JP2022022233A - 導電性フィルム、並びに、それを用いた導電性フィルムロール、電子ペーパー、タッチパネル及びフラットパネルディスプレイ - Google Patents
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Abstract
Description
〔1〕
透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、
前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、
該金属細線が、導電性金属原子Mとケイ素原子Siとを含み、
前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の最大厚さをTとしたとき、前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.90Tの厚さ領域における、前記導電性金属原子Mに対する前記ケイ素原子Siの原子%比Si/M0.10~0.90が、0.001以上0.070以下である、
導電性フィルム。
〔2〕
前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.25Tの厚さ領域における原子%比Si/M0.10~0.25が、0.001以上0.070以下である、
〔1〕の導電性フィルム。
〔3〕
前記透明基材側の前記金属細線界面から0.75T~0.90Tの厚さ領域における原子%比Si/M0.75~0.90が、0.001以上0.070以下である、
〔1〕又は〔2〕の導電性フィルム。
〔4〕
前記導電性金属原子Mが、金、銀、銅及びアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を含む、
〔1〕~〔3〕のいずれかの導電性フィルム。
〔5〕
前記金属細線の線幅が、0.1μm以上5.0μm以下である、
〔1〕~〔4〕のいずれかの導電性フィルム。
〔6〕
前記金属細線のアスペクト比が、0.05以上1.00以下である、
〔1〕~〔5〕のいずれかの導電性フィルム。
〔7〕
前記導電性フィルムのシート抵抗が、0.1Ω/sq以上1,000Ω/sq以下である、
〔1〕~〔6〕のいずれかの導電性フィルム。
〔8〕
前記導電性フィルムの可視光透過率が、80%以上100%以下である、
〔1〕~〔7〕のいずれかの導電性フィルム。
〔9〕
前記導電性フィルムのヘイズが、0.01%以上5.00%以下である、
〔1〕~〔8〕のいずれかの導電性フィルム。
〔10〕
前記金属細線パターンの開口率が、80%以上100%未満である、
〔1〕~〔9〕のいずれかの導電性フィルム。
〔11〕
前記金属細線パターンがメッシュパターンである、
〔1〕~〔10〕のいずれかの導電性フィルム。
〔12〕
前記金属細線パターンがラインパターンである、
〔1〕~〔10〕のいずれかの導電性フィルム。
〔13〕
前記透明基材と前記導電部の間に中間層を有する、
〔1〕~〔12〕のいずれかの導電性フィルム。
〔14〕
前記中間層が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、
〔13〕の導電性フィルム。
〔15〕
〔1〕~〔14〕のいずれかの導電性フィルムを捲回してなる、
導電性フィルムロール。
〔16〕
〔1〕~〔14〕のいずれかの導電性フィルムを備える、
電子ペーパー。
〔17〕
〔1〕~〔14〕のいずれかの導電性フィルムを備える、
タッチパネル。
〔18〕
〔1〕~〔14〕のいずれかの導電性フィルムを備える、
フラットパネルディスプレイ。
〔1〕
透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、
前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、
該金属細線が、導電性金属原子Mと酸素原子Oとを含み、
前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の厚さをTとしたとき、前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.90Tまでの厚さ領域における前記導電性金属原子Mに対する前記酸素原子Oの原子%比O/M0.10~0.90が、0.01以上1.00以下である、
導電性フィルム。
〔2〕
前記金属細線中の原子%比O/Mが、前記透明基材側から前記金属細線の厚み方向に向かって漸減する、
〔1〕に記載の導電性フィルム。
〔3〕
前記透明基材側の前記金属細線界面から0.75T~0.90Tまでの厚さ領域における原子%比O/M0.75~0.90が、0.25以下である、
〔1〕又は〔2〕に記載の導電性フィルム。
〔4〕
前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比O/M0.10~0.25が、0.05以上である、
〔1〕~〔3〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔5〕
前記導電性金属原子Mが、銀、銅、及びアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を含む、
〔1〕~〔4〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔6〕
前記金属細線が、酸化第一銅、酸化第二銅、酸化銀、及び酸化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属酸化物を含む、
〔1〕~〔5〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔7〕
前記金属細線の線幅が、0.1μm以上5.0μm以下である、
〔1〕~〔6〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔8〕
前記金属細線のアスペクト比が、0.05以上1.00以下である、
〔1〕~〔7〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔9〕
前記導電性フィルムのシート抵抗が、0.1Ω/sq以上1,000Ω/sq以下である、
〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔10〕
前記導電性フィルムの可視光透過率が、80%以上100%以下である、
〔1〕~〔9〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔11〕
前記導電性フィルムのヘイズが、0.01%以上5.00%以下である、
〔1〕~〔10〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔12〕
前記金属細線パターンの開口率が、80%以上100%未満である、
〔1〕~〔11〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔13〕
前記金属細線パターンがメッシュパターンである、
〔1〕~〔12〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔14〕
前記金属細線パターンがラインパターンである、
〔1〕~〔12〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔15〕
前記透明基材と前記導電部の間に中間層を有する、
〔1〕~〔14〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔16〕
前記中間層が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、
〔15〕に記載の導電性フィルム。
〔17〕
前記中間層の屈折率が前記透明基材の屈折率よりも小さく、
前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における前記金属細線の理論屈折率が前記中間層の屈折率よりも小さい、
〔15〕または〔16〕に記載の導電性フィルム。
〔18〕
〔1〕~〔17〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを捲回してなる、
導電性フィルムロール。
〔19〕
〔1〕~〔17〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
電子ペーパー。
〔20〕
〔1〕~〔17〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
タッチパネル。
〔21〕
〔1〕~〔17〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
フラットパネルディスプレイ。
〔1〕
透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、
前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、
該金属細線が、導電性金属原子Mと炭素原子Cとを含み、
前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の厚さをTとしたとき、前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比C/M0.10~0.25が、0.3以上6.0以下であり、
前記導電性フィルムのシート抵抗が、0.1Ω/sq以上500Ω/sq以下である、
導電性フィルム。
〔2〕
該金属細線が、酸素原子Oをさらに含み、
前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比O/M0.10~0.25が、0.05以上である、
〔1〕に記載の導電性フィルム。
〔3〕
前記導電性金属原子Mが、金、銀、銅及びアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を含む、
〔1〕又は〔2〕に記載の導電性フィルム。
〔4〕
前記金属細線の線幅が、0.1μm以上5.0μm以下である、
〔1〕~〔3〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔5〕
前記金属細線のアスペクト比が、0.05以上1.00以下である、
〔1〕~〔4〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔6〕
前記導電性フィルムの可視光透過率が、80%以上100%以下である、
〔1〕~〔5〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔7〕
前記導電性フィルムのヘイズが、0.01%以上5.00%以下である、
〔1〕~〔6〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔8〕
前記金属細線パターンの開口率が、80%以上100%未満である、
〔1〕~〔7〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔9〕
前記金属細線パターンがメッシュパターンである、
〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔10〕
前記金属細線パターンがラインパターンである、
〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔11〕
前記透明基材と前記導電部の間に中間層を有する、
〔1〕~〔10〕のいずれか一項に記載の導電性フィルム。
〔12〕
前記中間層が酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、
〔11〕に記載の導電性フィルム。
〔13〕
〔1〕~〔12〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを捲回してなる、
導電性フィルムロール。
〔14〕
〔1〕~〔12〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
電子ペーパー。
〔15〕
〔1〕~〔12〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
タッチパネル。
〔16〕
〔1〕~〔12〕のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
フラットパネルディスプレイ。
第1実施形態は、透明性を十分に維持しながら、導電性及び可撓性の両方に優れる導電性フィルム、導電性フィルムロール、電子ペーパー、タッチパネル、及びフラットパネルディスプレイを提供することを目的とする。
第1実施形態の導電性フィルムは、透明基材と、透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムである。前記金属細線パターンは、金属細線から構成されており、金属細線が、導電性金属原子Mとケイ素原子Siとを含み、金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、金属細線の最大厚さをTとしたとき、透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.90Tの厚さ領域における、導電性金属原子Mに対するケイ素原子Siの原子%比Si/M0.10~0.90が、0.001以上0.070以下である。
透明基材の「透明」とは、可視光透過率が、好ましくは80%以上であることをいい、より好ましくは90%以上であることをいい、さらに好ましくは95%以上であることをいう。ここで、可視光透過率は、JIS K 7361-1:1997に準拠して測定することができる。
また、透明基材と導電部の間に中間層を設けてもよい。中間層に含まれる成分としては、特に限定されないが、例えば、ケイ素化合物(例えば、(ポリ)シラン類、(ポリ)シラザン類、(ポリ)シルチアン類、(ポリ)シロキサン類、ケイ素、炭化ケイ素、酸化ケイ素、窒化ケイ素、塩化ケイ素、ケイ素酸塩、ゼオライト、シリサイド等)、アルミニウム化合物(例えば、酸化アルミニウム等)、マグネシウム化合物(例えばフッ化マグネシウム)等が挙げられる。この中でも、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。このような成分を用いることにより、導電性フィルムの透明性及び耐久性がより向上する傾向にあり、導電性フィルムを製造するための生産性(コスト削減効果)がより優れる。中間層は、PVD、CVDなどの気相成膜法や、上記中間層に含まれる成分が分散媒に分散した中間体形成組成物を塗布、乾燥する方法により成膜することができる。中間体形成組成物は、必要に応じて、分散剤、界面活性剤、結着剤等を含有してもよい。
導電部は、透明基材上に配された金属細線から構成される金属細線パターンである。金属細線パターンは規則的なパターンであっても不規則なパターンであってもよい。
金属細線パターンは、目的とする電子デバイスの用途に応じて設計することができ、特に限定されないが、例えば、複数の金属細線が網目状に交差して形成されるメッシュパターン(図1及び2)や、複数の略平行な金属細線が形成されたラインパターン(図3及び4)が挙げられる。また、金属細線パターンは、メッシュパターンとラインパターンとが組み合わされたものであってもよい。メッシュパターンの網目は、図1に示されるような正方形又は長方形であっても、図2に示されるようなひし形等の多角形であってもよい。また、ラインパターンを構成する金属細線は、図3に示されるような直線であっても、図4に示されるような曲線であってもよい。さらに、メッシュパターンを構成する金属細線においても、金属細線を曲線とすることができる。
金属細線の線幅Wに対する金属細線の厚さTで表されるアスペクト比は、好ましくは0.05以上1.00以下である。アスペクト比の下限は、より好ましくは0.08以上、さらに好ましく0.10以上である。アスペクト比を高くすることにより、透過率を低下させることなく導電性をより向上できる傾向にある。
金属細線パターンのピッチPは、好ましくは5μm以上であり、より好ましくは50μm以上であり、さらに好ましくは100μm以上である。金属細線パターンのピッチPが5μm以上であることで、良好な透過率を得ることができる。また、金属細線パターンのピッチPは、好ましくは1,000μm以下であり、より好ましくは500μm以下であり、さらに好ましくは250μm以下である。金属細線パターンのピッチPが1,000μm以下であることにより、導電性をより向上できる傾向にある。なお、金属細線パターンの形状がメッシュパターンである場合には、線幅1μmの金属細線パターンのピッチを200μmとすることにより、開口率99%とすることができる。
金属細線パターンの開口率は、好ましくは60%以上であり、より好ましくは70%以上であり、さらに好ましくは80%以上であり、特に好ましくは90%以上である。金属細線パターンの開口率を上述の特定値以上とすることにより、導電性フィルムの透過率がより向上する傾向にある。また、金属細線パターンの開口率は、好ましくは100%未満であり、より好ましくは95%以下であり、さらに好ましくは90%以下であり、よりさらに好ましくは80%以下であり、さらにより好ましくは70%以下であり、特に好ましくは60%以下である。金属細線パターンの開口率を上述の特定値以下とすることにより、導電性フィルムの導電性がより向上する傾向にある。金属細線パターンの開口率は、金属細線パターンの形状によっても適正な値が異なる。また、金属細線パターンの開口率は、目的とする電子デバイスの要求性能(透過率及びシート抵抗)に応じて、上記上限値と下限値を適宜組み合わせることができる。
金属細線パターンの開口率
=(1-金属細線パターンの占める面積/透明基材の面積)×100
開口率={開口部15の面積/パターン単位16の面積}×100
={((ピッチP1-線幅W1)×(ピッチP2-線幅W2))/(ピッチP1×ピッチP2)}×100
開口率={(ピッチP-線幅W)/ピッチP}×100
導電性フィルムのシート抵抗は、好ましくは0.1Ω/sq以上1,000Ω/sq以下であり、より好ましくは0.1Ω/sq以上500Ω/sq以下であり、さらに好ましくは0.1Ω/sq以上100Ω/sq以下であり、よりさらに好ましくは0.1Ω/sq以上20Ω/sq以下であり、さらにより好ましくは0.1Ω/sq以上10Ω/sq以下である。導電性フィルムのシート抵抗は、以下の方法により測定できる。
Rs=R/L×D
導電性フィルムの可視光透過率は、好ましくは80%以上100%以下であり、より好ましくは90%以上100%以下である。ここで、可視光透過率は、JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、その可視光(360~830nm)の範囲の透過率を算出することで測定することができる。
導電性フィルムのヘイズは、好ましくは0.01%以上5.00%以下である。ヘイズの上限はより好ましくは、3.00%以下、さらに好ましくは1.00%以下である。ヘイズの上限が5.00%以下であれば、可視光に対する導電性フィルムの曇りを十分に低減できる。本明細書におけるヘイズは、JIS K 7136:2000のヘイズに準拠して測定することができる。
第1実施形態の導電性フィルムの製造方法としては、透明基材上に、金属成分を含むインクを用いてパターンを形成するパターン形成工程と、インクを焼成して金属細線を形成する焼成工程とを有する方法が挙げられる。この場合、第1実施形態の導電性フィルムの製造方法は、パターン形成工程に先立ち、透明基材の表面に中間層を形成する中間層形成工程を含んでもよい。
中間層形成工程の具体例としては、PVD、CVD等の気相製膜法を用いて中間層を形成する成分を透明基材の表面に成膜させることにより中間層を形成する方法が挙げられる。中間層形成工程の別の具体例としては、中間層を形成する成分が分散媒に分散してなる中間体形成組成物を透明基材の表面に塗布し、乾燥させることにより中間層を形成する方法が挙げられる。中間層を形成する成分としては、〔中間層〕の項で例示した成分が挙げられる。また、中間層形成組成物は、必要に応じて、分散剤、界面活性剤、結着剤等を含んでもよい。
パターン形成工程は、金属成分を含むインクを用いてパターンを形成する工程である。パターン形成工程は、所望の金属細線パターンの溝を有する版を用いる有版印刷方法であれば特に限定されないが、例えば、転写媒体表面にインクをコーティングする工程と、インクをコーティングした転写媒体表面と、凸版の凸部表面とを対向させて、押圧、接触して、凸版の凸部表面に転写媒体表面上のインクを転移させる工程と、インクをコーティングした転写媒体表面と透明基材の表面とを対向させて、押圧、接触して、転写媒体表面に残ったインクを透明基材の表面に転写する工程とを有する。なお、透明基材に中間層が形成されている場合には、中間層表面にインクが転写される。
上記パターン形成工程に用いられるインクは、導電性金属原子Mを含有する金属成分と溶剤を含み、必要に応じて、界面活性剤、分散剤、還元剤等を含んでもよい。金属成分は、金属粒子としてインクに含まれていてもよいし、金属錯体としてインクに含まれていてもよい。
焼成工程では、例えば、透明基材又は中間層の表面に転写されたインク中の金属成分を焼結する。焼成は、金属成分が融着して、金属成分焼結膜を形成することができる方法であれば特に制限されない。焼成は、例えば、焼成炉で行ってもよいし、プラズマ、加熱触媒、紫外線、真空紫外線、電子線、赤外線ランプアニール、フラッシュランプアニール、レーザーなどを用いて行ってもよい。得られる焼結膜が酸化されやすい場合には、非酸化性雰囲気中において焼成することが好ましい。また、インクに含まれ得る還元剤のみで金属酸化物等が還元されにくい場合には、還元性雰囲気で焼成することが好ましい。
第2実施形態は、より優れた透明性を発揮する導電性フィルム、並びに、それを用いた導電性フィルムロール、電子ペーパー、タッチパネル、及びフラットパネルディスプレイを提供することを目的とする。
第2実施形態の導電性フィルムは、透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、該金属細線が、導電性金属原子Mと酸素原子Oとを含み、前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の厚さをTとしたとき、前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.90Tまでの厚さ領域における前記導電性金属原子Mに対する前記酸素原子Oの原子%比O/M0.10~0.90が、0.01以上1.00以下であることを特徴とする。
導電部は、透明基材上に配された金属細線から構成される金属細線パターンである。金属細線パターンは規則的なパターンであっても不規則なパターンであってもよい。第2実施形態において、金属細線パターンを構成する金属細線は、比較的に透明基材の屈折率と近い屈折率を有するよう構成される。
金属細線パターンは、目的とする電子デバイスの用途に応じて設計することができ、特に限定されないが、例えば、複数の金属細線が網目状に交差して形成されるメッシュパターン(図1及び2)や、複数の略平行な金属細線が形成されたラインパターン(図3及び4)が挙げられる。また、金属細線パターンは、メッシュパターンとラインパターンとが組み合わされたものであってもよい。メッシュパターンの網目は、図1に示されるような正方形又は長方形であっても、図2に示されるようなひし形等の多角形であってもよい。また、ラインパターンを構成する金属細線は、図3に示されるような直線であっても、図4に示されるような曲線であってもよい。さらに、メッシュパターンを構成する金属細線においても、金属細線を曲線とすることができる。
金属細線の線幅Wは、例えば、好ましくは0.1μm以上5.0μm以下であり、より好ましくは0.2μm以上4.0μm以下であり、さらに好ましくは0.3μm以上3.0μm以下であり、よりさらに好ましくは0.4μm以上2.5μm以下である。金属細線の線幅Wが0.1μm以上であることにより、導電性がより向上する傾向にある。また、金属細線表面の酸化や腐食等による導電性の低下を十分に抑制できる傾向にある。さらに、開口率を同じとした場合、金属細線の線幅が細いほど、金属細線の本数を増やすことが可能となる。これにより、導電性フィルムの電界分布がより均一となり、より高解像度の電子デバイスを作製することが可能となる。また、一部の金属細線で断線が生じたとしても、それによる影響を他の金属細線が補うことができる。他方、金属細線Wの線幅が5.0μm以下であることにより、金属細線の視認性がより低下し、導電性フィルムの透明性がより向上する傾向にある。
金属細線の線幅Wに対する金属細線の厚さTで表されるアスペクト比は、好ましくは0.05以上1.00以下である。アスペクト比の下限は、より好ましくは0.08以上、さらに好ましく0.10以上である。アスペクト比が0.05以上であることにより、透過率を低下させることなく、導電性をより向上できる傾向にある。
金属細線パターンのピッチPは、好ましくは5μm以上であり、より好ましくは50μm以上であり、さらに好ましくは100μm以上である。金属細線パターンのピッチPが5μm以上であることで、良好な透過率を得ることができる。また、金属細線パターンのピッチPは、好ましくは1,000μm以下であり、より好ましくは500μm以下であり、さらに好ましくは250μm以下である。金属細線パターンのピッチPが1,000μm以下であることにより、導電性をより向上できる傾向にある。なお、金属細線パターンの形状がメッシュパターンである場合には、線幅1μmの金属細線パターンのピッチを200μmとすることにより、開口率99%とすることができる。
金属細線パターンの開口率の下限値は、好ましくは60%以上であり、より好ましくは70%以上であり、さらに好ましくは80%以上であり、特に好ましくは90%以上である。金属細線パターンの開口率を上述の特定値以上とすることにより、導電性フィルムの透過率がより向上する傾向にある。また、金属細線パターンの開口率の上限値は、好ましくは100%未満であり、より好ましくは95%以下であり、さらに好ましくは90%以下であり、よりさらに好ましくは80%以下であり、さらにより好ましくは70%以下であり、特に好ましくは60%以下である。金属細線パターンの開口率を上述の特定値以下とすることにより、導電性フィルムの導電性がより向上する傾向にある。金属細線パターンの開口率は、金属細線パターンの形状によっても適正な値が異なる。また、金属細線パターンの開口率は、目的とする電子デバイスの要求性能(透過率及びシート抵抗)に応じて、上記上限値と下限値を適宜組み合わせることができる。
開口率=(1-金属細線パターンの占める面積/透明基材の面積)×100
開口率={開口部15の面積/パターン単位16の面積}×100
={((ピッチP1-線幅W1)×(ピッチP2-線幅W2))/(ピッチP1×ピッチP2)}×100
開口率={(ピッチP-線幅W)/ピッチP}×100
導電性フィルムのシート抵抗は、好ましくは0.1Ω/sq以上1,000Ω/sq以下であり、より好ましくは0.1Ω/sq以上500Ω/sq以下であり、さらに好ましくは0.1Ω/sq以上100Ω/sq以下であり、よりさらに好ましくは0.1Ω/sq以上20Ω/sq以下であり、さらにより好ましくは0.1Ω/sq以上10Ω/sq以下である。シート抵抗が低いほど電力損失が抑制される傾向にある。そのため、シート抵抗の低い導電性フィルムを用いることにより、消費電力の少ない電子ペーパー、タッチパネル、及びフラットパネルディスプレイを得ることが可能となる。導電性フィルムのシート抵抗は、以下の方法により測定できる。
Rs=R/L×D
導電性フィルムの可視光透過率は、好ましくは80%以上100%以下であり、より好ましくは90%以上100%以下である。ここで、可視光透過率は、JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、その可視光(360~830nm)の範囲の透過率を算出することで測定することができる。
導電性フィルムのヘイズは、好ましくは0.01%以上5.00%以下である。ヘイズの上限はより好ましくは、3.00%以下、さらに好ましくは1.00%以下である。ヘイズの上限が5.00%以下であれば、可視光に対する導電性フィルムの曇りを十分に低減できる。本明細書におけるヘイズは、JIS K 7136:2000のヘイズに準拠して測定することができる。
透明基材の「透明」とは、可視光透過率が、好ましくは80%以上であることをいい、より好ましくは90%以上であることをいい、さらに好ましくは95%以上であることをいう。ここで、可視光透過率は、JIS K 7361-1:1997に準拠して測定することができる。
第2実施形態の導電性フィルムは、透明基材と導電部の間に中間層を有していてもよい。該中間層は、透明基材と導電部の金属細線との密着性の向上に寄与しうる。
第2実施形態の導電性フィルムの製造方法は、特に制限されないが、例えば、透明基材上に金属成分を含むインクを用いてパターンを形成するパターン形成工程と、該パターンを焼成して金属細線を形成する焼成工程と、を有する方法が挙げられる。また、第2実施形態の導電性フィルムの製造方法は、パターン形成工程に先立ち、透明基材の表面に中間層を形成する中間層形成工程を含んでもよい。
中間層形成工程は、透明基材の表面に中間層を形成する工程である。中間層の形成方法としては、特に制限されないが、例えば、物理蒸着法(PVD)、化学蒸着法(CVD)などの気相成膜法により、透明基材表面に蒸着膜を形成する方法;透明基材表面に中間層形成用組成物を塗布し、乾燥することで塗膜を形成する方法が挙げられる。
パターン形成工程は、金属成分を含むインクを用いてパターンを形成する工程である。パターン形成工程は、所望の金属細線パターンの溝を有する版を用いる有版印刷方法であれば特に限定されないが、例えば、転写媒体表面にインクをコーティングする工程と、インクをコーティングした転写媒体表面と、凸版の凸部表面とを対向させて、押圧、接触して、凸版の凸部表面に転写媒体表面上のインクを転移させる工程と、インクをコーティングした転写媒体表面と透明基材の表面とを対向させて、押圧、接触して、転写媒体表面に残ったインクを透明基材の表面に転写する工程とを有する。なお、透明基材に中間層が形成されている場合には、中間層表面にインクが転写される。
上記パターン形成工程に用いられるインクは、導電性金属原子Mを含有する金属成分と溶剤を含み、必要に応じて、界面活性剤、分散剤、還元剤等を含んでもよい。金属成分は、金属粒子としてインクに含まれていてもよいし、金属錯体としてインクに含まれていてもよい。
焼成工程は、透明基材又は中間層の表面にパターンに転写されたインク中の金属成分を焼成して金属細線を形成する工程であり、これにより、インクを塗布したパターンと同様の金属細線パターンを有する導電部を得ることができる。焼成は、金属成分が融着して、金属成分焼結膜を形成することができる方法であれば特に制限されない。焼成は、例えば、焼成炉で行ってもよいし、プラズマ、加熱触媒、紫外線、真空紫外線、電子線、赤外線ランプアニール、フラッシュランプアニール、レーザーなどを用いて行ってもよい。得られる焼結膜が酸化されやすい場合には、非酸化性雰囲気中において焼成することが好ましい。また、インクに含まれ得る還元剤のみで金属酸化物等が還元されにくい場合には、還元性雰囲気で焼成することが好ましい。
第3実施形態は、高い導電性と、透明基材と金属細線との高い密着性を兼ね備える導電性フィルム、並びに、それを用いた導電性フィルムロール、電子ペーパー、タッチパネル、及びフラットパネルディスプレイを提供することを目的とする。
第3実施形態の導電性フィルムは、透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムである。前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、該金属細線が、導電性金属原子Mと炭素原子Cとを含み、前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の厚さをTとしたとき、前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比C/M0.10~0.25が、0.3以上6.0以下であり、前記導電性フィルムのシート抵抗が、0.1Ω/sq以上500Ω/sq以下であることを特徴とする。
導電部は、透明基材上に配された金属細線から構成される金属細線パターンである。金属細線パターンは規則的なパターンであっても不規則なパターンであってもよい。第3実施形態において、金属細線パターンを構成する金属細線は、金属細線の延伸方向に直交する金属細線の断面において、透明基材側の金属細線界面に炭素原子が偏在する構成を有する。
金属細線パターンは、目的とする電子デバイスの用途に応じて設計することができ、特に限定されないが、例えば、複数の金属細線が網目状に交差して形成されるメッシュパターン(図1及び2)や、複数の略平行な金属細線が形成されたラインパターン(図3及び4)が挙げられる。また、金属細線パターンは、メッシュパターンとラインパターンとが組み合わされたものであってもよい。メッシュパターンの網目は、図1に示されるような正方形又は長方形であっても、図2に示されるようなひし形等の多角形であってもよい。また、ラインパターンを構成する金属細線は、図3に示されるような直線であっても、図4に示されるような曲線であってもよい。さらに、メッシュパターンを構成する金属細線においても、金属細線を曲線とすることができる。
金属細線の線幅Wは、例えば、好ましくは0.1μm以上5.0μm以下であり、より好ましくは0.2μm以上4.0μm以下であり、さらに好ましくは0.3μm以上3.0μm以下であり、よりさらに好ましくは0.4μm以上2.5μm以下である。金属細線の線幅Wが0.1μm以上であることにより、導電性がより向上する傾向にある。また、金属細線表面の酸化や腐食等による導電性の低下を十分に抑制できる傾向にある。さらに、開口率を同じとした場合、金属細線の線幅が細いほど、金属細線の本数を増やすことが可能となる。これにより、導電性フィルムの電界分布がより均一となり、より高解像度の電子デバイスを作製することが可能となる。また、一部の金属細線で断線が生じたとしても、それによる影響を他の金属細線が補うことができる。他方、金属細線の線幅Wが5.0μm以下であることにより、金属細線の視認性がより低下し、導電性フィルムの透明性がより向上する傾向にある。
金属細線の線幅Wに対する金属細線の厚さTで表されるアスペクト比は、好ましくは0.05以上1.00以下である。アスペクト比の下限は、より好ましくは0.08以上、さらに好ましく0.10以上である。アスペクト比が0.05以上であることにより、可視光透過率を低下させることなく、導電性をより向上できる傾向にある。
金属細線パターンのピッチPは、好ましくは5μm以上であり、より好ましくは50μm以上であり、さらに好ましくは100μm以上である。金属細線パターンのピッチPが5μm以上であることで、良好な透過率を得ることができる。また、金属細線パターンのピッチPは、好ましくは1,000μm以下であり、より好ましくは500μm以下であり、さらに好ましくは250μm以下である。金属細線パターンのピッチPが1,000μm以下であることにより、導電性をより向上できる傾向にある。なお、金属細線パターンの形状がメッシュパターンである場合には、線幅1μmの金属細線パターンのピッチを200μmとすることにより、開口率99%とすることができる。
金属細線パターンの開口率の下限値は、好ましくは60%以上であり、より好ましくは70%以上であり、さらに好ましくは80%以上であり、特に好ましくは90%以上である。金属細線パターンの開口率を上述の特定値以上とすることにより、導電性フィルムの透過率がより向上する傾向にある。また、金属細線パターンの開口率の上限値は、好ましくは100%未満であり、より好ましくは95%以下であり、さらに好ましくは90%以下であり、よりさらに好ましくは80%以下であり、さらにより好ましくは70%以下であり、特に好ましくは60%以下である。金属細線パターンの開口率を上述の特定値以下とすることにより、導電性フィルムの導電性がより向上する傾向にある。金属細線パターンの開口率は、金属細線パターンの形状によっても適正な値が異なる。また、金属細線パターンの開口率は、目的とする電子デバイスの要求性能(透過率及びシート抵抗)に応じて、上記上限値と下限値を適宜組み合わせることができる。
開口率=(1-金属細線パターンの占める面積/透明基材の面積)×100
開口率={開口部15の面積/パターン単位16の面積}×100
={((ピッチP1-線幅W1)×(ピッチP2-線幅W2))/(ピッチP1×ピッチP2)}×100
開口率={(ピッチP-線幅W)/ピッチP}×100
導電性フィルムのシート抵抗は、0.1Ω/sq以上500Ω/sq以下であり、好ましくは0.1Ω/sq以上200Ω/sq以下であり、より好ましくは0.1Ω/sq以上100Ω/sq以下であり、さらに好ましくは0.1Ω/sq以上20Ω/sq以下であり、よりさらに好ましくは0.1Ω/sq以上10Ω/sq以下である。シート抵抗が低いほど電力損失が抑制される傾向にある。そのため、シート抵抗の低い導電性フィルムを用いることにより、消費電力の少ない電子ペーパー、タッチパネル、及びフラットパネルディスプレイを得ることが可能となる。導電性フィルムのシート抵抗は、以下の方法により測定できる。
Rs=R/L×D
導電性フィルムの可視光透過率は、好ましくは80%以上100%以下であり、より好ましくは90%以上100%以下である。ここで、可視光透過率は、JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、その可視光(360~830nm)の範囲の透過率を算出することで測定することができる。
導電性フィルムのヘイズは、好ましくは0.01%以上5.00%以下である。ヘイズの上限はより好ましくは、3.00%以下、さらに好ましくは1.00%以下である。ヘイズの上限が5.00%以下であれば、可視光に対する導電性フィルムの曇りを十分に低減できる。本明細書におけるヘイズは、JIS K 7136:2000のヘイズに準拠して測定することができる。
透明基材の「透明」とは、可視光透過率が、好ましくは80%以上であることをいい、より好ましくは90%以上であることをいい、さらに好ましくは95%以上であることをいう。ここで、可視光透過率は、JIS K 7361-1:1997に準拠して測定することができる。
第3実施形態の導電性フィルムは、透明基材と導電部の間に中間層を有していてもよい。該中間層は、透明基材と導電部の金属細線との密着性の向上に寄与しうる。
第3実施形態の導電性フィルムの製造方法は、特に制限されないが、例えば、透明基材上に金属成分を含むインクを用いてパターンを形成するパターン形成工程と、該パターンを焼成して金属細線を形成する焼成工程と、を有する方法が挙げられる。また、第3実施形態の導電性フィルムの製造方法は、パターン形成工程に先立ち、透明基材の表面に中間層を形成する中間層形成工程を含んでもよい。
中間層形成工程は、透明基材の表面に中間層を形成する工程である。中間層の形成方法としては、特に制限されないが、例えば、物理蒸着法(PVD)、化学蒸着法(CVD)などの気相成膜法により、透明基材表面に蒸着膜を形成する方法;透明基材表面に中間層形成用組成物を塗布し、乾燥することで塗膜を形成する方法が挙げられる。
パターン形成工程は、金属成分を含むインクを用いてパターンを形成する工程である。パターン形成工程は、所望の金属細線パターンの溝を有する版を用いる有版印刷方法であれば特に限定されないが、例えば、転写媒体表面にインクをコーティングする工程と、インクをコーティングした転写媒体表面と、凸版の凸部表面とを対向させて、押圧、接触して、凸版の凸部表面に転写媒体表面上のインクを転移させる工程と、インクをコーティングした転写媒体表面と透明基材の表面とを対向させて、押圧、接触して、転写媒体表面に残ったインクを透明基材の表面に転写する工程とを有する。なお、透明基材に中間層が形成されている場合には、中間層表面にインクが転写される。
上記パターン形成工程に用いられるインクは、導電性金属原子Mを含有する金属成分と溶剤を含み、必要に応じて、界面活性剤、分散剤、還元剤等を含んでもよい。金属成分は、金属粒子としてインクに含まれていてもよいし、金属錯体としてインクに含まれていてもよい。
焼成工程は、パターンを焼成して金属細線を形成する工程であり、これにより、インクを塗布したパターンと同様の金属細線パターンを有する導電部を得ることができる。焼成は、金属成分が融着して、金属成分焼結膜を形成することができる方法であれば特に制限されない。焼成は、例えば、焼成炉で行ってもよいし、プラズマ、加熱触媒、紫外線、真空紫外線、電子線、赤外線ランプアニール、フラッシュランプアニール、レーザーなどを用いて行ってもよい。得られる焼結膜が酸化されやすい場合には、非酸化性雰囲気中において焼成することが好ましい。また、インクに含まれ得る還元剤のみで金属酸化物等が還元されにくい場合には、還元性雰囲気で焼成することが好ましい。
第1実施形態~第3実施形態の導電性フィルムロールは、上記第1実施形態~第3実施形態の導電性フィルムを捲回してなるものである。導電性フィルムロールは、中心部に、導電性フィルムを巻き付けるための巻芯を有してもよい。第1実施形態~第3実施形態の導電性フィルムロールは、所望の用途(例えば、電子ペーパー、タッチパネル、フラットパネルディスプレイ等)に応じて適切なサイズに切断されて用いられる。
第1実施形態~第3実施形態の電子ペーパーは、上記導電性フィルムを備えるものであれば特に制限されない。図8に、第1実施形態~第3実施形態の導電性フィルム(メッシュパターン)を備える電子ペーパーの一態様を表す上面図を示し、図9に第1実施形態~第3実施形態の電子ペーパーのV-V’の部分断面図を示し、図10に、図8と同じ開口率を有し、金属細線の線幅が太い、従来の導電性フィルムを備える電子ペーパーの一態様を表す上面図を示す。
第1実施形態~第3実施形態のタッチパネルは、上記導電性フィルムを備えるものであれば特に制限されない。図11に、第1実施形態~第3実施形態の導電性フィルム(ラインパターン)を備えるタッチパネルの一態様を表す斜視図を示す。静電容量方式のタッチパネル30においては、絶縁体31の表裏面に2枚の導電性フィルム10が存在し、2枚の導電性フィルム10は、ラインパターンが交差するように対向する。また、導電性フィルム10は、取り出し電極32を有していてもよい。取り出し電極32は、金属細線14と、金属細線14への通電切り替えを行うためのコントローラー33(CPU等)とを接続する。
第1実施形態~第3実施形態のフラットパネルディスプレイは、上記導電性フィルムを備えるものであれば特に制限されない。
以下、第1実施形態に関する実施例A及び比較例Aについて、具体的に説明する。
ポリエチレンテレフタレート(PET)を透明基材として用いて、その上に酸化ケイ素ナノ粒子と導電性の有機シラン化合物を含む中間層形成組成物を塗布し、乾燥して、帯電防止機能を有する厚み150nm、体積抵抗率5000Ωcmの酸化ケイ素を含有した中間層を形成することにより透明基材A1を得た。なお、透明基材A1は、透明基材であるPET上に中間層が積層した形態である。
透明基材A1の調製のために用いたPETを透明基材A2とした。
[インクA1]
酸化銅ナノ粒子(CIKナノテック社製 酸化第二銅微粒子)20質量部と、分散剤(ビッグケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、有機溶剤(n-ブタノール、及び2-プロピレングリコール)75質量部とを混合し、酸化銅ナノ粒子が分散したインクA1を調製した。
[インクA2]
粒子径21nmの酸化第一銅ナノ粒子20質量部と、分散剤(ビッグケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、エタノール75質量部とを混合し、酸化第一銅ナノ粒子の含有割合が20質量%のインクA2を調製した。
[インクA3]
インクA1の100質量部に対してオルガノポリシロキサンを5.0質量部添加したインクA3を調製した。
《導電性フィルムの製造》
先ず転写媒体表面にインクA1を塗布し、次いでインクA1が塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクA1を転移させた。その後、残ったインクA1がコーティングされた転写媒体表面と透明基材A1とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材A1の上に所望の金属細線パターン状のインクA1を転写させた。次いで、NovaCentrix社製Pulseforge1300を用いて室温環境下で金属細線パターン状のインクA1(分散体塗布膜)をフラッシュランプアニールにより焼成し、表1に示す線幅と厚さのメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。
[実施例A:シート抵抗]
得られた導電性フィルムのシート抵抗Rs0(Ω/sq)を以下の方法により測定した。先ず、導電性フィルムの金属細線パターンが全面に配された部分から100mm四方の測定サンプルを切り出した。次いで、得られた測定サンプルの表面の幅方向の両端部にスクリーン印刷装置を用いて銀ペーストを塗布、乾燥し、図13に示すように、幅10mm×奥行100mmの長尺な集電部を形成した。次いで、サンプル両端部の電気抵抗R(Ω)を、オームメーターの測定端子を接触させる2端子法により測定した。得られた電気抵抗から下記式を用いてシート抵抗Rs0(Ω/sq)を算出した。結果を下記表1に示す。なお、表面に保護層を有する導電フィルムのシート抵抗は、金属細線パターンのうち、集電部を露出させ、その他の金属細線パターンが保護層で被覆された導電性フィルムを作製し、測定を行った。具体的には、上述の方法で形成した集電部にマスキングを行い、保護層を形成し、最後にマスキングを除去することで、集電部のみが露出した導電性フィルムを作製した。
Rs0=R/L×D
L:80(mm) :集電部間の距離
D:100(mm):奥行方向の距離
JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、360~830nmの波長を有する可視光の透過率を算出することにより、導電性フィルムの可視光透過率を測定した。また、JIS K 7136:2000に準拠して導電性フィルムのヘイズを測定した。結果を下記表1に示す。
得られた導電性フィルムを支持体であるエポキシ樹脂に包埋し、ウルトラミクロトームを用いて金属細線の延伸方向に直交する金属細線の面で切断して、厚さ80nmの薄切片を形成した。得られた薄切片を測定サンプルとして、下記条件にて電子線を照射することにより、STEM-EDX分析を行った。
STEM:日立ハイテクノロジーズ社製、走査型透過電子顕微鏡 HD―2300A
EDX:EDAX社製、エネルギー分散型X線分析装置、GENESIS
加速電圧:200kV
測定倍率:25,000倍
電子線入射角度:90°
X線取出角度:18°
マッピング元素:Cu、Ag、Si
積算回数:200回
dwell time:200μsec.
解像度:256×200ピクセル
導電性フィルムの可撓性を評価するために、繰り返し屈曲性試験前後におけるシート抵抗変化率(%)を測定した。繰り返し屈曲性試験は、シート抵抗測定に用いた導電性フィルムを用いて、屈曲性試験機として井本製作所社製フィルム曲げ試験機(IMC-1304)を用いてでJIS C 5016:1994に準拠して、以下の条件によって測定した。なお、可撓性に乏しい場合は、金属細線が断線等することにより、シート抵抗の変化率が大きくなり、可撓性に優れる場合には、シート抵抗の変化率が小さくなる。
曲げ半径:5mm
試験ストローク:20mm
屈曲速度:90rpm
屈曲回数:10,000回
次いで、繰り返し屈曲性試験後の導電性フィルムのシート抵抗Rs1(Ω/sq)を測定して、次式にてシート抵抗変化率を算出した。
(シート抵抗変化率)=Rs1/Rs0×100
金属細線パターンの溝を有する版、表1に示す種類のインク及び液状のオルガノポリシロキサンを含侵させた転写媒体を用いて、表1に示す種類の透明基材の上にメッシュパターンの分散体塗布膜を形成した。次いで、NovaCentrix社製Pulseforge1300を用いて室温環境下で分散体塗布膜をフラッシュランプアニールにより焼成し、表1に示す線幅と厚さのメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。得られた導電性フィルムの各種特性を表1に示す。
インクA2を用い、フラッシュランプアニールの代わりにプラズマにより焼成及び還元した他は実施例A1と同様にして、表1に示す線幅と厚さのメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。得られた導電性フィルムの各種特性を表1に示す。
金属細線パターンの溝を有する版及び表1に示す種類のインクを用いて、表1に示す種類の透明基材の上にメッシュパターンの分散体塗布膜を形成した。次いで、NovaCentrix社製Pulseforge1300を用いて室温環境下で分散体塗布膜をフラッシュランプアニールにより焼成し、表1に示す線幅と厚さのメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。得られた導電性フィルムの各種特性を表1に示す。
以下、第1実施形態に関する実施例A’及び比較例A’について、具体的に説明する。
[透明基材A’1の調製]
ポリエチレンテレフタレート(PET)を透明基材として用いて、その上にスパッタリング法により酸化ケイ素を含有した厚み50nmの中間層を成膜することにより透明基材A’1を得た。なお、透明基材A’1は、透明基材であるPET上に中間層が積層した形態である。
PETを透明基材として用いて、その上に酸化ケイ素のナノ粒子が分散した中間層形成組成物を塗布し、乾燥して、帯電防止機能を有する厚み150nm、体積抵抗率5000Ωcmの酸化ケイ素を含有した中間層を形成することにより透明基材A’2を得た。なお、透明基材A’2は、透明基材であるPET上に中間層が積層した形態である。
有機基材として、PETの代わりにポリエチレンナフタレート(PEN)を用いた以外は、透明基材A’2の調製方法と同様にして中間層を有する透明基材A’3を調製した。なお、透明基材A’3は、透明基材であるPEN上に中間層が積層した形態である。
透明基材A’1の調製のために用いたPETを透明基材A’4とした。
[インクA’1]
酸化銅ナノ粒子(CIKナノテック社製 酸化第二銅微粒子)20質量部と、分散剤(ビッグケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、有機溶剤(n-ブタノール、及び2-プロピレングリコール)75質量部とを混合し、酸化銅ナノ粒子が分散したインクA’1を調製した。
DIC社製銀ナノインク(RAGT-29)100質量部にエタノールを50質量部添加し、インクA’2を調製した。
《導電性フィルムの製造》
先ず転写媒体表面にインクA’1を塗布し、次いでインクA’1が塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクA’1を転移させた。その後、残ったインクA’1がコーティングされた転写媒体表面と透明基材A’1とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材A’1の上に所望の金属細線パターン状のインクA’1を転写させた。次いで、NovaCentrix社製Pulseforge1300を用いて室温環境下で金属細線パターン状のインクA’1(分散体塗布膜)をフラッシュランプアニールにより焼成し、表2に示す線幅のメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。
実施例A’のシート抵抗、可視光透過率及びヘイズ、金属細線断面のSTEM-EDX分析、並びに可撓性の測定については、実施例Aに記載の方法と同様の方法により行った。
金属細線パターンの溝を有する版及び表2に示す種類のインクを用いて、表2に示す種類の透明基材の上にメッシュパターンの分散体塗布膜を形成した。次いで、NovaCentrix社製Pulseforge1300を用いて室温環境下で分散体塗布膜をフラッシュランプアニールにより焼成し、表2に示す線幅のメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。得られた導電性フィルムの各種特性を表2に示す。
金属細線パターンの溝を有する版、表2に示す種類のインク及び液状のオルガノポリシロキサンを含侵させた転写媒体を用いて、表2に示す種類の透明基材の上にメッシュパターンの分散体塗布膜を形成した。次いで、NovaCentrix社製Pulseforge1300を用いて室温環境下で分散体塗布膜をフラッシュランプアニールにより焼成し、表2に示す線幅のメッシュパターンの金属細線を含む導電性フィルムを得た。得られた導電性フィルムの各種特性を表2に示す。
以下、第2実施形態に関する実施例B及び比較例Bについて、具体的に説明する。
[透明基材B1の調製]
ポリエチレンテレフタレート(PET)を透明基材として用いて、その上に酸化ケイ素ナノ粒子と導電性の有機シラン化合物を含む中間層形成組成物を塗布し、乾燥して、帯電防止機能を有する厚み150nm、体積抵抗率5000Ωcmの酸化ケイ素を含有した中間層を形成することにより透明基材B1を得た。
[インクB1]
酸化銅ナノ粒子(CIKナノテック社製 酸化第二銅微粒子)20質量部と、分散剤(ビックケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、有機溶剤(n-ブタノール、及び2-プロピレングリコール)75質量部とを混合し、酸化銅ナノ粒子が分散したインクB1を調製した。
市販の酸化銀ナノ粒子20質量部と、分散剤(ヒドロキシプロピルセルロース)5質量部と、有機溶剤(セカンダリブチルアルコール)75質量部とを混合し、酸化銀ナノ粒子が分散したインクB2を調製した。
《導電性フィルムの製造》
先ず転写媒体表面にインクB1を塗布し、次いでインクB1が塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクB1を転移させた。その後、残ったインクB1がコーティングされた転写媒体表面と透明基材B1とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材B1の上に所望の金属細線パターン状のインクB1を転写させた。次いで、市販の赤外線オーブンを用いて、インクB1のパターンに対して以下の条件で焼成を施し、金属細線表面側の酸化銅の還元を促進することによって、透明基材B1との界面側に酸素原子Oを偏在させた線幅1μmのメッシュパターンの金属細線を有する導電性フィルムを得た。
熱源:赤外線ランプ
照射温度:180℃
照射時間:220min
環境:水素含有窒素雰囲気
[実施例B:シート抵抗]
得られた導電性フィルムのシート抵抗Rs0(Ω/sq)を以下の方法により測定した。先ず、導電性フィルムの金属細線パターンが全面に配された部分から100mm四方の測定サンプルを切り出した。次いで、得られた測定サンプルの表面の幅方向の両端部にスクリーン印刷装置を用いて銀ペーストを塗布、乾燥し、図13に示すように幅10mm×奥行100mmの長尺な集電部を形成した。次いで、サンプル両端部の集電部間の電気抵抗R(Ω)を、オームメーターの測定端子を接触させる2端子法により測定した。得られた電気抵抗から下記式を用いてシート抵抗Rs0(Ω/sq)を算出した。なお、表面に保護層を有する導電フィルムのシート抵抗は、金属細線パターンのうち、集電部を露出させ、その他の金属細線パターンが保護層で被覆された導電性フィルムを作製し、測定を行った。具体的には、上述の方法で形成した集電部にマスキングを行い、保護層を形成し、最後にマスキングを除去することで、集電部のみが露出した導電性フィルムを作製した。結果を下記表3に示す。
Rs0=R/L×D
L:80(mm) :集電部間の距離
D:100(mm):奥行方向の距離
JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、360~830nmの波長を有する可視光の透過率を算出することにより、導電性フィルムの可視光透過率を測定した。また、JIS K 7136:2000に準拠して導電性フィルムのヘイズを測定した。結果を下記表3に示す。
得られた導電性フィルムを支持体であるエポキシ樹脂に包埋し、ウルトラミクロトームを用いて金属細線の延伸方向に直交する面で切断して、厚さ80nmの薄切片を形成した。得られた薄切片を測定サンプルとして、下記条件にて電子線を照射することにより、STEM-EDX分析を行った。
STEM:日立ハイテクノロジーズ社製、走査型透過電子顕微鏡 HD―2300A
EDX :EDAX社製、エネルギー分散型X線分析装置、GENESIS
加速電圧:200kV
測定倍率:25,000倍
電子線入射角度:90°
X線取出角度 :18°
マッピング元素:Cu、Ag、O
積算回数:200回
dwell time:200μsec.
解像度 :256×200ピクセル
表3に示すように、透明基材、インク、線幅、及び焼成条件等をそれぞれ変更したこと以外は、実施例B1と同様の操作により導電性フィルムを作製し、評価を行った。結果を下記表3に示す。
以下、第2実施形態に関する実施例B’及び比較例B’について、具体的に説明する。
[透明基材B’1の調製]
ポリエチレンテレフタレート(PET)を透明基材として用いて、その上に酸化ケイ素のナノ粒子が分散した中間層形成組成物を塗布し、乾燥して、厚み150nm、体積抵抗率5000Ωcmの酸化ケイ素を含有した中間層を形成することにより透明基材B’1を得た。
[インクB’1]
酸化銅ナノ粒子(CIKナノテック社製 酸化第二銅微粒子)20質量部と、分散剤(ビックケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、有機溶剤(n-ブタノール、及び2-プロピレングリコール)75質量部とを混合し、酸化銅ナノ粒子が分散したインクB’1を調製した。
市販の酸化銀ナノ粒子20質量部と、分散剤(ヒドロキシプロピルセルロース)5質量部と、有機溶剤(セカンダリブチルアルコール)75質量部とを混合し、酸化銀ナノ粒子が分散したインクB’2を調製した。
《導電性フィルムの製造》
先ず転写媒体表面にインクB’1を塗布し、次いでインクB’1が塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクB’1を転移させた。その後、残ったインクB’1がコーティングされた転写媒体表面と透明基材B’1とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材B’1の上に所望の金属細線パターン状のインクB’1を転写させた。次いで、市販の赤外線オーブンを用いて、インクB’1のパターンに対して以下の条件で焼成を施し、金属細線表面側の酸化銅の還元を促進することによって、透明基材B’1との界面側に酸素原子Oを偏在させた線幅1μmのメッシュパターンの金属細線を有する導電性フィルムを得た。
熱源:赤外線ランプ
照射温度:180℃
照射時間:220min
環境:水素含有窒素雰囲気
実施例B’のシート抵抗、可視光透過率及びヘイズ、金属細線断面のSTEM-EDX分析の測定については、実施例Bに記載の方法と同様の方法により行った。
表4に示すように、透明基材、インク、線幅、及び焼成条件等をそれぞれ変更したこと以外は、実施例B’1と同様の操作により導電性フィルムを作製し、評価を行った。結果を下記表4に示す。
以下、第3実施形態に関する実施例C及び比較例Cについて、具体的に説明する。
[透明基材C1の調製]
ポリエチレンテレフタレート(PET)を透明基材として用いて、その上に酸化ケイ素ナノ粒子と導電性の有機シラン化合物を含む中間層形成組成物を塗布し、乾燥して、帯電防止機能を有する厚み150nm、体積抵抗率5000Ωcmの酸化ケイ素を含有した中間層を形成することにより透明基材C1を得た。
PETに代えてポリエチレンナフタレート(PEN)を透明基材として用いたこと以外は、透明基材C1の調製方法と同様の方法により、透明基材C2を得た。
[インクC1]
酸化銅ナノ粒子(CIKナノテック社製 酸化第二銅微粒子)20質量部と、分散剤(ビッグケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、有機溶剤(n-ブタノール、及び2-プロピレングリコール)75質量部とを混合し、酸化銅ナノ粒子が分散したインクC1を調製した。
DIC社製銀ナノインク(RAGT-29)100質量部にエタノールを50質量部添加し、インクC2を調製した。
《導電性フィルムの製造》
先ず転写媒体表面にインクC1を塗布し、次いでインクC1が塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクを転移させた。その後、残ったインクC1がコーティングされた転写媒体表面と透明基材C1とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材C1の上に所望の金属細線パターン状のインクC1を転写させた。次いで、インクC1のパターンに対して以下の条件で還元性ガス雰囲気下にて加熱焼成を施し、線幅1μmのメッシュパターンの金属細線を有する導電性フィルムを得た。
・環境:ヘリウム-水素ガス雰囲気下
・加熱温度:100℃
・加熱時間:60分
[実施例C:シート抵抗]
得られた導電性フィルムのシート抵抗Rs0(Ω/sq)を以下の方法により測定した。先ず、導電性フィルムの金属細線パターンが全面に配された部分から100mm四方の測定サンプルを切り出した。次いで、得られた測定サンプルの表面の幅方向の両端部にスクリーン印刷装置を用いて銀ペーストを塗布、乾燥し、図13に示すように幅10mm×奥行100mmの長尺な集電部を形成した。次いで、サンプル両端部の集電部間の電気抵抗R(Ω)を、オームメーターの測定端子を接触させる2端子法により測定した。得られた電気抵抗から下記式を用いてシート抵抗Rs0(Ω/sq)を算出した。なお、表面に保護層を有する導電フィルムのシート抵抗は、金属細線パターンのうち、集電部を露出させ、その他の金属細線パターンが保護層で被覆された導電性フィルムを作製し、測定を行った。具体的には、上述の方法で形成した集電部にマスキングを行い、保護層を形成し、最後にマスキングを除去することで、集電部のみが露出した導電性フィルムを作製した。結果を下記表5に示す。
Rs0=R/L×D
L:80(mm) :集電部間の距離
D:100(mm):測定サンプルの奥行
JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、360~830nmの波長を有する可視光の透過率を算出することにより、導電性フィルムの可視光透過率を測定した。また、JIS K 7136:2000に準拠して導電性フィルムのヘイズを測定した。結果を下記表5に示す。
得られた導電性フィルムを、収束イオンビーム(FIB)を用いて金属細線の延伸方向に直交する金属細線の断面を含む、厚さ200nm以下の薄切片を作製した。得られた薄切片をシリコンの試料台の先端に取り付け、測定サンプルとして下記条件にてSTEM-EDX測定を行った。
STEM:日立ハイテクノロジーズ社製、走査型透過電子顕微鏡 HD―2300A
EDX :EDAX社製、エネルギー分散型X線分析装置、GENESIS
加速電圧:200kV
測定倍率:25,000倍
電子線入射角度:90°
X線取出角度 :18°
マッピング元素:Cu、Ag、C、O
積算回数:200回
dwell time:200μsec.
解像度 :256×200ピクセル
得られた導電性フィルムに対し、180°ピール試験法によって、透明基材に対する金属細線の密着性を評価した。具体的には、得られた導電性フィルムの金属細線部(導電部)に対し、株式会社テラオカ社製カプトン粘着テープ650Sを貼り付け、一方の端部を導電性フィルムから剥がし、180°折り返した状態でテープを剥離した。テープ剥離後の透明基材表面を観察し、透明基材上に金属細線が残っている場合は良好な密着性を有していると判断した。なお、良好な密着性を有している場合はA、一部の金属細線の剥離が認められる場合はBと記した。結果を下記表5に示す。
表5に示すように、透明基材、インク及び焼成条件等をそれぞれ変更したこと以外は、実施例C1と同様の操作により導電性フィルムを作製した。その条件を下記表5に示す。また、作製した導電性フィルムの評価を行った結果を下記表5に示す。
以下、第3実施形態に関する実施例C’及び比較例C’について、具体的に説明する。
[透明基材C’1の調製]
ポリエチレンテレフタレート(PET)を透明基材として用いて、PET上にスパッタリング法を用いて、厚み50nmの酸化ケイ素層を中間層として製膜した、透明基材C’1を得た。
PETに代えてポリエチレンナフタレート(PEN)を透明基材として用いたこと以外は、透明基材C’1の調製方法と同様の方法により、透明基材C’2を得た。
[インクC’1]
酸化銅ナノ粒子(CIKナノテック社製 酸化第二銅微粒子)20質量部と、分散剤(ビッグケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、有機溶剤(n-ブタノール、及び2-プロピレングリコール)75質量部とを混合し、酸化銅ナノ粒子が分散したインクC’1を調製した。
DIC社製銀ナノインク(RAGT-29)100質量部にエタノールを50質量部添加し、インクC’2を調製した。
《導電性フィルムの製造》
先ず転写媒体表面にインクC’1を塗布し、次いでインクC’1が塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクを転移させた。その後、残ったインクC’1がコーティングされた転写媒体表面と透明基材C’1とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材C’1の上に所望の金属細線パターン状のインクC’1を転写させた。次いで、インクC’1のパターンに対して以下の条件で還元性ガス雰囲気下にて加熱焼成を施し、線幅1μmのメッシュパターンの金属細線を有する導電性フィルムを得た。
・環境:ヘリウム-水素ガス雰囲気下
・加熱温度:100℃
・加熱時間:60分
実施例C’のシート抵抗、可視光透過率及びヘイズ、金属細線断面のSTEM-EDX分析、並びに密着性の測定については、実施例Cに記載の方法と同様の方法により行った。
表6に示すように、透明基材、インク及び焼成条件等をそれぞれ変更したこと以外は、実施例C1と同様の操作により導電性フィルムを作製した。その条件を下記表6に示す。また、作製した導電性フィルムの評価を行った結果を下記表6に示す。
以下、第2実施形態及び第3実施形態に関する実施例D及び比較例Dについて、具体的に説明する。
[透明基材D1の調製]
PETを透明基材として用いて、その上に酸化ケイ素ナノ粒子と導電性の有機シラン化合物を含む中間層形成組成物を塗布し、乾燥して、帯電防止機能を有する厚み150nm、体積抵抗率5000Ωcmの酸化ケイ素を含有した中間層を形成することにより透明基材D1を得た。なお、透明基材D1は、透明基材であるPET上に中間層が積層した形態である。
[インクD1]
粒子径21nmの酸化第一銅ナノ粒子20質量部と、分散剤(ビッグケミー社製、製品名:Disperbyk-145)4質量部と、界面活性剤(セイミケミカル社製、製品名:S-611)1質量部と、エタノール75質量部とを混合し、酸化第一銅ナノ粒子の含有割合が20質量%のインクD1を調製した。
《導電性フィルムの調製》
先ず転写媒体表面にインクD1を塗布し、次いでインクが塗布された転写媒体表面と金属細線パターンの溝を有する版を対向させて、押圧、接触して、版の凸部表面に転写媒体表面上の一部のインクを転移させた。その後、残ったインクがコーティングされた転写媒体表面と透明基材とを対向させて、押圧、接触させ、透明基材の上に所望の金属細線パターン状のインクD1を転写させた。次いで、インクD1のパターンに対してプラズマ焼成装置を用いて表7に記載の条件で還元し、線幅1μmのメッシュパターンの金属細線を有する導電性フィルムを得た。
[実施例D:シート抵抗]
得られた導電性フィルムのシート抵抗Rs0(Ω/sq)を以下の方法により測定した。先ず、導電性フィルムの金属細線パターンが全面に配された部分から100mm四方の測定サンプルを切り出した。次いで、得られた測定サンプルの表面の幅方向の両端部にスクリーン印刷装置を用いて銀ペーストを塗布、乾燥し、図13に示すように幅10mm×奥行100mmの長尺な集電部を形成した。次いで、サンプル両端部の集電部間の電気抵抗R(Ω)を、オームメーターの測定端子を接触させる2端子法により測定した。得られた電気抵抗から下記式を用いてシート抵抗Rs0(Ω/sq)を算出した。なお、表面に保護層を有する導電フィルムのシート抵抗は、金属細線パターンのうち、集電部を露出させ、その他の金属細線パターンが保護層で被覆された導電性フィルムを作製し、測定を行った。具体的には、上述の方法で形成した集電部にマスキングを行い、保護層を形成し、最後にマスキングを除去することで、集電部のみが露出した導電性フィルムを作製した。結果を下記表7に示す。
Rs0=R/L×D
L:80(mm) :集電部間の距離
D:100(mm):測定サンプルの奥行
JIS K 7361-1:1997の全光線透過率に準拠して、360~830nmの波長を有する可視光の透過率を算出することにより、導電性フィルムの可視光透過率を測定した。また、JIS K 7136:2000に準拠して導電性フィルムのヘイズを測定した。結果を下記表7に示す。
得られた導電性フィルムを、収束イオンビーム(FIB)を用いて金属細線の延伸方向に直交する金属細線の断面を含む、厚さ200nm以下の薄切片を作製した。得られた薄切片をシリコンの試料台の先端に取り付け、測定サンプルとして下記条件にてSTEM-EDX測定を行った。
STEM:日立ハイテクノロジーズ社製、走査型透過電子顕微鏡 HD―2300A
EDX :EDAX社製、エネルギー分散型X線分析装置、GENESIS
加速電圧:200kV
測定倍率:25,000倍
電子線入射角度:90°
X線取出角度 :18°
マッピング元素:Cu、C、O
積算回数:200回
dwell time:200μsec.
解像度 :256×200ピクセル
得られた導電性フィルムに対し、180°ピール試験法によって、透明基材に対する金属細線の密着性を評価した。具体的には、得られた導電性フィルムの金属細線部(導電部)に対し、株式会社テラオカ社製カプトン粘着テープ650Sを貼り付け、一方の端部を導電性フィルムから剥がし、180°折り返した状態でテープを剥離した。テープ剥離後の透明基材表面を観察し、剥離がない場合をA、一部の金属細線の剥離が認められる場合をB、全ての金属細線が剥離した場合をCと判断した。結果を下記表7に示す。
表7に示すように、透明基材、インク、線幅、及び焼成条件をそれぞれ変更したこと以外は、実施例D1と同様の操作により導電性フィルムを作製し、評価を行った。結果を下記表7に示す。
11…透明基材
12…金属細線パターン
13…導電部
14…金属細線
15…開口部
16…パターン単位
20…電子ペーパー
21…カップ
22…黒顔料
23…白顔料
24…ボトム電極
30…タッチパネル
31…絶縁体
32…取り出し電極
33…コントローラー
Claims (32)
- 透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、
前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、
該金属細線が、導電性金属原子Mとケイ素原子Siとを含み、
前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の最大厚さをTとしたとき、前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.90Tの厚さ領域における、前記導電性金属原子Mに対する前記ケイ素原子Siの原子%比Si/M0.10~0.90が、0.001以上0.070以下である、
導電性フィルム。 - 前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.25Tの厚さ領域における原子%比Si/M0.10~0.25が、0.001以上0.070以下である、
請求項1に記載の導電性フィルム。 - 前記透明基材側の前記金属細線界面から0.75T~0.90Tの厚さ領域における原子%比Si/M0.75~0.90が、0.001以上0.070以下である、
請求項1又は2に記載の導電性フィルム。 - 前記導電性金属原子Mが、金、銀、銅及びアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を含む、
請求項1~3のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記透明基材と前記導電部の間に中間層を有する、
請求項1~4のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記中間層が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、
請求項5に記載の導電性フィルム。 - 透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、
前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、
該金属細線が、導電性金属原子Mと酸素原子Oとを含み、
前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の厚さをTとしたとき、前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.90Tまでの厚さ領域における前記導電性金属原子Mに対する前記酸素原子Oの原子%比O/M0.10~0.90が、0.01以上1.00以下である、
導電性フィルム。 - 前記金属細線中の原子%比O/Mが、前記透明基材側から前記金属細線の厚み方向に向かって漸減する、
請求項7に記載の導電性フィルム。 - 前記透明基材側の前記金属細線界面から0.75T~0.90Tまでの厚さ領域における原子%比O/M0.75~0.90が、0.25以下である、
請求項7又は8に記載の導電性フィルム。 - 前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比O/M0.10~0.25が、0.05以上である、
請求項7~9のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記導電性金属原子Mが、銀、銅、及びアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を含む、
請求項7~10のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記金属細線が、酸化第一銅、酸化第二銅、酸化銀、及び酸化アルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属酸化物を含む、
請求項7~11のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記透明基材は前記導電部との間に中間層を有する、
請求項7~12のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記中間層が、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、
請求項13に記載の導電性フィルム。 - 前記中間層の屈折率が前記透明基材の屈折率よりも小さく、
前記透明基材側の前記金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における前記金属細線の理論屈折率が前記中間層の屈折率よりも小さい、
請求項13又は14に記載の導電性フィルム。 - 透明基材と、該透明基材の片面又は両面に配された金属細線パターンからなる導電部と、を有する導電性フィルムであって、
前記金属細線パターンが、金属細線から構成されており、
該金属細線が、導電性金属原子Mと炭素原子Cとを含み、
前記金属細線の延伸方向に直交する前記金属細線の断面のSTEM-EDX分析において、前記金属細線の厚さをTとしたとき、前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比C/M0.10~0.25が、0.3以上6.0以下であり、
前記導電性フィルムのシート抵抗が、0.1Ω/sq以上500Ω/sq以下である、
導電性フィルム。 - 該金属細線が、酸素原子Oをさらに含み、
前記透明基材側の金属細線界面から0.10T~0.25Tまでの厚さ領域における原子%比O/M0.10~0.25が、0.05以上である、
請求項16に記載の導電性フィルム。 - 前記導電性金属原子Mが、金、銀、銅及びアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種以上の金属元素を含む、
請求項16又は17に記載の導電性フィルム。 - 前記透明基材と前記導電部の間に中間層を有する、
請求項16~18のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記中間層が酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、
請求項19に記載の導電性フィルム。 - 前記金属細線の線幅が、0.1μm以上5.0μm以下である、
請求項1~20のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記金属細線のアスペクト比が、0.05以上1.00以下である、
請求項1~21のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記導電性フィルムのシート抵抗が、0.1Ω/sq以上1,000Ω/sq以下である、
請求項1~22のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記導電性フィルムの可視光透過率が、80%以上100%以下である、
請求項1~23のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記導電性フィルムのヘイズが、0.01%以上5.00%以下である、
請求項1~24のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記金属細線パターンの開口率が、80%以上100%未満である、
請求項1~25のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記金属細線パターンがメッシュパターンである、
請求項1~26のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 前記金属細線パターンがラインパターンである、
請求項1~27のいずれか一項に記載の導電性フィルム。 - 請求項1~28のいずれか一項に記載の導電性フィルムを捲回してなる、
導電性フィルムロール。 - 請求項1~28のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
電子ペーパー。 - 請求項1~28のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
タッチパネル。 - 請求項1~28のいずれか一項に記載の導電性フィルムを備える、
フラットパネルディスプレイ。
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