０質量％以下であるのがさらに好ましい。

上記のような含有率の条件を満足することにより、ベイパーチャンバー１００（ウィック構造体）における、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分との割合をより好適なものとすることができる。

上記のようなウィック構造体は、いかなる方法で形成されたものであってもよいが、後述するようなベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて形成されたものであるのが好ましい。

これにより、例えば、後述するような方法により、ベイパーチャンバー１００を高い生産性、高い歩留まりで製造することができ、ベイパーチャンバー１００の信頼性をより優れたものとすることができる。

ウィック構造体が後述するようなベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて形成されたものである場合、ウィック構造体は、１個のベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて製造されたものであってもよいし、複数個のベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて製造されたものであってもよい。複数個のベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いる場合、これらのベイパーチャンバー製造用部材１０’は、ウィック構造体の面方向に配置して用いてもよいし、ウィック構造体の厚さ方向に配置（積層）して用いてもよい。

シート状の繊維基材１３（繊維１３１）は、図１に示すように、ウィック構造体の厚さ方向のほぼ全体にわたって存在するものであってもよいし、図２に示すように、ウィック構造体の厚さ方向の中央付近に偏在するものであってもよいし、図３に示すように、ウィック構造体の第２の面１２側に偏在するものであってもよいし、図４に示すように、ウィック構造体の第１の面１１側に偏在するものであってもよい。また、シート状の繊維基材１３（繊維１３１）は、ウィック構造体の両面側（第１の面１１側および第２の面１２側）に偏在しており、これらの部位に比べて、ウィック構造体の厚さ方向の中央付近の繊維１３１の含有率が低くなっていてもよい。

［１－４］作動液
コンテナ２０の空洞部には、変形防止部材１０（ウィック構造体）とともに、作動液３０が配置されている。

作動液３０は、主に、コンテナ２０内部の空洞部における熱輸送を行う機能を有している。

作動液３０としては、例えば、水、ＨＣＦＣ－２２等のハイドロクロロフルオロカーボン、ＨＦＣＲ１３４ａ、ＨＦＣＲ４０７Ｃ、ＨＦＣＲ４１０Ａ、ＨＦＣ３２等のハイドロフルオロカーボン、ＨＦＯ１２３４ｙｆ等のハイドロフルオロオレフィン、ハイドロフルオロエーテル、エタノール、メタノール等のアルコール、アセトン、炭酸ガス、アンモニア、プロパン等が一例として挙げられる。

［１－５］ベイパーチャンバーの全体構成
ベイパーチャンバー１００の厚さは、５０μｍ以上２１００μｍ以下であるのが好ましく、８０μｍ以上１０７０μｍ以下であるのがより好ましく、１００μｍ以上５７０μｍ以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー１００の厚型化を防止しつつ、作動液３０（気体状の作動液３０および液状の作動液３０）の移動をより円滑に行わせることができる。その結果、ベイパーチャンバー１００の熱輸送能力を特に優れたものとすることができる。また、ベイパーチャンバー１００の耐久性をより優れたものとすることができる。

［１－６］ベイパーチャンバーの使用形態
次に、本発明のベイパーチャンバーの使用形態の例について説明する。

本発明のベイパーチャンバーは、例えば、発熱部材の熱を所定の場所へ移動させる目的で用いるものであってもよいし、発熱部材の局所的な高温部の熱を均熱する目的で用いるものであってもよい。

以下、本発明のベイパーチャンバーを、所定の部材（発熱部材）の熱を移動する目的で使用する場合について中心的に説明する。

発熱部材（例えば、ＣＰＵ等）を冷却する目的で使用する場合、ベイパーチャンバーは、その表面の一部（蒸発部）が、発熱部材そのものやそれに接触する高熱伝導材料で構成された部材（例えば、熱伝導シート等）（以下、これらを総称して「発熱部材等」とも言う。）に接触した状態で用いられる。

このとき、ベイパーチャンバーは、蒸発部とは異なる部位である凝縮部、すなわち、発熱部材から受け取った熱を放熱する部位において、放熱部材（例えば、ヒートシンク等）やそれに接触する高熱伝導材料で構成された部材（例えば、熱伝導シート等）（以下、これらを総称して「放熱部材等」とも言う。）に接触した状態であってもよい。

前述したように、本発明のベイパーチャンバーは、フレキシブル性（柔軟性）に優れている。

したがって、発熱部材が設置された部位と放熱部材を設置すべき部位との間に段差がある場合、従来のヒートパイプやベイパーチャンバーとしてフレキシブル性（柔軟性）に劣るものを用いる場合には、前記の段差を解消・緩和するためのスペーサー（例えば、金属スペーサー等）を設置する必要があり、部品増によるコストアップや装置全体としての重量化等の問題を生じていた。これに対し、本発明のベイパーチャンバーは、フレキシブル性（柔軟性）に優れ、例えば、曲げ加工等を好適に行うことができるため、前記のスペーサーを省略した場合であっても、凝縮部および蒸発部における他の部材（発熱部材等および放熱部材等）との良好な密着状態を確保することができる。したがって、上記のような問題を好適に解消しつつ、良好な放熱性能を発揮することができる。

また、本発明のベイパーチャンバーを用いた場合、ベイパーチャンバーを湾曲、屈曲させることにより、他の部材との干渉を好適に回避することができるため、発熱部材を備える装置についての各部品のレイアウトの自由度が増す。

また、本発明においては、ベイパーチャンバー（ウィック構造体）が備える流路部分や流路壁の形状等を好適に調整することができるため、例えば、長方形等の単純な形状だけでなく、切り欠き部を有する形状等の複雑な形状を有し、当該形状に対応した流路部分や流路壁を有するベイパーチャンバーであっても好適に製造することができる。したがって、例えば、発熱部材等や放熱部材等との接触面積を大きいものとしつつ、他の部材との干渉を好適に解消することができる。これにより、より良好な放熱性能を発揮することができる。

また、例えば、発熱部材としてのモーターが収納された筐体（例えば、多関節ロボットの関節部等）内においては、モーターからの発熱を、筐体を介して外部に逃がすために、筐体内において、アルミニウム成形体および熱伝導シートを組み合わせて用いることがあったが、この場合、筐体が大型化する問題があった。これに対し、本発明のベイパーチャンバーを用いる場合、アルミニウム成形体を用いる必要がないため、筐体の小型化、部品点数削減等の観点から有利である。

［２］ベイパーチャンバー製造用部材
次に、本発明のベイパーチャンバーの製造、特に、ベイパーチャンバーが備える変形防止部材（ウィック構造体）の製造に、好適に用いることができるベイパーチャンバー製造用部材について説明する。

図６は、ベイパーチャンバー製造用部材の一例を模式的に示す斜視図である。図７は、ベイパーチャンバー製造用部材の一例を模式的に示す縦断面図である。図８、図９は、それぞれ、ベイパーチャンバー製造用部材の他の一例を模式的に示す縦断面図である。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、繊維１３１と、未硬化状態の樹脂材料１４’とを含むものである。

これにより、フレキシブル性（柔軟性）に優れるとともに、特に優れた熱輸送能力を有するベイパーチャンバー１００の製造に好適に用いることができるベイパーチャンバー製造用部材１０’を提供することができる。また、ベイパーチャンバー１００のフレキシブル性（柔軟性）を優れたものとすることができるため、ベイパーチャンバー１００が適用される部材や配置等によらず、ベイパーチャンバー１００と前記部材との密着状態を良好なものとすることができ、優れた熱輸送能力をより確実に発揮することができる。

このような優れた効果が得られるのは、以下のような理由によるものと考えられる。すなわち、ベイパーチャンバー製造用部材１０’が繊維１３１と未硬化状態の樹脂材料１４’とを含むものであることにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて形成されるウィック構造体を、繊維１３１と樹脂硬化物１４とを含む材料で構成されたものとすることができ、ベイパーチャンバー１００全体として、優れたフレキシブル性（柔軟性）を発揮することができる。また、ベイパーチャンバー製造用部材１０’が未硬化状態の樹脂材料１４’を含むことにより、例えば、後述するような方法において、所定のパターンで光（露光光）を照射することにより、ベイパーチャンバー１００における作動液３０の流路部分１５、特に、気体状の作動液３０の流路部分（流路部分１５のうち繊維１３１が存在しない部分、または、繊維１３１の密度が低い部分）と、液状の作動液３０の流路部分（流路部分１５のうち、繊維１３１が存在する部分、または、繊維１３１の密度が高い部分）とを好適に形成することができる。より具体的には、気体状の作動液３０を移動させる構造と、液状の作動液３０を毛細管現象によって移動させる構造とを、好適な配置で形成することができる。これにより、作動液３０の蒸発・凝縮のサイクルを速めることができ、ベイパーチャンバー１００全体としての熱輸送能力を特に優れたものとすることができる。ただし、前記の気体状の作動液３０の流路部分（流路部分１５のうち繊維１３１が存在しない部分、または、繊維１３１の密度が低い部分）において、一部の液状の作動液３０が流通してもよいし、前記の液状の作動液３０の流路部分（流路部分１５のうち、繊維１３１が存在する部分、または、繊維１３１の密度が高い部分）において、一部の気体状の作動液３０が流通してもよい。

また、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて製造されるベイパーチャンバー１００（ウィック構造体、変形防止部材１０）が備える流路部分１５や流路壁１６の形状等を、ベイパーチャンバー１００の用途、適用部位等に応じて好適に調整することができる。言い換えると、オンデマンド性に優れている。また、光照射、熱処理等の一般的な処理によりベイパーチャンバー１００（ウィック構造体、変形防止部材１０）を好適に製造することができ、煩雑な金属加工等を行わなくても、上記のような優れた特性のベイパーチャンバー１００を製造することができる。また、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分とを、共通の工程で形成することができ、これらの部分の位置合わせ等が不要であるため、ベイパーチャンバー１００の製造における高い生産性、高い歩留まりを実現することができる。

未硬化状態の樹脂材料１４’は、硬化性の樹脂材料であって、硬化反応が完了していないものであればよく、一部硬化反応が進行したもの、例えば、Ｂステージの樹脂材料であってもよい。

特に、図示の構成では、ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、繊維１３１で構成された繊維基材１３と、繊維基材１３に含侵している未硬化状態の樹脂材料１４’とを含むものである。

これにより、上記のような効果がより顕著に発揮される。例えば、繊維１３１が独立した状態のみで含まれるのではなく、複数の繊維１３１が絡み合った状態の繊維基材１３を含むことにより、例えば、ベイパーチャンバー製造用部材１０’中における繊維１３１同士の隙間を、液状の作動液３０を毛細管現象が生じやすい状態に調整しやすく、また、ベイパーチャンバー製造用部材１０’中における繊維１３１の配置部位を調整しやすい。したがって、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて形成されるウィック構造体において、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分とをより好適に形成することができ、前述した効果をより確実に発揮させることができる。また、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の製造も容易となり、ベイパーチャンバー製造用部材１０’中における繊維１３１の配置状態、分布を調整しやすく、例えば、ベイパーチャンバー製造用部材１０’中の各部位における不本意な繊維１３１の分布むら（例えば、流路部分１５となるべき部位に繊維１３１が十分に存在しないこと等）を好適に防止することができる。

