JP2021184049A - 回折光学素子、光学機器および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態に係る回折光学素子を示した模式的平面図および模式的断面図である。図2は、図1の点線部分を拡大した回折光学素子の端部の拡大図である。図1および図2に示すように、回折光学素子20は、第1基材1上に、第1樹脂層2と第2樹脂層3とが順に積層されている。
第1基材1は、透明な樹脂や、透明なガラスを用いることができる。第1基材1は、ガラスを用いることが好ましく、例えば、珪酸ガラス、硼珪酸ガラスおよびリン酸ガラスに代表される一般的な光学ガラスや、石英ガラス、ガラスセラミックスを用いることができる。
第1樹脂層2および第2樹脂層3は異なる光学特性を有する透明な樹脂であり、回折光学素子20が所望の光学特性となるように屈折率やアッベ数を設計する。広い波長帯域で高い回折効率を得るために、第1樹脂層2と第2樹脂層3の一方が低屈折率高分散であり、他方が高屈折率低分散であることが好ましい。ここで、低屈折率および高屈折率とは第1樹脂層2および第2樹脂層3の屈折率(d線の屈折率)の相対的な関係を意味する。同様に、高分散および低分散とは第1樹脂層2および第2樹脂層3の分散特性(アッベ数νd)の相対的な関係を意味する。つまり、第1樹脂層2が第2樹脂層3に対して高屈折率低分散であるとは、第1樹脂層2の屈折率Nd1、アッベ数ν1、第2樹脂層3の屈折率Nd2及びアッベ数ν2が、Nd1>Nd2及びν1>ν2を満たすことを意味する。
図3は従来技術の回折光学素子の端部を示す概略図である。回折光学素子20Xは、第1基材1X上に、第1樹脂層2Xと第2樹脂層3Xとが順に積層されている。また、第1樹脂層2Xおよび第2樹脂層3Xは、平面視した際に、その界面の少なくとも一部に同心円状の回折格子が形成されている。具体的には、第1樹脂層のベース部11Xと、第2樹脂層のベース部12Xとの間に格子部10Xが存在し、2つの樹脂層の積層方向に回折格子が形成されている。回折格子の形状は、第1樹脂層2Xおよび第2樹脂層3Xの中心から外周へ向かう径方向に緩やかに傾斜する傾斜面15XAと、所定の距離を進んだところで急激に傾斜の逆方向に変化する壁面15XBの繰り返しパターンである。ただし、回折光学素子20Xは、回折格子の高さ(格子部10Xの高さ)がほぼ一様な高さである点が回折光学素子20と異なる。この回折光学素子20Xの構成は、特許文献1で開示された回折光学素子の構成と同じである。
ここで、をdnは回折格子の中心から外縁に向かってn番目(nは2以上の整数)の格子の高さである。すなわち、第1領域では、格子の高さが、中心に近い格子の高さに対し、隣り合う外周側の格子の高さが0.99倍以上1.01倍以下の範囲であり、ほぼ一定であることが好ましい。第1領域13は光学有効領域であり、格子の高さがほぼ一定であると回折光学素子20の光学性能を設計しやすいためである。
ここで、dmは回折格子の中心から外縁に向かってm番目(mはnより大きい整数)の格子の高さである。すなわち、第2領域では、中心に近い格子の高さに対し、隣り合う外周側の格子の高さが0.50倍以上0.98倍以下の範囲であることが好ましい。この値が0.50倍未満であると、格子高さの変化が大きすぎるため、格子の山部付近での硬化収縮量に差が出てしまい、屈折率分布が生じるおそれがある。一方、0.98倍より大きいと、格子高さの変化が小さく応力を緩和する効果が小さくなり、周縁部から中心に向かって屈折率分布が生じるおそれがある。
AとBとが(式3)を満たすと、十分な応力緩和効果が得られ、かつ、素子を小型にすることが容易となる。B/Aが0.018未満であると、第2領域14の領域が小さいため、十分な応力緩和効果を得ることできないおそれがある。一方、B/Aが0.10より大きいと、光学非有効領域を有する第2領域14の領域が大きくなるため、素子が大型化してしまうおそれがある。
本発明に適用可能な回折光学素子は図1および図2の形態に限定されない。例えば、第1樹脂層2と第2樹脂層3は、第1基材1上に、第2樹脂層3、第1樹脂層2の順に積層されていても構わない。
続いて、回折光学素子の製造方法について説明する。図5は本発明の回折光学素子の製造方法の一実施態様を示す概略図である。
図6は、本発明の撮像装置の好適な実施形態の一例である、一眼レフデジタルカメラの構成を示している。図6において、カメラ本体602と光学機器であるレンズ鏡筒601とが結合されているが、レンズ鏡筒601はカメラ本体602対して着脱可能ないわゆる交換レンズである。
回折光学素子の中心Oを通る面(光軸中心を通る面)を積層方向に切断した。切断した回折光学素子の断面を、金属顕微鏡(ニコン社製、ECLIPSE ME600P)で倍率1000倍(接眼レンズ:10倍、対物レンズ:100倍)で観察した。XYステージの送り量から、格子高さ、樹脂層の厚み、格子ピッチ、第1領域および第2領域の径方向の長さをそれぞれ測定した。
実施例および比較例の回折光学素子から第1基材11および/又は第2基材14を剥がして樹脂を取り出して測定した。得られたサンプルに対し、精密屈折計(KPR−30、(株)島津製作所)を用いて、587.6nmの波長(d線)の屈折率を測定した。
回折効率は、格子形状の外周部に直径2mmで波長400nm〜700nmの測定光を入射し、素子から出射される一次回折光の強度を検出することで平均回折効率を測定した。第1領域中央部の回折効率は、この測定で、回折光学素子の中心から外周に向かって8格子から11格子までの領域で測定した。第1領域外周部の回折効率は、この測定で、第1の領域の外周から中央に向かって1格子から9格子までの領域で測定した。作製した回折光学素子で、第1領域中央部に対する第1領域外周部の回折効率の割合が、0.993未満のものをC、0.993以上0.995未満のものをB、0.995以上のものをAと評価した。AとBを合格とし、Cを不合格とした。
第1基材には、材質がS−TIM8(オハラ社製)で直径60mm、一方の面が平面で、他方の面の曲率半径Rが190mmの凹球面形状のガラスレンズを用いた。第2基材4は、材質がS−FSL5(オハラ社製)、直径58mm、一方の面の曲率半径Rが70mmの凸球面形状、他方の面がR190mmの凸球面形状のガラスレンズを用いた。格子型及び平坦型は、金属母材上にメッキしたNiP層を精密加工機で切削加工し、所望の格子形状と平坦形状及びその外周形状の反転形状を形成したものを用いた。
