JP2022043504A - 液状樹脂供給装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】被加工物の面に形成する液状樹脂の供給量を一定にする。【解決手段】液状樹脂が溜められたタンク９０と、タンク９０から所定量の液状樹脂を被加工物１７に吐出する吐出ノズル８１と、吐出ノズル８１を吐出位置または待避位置に移動させる移動手段と、被加工物１７に液状樹脂を吐出する前に吐出ノズル８１から吐出した液状樹脂を受け取る第１ファンネル５１と、第１ファンネル５１とタンク９０とを連通する連通管９１とを備える液状樹脂供給装置８において、第１ファンネル５１をタンク９０より高くなるよう配置して、タンク９０に接続された連通管９１の一方の端９１１を第１ファンネル５１に接続された他方の端９１０より低くし、液状樹脂を自重落下でタンク９０に戻す。これにより、吐出ノズル８１の配管８１４の内部に液状樹脂が溜められていない状態になり、一定の量の液状樹脂を供給することができるようになる。【選択図】図２

Description

本発明は、液状樹脂供給装置に関する。
特許文献１、２に開示のように、半導体ウェーハなどの製造工程においては、円柱状のインゴットをワイヤーソーによってスライスして円盤状のウェーハを形成するときに、ウェーハに反りやうねりが形成されることがある。この反りやうねりを除去するために、反りやうねりが形成されたウェーハの片面にポリエチレン等の液状樹脂を塗布し、これを硬化させた後に該片面に対する反対面と該片面とを順に研削してウェーハを平坦に形成する技術がある。
かかる技術を用いてウェーハの片面に液状樹脂を形成する際には、例えば、ステージ上に載置されたシートの上に所定量の液状樹脂を滴下し、吸引保持部に保持されステージの上方に位置づけられているウェーハの下面を液状樹脂に対して上から押し付けてウェーハの中心から外周側に向けて液状樹脂をシートとウェーハの下面との間で拡張させ該片面の全域に液状樹脂を行きわたらせた後、この液状樹脂を加熱したり、紫外光を照射したりすることにより液状樹脂を硬化させている。
ステージ上のシートの上に液状樹脂を滴下する際には、特許文献３に開示のようなディスペンサを用いて所定量の液状樹脂をノズルに送り、該ノズルから吐出することによってシートに液状樹脂を塗布している。ここで、ノズルの先端の吐出口とディスペンサとの間の配管内に空気が留まっていると、シートの上に塗布される液状樹脂の量が変化してしまうことがある。
特開２０１６－１６７５４６号公報 特開２０１７－２２４６７０号公報 特開２０１３－１４１６３９号公報
その対策として、連続的な保護部材の形成を開始する前にはシートに液状樹脂を塗布してディスペンサからノズルの先端の吐出口まで液状樹脂を満たしているがこの方法では多くの液状樹脂を無駄に消費するという問題がある。
したがって、液状樹脂をノズルから吐出する液状樹脂供給装置には、液状樹脂を無駄に消費させることなく液状樹脂の吐出量を一定にするという課題がある。
本発明は、ノズルの吐出口から所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、液状樹脂が溜められたタンクと、該タンクから所定量の液状樹脂を被加工物に吐出する該ノズルと、該ノズルを吐出位置または待避位置に移動させる移動手段と、被加工物に液状樹脂を吐出する前に該ノズルから吐出した液状樹脂を受け取るファンネルと、該ファンネルと該タンクとを連通する連通管と、を備え、該ファンネルを該タンクより高くなるよう配置し、該タンクに接続された該連通管の一方の端を該ファンネルに接続された他方の端より低くし、液状樹脂を自重落下で該タンクに戻す液状樹脂供給装置である。
