JP2021520516A - 放射ビームのための反射光学素子 - Google Patents
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Abstract
Description
[0001] 本願は、2018年4月24日出願の欧州出願第18169071.0号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (16)
- 放射ビームを誘導するために構成されたシステムであって、
前記放射ビームを受け取るため及び部分的に反射するために構成された、反射表面を画定する本体を伴う反射光学素子と、
第1の熱調節機構と、
第2の熱調節機構と、
コントローラと、
を備え、
前記第1の熱調節機構は、前記システムの動作使用の間、前記反射光学素子による前記放射ビームの部分的吸収によって発生した熱を、前記本体から遠くへ送達するように動作可能であり、
前記第2の熱調節機構は、前記システムの動作使用の間、前記コントローラの制御下で前記本体の変形を熱的に誘発させることを介して、前記反射表面の形状を制御するように動作可能である、
放射ビームを誘導するために構成されたシステム。 - 前記第1の熱調節機構は、前記本体を介して第1の冷却流体を送達するために構成された、少なくとも第1のチャネルを前記本体内に備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2の熱調節機構は、
前記本体を介して熱調節流体を送達するために構成された前記本体内の導管と、
第2の熱電素子と、
前記本体の表面の少なくとも一部を照射するように動作可能な光源と、
のうちの、少なくとも1つを備える、請求項1又は2に記載のシステム。 - 前記第1の熱調節機構は、前記放射ビームの部分的吸収によって発生する前記熱を前記本体の第1の部分から抽出するように動作可能であり、
前記第2の熱調節システムは、前記本体の第2の部分の変形を熱的に誘発させることを介して前記形状を制御するように動作可能であり、及び、
前記第2の部分は前記第1の部分よりも低い熱伝導率を有する、
請求項1、2、又は3に記載のシステム。 - 前記反射光学素子の前記本体は前記反射表面に隣接する以外の側面を有し、
前記本体の前記側面は、前記本体が前記熱的に誘発される変形を被っていないときに非平坦プロファイルを有し、及び、
前記側面は、前記本体の前記熱的に誘発される変形を共同決定するように構成される、
請求項1、2、3、又は4に記載のシステム。 - 前記システムは、
前記反射光学素子上に入射する前記放射ビームと、
前記反射された放射ビームと、
のうちの、少なくとも1つの特徴を感知するために構成された感知システムを含み、
前記感知システムは、前記感知された特徴を表す出力信号を前記コントローラに提供するように構成される、
請求項1、2、3、4、又は5に記載のシステム。 - 前記第1の熱調節機構を少なくとも部分的に実装するように、並びに前記第2の熱調節機構を少なくとも部分的に実装するように構成された、少なくとも1つの熱電素子を備える、請求項1、5、又は6に記載のシステム。
- 請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムに適応するレーザ。
- 請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムに適応する光増幅器。
- プラズマを作成するためにレーザビームを燃料ターゲットに案内するように構成されたビームデリバリシステムであって、前記ビームデリバリシステムは請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムを備える、ビームデリバリシステム。
- 請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムを備えるビームエキスパンダ。
- 請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムを備えるビーム圧縮器。
- 分離システムであって、
前記分離システムは、第1の波長の第1のレーザビーム、及び、前記第1の波長とは異なる第2の波長の第2のレーザビームを、共通入力において受け取るために構成され、
前記分離システムは、前記分離システムを介する前記第1のレーザビームのための第1のパス、及び、前記第1のパスとは異なる、前記分離システムを介する前記第2のレーザビームのための第2のパスを、提供するように構成され、
前記分離システムは、請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムに適応する、
分離システム。 - 前記反射光学素子はダイクロイックミラーを含む、請求項13に記載の分離システム。
- 反射光学素子と第2の熱調節システムとを備える組み合わせであって、前記組み合わせは請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムで使用するために構成される、組み合わせ。
- 放射ビームを介して基板上にパターンを結像するために構成されたリソグラフィ装置であって、前記リソグラフィ装置は請求項1、2、3、4、5、6、又は7に記載のシステムを備える、リソグラフィ装置。
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