JP2022034431A - アライメント装置、基板搬送システム、アライメント方法、及び基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示される搬送システム1(基板搬送システム)は、ワークの姿勢及び位置の少なくとも一方の調節を行いつつ、ワークの搬送を行うシステムである。搬送システム1は、少なくとも2種類のワークを個別に搬送する。搬送システム1の搬送対象となるワークには、基板W1及びフォーカスリングW2が含まれる。基板W1の具体例としては、円形の半導体ウェハが挙げられる。フォーカスリングW2は、基板W1に対するプラズマ処理(エッチング処理)に用いられる部材である。例えば、フォーカスリングW2は、基板W1に対するプラズマ処理において、載置台に載置された基板W1の周縁部を覆う又は囲むように配置される。基板W1の外径は、フォーカスリングW2の外径よりも小さくてもよい。基板W1の外径は、フォーカスリングW2の内径と同程度であってもよい。
ロボット装置10は、例えば、搬送ロボット12と、ロボットコントローラ110とを備える。搬送ロボット12は、アライメント装置30に対して基板W1及びフォーカスリングW2の搬入出を個別に行う。具体的には、搬送対象のワークが基板W1である場合、搬送ロボット12はアライメント装置30に対して基板W1の搬入出を行い、搬送対象のワークがフォーカスリングW2である場合、搬送ロボット12は、アライメント装置30に対してフォーカスリングW2の搬入出を行う。
アライメント装置30は、搬送対象のワークが基板W1である場合に、搬送ロボット12から受け取った基板W1の姿勢を調節し、当該基板W1の中心位置を検出する。また、アライメント装置30は、搬送対象のワークがフォーカスリングW2である場合に、搬送ロボット12から受け取ったフォーカスリングW2の姿勢を調節し、当該フォーカスリングW2の中心位置を検出する。アライメント装置30によって検出されたワーク(基板W1又はフォーカスリングW2)の中心位置に基づき、搬送ロボット12のハンド14の水平方向における位置が調節された後に、ハンド14が当該ワークを受け取ることで基板W1の中心位置が調節される。
続いて、基板搬送方法の一例として、ロボットコントローラ110及びアライメントコントローラ130が実行する搬送手順を説明する。この搬送手順には、アライメントコントローラ130が実行するアライメント処理(アライメント方法)が含まれる。搬送手順に含まれるアライメント処理は、中心軸Ax4を囲む複数箇所P1で旋回部40に支持された基板W1のエッジ位置を、中心軸Ax4まわりの少なくとも一箇所に設けられたエッジセンサ90によって検出することと、エッジセンサ90による基板W1のエッジ位置の検出結果に基づいて、中心軸Ax4まわりの基板W1の姿勢を第1目標姿勢に合わせるように中心軸Ax4まわりに旋回部40を回転させることとを含む。また、このアライメント処理は、中心軸Ax4を囲む複数箇所P2で旋回部40に支持されたフォーカスリングW2のエッジ位置を、エッジセンサ90によって検出することと、エッジセンサ90によるフォーカスリングW2のエッジ位置の検出結果に基づいて、中心軸Ax4まわりのフォーカスリングW2の姿勢を第2目標姿勢に合わせるように中心軸Ax4まわりに旋回部40を回転させることとを含む。
以上の実施形態に係るアライメント装置30は、中心軸Ax4を囲む複数箇所P1で基板W1を支持する第1基板支持部41と、中心軸Ax4を囲む複数箇所P2でフォーカスリングW2を支持する第1リング支持部42とを有する旋回部40と、中心軸Ax4まわりに旋回部40を回転させる旋回駆動部50と、第1基板支持部41によって支持された基板W1のエッジ位置と第1リング支持部42によって支持されたフォーカスリングW2のエッジ位置とを検出するように、中心軸Ax4まわりの少なくとも一箇所に設けられたエッジセンサ90と、エッジセンサ90による基板W1のエッジ位置の検出結果に基づいて、中心軸Ax4まわりの基板W1の姿勢を第1目標姿勢に合わせるように旋回駆動部50を制御する基板姿勢制御部144と、エッジセンサ90によるフォーカスリングW2のエッジ位置の検出結果に基づいて、中心軸Ax4まわりのフォーカスリングW2の姿勢を第2目標姿勢に合わせるように旋回駆動部50を制御するリング姿勢制御部154とを備える。
Claims (10)
- 所定の中心軸を囲む複数箇所で基板を支持する基板支持部と、前記中心軸を囲む複数箇所でフォーカスリングを支持するリング支持部とを有する旋回部と、
前記中心軸まわりに前記旋回部を回転させる旋回駆動部と、
前記基板支持部によって支持された前記基板のエッジ位置と前記リング支持部によって支持された前記フォーカスリングのエッジ位置とを検出するように、前記中心軸まわりの少なくとも一箇所に設けられたエッジセンサと、
前記エッジセンサによる前記基板のエッジ位置の検出結果に基づいて、前記中心軸まわりの前記基板の姿勢を第1目標姿勢に合わせるように前記旋回駆動部を制御する基板姿勢制御部と、
前記エッジセンサによる前記フォーカスリングのエッジ位置の検出結果に基づいて、前記中心軸まわりの前記フォーカスリングの姿勢を第2目標姿勢に合わせるように前記旋回駆動部を制御するリング姿勢制御部とを備える、アライメント装置。 - 前記エッジセンサは、前記基板のエッジ位置として前記基板の外周縁の位置を検出し、前記フォーカスリングのエッジ位置として前記フォーカスリングの内周縁の位置を検出する、請求項1記載のアライメント装置。
- 前記基板の外周縁は第1指標を含み、
前記フォーカスリングの内周縁は第2指標を含み、
前記基板姿勢制御部は、前記エッジセンサによる前記基板のエッジ位置の検出結果に基づいて前記第1指標を検出し、前記第1指標を前記第1目標姿勢に対応する第1目標位置に合わせるように前記旋回駆動部を制御し、
前記リング姿勢制御部は、前記エッジセンサによる前記フォーカスリングのエッジ位置の検出結果に基づいて前記第2指標を検出し、前記第2指標を前記第2目標姿勢に対応する第2目標位置に合わせるように前記旋回駆動部を制御する、請求項2記載のアライメント装置。 - 前記リング支持部は、前記中心軸を基準として前記基板支持部よりも外周側に位置し、
前記リング支持部の高さ位置は、前記基板支持部の高さ位置よりも高い、請求項1~3のいずれか一項記載のアライメント装置。 - 前記中心軸を囲む複数箇所で前記基板を支持する第2基板支持部と、前記中心軸を囲む複数箇所で前記フォーカスリングを支持する第2リング支持部とを有するリフト部と、
前記旋回部が前記基板又は前記フォーカスリングを支持する状態と、前記リフト部が前記基板又は前記フォーカスリングを支持する状態とを切り替えるように、前記中心軸に沿って前記リフト部を昇降させる昇降駆動部とを更に備える、請求項1~4のいずれか一項記載のアライメント装置。 - 前記第2リング支持部は、前記中心軸を基準として前記第2基板支持部よりも外周側に位置し、
前記第2リング支持部の高さ位置は、前記第2基板支持部の高さ位置よりも高い、請求項5記載のアライメント装置。 - 前記旋回駆動部が前記旋回部を回転させている最中に前記エッジセンサによって検出された前記基板のエッジ位置に基づいて、前記旋回部の前記中心軸まわりの回転角度と、前記基板のエッジ位置との関係を示す基板エッジプロファイルを生成する第1プロファイル生成部と、
前記旋回駆動部が前記旋回部を回転させている最中に前記エッジセンサによって検出された前記フォーカスリングのエッジ位置に基づいて、前記旋回部の前記中心軸まわりの回転角度と、前記フォーカスリングのエッジ位置との関係を示すリングエッジプロファイルを生成する第2プロファイル生成部と、
前記基板エッジプロファイルに基づいて、前記旋回部における前記基板の中心位置を算出する第1位置算出部と、
前記リングエッジプロファイルに基づいて、前記旋回部における前記フォーカスリングの中心位置を算出する第2位置算出部とを更に備える、請求項1~6のいずれか一項記載のアライメント装置。 - 請求項7記載のアライメント装置と、
ハンドにより前記基板又は前記フォーカスリングを支持して搬送する搬送ロボットと、
前記基板の中心位置の算出結果に基づいて前記ハンドの位置を調節し、前記アライメント装置から前記ハンドが前記基板を受け取るように前記搬送ロボットを制御する第1受取制御部と、
前記フォーカスリングの中心位置の算出結果に基づいて前記ハンドの位置を調節し、前記アライメント装置から前記ハンドが前記フォーカスリングを受け取るように前記搬送ロボットを制御する第2受取制御部と、を備える基板搬送システム。 - 所定の中心軸を囲む複数箇所で旋回部に支持された基板のエッジ位置を、前記中心軸まわりの少なくとも一箇所に設けられたエッジセンサによって検出することと、
前記エッジセンサによる前記基板のエッジ位置の検出結果に基づいて、前記中心軸まわりの前記基板の姿勢を第1目標姿勢に合わせるように前記中心軸まわりに前記旋回部を回転させることと、
前記中心軸を囲む複数箇所で前記旋回部に支持されたフォーカスリングのエッジ位置を、前記エッジセンサによって検出することと、
前記エッジセンサによる前記フォーカスリングのエッジ位置の検出結果に基づいて、前記中心軸まわりの前記フォーカスリングの姿勢を第2目標姿勢に合わせるように前記中心軸まわりに前記旋回部を回転させることと、を含むアライメント方法。 - 所定の中心軸を囲む複数箇所で基板を支持した旋回部が回転している最中に、前記中心軸まわりの少なくとも一箇所に設けられたエッジセンサによって前記基板のエッジ位置を検出することと、
前記エッジセンサによって検出された前記基板のエッジ位置に基づいて、前記旋回部の前記中心軸まわりの回転角度と、前記基板のエッジ位置との関係を示す基板エッジプロファイルを生成することと、
前記基板エッジプロファイルに基づいて、前記旋回部における前記基板の中心位置を算出することと、
前記基板の中心位置の算出結果に基づいてハンドの位置を調節し、前記ハンドが前記基板を支持して搬送するように搬送ロボットを制御することと、
前記中心軸を囲む複数箇所でフォーカスリングを支持した前記旋回部が回転している最中に、前記エッジセンサによって前記フォーカスリングのエッジ位置を検出することと、
前記エッジセンサによって検出された前記フォーカスリングのエッジ位置に基づいて、前記旋回部の前記中心軸まわりの回転角度と、前記フォーカスリングのエッジ位置との関係を示すリングエッジプロファイルを生成することと、
前記リングエッジプロファイルに基づいて、前記旋回部における前記フォーカスリングの中心位置を算出することと、
前記フォーカスリングの中心位置の算出結果に基づいて前記ハンドの位置を調節し、前記ハンドが前記フォーカスリングを支持して搬送するように前記搬送ロボットを制御することと、を含む基板搬送方法。
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JP6712939B2 (ja) | 2016-06-20 | 2020-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電容量測定用の測定器、及び、測定器を用いて処理システムにおける搬送位置データを較正する方法 |
US20190122870A1 (en) * | 2016-07-14 | 2019-04-25 | Tokyo Electron Limited | Focus ring replacement method and plasma processing system |
JP6869111B2 (ja) | 2017-06-06 | 2021-05-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受け渡し方法及び基板処理装置 |
US10950483B2 (en) * | 2017-11-28 | 2021-03-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for fixed focus ring processing |
CN109192696B (zh) * | 2018-08-10 | 2021-06-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 升降针系统、真空反应腔室以及半导体加工设备 |
KR102423380B1 (ko) * | 2018-09-13 | 2022-07-22 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치 장치 |
JP7105666B2 (ja) * | 2018-09-26 | 2022-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
KR20200060137A (ko) * | 2018-11-22 | 2020-05-29 | 세메스 주식회사 | 포커스 링 높이 제어 장치 및 이를 구비하는 기판 식각 장치 |
US11512393B2 (en) * | 2018-11-29 | 2022-11-29 | Lam Research Corporation | Dynamic sheath control with edge ring lift |
US11488808B2 (en) * | 2018-11-30 | 2022-11-01 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus, calculation method, and calculation program |
JP7129325B2 (ja) | 2018-12-14 | 2022-09-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び搬送システム |
US11393663B2 (en) * | 2019-02-25 | 2022-07-19 | Tokyo Electron Limited | Methods and systems for focus ring thickness determinations and feedback control |
CN114743854A (zh) * | 2019-05-14 | 2022-07-12 | 玛特森技术公司 | 末端执行器和用于处理工件的系统 |
KR102200315B1 (ko) * | 2019-07-29 | 2021-01-08 | 세메스 주식회사 | 기판 지지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
JP7349845B2 (ja) * | 2019-08-13 | 2023-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システムにおける搬送方法 |
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