図示の構成では、繊維基材１３は、シート状をなすものであるが、繊維基材１３の形状は、特に限定されない。

また、図示の構成では、ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、シート状をなすもの、特に、シート状の繊維基材１３に対応する形状を有するものであるが、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の形状は、特に限定されない。

［２－１］樹脂材料
ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、未硬化状態の樹脂材料１４’を含んでいる。

樹脂材料１４’は、未硬化の状態の硬化性樹脂を含むものであればよく、一部硬化反応が進んだもの（例えば、Ｂステージの樹脂）であってもよいし、未硬化の状態の硬化性樹脂に加えて、熱可塑性樹脂を含むものであってもよい。

中でも、樹脂材料１４’は、アルカリ可溶性樹脂と光重合性樹脂とを含むものであるのが好ましい。

これにより、後述するような方法において、露光工程、現像工程により、所定のパターンを好適に形成することができるとともに、現像工程では、現像液として広く用いられている有機溶媒ではなく、環境負荷がより少ないアルカリ水溶液を好適に用いることができる。

以下、アルカリ可溶性樹脂について説明する。
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、クレゾール型、フェノール型、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、カテコール型、レゾルシノール型、ピロガロール型等のノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、メタクリル酸樹脂、メタクリル酸エステル樹脂等のアクリル系樹脂、水酸基、カルボキシル基等を含む環状オレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂（具体的には、ポリベンゾオキサゾール構造およびポリイミド構造の少なくとも一方を有し、かつ主鎖または側鎖に水酸基、カルボキシル基、エーテル基またはエステル基を有する樹脂、ポリベンゾオキサゾール前駆体構造を有する樹脂、ポリイミド前駆体構造を有する樹脂、ポリアミド酸エステル構造を有する樹脂等）等が挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂を好適に用いることができる。

これにより、現像処理時に二重結合部分が未反応の樹脂を除去する際に、現像液として通常用いられる有機溶剤の代わりに、環境に対する負荷のより少ないアルカリ水溶液を適用することができるとともに、二重結合部分が硬化反応に寄与することから、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性を維持することができる。

アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂としては、例えば、光および熱の両方で硬化可能な硬化性樹脂を挙げることができる。

アルカリ可溶性基としては、例えば、水酸基、カルボキシル基等が挙げられる。このアルカリ可溶性基は、熱硬化反応にも寄与することができる。

このような樹脂としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基等の光反応基を有する熱硬化性樹脂や、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、カルボキシル基、酸無水物基等の熱反応基を有する光硬化性樹脂等が挙げられる。なお、光硬化性樹脂は、さらに、エポキシ基、アミノ基、シアネート基等の熱反応基を有していてもよい。具体的には、（メタ）アクリル変性フェノール樹脂、（メタ）アクリロイル基含有アクリル酸重合体、カルボキシル基含有（エポキシ）アクリレート等が挙げられる。

これらの中でも、アルカリ可溶性樹脂としては、（メタ）アクリル基とフェノール性水酸基とを含むものであるのが好ましく、（メタ）アクリル変性フェノール樹脂であるのがより好ましい。

これにより、アルカリ水溶液を用いた現像処理時における未反応の樹脂の除去をより好適に行うことができる。

アルカリ可溶性樹脂として光反応基を有する熱硬化性樹脂を用いる場合、前記光反応基の変性率（置換率）は、特に限定されないが、前記アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂の反応基全体の２０ｍｏｌ％以上８０ｍｏｌ％以下であるのが好ましく、３０ｍｏｌ％以上７０ｍｏｌ％以下であるのがより好ましい。

これにより、後述するようなベイパーチャンバー１００の製造方法における樹脂材料１４’の解像性、すなわち、露光工程におけるパターンの再現性をより優れたものとすることができる。その結果、微細なパターンを有する変形防止部材１０（ウィック構造体）を備えるベイパーチャンバー１００の製造により好適に適用することができる。

一方、熱反応基を有する光硬化性樹脂を用いる場合、前記熱反応基の変性率（置換率）は、特に限定されないが、前記アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂の反応基全体の２０ｍｏｌ％以上８０ｍｏｌ％以下であるのが好ましく、３０ｍｏｌ％以上７０ｍｏｌ％以下であるのがより好ましい。

これにより、後述するようなベイパーチャンバー１００の製造方法における樹脂材料１４’の解像性、すなわち、露光工程におけるパターンの再現性をより優れたものとすることができる。その結果、微細なパターンを有する変形防止部材１０（ウィック構造体）を備えるベイパーチャンバー１００の製造により好適に適用することができる。

前記アルカリ可溶性基および二重結合を有する樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、３００，０００以下であるのが好ましく、５，０００以上１５０，０００以下であるのがより好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’での樹脂材料１４’の形状の安定性を十分に優れたものとしつつ、現像工程での樹脂材料１４’の除去をより好適に行うことができる。

なお、重量平均分子量は、例えば、Ｇ．Ｐ．Ｃ．を用いて評価でき、予め、スチレン標準物質を用いて作成された検量線により重量平均分子量を算出することができる。特に、測定溶媒としてテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を用い、４０℃の温度条件下で測定することができる。

樹脂材料１４’中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有率は、特に限定されないが、１０質量％以上８０質量％以下であるのが好ましく、１５質量％以上７０質量％以下であるのがより好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’での樹脂材料１４’の形状の安定性を十分に優れたものとしつつ、露光工程における解像性、現像工程での現像性をより優れたものとすることができる。また、ベイパーチャンバー１００の製造過程における加熱処理により、変形防止部材１０（ウィック構造体）とコンテナ２０（第１のシート材２１、第２のシート材２２）との接合強度、密着性をより優れたものとすることができる。

次に、光重合性樹脂について説明する。
樹脂材料１４’が前述したアルカリ可溶性樹脂とともに光重合性樹脂を含むことにより、パターニング性を向上させることができる。

光重合性樹脂としては、例えば、不飽和ポリエステル、アクリロイル基またはメタクリロイル基を、一分子中に少なくとも１個以上有するアクリル系モノマーやオリゴマー等のアクリル系化合物、スチレン等のビニル系化合物等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

これらの中でもアクリル系化合物を主成分とする紫外線硬化性樹脂が好ましい。アクリル系化合物は、光（露光光）を照射した際の硬化速度が速く、比較的少量の露光量で樹脂材料１４’を好適にパターニングすることができる。

アクリル系化合物としては、例えば、アクリル酸エステルやメタクリル酸エステルのモノマー等が挙げられ、より具体的には、ジアクリル酸エチレングリコール、ジメタクリル酸エチレングリコール、ジアクリル酸１，６－ヘキサンジオール、ジメタクリル酸１，６－ヘキサンジオール、ジアクリル酸グリセリン、ジメタクリル酸グリセリン、ジアクリル酸１，１０－デカンジオール、ジメタクリル酸１，１０－デカンジオール等の２官能アクリレート、トリアクリル酸トリメチロールプロパン、トリメタクリル酸トリメチロールプロパン、トリアクリル酸ペンタエリスリトール、トリメタクリル酸ペンタエリスリトール、ヘキサアクリル酸ジペンタエリスリトール、ヘキサメタクリル酸ジペンタエリスリトール等の多官能アクリレート等が挙げられる。

中でも、（メタ）アクリル酸エステルが好ましく、エステル部位の炭素数が１以上１５以下のアクリル酸エステル、メタクリル酸アルキルエステルがより好ましい。
これにより、反応性を向上させることができ、露光工程における感度が向上する。

また、光重合性樹脂は、特に限定されないが、室温（２３℃）で液状をなすものであるのが好ましい。

これにより、露光光（特に、紫外線）による硬化反応性を向上させることができる。また、他の配合成分（例えば、アルカリ可溶性樹脂）との混合作業を容易にすることができる。室温で液状の光重合性樹脂としては、例えば、前述したアクリル化合物を主成分とする紫外線硬化性樹脂等が挙げられる。

光重合性樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、５，０００以下であるのが好ましく、１５０以上３，０００以下であるのがより好ましい。

これにより、樹脂材料１４’の反応性を向上させることができ、露光工程における感度が向上するとともに、樹脂材料１４’の解像性を向上させることができる。

樹脂材料１４’中における光重合性樹脂の含有率は、特に限定されないが、９質量％以上４０質量％以下であるのが好ましく、１３質量％以上３０質量％以下であるのがより好ましい。

これにより、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性と可撓性とをより高いレベルで両立することができる。また、後述するようなベイパーチャンバー１００の製造方法における樹脂材料１４’の解像性、すなわち、露光工程におけるパターンの再現性をより優れたものとすることができる。その結果、微細なパターンを有する変形防止部材１０（ウィック構造体）を備えるベイパーチャンバー１００の製造により好適に適用することができる。

樹脂材料１４’中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有率をＸＡ［質量％］、樹脂材料１４’中における光重合性樹脂の含有率をＸＰ［質量％］としたとき、０．１５≦ＸＰ／ＸＡ≦０．９０の関係を満たすのが好ましく、０．１９≦ＸＰ／ＸＡ≦０．８７の関係を満たすのがより好ましく、０．２２≦ＸＰ／ＸＡ≦０．３３の関係を満たすのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’での樹脂材料１４’の形状の安定性を、露光工程における解像性、現像工程での現像性、変形防止部材１０（ウィック構造体）とコンテナ２０（第１のシート材２１、第２のシート材２２）との接合強度、密着性、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性、可撓性等のバランスをさらに優れたものとすることができる。

樹脂材料１４’がアルカリ可溶性樹脂と光重合性樹脂とを含むものである場合、樹脂材料１４’は、さらに、アルカリ可溶性樹脂とは異なる熱硬化性樹脂を含むものであるのが好ましい。

これにより、変形防止部材１０（ウィック構造体）の耐熱性をより優れたものとすることができる。また、後述するベイパーチャンバー１００の製造過程において好適な粘着性を発現することができ、変形防止部材１０（ウィック構造体）とコンテナ２０（第１のシート材２１、第２のシート材２２）との接合強度、密着性をより優れたものとすることができる。

前記熱硬化性樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、レゾールフェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールＡエポキシ樹脂、ビスフェノールＦエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂等のトリアジン環を有する樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、前記熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂が特に好ましい。これにより、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性や、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の繊維１３１、第１のシート材２１、第２のシート材２２に対する密着性をより優れたものとすることができる。

