JP2022046924A

JP2022046924A - 圧力式流量計、及び、流体制御装置

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Publication number: JP2022046924A
Application number: JP2020152571A
Authority: JP
Inventors: 博史堀口; Hiroshi Horiguchi; 忠弘安田; Tadahiro Yasuda; 健太郎長井; Kentaro Nagai
Original assignee: Horiba Stec Co Ltd
Current assignee: Horiba Stec Co Ltd
Priority date: 2020-09-11
Filing date: 2020-09-11
Publication date: 2022-03-24
Also published as: CN114166293A; US11686603B2; KR20220034662A; TW202232061A; US20220082416A1

Abstract

【課題】流体抵抗素子の流量特性に悪影響を与えることなく、シート状のシール部材を用いたシール性を向上させる。【解決手段】流体が流れる流路Ｌに設けられ、流路Ｌに連通する抵抗流路ＲＬが形成された流体抵抗素子ＦＲと、流体抵抗素子ＦＲの上流側圧力を検出する上流側圧力センサＰＳ１と、流体抵抗素子ＦＲの下流側圧力を検出する下流側圧力センサＰＳ２とを具備し、流体抵抗素子ＦＲが一対の挟持部材４１、４２により挟持して固定されており、流体抵抗素子ＦＲと挟持部材４１、４２との間にはシート状のシール部材５１、５２が設けられており、流体抵抗素子ＦＲ又は挟持部材４１、４２の少なくとも一方には、シール部材５１、５２を部分的に押圧する突起部６１、６２が形成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、圧力式流量計、及び、流体制御装置に関するものである。

従来の圧力式流量計を用いた流量制御装置（マスフローコントローラ）には、特許文献１に示すように、流路に設けられる流体抵抗素子として複数の薄板を積層して構成したものが用いられている。この流体抵抗素子は、その積層方向から一対の挟持部材に挟持されて固定されている。

ここで、流体抵抗素子と一対の挟持部材それぞれとの間には、流体の漏れを防止するために、シート状のシール部材（例えば厚さ５００μｍ以下）が設けられている。そして、シート状のシール部材は、挟持部材及び流体抵抗素子の平面状の対向面で押圧されることによって、それらの間をシールしている。

しかしながら、シート状のシール部材の厚み公差あるいは流体抵抗素子又はブロック体の公差によって、シール部材を充分に押圧することができず、所望のシール性を得ることができない場合がある。なお、シール性を向上するためにシート状のシール部材を押圧する力を大きくすることが考えられるが、そうすると、流体抵抗素子が変形してしまい、流体抵抗素子の流量特性が変化してしまう。

特開２０２０－１０７１１０号公報

本発明は、上記の問題点を解決すべくなされたものであり、流体抵抗素子の流量特性に悪影響を与えることなく、シート状のシール部材によるシール性を向上させることをその主たる課題とするものである。

すなわち、本発明に係る圧力式流量計は、流体が流れる流路に設けられ、前記流路に連通する抵抗流路が形成された流体抵抗素子と、前記流体抵抗素子の上流側圧力を検出する上流側圧力センサと、前記流体抵抗素子の下流側圧力を検出する下流側圧力センサとを具備し、前記流体抵抗素子が一対の挟持部材により挟持して固定されており、前記流体抵抗素子と前記挟持部材との間にはシート状のシール部材が設けられており、前記流体抵抗素子又は前記挟持部材の少なくとも一方には、前記シール部材を部分的に押圧する突起部が形成されていることを特徴とする。

このような圧力式流量計であれば、流体抵抗素子又は挟持部材の少なくとも一方に、シール部材を部分的に押圧する突起部が形成されているので、当該突起部がシール部材に食い込むことによってシール性を向上させることができる。また、突起部により部分的にシール部材を押圧しているので、流体抵抗素子に加わる荷重を小さくすることができ、流体抵抗素子が変形することによる流量特性の変化を抑えることができる。

具体的には、前記流体抵抗素子は、積層体からなり、その積層方向に交差する方向に前記抵抗流路が形成されたものであり、前記一対の挟持部材は、前記流体抵抗素子を前記積層方向から挟持して固定するものであることが望ましい。

流体抵抗素子の具体的な実施の態様としては、前記流体抵抗素子は、前記積層方向から視てその中央部に前記抵抗流路の始端が開口する流体導入部が形成されており、前記抵抗流路は前記流体導入部から外周部に向かって延びていることが考えられる。
この構成において、シール性を向上させるためには、前記シール部材は、前記流体導入部を取り囲むように設けられており、前記突起部は、前記流体導入部を取り囲むように形成されていることが望ましい。

シール性をより一層向上させるためには、前記突起部は、前記流体導入部を取り囲むように形成された環状をなす複数の凸条であることが望ましい。この場合、複数の凸条は、同心状に設けられることになる。

一方、複数の凸条を設けた場合には、圧力式流量計の組み立て時に、互いに隣り合う凸条の間にガスが封入される恐れがあり、コンタミネーションが生じる恐れがある。この問題を解決するためには、前記突起部は、前記流体導入部を取り囲むように形成された環状をなす１つの凸条であることが望ましい。

圧力式流量計を小型化するためには、前記流体抵抗素子の前記流体導入部は、前記積層方向に沿って貫通する貫通孔であり、前記上流側圧力センサは、前記貫通孔を通じて前記流体抵抗素子の上流側圧力を検出するものであることが考えられる。
この構成において、流体抵抗素子の固定構造を簡単にするためには、前記一対の挟持部材は、前記貫通孔に連通する上流側流路が形成されたブロック体と、前記上流側圧力センサを前記ブロック体に固定するとともに前記貫通孔に連通して圧力を検出するための検出用連通路が形成された固定フランジとからなることが望ましい。

シール性をより一層向上させるためには、前記シール部材は、前記流体抵抗素子と前記一対の挟持部材それぞれとの間に設けられていることが望ましい。ここで、突起部を流体抵抗素子に形成する場合には、その加工コストが掛かってしまう。このため、前記突起部は、前記一対の挟持部材それぞれに形成されていることが望ましい。

前記シール部材は、流体に対して耐食性に優れた材質が流量計の長期安定性の観点から望ましく、例えばフッ素系樹脂製のものであることが望ましい。

また、本発明に係る流量制御装置は、上述した圧力式流量計と、前記圧力式流量計の上流側又は下流側に設けられた流体制御弁とを具備することを特徴とする。

さらに、本発明に係る流量制御装置は、上述した圧力式流量計と、前記圧力式流量計の上流側に設けられた流体制御弁とを具備し、前記ブロック体において前記流体制御弁と前記流体抵抗素子と前記上流側圧力センサとがこの順で、前記流体制御弁の弁体の進退方向に沿って一列に配置されていることを特徴とする。
このような流量制御装置であれば、内部容積を低減することができ、例えば立下り応答性能等の応答性を向上させることができる。

以上に述べた本発明によれば、積層体からなる流体抵抗素子の流量特性に悪影響を与えることなく、シート状のシール部材によるシール性を向上させることができる。

本発明の一実施形態に係る流体制御装置の全体模式図である。同実施形態の流体抵抗素子の一例を示す分解斜視図である。同実施形態の流体抵抗素子のシール構造の詳細を示す部分拡大断面図である。変形実施形態の流体抵抗素子のシール構造の詳細を示す部分拡大断面図である。変形実施形態の流体抵抗素子のシール構造の詳細を示す部分拡大断面図である。

