JP2021176165A - ウェーハの生成方法 - Google Patents
ウェーハの生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021176165A JP2021176165A JP2020081276A JP2020081276A JP2021176165A JP 2021176165 A JP2021176165 A JP 2021176165A JP 2020081276 A JP2020081276 A JP 2020081276A JP 2020081276 A JP2020081276 A JP 2020081276A JP 2021176165 A JP2021176165 A JP 2021176165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- ultrasonic
- ingot
- water
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 118
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 66
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 30
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/047—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by ultrasonic cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
- B26F3/00—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
- B26F3/004—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor by means of a fluid jet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
- B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/52—Ceramics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D7/08—Means for treating work or cutting member to facilitate cutting
- B26D7/086—Means for treating work or cutting member to facilitate cutting by vibrating, e.g. ultrasonically
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0094—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System
- H01L29/1608—Silicon carbide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
また、この場合、該超音波振動板に供給される高周波電力の周波数は、20kHz〜1MHzであってもよい。
本実施形態にかかるウェーハ生成方法は、剥離層形成工程、ウェーハ生成工程、離間工程、および洗浄工程を含んでいる。
図1(a)に示すように、単結晶SiCインゴットであるインゴット200は、全体として円柱形状に形成されている。インゴット200は、平坦な第1の端面201、および、第1の端面201と反対側の第2の端面202を有している。インゴット200の第1の端面201は、レーザー光線が照射される端面となる。また、第1の端面201と第2の端面202の間には、周面203が位置している。
本実施形態にかかるウェーハ生成方法における剥離工程では、このようなインゴット200にレーザー光線を照射して、インゴット200の内部に剥離層を形成する。このために、本実施形態では、図2(a)および図2(b)に示すようなレーザー加工装置64を用いる。
あるいは、インゴット200の第2の端面202とチャックテーブル66の上面との間に接着剤(たとえばエポキシ樹脂系接着剤)を介在させ、インゴット200をチャックテーブル66に固定してもよい。
本実施形態における剥離層形成加工では、オフ角αが形成される第1方向300と直交する第2方向301に整合しているX軸方向に沿って、X軸方向移動手段を用いて、チャックテーブル66を移動させる。
これにより、改質部204と、改質部204からc面に等方的に形成されるクラックとを含む剥離層206が、第2方向301に沿って連続的に形成される。
ウェーハ生成工程では、剥離層206が形成されたインゴット200から、剥離層206を界面としてウェーハを剥離することによって、ウェーハを生成する。このために、本実施形態では、図4に示すような剥離装置1を用いる。
図4に示すように、超音波水噴射ノズル2は、保持テーブル10の上方において旋回可能な水供給パイプ41の先端に取り付けられている。
図5に示すように、超音波水噴射ノズル2は、水供給源44から供給される水500を一時的に溜める箱20、箱20の下面に形成された噴射口241、および、噴射口241に対向して箱20内に配設される超音波振動板3、を備えている。
まず、作業者は、図5に示すように、インゴット200の中心が保持テーブル10の保持面11の中心におおよそ合致するように、保持面11上に、第1の端面201を上に向けて、インゴット200を載置する。そして、図示しない吸引源が作動して生み出された吸引力が、保持面11に伝達されることで、保持テーブル10の保持面11が、インゴット200の第2の端面202を吸引保持する。
なお、高周波電源29から超音波振動板3に供給される電力量は、たとえば95Wである。
離間工程では、ウェーハ生成工程において剥離されたウェーハを、離間手段によって、インゴット200から離間させる。このために、剥離装置1は、離間手段として、図6に示すようなウェーハ保持部50を備えている。
洗浄工程では、ウェーハ100の剥離面101を、超音波水噴射ノズル2を用いて洗浄する。