実施例2は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例2の回折光学素子を作製した。
実施例3は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例3の回折光学素子を作製した。
実施例4は実施例1と格子型の形状、第1樹脂層および第2樹脂層の組成が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例4の回折光学素子を作製した。
実施例5は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例5の回折光学素子を作製した。
実施例6は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例6の回折光学素子を作製した。
実施例7は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例7の回折光学素子を作製した。
実施例8は実施例1と格子型の形状が異なる。また、第2基材は用いず、R190mm凸球面の平坦型を用いて第2樹脂層を形成した。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、実施例8の回折光学素子を作製した。
実施例9は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は、実施例8と同様の方法で、実施例9の回折光学素子を作製した。
比較例1は実施例1と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例1と同様の方法で、比較例1の回折光学素子を作製した。
比較例2は実施例8と格子型の形状が異なる。それ以外の点は実施例8と同様の方法で、比較例2の回折光学素子を作製した。
表1および表2から実施例1〜9の回折光学素子は、いずれも第1領域中央部の回折効率に対する第1領域外周部の回折効率の割合が0.993以上であった。また、回折効率の割合が0.995以上と特に良好であった実施例1〜3、8および9は、いずれも以下の式を満たしていた。
0.50≦dm/dm−1≦0.98 (式2)
0.018≦B/A≦0.10 (式3)
一方、比較例1および2は、いずれも第1領域中央部の回折効率に対する第1領域外周部の回折効率の割合が0.993未満であった。比較例1および2の回折光学素子は、回折格子の外縁に向かって回折格子が低くなる第2領域を有していなかった。そのため回折光学素子の外周方向から内部に向かって発生する屈折率変動が大きく、結果、中心付近の回折効率と周縁部における回折効率の差が大きくなったと考えられる。
2 第1樹脂層
2a 第1樹脂組成物
3 第2樹脂層
3a 第2樹脂組成物
4 第2基材
5 格子型
6 平坦型
7 イジェクタ
8 ランプ
9 シャッター
10 格子部
11 第1樹脂層のベース部
12 第2樹脂層のベース部
13 第1領域
14 第2領域
20 回折光学素子
600 撮像装置(デジタルカメラ)
601 光学機器(レンズ鏡筒)
602 カメラ本体
603 レンズ
605 レンズ
Claims (11)
- 第1基材上に、第1樹脂層と、第2樹脂層とが順に積層され、平面視した際に、前記第1樹脂層と前記第2樹脂層の界面の少なくとも一部に同心円状の回折格子が形成された回折光学素子であって、
前記回折格子は、平面視した際に、前記回折格子の中心を含む第1領域と、前記第1領域を囲み前記第1領域より低い高さの格子を有する第2領域と、を有し、
前記第2領域の回折格子の格子高さは、前記回折格子の外縁に向かって低くなっていることを特徴とする回折光学素子。 - 前記第1領域において、前記回折格子の中心から外縁に向かってn番目(nは2以上の整数)の格子の高さをdnとすると、
0.99≦dn/dn−1≦1.01
の関係を満たし、
前記第2領域において、前記回折格子の中心から外縁に向かってm番目(mはnより大きい整数)の格子の高さをdmとすると、
0.50≦dm/dm−1≦0.98
の関係を満たす請求項1に記載の回折光学素子。 - 平面視した際に、前記第1領域の径方向の長さをA、前記第2領域の径方向の長さをBとしたときに、
0.018≦B/A≦0.10
の関係を満たす請求項1または2に記載の回折光学素子。 - 前記第1領域の格子の高さが5μm以上30μm以下の範囲である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記第1領域の前記第2領域と接する格子である最外周の格子と、前記最外周の格子との間隔が100μm以上500μm以下の範囲である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記第1樹脂層のベース部の厚みが1μm以上50μm以下の範囲である請求項1乃至5のいずれか一項に記載の回折光学素子。
- 前記第2樹脂層のベース部の厚みが10μm以上400μm以下の範囲である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記回折光学素子は第2基材を有し、
前記第2基材が、前記第2樹脂層上に設けられている請求項1乃至7のいずれか1項に記載の回折光学素子。 - 筐体と、該筐体内に複数のレンズを有する光学系を備える光学機器であって、
前記複数のレンズの少なくとも1つが請求項1乃至8のいずれか1項に記載の回折光学素子であることを特徴とする光学機器。 - 筐体と、該筐体内に複数のレンズを有する光学系と、該光学系を通過した光を受光する撮像素子と、を備える撮像装置であって、
前記複数のレンズの少なくとも1つが請求項1乃至9のいずれか1項に記載の回折光学素子であることを特徴とする撮像装置。 - 前記撮像装置がカメラである請求項10に記載の撮像装置。
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