JP2021510836A - 三次元再構成システムおよび三次元再構成方法 - Google Patents

三次元再構成システムおよび三次元再構成方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2021510836A
JP2021510836A JP2020560522A JP2020560522A JP2021510836A JP 2021510836 A JP2021510836 A JP 2021510836A JP 2020560522 A JP2020560522 A JP 2020560522A JP 2020560522 A JP2020560522 A JP 2020560522A JP 2021510836 A JP2021510836 A JP 2021510836A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
angle
rotation axis
dimensional reconstruction
stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2020560522A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7073532B2 (ja
Inventor
ル・チェン
チンゲレ・リ
ソン・ジャン
ス・リュ
ジク・ハン
Original Assignee
スカイヴァース・テクノロジー・カンパニー・リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by スカイヴァース・テクノロジー・カンパニー・リミテッド filed Critical スカイヴァース・テクノロジー・カンパニー・リミテッド
Publication of JP2021510836A publication Critical patent/JP2021510836A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7073532B2 publication Critical patent/JP7073532B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02034Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
    • G01B9/02035Shaping the focal point, e.g. elongated focus
    • G01B9/02036Shaping the focal point, e.g. elongated focus by using chromatic effects, e.g. a wavelength dependent focal point
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers
    • G01B9/02041Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
    • G01B9/02042Confocal imaging
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G01J3/50Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
    • G01J3/502Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using a dispersive element, e.g. grating, prism
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T17/00Three dimensional [3D] modelling, e.g. data description of 3D objects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/50Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Graphics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Generation (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

本発明は三次元再構成システムおよび三次元再構成方法を提供する。このシステムは、回転軸(13)を有する回転可能な回転フレーム(11)、および回転フレームに設けられたステージ(12)を含む物体搭載装置(10)と、ステージ(12)から離間して設けられ、回転フレーム(11)が対応する角度に回転するときに、ステージ(12)上の物体の反射光データを収集し、物体が対応する角度にあるときの単一視点データを取得するためのデータ収集装置(20)と、データ収集装置(20)に接続され、単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するためのデータ処理装置(30)と、を備える。このシステムでは、検出光路を変更せずに物体を回転させることによって測定し、検出光路の回転による検出効率および精度の低下が回避され、回転フレーム(11)自体の位置決め精度が高いため、高い測定精度を確保でき、頻繁な光路補正が不要となり、再構成速度が向上し、回転フレーム(11)の回転によりシステム空間が変化しないため、システムの小型化に有利である。

Description

本発明は、三次元イメージング技術分野に属し、特に、三次元再構成システムおよび三次元再構成方法に関する。
三次元再構築(「三次元再構成」とも呼ばれる)とは、データ点群を使用して三次元物体の形状分布を記述し、かつコンピュータで客観的な世界を表現するための仮想現実を作成するキーテクノロジーである。初期の三次元再構築技術は、主に、大型物体(建物、自動車など)の測定に使用されていたが、現代の科学技術および製造プロセスの発展に伴い、三次元再構築技術は、より多くの産業に適用され、例えば、小型物体の精密加工業界では、三次元再構築により、主要なプロセス効果および完成品の品質を監視し、生産コストを削減し、歩留まりを向上させる。この応用背景では、三次元再構築に対して次のような新しい要件、すなわち、第1に、人々が単位時間内にできるだけ多くの物体を検出してほしいため、検出速度を速くすること、第2に、一般的にはオンライン検出で、複雑な三次元再構成アルゴリズムにより、多くの検出を達成することが困難であるため、アルゴリズムの計算量を小さくすること、第3に、加工精度が精密加工の重要なパラメータであり、加工効果の検出にも高精度が求められるため、検出精度を高くすることは、求められる。
既存の三次元再構成技術には、主に接触と非接触の2種類が含まれ、そのうち、接触検出は、主にプローブを用いて物体の表面を走査して三次元形状を収集するものであり、コストが高く、時間がかかり、しかも表面にダメージを与える可能性があるため、サンプリング検出にのみ使用でき、品質監視には適していない、非接触検出は、主に共焦点、レーザー走査、焦点形状の復元、白色光干渉などを含む光学的方法によって達成され、光学的方法は、非破壊、高速や低コストなどの利点があり、製品のオンライン品質監視に有利である。しかしながら、既存の光学的検出方法では、多くの精密加工プロセスの効果を監視するための検出速度の要件を依然として満たすことができず、その応用が制限される。
本発明は、従来の光学的三次元再構成方法の検出速度が遅いという技術的問題を解決するために、三次元再構成システムおよび三次元再構成方法を提供することを目的とする。
上記の技術的問題を解決するために、本発明の実施例によって採用される技術的解決手段は以下のとおりである。
第1態様では、本発明は次のように実現され、三次元再構成システムであって、
回転軸を有する回転可能な回転フレーム、および前記回転フレームに設けられたステージを含む物体搭載装置と、
前記ステージから離間して設けられ、前記回転フレームが対応する角度に回転するときに、前記ステージにある物体の反射光データを収集し、前記物体が対応する角度にあるときの単一視点データを取得するためのデータ収集装置と、
前記データ収集装置に接続され、前記単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するためのデータ処理装置と、を備える。
さらに、前記データ収集装置は、分散型共焦点データ収集装置であり、収集された前記反射光データが反射スペクトルデータである。
さらに、前記三次元再構成システムは、回転軸補正面をさらに備え、前記データ収集装置はさらに、前記回転軸補正面からの反射信号を収集して反射データを取得するために使用され、前記データ処理装置はさらに、前記反射データに基づいて回転軸位置を計算し、かつ前記回転軸位置に基づいて前記再構成アルゴリズムを補正するために使用される。
さらに、前記回転軸補正面は、ステージに設けられる。
さらに、前記回転軸補正面は、拡散反射面である。
さらに、前記回転軸の初期方向は、前記データ収集装置の収集光路に対して垂直である。
さらに、前記物体搭載装置は、水平並進ステージをさらに含み、前記データ収集装置は、直立昇降ステージ、および前記直立昇降ステージに設けられたカメラを含み、
前記回転フレームは、前記水平並進ステージに設けられ、
前記データ収集装置は、前記ステージに対して前記データ収集装置の高さが調整可能となるように、前記直立昇降ステージに設けられ、
前記回転軸の初期方向は、前記水平並進ステージと平行であり、
前記データ収集装置の収集光路は、前記水平並進ステージに対して垂直である。
さらに、前記カメラは、少なくとも広スペクトル光源、分散レンズおよび検出器を含み、前記広スペクトル光源、分散レンズおよび検出器が分散共焦点法に基づいて単一視点データを取得し、前記データ処理装置は、異なる視点からの前記単一視点データおよび異なる視点からの変換行列に基づいて三次元再構成を実行する。
第2態様では、三次元再構成方法は、上記の三次元再構成システムに基づいて実行され、S1、前記回転フレームの回転により、前記ステージにある物体を回転させるステップと、
S2、前記データ収集装置により、物体が対応する角度に回転するときの反射光データを収集して単一視点データを取得するステップと、
S3、前記データ処理装置により、異なる角度の前記単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するステップと、を含む。
さらに、前記ステップS2は、具体的には、
分散共焦点法に基づき、広スペクトル光源を用いて前記物体を照射し、前記物体が異なる視点にあるときの単一視点データを収集するステップである。
さらに、前記分散共焦点法は、
広スペクトル光源により、広スペクトルビームを放射し、かつ線形検出光を形成するステップと、
分散レンズにより、前記検出光を前記物体の表面に投射するステップと、
前記物体を並進させて物体の表面への走査を完了するステップと、
検出器により、前記物体によって反射された前記検出光の反射光データを収集し、前記反射光データを処理して前記単一視点データを取得するステップと、を少なくとも含む。
さらに、前記ステップS3は、具体的には、前記データ処理装置により、異なる視点からの単一視点データを予め設定された対応する視点の変換行列に適用し、三次元データ点群のスティッチングを実行し、三次元再構成画像を取得するステップである。
さらに、前記ステップS1の前に、さらに、
前記回転フレームの回転軸位置を測定し、前記回転軸位置の測定データに基づいて前記再構成アルゴリズムを補正するステップS0を含む。
さらに、前記ステップS0は、
前記ステージに回転軸補正面を設けることと、
前記回転フレームにある回転軸補正面を現在の位置に基づいて第1角度および第2角度で順次回転させ、システムの初期座標系における前記回転軸補正面の回転しないときの初期位置データ、第1角度にある時の第1角度データ、および第2角度にある時の第2角度データを取得することと、
前記第1角度データ、第2角度データおよび初期位置データに基づき、回転軸位置を計算することと、
前記回転軸位置を補正前の再構成アルゴリズムに組み込み、補正後の再構成アルゴリズムを形成することと、を含む。
さらに、前記第1角度データ、第2角度データおよび初期位置データに基づき、回転軸位置を計算するステップは、具体的には、
前記初期位置データに対応する初期平面と、第1角度データに対応する第1平面との間の第1角度の二等分面を計算し、前記初期平面と第2角度データに対応する第2平面との間の第2角度の二等分面を計算し、第1角度の二等分面と第2角度の二等分面との交差線を回転軸位置として確定するステップである。
さらに、ステップS0では、前記第1角度および第2角度は、同じ大きさおよび反対方向を有する。
さらに、前記回転軸補正面は、拡散反射面である。
さらに、前記第1角度および第2角度はいずれも15°よりも大きく、前記ステップS0は、前記回転軸のずれ量が予め設定されたずれ量以上である場合に行われる。第2態様では、上記の21を含む22を提供する。
本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムおよび三次元再構成方法は、三次元再構成システムでは、回転フレームを用いて物体を搭載し、データ収集装置を用いて物体の反射光データを収集し、異なる視点での物体の単一視点データを測定するときに、回転フレームにより物体を回転させるが、データ収集装置が回転せず、複数の単一視点データを取得し、かつ単一視点データおよび回転角度に基づいて三次元データ点群のスティッチングを行って三次元再構成を実現するという技術的効果を奏する。回転フレーム自体の位置決め精度が高く、回転中に光路がずれにくいため、高い測定精度を確保でき、さらに、頻繁な光路補正が不要となるため、三次元再構成速度と物体検出効率が向上し、さらに、回転フレームの回転によりシステム空間が変化しないため、再構成システムの小型化に有利である。これに対して、収集光路を移動させて検出視点を変更する従来のシステムでは、光路のずれが生じやすく、その結果、測定精度が低くなり、光路補正を複数回行うため、製品検出効率が低下し、かつ検出視点を変更するための面積が大きいため、再構成システムの小型化に寄与しない。
本発明の実施例における技術的解決手段をより明確に説明するために、以下、実施例または従来技術の説明で使用される図面を簡単に紹介し、当然のことながら、以下の説明における図面は、本発明のいくつかの実施例に過ぎず、当業者であれば、創造的労働を要することなく、これらの図面に基づく他の図面を得ることができる。
本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムの構造を示す概略図である。 本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムの物体搭載装置の構造を示す1つの概略図である。 本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムの回転軸測定の原理図である。 本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムの物体搭載装置の構造を示すもう1つの概略図である。 本発明の実施例によって提供される三次元再構成方法のフローチャートである。 本発明の実施例によって提供される三次元再構成方法の回転軸測定のフローチャートである。
本発明の目的、技術的解決手段および利点をより明らかにするために、以下、図面および実施例を組み合わせて本発明をより詳細に説明する。ここで説明される具体的な実施例は、本発明を解釈するためのものに過ぎず、本発明を限定するためのものではないことを理解すべきである。
説明すべきこととして、ある部材が別の部材に「固定」または「設定」されると言われている場合、それは別の部材に直接または間接的に位置され得る。ある部材が別の部材に「接続」されると言われている場合、それは別の部材に直接または間接的に接続され得る。「上」、「下」、「左」、「右」などの用語で示される方位または位置関係は、図面に基づいて示される方位または位置関係であり、説明を容易にするためのものに過ぎず、言及された装置または素子が特定の方位を有し、特定の方位で構築および操作されなければならないことを指示または示唆することを意図しないので、本特許を限定するものと理解されるべきではない。「第1」、「第2」という用語は、目的の説明を容易にするためのものに過ぎず、相対的な重要度を指示や示唆するもの、または技術的特徴の数を暗黙的に示すものとして理解できない。特に限定されていない限り、「複数」は2つ以上を意味する。
本発明に記載された技術的解決手段を説明するために、以下、具体的な図面および実施例を組み合わせて詳細に説明する。
図1および図2を参照すると、本発明の実施例による三次元再構成システムは、少なくとも物体搭載装置10、データ収集装置20およびデータ処理装置30を備え、そのうち、物体搭載装置10が回転軸13を有する回転可能な回転フレーム11、および回転フレーム11に設けられたステージ12を含み、具体的には、当該回転軸13が少なくとも水平回転軸(すなわち、X回転軸またはY回転軸)を含み、さらに直立回転軸(すなわち、Z回転軸)を含み得る。データ収集装置20は、ステージ12から離間して設けられ、かつ回転フレーム11の回転時に回転しないが、回転フレーム11に対して並進または上下移動可能であり、回転フレーム11が対応する角度に回転するときに、ステージ12上の物体18からの反射光データを収集し、物体18が対応する角度にあるときの単一視点データを取得するために使用され、データ処理装置30は、データ収集装置20に接続され、単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するために使用される。
具体的には、物体搭載装置10の回転フレーム11は、その回転軸13に基づいて回転することができ、データ収集装置20のカメラ21は、物体の表面全体からの反射光データを収集できるように、ステージ12から一定の距離だけ離間され、カメラ21の収集光路は、回転軸13の初期方向に対して垂直であることが好ましい。回転軸13により物体を回転させ、物体が対応する角度に回転するときに、データ収集装置20は、対応する角度での単一視点データを収集し、これらの複数の単一視点データをデータ処理装置30に伝送し、データ処理装置30によって処理して物体の三次元再構成画像を取得する。回転軸13の回転角度が予め設定されてもよく、その角度および単一視点データに基づく再構成アルゴリズムがデータ収集装置20において予め設定されていることが理解される。角度および単一視点データに基づく三次元再構成アルゴリズムは、一般的に使用されている変換行列に基づく再構成などの既存の関連アルゴリズムを使用することができる。
本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムでは、回転フレーム11を用いて物体を搭載し、データ収集装置20を用いてデータを収集し、異なる視点での物体の単一視点データを測定するときに、回転フレーム11により物体を回転させるが、データ収集装置20が回転せず、複数の単一視点データを取得し、かつ単一視点データおよび回転角度に基づいて三次元データ点群のスティッチングを行って三次元再構成を実現する。回転フレーム11自体の位置決め精度が高く、回転中に光路がずれにくいため、高い測定精度を確保でき、さらに、頻繁な光路補正が不要となるため、三次元再構成速度と物体検出効率が向上し、さらに、回転フレーム11の回転によりシステム空間が変化しないため、再構成システムの小型化に有利である。これに対して、収集光路を移動させて検出視点を変更する従来のシステムでは、光路のずれが生じやすく、その結果、測定精度が低くなり、光路補正を複数回行うため製品検出効率が低下し、かつ検出視点を変更するための面積が大きいため、再構成システムの小型化に寄与しない。
以下、当該三次元再構成システムの各装置、すなわち、物体搭載装置10、データ収集装置20およびデータ処理装置30について詳細に説明する。
物体搭載装置10に関して、当該物体搭載装置10は、水平並進ステージ14および回転フレーム11を含み、好ましくは、いずれも電気的に駆動される構造である。回転フレーム11は、水平並進ステージ14に設けられ、水平並進ステージ14に直交する方向をZ軸方向として直交座標系が確立され、当該回転軸13は、少なくとも水平回転軸(すなわち、X回転軸またはY回転軸)を含み、さらに数値回転軸(すなわち、Z回転軸)を含み得る。回転フレーム11は、水平並進ステージ14の移動に伴って移動し得る。具体的には、回転フレーム11は、支持ベース15により支持され、支持ベース15には、回転フレーム11を回転するように駆動するモータが設けられる。データ収集装置20は、直立昇降ステージ22に設けられ、回転フレーム11の回転軸13の水平回転軸の初期方向は水平並進ステージ14と平行であり、回転軸13が直立回転軸も含む場合は、直立回転軸の初期方向は水平並進ステージ14に対して垂直である。データ収集装置20の収集光路は、水平並進ステージ14に対して垂直である。水平並進ステージ14を移動させることにより、物体をデータ収集装置20の収集可能な範囲内に保持するように、回転フレーム11を水平方向に移動させ、さらに、水平並進ステージ14により物体を水平方向に移動させ、物体表面を走査することができる。データ収集装置20は、ステージ12に対するその高さが調整可能となるように、上下に移動することができ、それによって、異なる大きさの物体と同じ物体について異なる視点からその全貌を収集できることが確保される。回転フレーム11をその回転軸13に基づいて回転させることにより、後続の三次元再構成のための異なる視点からの単一視点データを取得するように、データ収集装置20のデータ収集区間において異なる視点で物体を提示する。
さらに、当該物体搭載装置10はさらに、ベース16、およびベース16に設けられたブラケット17を含み、水平並進ステージ14がベース16に設けられ、直立昇降ステージ22がブラケット17に設けられる。ブラケット17には、直立昇降ステージ22の昇降運動のための構成要素が設けられてもよく、当該構成要素は具体的に摺動構成要素であってもよい。さらに、に加え、当該構成要素は、直立運動に加えて、直立昇降ステージ22を水平方向に移動させるためのブラケット17上の水平方向運動をすることもできる。
具体的には、第1実施例中において、水平並進ステージ14は、積み重ねられて設けられたX軸並進ステージ141およびY軸並進ステージ142を含むがこれらに限定されず、支持ベース15および回転フレーム11は、X軸並進ステージ141(X軸並進ステージ141が上にある場合)またはY軸並進ステージ142(Y軸並進ステージ142が上にある場合)に設けられ、直立昇降ステージ22はZ軸昇降ステージであり、回転軸13の初期方向はX軸方向またはY軸方向と平行である。
第2実施例において、水平並進ステージ14は、X軸並進ステージ141、およびX軸並進ステージ141に設けられたY軸スライド(図示せず)を含み、支持ベース15はY軸スライドに摺動可能に接続され、直立昇降ステージ22はZ軸昇降ステージのままであり、回転軸13の初期方向はY軸方向またはY軸方向と平行である。
第3実施例において、水平並進ステージ14は、Y軸並進ステージ142、およびY軸並進ステージ142に設けられたX軸スライド(図示せず)を含み、支持ベース15はX軸スライドに摺動可能に接続され、回転軸13の初期方向はY軸方向またはX軸方向と平行であり、直立昇降ステージ22はZ軸昇降ステージのままである。
第2実施例および第3実施例において、X軸スライドおよびY軸スライドは、具体的には、隆起したスライドレールであってもよく、それに対応して、支持ベース15の底部にはシュートが設けられる。X軸スライドおよびY軸スライドはシュートであってもよく、それに対応して、支持ベース15の底部には隆起したスライドレールが設けられる。また、支持ベース15、X軸スライド、Y軸スライド、X軸並進ステージ141またはY軸並進ステージ142には、支持ベース15をスライド上のある位置に固定するためのロック部材がさらに設けられる。
上記の水平並進ステージ14および直立昇降ステージ22の設計によれば、データ収集装置20の光源入射方向をZ軸の正方向としたデカルト直交座標系が確立され、当該水平並進ステージ14により、X、Y方向のそれぞれの直線運動が実現されてもよく、測定対象物は、X、Y方向の直線運動とY、Z軸を中心とした回転が実現されるように、当該回転フレーム11に固定される。上記の物体搭載装置10は、第1に、この設計では、検出には一次元変換を実行することだけでよく、運動の軌跡が簡単であり、速度が速く、視点の変換に必要な時間が短縮されること、第2に、当該解決手段では、光源および検出光路を回転させる必要がなく、測定に必要な面積が小さく、コンパクトな計装の構築に有利であること、第3に、回転フレーム11の回転情報が後の多視点測定結果のマッチング及びスティッチングによく使用されてもよいことの3つの技術的効果を有する。
データ収集装置20に関して、データ収集装置20は、カメラ21および上記の直立昇降ステージ22を含み、カメラ21が直立昇降ステージ22に設けられる。当該再構成システムは、既存の分散共焦点法に基づいて単一視点データを収集することができ、具体的には、波長ごとに収束高さが異なる白色光であってもよい広スペクトル照明を用いて、反射スペクトル分布を測定することで反射面高さ情報を取得する。具体的には、カメラ21は、少なくとも広スペクトル光源、分散レンズおよび検出器を含み、広スペクトル光源が広スペクトルを出射し、当該広スペクトル光が一列の入力光ファイバを介して伝送され、入力光ファイバの出力端に線形検出光が形成され、当該線形検出光が分散レンズを通過した後、物体表面に投射され、物体表面の異なる高さの位置に収束され、物体表面から反射された線形光が分散レンズおよび一列の出力光ファイバを介して再伝送され、最終的に検出器で受光され、さらに対応する反射光データが得られる。カメラに対する物体の水平方向の移動を制御することにより、広スペクトル光による物体表面の走査の検出を完了し、検出器は、信号広スペクトル光を受信して、物体表面の形状を反映する反射光データを取得し、さらに、データ処理装置は、反射光データに対応する処理を実行して単一視点データを取得し、単一視点データが単一視点二次元データまたは単一視点三次元データであってもよい。この方法によれば、回転フレーム11を対応する角度だけ回転させ、角度ごとに上記のプロセスを実行して異なる視点のデータを取得する。この方法を選択するのは、複数回の照明またはズームの移動などのステップが不要であり、実装構造が簡単であり、速度が速いという利点があるからである。また、データ収集装置20は、上下に移動することができ、物体が一定の角度で回転するとき、データ収集装置20の高さ位置を適切に調整して、完全な単一視点データを取得することができる。一実施例において、検出器は分光計であり、分光計は、反射スペクトルデータを測定することにより、最大強度の光の波長を取得し、分散共焦点の焦点深度と波長との間の計算式により、測定対象物の表面上の反射位置、ひいては測定対象物の表面形状を取得することができる。検出器は、測定対象物の表面形状を取得できる他の検出デバイスであってもよく、前記単一視点データは、同一視点で分散レンズによって受信された反射光信号をデータ処理して得られた、測定対象物の表面形状を表すデータである。
データ処理装置30に関して、本実施例では、回転フレーム11の回転に基づいて異なる視点での物体の単一視点データを取得し、好ましくは、分散共焦点法によって単一視点データを取得する。当該データ処理装置30は、異なる視点からの単一視点データおよび異なる視点からの変換行列に基づいて三次元再構成を実行することができる。具体的には、異なる視点から収集されたデータを変換行列によって同一の三次元座標系中に統合し、物体の三次元形状を構築し、本実施例において、システムの一つの固定座標系(データ収集装置20の光源の入射方向をZ軸の正方向として確立されたデカルト直交座標系)を確定し、複数の単一視点データを当該座標系に構築してもよい。変換行列の概念とは、数学、物理学分野でよく知られている概念であり、変換行列により、異なる座標系における同じターゲット間の対応関係を明確にし、例えば、元の三次元座標系をY軸を、回転軸13としてある角度で回転し、新しい三次元座標系を取得する場合、元の三次元座標系での空間点Pの元の座標と新しい三次元座標系での空間点Pの新しい座標との間の変換関係は、1つの変換行列に対応し、当該変換行列が元の座標系と新しい座標系との間の空間位置関係に基づいて確立される。
本実施例に係る再構成システムでは、回転軸13を固定することにより、選択した角度の視点を変更し、理論的には、回転軸13と回転角度の分布に応じて、異なる視点の測定結果の座標変換を直接実行できるが、実際の計装では、回転軸13が固定されておらず、周囲の温度、機械的な固定の強さ、人為的タッチなどの要因により、回転軸13の実際の方向または位置が変化するため、計装の設計された回転軸13の方向および位置分布によって、点群のマッチング・スティッチングの誤差が大きい。連続検出において温度変動が小さく、基本的に人為的タッチがなく、機械的固定程度の影響が比較的大きく、回転フレーム11の位置決め精度および再現性が高いことに基づき、本実施例では、一定期間使用した後、検出する前に回転軸13の方向および位置を測定し、測定された回転軸13の分布と回転フレーム11によって設定された回転角度を組み合わせて各視点の新しい変換行列を取得し、回転軸13の測定ごとに変換行列を更新し、すなわち、再構成アルゴリズムを補正し、異なる視点での測定結果の点群データスティッチングの精度を向上させる。当然のことながら、人為的タッチが発生する場合、すぐに補正する必要がある。
それに対応して、図3および図4を参照すると、当該三次元再構成システムは、回転軸の測定にも使用されてもよく、具体的には、当該装置には、入射光で発生した反射光信号を反射するための回転軸補正面が設けられる。回転軸13の測定を行う時に、データ収集装置は、回転軸補正面からの反射信号を収集して反射データを取得し、当該データ処理装置は、反射データに基づいて回転軸の位置を計算し、かつ回転軸の位置に基づいて再構成アルゴリズムを補正する。回転軸補正面は、物体搭載装置の対応する部材に固定または着脱可能に設けられてもよい。具体的には、固定設定方式としては、ステージ、測定対象回転軸または他の部材に補正板を直接取り付けることによって生成されること、またはステージ、測定対象回転軸または他の部材に機械的処理(例えば機械的摩擦)または物理化学的処理(例えばエッチングや蒸着)を直接施すことによって生成された反射面とすることを含むが、これらに限定されない。着脱可能な取付方式としては、スナップ接続、ねじ接続、ばね接続、スライダ接続、貼り付け接続などによって当該回転軸補正面を物体搭載装置の対応する部材に接続することを含むが、これらに限定されない。ここで、回転軸補正面の設定方式および位置は、実施例に列挙された方式を含むが、これらに限定されない。好ましくは、当該回転軸補正面は、ステージ12に設けられた拡散反射面40であり、かつ回転フレーム11を回転させ、拡散反射面40で反射された反射信号はデータ収集装置20によって収集され、データ処理装置30は、拡散反射データを分析し、回転軸の位置を算出し、さらに当該回転軸位置のデータを用いて再構成アルゴリズムを補正する。以下、本部分の内容についてさらに詳細に説明する。
再構成システムが一定期間使用された後、回転軸13が不可避的にずれ、回転軸測定と再構成アルゴリズムの補正により、三次元再構成の精度を確保することができる。また、使用時間の延長に伴って回転軸13のずれが発生するため、検出ごとに回転軸13を測定する必要がなく、さらに、回転軸13の位置決め精度が高く、収集光路が固定され、物体が回転することにより、光路のずれを回避しやすくなり、当該システムは、検出効率をさらに向上させることができる。
本発明の実施例はさらに、上記の三次元再構成システムに基づいて実行される三次元再構成方法を提供する。図5に示すように、前記方法は、S1、回転フレーム11の回転により、ステージ12上の物体を回転させるステップと、
S2、データ収集装置20により、物体が対応する角度に回転するときの反射光データを収集して単一視点データを取得するステップと、
S3、データ処理装置30により、単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するステップと、を含む。
上記のステップにおいて、物体搭載装置10の回転フレーム11は、その回転軸13に基づいて回転し、具体的には一次元回転(X軸またはY軸を中心とした回転)または二次元回転(X軸またはY軸およびZ軸を中心とした回転)を行うことができ、データ収集装置20のカメラ21は、ステージ12から一定の距離だけ離間され、カメラ21の収集光路は、回転軸13の初期方向に対して垂直であることが好ましい。回転軸13により物体を回転させ、物体が対応する角度に回転するときに、データ収集装置20は、対応する角度での単一視点データを収集し、これらの複数の単一視点データをデータ処理装置30に伝送し、データ処理装置30によって処理して物体の三次元再構成画像を取得する。
具体的には、当該回転フレーム11は、三次元再構成システムのXYZ三軸並進による物体搭載装置10の設計を参照して設けられる。上記の物体搭載装置10によれば、データ収集装置20の光源入射方向をZ軸の正方向としたデカルト直交座標系が確立され、当該水平並進ステージ14により、X、Y方向のそれぞれの直線運動が実現され、測定対象物は、X、Y方向の直線運動とXまたはY、Z軸を中心とした回転が実現されるように、当該回転フレーム11に固定され、物体がX軸またはY軸を中心に回転すると、複数の単一視点データを取得できる。データを収集する時に、回転フレーム11の水平位置を移動させてデータ収集装置20の高さを調整することで、高品質のデータを取得することができる。
さらに、上記のステップS2は、具体的には、分散共焦点法に基づき、広スペクトル光源を用いて物体を照射し、物体が異なる視点にある時の単一視点三次元データを収集するステップであり、具体的なプロセスは、上記の通りであり、ここでは再度の説明を省略する。当該方法の利点は、前述した通りであり、ここでは繰り返し説明を省略する。
さらに、ステップS3は、具体的には、データ処理装置30により、異なる視点での単一視点データを予め設定された対応する視点の変換行列に適用し、三次元データ点群のスティッチングを実行し、三次元再構成画像を取得するステップである。当該ステップは、具体的には、異なる視点から収集されたデータを変換行列によって同一の三次元座標系に統合し、物体の三次元形状を構築するステップであり、本実施例において、具体的には、複数の単一視点データをスティッチングして構築し、上記のデカルト直交座標系で物体の三次元画像を形成するステップを意味する。
さらに、温度や作業環境などの様々な要因により回転軸13の位置が変化するため、回転軸13の位置を、一定期間ごとに補正し、または人が回転軸13の近くに触れたときに補正する必要があり、それによって測定データの精度を確保する。回転フレーム11の位置決め精度および再現性が高いことに基づき、本実施例では、一定期間使用した後、回転軸13のずれ量が予め設定されたずれ量以上であるとき、回転軸13を補正し、すなわち、検出する前に回転軸13の方向および位置測定を測定し、測定された回転軸13の分布と回転フレーム11によって設定された回転角度を組み合わせて各視点の新しい変換行列を取得し、回転軸13の測定ごとに変換行列を更新し、再構成アルゴリズムを補正し、異なる視点での測定結果の点群データスティッチングの精度を向上させる。つまり、ステップS1の前に、さらに、回転フレーム11の回転軸13の位置を測定し、回転軸13の位置の測定データに基づいて再構成アルゴリズムを補正するステップS0を含む。
図6に示すように、具体的には、ステップS0は、回転フレームの回転軸の位置を測定し、回転軸の位置測定データに基づいて前記再構成アルゴリズムを補正するステップである。
ステップS0は、
前記ステージに拡散反射面を設けることと、
前記回転フレーム上の拡散反射面を現在の位置に基づいて第1角度および第2角度で順次回転させ、システムの初期座標系における前記拡散反射面の回転しないときの初期位置データ、第1角度にある時の第1角度データ、および第2角度にある時の第2角度データを取得することと、
前記第1角度データ、第2角度データおよび初期位置データに基づき、回転軸位置を計算することと、を含む。
ステップS01では、ステージ12に拡散反射面40を設定する。
ステップS02では、回転フレーム11上の拡散反射面40を現在の位置に基づいて第1角度および第2角度で順次回転させる。
好ましくは、第1角度および第2角度は、同じ大きさおよび反対方向を有するが、他の実施例において、第1角度および第2角度は異なってもよい。図3に示すように、現在の位置は角度0に対応し、第1角度および第2角度はそれぞれ+φおよび−φである。
ステップS03では、システムの初期座標系における拡散反射面40の回転するときの初期位置データ、第1角度にある第1角度データ、および第2角度にある第2角度データを取得する。
ステップS04では、第1角度データ、第2角度データおよび初期位置データに基づいて回転軸の位置を計算する。
好ましくは、初期位置データに対応する初期平面と、第1角度データに対応する第1平面との間の第1角度の二等分面S1を計算し、初期平面と第2角度データに対応する第2平面との間の第2角度の二等分面S2を計算し、第1角度の二等分面S1と第2角度の二等分面S2との交差線Lを回転軸位置として確定する。
ステップS05では、回転軸位置を補正前の再構成アルゴリズムに組み込み、補正後の再構成アルゴリズムを形成する。
本実施例において、拡散反射面40を用いる理由は、第1に、高さ分布が均一であり、上記の第1平面と第2平面と初期平面の計算誤差が小さいこと、第2に、回転軸補正部材として平面鏡を用いると、収集光路の開口数の制限により、回転角度が大きい場合、信号光が大きな角度で反射されて検出器に到達できないが、検出器を傾斜させるために、測定対象サンプルを大きな角度で回転させる必要がある場合が多い。試験により、回転軸テスト部材として拡散反射面40(例えばすりガラス)を使用し、入射光が平行光であっても、拡散反射鏡の反射光角度がガウスのような分布を示し、このとき、サンプルの回転角度が光学システムの開口数を超えても、光の一部は、データ収集装置20の検出器に到達して、拡散反射面分布の検出を成功させることができることを確保する。
当該拡散反射面40は、回転フレーム11のステージ12上の測定対象物の隣に取り付けられ、回転軸13を測定する必要がある場合、水平並進ステージ14を移動して拡散反射面40に光を入射させて測定する必要がある。拡散反射面40を、真空チャックに吸着することなどの他の方式で配置することもできる。
拡散反射面40により、回転軸13の測定標準部材の回転角度範囲が効果的に拡大される。例えば、1つの光学システムは、回転軸補正の標準部材として反射鏡を使用すると、回転角度範囲が±15°であり、回転軸補正の標準部材として拡散反射面40を使用すると、回転角度範囲が±45°に拡大される。理論的には、分散共焦点光学システムの測定対象物は一般的に非鏡面であり、大きな角度の反射光を受光して、より広い範囲の測定を実現することができる。なお、理論的には、回転角度の大きさと回転軸13の位置との間に直接的な対応関係がないが、実際の複数回の測定では、大きな回転角度(15°以上、好ましくは30°−45°、例えば30°、35°、40°、45°など)で得られた回転軸13の位置をアルゴリズムにより補正した後の検出精度がより高いことがわかる。
以下では、回転フレーム11の回転軸13がY軸方向と平行に構成されている上記のXYZ三軸移動台に基づき、具体的な回転軸測定方法を提供する。
図3を参照すると、回転軸13が回転しないときの角度を0°とし、回転軸13の正回転の第1角度を+φとし、逆回転の第2角度を−φとする。
第1段階では、X軸並進ステージ141およびY軸並進ステージ142を移動させ、光を拡散反射面40に入射させ、回転フレームの回転軸13を0としたときの拡散反射面40を走査し、MxN個の点からなる面行列を取得する。
分散レンズによって物体表面に入射する光は、線状に配列された点行列であり、Mは入射光点の数を表し、Nは光が物体表面に沿って走査したときのサンプリング回数を表し、初期座標系における1つの光点の位置を(x、y、z)すると、図3中の0線は、MxN個の点で表される0°拡散反射面(初期平面)を表す。
第2段階では、回転軸13が第1角度+φで回転し、光点(x、y、z)の位置が(x、y、z)になり、図3中のφ線は、MxN個の(x、y、z)点で形成される拡散反射面(第1平面)を表し、座標x、yは、座標x、yが角度+φで回転した後、回転軸13の角度に基づいて換算された位置を表す。
第3段階では、回転軸13が第2角度−φで回転し、0°拡散反射面が角度−φで回転した後、光点(x、y、z)の位置が(x、y、z)になり、図3中の−φ線は、MxN個の(x、y、z)点で形成される拡散反射面(第2平面)を表し、座標x、yは、座標x、yが角度−φで回転した後、回転軸13の角度に基づいて換算された位置を表す。
測定中では、回転軸の回転角度φは35°に等しい。
ここで、x、yは、システムによって初期設定された三次元座標におけるx、yの位置であり、x、yおよびx、yもシステムによって初期設定された三次元座標における位置である。z、z、z2は、分散共焦点のデータ収集装置20で測定されて得られた拡散反射面のz軸高さ情報である。初期平面、第1平面および第2平面のドットマトリックスに基づき、初期平面と第1平面との間の第1角度の二等分面S1、初期平面と第2平面との間の第2角度の二等分面S2をそれぞれ求め、2つの角度の二等分面の交差線Lは回転軸13であり、図3中の黒点は回転軸13を表し、回転軸13は紙面に垂直な線であり、回転軸13の情報は、システムによって初期設定された三次元座標における回転軸13の位置および方向を表す方向ベクトルである。スティッチングプロセスでは、上記の測定された回転軸13の位置を直接、異なる視点での回転フレーム11の回転角度と組み合わせて、補正後の異なる視点での変換行列を取得し、さらに正確なスティッチングを実現することができる。
要約すると、本発明の実施例によって提供される三次元再構成システムおよび三次元再構成方法では、検出光路を変更せずに物体を回転させ、変換行列と組み合わせて三次元再構成を実行することにより、検出精度および効率を向上させ、回転軸13の位置を間欠的にテストすることでアルゴリズム補正を実行することにより、検出精度および効率をさらに向上させ、回転軸補正の標準部材として拡散反射面40が使用され、反射角度が大きく、それによって検出レンズが物体によって反射された検出光信号を受信することが確保され、かつ回転角度が大きい時に、その補正効果がより良好になり、水平並進ステージ14および直立昇降ステージ22の設計により、検出がより簡単になり、容易に実行される。
上記は本発明の好適な実施例に過ぎず、本発明を限定するものではなく、本発明の精神および原則においてなされたあらゆる変更、均等な置換および改良などはいずれも本発明の保護範囲に含まれるべきである。
10 物体搭載装置
11 回転フレーム
12 ステージ
13 回転軸
14 水平並進ステージ
141 X軸並進ステージ
142 Y軸並進ステージ
15 支持ベース
16 ベース
17 ブラケット
18 物体
20 データ収集装置
21 カメラ
22 立昇降ステージ
30 データ処理装置
40 拡散反射面

Claims (18)

  1. 三次元再構成システムであって、
    回転軸を有する回転可能な回転フレーム、および前記回転フレームに設けられたステージを含む物体搭載装置と、
    前記ステージから離間して設けられており、前記回転フレームが対応する角度に回転するときに、前記ステージにある物体の反射光データを収集し、前記物体が対応する角度にあるときの単一視点データを取得するためのデータ収集装置と、
    前記データ収集装置に接続され、前記単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するためのデータ処理装置と、を備えることを特徴とする三次元再構成システム。
  2. 前記データ収集装置は、分散型共焦点データ収集装置であり、収集された前記反射光データが反射スペクトルデータであることを特徴とする請求項1に記載の三次元再構成システム。
  3. 前記三次元再構成システムは、回転軸補正面をさらに備え、前記データ収集装置はさらに、前記回転軸補正面からの反射信号を収集して反射データを取得するために使用され、前記データ処理装置はさらに、前記反射データに基づいて回転軸位置を計算し、かつ前記回転軸位置に基づいて前記再構成アルゴリズムを補正するために使用されることを特徴とする請求項1に記載の三次元再構成システム。
  4. 前記回転軸補正面は、前記ステージに設けられることを特徴とする請求項3に記載の三次元再構成システム。
  5. 前記回転軸補正面は、拡散反射面であることを特徴とする請求項3に記載の三次元再構成システム。
  6. 前記回転軸の初期方向は、前記データ収集装置の収集光路に対して垂直であることを特徴とする請求項1に記載の三次元再構成システム。
  7. 前記物体搭載装置は、水平並進ステージをさらに含み、前記データ収集装置は、直立昇降ステージ、および前記直立昇降ステージに設けられたカメラを含み、
    前記回転フレームは、前記水平並進ステージに設けられ、
    前記データ収集装置は、前記ステージに対して前記データ収集装置の高さが調整可能となるように、前記直立昇降ステージに設けられ、
    前記回転軸の初期方向は、前記水平並進ステージと平行であり、
    前記データ収集装置の収集光路は、前記水平並進ステージに対して垂直であることを特徴とする請求項6に記載の三次元再構成システム。
  8. 前記カメラは、少なくとも広スペクトル光源、分散レンズおよび検出器を含み、前記広スペクトル光源、分散レンズおよび検出器が分散共焦点法に基づいて前記単一視点データを取得し、前記データ処理装置は、異なる視点からの前記単一視点データおよび異なる視点からの変換行列に基づいて三次元再構成を実行することを特徴とする請求項7に記載の三次元再構成システム。
  9. 三次元再構成方法であって、請求項1に記載の三次元再構成システムに基づいて実行され、
    前記回転フレームの回転により、前記ステージにある物体を回転させるステップS1と、
    前記データ収集装置により、前記物体が対応する角度に回転するときの反射光データを収集して前記単一視点データを取得するステップS2と、
    前記データ処理装置により、異なる角度の前記単一視点データおよび再構成アルゴリズムに基づいて三次元再構成を実行するステップS3と、を含むことを特徴とする三次元再構成方法。
  10. 前記ステップS2は、具体的には、
    分散共焦点法に基づき、広スペクトル光源を用いて前記物体を照射し、前記物体が異なる視点にある時の前記物体の前記単一視点データを収集するステップであることを特徴とする請求項9に記載の三次元再構成方法。
  11. 前記分散共焦点法は、
    広スペクトル光源により、広スペクトルビームを放射し、かつ線形検出光を形成するステップと、
    分散レンズにより、前記検出光を前記物体の表面に投射するステップと、
    前記物体を並進させて前記物体の表面への走査を完了するステップと、
    検出器により、前記物体によって反射された前記検出光の反射光データを収集し、前記反射光データを処理して前記単一視点データを取得するステップと、を少なくとも含むことを特徴とする請求項10に記載の三次元再構成方法。
  12. 前記ステップS3は、具体的には、前記データ処理装置により、異なる視点からの前記単一視点データを予め設定された対応する視点の変換行列に適用し、三次元データ点群のスティッチングを実行し、三次元再構成画像を取得するステップであることを特徴とする請求項9に記載の三次元再構成方法。
  13. 前記ステップS1の前に、さらに、
    前記回転フレームの回転軸位置を測定し、前記回転軸位置の測定データに基づいて前記再構成アルゴリズムを補正するステップS0を含むことを特徴とする請求項9に記載の三次元再構成方法。
  14. 前記ステップS0は、
    三次元測定システムにおいて回転軸補正面を設けることと、
    前記回転フレームにある回転軸補正面を現在の位置に基づいて第1角度および第2角度で順次回転させ、システムの初期座標系における前記回転軸補正面の回転しないときの初期位置データ、第1角度にある時の第1角度データ、および第2角度にある時の第2角度データを取得することと、
    前記第1角度データ、第2角度データおよび初期位置データに基づき、前記回転軸位置を計算することと、
    前記回転軸位置を補正前の再構成アルゴリズムに組み込み、補正後の再構成アルゴリズムを形成することと、を含むことを特徴とする請求項13に記載の三次元再構成方法。
  15. 前記第1角度データ、第2角度データおよび初期位置データに基づき、前記回転軸位置を計算するステップは、具体的には、
    前記初期位置データに対応する初期平面と、前記第1角度データに対応する第1平面との間の第1角度の二等分面を計算し、前記初期平面と前記第2角度データに対応する第2平面との間の第2角度の二等分面を計算し、前記第1角度の二等分面と前記第2角度の二等分面との交差線を回転軸位置として確定するステップであることを特徴とする請求項14に記載の三次元再構成方法。
  16. ステップS0では、前記第1角度および前記第2角度は、同じ大きさおよび反対方向を有することを特徴とする請求項15に記載の三次元再構成方法。
  17. 前記回転軸補正面は、拡散反射面であることを特徴とする請求項14に記載の三次元再構成方法。
  18. 前記第1角度および前記第2角度はいずれも15°よりも大きく、前記ステップS0は、前記回転軸のずれ量が予め設定されたずれ量以上である場合に行われることを特徴とする請求項17に記載の三次元再構成方法。
JP2020560522A 2018-01-17 2018-03-27 三次元再構成システムおよび三次元再構成方法 Active JP7073532B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810045501.XA CN110044293B (zh) 2018-01-17 2018-01-17 一种三维重构系统及三维重构方法
CN201810045501.X 2018-01-17
PCT/CN2018/080661 WO2019140778A1 (zh) 2018-01-17 2018-03-27 一种三维重构系统及三维重构方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021510836A true JP2021510836A (ja) 2021-04-30
JP7073532B2 JP7073532B2 (ja) 2022-05-23

Family

ID=67273472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020560522A Active JP7073532B2 (ja) 2018-01-17 2018-03-27 三次元再構成システムおよび三次元再構成方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11448498B2 (ja)
JP (1) JP7073532B2 (ja)
KR (1) KR102469816B1 (ja)
CN (1) CN110044293B (ja)
WO (1) WO2019140778A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111524232B (zh) * 2020-04-23 2023-07-25 网易(杭州)网络有限公司 三维建模方法、装置和服务器
TWI762964B (zh) * 2020-06-16 2022-05-01 新煒科技有限公司 全自動水平校正系統及檢測設備
CN112595280B (zh) * 2020-12-21 2022-02-01 吉林大学 一种成角度复杂面形测量方法
CN113188474B (zh) * 2021-05-06 2022-09-23 山西大学 一种用于高反光材质复杂物体成像的图像序列采集系统及其三维形貌重建方法
CN113376953B (zh) * 2021-05-20 2022-09-27 达闼机器人股份有限公司 物体投影重建系统
CN113375598A (zh) * 2021-08-10 2021-09-10 四川大学 基于自基准面的叶片三维型面轮廓高精度匹配方法
CN114777688B (zh) * 2022-05-10 2024-04-23 宁波安芯美半导体有限公司 一种发光角度的测量装置及测量方法
CN115077386B (zh) * 2022-08-19 2022-12-16 南京木木西里科技有限公司 一种水溶胶表面全自动测量装置、系统及其测量方法
CN117213401B (zh) * 2023-11-09 2024-02-13 山东捷瑞信息技术产业研究院有限公司 基于结构光切向扫描的表面工业视觉检测方法及系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07174537A (ja) * 1993-12-20 1995-07-14 Minolta Co Ltd 画像入力カメラ
JP2001101410A (ja) * 1999-09-28 2001-04-13 Suzuki Motor Corp 変換行列データ生成方法及び較正治具並びに三次元計測システム
JP2005514606A (ja) * 2001-12-28 2005-05-19 アプライド プレシジョン エルエルシー 立体3次元計測システムおよび方法
CN101872064A (zh) * 2009-04-24 2010-10-27 陈亮嘉 线型多波长共焦显微镜模块以及其共焦显微方法与系统
CN105547188A (zh) * 2015-12-07 2016-05-04 中国科学院地球环境研究所 用于测量松散沉积物块状样品体积的三维扫描系统及方法
CN106767514A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 江苏四点灵机器人有限公司 一种线激光扫描柱状物体三维轮廓测量装置及方法
CN106875468A (zh) * 2015-12-14 2017-06-20 深圳先进技术研究院 三维重建装置及方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07248213A (ja) * 1994-03-11 1995-09-26 Nikon Corp 三次元形状測定装置
US6275287B1 (en) * 1998-04-25 2001-08-14 Nihon Yamamura Glass Co., Ltd. Check detector for glass bottle neck and finish portion
JP4451275B2 (ja) * 2004-10-29 2010-04-14 株式会社ジーシー 歯科用補綴物の三次元形状データの作製方法
KR100721512B1 (ko) * 2005-02-16 2007-05-23 한국과학기술원 분산 광학계를 이용한 실시간 공초점 현미경
JP4682947B2 (ja) 2006-07-27 2011-05-11 パルステック工業株式会社 三次元形状測定方法、三次元形状測定装置および校正用物体
JP4598880B1 (ja) * 2010-04-23 2010-12-15 東芝Itコントロールシステム株式会社 Ct装置およびct装置の撮影方法
CN103608696B (zh) * 2012-05-22 2016-05-11 韩国生产技术研究院 3d扫描系统和获得3d图像的方法
JP2014035266A (ja) * 2012-08-09 2014-02-24 Mitsutoyo Corp 共焦点顕微鏡
CN104200514B (zh) * 2014-07-28 2017-02-15 浙江大学 一种同轴心距等光流折反射相机测距系统的三维重建方法
EP3187822B1 (en) * 2014-08-29 2019-12-11 Nikon Corporation Surface shape measuring device
JP6355027B2 (ja) * 2015-01-23 2018-07-11 株式会社東京精密 形状測定装置
JP6356632B2 (ja) * 2015-06-01 2018-07-11 株式会社永田製作所 面測定方法及び面測定装置
JP6777987B2 (ja) * 2015-12-10 2020-10-28 株式会社トプコン 測定装置
CN105698713B (zh) * 2016-01-27 2019-03-29 西安应用光学研究所 一种标定精密轴系回转轴线的装置及标定方法
CN105758343B (zh) * 2016-03-15 2018-06-26 哈尔滨工业大学 基于双标准球的c轴回转中心标定的装置及方法
CN106683187B (zh) * 2016-11-17 2020-07-21 长春理工大学 单表面三维重构方法、装置和系统
CN106683188A (zh) * 2016-11-17 2017-05-17 长春理工大学 透明目标的双表面三维重构方法、装置和系统
US10254105B2 (en) * 2016-12-05 2019-04-09 Quality Vision International, Inc. Exchangeable lens module system for probes of optical measuring machines
CN107121090A (zh) * 2017-05-05 2017-09-01 苏州天准科技股份有限公司 一种3d曲面玻璃的快速测量方法
CN107388985A (zh) * 2017-07-11 2017-11-24 上海大学 一种回转体零件三维表面形貌的五轴光学测量装置及方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07174537A (ja) * 1993-12-20 1995-07-14 Minolta Co Ltd 画像入力カメラ
JP2001101410A (ja) * 1999-09-28 2001-04-13 Suzuki Motor Corp 変換行列データ生成方法及び較正治具並びに三次元計測システム
JP2005514606A (ja) * 2001-12-28 2005-05-19 アプライド プレシジョン エルエルシー 立体3次元計測システムおよび方法
CN101872064A (zh) * 2009-04-24 2010-10-27 陈亮嘉 线型多波长共焦显微镜模块以及其共焦显微方法与系统
CN105547188A (zh) * 2015-12-07 2016-05-04 中国科学院地球环境研究所 用于测量松散沉积物块状样品体积的三维扫描系统及方法
CN106875468A (zh) * 2015-12-14 2017-06-20 深圳先进技术研究院 三维重建装置及方法
CN106767514A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 江苏四点灵机器人有限公司 一种线激光扫描柱状物体三维轮廓测量装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20210131795A1 (en) 2021-05-06
JP7073532B2 (ja) 2022-05-23
CN110044293B (zh) 2020-11-17
WO2019140778A1 (zh) 2019-07-25
KR102469816B1 (ko) 2022-11-22
US11448498B2 (en) 2022-09-20
CN110044293A (zh) 2019-07-23
KR20200105498A (ko) 2020-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7073532B2 (ja) 三次元再構成システムおよび三次元再構成方法
US10323927B2 (en) Calibration of a triangulation sensor
EP3338054B1 (en) Three-dimensional imager
US20200064119A1 (en) Non-contact coordinate measuring machine using a noncontact metrology probe
US7009717B2 (en) Optical probe for scanning the features of an object and methods therefor
US7375827B2 (en) Digitization of undercut surfaces using non-contact sensors
US10078898B2 (en) Noncontact metrology probe, process for making and using same
JP2005514606A (ja) 立体3次元計測システムおよび方法
EP2138803B1 (en) Jig for measuring an object shape and method for measuring a three-dimensional shape
KR102583096B1 (ko) 정적 프린지 패턴을 사용하는 간섭 롤오프 측정
US11499817B2 (en) Coordinate measuring machine with vision probe for performing points-from-focus type measurement operations
CN207832690U (zh) 一种镜片缺陷检测装置
JP6590429B1 (ja) 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法
US11635291B2 (en) Workpiece holder for utilization in metrology system for measuring workpiece in different orientations
CN113513997B (zh) 光源、光路系统、单目采集系统、传感器及应变检测系统
EP1391690B1 (en) Optical probe for measuring features of an object and methods therefor
JP2014202589A (ja) 面間隔測定装置
WO2023182095A1 (ja) 表面形状測定装置及び表面形状測定方法
JP2018119817A (ja) 形状測定装置および形状測定方法
JP2023065551A (ja) 物体を幾何学的に測定する装置及び方法
CN117849073A (zh) 基于oct系统的透光介质样品的缺陷和厚度测量方法与装置
JP2015099048A (ja) 標準ゲージ、三次元測定装置、及び、三次元測定装置のキャリブレーション方法
JP2012247361A (ja) 面形状計測装置
JP2012002573A (ja) 非接触形状測定装置
Costa Optical triangulation for the microtopographic inspection of rough surfaces

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200928

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210810

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211110

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220411

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220511

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7073532

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150