剥離面101の洗浄の後、旋回アーム52および上下移動手段によって、搬送パッド51に保持されたウェーハ100が、たとえば所定の保管場所まで搬送される。
なお、洗浄する際は、高周波電源29が、超音波振動板3に、所定の周波数(たとえば、500kHz〜1MHz)の高周波電力を供給する。
したがって、インゴットの一方の面を水没させ、インゴットの一方の面の全面に対して同時に超音波振動を伝達させてウェーハを剥離する構成に比して、剥離時間を短縮することができるとともに、超音波水噴射ノズル2およびその超音波振動板3を小型化することができる。これにより、ウェーハ100の剥離に関する効率化およびコストの低減を実現することができる。
3:超音波振動板、
10:保持テーブル、11:保持面、12:枠体、
13:保持テーブル回転手段、14:スピンドル、15:モータ、
20:箱、21:底板、22:天板、23:側壁、
221:第一室、222:第二室、231:水供給口、
25:第1電極板、26:第2電極板、27:圧電素材、261:輻射面、
29:高周波電源、30:ドーム部、31:ツバ部、32:円環状板、
24:ノズル部、241:噴射口、
41:水供給パイプ、42:継手、43:第1モータ、44:水供給源、
45:旋回軸、46:旋回モータ、
47:昇降手段、48:保持部材、49:筐体、
500:水、501:超音波水、600:超音波振動、
50:ウェーハ保持部、51:搬送パッド、52:旋回アーム、53:連結部、
64:レーザー加工装置、66:チャックテーブル、68:集光器、
400:レーザー光線、401:集光点、
100:ウェーハ、101:剥離面、
200:インゴット、201:第1の端面、202:第2の端面、203:周面、
204:改質部、205:クラック、206:剥離層、
211:第1のオリエンテーションフラット、
212:第2のオリエンテーションフラット、
215:垂線、216:c軸、217:c面、α:オフ角
Claims (5)
- c軸と該c軸に直交するc面とを有する単結晶SiCインゴットからウェーハを生成するウェーハの生成方法であって、
単結晶SiCに対して透過性を有する波長のレーザー光線を、該単結晶SiCインゴットの平坦な端面から照射し、該レーザー光線の集光点を、該単結晶SiCインゴットにおける生成すべきウェーハの厚みに相当する深さであるウェーハ深さに位置づけること、および、該単結晶SiCインゴットと該集光点とを該端面に平行な方向に相対的に移動することによって、改質部と、該改質部から該c面に等方的に形成されるクラックとを含む剥離層を形成する剥離層形成工程と、
該単結晶SiCインゴットのウェーハが生成される側の該端面に向かって、超音波水噴射ノズルから、超音波振動を伝播させた超音波水を噴射すること、および、該単結晶SiCインゴットと該超音波水噴射ノズルとを、該端面に平行な方向に相対的に移動させることにより、該剥離層を界面としてウェーハを剥離することによって、ウェーハを生成するウェーハ生成工程と、
を少なくとも含む、ウェーハの生成方法。 - 該単結晶SiCインゴットでは、該c軸が該端面の垂線に対してオフ角だけ傾いており、該c面と該端面とのなす角度が該オフ角であり、
該剥離層形成工程は、
該端面から照射された該レーザー光線における該集光点を、該オフ角が形成される方向である第1方向と直交する第2方向に沿って直線移動することにより、該改質部および該クラックを含む該剥離層を該第2方向に沿って連続的に形成すること、および、該第1方向に、該クラックの幅を超えない範囲で該単結晶SiCインゴットと該集光点とを相対的にインデックス送りすること、を交互に繰り返すことにより、該第2方向に沿う複数の該剥離層を順次生成することを含む、
請求項1記載のウェーハの生成方法。 - 該ウェーハ生成工程に用いられる該超音波水噴射ノズルは、
高周波電力を受けて超音波振動を発振するドーム型の超音波振動板と、
該超音波振動板の外周から外に張り出した円環状板と、
該円環状板を支持し、該超音波振動板の凹んだ面側に水を溜める水溜部と、該水溜部に水を供給する水供給口と、該超音波振動板の凹んだ面に対向し該水溜部の水を噴射する噴射口と、を備え、
該ウェーハ生成工程は、該超音波振動板に高周波電力を供給することによって該超音波振動板から発振される超音波振動の集束点を、該噴射口に形成することを含む、
請求項1記載のウェーハの生成方法。 - 該ウェーハ生成工程において剥離されたウェーハを、単結晶SiCインゴットから離間手段によって離間させる離間工程、および、
該ウェーハの剥離面を該超音波水噴射ノズルを用いて洗浄する洗浄工程、をさらに含む、
請求項1記載のウェーハの生成方法。 - 該超音波振動板に供給される高周波電力の周波数は、20kHz〜1MHzである、
請求項3記載のウェーハの生成方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020081276A JP7417464B2 (ja) | 2020-05-01 | 2020-05-01 | ウェーハの生成方法 |
US17/232,204 US11890783B2 (en) | 2020-05-01 | 2021-04-16 | Production method of wafer |
TW110113815A TW202143317A (zh) | 2020-05-01 | 2021-04-16 | 晶圓的生成方法 |
KR1020210051530A KR20210134504A (ko) | 2020-05-01 | 2021-04-21 | 웨이퍼의 생성 방법 |
CN202110480247.8A CN113580398A (zh) | 2020-05-01 | 2021-04-30 | 晶片的生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020081276A JP7417464B2 (ja) | 2020-05-01 | 2020-05-01 | ウェーハの生成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021176165A true JP2021176165A (ja) | 2021-11-04 |
JP7417464B2 JP7417464B2 (ja) | 2024-01-18 |
Family