以下に、本発明の一実施形態に係る流体制御装置（マスフローコントローラ）について、図面を参照して説明する。

＜１．全体構成＞
本実施形態の流体制御装置ＭＦＣは、図１に示すように、圧力式のものである。具体的には、流体制御装置ＭＦＣは、流体が流れる流路Ｌが内部に形成されたブロック体Ｂと、当該ブロック体Ｂの流路Ｌに設けられた流体抵抗素子ＦＲと、ブロック体Ｂに設けられ、流体抵抗素子ＦＲの上流側圧力を検出する上流側圧力センサＰＳ１と、ブロック体Ｂに設けられ、流体抵抗素子ＦＲの下流側圧力を検出する下流側圧力センサＰＳ２と、ブロック体Ｂの流路Ｌにおいて流体抵抗素子ＦＲの上流側に設けられた第１流体制御弁Ｖ１と、当該第１流体制御弁Ｖ１をフィードバック制御する制御部Ｃとを備えている。本実施形態では、上流側圧力センサＰＳ１及び下流側圧力センサＰＳ２の出力信号は、上流側圧力及び下流側圧力から流量値を算出する流量算出部ＦＣに出力され、当該流量算出部ＦＣによって算出された流量値が制御部Ｃに出力される。なお、本実施形態の流体制御装置ＭＦＣは、ブロック体Ｂの流路Ｌにおいて下流側圧力センサＰＳ２の下流側に設けられた第２流体制御弁Ｖ２を更に備えており、制御部Ｃによりフィードバック制御される構成としている。

ブロック体Ｂは、例えば直方体形状のものであり、長手方向一端側に流体を導入する導入ポートＰ１が形成され、長手方向他端側に流体を導出する導出ポートＰ２が形成されている。

また、ブロック体Ｂには、その所定面Ｂａ（図１において上面）に第１流体制御弁Ｖ１を設置するための凹状の第１収容部Ｂ１が形成されており、この第１収容部Ｂ１によって流路Ｌが上流側流路Ｌ１と下流側流路Ｌ２とに分断されている。ここでは、第１収容部Ｂ１においてその側面に上流側流路Ｌ１の一端が開口しており、その底面に下流側流路Ｌ２の一端が開口している。

さらに、ブロック体Ｂには、前記所定面Ｂａに第２流体制御弁Ｖ２を設置するための凹状の第２収容部Ｂ２が形成されており、この第２収容部Ｂ２によって下流側流路Ｌ２が第１下流側流路Ｌ２１と第２下流側流路Ｌ２２とに分断されている。ここでは、第２収容部Ｂ２においてその底面に第１下流側流路Ｌ２１の一端が開口しており、その側面に第２下流側流路Ｌ２２の一端が開口している。

流体抵抗素子ＦＲは、図２及び図３に示すように、複数の薄板１１、１２を積層した積層体からなり、内部にその積層方向に交差する方向に抵抗流路ＲＬが形成されたものである。本実施形態の流体抵抗素子ＦＲは、概略回転体形状をなすものであり、積層方向から視てその中央部に抵抗流路ＲＬの始端が開口する流体導入部ＦＲ１が形成されており、抵抗流路ＲＬは流体導入部ＦＲ１から外周部に向かって延びている。

より詳細には、流体抵抗素子ＦＲは、概略円形状のスリット板１１と、概略円形状のスリット被覆板１２とが交互に積層された構造である。スリット板１１は、中心部を厚み方向に貫通して形成された円形状の第１貫通孔１１ａと、当該中心部から放射状に形成された複数のスリット１１ｂとを有している。また、スリット被覆板１２は、中心部を厚み方向に貫通して形成された円形状の第２貫通孔１２ａを有し、その外径がスリット板１１の外径より小さく、内径がスリット板１１の内径より大きいものである。そして、スリット板１１とスリット被覆板１２とを積層することにより、抵抗流路ＲＬが形成されるとともに、スリット１２ｂの内側端部が抵抗流路ＲＬの始端の開口部となり、スリット１２ｂの外側端部が抵抗流路ＲＬの終端の開口部となる。また、これらスリット板１１及びスリット被覆板１２を積層すると、それらの第１貫通孔１１ａ及び第２貫通孔１２ａにより流体抵抗素子ＦＲの中央部に積層方向に沿って貫通する貫通孔が形成され、当該貫通孔が流体導入部ＦＲ１となる。

この流体抵抗素子ＦＲは、図１に示すように、ブロック体Ｂの所定面Ｂａとは反対側の対向面Ｂｂ（図１において下面）に形成された凹状の第３収容部Ｂ３に収容される。第３収容部Ｂ３は、第１収容部Ｂ１の下側に位置するように形成されている。この第３収容部Ｂ３によって、第１下流側流路Ｌ２１が上流側流路部Ｌ２１１と下流側流路部Ｌ２１２とに分断されている。ここでは、第３収容部Ｂ３においてその底面に上流側流路部Ｌ２１１の一端が開口しており、その側面に下流側流路部Ｌ２１２の一端が開口している。また、第３収容部Ｂ３の底面に開口する上流側流路部Ｌ２１１は、第３収容部Ｂ３に収容された流体抵抗素子ＦＲの流体導入部ＦＲ１に連通する。また、第３収容部Ｂ３の側面に開口する下流側流路部Ｌ２１２には、流体抵抗素子ＦＲを通過した流体が流入する。

上流側圧力センサＰＳ１は、図１に示すように、流路Ｌにおける流体抵抗素子ＦＲの上流側に接続されており、上流側圧力に応じた出力信号を流量算出部ＦＣに出力するものである。本実施形態では、流体抵抗素子ＦＲの流体導入部ＦＲ１である貫通孔を通じて流体抵抗素子ＦＲの上流側圧力を検出するように構成されている。

具体的に上流側圧力センサＰＳ１は、ブロック体Ｂの所定面Ｂａとは反対側の対向面Ｂｂに設けられている。このため、ブロック体Ｂの対向面Ｂｂには、上流側圧力センサＰＳ１を設置するための凹状の第４収容部Ｂ４が形成されており、この第４収容部Ｂ４は、流体抵抗素子ＦＲを収容する第３収容部Ｂ３に連続して形成されている。つまり、第４収容部Ｂ４は、第１収容部Ｂ１の下側に位置するように形成され、第４収容部Ｂ４の底面に第３収容部Ｂ３が開口するように構成されている。この第４収容部Ｂ４に上流側圧力センサＰＳ１をブロック体Ｂに固定するための固定フランジ１３が取り付けられる。固定フランジ１３には、流体抵抗素子ＦＲの流体導入部ＦＲ１である貫通孔に連通して上流側圧力を検出するための検出用連通路１３１が形成されている。

下流側圧力センサＰＳ２は、図１に示すように、流路Ｌにおける流体抵抗素子ＦＲの下流側に接続されており、下流側圧力に応じた出力信号を流量算出部ＦＣに出力するものである。下流側圧力センサＰＳ２は、ブロック体Ｂの所定面Ｂａに対して第１流体制御弁Ｖ１及び第２流体制御弁Ｖ２とともに一列に取り付けられている。なお、下流側圧力センサＰＳ２は、ブロック体Ｂに固定するための固定フランジ１４を介して取り付けられる。固定フランジ１４には、第１下流側流路Ｌ２１の下流側流路部Ｌ２１２に連通して下流側圧力を検出するための検出用連通路１４１が形成されている。

第１流体制御弁Ｖ１は、例えば所謂ノーマルオープンタイプのものである。具体的にこの第１流体制御弁Ｖ１は、図１に示すように、ブロック体Ｂの第１収容部Ｂ１に嵌め込まれる弁座部材２１と、弁座部材２１に対して接離方向へ移動できるように設けられた弁体２２と、弁体２２を移動させる例えばピエゾ素子等のアクチュエータを有する弁体駆動部２３とを備えている。そして、弁体駆動部２３が弁体２２を弁座部材２１に対して接離させることによって、弁座部材２１に形成された内部流路２１ａを介して、上流側流路Ｌ１から下流側流路Ｌ２の第１下流側流路Ｌ２１に流体が流れる。

本実施形態では、第１収容部Ｂ１、第３収容部Ｂ３及び第４収容部Ｂ４が一列に沿って形成されていることから、第１流体制御弁Ｖ１、流体抵抗素子ＦＲ及び上流側圧力センサＰＳ１が、第１流体制御弁Ｖ１の弁体２２の進退方向に沿って、この順に一列に配置されることになる。

第２流体制御弁Ｖ２は、例えば所謂ノーマルクローズタイプのものである。具体的にこの第２流体制御弁Ｖ２は、図１に示すように、ブロック体Ｂの第２収容部Ｂ２に嵌め込まれる弁座部材３１と、弁座部材３１に対して接離方向へ移動できるように設けられた弁体３２と、弁体３２を移動させる例えばピエゾ素子等のアクチュエータを有する弁体駆動部３３とを備えている。そして、弁体駆動部３３が弁体３２を弁座部材３１に対して接離させることによって、弁座部材３１に形成された内部流路３１ａを介して、下流側流路Ｌ２の第１下流側流路Ｌ２１から第２下流側流路Ｌ２２に流体が流れる。

制御部Ｃは、流量算出部ＦＣで算出された流量値が、予め定められた流量目標値に近づくように第１流体制御弁Ｖ１の弁開度をフィードバック制御するものである。その他、制御部Ｃは、下流側圧力センサＰＳ２により得られた下流側圧力が予め定められた圧力目標値に近づくように第２流体制御弁Ｖ２の弁開度をフィードバック制御する。

＜２．流体抵抗素子ＦＲのシール構造＞
次に、ブロック体Ｂにおける流体抵抗素子ＦＲのシール構造について説明する。

流体抵抗素子ＦＲは、図３に示すように、その積層方向から一対の挟持部材４１、４２により挟持して固定されており、流体抵抗素子ＦＲと一対の挟持部材４１、４２それぞれとの間にはシート状のシール部材５１、５２が設けられている。つまり、流体抵抗素子ＦＲの面板部（上面ＦＲａ及び下面ＦＲｂ）と、当該面板部に対応する挟持部材４１、４２の対向面４１ａ、４１ａとの間に、シート状のシール部材５１、５２が設けられている。

本実施形態では、ブロック体Ｂに形成された第３収容部Ｂ３に流体抵抗素子ＦＲが収容され、当該第３収容部Ｂ３に連続して形成された第４収容部Ｂ４に固定フランジ１３が固定される構成であるから、流体抵抗素子ＦＲは、ブロック体Ｂ及び固定フランジ１３により挟持されることになる。つまり、本実施形態の一対の挟持部材４１、４２は、ブロック体Ｂ及び固定フランジ１３である。なお、ブロック体Ｂと固定フランジ１３との間は、例えば金属製のシール部材１０によりシールされている。

シール部材５１、５２は、フッ素系樹脂製のものであり、流体抵抗素子ＦＲの流体導入部ＦＲ１を取り囲むように設けられている。具体的にシール部材５１、５２は、平面視において円環状をなすものである（図２参照）。一方のシール部材５１は、ブロック体Ｂと流体抵抗素子ＦＲとの間において、流体導入部ＦＲ１である貫通孔（抵抗流路ＲＬの始端）と流体抵抗素子ＦＲの外周部（抵抗流路ＲＬの終端）との間をシールする。また、他方のシール部材５２は、固定フランジ１３と流体抵抗素子ＦＲとの間において、流体導入部ＦＲ１である貫通孔（抵抗流路ＲＬの始端）と流体抵抗素子ＦＲの外周部（抵抗流路ＲＬの終端）との間をシールする。

そして、一対の挟持部材４１、４２それぞれの対向面４１ａ、４２ａには、シール部材５１、５２を部分的に押圧する突起部６１、６２が形成されている。当該突起部６１、６２は、流体導入部ＦＲ１を取り囲むように形成されており、本実施形態では、流体導入部ＦＲ１を取り囲むように形成された環状をなす１つの凸条である。この突起部６１、６２の断面形状は、例えば矩形状をなすものである。また、一方の挟持部材４１（ブロック体Ｂ）に形成した突起部６１と、他方の挟持部材４２（固定フランジ１３）に形成した突起部６２とは、互いに対向する位置に形成されている。これにより、挟持された流体抵抗素子ＦＲに曲げモーメントが加わりにくく、流体抵抗素子ＦＲが変形しにくくなる。なお、一方の挟持部材４１に形成した突起部６１と、他方の挟持部材４２に形成した突起部６２とは、互いに対向する位置に形成されていなくても良い。

＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態の流体制御装置１００によれば、一対の挟持部材４１、４２それぞれに、シール部材５１、５２を部分的に押圧する突起部６１、６２が形成されているので、当該突起部６１、６２がシール部材５１、５２に食い込むことによって、一対の挟持部材４１、４２と流体抵抗素子ＦＲシール性を向上させることができる。また、突起部６１、６２により部分的にシール部材５１、５２を押圧しているので、流体抵抗素子ＦＲに加わる荷重を小さくすることができ、流体抵抗素子ＦＲが変形することによる流量特性の変化を抑えることができる。

また、本実施形態の突起部６１、６２は、流体導入部ＦＲ１を取り囲むように形成された環状をなす１つの凸条であることから、複数の凸条を設けた場合に突起部６１、６２の間に残留するガスによって生じるコンタミネーションを防ぎつつ、シール性を向上させることができる。

＜その他の実施形態＞
例えば、前記実施形態では、一対の挟持部材４１、４２それぞれに突起部６１、６２を設けているが、挟持部材４１、４２の対向面４１ａ、４２ａに突起部６１、６２を設ける構成の他に、図４に示すように、流体抵抗素子ＦＲの面板部ＦＲａ、ＦＲｂに突起部６１、６２を設けても良い。また、挟持部材４１、４２の対向面４１ａ、４２ａ及び流体抵抗素子ＦＲの面板部ＦＲａ、ＦＲｂの両方に突起部６１、６２を設けても良い。

また、前記実施形態では、突起部６１、６２は、１つの凸条から構成されているが、図５に示すように、流体導入部ＦＲ１の周りに同心状に形成された複数の凸条であっても良い。この構成であれば、突起部６１、６２を１つの凸条で構成した場合に比べてシール性を向上させることができる。

さらに、前記実施形態では、突起部６１、６２の断面形状が矩形状をなすものであったが、断面形状が台形状をなすものであっても良いし、先端が部分円形状をなすものであっても良い。

その上、前記実施形態では、流体抵抗素子ＦＲをブロック体Ｂ及び上流側圧力センサＰＳ１の固定フランジ１３によって挟持するものであったが、別部材を用いて流体抵抗素子ＦＲを挟持するものであっても良い。この場合、別部材を用いて流体抵抗素子ＦＲを挟持したものを流路Ｌ上に配置する。

加えて、前記実施形態では、流体抵抗素子ＦＲの流体導入部ＦＲ１が貫通孔であったが、流体抵抗素子ＦＲが貫通孔を有さない底板を有するものであり、流体導入部ＦＲ１が底を有する構造であっても良い。この場合、上流側圧力センサＰＳ１は、流路Ｌにおける流体抵抗素子ＦＲの上流側に接続されて、上流側圧力を検出する。

更に加えて、前記実施形態では、第１流体制御弁Ｖ１及び第２流体制御弁Ｖ２を有する構成であったが、第２流体制御弁Ｖ２を有さずに、第１流体制御弁Ｖ１によって流量制御するものであっても良い。

また、前記実施形態では、一対の挟持部材４１、４２それぞれに突起部６１、６２を設ける構成であったが、一対の挟持部材の一方のみに突起部を設ける構成としても良い。この場合には、一対の挟持部材の他方は、流体抵抗素子の面板部と挟持部材の面板部とによってシール部材を押圧する構成となる。

前記実施形態では、第１流体制御弁Ｖ１は、ノーマルオープンタイプのものであったが、ノーマルクローズタイプのものであっても良いし、第２流体制御弁Ｖ２は、ノーマルクローズタイプのものであったが、ノーマルオープンタイプのものであっても良い。

前記実施形態の流体抵抗素子は、概略回転体形状をなすものであったが、概略直方体形状をなすものであり、積層方向から視てその長手方向中央部に抵抗流路ＲＬの始端が開口する流体導入部ＦＲ１が形成されており、抵抗流路ＲＬが流体導入部ＦＲ１から長手方向両側に向かって延びる構成であっても良い。

前記実施形態は圧力式流量計を組み込んだ流体制御装置について説明したが、本発明は、圧力式流量計単体にも適用することができる。

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や組み合わせを行っても構わない。

１００・・・流体制御装置
Ｌ・・・流路
Ｌ２１１・・・上流側流路部（貫通孔に連通する上流側流路）
ＲＬ・・・抵抗流路
ＦＲ・・・流体抵抗素子
ＰＳ１・・・上流側圧力センサ
ＰＳ２・・・下流側圧力センサ
５１、５２・・・シール部材
６１、６２・・・突起部
ＦＲ１・・・流体導入部
Ｂ（４１）・・・ブロック体（挟持部材）
１３１・・・検出用連通路
１３（４２）・・・固定フランジ（挟持部材）
Ｖ１・・・流体制御弁（第１流体制御弁）
２１・・・弁体

Claims

流体が流れる流路に設けられ、前記流路に連通する抵抗流路が形成された流体抵抗素子と、
前記流体抵抗素子の上流側圧力を検出する上流側圧力センサと、
前記流体抵抗素子の下流側圧力を検出する下流側圧力センサとを具備し、
前記流体抵抗素子が一対の挟持部材により挟持して固定されており、
前記流体抵抗素子と前記挟持部材との間にはシート状のシール部材が設けられており、
前記流体抵抗素子又は前記挟持部材の少なくとも一方には、前記シール部材を部分的に押圧する突起部が形成されている、圧力式流量計。
前記流体抵抗素子は、積層体からなり、その積層方向に交差する方向に前記抵抗流路が形成されたものであり、
前記一対の挟持部材は、前記流体抵抗素子を前記積層方向から挟持して固定するものである、請求項１に記載の圧力式流量計。
前記流体抵抗素子は、前記積層方向から視てその中央部に前記抵抗流路の始端が開口する流体導入部が形成されており、前記抵抗流路は前記流体導入部から外周部に向かって延びており、
前記シール部材は、前記流体導入部を取り囲むように設けられており、
前記突起部は、前記流体導入部を取り囲むように形成されている、請求項２に記載の圧力式流量計。
前記突起部は、前記流体導入部を取り囲むように形成された環状をなす１つの凸条である、請求項３に記載の圧力式流量計。
前記流体抵抗素子の前記流体導入部は、前記積層方向に沿って貫通する貫通孔であり、
前記上流側圧力センサは、前記貫通孔を通じて前記流体抵抗素子の上流側圧力を検出するものであり、
前記一対の挟持部材は、前記貫通孔に連通する上流側流路が形成されたブロック体と、前記上流側圧力センサを前記ブロック体に固定するとともに前記貫通孔に連通して圧力を検出するための検出用連通路が形成された固定フランジとからなる、請求項３又は４に記載の圧力式流量計。
前記シール部材は、前記流体抵抗素子と前記一対の挟持部材それぞれとの間に設けられており、
前記突起部は、前記一対の挟持部材それぞれに形成されている、請求項１乃至５の何れか一項に記載の圧力式流量計。
前記シール部材は、フッ素系樹脂製のものである、請求項１乃至６の何れか一項に記載の圧力式流量計。
請求項１乃至７の何れか一項に記載の圧力式流量計と、
前記圧力式流量計の上流側又は下流側に設けられた流体制御弁とを具備する、流体制御装置。
請求項５に記載の圧力式流量計と、
前記圧力式流量計の上流側に設けられた流体制御弁とを具備し、
前記ブロック体において前記流体制御弁と前記流体抵抗素子と前記上流側圧力センサとがこの順で、前記流体制御弁の弁体の進退方向に沿って一列に配置されている、流体制御装置。