JP2021181138A - 両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記下定盤上に下定盤用研磨パッドを貼り付け後、前記下定盤の半径方向の中心部を通るようにリング状の仮貼り用板を前記下定盤用研磨パッド上に載置し、
前記仮貼り用板上に上定盤用研磨パッドを、該パッドの貼り付け面を前記上定盤と対向配置して前記両面研磨機へ荷重を掛けて前記仮貼り用板を上下定盤で挟み込み、前記仮貼り用板部分のみ圧着することで、前記上定盤用研磨パッド及び前記下定盤用研磨パッドの半径方向中心部分にリング状の貼り付け部を形成し、
該貼り付け部形成後、前記リング状の仮貼り用板を取り外し、研磨パッド貼り付け装置の圧着部を前記リング状の貼り付け部に配置して上下定盤で挟み込み、前記圧着部を上下同時に前記リング状の貼り付け部から前記半径方向に動かすことで、前記上定盤と前記上定盤用研磨パッド間及び前記下定盤と前記下定盤用研磨パッド間のエアーを抜きながら前記上定盤用研磨パッド及び前記下定盤用研磨パッドをそれぞれ上下定盤に圧着する両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法を提供する。
前記下定盤上に下定盤用研磨パッドを貼り付け後、前記下定盤の半径方向の中心部を通るようにリング状の仮貼り用板を前記下定盤用研磨パッド上に載置し、
前記仮貼り用板上に上定盤用研磨パッドを、該パッドの貼り付け面を前記上定盤と対向配置して前記両面研磨機へ荷重を掛けて前記仮貼り用板を上下定盤で挟み込み、前記仮貼り用板部分のみ圧着することで、前記上定盤用研磨パッド及び前記下定盤用研磨パッドの半径方向中心部分にリング状の貼り付け部を形成し、
該貼り付け部形成後、前記リング状の仮貼り用板を取り外し、研磨パッド貼り付け装置の圧着部を前記リング状の貼り付け部に配置して上下定盤で挟み込み、前記圧着部を上下同時に前記リング状の貼り付け部から前記半径方向に動かすことで、前記上定盤と前記上定盤用研磨パッド間及び前記下定盤と前記下定盤用研磨パッド間のエアーを抜きながら前記上定盤用研磨パッド及び前記下定盤用研磨パッドをそれぞれ上下定盤に圧着する両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法である。
使用済み研磨パッドを剥がした後、十分に清掃し乾燥させた両面研磨装置において研磨布の貼り付け試験を行った。
比較例として手動でのエアー抜き作業を行った。上定盤を最上面に移動させ、定盤の間に体を入れ、研磨パッドを剥離紙から剥がしながらヘラを使ってエアーを外側に追い出しながら、研磨パッドの圧着を行った。
5…下定盤用研磨パッド、 6…リング状の仮貼り用板、
7…上定盤用研磨パッド、 8…リング状の貼り付け部、
10…両面研磨装置、
12…圧着部、 13…エアバッグ、
14…サンギア固定箇所、 15…インターナルギア固定箇所、
20…研磨パッド貼り付け装置、
21…エアだまり、
A…内側(サンギア側)、 B…外側(インターナルギア側)。
Claims (2)
- 上定盤及び下定盤を有し、前記下定盤内側に設けられたサンギヤと前記下定盤外側に設けられたインターナルギヤとを有する両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法であって、
前記下定盤上に下定盤用研磨パッドを貼り付け後、前記下定盤の半径方向の中心部を通るようにリング状の仮貼り用板を前記下定盤用研磨パッド上に載置し、
前記仮貼り用板上に上定盤用研磨パッドを、該パッドの貼り付け面を前記上定盤と対向配置して前記両面研磨機へ荷重を掛けて前記仮貼り用板を上下定盤で挟み込み、前記仮貼り用板部分のみ圧着することで、前記上定盤用研磨パッド及び前記下定盤用研磨パッドの半径方向中心部分にリング状の貼り付け部を形成し、
該貼り付け部形成後、前記リング状の仮貼り用板を取り外し、研磨パッド貼り付け装置の圧着部を前記リング状の貼り付け部に配置して上下定盤で挟み込み、前記圧着部を上下同時に前記リング状の貼り付け部から前記半径方向に動かすことで、前記上定盤と前記上定盤用研磨パッド間及び前記下定盤と前記下定盤用研磨パッド間のエアーを抜きながら前記上定盤用研磨パッド及び前記下定盤用研磨パッドをそれぞれ上下定盤に圧着することを特徴とする両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法。 - 前記研磨パッド貼り付け装置の前記圧着部を非回転のものとすることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置の研磨パッド貼り付け方法。
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