ID=78243113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020081276A Active JP7417464B2 (ja) | 2020-05-01 | 2020-05-01 | ウェーハの生成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11890783B2 (ja) |
JP (1) | JP7417464B2 (ja) |
KR (1) | KR20210134504A (ja) |
CN (1) | CN113580398A (ja) |
TW (1) | TW202143317A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114932635A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-08-23 | 深圳市米珈来智能装备有限公司 | 一种晶圆分离的设备以及方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6773539B2 (ja) * | 2016-12-06 | 2020-10-21 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
JP6858587B2 (ja) | 2017-02-16 | 2021-04-14 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
JP6814671B2 (ja) | 2017-03-23 | 2021-01-20 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
JP6976828B2 (ja) | 2017-11-24 | 2021-12-08 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
JP7034683B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2022-03-14 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
JP6959120B2 (ja) | 2017-12-05 | 2021-11-02 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
JP7027215B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2022-03-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法およびウエーハの生成装置 |
-
2020
- 2020-05-01 JP JP2020081276A patent/JP7417464B2/ja active Active
-
2021
- 2021-04-16 TW TW110113815A patent/TW202143317A/zh unknown
- 2021-04-16 US US17/232,204 patent/US11890783B2/en active Active
- 2021-04-21 KR KR1020210051530A patent/KR20210134504A/ko active Search and Examination
- 2021-04-30 CN CN202110480247.8A patent/CN113580398A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210339428A1 (en) | 2021-11-04 |
US11890783B2 (en) | 2024-02-06 |
TW202143317A (zh) | 2021-11-16 |
JP7417464B2 (ja) | 2024-01-18 |
CN113580398A (zh) | 2021-11-02 |
KR20210134504A (ko) | 2021-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7009224B2 (ja) | 平坦化方法 | |
JP7034683B2 (ja) | 剥離装置 | |
JP7027215B2 (ja) | ウエーハの生成方法およびウエーハの生成装置 | |
KR101226071B1 (ko) | 음향 에너지를 발생시키기 위한 장치, 및 그것을 만드는 방법 | |
US11872581B2 (en) | Ultrasonic water jet apparatus including piezoelectric vibration plate | |
JP6959120B2 (ja) | 剥離装置 | |
JP6698468B2 (ja) | ウエーハ生成方法 | |
JP2018207034A (ja) | ウエーハ生成装置 | |
JP7046617B2 (ja) | ウエーハの生成方法およびウエーハの生成装置 | |
JP7417464B2 (ja) | ウェーハの生成方法 | |
JP7140576B2 (ja) | ウェーハの分割方法 | |
TWI801661B (zh) | 晶圓之切削方法及晶圓之分割方法 | |
KR20200101841A (ko) | 칩 및 프레임체 중 적어도 어느 것을 제조하는 방법 | |
JP2020000995A (ja) | 超音波水噴射装置 | |
JP2021086877A (ja) | 保護膜形成装置 | |
JP2022028313A (ja) | 超音波洗浄ノズル | |
JP2023167868A (ja) | 超音波水噴射ノズル | |
JP2021190550A (ja) | 超音波洗浄ノズルユニット、及び超音波洗浄装置 | |
JP2023132483A (ja) | 被加工物の分離方法 | |
JP2023170881A (ja) | 剥離装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231211 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7417464 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |