JP2014035266A - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源101と、光源101からの光を予め選択された一部の領域のみで被測定物Wに向かう光路上に反射させるDMD103と、DMD103を制御するDMD制御部104と、DMD103により光路上に反射された光と被測定物Wにて反射された戻り光とを通過させる対物レンズ108と、被測定物Wと対物レンズ108の相対距離を変化させて、被測定物Wに対する光の照射位置を決定する三軸駆動装置112と、決定された照射位置毎に被測定物Wからの戻り光に基づいて画像を撮像する光検出器110と、撮像された複数の画像に基づいて被測定物Wの三次元形状データを生成する演算部111と、を備え、DMD制御部104は、DMD103を制御して、前記一部の領域を順次切り替える。
【選択図】図1
Description
共焦点顕微鏡において、
光源と、
前記光源により出射された光を、当該光を反射させる領域のうち予め選択された一部の領域のみで、被測定物に向かう光路上に反射させる光反射手段と、
前記光反射手段による前記光源により出射された光の反射を制御する光反射制御手段と、
前記光反射手段と前記被測定物との間に配置され、前記光反射手段により前記光路上に反射された光と、前記被測定物の表面にて反射された戻り光と、を通過させる対物レンズと、
前記被測定物と前記対物レンズとの間の相対距離を変化させて、前記被測定物に対する前記光の照射位置を決定する照射位置決定手段と、
前記照射位置決定手段により決定された照射位置毎に、前記被測定物の表面にて反射された戻り光に基づいて前記被測定物の画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された複数の画像に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを生成する演算手段と、
を備え、
前記光反射制御手段は、前記光反射手段を制御して、前記一部の領域を順次切り替えることを特徴とする。
前記光反射手段は、格子状に配列された複数のマイクロミラーを備えるDMD(Digital Mirror Device)であり、
前記光反射制御手段は、前記複数のマイクロミラーを所定の枚数ずつ順次前記光源により出射された光を前記光路上に反射させるように制御するとともに、残りのマイクロミラーを、前記光源により出射された光を前記光路上に反射させないように制御することを特徴とする。
前記光反射手段は、前記被測定物の表面にて反射された戻り光を、前記撮像手段に向かう光路上に反射させる位置に配置されていることを特徴とする。
前記対物レンズと前記撮像手段との間に配置され、前記被測定物の表面にて反射された戻り光を二つの方向に分岐させる光分岐手段を更に備え、
前記撮像手段は、
前記光分岐手段により分岐された戻り光のうち一方の戻り光に基づいて前記被測定物の画像を撮像する第1の撮像手段と、
他方の戻り光に基づいて前記被測定物の画像を撮像する第2の撮像手段と、を備え、
前記演算手段は、前記第1の撮像手段により撮像された複数の画像及び前記第2の撮像手段により撮像された複数の画像に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを生成することを特徴とする。
まず、第1実施形態に係る共焦点顕微鏡100の構成について説明する。
第1実施形態に係る共焦点顕微鏡100は、図1,2に示すように、光源101と、ミラー102と、DMD(Digital Mirror Device:登録商標)103と、DMD制御部104と、ミラー105、106、107と、対物レンズ108と、チューブレンズ109と、光検出器110と、演算部111と、三軸駆動装置112と、制御部113と、を備えて構成されている。
なお、第1実施形態においては、図1に示すように、光源101からミラー102に向かう方向をZ方向(高さ方向)、ミラー106からミラー107に向かう方向をX方向(左右方向)、X方向及びZ方向に直交する方向をY方向(前後方向)とする。
即ち、DMD103は、光源101により出射され、ミラー102により反射された光を、当該光を反射させる領域のうち予め選択された一部の領域のみで、被測定物Wに向かう光路上に反射させる光反射手段として機能する。また、DMD制御部104は、DMD103による光源101により出射された光の反射を制御する光反射制御手段として機能する。
ミラー106は、ミラー105から入射した光を、X方向右側に配置されたミラー107に向かって反射させる。ミラー106により反射された光は、X方向左方からミラー107に照射される。
また、ミラー107は、被測定物Wの表面にて反射され、Z方向下方から対物レンズ108を透過して進んできた戻り光を透過する。ミラー107を透過した戻り光は、Z方向上方に配置されたチューブレンズ109に照射される。