特に、エポキシ樹脂としては、シリコーン変性エポキシ樹脂を使用することが好ましく、室温で固形のエポキシ樹脂（特に、ビスフェノール型エポキシ樹脂）と、室温で液状のエポキシ樹脂（特に、室温で液状のシリコーン変性エポキシ樹脂）とを併用することがより好ましい。

これにより、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性と可撓性とをさらに高いレベルで両立することができる。また、後述するようなベイパーチャンバー１００の製造方法における樹脂材料１４’の解像性、すなわち、露光工程におけるパターンの再現性をさらに優れたものとすることができる。その結果、微細なパターンを有する変形防止部材１０（ウィック構造体）を備えるベイパーチャンバー１００の製造にさらに好適に適用することができる。

樹脂材料１４’中における前記熱硬化性樹脂の含有率は、特に限定されないが、１０質量％以上６０質量％以下であるのが好ましく、１５質量％以上５５質量％以下であるのがより好ましい。

これにより、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性と靭性とをより高いレベルで両立することができる。

樹脂材料１４’中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有率をＸＡ［質量％］、樹脂材料１４’中における前記熱硬化性樹脂の含有率をＸＴ［質量％］としたとき、０．２０≦ＸＴ／ＸＡ≦１．５の関係を満たすのが好ましく、０．３０≦ＸＴ／ＸＡ≦１．２の関係を満たすのがより好ましく、０．５５≦ＸＴ／ＸＡ≦０．８０の関係を満たすのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’での樹脂材料１４’の形状の安定性、露光工程における解像性、現像工程での現像性、樹脂材料１４’が硬化してなる樹脂硬化物１４の耐熱性、靭性、変形防止部材１０（ウィック構造体）とコンテナ２０（第１のシート材２１、第２のシート材２２）との接合強度、密着性等のバランスをさらに優れたものとすることができる。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’中における樹脂材料１４’の含有率は、１０質量％以上９５質量％以下であるのが好ましく、１５質量％以上９０質量％以下であるのがより好ましく、２０質量％以上８５質量％以下であるのがさらに好ましい。

特に、繊維１３１が無機材料で構成されたものである場合のベイパーチャンバー製造用部材１０’中における樹脂材料１４’の含有率は、１０質量％以上５０質量％以下であるのが好ましく、１５質量％以上４５質量％以下であるのがより好ましく、２０質量％以上４０質量％以下であるのがさらに好ましい。

また、繊維１３１が有機材料で構成されたものである場合のベイパーチャンバー製造用部材１０’中における樹脂材料１４’の含有率は、５０質量％以上９５質量％以下であるのが好ましく、５５質量％以上９０質量％以下であるのがより好ましく、６０質量％以上８５質量％以下であるのがさらに好ましい。

上記のような含有率の条件を満足することにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて製造されるベイパーチャンバー１００（ウィック構造体）における、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分との割合をより好適なものとすることができる。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’中における、繊維１３１の含有率をＸｆ［質量％］、樹脂材料１４’の含有率をＸｒ［質量％］としたとき、０．０１≦Ｘｆ／Ｘｒ≦８．０の関係を満たすのが好ましく、０．１≦Ｘｆ／Ｘｒ≦５．０の関係を満たすのがより好ましく、０．３≦Ｘｆ／Ｘｒ≦３．０の関係を満たすのがさらに好ましい。

特に、繊維１３１が無機材料で構成されたものである場合、０．８≦Ｘｆ／Ｘｒ≦８．０の関係を満たすのが好ましく、１．０≦Ｘｆ／Ｘｒ≦７．０の関係を満たすのがより好ましく、２．０≦Ｘｆ／Ｘｒ≦６．０の関係を満たすのがさらに好ましい。

また、繊維１３１が有機材料で構成されたものである場合、０．０１≦Ｘｆ／Ｘｒ≦０．８の関係を満たすのが好ましく、０．０５≦Ｘｆ／Ｘｒ≦０．６の関係を満たすのがより好ましく、０．１０≦Ｘｆ／Ｘｒ≦０．４の関係を満たすのがさらに好ましい。

上記のような含有率の関係を満足することにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて製造されるベイパーチャンバー１００（ウィック構造体）における、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分との割合をより好適なものとすることができる。

［２－２］繊維
本実施形態のベイパーチャンバー製造用部材１０’は、繊維１３１を含んでいる。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’中に含まれる繊維１３１は、前述したウィック構造体（ベイパーチャンバー１００）の構成材料として説明した繊維１３１と同様の条件を満足するものであるのが好ましい。
これにより、前述したのと同様の効果が得られる。

［２－３］硬化剤
ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、さらに硬化剤を含んでいてもよい。

硬化剤（感光剤）としては、樹脂材料１４’を硬化させるものであれば特に限定されず、例えば、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾインメチルエーテル、ベンジルフェニルサルファイド、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’中における硬化剤（感光剤）の含有率は、特に限定されないが、０．１質量％以上５０質量％以下であるのが好ましく、０．５質量％以上４０質量％以下であるのがより好ましく、１．０質量％以上３０質量％以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の保存安定性を十分に優れたものとしつつ、後述するベイパーチャンバー１００の製造時には、光重合反応をより好適に開始・進行させることができる。

［２－４］その他の成分
ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、前述した成分以外の成分（以下、「その他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。このような成分としては、例えば、充填剤、紫外線吸収剤、レベリング剤、カップリング剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。

ただし、ベイパーチャンバー製造用部材１０’中におけるその他の成分の含有率は、７．０質量％以下であるのが好ましく、５．０質量％以下であるのがより好ましく、３．０質量％以下であるのがさらに好ましい。

［２－５］ベイパーチャンバー製造用部材の全体構成
ベイパーチャンバー製造用部材１０’の形状は特に限定されないが、図示の構成では、シート状である。

これにより、シート状のベイパーチャンバー１００（ウィック構造体）を好適に製造することができる。また、ベイパーチャンバー１００（ウィック構造体）の製造時におけるベイパーチャンバー製造用部材１０’の不本意な変形、ベイパーチャンバー製造用部材１０’（ウィック構造体）中における繊維１３１の不本意な移動をより好適に防止することができる。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’がシート状をなすものである場合、シート状の繊維基材１３（繊維１３１）は、図７に示すように、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の厚さ方向のほぼ全体にわたって存在するものであってもよいし、図８に示すように、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の厚さ方向の中央付近に偏在するものであってもよいし、図９に示すように、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の一方の面側に偏在するものであってもよい。また、シート状の繊維基材１３（繊維１３１）は、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の両面側に偏在しており、これらの部位に比べて、ベイパーチャンバー製造用部材１０’の厚さ方向の中央付近の繊維１３１の含有率が低くなっていてもよい。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’の厚さは、１０μｍ以上２０００μｍ以下であるのが好ましく、２０μｍ以上１０００μｍ以下であるのがより好ましく、３０μｍ以上５００μｍ以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を用いて製造されるベイパーチャンバー１００が必要以上に厚型化することを防止しつつ、気体状の作動液３０の流路部分と、液状の作動液３０の流路部分とをより好適に形成することができる。

［３］ベイパーチャンバーの製造方法
次に、本発明のベイパーチャンバーの製造方法について説明する。

図１０、図１１は、本発明のベイパーチャンバーの製造方法の一例を模式的に示す縦断面図である。

本実施形態のベイパーチャンバー１００の製造方法は、未硬化状態の樹脂材料１４’を含む材料で構成されたベイパーチャンバー製造用部材１０’を用意するベイパーチャンバー製造用部材用意工程（１ａ）と、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を、その一方の面である第１の面１１において、金属材料で構成された第１のシート材２１に接合する第１の接合工程（１ｂ）と、第１のシート材２１に接合されたベイパーチャンバー製造用部材１０’に対して、所定のパターンで光（露光光）Ｅを照射する露光工程（１ｃ）と、露光工程で光Ｅが照射されなかった部位の未硬化状態の樹脂材料１４’を除去する現像工程（１ｄ）と、現像工程を経たベイパーチャンバー製造用部材１０’を、第１の面１１とは反対側の面である第２の面１２において、金属材料で構成された第２のシート材２２に接合する第２の接合工程（１ｅ）と、第１のシート材２１と第２のシート材２２との間の空間に作動液３０を注入するとともに、当該空間を密封する作動液供給・密封工程（１ｆ）とを有する。

これにより、フレキシブル性（柔軟性）に優れるとともに、特に優れた熱輸送能力を有するベイパーチャンバーを好適に製造することができるベイパーチャンバーの製造方法を提供することができる。また、製造されるベイパーチャンバー１００のフレキシブル性（柔軟性）を優れたものとすることができるため、ベイパーチャンバー１００が適用される部材や配置等によらず、ベイパーチャンバー１００と前記部材との密着状態を良好なものとすることができ、優れた熱輸送能力をより確実に発揮することができる。

［３－１］ベイパーチャンバー製造用部材用意工程
ベイパーチャンバー製造用部材用意工程では、未硬化状態の樹脂材料１４’を含む材料で構成されたベイパーチャンバー製造用部材１０’、特に、前述したような未硬化状態の樹脂材料１４’とともに繊維１３１を含むベイパーチャンバー製造用部材１０’を用意する（１ａ）。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’は、例えば、繊維基材１３に、未硬化状態の樹脂材料１４’を含む組成物を含侵させることにより得ることができる。

前記組成物は、例えば、樹脂材料１４’に加えて、前述したその他の成分を含んでいてもよい。また、前記組成物は、溶媒を含んでいてもよい。前記組成物が溶媒を含む場合、繊維基材１３に前記組成物を含侵させた後に溶媒を揮発させることにより、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を得ることができる。

前記組成物は、例えば、繊維基材１３の第１の面１１に対応する面側から付与してもよいし、繊維基材１３の第２の面１２に対応する面側から付与してもよいし、繊維基材１３の第１の面１１に対応する面および第２の面１２に対応する面の両側から付与してもよい。

繊維基材１３に前記組成物を付与する方法としては、例えば、塗布法、噴霧法、浸漬法等が挙げられる。

［３－２］第１の接合工程
第１の接合工程では、ベイパーチャンバー製造用部材１０’を、その一方の面である第１の面１１において、第１のシート材２１に接合する（１ｂ）。

ベイパーチャンバー製造用部材１０’を構成する未硬化状態の樹脂材料１４’を第１のシート材２１と接触させ、さらに、圧力をかけることにより、好適に接合することができる。圧力に加えて、加熱することにより、さらに好適に接合することができる。

［３－３］露光工程
露光工程では、第１のシート材２１に接合されたベイパーチャンバー製造用部材１０’に対して、所定のパターンで光Ｅを照射する（１ｃ）。

これにより、樹脂材料１４’のうち光Ｅが照射された部位が、選択的に硬化し、樹脂硬化物１４となる。すなわち、光Ｅの照射パターンに対応するパターンで、樹脂硬化物１４で構成された流路壁１６となるべき部位に対応する硬化部を形成することができる。

なお、本工程での硬化反応は、後の現像工程で、樹脂硬化物１４を残存させつつ、未硬化の樹脂材料１４’を除去することができる程度に進行させればよく、完全に進行させなくてもよい。

本工程で照射する光Ｅの種類は、樹脂材料１４’の種類に応じて決定されるが、紫外線であるのが好ましい。

これにより比較的短時間の露光処理で好適に樹脂材料１４’を硬化させることができ、ベイパーチャンバー１００の生産性をより優れたものとすることができる。

露光工程は、例えば、レーザー光等の光を所定のパターンで走査することにより行ってもよいが、フォトマスクを用いることにより好適に行うことができる。

［３－４］現像工程
現像工程では、露光工程で光Ｅが照射されなかった部位の未硬化状態の樹脂材料１４’を除去する（１ｄ）。

これにより、樹脂硬化物１４および繊維１３１を残存させつつ、樹脂材料１４’を除去することができる。これにより、所定のパターン、すなわち、光Ｅの照射パターンに対応するパターンの流路壁１６となるべき部位を出現することができる。

現像工程は、樹脂材料１４’を選択的に溶解し、樹脂硬化物１４を溶解しない現像液を用いることにより、好適に行うことができる。

現像液の組成は、樹脂材料１４’、樹脂硬化物１４等により異なるが、例えば、樹脂材料１４’が前述したようなアルカリ可溶性樹脂を含む物である場合、水酸化ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム等のアルカリ水溶液を好適に用いることができる。

［３－５］第２の接合工程
第２の接合工程では、現像工程を経たベイパーチャンバー製造用部材１０’を、第１の面１１とは反対側の面である第２の面１２において、第２のシート材２２に接合する（１ｅ）。

第２のシート材２２とベイパーチャンバー製造用部材１０’との接合は、例えば、第２のシート材２２またはベイパーチャンバー製造用部材１０’に接着剤を付与して行ってもよいが、樹脂材料１４’として前述した条件を満足するもの（特に、アルカリ可溶性樹脂および光重合性樹脂とともに、アルカリ可溶性樹脂とは異なる熱硬化性樹脂を含むもの）を用いると、ベイパーチャンバー製造用部材１０’と第２のシート材２２とを接触させた後に加熱することにより、前記熱硬化性樹脂が熱硬化の過程で接着性を発現し、第２のシート材２２とベイパーチャンバー製造用部材１０’（ウィック構造体）との接合強度を特に優れたものとすることができる。また、同様に、第１のシート材２１とベイパーチャンバー製造用部材１０’（ウィック構造体）との接合強度も特に優れたものとすることができる。

特に、樹脂材料１４’がアルカリ可溶性樹脂とは異なる熱硬化性樹脂を含むものである場合、樹脂材料１４’に粘着性を発現させ、その後、樹脂材料１４’を熱硬化させる熱処理を本工程で行うのが好ましい。

これにより、変形防止部材１０（ウィック構造体）とコンテナ２０との密着性をより優れたものとすることができるとともに、変形防止部材１０（ウィック構造体）の強度をより優れたものとすることができ、ベイパーチャンバー１００の耐久性、信頼性をより優れたものとすることができる。

本工程での加熱温度は、８０℃以上２５０℃以下であるのが好ましく、９０℃以上２２０℃以下であるのがより好ましく、１００℃以上２００℃以下であるのがさらに好ましい。

これにより、ベイパーチャンバー１００の構成材料の不本意な劣化等をより効果的に防止しつつ、前述したような効果がより顕著に発揮される。また、ベイパーチャンバー１００の生産性をより優れたものとすることができる。

また、本工程では、異なる条件での加熱を組み合わせて行ってもよい。具体的には、例えば、加圧状態での加熱処理（熱圧着）と、その後の加圧状態を解除した状態での加熱処理（ポストキュア）とを組み合わせて行ってもよい。

また、本工程での加熱時間は、０．１分間以上６００分間以下であるのが好ましい。
これにより、ベイパーチャンバー１００の構成材料の不本意な劣化等をより効果的に防止しつつ、前述したような効果がより顕著に発揮される。また、ベイパーチャンバー１００の生産性をより優れたものとすることができる。

上記のように、加圧状態での加熱処理（熱圧着）と、その後の加圧状態を解除した状態での加熱処理（ポストキュア）とを組み合わせて行う場合、加圧状態での加熱処理（熱圧着）の処理時間は、０．１分間以上１０分間以下であるのが好ましく、加圧状態を解除した状態での加熱処理（ポストキュア）での処理時間は、２０分間以上４８０分間以下であるのが好ましい。

［３－６］作動液供給・密封工程
作動液供給・密封工程では、第１のシート材２１と第２のシート材２２との間の空間に作動液３０を注入するとともに、当該空間を密封する（１ｆ）。

作動液３０の注入は、例えば、第１のシート材２１と第２のシート材２２との間の空間を、真空引きにより減圧した状態で好適に行うことができる。

第１のシート材２１と第２のシート材２２との間の空間を減圧することで、作動液３０の沸点を低下させることができ、作動液３０の蒸発、凝縮のサイクルをより効率良く行うことができるため、熱輸送効果、均熱効果をさらに高めることができる。

作動液３０の注入後、作動液３０の注入部が封止され、変形防止部材１０（ウィック構造体）、作動液３０が収納された空間が、液密的、気密的に密封される。

変形防止部材１０（ウィック構造体）、作動液３０が収納された空間の密封は、封止部２３の形成により行われる。

封止部２３の形成方法としては、例えば、メッキアップ、レーザー溶接、シーム溶接、冷間圧接、拡散接合、ロウ付け、接着等が挙げられる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、前述したものに限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

例えば、本発明のベイパーチャンバーの製造方法では、前述した工程に加えて、他の工程をさらに有していてもよい。

また、本発明のベイパーチャンバーは、前述した方法で製造されたものに限定されず、いかなる方法で製造されたものであってもよい。

例えば、前述した実施形態では、２枚の金属製のシート材（第１のシート材および第２のシート材）を用いて、コンテナを形成する場合について説明したが、コンテナは、１枚の金属製のシート材を用いて形成されたものであってもよいし、３枚以上の金属製のシート材を用いて形成されたものであってもよい。

また、前述した実施形態では、ベイパーチャンバーを構成するウィック構造体が樹脂材料とともに繊維を含むものである場合について代表的に説明したが、ウィック構造体は、繊維を含まないものであってもよい。言い換えると、変形防止部材は、繊維と一体的に形成されたものでなくてもよい。

また、前述した実施形態では、ベイパーチャンバーが、発熱部材の熱を所定の場所へ移動させる目的で用いるものである場合について中心的に説明したが、ベイパーチャンバーは、例えば、発熱部材の局所的な高温部の熱を均熱する目的で用いるものであってもよい。

１００ ：ベイパーチャンバー
１０ ：変形防止部材
１０’ ：ベイパーチャンバー製造用部材
１１ ：第１の面
１２ ：第２の面
１３ ：繊維基材（繊維シート）
１３１ ：繊維
１４’ ：樹脂材料
１４ ：樹脂硬化物
１５ ：流路部分
１６ ：流路壁
２０ ：コンテナ
２１ ：第１のシート材
２２ ：第２のシート材
２３ ：封止部
３０ ：作動液（作動流体）
Ｓ ：間隔
Ｌ ：幅
Ｅ ：光（露光光）

Claims (13)

1. 金属材料で構成され、内部に空洞部を有するコンテナと、
   前記空洞部に配置され、前記コンテナの厚さ方向の変形を防止する機能を有する、樹脂材料で構成された変形防止部材と、
   前記空洞部に配置された作動液とを有することを特徴とするベイパーチャンバー。
2. 前記変形防止部材は、その高さが１０μｍ以上２０００μｍ以下である請求項１に記載のベイパーチャンバー。
3. 前記変形防止部材は、前記作動液の流路壁として機能する部位を有するものであり、
   前記流路壁の幅が５μｍ以上１０００μｍ以下である請求項１または２に記載のベイパーチャンバー。
4. 前記変形防止部材は、ウィックとして機能する繊維と一体的に形成されたものである請求項１ないし３のいずれか１項に記載のベイパーチャンバー。
5. 前記変形防止部材は、前記作動液の流路壁として機能する部位を有するものであり、
   前記繊維で構成された繊維基材が、前記作動液の流路壁として機能する部位を貫通して配置されている請求項４に記載のベイパーチャンバー。
6. 前記繊維基材の厚さは、１０μｍ以上１０００μｍ以下である請求項５に記載のベイパーチャンバー。
7. 前記繊維は、ガラス繊維である請求項４ないし６のいずれか１項に記載のベイパーチャンバー。
8. 前記コンテナは、主としてＣｕまたはＣｕ合金で構成されたものである請求項１ないし７のいずれか１項に記載のベイパーチャンバー。
9. 前記コンテナは、シート材が接合して構成されるものであり、
   前記シート材の厚さは、１２μｍ以上５００μｍ以下である請求項１ないし８のいずれか１項に記載のベイパーチャンバー。
10. 未硬化状態の樹脂材料を含む材料で構成されたベイパーチャンバー製造用部材を用意するベイパーチャンバー製造用部材用意工程と、
    前記ベイパーチャンバー製造用部材を、その一方の面である第１の面において、金属材料で構成された第１のシート材に接合する第１の接合工程と、
    前記第１のシート材に接合された前記ベイパーチャンバー製造用部材に対して、所定のパターンで光を照射する露光工程と、
    前記露光工程で前記光が照射されなかった部位の前記未硬化状態の樹脂材料を除去する現像工程と、
    前記現像工程を経た前記ベイパーチャンバー製造用部材を、前記第１の面とは反対側の面である第２の面において、金属材料で構成された第２のシート材に接合する第２の接合工程と、
    前記第１のシート材と前記第２のシート材との間の空間に作動液を注入するとともに、当該空間を密封する作動液供給・密封工程とを有することを特徴とするベイパーチャンバーの製造方法。
11. 前記樹脂材料は、アルカリ可溶性樹脂と光重合性樹脂とを含むものである請求項１０に記載のベイパーチャンバーの製造方法。
12. 前記アルカリ可溶性樹脂は、（メタ）アクリル基とフェノール性水酸基とを含むものである請求項１１に記載のベイパーチャンバーの製造方法。
13. 前記樹脂材料は、さらに、前記アルカリ可溶性樹脂とは異なる熱硬化性樹脂を含むものであり、
    前記第２の接合工程での熱処理で、前記樹脂材料に粘着性を発現させ、その後、前記樹脂材料を熱硬化させる請求項１１または１２に記載のベイパーチャンバーの製造方法。

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