本発明は、ノズルの吐出口から所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、液状樹脂が溜められたタンクと、該タンクから所定量の液状樹脂を被加工物に吐出する該ノズルと、該ノズルを吐出位置または待避位置に移動させる移動手段と、被加工物に液状樹脂を吐出する前に該ノズルから吐出した液状樹脂を受け取るファンネルと、該ファンネルと該タンクとを連通する連通管と、該タンクを吸引源に連通する吸引管と、該吸引管を開閉する該吸引バルブとを備え、該吸引バルブを開き該タンク内を負圧にすることによって該ファンネルに吐出された液状樹脂を該タンクに戻す液状樹脂供給装置である。
上記の液状樹脂供給装置は、該ファンネルを該ノズルの直下の受け取り位置または退避位置に移動するファンネル移動手段を備えていることが望ましい。
上記の液状樹脂供給装置は、該タンクに液状樹脂を戻す該連通管の一方の端側にメッシュフィルタを備えることが望ましい。
本発明の液状樹脂供給装置では、吐出ノズルに溜まっていた液状樹脂を一旦ファンネルに吐出させるため、吐出ノズルからの吐出量を一定にすることができる。また、ファンネルに吐出した液状樹脂をタンクに戻すため、液状樹脂を無駄に消費するのを防ぐことができる。さらに、ファンネルを用いてタンクと吐出ノズルとの間で液状樹脂を循環させることにより、液状樹脂を攪拌することもできる。
保護部材形成装置の全体を表す斜視図である。 液状樹脂供給装置の断面図である。
図１に示す液状樹脂供給装置８は、ステージ２００に保持されたシート１８の上に液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置である。液状樹脂供給装置８は、円筒状の軸部８１０と軸部に支持されたアーム８１１とを有する吐出ノズル８１を備えており、アーム８１１の先端にはヘッド８１３が形成されている。
図２に示すように吐出ノズル８１のアーム８１１及びヘッド８１３の内部には配管８１４が形成されており、配管８１４の一端にはタンク９０が接続されている。配管８１４はヘッド８１３の内部において折り曲げられて－Ｚ方向に延ばされ、ヘッド８１３の下端から－Ｚ方向に突出している。配管８１４の他端には液状樹脂が吐出される吐出口８１２が形成されており、タンク９０から供給された液状樹脂は配管８１４を通って吐出口８１２から吐出されることとなる。
吐出ノズル８１の上部には先付ノズル８９が配設されている。先付ノズル８９は配管８９３を有しており、配管８９３の上端には液状樹脂の供給口８９０が形成されている。また、配管８９３はタンク９０に接続されている。タンク９０から供給された液状樹脂は配管８９３を通って供給口８９０から供給されることとなる。
図１に示した吐出ノズル８１の軸部８１０は、例えばその内部に図示しない回転モータやエンコーダ等を備えており、吐出ノズル８１を移動させる移動手段を構成している。該回転モータを用いて軸部８１０をＺ軸方向の軸心の周りに回転させてアーム８１１を旋回させることにより、吐出ノズル８１は吐出位置と待避位置との間を移動することとなる。ここで、吐出位置は吐出ノズル８１からステージ２００の上に液状樹脂を供給するときの水平位置であり、例えばステージ２００の中央に吐出口８１２が位置づけられているときの吐出ノズル８１の水平位置である。また、待避位置は吐出ノズル８１からタンク９０に液状樹脂を戻すときの吐出ノズル８１の水平位置である。
また、軸部８１０を回転させることにより先付ノズル８９も移動させることが可能となっている。
液状樹脂供給装置８は、ディスペンサ８２を備えている。ディスペンサ８２は図示しないポンプ機構等を有しており、図２に示したタンク９０から吐出ノズル８１に液状樹脂を送ることができる。また、ディスペンサ８２は先付ノズル８９にも接続されており、タンク９０から先付ノズル８９に液状樹脂を送ることもできる。
液状樹脂供給装置８は、液状樹脂をステージ２００の上に吐出する前に吐出ノズル８１から液状樹脂を受け取る第１ファンネル５１を備えている。
第１ファンネル５１はキセル状に形成されており、アーム５１０とアーム５１０に支持されたヘッド５１１とを有している。ヘッド５１１は＋Ｚ方向側に開口しており、吐出ノズル８１から吐出された液状樹脂を受け取ることができる。