また、対物レンズ108は、被測定物Wの表面にて反射された戻り光を透過する。対物レンズ108を透過した戻り光は、Z方向上方に配置されたミラー107に照射され、当該ミラー107を透過する。
即ち、対物レンズ108は、DMD103と被測定物Wとの間に配置され、DMD103により被測定物に向かう光路上に反射された光と、被測定物Wの表面にて反射された戻り光と、を通過させる。
演算部111は、光検出器110から出力された画像信号に基づいて、被測定物Wの三次元形状データを生成する。即ち、演算部111は、光検出器110により撮像された画像に基づいて、被測定物Wの三次元形状データを生成する演算手段として機能する。演算部111で生成された被測定物Wの三次元形状データは、制御部113に出力され、記憶部116に記憶される。
従って、共焦点顕微鏡100は、三軸駆動装置112により決定された照射位置毎に、被測定物Wの画像を取得することができるようになっている。
CPU114は、記憶部116に記憶されている各種処理プログラム等を読み出してRAM115に展開し、この展開されたプログラムとの協働で各種処理を実行することにより、共焦点顕微鏡100全体の制御を行う。
RAM115は、CPU114により実行された処理プログラム等を、RAM115のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
記憶部116は、例えば、不揮発性の半導体メモリで構成され、CPU114によって実行可能なシステムプログラムや、そのシステムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ、CPU114によって演算処理された各種処理結果のデータなどを記憶する。なお、プログラムは、コンピュータが読み取り可能なプログラムコードの形で記憶部116に記憶されている。また、記憶部116は、演算部111で生成された被測定物Wの三次元形状データを記憶する。
まず、共焦点顕微鏡100の光源101から光が出射される。光源101から出射された光は、ミラー102により反射され、DMD103に照射される。
次に、DMD103に入射した光は、DMD制御部104の制御により、DMD103に備えられたマイクロミラー単位で反射が制御される。
具体的には、DMD制御部104は、図3に示すように、DMD103が備えるマイクロミラーを1枚ずつ順次「明」状態とするとともに、残りのマイクロミラーを「暗」状態とする。即ち、マイクロミラーは、常に1枚のマイクロミラーのみが「明」状態となっており、DMD103に入射した光は、この「明」状態のマイクロミラーのみにおいてミラー105の方向に反射される。DMD103が備える全てのマイクロミラーが「明」状態となった場合、このDMD制御部104による制御を完了する。即ち、図3において、(A)の状態からスタートして、(B)→(C)→…→(D)→(E)と順次経過していき、(F)の状態に到達した時点で制御が完了する。
そして、DMD103に備えられたマイクロミラーにより反射された光が、ミラー105、106、107を介して対物レンズ108を通過し、被測定物Wに照射される。
被測定物Wに照射された光は、被測定物Wの表面で反射され、対物レンズ108及びミラー107を介して、チューブレンズ109を通過し、光検出器110に照射される。
まず、第2実施形態に係る共焦点顕微鏡200の構成について説明する。
第2実施形態に係る共焦点顕微鏡200は、図6に示すように、光源101と、ミラー201、202、203と、DMD103と、DMD制御部104と、ミラー204と、対物レンズ108と、チューブレンズ109と、光検出器110と、演算部111と、三軸駆動装置112と、制御部113と、を備えて構成されている。
なお、説明の簡略化のため、第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
また、ミラー202は、被測定物Wの表面にて反射され、ミラー203により反射された戻り光を透過する。ミラー202を透過した戻り光は、Z方向上方に配置されたチューブレンズ109に照射される。
また、ミラー203は、被測定物Wの表面にて反射され、DMD103により反射された戻り光を、Z方向上側に配置されたミラー202に向かって反射させる。ミラー203により反射された戻り光は、Z方向下方からミラー202に照射される。
具体的には、マイクロミラーが「明」の状態のときは、ミラー203から入射した光を図6における左下側に向けて反射し、当該左下側に配置されたミラー204に照射させる。また、マイクロミラーが「明」の状態のときは、被測定物Wの表面にて反射され、ミラー204により反射された戻り光を図6における左上側に向けて反射し、当該左上側に配置されたミラー203に照射させる。即ち、DMD103は、被測定物Wの表面にて反射された戻り光を、光検出器110に向かう光路上に反射させる位置に配置されている。
一方、マイクロミラーが「暗」の状態のときは、ミラー203から入射した光を共焦点顕微鏡200内部の図示しない吸収体等に反射するため、マイクロミラーが反射した光がミラー204に照射されることはない。従って、マイクロミラーが「暗」の状態のときに反射した光は、被測定物Wの表面にて反射された戻り光に含まれることはない。
上記のように、第2実施形態に係る共焦点顕微鏡200は、被測定物Wの表面にて反射された戻り光を再度DMD103に照射させるように構成されており、被測定物Wの表面にて反射された戻り光は再度「明」の状態のマイクロミラーに入射して、ミラー203の方向に反射されることとなる。従って、例えば、被測定物Wの表面にて反射された戻り光に被測定物Wからの散乱光が混じっているような場合であっても、この散乱光は「明」の状態のマイクロミラーに入射するわけではないため、ミラー203の方向に反射されることはなく、光検出器110に照射されることはない。従って、第2実施形態に係る共焦点顕微鏡200によれば、被測定物Wからの散乱光の影響を排除することができるので、高精度の測定を行うことができる。
また、ミラー204は、被測定物Wの表面にて反射され、Z方向下方から対物レンズ108を透過して進んできた戻り光を、図6における右上側に配置されたDMD103に向かって反射させる。ミラー204により反射された戻り光は、図6における左下方からDMD103に照射される。
まず、共焦点顕微鏡200の光源101から光が出射される。光源101から出射された光は、ミラー201、202、203を介して、DMD103に照射される。
次に、DMD103に入射した光は、DMD制御部104の制御により、DMD103に備えられたマイクロミラー単位で反射が制御される。
そして、DMD103に備えられたマイクロミラーにより反射された光が、ミラー204を介して対物レンズ108を通過し、被測定物Wに照射される。
被測定物Wに照射された光は、被測定物Wの表面で反射され、対物レンズ108及びミラー204を介して、再度DMD103に照射される。被測定物Wの表面にて反射された戻り光は、DMD103に備えられたマイクロミラーにより、ミラー203の方向に反射される。被測定物Wの表面にて反射された戻り光に被測定物Wからの散乱光が混じっているような場合、この散乱光はミラー203の方向に反射されることはなく、光検出器110に照射されることはない。
DMD103により反射された戻り光は、ミラー203、202を介して、チューブレンズ109を通過し、光検出器110に照射される。
演算部111では、光検出器110から出力された画像信号に基づいて、被測定物Wの三次元形状データが生成される。具体的には、演算部111は、光検出器110で撮像された複数の画像に基づいて、フォーカス位置データの数値解析を行うことでピーク値を算出し、各画素でのZ軸方向における上記ピーク値を結ぶことで、XYZ軸方向の三次元形状測定を行う。
まず、第3実施形態に係る共焦点顕微鏡300の構成について説明する。
第3実施形態に係る共焦点顕微鏡300は、図7、8に示すように、光源101と、ミラー102と、DMD103と、DMD制御部104と、ミラー105、106、107と、対物レンズ108と、ビームスプリッタ301と、ミラー302と、チューブレンズ109、109Aと、光検出器110、110Aと、演算部111と、三軸駆動装置112と、制御部113と、を備えて構成されている。
なお、説明の簡略化のため、第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
ビームスプリッタ301を透過した戻り光は、Z方向上方に配置されたチューブレンズ109に照射される。チューブレンズ109を透過した戻り光は、Z方向上方に配置された光検出器110に照射される。光検出器110は、ビームスプリッタ301により分岐された戻り光のうち一方の戻り光に基づいて被測定物Wの画像を撮像する第1の撮像手段として機能する。
一方、ビームスプリッタ301によりZ方向左側に反射された戻り光は、Z方向左側に配置されたミラー302に照射される。
まず、共焦点顕微鏡300の光源101から光が出射される。光源101から出射された光は、ミラー102により反射され、DMD103に照射される。
次に、DMD103に入射した光は、DMD制御部104の制御により、DMD103に備えられたマイクロミラー単位で反射が制御される。
そして、DMD103に備えられたマイクロミラーにより反射された光が、ミラー105、106、107を介して対物レンズ108を通過し、被測定物Wに照射される。
被測定物Wに照射された光は、被測定物Wの表面で反射され、対物レンズ108及びミラー107を介して、ビームスプリッタ301に照射される。
ビームスプリッタ301に入射した被測定物Wの表面からの戻り光は、ビームスプリッタ301にてそのまま透過される方向とZ方向左側に反射される方向の二つの方向に分岐される。
ビームスプリッタ301を透過した戻り光は、チューブレンズ109を通過し、光検出器110に照射される。一方、ビームスプリッタ301によりZ方向左側に反射された戻り光は、ミラー302を介してチューブレンズ109Aを通過し、光検出器110Aに照射される。このように、ビームスプリッタ301で二つの方向に分岐された戻り光は、それぞれ光検出器110及び光検出器110Aに到達することとなる。
ここで、第3実施形態では、制御部113の制御により、光検出器110及び光検出器110Aによる画像の取得タイミングを異ならせるようにしている。具体的には、光検出器110Aは、光検出器110での画像の取得間隔に相当する時間に画像を取得するように制御されている。
上記のように、DMD103による光の反射パターン(投影パターン)を制御することにより、ユーザのニーズに合わせて測定精度や測定速度を柔軟に変更することができる。
101 光源
102、105、106、107 ミラー
201、202、203、204 ミラー
302 ミラー
103 DMD(光反射手段)
104 DMD制御部(光反射制御手段)
108 対物レンズ
301 ビームスプリッタ(光分岐手段)
109、109A チューブレンズ
110 光検出器(撮像手段;第1の撮像手段)
110A 光検出器(第2の撮像手段)
111 演算部(演算手段)
112 三軸駆動装置(照射位置決定手段)
113 制御部
W 被測定物
Claims (4)
- 光源と、
前記光源により出射された光を、当該光を反射させる領域のうち予め選択された一部の領域のみで、被測定物に向かう光路上に反射させる光反射手段と、
前記光反射手段による前記光源により出射された光の反射を制御する光反射制御手段と、
前記光反射手段と前記被測定物との間に配置され、前記光反射手段により前記光路上に反射された光と、前記被測定物の表面にて反射された戻り光と、を通過させる対物レンズと、
前記被測定物と前記対物レンズとの間の相対距離を変化させて、前記被測定物に対する前記光の照射位置を決定する照射位置決定手段と、
前記照射位置決定手段により決定された照射位置毎に、前記被測定物の表面にて反射された戻り光に基づいて前記被測定物の画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された複数の画像に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを生成する演算手段と、
を備え、
前記光反射制御手段は、前記光反射手段を制御して、前記一部の領域を順次切り替えることを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 前記光反射手段は、格子状に配列された複数のマイクロミラーを備えるDMD(Digital Mirror Device)であり、
前記光反射制御手段は、前記複数のマイクロミラーを所定の枚数ずつ順次前記光源により出射された光を前記光路上に反射させるように制御するとともに、残りのマイクロミラーを、前記光源により出射された光を前記光路上に反射させないように制御することを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡。 - 前記光反射手段は、前記被測定物の表面にて反射された戻り光を、前記撮像手段に向かう光路上に反射させる位置に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記対物レンズと前記撮像手段との間に配置され、前記被測定物の表面にて反射された戻り光を二つの方向に分岐させる光分岐手段を更に備え、
前記撮像手段は、
前記光分岐手段により分岐された戻り光のうち一方の戻り光に基づいて前記被測定物の画像を撮像する第1の撮像手段と、
他方の戻り光に基づいて前記被測定物の画像を撮像する第2の撮像手段と、を備え、
前記演算手段は、前記第1の撮像手段により撮像された複数の画像及び前記第2の撮像手段により撮像された複数の画像に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを生成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012176616A JP2014035266A (ja) | 2012-08-09 | 2012-08-09 | 共焦点顕微鏡 |
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JP2012176616A JP2014035266A (ja) | 2012-08-09 | 2012-08-09 | 共焦点顕微鏡 |
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