また、第１ファンネルはタンク９０よりも高い高さ位置に配置されている。
アーム５１０は、図１に示すように、ステージ２００の上に配設されたファンネル移動手段９７に支持されている。ファンネル移動手段９７は図示しない回転モータ等を有しており、第１ファンネル５１を旋回移動させることができる。ファンネル移動手段９７を用いて第１ファンネル５１を旋回移動させることにより、ヘッド５１１を吐出ノズル８１の直下の水平位置である液状樹脂の受け取り位置に移動させたり、吐出ノズル８１から水平方向に遠ざけられた位置である退避位置に移動させたりすることができる。
図２に示すように、第１ファンネル５１とタンク９０との間には両者を接続する連通管９１が配設されている。タンク９０に接続された連通管９１の一方の端９１１の高さは、第１ファンネル５１に接続された連通管９１の他方の端９１０の高さよりも低い高さである。例えば第１ファンネル５１のヘッド５１１が液状樹脂を受け取ると、該液状樹脂がアーム５１０及び連通管９１の内部を通り、自重によってタンク９０に落下することとなる。
連通管９１の一方の端９１１にはメッシュフィルタ９５が配設されている。タンク９０に落下した液状樹脂に付着している付着物や液状樹脂が固体化したもの等は、メッシュフィルタ９５によって捕集されることとなる。
液状樹脂供給装置８は吸引源９２を備えている。吸引源９２とタンク９０とは吸引管９３によって接続されており、吸引管９３には吸引バルブ９４が設けられている。吸引バルブ９４を開閉することにより、吸引源９２とタンク９０とが連通している状態と連通していない状態とを切り替えることができる。
例えば、吸引源９２が作動している状態で吸引バルブ９４を開いて吸引源９２によって生み出された吸引力をタンク９０に伝達させることにより、タンク９０の内部の圧力が負圧になる。これにより、第１ファンネル５１のヘッド５１１に吐出された液状樹脂がタンク９０の内部に吸引されることとなる。ヘッド５１１に吐出された液状樹脂を吸引源９２を用いてタンク９０の内部に吸引することによって、液状樹脂をヘッド５１１から自重によってタンク９０に落下させる場合よりも素早くタンク９０の内部に収容させることができる。
液状樹脂供給装置８は、液状樹脂を被加工物１７に先付する前に先付ノズル８９から液状樹脂を受け取る第２ファンネル５２を備えている。第２ファンネル５２は、先付ノズル８９に隣接する位置に配設されている。
第２ファンネル５２は第１ファンネル５１と同様に連通管９１を介してタンク９０に接続されており、タンク９０は吸引管９３を介して吸引源９２に接続されている。吸引管９３には、吸引源９２とタンク９０とが連通している状態と連通していない状態とを切り替える吸引バルブ９４が配設されている。
例えば、吸引源９２が作動している状態で吸引バルブ９４を開いて吸引源９２によって生み出された吸引力をタンク９０に伝達させることにより、タンク９０の内部の圧力が負圧になる。これにより、連通管９１、アーム５１０及びヘッド５１１の内部の空気がタンク９０に吸引され、第２ファンネル５２に吐出された液状樹脂がタンク９０の内部に吸引される構成となっている。
ここで、第２ファンネル５２に接続されているタンク９０は、第１ファンネル５１に接続されているタンク９０と同一のものであっても、別のものであってもよい。
図１に示すように液状樹脂供給装置８は、例えば被加工物１７に保護部材を形成する保護部材形成装置１に備えられるものである。
保護部材形成装置１は、図１に示すように筐体１００と、筐体１００の内部においてＹ軸方向に延設されたベース１０１と、ベース１０１の上における＋Ｘ方向側に立設されたコラム１０２とを備えている。
コラム１０２の＋Ｙ方向側にはカセット収容棚１０４が配設されている。カセット収容棚１０４には、保護部材が形成される前の被加工物１７が収容された第１カセット１１と及び保護部材が形成された被加工物１７が収容される第２カセット１２とが配設されている。
カセット収容棚１０４の－Ｙ方向側には、第１カセット１１から被加工物１７を搬出し、また第２カセット１２に被加工物１７を搬入する搬入出ロボット２が配設されている。
搬入出ロボット２は、被加工物１７を保持するロボットハンド２６と、ロボットハンド２６を所望の位置に移動させるアーム２７と、アーム２７を駆動する駆動部２４とを備えている。
ロボットハンド２６は、例えば図示しない吸引手段に接続された吸引パッドであり、その上面に被加工物１７を吸引保持することができる。
駆動部２４は基台２３によって支持されており、基台２３は、その内部に配設されたナットがＸ軸方向に延びるボールネジ２０に螺合するとともに、その下部がＸ軸方向に延びるガイドレール２１に摺接している。また、ボールネジ２０はモータ２２に連結されている。モータ２２を用いてＸ軸方向の軸心を軸にしてボールネジ２０を回転させると基台２３がガイドレール２１に案内されてＸ軸方向に移動するとともに、基台２３に駆動部２４及びアーム２７を介して支持されたロボットハンド２６がＸ軸方向に水平移動することとなる。
第１カセット１１から被加工物１７を引き出してロボットハンド２６に被加工物１７を保持し、ロボットハンド２６をＸ軸方向に水平移動させつつ駆動部２４を用いてアーム２７を旋回させることにより、被加工物１７を適宜の位置に移動させることができる。
搬入出ロボット２のロボットハンド２６の可動範囲には、被加工物１７の中心位置を検出する中心検出手段４が配設されている。中心検出手段４は、コラム１０２の＋Ｙ方向側に設けられた仮置きテーブル４０と、仮置きテーブル４０の上に配設された撮像手段４１とを備えている。仮置きテーブル４０に被加工物１７が載置された状態で撮像手段４１を用いて被加工物１７を撮像することにより被加工物１７の中心位置を認識することができる。
撮像手段４１の下方には、カッター４２が配設されている。カッター４２を用いることにより、仮置きテーブル４０に載置された被加工物１７に貼着されているシートを切ることができる。
コラム１０２の－Ｙ方向側の側面には、被加工物１７を保持する保持手段６が配設されている。保持手段６は、マウント６５とマウント６５の下端に配設された保持部６６とを備えている。保持部６６の下面は被加工物１７を保持する保持面６６０であり、保持面６６０には図示しない吸引手段が接続されている。例えば保持面６６０に被加工物１７が当接している状態で、該吸引手段を作動させて生み出された吸引力を保持面６６０に伝達することにより、保持面６６０に被加工物１７を吸引保持することができる。
また、保持手段６は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ６０と、ボールネジ６０に平行に配設された一対のガイドレール６１と、ボールネジ６０を回動するモータ６２と、内部のナットがボールネジ６０に螺合し側部がガイドレール６１に摺接する昇降板６３と、昇降板６３に連結されたホルダ６４とを備えており、ホルダ６４はマウント６５を支持している。モータ６２を用いてボールネジ６０を回転させると、昇降板６３がガイドレール６１に案内されながらＺ軸方向に昇降移動し、これに伴って昇降板６３に連結されたホルダ６４、及びホルダ６４に支持されたマウント６５がＺ軸方向に昇降移動することとなる。
搬入出ロボット２の－Ｙ方向側には、保護部材が形成される前の被加工物１７を仮置きテーブル４０から保持手段６に搬送するとともに、保護部材が形成された被加工物１７を保持手段６から仮置きテーブル４０に搬送する搬送手段３が設けられている。
搬送手段３は、被加工物１７を保持するロボットハンド３６と、ロボットハンド３６を所望の位置に移動させるアーム３７と、アーム３７を駆動する駆動部３４とを備えている。
ロボットハンド３６は例えば図示しない吸引手段に接続された吸引パッドであり、その上面に被加工物１７を吸引保持することができる。
駆動部３４は、基台３３によって支持されており、基台３３は、その内部に備えたナットがＹ軸方向に延びるボールネジ３０に螺合するとともに、その下部がＹ軸方向に延びるガイドレール３１に摺接している。ボールネジ３０は図示しないモータに連結されており、該モータを用いてボールネジ３０を回転させるとガイドレール３１に案内されて基台３３がＹ軸方向に移動して、基台３３に駆動部３４及びアーム３７を介して支持されているロボットハンド３６がＹ軸方向に水平移動することとなる。
ベース１０１の上における保持手段６の下方にはステージ２００が配設されている。液状樹脂の供給時にはステージ２００の上にシート１８が載置され、その上に吐出ノズル８１から液状樹脂が吐出されることとなる。
ステージ２００の下には、硬化手段６７が配設されている。硬化手段６７は、ステージ２００に向けて特定波長の紫外線を照射するための図示しないＵＶランプ等を備えている。
例えばステージ２００の上に液状樹脂が供給されている状態で硬化手段６７を用いてステージ２００に向けて紫外線を照射することにより、液状樹脂を硬化させることができる。
ベース１０１の上における－Ｙ方向側にはシート供給手段７が配設されている。シート供給手段７は、シート１８が巻かれたシートロール１９を支持するシート支持部７０と、シートロール１９からシート１８を引き出してステージ２００に搬送するシート保持部７２と、シート保持部７２を支持するアーム７３と、アーム７３をＹ軸方向に移動させる駆動機構７４とを備えている。駆動機構７４を用いてアーム７３をＹ軸方向に移動させることによって、アーム７３に支持されているシート保持部７２がＹ軸方向に移動することとなる。
例えば、シートロール１９からシート１８が引き出されてシート保持部７２に保持されている状態で、シート保持部７２を＋Ｙ方向に移動させることにより、シート１８をステージ２００の上に供給することができる。
被加工物１７の下面１７１に保護部材を形成する際には、まず第１カセット１１に収納されている被加工物１７を搬入出ロボット２のロボットハンド２６に保持し、第１カセット１１から引き出して仮置きテーブル４０に載置してから、撮像手段４１を用いて被加工物１７の中心を検出する。
次に、搬送手段３のロボットハンド３６に被加工物１７を保持し、ロボットハンド３６を－Ｙ方向に移動させながらアーム３７を旋回させることにより、保持手段６の保持面６６０に被加工物１７の上面１７０を当接させる。そして、保持面６６０に被加工物１７の上面１７０が当接している状態で保持面６６０に接続されている図示しない吸引手段を作動させることにより、保持面６６０に被加工物１７を吸引保持する。
また、シートロール１９をシート保持部７２に保持してシート保持部７２を＋Ｙ方向に移動させることにより、シート１８をステージ２００の上に供給する。
そして、液状樹脂供給装置８を用いてステージ２００の上に供給されたシート１８の上に液状樹脂を供給する。具体的には、まず吐出ノズル８１の軸部８１０を回転させて図２に示した吐出ノズル８１の吐出口８１２を第１ファンネル５１のヘッド５１１の上方（待避位置）に位置づける。
このとき、ファンネル移動手段９７を用いて第１ファンネル５１を吐出口８１２の下方に移動させてもよい。
次に、ディスペンサ８２を作動させ、吐出口８１２から第１ファンネル５１に液状樹脂を吐出させる。さらに、吸引源９２を作動させるとともに吸引バルブ９４を開く。これにより、吸引源９２に生み出された吸引力がタンク９０に伝達されてタンク９０の内部の圧力が負圧になり、連通管９１の内部に溜まっている液状樹脂が第１ファンネル５１に吸い取られてタンク９０に戻され、連通管９１の内部に液状樹脂が溜められていない状態となる。
また、配管８１４は吐出口８１２まで液状樹脂で満たされる。
また、さらに軸部８１０を回転させて先付ノズル８９の供給口８９０を保持部６６が保持している被加工物１７の下面１７１の中心の直下に位置づける。その後、同様にタンク９０の内部の圧力が負圧になることで第２ファンネル５２を用いて先付ノズル８９の供給口８９０からあふれ出て溜まっている液状樹脂を吸い取って連通管９１の内部に液状樹脂が溜められていない状態にするとともにタンク９０に液状樹脂を入れる。
このとき、液状樹脂の表面張力によって、先付ノズル８９の供給口８９０に液状樹脂が盛りあがった状態になっている。
その後、ボールネジ６０を回転させて保持部６６を－Ｚ方向に下降させることにより保持面６６０に保持されている被加工物１７を－Ｚ方向に下降させるとともに先付ノズル８９の先端に盛り上がった液状樹脂に保持面６６０に保持されている被加工物１７の下面１７１の中心を接触させる。
その後、保持部６６を＋Ｚ方向に僅かに上昇させ、先付けノズル８９の供給口８９０の液状樹脂から被加工物１７の下面１７１を離すことで、被加工物１７の下面１７１の中心に液状樹脂を付着させる。
また、被加工物の下面に液状樹脂を付着させるとともに、ディスペンサ８２から吐出ノズル８１に液状樹脂を供給し、吐出ノズル８１の吐出口８１２からステージ２００の上に供給されているシート１８の上に所定量の液状樹脂を供給する。
このとき、液状樹脂は、シート１８の中央に供給される。
その後、軸部８１０を回転させて吐出ノズル８１をステージ２００の上方の中央からステージ２００の端へと退避させる。そして、保持面６６０に保持されている被加工物１７を－Ｚ方向に下降させて、シート１８の上に供給されている液状樹脂と被加工物１７の下面１７１に付着している液状樹脂とを接触させる。シート１８の上に供給されている液状樹脂と被加工物１７の下面１７１に付着している液状樹脂とが接触している状態で、さらに被加工物１７を－Ｚ方向に下降させることにより、被加工物１７の下面１７１に液状樹脂が押し広げられて、被加工物１７の下面１７１の全面に液状樹脂が付着する。
被加工物１７の下面１７１の全面に液状樹脂が付着している状態で、硬化手段６７に備える図示しないＵＶランプからステージ２００に向けて特定波長の紫外線を照射することによって被加工物１７に付着した液状樹脂を硬化させる。これにより、被加工物１７の下面１７１に保護部材が形成される。
次に、保持面６６０に作用している吸引力を解除し、搬送手段３を用いてステージ２００に載置されている被加工物１７を仮置きテーブル４０に搬送する。そして撮像手段４１を用いて仮置きテーブル４０に載置された被加工物１７を撮像することにより被加工物１７の中心を検出する。
次いで、カッター４２を用いて被加工物１７の外周部分からはみ出している不要なシート１８をカットする。その際には、例えば被加工物１７の外周縁にカッター４２を位置づけてから、カッター４２に接続された図示しない旋回手段等を用いて被加工物１７の中心を旋回軌道の中心としてカッター４２を旋回させる。例えば被加工物１７の円の外周縁に対して一周分だけカッター４２を移動させることにより被加工物１７の外周部分からはみ出した不要なシート１８がカットされる。
そして、搬入出ロボット２を用いて仮置きテーブル４０に載置された被加工物１７を第２カセット１２に収納する。
従来からステージ２００に供給されたシート１８の上に連続的に液状樹脂を供給しないとき、配管の膨張や配管の収縮や液状樹脂の乾燥などによってノズルの吐出口に液状樹脂がないことがあった。そのため、吐出ノズル８１からシート１８の上に液状樹脂を吐出したときに吐出された液状樹脂の量が予定されていた吐出量と異なってしまうという問題があった。
これに対して、液状樹脂供給装置８では吐出ノズル８１に溜まっていた液状樹脂を一旦第１ファンネル５１に吐出させるため、吐出ノズル８１からの吐出量を一定にすることができる。また、第１ファンネル５１に吐出した液状樹脂をタンク９０に戻すため、液状樹脂を無駄に消費するのを防ぐことができる。さらに、第１ファンネル５１を用いてタンク９０と吐出ノズル８１との間で液状樹脂を循環させることにより液状樹脂を攪拌することもできる。
加えて、タンク９０の内部における連通管９１の一方の端９１１にはメッシュフィルタ９５が配設されているため、タンク９０に液状樹脂を戻したときに液状樹脂に付着している汚れ等をメッシュフィルタ９５に捕集することができる。
なお、液状樹脂供給装置８においては上記のように吐出ノズル８１のヘッド８１３の上部に先付ノズル８９が配設される構成にかえて、例えば図１に示したステージ２００の－Ｙ方向側に配設される構成であってもよい。この構成においても、第２ファンネル５２は先付ノズル８９に隣接する位置に配設される。
また、液状樹脂を自重によってタンクに戻す構成を採用した場合は、吸引源９２による吸引よって液状樹脂をタンク９０内に吸引する構成は必須ではなく、液状樹脂を吸引源９２による吸引によってタンク９０内に吸引する構成を採用した場合は、液状樹脂を自重によってタンク９０に戻す構成は必須ではない。
１：保護部材形成装置 １１：第１カセット １２：第２カセット １７：被加工物
１７０：上面 １７１：下面
１８：シート １９：シートロール
１００：筐体 １０１：ベース １０２：コラム １０４：カセット収容棚
２：搬入出ロボット ２０：ボールネジ ２１：ガイドレール ２２：モータ
２３：基台 ２４：駆動部 ２６：ロボットハンド ２７：アーム
３：搬送手段 ３０：ボールネジ ３１：ガイドレール ３３：基台 ３４：駆動部
３６：ロボットハンド ３７：アーム
４：中心検出手段 ４０：仮置きテーブル ４１：撮像手段 ４２：カッター
６：保持手段 ６０：ボールネジ ６１：ガイドレール ６２：モータ ６３：昇降板
６４：ホルダ ６５：マウント ６６：保持部 ６６０：保持面 ６７：硬化手段
７：シート供給手段 ７０：シート支持部 ７２：シート保持部 ７３：アーム
７４：駆動機構
８：液状樹脂供給装置 ８１：吐出ノズル ８２：ディスペンサ ８９：先付ノズル
８１０：軸部 ８１１：アーム ８１２：吐出口 ８１３：ヘッド ８１４：配管
８９０：供給口 ８９３：配管
５１：第１ファンネル ５２：第２ファンネル ５１０：アーム ５１１：ヘッド
９０：タンク ９１：連通管 ９１０：端 ９１１：端
９２：吸引源 ９３：吸引管 ９４：吸引バルブ
９５：メッシュフィルタ ９７：ファンネル移動手段
２００：ステージ

Claims (4)

  1. ノズルの吐出口から所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、
    液状樹脂が溜められたタンクと、該タンクから所定量の液状樹脂を被加工物に吐出する該ノズルと、
    該ノズルを吐出位置または待避位置に移動させる移動手段と、
    被加工物に液状樹脂を吐出する前に該ノズルから吐出した液状樹脂を受け取るファンネルと、
    該ファンネルと該タンクとを連通する連通管と、を備え、
    該ファンネルを該タンクより高い高さ位置に配置し、該タンクに接続された該連通管の一方の端を該ファンネルに接続された他方の端より低い高さ位置に配設し、液状樹脂を自重落下で該タンクに戻す液状樹脂供給装置。
  2. ノズルの吐出口から所定量の液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、
    液状樹脂が溜められたタンクと、該タンクから所定量の液状樹脂を被加工物に吐出する該ノズルと、
    該ノズルを吐出位置または待避位置に移動させる移動手段と、
    被加工物に液状樹脂を吐出する前に該ノズルから吐出した液状樹脂を受け取るファンネルと、
    該ファンネルと該タンクとを連通する連通管と、
    該タンクを吸引源に連通する吸引管と、
    該吸引管を開閉する該吸引バルブとを備え、
    該吸引バルブを開き該タンク内を負圧にすることによって該ファンネルに吐出された液状樹脂を該タンクに戻す液状樹脂供給装置。
  3. 該ファンネルを該ノズルの直下の受け取り位置または退避位置に移動するファンネル移動手段を備えた請求項１または２記載の液状樹脂供給装置。
  4. 該タンクに液状樹脂を戻す該連通管の一方の端側にメッシュフィルタを備える請求項１または請求項２記載の液状樹脂供給装置。
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