JP2021168363A - ダイシングダイボンドフィルム - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、粘着剤層からダイボンド層への光重合開始剤の移行を比較的抑制することができるダイシングダイボンドフィルムを提供する。
【解決手段】本発明に係るダイシングダイボンドフィルムは、基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、前記ダイシングテープの粘着剤層上に積層されたダイボンド層と、を備え、前記粘着剤層は、光重合開始剤を含み、硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnが、1.3以上である。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明に係るダイシングダイボンドフィルムは、基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、前記ダイシングテープの粘着剤層上に積層されたダイボンド層と、を備え、前記粘着剤層は、光重合開始剤を含み、硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnが、1.3以上である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ダイシングダイボンドフィルムに関する。
従来、半導体装置の製造において、ダイボンディング用の半導体チップを得るために、ダイシングダイボンドフィルムを用いることが知られている(例えば、特許文献1)。
前記ダイシングダイボンドフィルムは、基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、該ダイシングテープの粘着剤層上に剥離可能に積層されたダイボンド層とを備えている。
前記ダイシングダイボンドフィルムは、基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、該ダイシングテープの粘着剤層上に剥離可能に積層されたダイボンド層とを備えている。
そして、前記ダイシングダイボンドフィルムを用いてダイボンディング用の半導体チップ(ダイ)を得る方法として、半導体ウェハを割断処理によってチップ(ダイ)へ加工すべく半導体ウェハに溝を形成するハーフカット工程と、ハーフカット工程後の半導体ウェハを研削して厚さを薄くするバックグラインド工程と、バックグラインド工程後の半導体ウェハの一面(例えば、回路面とは反対側の面)をダイボンド層に貼付して、ダイシングテープに半導体ウェハを固定するマウント工程と、ハーフカット加工された半導体チップ同士の間隔を広げるエキスパンド工程と、半導体チップ同士の間隔を維持するカーフ維持工程と、ダイボンド層と粘着剤層との間を剥離してダイボンド層が貼付された状態で半導体チップを取り出すピックアップ工程と、を有する方法を採用することが知られている。
そして、前記ピックアップ工程において、ダイボンド層に貼付された状態で取り出された半導体チップ(以下、ダイボンド層付半導体チップともいう)は、被着体たる配線基板に接着される。
そして、前記ピックアップ工程において、ダイボンド層に貼付された状態で取り出された半導体チップ(以下、ダイボンド層付半導体チップともいう)は、被着体たる配線基板に接着される。
また、前記粘着剤層は、通常、(メタ)アクリル系樹脂などの樹脂と、該樹脂と反応して前記樹脂同士を重合させる架橋剤と、紫外線などの放射線を照射することにより、前記樹脂同士の連鎖重合を可能とする活性種を発生する光重合開始剤と、を含んでいる(例えば、特許文献2)。このような粘着剤層では、紫外線などの放射線を照射すると硬化反応が進行して、前記ダイボンド層との間の剥離力が低下するので、前記ダイボンド層からの該粘着剤層の剥離を比較的容易に行うことができる。
ところで、上記したように、前記ダイボンド層は、前記ピックアップ工程において前記粘着剤層から剥離される(切り離される)ものの、前記ピックアップ工程よりも前においては、前記ダイボンド層及び前記粘着剤層は接触した状態にある。
そのため、上記のように、前記粘着剤層中に前記光重合開始剤が含まれていると、前記光重合開始剤が前記粘着剤層から前記ダイボンド層に移行することがある。
このように、前記光重合開始剤が、前記粘着剤層から前記ダイボンド層へと移行すると、前記粘着剤層が要求される特性を満たさなくなったり、前記ダイボンド層が要求される特性を満たさなくなったりすることがあるため好ましくない。
しかしながら、前記粘着剤層から前記ダイボンド層への前記光重合開始剤の移行を抑制することについて、未だ十分な検討がなされているとは言い難い。
そのため、上記のように、前記粘着剤層中に前記光重合開始剤が含まれていると、前記光重合開始剤が前記粘着剤層から前記ダイボンド層に移行することがある。
このように、前記光重合開始剤が、前記粘着剤層から前記ダイボンド層へと移行すると、前記粘着剤層が要求される特性を満たさなくなったり、前記ダイボンド層が要求される特性を満たさなくなったりすることがあるため好ましくない。
しかしながら、前記粘着剤層から前記ダイボンド層への前記光重合開始剤の移行を抑制することについて、未だ十分な検討がなされているとは言い難い。
そこで、本発明は、粘着剤層からダイボンド層への光重合開始剤の移行を比較的抑制することができるダイシングダイボンドフィルムを提供することを課題とする。
本発明者らが鋭意検討したところ、上記のように構成されるダイシングダイボンドフィルムにおいて、前記粘着剤層が粘着剤に加えて光重合開始剤を含むものであったとしても、硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnを所定の数値範囲とすることにより、前記粘着剤層から前記ダイボンド層への前記光重合開始剤の移行を比較的抑制することができることを見出して、本発明を想到するに至った。
すなわち、本発明に係るダイシングダイボンドフィルムは、
基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、
前記ダイシングテープの粘着剤層上に積層されたダイボンド層と、を備え、
前記粘着剤層は、粘着剤及び光重合開始剤を含み、
硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnが、1.3以上である。
基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、
前記ダイシングテープの粘着剤層上に積層されたダイボンド層と、を備え、
前記粘着剤層は、粘着剤及び光重合開始剤を含み、
硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnが、1.3以上である。
斯かる構成によれば、前記粘着剤層から前記ダイボンド層への前記光重合開始剤の移行を比較的抑制することができる。
前記ダイシングダイボンドフィルムにおいては、
硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値が、33,000以下であることが好ましい。
硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値が、33,000以下であることが好ましい。
斯かる構成によれば、前記粘着剤層から前記ダイボンド層への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
前記ダイシングダイボンドフィルムにおいては、
硬化前の前記粘着剤層は、ゾル成分を32質量%未満含むことが好ましい。
硬化前の前記粘着剤層は、ゾル成分を32質量%未満含むことが好ましい。
斯かる構成によれば、前記粘着剤層から前記ダイボンド層への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
前記ダイシングダイボンドフィルムにおいては、
前記粘着剤層に対する前記ダイボンド層の剥離力が、前記粘着剤層の硬化後において、0.18N/20mm未満であることが好ましい。
前記粘着剤層に対する前記ダイボンド層の剥離力が、前記粘着剤層の硬化後において、0.18N/20mm未満であることが好ましい。
斯かる構成によれば、前記ダイボンド層と前記粘着剤層との間を剥離して、前記ダイボンド層が貼付された状態で半導体チップを取り出すピックアップ工程において、前記粘着剤層から前記ダイボンド層を、より一層容易に剥離させることができる。
本発明によれば、粘着剤層からダイボンド層への光重合開始剤の移行を比較的抑制することができるダイシングダイボンドフィルムを提供することができる。
以下、本発明の一実施形態について説明する。
[ダイシングダイボンドフィルム]
図1に示したように、本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20は、基材層1上に粘着剤層2が積層されたダイシングテープ10と、ダイシングテープ10の粘着剤層2上に積層されたダイボンド層3と、を備える。
ダイシングダイボンドフィルム20では、ダイボンド層3上に半導体ウェハが貼付される。
ダイシングダイボンドフィルム20を用いた半導体ウェハの割断においては、半導体ウェハと共にダイボンド層3も割断される。ダイボンド層3は、個片化された複数の半導体チップのサイズに相当する大きさに割断される。これにより、ダイボンド層3付の半導体チップを得ることができる。
図1に示したように、本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20は、基材層1上に粘着剤層2が積層されたダイシングテープ10と、ダイシングテープ10の粘着剤層2上に積層されたダイボンド層3と、を備える。
ダイシングダイボンドフィルム20では、ダイボンド層3上に半導体ウェハが貼付される。
ダイシングダイボンドフィルム20を用いた半導体ウェハの割断においては、半導体ウェハと共にダイボンド層3も割断される。ダイボンド層3は、個片化された複数の半導体チップのサイズに相当する大きさに割断される。これにより、ダイボンド層3付の半導体チップを得ることができる。
本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20において、粘着剤層2は、粘着剤及び光重合開始剤を含む。粘着剤層2は、半導体チップに個片化するための半導体ウェハを粘着することにより保持する。
前記粘着剤としては、ダイシングテープ10の使用過程において外部からの作用により粘着力を低減可能なもの(以下、粘着低減型粘着剤という)が挙げられる。
粘着剤として粘着低減型粘着剤を用いる場合、ダイシングテープ10の使用過程において、粘着剤層2が比較的高い粘着力を示す状態(以下、高粘着状態という)と、比較的低い粘着力を示す状態(以下、低粘着状態という)とを使い分けることができる。
例えば、ダイシングテープ10に貼付された半導体ウェハが割断に供されるときには、半導体ウェハの割断により個片化された複数の半導体チップが、粘着剤層2から浮き上がったり剥離したりすることを抑制するために、高粘着状態を利用する。
これに対し、半導体ウェハの割断後に、個片化された複数の半導体チップをピックアップするためには、粘着剤層2から複数の半導体チップをピックアップし易くするために、低粘着状態を利用する。
例えば、ダイシングテープ10に貼付された半導体ウェハが割断に供されるときには、半導体ウェハの割断により個片化された複数の半導体チップが、粘着剤層2から浮き上がったり剥離したりすることを抑制するために、高粘着状態を利用する。
これに対し、半導体ウェハの割断後に、個片化された複数の半導体チップをピックアップするためには、粘着剤層2から複数の半導体チップをピックアップし易くするために、低粘着状態を利用する。
前記粘着低減型粘着剤としては、例えば、ダイシングテープ10の使用過程において放射線によって硬化させることが可能な粘着剤(以下、放射線硬化粘着剤という)が挙げられる。
前記放射線硬化粘着剤としては、例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、または、X線の照射によって硬化するタイプの粘着剤が挙げられる。これらの中でも、紫外線照射により硬化する粘着剤(紫外線硬化粘着剤)を用いることが好ましい。
前記放射線硬化粘着剤としては、例えば、主成分としてのベースポリマーと、放射線重合性の炭素−炭素二重結合等の官能基を有する放射線重合性モノマー成分や放射線重合性オリゴマー成分とを含む、添加型の放射線硬化粘着剤が挙げられる。
前記ベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを用いることが好ましい。
前記ベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを用いることが好ましい。
前記アクリル系ポリマーとしては、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマー単位を含むものが挙げられる。(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、及び、(メタ)アクリル酸アリールエステル等が挙げられる。
前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)、エチルアクリレート(EA)、ブチルアクリレート(BA)、2−エチルヘキシルアクリレート(2EHA)、イソノニルアクリレート(INA)、ラウリルアクリレート(LA)、4−アクリロイルモルホリン(AMCO)、2−イソシアナトエチル=メタアクリレート(MOI)等を用いることが好ましい。
これらのアクリル系ポリマーは、1種のみで用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)、エチルアクリレート(EA)、ブチルアクリレート(BA)、2−エチルヘキシルアクリレート(2EHA)、イソノニルアクリレート(INA)、ラウリルアクリレート(LA)、4−アクリロイルモルホリン(AMCO)、2−イソシアナトエチル=メタアクリレート(MOI)等を用いることが好ましい。
これらのアクリル系ポリマーは、1種のみで用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記放射線重合性モノマー成分としては、例えば、ウレタン(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、および、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
前記放射線重合性オリゴマー成分としては、例えば、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系などの種々のオリゴマーが挙げられる。
前記放射線硬化粘着剤中における前記放射線重合性モノマー成分や前記放射線重合性オリゴマー成分の含有割合は、粘着剤層2の粘着性を適切に低下させる範囲で選ばれる。
前記放射線重合性オリゴマー成分としては、例えば、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系などの種々のオリゴマーが挙げられる。
前記放射線硬化粘着剤中における前記放射線重合性モノマー成分や前記放射線重合性オリゴマー成分の含有割合は、粘着剤層2の粘着性を適切に低下させる範囲で選ばれる。
粘着剤層2に含まれる光重合開始剤としては、例えば、α−ケトール系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール系化合物、芳香族スルホニルクロリド化合物、光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、カンファーキノン、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド、及び、アシルホスフォナート等が挙げられる。
前記光重合開始剤としては、光ラジカル発生剤を用いることが好ましい。光ラジカル発生剤は、活性エネルギー線(例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、または、X線)が照射されることにより、ラジカルを発生する。
光ラジカル発生剤としては、2−ヒドロキシ−1−(4−(4−(2−ヒドロキシ−2メチルプロピオニル)ベンゾイル)フェニル)−2−メチルプロパン−1−オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 127)、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 651)、1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルキエントン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 184)、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 2959)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 369E)、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 819)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(市販品としては、Irgacure社製のOXE02)等が挙げられる。
これらの中でも、2−ヒドロキシ−1−(4−(4−(2−ヒドロキシ−2メチルプロピオニル)ベンゾイル)フェニル)−2−メチルプロパン−1オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 127)を用いることが好ましい。
粘着剤層2は、前記光重合開始剤を0.1質量部以上10質量部以下含むことが好ましい。
前記光重合開始剤としては、光ラジカル発生剤を用いることが好ましい。光ラジカル発生剤は、活性エネルギー線(例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、または、X線)が照射されることにより、ラジカルを発生する。
光ラジカル発生剤としては、2−ヒドロキシ−1−(4−(4−(2−ヒドロキシ−2メチルプロピオニル)ベンゾイル)フェニル)−2−メチルプロパン−1−オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 127)、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 651)、1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルキエントン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 184)、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 2959)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 369E)、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 819)、エタノン−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)(市販品としては、Irgacure社製のOXE02)等が挙げられる。
これらの中でも、2−ヒドロキシ−1−(4−(4−(2−ヒドロキシ−2メチルプロピオニル)ベンゾイル)フェニル)−2−メチルプロパン−1オン(市販品としては、IGM Resins社製のOmnirad 127)を用いることが好ましい。
粘着剤層2は、前記光重合開始剤を0.1質量部以上10質量部以下含むことが好ましい。
本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20では、硬化前の粘着剤層2をGPC(ゲル浸透クロマトグラフィ)測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnが、1.3以上である。
多分散度Mw/Mnが1.3以上であることにより、粘着剤層2中の高分子成分の間に低分子成分が適度に配されることになるので、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行を比較的抑制することができる。
また、前記多分散度Mw/Mnは、2.0以上であることが好ましい。前記多分散度Mw/Mnが2.0以上であることにより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行を比較的抑制できることに加えて、後述する、ダイボンド層3と粘着剤層2との間を剥離して、ダイボンド層3が貼付された状態で半導体チップを取り出すピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3をより一層容易に剥離させることができる。
また、前記多分散度Mw/Mnは、10以下であることが好ましく、5以下であることが好ましく、3以下であることがより好ましい。
なお、本明細書において、分子量分布曲線とは、微分分子量分布曲線を意味する。
多分散度Mw/Mnが1.3以上であることにより、粘着剤層2中の高分子成分の間に低分子成分が適度に配されることになるので、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行を比較的抑制することができる。
また、前記多分散度Mw/Mnは、2.0以上であることが好ましい。前記多分散度Mw/Mnが2.0以上であることにより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行を比較的抑制できることに加えて、後述する、ダイボンド層3と粘着剤層2との間を剥離して、ダイボンド層3が貼付された状態で半導体チップを取り出すピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3をより一層容易に剥離させることができる。
また、前記多分散度Mw/Mnは、10以下であることが好ましく、5以下であることが好ましく、3以下であることがより好ましい。
なお、本明細書において、分子量分布曲線とは、微分分子量分布曲線を意味する。
硬化前の粘着剤層2のGPC測定は、以下の手順にしたがって調製した測定試料について、分析装置として東ソー社製のHLC−8220GPCを用いて、以下の測定条件を採用することにより行うことができる。
[測定試料の調製]
(1)硬化前の粘着剤層2から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートで包んだ後、室温(23±2℃)にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除いて、トルエン溶解成分を含むトルエン溶液を得る。
(4)前記トルエン溶液を、減圧しながら45℃以下の温度で処理し、前記トルエン溶液からトルエンを取り除いて、トルエン溶解成分の固形物を得る。
(5)前記固形物を、濃度が0.2質量%となるように、テトラヒドロフラン(THF)に溶解させてTHF溶液とした後、一晩放置する。
(6)一晩放置したTHF溶液を、0.45μmのメンブレンフィルタにて濾過し、得られた濾液を測定試料とする。
(1)硬化前の粘着剤層2から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートで包んだ後、室温(23±2℃)にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除いて、トルエン溶解成分を含むトルエン溶液を得る。
(4)前記トルエン溶液を、減圧しながら45℃以下の温度で処理し、前記トルエン溶液からトルエンを取り除いて、トルエン溶解成分の固形物を得る。
(5)前記固形物を、濃度が0.2質量%となるように、テトラヒドロフラン(THF)に溶解させてTHF溶液とした後、一晩放置する。
(6)一晩放置したTHF溶液を、0.45μmのメンブレンフィルタにて濾過し、得られた濾液を測定試料とする。
[測定条件]
・カラム:東ソー社製のTSKgel quaudcolumn SuperHZ−L(以下、第1カラムという)1本、及び、
東ソー社製のTSKgel SuperHZM−M(以下、第2カラムという)2本
上記各カラムは、前記第1カラムの下流側に2本の前記第2カラムを直列で連結させ、後述する溶離液が前記第1カラム側から流入するように、前記分析装置に配する。
・カラム温度:40℃
・溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
・流量:サンプルポンプ流量 0.3mL/min
レファレンスポンプ流量 1.0mL/min
・注入量:10μL
・検出器:示差屈折率検出器(RI)
・カラム:東ソー社製のTSKgel quaudcolumn SuperHZ−L(以下、第1カラムという)1本、及び、
東ソー社製のTSKgel SuperHZM−M(以下、第2カラムという)2本
上記各カラムは、前記第1カラムの下流側に2本の前記第2カラムを直列で連結させ、後述する溶離液が前記第1カラム側から流入するように、前記分析装置に配する。
・カラム温度:40℃
・溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
・流量:サンプルポンプ流量 0.3mL/min
レファレンスポンプ流量 1.0mL/min
・注入量:10μL
・検出器:示差屈折率検出器(RI)
また、前記測定試料について測定した結果を基にして、分子量分布曲線(微分分子量分布曲線)を得るために、東ソー社製の各標準ポリスチレンを、以下の表1に示した配合質量となるように計量し、計量した各標準ポリスチレンを、100mLのTHFに溶解させて、標準ポリスチレン溶液STD1及び標準ポリスチレン溶液STD2を得て、これらについても、上記の測定装置を用いて、上記の測定条件にてGPC測定を行う。
前記測定試料、前記STD1、及び、前記STD2をGPC測定した結果を、東ソー社製の解析ソフトGPC−8020 Model II(データ管理 Version 5.10)を用いてデータ解析する。
上記解析ソフトを用いたデータ解析では、まず、前記STD1及び前記STD2についての較正曲線(横軸を時間(min)とし、縦軸を質量平均分子量の対数とした較正曲線)を作成し、これらの較正曲線を基に、前記測定試料の分子量に関するデータ解析を行う。前記測定試料の分子量に関するデータ解析は、クロマトグラム上で最も早く検出されるピークP1(最も高分子量側のピーク)についての分子量分布曲線を得た上で行う。ピークP1についての分子量分布曲線について、データ解析を行うことにより、ピークP1についての数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得ることができる。
なお、最も早く検出されるピークP1の立下り部分とピークP1の次に検出されるピークP2の立上り部分とに重なりが認められる場合には、ピークP1の立上りの開始部分を基点として水平方向に延びるようにベースラインを引き、ピークP1の立下り部分とピークP2の立上り部分との間に生じる谷部分(最も凹んだ部分)に向けて前記ベースラインから垂直に線を引き、ピークP1の立上りの開始部分から前記谷部分までと、前記ベースラインと、前記ベースラインから前記谷部分に向けて垂直に引いた線とで区切られた領域を解析することにより、ピークP1について、数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得ることができる。
上記解析ソフトを用いたデータ解析では、まず、前記STD1及び前記STD2についての較正曲線(横軸を時間(min)とし、縦軸を質量平均分子量の対数とした較正曲線)を作成し、これらの較正曲線を基に、前記測定試料の分子量に関するデータ解析を行う。前記測定試料の分子量に関するデータ解析は、クロマトグラム上で最も早く検出されるピークP1(最も高分子量側のピーク)についての分子量分布曲線を得た上で行う。ピークP1についての分子量分布曲線について、データ解析を行うことにより、ピークP1についての数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得ることができる。
なお、最も早く検出されるピークP1の立下り部分とピークP1の次に検出されるピークP2の立上り部分とに重なりが認められる場合には、ピークP1の立上りの開始部分を基点として水平方向に延びるようにベースラインを引き、ピークP1の立下り部分とピークP2の立上り部分との間に生じる谷部分(最も凹んだ部分)に向けて前記ベースラインから垂直に線を引き、ピークP1の立上りの開始部分から前記谷部分までと、前記ベースラインと、前記ベースラインから前記谷部分に向けて垂直に引いた線とで区切られた領域を解析することにより、ピークP1について、数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得ることができる。
硬化前の粘着剤層2をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値は、33,000以下であることが好ましく、25,000以下であることがより好ましい。最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値が上記数値範囲内にあることにより、粘着剤層2中に含まれる高分子成分の分子鎖近傍の空間を比較的小さくすることができるので、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
また、硬化前の粘着剤層2をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値は、4,000以上であることが好ましく、8,000以上であることがより好ましい。最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値が上記数値範囲内にあることにより、粘着剤層2中に含まれる高分子成分同士の間に生じる空間を比較的小さくすることができる。これにより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
また、硬化前の粘着剤層2をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値は、4,000以上であることが好ましく、8,000以上であることがより好ましい。最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値が上記数値範囲内にあることにより、粘着剤層2中に含まれる高分子成分同士の間に生じる空間を比較的小さくすることができる。これにより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
硬化前の粘着剤層2は、ゾル成分を32質量%未満含んでいることが好ましい。
前記光重合開始剤は、ゾル成分を介して粘着剤層2からダイボンド層3へと移行すると考えらえるものの、ゾル成分を上記数値範囲とすることより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
また、前記硬化前の粘着剤層2は、ゾル成分を23質量%以下含んでいることが好ましい。
ゾル成分の上記数値範囲とすることにより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができることに加えて、ダイボンド層3と粘着剤層2との間を剥離して、ダイボンド層3が貼付された状態で半導体チップを取り出すピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3をより一層容易に剥離させることができる。
なお、本明細書において、ゾル成分とは、下記のゾル成分の質量割合の測定において説明しているように、硬化前の粘着剤層2から約0.2gのサンプルを取得し、該サンプルを約30mLのトルエン中に1週間浸漬させた後に、前記トルエン中に溶解する成分を意味する。
硬化前の粘着剤層2におけるゾル成分の質量比率は、以下のようにして求めることができる。
前記光重合開始剤は、ゾル成分を介して粘着剤層2からダイボンド層3へと移行すると考えらえるものの、ゾル成分を上記数値範囲とすることより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができる。
また、前記硬化前の粘着剤層2は、ゾル成分を23質量%以下含んでいることが好ましい。
ゾル成分の上記数値範囲とすることにより、粘着剤層2からダイボンド層3への前記光重合開始剤の移行をより一層抑制することができることに加えて、ダイボンド層3と粘着剤層2との間を剥離して、ダイボンド層3が貼付された状態で半導体チップを取り出すピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3をより一層容易に剥離させることができる。
なお、本明細書において、ゾル成分とは、下記のゾル成分の質量割合の測定において説明しているように、硬化前の粘着剤層2から約0.2gのサンプルを取得し、該サンプルを約30mLのトルエン中に1週間浸漬させた後に、前記トルエン中に溶解する成分を意味する。
硬化前の粘着剤層2におけるゾル成分の質量比率は、以下のようにして求めることができる。
[ゾル成分の質量比率の測定]
(1)硬化前の粘着剤層2から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートで包んだ後、室温にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除く。
(4)前記トルエン不溶分を、常圧にて130℃で約2時間乾燥させた後、前記トルエン不溶分を秤量する。
(5)下記式(1)にしたがってゲル成分の質量比率を算出し、ゲル分率の質量比率の算出値を基に、下記式(2)にしたがってゾル成分の質量比率を算出する。
(1)硬化前の粘着剤層2から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートで包んだ後、室温にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除く。
(4)前記トルエン不溶分を、常圧にて130℃で約2時間乾燥させた後、前記トルエン不溶分を秤量する。
(5)下記式(1)にしたがってゲル成分の質量比率を算出し、ゲル分率の質量比率の算出値を基に、下記式(2)にしたがってゾル成分の質量比率を算出する。
粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、粘着剤層2の硬化後において、0.18N/20mm未満であることが好ましく、0.15N/20mm以下であることがより好ましく、0.07N/20mm以下であることがさらに好ましい。
粘着剤層2の硬化後における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力を上記数値範囲とすることにより、上記したピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3をより一層容易に剥離させることができる。
また、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、粘着剤層2の硬化後において、0.01N/20mm以上であることが好ましい。
また、粘着剤層2の硬化後における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力を0.07N/20mm以下とすることにより、上記したピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3を特に容易に剥離させることができる。
硬化された粘着剤層2は、裏打ちテープが貼り合わされたダイシングダイボンドフィルム20のダイシングテープ10から放射線を所定強度の放射線(例えば、150J/cm2の紫外線)を照射することにより得ることができる。
粘着剤層2の硬化後における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、T型剥離試験により測定することができる。T型剥離試験は、ダイボンド層3の露出面に裏打ちテープ(例えば、日東電工社製の商品名「ELP BT315」)を貼り合せたダイシングダイボンドフィルム20に所定強度の放射線を照射して粘着剤層2を硬化させた後、硬化させた粘着剤層2から、幅50mm×長さ120mmの寸法に切り出したものを測定用サンプルとし、引張試験器(例えば、商品名「TG−1kN」、ミネベアミツミ社製)を用いて、温度25℃、引張速度300mm/分の条件で行うことができる。
粘着剤層2の硬化後における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力を上記数値範囲とすることにより、上記したピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3をより一層容易に剥離させることができる。
また、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、粘着剤層2の硬化後において、0.01N/20mm以上であることが好ましい。
また、粘着剤層2の硬化後における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力を0.07N/20mm以下とすることにより、上記したピックアップ工程において、粘着剤層2からダイボンド層3を特に容易に剥離させることができる。
硬化された粘着剤層2は、裏打ちテープが貼り合わされたダイシングダイボンドフィルム20のダイシングテープ10から放射線を所定強度の放射線(例えば、150J/cm2の紫外線)を照射することにより得ることができる。
粘着剤層2の硬化後における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、T型剥離試験により測定することができる。T型剥離試験は、ダイボンド層3の露出面に裏打ちテープ(例えば、日東電工社製の商品名「ELP BT315」)を貼り合せたダイシングダイボンドフィルム20に所定強度の放射線を照射して粘着剤層2を硬化させた後、硬化させた粘着剤層2から、幅50mm×長さ120mmの寸法に切り出したものを測定用サンプルとし、引張試験器(例えば、商品名「TG−1kN」、ミネベアミツミ社製)を用いて、温度25℃、引張速度300mm/分の条件で行うことができる。
粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、粘着剤層2の硬化前において、0.3N/20mm以上であることが好ましい。
硬化前の粘着剤層2において、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力を上記のような数値範囲とすることにより、粘着剤層2にてダイボンド層3を適度に保持することができるようになる。これにより、ダイボンド層3が個片化された後に生じるチップ浮きをより一層抑制できる。
また、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、粘着剤層2の硬化前において、5.0N/20mm以下であることが好ましい。
粘着剤層2の硬化前における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、T型剥離試験により測定することができる。T型剥離試験は、ダイボンド層3の露出面に裏打ちテープ(例えば、日東電工社製の商品名「ELP BT315」)を貼り合せたダイシングダイボンドフィルム20から、幅20mm×長さ120mmの寸法に切り出したものを測定用サンプルとし、引張試験器(例えば、商品名「TG−1kN」、ミネベアミツミ社製)を用いて、温度25℃、引張速度300mm/分の条件で行うことができる。
硬化前の粘着剤層2において、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力を上記のような数値範囲とすることにより、粘着剤層2にてダイボンド層3を適度に保持することができるようになる。これにより、ダイボンド層3が個片化された後に生じるチップ浮きをより一層抑制できる。
また、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、粘着剤層2の硬化前において、5.0N/20mm以下であることが好ましい。
粘着剤層2の硬化前における、粘着剤層2に対するダイボンド層3の剥離力は、T型剥離試験により測定することができる。T型剥離試験は、ダイボンド層3の露出面に裏打ちテープ(例えば、日東電工社製の商品名「ELP BT315」)を貼り合せたダイシングダイボンドフィルム20から、幅20mm×長さ120mmの寸法に切り出したものを測定用サンプルとし、引張試験器(例えば、商品名「TG−1kN」、ミネベアミツミ社製)を用いて、温度25℃、引張速度300mm/分の条件で行うことができる。
粘着剤層2は、外部架橋剤を含んでいてもよい。外部架橋剤としては、ベースポリマー(例えば、アクリル系ポリマー)と反応して架橋構造を形成できるものであれば、どのようなものでも用いることができる。このような外部架橋剤としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、ポリオール化合物、アジリジン化合物、及び、メラミン系架橋剤等が挙げられる。
粘着剤層2が外部架橋剤を含む場合、粘着剤層2は、前記外部架橋剤を0.1質量部以上3質量部以下含むことが好ましい。
粘着剤層2が外部架橋剤を含む場合、粘着剤層2は、前記外部架橋剤を0.1質量部以上3質量部以下含むことが好ましい。
粘着剤層2は、上記のごとく成分に加えて、粘着付与剤(タッキファイヤ)、酸化防止剤、架橋促進剤、老化防止剤、顔料、または、染料等の着色剤等を含んでいてもよい。
粘着剤層2の厚さは、1μm以上50μm以下であることが好ましく、2μm以上30μm以下であることがより好ましく、5μm以上25μm以下であることがさらに好ましい。
粘着剤層2の厚さは、例えば、ダイアルゲージ(PEACOCK社製、型式R−205)を用いて、ランダムに選んだ任意の5点の厚さを測定し、これらの厚さを算術平均することにより求めることができる。
粘着剤層2の厚さは、例えば、ダイアルゲージ(PEACOCK社製、型式R−205)を用いて、ランダムに選んだ任意の5点の厚さを測定し、これらの厚さを算術平均することにより求めることができる。
基材層1は、粘着剤層2を支持する。基材層1は樹脂フィルムを用いて作製される。樹脂フィルムに含まれる樹脂としては、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリフェニルスルフィド、フッ素樹脂、セルロース系樹脂、及び、シリコーン樹脂等が挙げられる。
ポリオレフィンとしては、例えば、α−オレフィンのホモポリマー、2種以上のα−オレフィンの共重合体、ブロックポリプロピレン、ランダムポリプロピレン、1種または2種以上のα−オレフィンと他のビニルモノマーとの共重合体等が挙げられる。
α−オレフィンのホモポリマーとしては、炭素数2以上12以下のα−オレフィンのホモポリマーであることが好ましい。このようなホモポリマーとしては、エチレン、プロピレン、1−ブテン、4−メチル−1−ペンテン等が挙げられる。
2種以上のα−オレフィンの共重合体としては、エチレン/プロピレン共重合体、エチレン/1−ブテン共重合体、エチレン/プロピレン/1−ブテン共重合体、エチレン/炭素数5以上12以下のα−オレフィン共重合体、プロピレン/エチレン共重合体、プロピレン/1−ブテン共重合体、プロピレン/炭素数5以上12以下のα−オレフィン共重合体等が挙げられる。
1種または2種以上のα−オレフィンと他のビニルモノマーとの共重合体としては、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)等が挙げられる。
ポリオレフィンは、α−オレフィン系熱可塑性エラストマーと呼ばれるものであってもよい。α−オレフィン系熱可塑性エラストマーとしては、プロピレン・エチレン共重合体とプロピレンホモポリマーとを組み合わせたもの、または、プロピレン・エチレン・炭素数4以上のα−オレフィン三元共重合体が挙げられる。
α−オレフィン系熱可塑性エラストマーの市販品としては、例えば、プロピレン系エラストマー樹脂であるビスタマックス3980(エクソンモービルケミカル社製)が挙げられる。
α−オレフィン系熱可塑性エラストマーの市販品としては、例えば、プロピレン系エラストマー樹脂であるビスタマックス3980(エクソンモービルケミカル社製)が挙げられる。
樹脂フィルムは、前記した樹脂を1種含むものであってもよいし、前記した樹脂を2種以上含むものであってもよい。
なお、粘着剤層2が後述する紫外線硬化粘着剤を含む場合、基材層1を作製する樹脂フィルムは、紫外線透過性を有するように構成されることが好ましい。
なお、粘着剤層2が後述する紫外線硬化粘着剤を含む場合、基材層1を作製する樹脂フィルムは、紫外線透過性を有するように構成されることが好ましい。
基材層1は、単層構造であってもよいし、積層構造であってもよい。基材層1は、無延伸成形により得られてもよいし、延伸成形により得られてもよいが、延伸成形により得られることが好ましい。基材層1が積層構造である場合、基材層1は、エラストマーを含む層(以下、エラストマー層という)と非エラストマーを含む層(以下、非エラストマー層という)とを有することが好ましい。
基材層1をエラストマー層と非エラストマー層とを有するものとすることにより、エラストマー層を、引張応力を緩和する応力緩和層として機能させることができる。すなわち、基材層1に生じる引張応力を比較的小さくすることができるので、基材層1を適度な硬さを有しつつ、比較的伸び易いものとすることができる。
これにより、半導体ウェハから複数の半導体チップへの割断性を向上させることができる。
また、エキスパンド工程における割断時に、基材層1が破れて破損することを抑制することができる。
なお、本明細書においては、エラストマー層とは、非エラストマー層に比べて室温での引張貯蔵弾性率が低い低弾性率層を意味する。エラストマー層としては、室温での引張貯蔵弾性率が10MPa以上200MPa以下のものが挙げられ、非エラストマー層としては、室温での引張貯蔵弾性率が200MPa以上500MPa以下のものが挙げられる。
基材層1をエラストマー層と非エラストマー層とを有するものとすることにより、エラストマー層を、引張応力を緩和する応力緩和層として機能させることができる。すなわち、基材層1に生じる引張応力を比較的小さくすることができるので、基材層1を適度な硬さを有しつつ、比較的伸び易いものとすることができる。
これにより、半導体ウェハから複数の半導体チップへの割断性を向上させることができる。
また、エキスパンド工程における割断時に、基材層1が破れて破損することを抑制することができる。
なお、本明細書においては、エラストマー層とは、非エラストマー層に比べて室温での引張貯蔵弾性率が低い低弾性率層を意味する。エラストマー層としては、室温での引張貯蔵弾性率が10MPa以上200MPa以下のものが挙げられ、非エラストマー層としては、室温での引張貯蔵弾性率が200MPa以上500MPa以下のものが挙げられる。
エラストマー層は、1種のエラストマーを含むものであってもよいし、2種以上のエラストマーを含むものであってもよいが、α−オレフィン系熱可塑性エラストマーや、EVA(エチレン−酢酸ビニル共重合体)を含むことが好ましい。
非エラストマー層は、1種の非エラストマーを含むものであってもよいし、2種以上の非エラストマーを含むものであってもよいが、後述するメタロセンPPを含むことが好ましい。
基材層1がエラストマー層と非エラストマー層とを有する場合、基材層1は、エラストマー層を中心層とし、該中心層の互いに対向する両面に非エラストマー層を有する三層構造(非エラストマー層/エラストマー層/非エラストマー層)に形成されることが好ましい。
非エラストマー層は、1種の非エラストマーを含むものであってもよいし、2種以上の非エラストマーを含むものであってもよいが、後述するメタロセンPPを含むことが好ましい。
基材層1がエラストマー層と非エラストマー層とを有する場合、基材層1は、エラストマー層を中心層とし、該中心層の互いに対向する両面に非エラストマー層を有する三層構造(非エラストマー層/エラストマー層/非エラストマー層)に形成されることが好ましい。
また、前記したように、カーフ維持工程においては、室温(例えば23℃)でエキスパンド状態を維持した前記ダイシングダイボンドフィルムに熱風(例えば、100〜130℃)を当てて前記ダイシングダイボンドフィルムを熱収縮させた後、冷却固化させるため、基材層1の最外層は、ダイシングテープに当てられる熱風の温度に近い融点を有する樹脂を含んでいることが好ましい。これにより、熱風を当てることにより溶融した最外層をより迅速に固化させることができる。
その結果、カーフ維持工程において、カーフをより十分に維持することができる。
その結果、カーフ維持工程において、カーフをより十分に維持することができる。
基材層1がエラストマー層と非エラストマー層との積層構造であり、エラストマー層がα−オレフィン系熱可塑性エラストマーを含み、かつ、非エラストマー層が後述するメタロセンPPなどのポリオレフィンを含む場合、エラストマー層は、該エラストマー層を形成するエラストマーの総質量に対して、α−オレフィン系熱可塑性エラストマーを50質量%以上100質量%以下含んでいることが好ましく、70質量%以上100質量%以下含んでいることがより好ましく、80質量%以上100質量%以下含んでいることがさらに好ましく、90質量%以上100質量%以下含んでいることが特に好ましく、95質量%以上100質量%以下含んでいることが最適である。α−オレフィン系熱可塑性エラストマーが前記範囲で含まれていることにより、エラストマー層と非エラストマー層との親和性が高くなるため、基材層1を比較的容易に押出成形することができる。また、エラストマー層を応力緩和層として作用させることができるので、ダイシングテープに貼付した半導体ウェハを効率良く割断することができる。
基材層1がエラストマー層と非エラストマー層との積層構造である場合、基材層1は、エラストマーと非エラストマーとを共押出して、エラストマー層と非エラストマー層との積層構造とする共押出成形により得られることが好ましい。共押出成形としては、フィルムやシート等の製造において一般に行われる任意の適切な共押出成形を採用することができる。共押出成形の中でも、基材層1を効率良く安価に得ることができる点から、インフレーション法や共押出Tダイ法を採用することが好ましい。
積層構造をなす基材層1を共押出成形にて得る場合、前記エラストマー層及び前記非エラストマー層は加熱されて溶融された状態で接するため、前記エラストマー及び前記非エラストマーの融点差は小さい方が好ましい。融点差が小さいことにより、低融点となる前記エラストマーまたは前記非エラストマーのいずれかに過度の熱がかかることが抑制されることから、低融点となる前記エラストマーまたは前記非エラストマーのいずれかが熱劣化することによって副生成物が生成されることを抑制できる。また、低融点となる前記エラストマーまたは前記非エラストマーのいずれかの粘度が過度に低下することにより前記エラストマー層と前記非エラストマー層との間に積層不良が生じることも抑制できる。前記エラストマー及び前記非エラストマーの融点差は、0℃以上70℃以下であることが好ましく、0℃以上55℃以下であることがより好ましい。
前記エラストマー及び前記非エラストマーの融点は、示差走査熱量(DSC)分析により測定することができる。例えば、示差走査熱量計装置(TAインスツルメンツ社製、型式DSC Q2000)を用い、窒素ガス気流下、昇温速度5℃/minにて200℃まで昇温し、吸熱ピークのピーク温度を求めることにより測定することができる。
前記エラストマー及び前記非エラストマーの融点は、示差走査熱量(DSC)分析により測定することができる。例えば、示差走査熱量計装置(TAインスツルメンツ社製、型式DSC Q2000)を用い、窒素ガス気流下、昇温速度5℃/minにて200℃まで昇温し、吸熱ピークのピーク温度を求めることにより測定することができる。
基材層1の厚さは、55μm以上195μm以下であることが好ましく、55μm以上190μm以下であることがより好ましく、55μm以上170μm以下であることがさらに好ましく、60μm以上160μm以下であることが最適である。基材層1の厚さを前記の範囲とすることにより、ダイシングテープを効率良く製造することができ、かつ、ダイシングテープに貼付した半導体ウェハを効率良く割断することができる。
基材層1の厚さは、例えば、ダイアルゲージ(PEACOCK社製、型式R−205)を用いて、ランダムに選んだ任意の5点の厚さを測定し、これらの厚さを算術平均することにより求めることができる。
基材層1の厚さは、例えば、ダイアルゲージ(PEACOCK社製、型式R−205)を用いて、ランダムに選んだ任意の5点の厚さを測定し、これらの厚さを算術平均することにより求めることができる。
エラストマー層と非エラストマー層とを積層させた基材層1において、エラストマー層の厚さに対する非エラストマー層の厚さの比は、1/25以上1/3以下であることが好ましく、1/25以上1/3.5以下であることがより好ましく、1/25以上1/4であることがさらに好ましく、1/22以上1/4以下であることが特に好ましく、1/20以上1/4以下であることが最適である。エラストマー層の厚さに対する非エラストマー層の厚さの比を前記範囲とすることにより、ダイシングテープに貼付した半導体ウェハをより効率良く割断することができる。
エラストマー層は、単層(1層)構造であってもよいし、積層構造であってもよい。エラストマー層は、1層〜5層構造であることが好ましく、1層〜3層構造であることがより好ましく、1層〜2層構造であることがさらに好ましく、1層構造であることが最適である。エラストマー層が積層構造である場合、全ての層が同じエラストマーを含んでいてもよいし、少なくも2層が異なるエラストマーを含んでいてもよい。
非エラストマー層は、単層(1層)構造であってもよいし、積層構造であってもよい。非エラストマー層は、1層〜5層構造であることが好ましく、1層〜3層構造であることがより好ましく、1層〜2層構造であることがさらに好ましく、1層構造であることが最適である。非エラストマー層が積層構造である場合、全ての層が同じ非エラストマーを含んでいてもよいし、少なくとも2層が異なる非エラストマーを含んでいてもよい。
非エラストマー層は、非エラストマーとして、メタロセン触媒による重合品であるポリプロピレン樹脂(以下、メタロセンPPという)を含むことが好ましい。メタロセンPPとしては、メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィン共重合体が挙げられる。非エラストマー層がメタロセンPPを含むことにより、ダイシングテープを効率良く製造することができ、かつ、ダイシングテープに貼付した半導体ウェハを効率良く割断することができる。
なお、市販のメタロセンPPとしては、ウィンテックWFX4M(日本ポリプロ社製)が挙げられる。
なお、市販のメタロセンPPとしては、ウィンテックWFX4M(日本ポリプロ社製)が挙げられる。
ここで、メタロセン触媒とは、シクロペンタジエニル骨格を有する配位子を含む周期表第4族の遷移金属化合物(いわゆる、メタロセン化合物)と、メタロセン化合物と反応して該メタロセン化合物を安定なイオン状態に活性化し得る助触媒とからなる触媒であり、必要により、有機アルミニウム化合物を含む。メタロセン化合物は、プロピレンの立体規則性重合を可能とする架橋型のメタロセン化合物である。
前記メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィン共重合体の中でも、メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィンランダム共重合体が好ましく、前記メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィンランダム共重合体の中でも、メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/炭素数2のα−オレフィンランダム共重合体、メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/炭素数4のα−オレフィンランダム共重合体、及び、メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/炭素数5のα−オレフィンランダム共重合体の中から選ばれるものが好ましく、これらの中でも、メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/エチレンランダム共重合体が最適である。
前記メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィンランダム共重合体としては、前記エラストマー層との共押出成膜性、及び、ダイシングテープに貼付した半導体ウェハの割断性の観点から、融点が80℃以上140℃以下、特に、100℃以上130℃以下のものが好ましい。
前記メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィンランダム共重合体の融点は、前記した方法によって測定することができる。
前記メタロセン触媒の重合品であるプロピレン/α−オレフィンランダム共重合体の融点は、前記した方法によって測定することができる。
ここで、前記エラストマー層が基材層1の最外層に配されていると、基材層1をロール体とした場合に、最外層に配された前記エラストマー層同士がブロッキングし易くなる(くっつき易くなる)。そのため、基材層1をロール体から巻き戻し難くなる。これに対し、前記した積層構造の基材層1の好ましい態様では、非エラストマー層/エラストマー層/非エラストマー層、すなわち、最外層に非エラストマー層が配されているので、このような態様の基材層1は、耐ブロッキング性に優れたものとなる。これにより、ブロッキングによってダイシングテープ10を用いた半導体装置の製造が遅延することを抑制できる。
前記非エラストマー層は、100℃以上130℃以下の融点を有し、かつ、分子量分散度(質量平均分子量/数平均分子量)が5以下である樹脂を含むことが好ましい。このような樹脂としては、メタロセンPPが挙げられる。
前記非エラストマー層が前記のごとき樹脂を含むことにより、カーフ維持工程において、非エラストマー層をより迅速に冷却固化することができる。そのため、ダイシングテープを熱収縮させた後に、基材層1が縮むことをより十分に抑制することができる。
これにより、カーフ維持工程において、カーフをより十分に維持することができる。
前記非エラストマー層が前記のごとき樹脂を含むことにより、カーフ維持工程において、非エラストマー層をより迅速に冷却固化することができる。そのため、ダイシングテープを熱収縮させた後に、基材層1が縮むことをより十分に抑制することができる。
これにより、カーフ維持工程において、カーフをより十分に維持することができる。
ダイボンド層3は、熱硬化性を有することが好ましい。ダイボンド層3に熱硬化性樹脂及び熱硬化性官能基を有する熱可塑性樹脂の少なくとも一方を含ませることにより、ダイボンド層3に熱硬化性を付与することができる。
ダイボンド層3が熱硬化性樹脂を含む場合、このような熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、及び、熱硬化性ポリイミド樹脂等が挙げられる。これらの中でもエポキシ樹脂を用いることが好ましい。
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型、臭素化ビスフェノールA型、水添ビスフェノールA型、ビスフェノールAF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型、ヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型、及び、グリシジルアミン型のエポキシ樹脂が挙げられる。
エポキシ樹脂の硬化剤としてのフェノール樹脂としては、例えば、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、及び、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレンが挙げられる。
ダイボンド層3が、熱硬化性官能基を有する熱可塑性樹脂を含む場合、このような熱可塑性樹脂としては、例えば、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂が挙げられる。熱硬化性官能基含有アクリル樹脂におけるアクリル樹脂としては、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマー単位を含むものが挙げられる。
熱硬化性官能基を有する熱硬化性樹脂においては、熱硬化性官能基の種類に応じて、硬化剤が選ばれる。
熱硬化性官能基を有する熱硬化性樹脂においては、熱硬化性官能基の種類に応じて、硬化剤が選ばれる。
ダイボンド層3は、樹脂成分の硬化反応を充分に進行させたり、硬化反応速度を高めたりする観点から、熱硬化触媒(硬化促進剤)を含有していてもよい。熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール系化合物、トリフェニルフォスフィン系化合物、アミン系化合物、およびトリハロゲンボラン系化合物が挙げられる。
ダイボンド層3は、熱可塑性樹脂を含んでいてもよい。熱可塑性樹脂はバインダとして機能する。熱可塑性樹脂としては、例えば、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、ポリアミド6やポリアミド6,6等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、PETやPBT等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、一種のみが用いられてもよいし、二種以上が組み合わされて用いられてもよい。上記熱可塑性樹脂としては、イオン性不純物が少なく、かつ、耐熱性が高いために、ダイボンド層による接続信頼性が確保し易くなるという観点から、アクリル樹脂が好ましい。
上記アクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマー単位を質量割合で最も多いモノマー単位として含むポリマーであることが好ましい。(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、及び、(メタ)アクリル酸アリールエステル等が挙げられる。上記アクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な他の成分に由来するモノマー単位を含んでいてもよい。上記他の成分としては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、アクリルニトリル等の官能基含有モノマーや、各種の多官能性モノマー等が挙げられる。ダイボンド層において高い凝集力を実現するという観点から、上記アクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸エステル(特に、アルキル基の炭素数が4以下の(メタ)アクリル酸アルキルエステル)と、カルボキシ基含有モノマーと、窒素原子含有モノマーと、多官能性モノマー(特に、ポリグリシジル系多官能モノマー)との共重合体であることが好ましく、アクリル酸エチルと、アクリル酸ブチルと、アクリル酸と、アクリロニトリルと、ポリグリシジル(メタ)アクリレートとの共重合体であることがより好ましい。
ダイボンド層3は、必要に応じて、1種又は2種以上の他の成分を含有してもよい。他の成分としては、例えば、難燃剤、シランカップリング剤、およびイオントラップ剤が挙げられる。
ダイボンド層3の厚さは、特に限定されないが、例えば、1μm以上200μm以下である。斯かる厚さは、3μm以上150μm以下であってもよく、5μm以上100μm以下であってもよい。
本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20は、例えば、半導体集積回路を製造するための補助用具として使用される。以下、ダイシングダイボンドフィルム20の使用の具体例について説明する。
以下では、基材層1が一層であるダイシングダイボンドフィルム20を用いた例について説明する。
以下では、基材層1が一層であるダイシングダイボンドフィルム20を用いた例について説明する。
半導体集積回路を製造する方法は、半導体ウェハを割断処理によってチップ(ダイ)へ加工すべく半導体ウェハに溝を形成するハーフカット工程と、ハーフカット工程後の半導体ウェハを研削して厚さを薄くするバックグラインド工程と、バックグラインド工程後の半導体ウェハの一面(例えば、回路面とは反対側の面)をダイボンド層3に貼付して、ダイシングテープ10に半導体ウェハを固定するマウント工程と、ハーフカット加工された半導体チップ同士の間隔を広げるエキスパンド工程と、半導体チップ同士の間隔を維持するカーフ維持工程と、ダイボンド層3と粘着剤層2との間を剥離してダイボンド層3が貼付された状態で半導体チップ(ダイ)を取り出すピックアップ工程と、ダイボンド層3が貼付された状態の半導体チップ(ダイ)を被着体に接着させるダイボンド工程と、を有する。これらの工程を実施するときに、本実施形態のダイシングテープ(ダイシングダイボンドフィルム)が製造補助用具として使用される。
ハーフカット工程では、図2A及び図2Bに示すように、半導体集積回路を小片(ダイ)に割断するためのハーフカット加工を施す。詳しくは、半導体ウェハWの回路面とは反対側の面に、ウェハ加工用テープTを貼り付ける(図2A参照)。また、ウェハ加工用テープTにダイシングリングRを取り付ける(図2A参照)。ウェハ加工用テープTを貼付した状態で、分割用の溝を形成する(図2B参照)。バックグラインド工程では、図2C及び図2Dに示すように、半導体ウェハを研削して厚さを薄くする。詳しくは、溝を形成した面にバックグラインドテープGを貼付する一方で、始めに貼り付けたウェハ加工用テープTを剥離する(図2C参照)。バックグラインドテープGを貼付した状態で、半導体ウェハWが所定の厚さになるまで研削加工を施す(図2D参照)。
なお、バックグラインド工程において、半導体ウェハの厚さが20μm以上30μm以下と特に薄い場合には、後述するピックアップ工程において、ピン部材Pを用いて半導体チップを突き上げたときに、該半導体チップに変形や割れが生じ易くなるものの、本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20は、上記のごとく構成されているので、ピックアップ工程において、半導体チップに変形や割れが生じることを比較的抑制することができる。
なお、バックグラインド工程において、半導体ウェハの厚さが20μm以上30μm以下と特に薄い場合には、後述するピックアップ工程において、ピン部材Pを用いて半導体チップを突き上げたときに、該半導体チップに変形や割れが生じ易くなるものの、本実施形態に係るダイシングダイボンドフィルム20は、上記のごとく構成されているので、ピックアップ工程において、半導体チップに変形や割れが生じることを比較的抑制することができる。
マウント工程では、図3A〜図3Bに示すように、ダイシングテープ10の粘着剤層2にダイシングリングRを取り付けた後、露出したダイボンド層3の面に、ハーフカット加工された半導体ウェハWを貼付する(図3A参照)。その後、半導体ウェハWからバックグラインドテープGを剥離する(図3B参照)。
エキスパンド工程では、図4A〜図4Cに示すように、ダイシングリングRをエキスパンド装置の保持具Hに固定する。エキスパンド装置が備える突き上げ部材Uを用いて、ダイシングダイボンドフィルム20を下側から突き上げることによって、ダイシングダイボンドフィルム20を面方向に広げるように引き伸ばす(図4B参照)。これにより、特定の温度条件において、ハーフカット加工された半導体ウェハWを割断する。上記温度条件は、例えば−20〜5℃であり、好ましくは−15〜0℃、より好ましくは−10〜−5℃である。突き上げ部材Uを下降させることによって、エキスパンド状態を解除する(図4C参照)。
さらに、エキスパンド工程では、図5A〜図5Bに示すように、より高い温度条件下(例えば、室温(23±2℃))において、面積を広げるようにダイシングテープ10を引き延ばす。これにより、割断された隣り合う半導体チップをフィルム面の面方向に引き離して、さらに間隔を広げる。
さらに、エキスパンド工程では、図5A〜図5Bに示すように、より高い温度条件下(例えば、室温(23±2℃))において、面積を広げるようにダイシングテープ10を引き延ばす。これにより、割断された隣り合う半導体チップをフィルム面の面方向に引き離して、さらに間隔を広げる。
カーフ維持工程では、図6に示すように、ダイシングテープ10に熱風(例えば、100〜130℃)を当ててダイシングテープ10を熱収縮させた後冷却固化させて、割断された隣り合う半導体チップ間の距離(カーフ)を維持する。
ピックアップ工程では、図7に示すように、ダイボンド層3が貼付された状態の半導体チップをダイシングテープ10の粘着剤層2から剥離する。詳しくは、ピン部材Pを上昇させて、ピックアップ対象の半導体チップを、ダイシングテープ10を介して突き上げる。突き上げられた半導体チップを吸着治具Jによって保持する。
ダイボンド工程では、ダイボンド層3が貼付された状態の半導体チップを被着体に接着させる。
なお、本発明に係るダイシングダイボンドフィルムは、前記実施形態に限定されるものではない。また、本発明に係るダイシングダイボンドフィルムは、前記した作用効果によって限定されるものでもない。本発明に係るダイシングダイボンドフィルムは、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
次に、実施例を挙げて本発明についてさらに具体的に説明する。以下の実施例は本発明をさらに詳しく説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。
[実施例1]
<ダイシングテープの作製>
冷却管、窒素導入管、温度計及び撹拌装置を備えた反応容器内に、モノマーとして2−ヒドロキシエチルアクリレート(以下、HEAという)11質量部、イソノニルアクリレート(以下、INAという)89質量部、熱重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル(以下、AIBNという)0.2質量部を加え、
さらに、前記モノマーの濃度が38%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーAを得た。
このアクリル系ポリマーAに、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(以下、MOIという)12質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.06質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーA’を得た。
次に、アクリル系ポリマーA’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Aということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Aを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープAを得た。
<ダイボンド層の作製>
アクリル樹脂(商品名「テイサンレジン SG−70L」、ナガセケムテックス社製、質量平均分子量90万)100質量部に対して、エポキシ樹脂(商品名「KI−3000−4」、東都化成工業社製)200質量部、フェノール樹脂(商品名「MEHC−7851SS」、明和化成社製)200質量部、シリカフィラー(商品名「SE2050−MCV」、アドマテックス社製、平均粒子径500nm)350質量部(シリカフィラー換算)、及び、硬化促進剤(商品名「キュアゾール 2PHZ−PW」、四国化成工業社製)2質量部をメチルエチルケトンに加えて、固形分濃度が30質量%となる接着剤組成物Aを調製した。
次に、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて接着剤組成物Aを塗布して塗膜を形成し、この塗膜について120℃で2分間の脱溶媒処理を行った。これにより、厚さ(平均厚さ)10μmのダイボンド層をPETセパレータ上に作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
ダイボンド層が作製されたPETセパレータ(以下、ダイボンド層付PETセパレータという)を330mmφの円形に打ち抜くことにより、330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た。
次に、ダイシングテープAからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させた後、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温(23±2℃)にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープAに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムAを得た。
すなわち、実施例1に係るダイシングテープAは、ポリオレフィンフィルム、粘着剤層、ダイボンド層、及び、PETセパレータが、この順に積層されて構成されたものであった。
<ダイシングテープの作製>
冷却管、窒素導入管、温度計及び撹拌装置を備えた反応容器内に、モノマーとして2−ヒドロキシエチルアクリレート(以下、HEAという)11質量部、イソノニルアクリレート(以下、INAという)89質量部、熱重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル(以下、AIBNという)0.2質量部を加え、
さらに、前記モノマーの濃度が38%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーAを得た。
このアクリル系ポリマーAに、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(以下、MOIという)12質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.06質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーA’を得た。
次に、アクリル系ポリマーA’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Aということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Aを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープAを得た。
<ダイボンド層の作製>
アクリル樹脂(商品名「テイサンレジン SG−70L」、ナガセケムテックス社製、質量平均分子量90万)100質量部に対して、エポキシ樹脂(商品名「KI−3000−4」、東都化成工業社製)200質量部、フェノール樹脂(商品名「MEHC−7851SS」、明和化成社製)200質量部、シリカフィラー(商品名「SE2050−MCV」、アドマテックス社製、平均粒子径500nm)350質量部(シリカフィラー換算)、及び、硬化促進剤(商品名「キュアゾール 2PHZ−PW」、四国化成工業社製)2質量部をメチルエチルケトンに加えて、固形分濃度が30質量%となる接着剤組成物Aを調製した。
次に、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて接着剤組成物Aを塗布して塗膜を形成し、この塗膜について120℃で2分間の脱溶媒処理を行った。これにより、厚さ(平均厚さ)10μmのダイボンド層をPETセパレータ上に作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
ダイボンド層が作製されたPETセパレータ(以下、ダイボンド層付PETセパレータという)を330mmφの円形に打ち抜くことにより、330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た。
次に、ダイシングテープAからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させた後、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温(23±2℃)にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープAに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムAを得た。
すなわち、実施例1に係るダイシングテープAは、ポリオレフィンフィルム、粘着剤層、ダイボンド層、及び、PETセパレータが、この順に積層されて構成されたものであった。
[実施例2]
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA16質量部、ブチルアクリレート(以下、BAという)84質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が32%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーBを得た。
このアクリル系ポリマーBにMOI17質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.09質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーB’を得た。
次に、アクリル系ポリマーB’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Bということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Bを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープBを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープBからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープBに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムBを得た。
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA16質量部、ブチルアクリレート(以下、BAという)84質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が32%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーBを得た。
このアクリル系ポリマーBにMOI17質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.09質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーB’を得た。
次に、アクリル系ポリマーB’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Bということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Bを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープBを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープBからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープBに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムBを得た。
[実施例3]
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA11質量部、2−エチルヘキシルアクリレート(以下、2EHAという)89質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が36%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーCを得た。
このアクリル系ポリマーCにMOI13質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.07質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーC’を得た。
次に、アクリル系ポリマーC’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Cということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Cを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープCを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープCからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープCに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムCを得た。
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA11質量部、2−エチルヘキシルアクリレート(以下、2EHAという)89質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が36%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーCを得た。
このアクリル系ポリマーCにMOI13質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.07質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーC’を得た。
次に、アクリル系ポリマーC’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Cということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Cを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープCを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープCからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープCに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムCを得た。
[実施例4]
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA16質量部、INA84質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が32%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーDを得た。
このアクリル系ポリマーDにMOI17質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.12質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーD’を得た。
次に、アクリル系ポリマーD’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Dということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Dを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープDを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープDからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープDに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムDを得た。
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA16質量部、INA84質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が32%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーDを得た。
このアクリル系ポリマーDにMOI17質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.12質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーD’を得た。
次に、アクリル系ポリマーD’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Dということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Dを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープDを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープDからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープDに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムDを得た。
[実施例5]
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA9質量部、ラウリルアクリレート(以下、LAという)91質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が30%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーEを得た。
このアクリル系ポリマーEにMOI10質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.21質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーE’を得た。
次に、アクリル系ポリマーE’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部と粘着付与剤としてのテルペンフェノール樹脂(商品名「YSポリスターS145」、ヤスハラケミカル社製)5質量部とを加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Eということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Eを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープEを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープEからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープEに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムEを得た。
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA9質量部、ラウリルアクリレート(以下、LAという)91質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が30%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーEを得た。
このアクリル系ポリマーEにMOI10質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.21質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーE’を得た。
次に、アクリル系ポリマーE’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」、IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部と粘着付与剤としてのテルペンフェノール樹脂(商品名「YSポリスターS145」、ヤスハラケミカル社製)5質量部とを加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Eということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Eを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープEを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープEからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープEに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムEを得た。
[実施例6]
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA9質量部、LA91質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が34%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーFを得た。
このアクリル系ポリマーFにMOI10質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.08質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーF’を得た。
次に、アクリル系ポリマーF’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Fということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Fを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープFを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープFからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープFに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムFを得た。
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA9質量部、LA91質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が34%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーFを得た。
このアクリル系ポリマーFにMOI10質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.08質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーF’を得た。
次に、アクリル系ポリマーF’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Fということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Fを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープFを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープFからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープFに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムFを得た。
[比較例1]
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA19質量部、エチルアクリレート(以下、EAという)81質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が42%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーGを得た。
このアクリル系ポリマーGにMOI21質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.03質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーG’を得た。
次に、アクリル系ポリマーG’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Gということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Gを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープGを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープGからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープGに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムGを得た。
<ダイシングテープの作製>
実施例1に記載と同様の反応容器内に、モノマーとしてHEA19質量部、エチルアクリレート(以下、EAという)81質量部、熱重合開始剤としてAIBN0.2質量部を加え、さらに、前記モノマーの濃度が42%となるように反応溶剤としての酢酸ブチルを加えた後、窒素気流下で、62℃にて4時間重合、75℃にて2時間重合処理をし、アクリル系ポリマーGを得た。
このアクリル系ポリマーGにMOI21質量部、ジラウリル酸ジブチルスズ0.03質量部を加え、空気気流下で、50℃にて12時間付加反応処理をし、アクリル系ポリマーG’を得た。
次に、アクリル系ポリマーG’100質量部に対し、外部架橋剤としてのポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン社製)0.8質量部、及び、光重合開始剤(商品名「Omnirad127」IGM Resins社製)2質量部を加え、酸化防止剤(商品名「Irganox1010」、BASFジャパン社製)0.01質量部を加えて、粘着剤溶液(以下、粘着剤溶液Gということもある)を作製した。
次に、粘着剤溶液Gを、シリコーン離型処理が施された面を有するPETセパレータ(厚さ50μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケータを用いて塗布し、120℃で2分間乾燥し、厚さ10μmの粘着剤層を形成した。その後、該粘着剤層上に、基材層としてのグンゼ製のポリオレフィンフィルム(商品名「ファンクレアNED#125」、厚さ125μm)を貼り合せ、50℃で24時間保存し、ダイシングテープGを得た。
<ダイボンド層の作製>
実施例1と同様にして作製した。
<ダイシングダイボンドフィルムの作製>
実施例1と同様にして330mmφのダイボンド層付PETセパレータを得た後、ダイシングテープGからPETセパレータを取り除いて粘着剤層の一方面を露出させ、ラミネータを用いて、ダイボンド層の露出面が粘着剤層の露出面と当接するように、室温にてダイボンド層付PETセパレータをダイシングテープGに貼り合せることにより、ダイシングダイボンドフィルムGを得た。
(ゾル成分の質量比率)
各例に係るダイシングダイボンドフィルムの硬化前の粘着剤層について、以下の手順にしたがって、ゾル成分の質量比率をもとめた。
(1)硬化前の粘着剤層から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートに包んだ後、室温にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除く。
(4)前記トルエン不溶分を、大気圧にて130℃で約2時間乾燥させた後、前記トルエン不溶分を秤量する。
(5)下記式(1)にしたがって、ゲル成分の質量比率を算出し、ゲル成分の質量比率の算出値を基に、下記式(2)にしたがって、ゾル成分の質量比率を算出する。
その結果を以下の表2に示した。
各例に係るダイシングダイボンドフィルムの硬化前の粘着剤層について、以下の手順にしたがって、ゾル成分の質量比率をもとめた。
(1)硬化前の粘着剤層から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートに包んだ後、室温にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除く。
(4)前記トルエン不溶分を、大気圧にて130℃で約2時間乾燥させた後、前記トルエン不溶分を秤量する。
(5)下記式(1)にしたがって、ゲル成分の質量比率を算出し、ゲル成分の質量比率の算出値を基に、下記式(2)にしたがって、ゾル成分の質量比率を算出する。
その結果を以下の表2に示した。
(GPC測定)
各例に係るダイシングダイボンドフィルムの硬化前の粘着剤層について、分析装置として東ソー社製のHLC−8220GPCを用い、以下の手順にしたがってGPC測定を行い、以下の手順にしたがって得られたGPC測定の結果を解析して分子量に関する情報を得た。
各例に係るダイシングダイボンドフィルムの硬化前の粘着剤層について、分析装置として東ソー社製のHLC−8220GPCを用い、以下の手順にしたがってGPC測定を行い、以下の手順にしたがって得られたGPC測定の結果を解析して分子量に関する情報を得た。
[測定試料の調製]
(1)硬化前の粘着剤層から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートに包んだ後、室温にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除いて、トルエン溶解成分を含むトルエン溶液を得る。
(4)前記トルエン溶液を、減圧しながら45℃以下の温度で処理し、前記トルエン溶液からトルエンを取り除いて、トルエン溶解成分の固形物を得る。
(5)前記固形物を、濃度が0.2質量%となるように、テトラヒドロフラン(THF)に溶解させてTHF溶液とした後、一晩放置する。
(6)一晩放置したTHF溶液を、0.45μmのメンブレンフィルタにて濾過し、得られた濾液を測定試料とする。
(1)硬化前の粘着剤層から約0.2gのサンプルを取得する。
(2)前記サンプルをメッシュ状シートに包んだ後、室温にて、約30mLのトルエン中に1週間浸漬させる。
(3)トルエン中からメッシュ状シートを取り出して、メッシュ状シート中に含まれるトルエン不溶分を取り除いて、トルエン溶解成分を含むトルエン溶液を得る。
(4)前記トルエン溶液を、減圧しながら45℃以下の温度で処理し、前記トルエン溶液からトルエンを取り除いて、トルエン溶解成分の固形物を得る。
(5)前記固形物を、濃度が0.2質量%となるように、テトラヒドロフラン(THF)に溶解させてTHF溶液とした後、一晩放置する。
(6)一晩放置したTHF溶液を、0.45μmのメンブレンフィルタにて濾過し、得られた濾液を測定試料とする。
[測定条件]
・カラム:東ソー社製のTSKgel quaudcolumn SuperHZ−L(以下、第1カラムという)1本、及び、
東ソー社製のTSKgel SuperHAM−M(以下、第2カラムという)2本
上記各カラムは、前記第1カラムの下流側に2本の前記第2カラムを直列で連結させ、後述する溶離液が前記第1カラム側から流入するように、前記分析装置に配した。
・カラム温度:40℃
・溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
・流量:サンプルポンプ流量 0.3mL/min
レファレンスポンプ流量 1.0mL/min
・注入量:10μL
・検出器:示差屈折率検出器(RI)
・カラム:東ソー社製のTSKgel quaudcolumn SuperHZ−L(以下、第1カラムという)1本、及び、
東ソー社製のTSKgel SuperHAM−M(以下、第2カラムという)2本
上記各カラムは、前記第1カラムの下流側に2本の前記第2カラムを直列で連結させ、後述する溶離液が前記第1カラム側から流入するように、前記分析装置に配した。
・カラム温度:40℃
・溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
・流量:サンプルポンプ流量 0.3mL/min
レファレンスポンプ流量 1.0mL/min
・注入量:10μL
・検出器:示差屈折率検出器(RI)
また、前記測定試料について測定した結果を基に、分子量分布曲線を得るために、東ソー社製の各標準ポリスチレンを、上記した表1に示した配合質量となるように計量し、計量した各標準ポリスチレンを、100mLのTHFに溶解させて、標準ポリスチレン溶液STD1及び標準ポリスチレン溶液STD2を得て、これらについても、上記の測定装置を用いて、上記の測定条件にてGPC測定を行った。
前記測定試料、前記STD1、及び、前記STD2をGPC測定した結果を、東ソー社製の解析ソフトGPC−8020 Model II(データ管理 Version 5.10)を用いてデータ解析した。
上記解析ソフトを用いたデータ解析では、まず、前記STD1及び前記STD2についての較正曲線(横軸を時間(min)とし、縦軸を質量平均分子量の対数とした較正曲線)を作成し、これらの較正曲線を基に、前記測定試料の分子量に関するデータ解析を行った。前記測定試料の分子量に関するデータ解析は、クロマトグラム上で最も早く検出されるピークP1(最も高分子量側のピーク)についての分子量分布曲線を得た上で行った。ピークP1についての分子量分布曲線について、データ解析を行うことにより、ピークP1についての数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得た。
なお、各例に係るダイシングダイボンドフィルムの粘着剤層から得た測定試料は、いずれも、最も早く検出されるピークP1の立下り部分とピークP1の次に検出さえるピークP2の立上り部分とに重なりが認められていたため、ピークP1の立上りの開始部分を基点として水平方向に延びるようにベースラインを引き、ピークP1の立下り部分とピークP2の立上り部分との間に生じる谷部分(最も凹んだ部分)に向けて前記ベースラインから垂直に線を引き、ピークP1の立上り開始部分から前記谷部分までと、前記ベースラインと、前記ベースラインから前記谷部分に向けて垂直に引いた線とで区切られた領域を解析することにより、ピークP1について、数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得た。
以下の表2に、ピークP1の数平均分子量Mn、ピークP1の質量平均分子量Mw、及び、ピークP1の数平均分子量Mnに対するピークP1の質量平均分子量Mwの比を示した。
また、以下の表2に、ピークP1のピークトップ分子量の値についても示した。
上記解析ソフトを用いたデータ解析では、まず、前記STD1及び前記STD2についての較正曲線(横軸を時間(min)とし、縦軸を質量平均分子量の対数とした較正曲線)を作成し、これらの較正曲線を基に、前記測定試料の分子量に関するデータ解析を行った。前記測定試料の分子量に関するデータ解析は、クロマトグラム上で最も早く検出されるピークP1(最も高分子量側のピーク)についての分子量分布曲線を得た上で行った。ピークP1についての分子量分布曲線について、データ解析を行うことにより、ピークP1についての数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得た。
なお、各例に係るダイシングダイボンドフィルムの粘着剤層から得た測定試料は、いずれも、最も早く検出されるピークP1の立下り部分とピークP1の次に検出さえるピークP2の立上り部分とに重なりが認められていたため、ピークP1の立上りの開始部分を基点として水平方向に延びるようにベースラインを引き、ピークP1の立下り部分とピークP2の立上り部分との間に生じる谷部分(最も凹んだ部分)に向けて前記ベースラインから垂直に線を引き、ピークP1の立上り開始部分から前記谷部分までと、前記ベースラインと、前記ベースラインから前記谷部分に向けて垂直に引いた線とで区切られた領域を解析することにより、ピークP1について、数平均分子量Mn及び質量平均分子量Mwを得た。
以下の表2に、ピークP1の数平均分子量Mn、ピークP1の質量平均分子量Mw、及び、ピークP1の数平均分子量Mnに対するピークP1の質量平均分子量Mwの比を示した。
また、以下の表2に、ピークP1のピークトップ分子量の値についても示した。
(光重合開始剤の移行比率)
各例に係るダイシングダイボンドフィルムについて、粘着剤層からダイボンド層への光重合開始剤の移行比率を測定した。
光重合開始剤の移行比率は、ダイボンド層と重なっていない粘着剤層部分から採取したサンプル中に含まれる光重合開始剤の質量比率(第1質量比率)と、粘着剤層と重なっているダイボンド層部分から採取したサンプル中に含まれる光重合開始剤の質量比率(第2質量比率)と、から算出した。
各例に係るダイシングダイボンドフィルムについて、粘着剤層からダイボンド層への光重合開始剤の移行比率を測定した。
光重合開始剤の移行比率は、ダイボンド層と重なっていない粘着剤層部分から採取したサンプル中に含まれる光重合開始剤の質量比率(第1質量比率)と、粘着剤層と重なっているダイボンド層部分から採取したサンプル中に含まれる光重合開始剤の質量比率(第2質量比率)と、から算出した。
前記第1質量比率は、以下の手順にしたがって求めた。
(1)各例に係るダイシングダイボンドフィルムについて、ダイボンド層が積層されておらず、かつ、ダイボンド層から1cm以上離れた粘着剤層部分を約0.1g採取する。
(2)採取した粘着剤層を4mLのクロロホルム中に加えた後、冷暗所にて一晩(約16時間)振とうすることにより、粘着剤層中の光重合開始剤をクロロホルム中に抽出させる。
(3)光重合開始剤抽出後のクロロホルム溶液に7mLのメタノールを加えて、光重合開始剤以外の成分を再沈殿させ、再沈殿させた成分をメンブレンフィルタにて濾取し、光重合開始剤の溶解液(クロロホルムとメタノールとの混合溶液)を得る。これを測定試料とする。
(4)前記測定試料をHPLCにて分析して、前記測定試料中の前記光重合開始剤の濃度(単位は、μg/mL)を測定する。
(5)前記光重合開始剤の濃度に、前記光重合開始剤を溶解している混合溶媒(クロロホルムとメタノールとの混合溶媒)の容積である11mLを乗じて、前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量(単位は、μg)を算出する。
(6)前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量を採取した粘着剤層の質量で除することにより、粘着剤層中における前記光重合開始剤の質量比率を算出し、これを第1質量比率とする。
(1)各例に係るダイシングダイボンドフィルムについて、ダイボンド層が積層されておらず、かつ、ダイボンド層から1cm以上離れた粘着剤層部分を約0.1g採取する。
(2)採取した粘着剤層を4mLのクロロホルム中に加えた後、冷暗所にて一晩(約16時間)振とうすることにより、粘着剤層中の光重合開始剤をクロロホルム中に抽出させる。
(3)光重合開始剤抽出後のクロロホルム溶液に7mLのメタノールを加えて、光重合開始剤以外の成分を再沈殿させ、再沈殿させた成分をメンブレンフィルタにて濾取し、光重合開始剤の溶解液(クロロホルムとメタノールとの混合溶液)を得る。これを測定試料とする。
(4)前記測定試料をHPLCにて分析して、前記測定試料中の前記光重合開始剤の濃度(単位は、μg/mL)を測定する。
(5)前記光重合開始剤の濃度に、前記光重合開始剤を溶解している混合溶媒(クロロホルムとメタノールとの混合溶媒)の容積である11mLを乗じて、前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量(単位は、μg)を算出する。
(6)前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量を採取した粘着剤層の質量で除することにより、粘着剤層中における前記光重合開始剤の質量比率を算出し、これを第1質量比率とする。
前記第2質量比率は、以下の手順にしたがって求めた。なお、以下(1)〜(4)は、いずれも暗所にて行った。
(1)粘着剤層上からダイボンド層を約0.1g剥がし取る。
(2)剥がし取ったダイボンド層を4mLのクロロホル中に加えた後、冷暗所にて一晩(約16時間)振とうすることにより、光重合開始剤をクロロホルム中に抽出させる。
(3)光重合開始剤抽出後のクロロホルム溶液に7mLのメタノールを加えて、光重合開始剤以外の成分を再沈殿させ、再沈殿させた成分をメンブレンフィルタにて濾取し、光重合開始剤の溶解液(クロロホルムとメタノールとの混合溶液)を得る。これを測定試料とする。
(4)前記測定試料をHPLCにて分析して、前記測定試料中の前記光重合開始剤の濃度(単位は、μg/mL)を測定する。
(5)前記光重合開始剤の濃度に、前記光重合開始剤を溶解している混合溶媒(クロロホルムとメタノールとの混合溶媒)の容積である11mLを乗じて、前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量(単位は、μg)を算出する。
(6)前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量を採取したダイボンド層の質量で除することにより、前記ダイボンド層中における前記光重合開始剤の質量比率を算出し、これを第2質量比率とする。
(1)粘着剤層上からダイボンド層を約0.1g剥がし取る。
(2)剥がし取ったダイボンド層を4mLのクロロホル中に加えた後、冷暗所にて一晩(約16時間)振とうすることにより、光重合開始剤をクロロホルム中に抽出させる。
(3)光重合開始剤抽出後のクロロホルム溶液に7mLのメタノールを加えて、光重合開始剤以外の成分を再沈殿させ、再沈殿させた成分をメンブレンフィルタにて濾取し、光重合開始剤の溶解液(クロロホルムとメタノールとの混合溶液)を得る。これを測定試料とする。
(4)前記測定試料をHPLCにて分析して、前記測定試料中の前記光重合開始剤の濃度(単位は、μg/mL)を測定する。
(5)前記光重合開始剤の濃度に、前記光重合開始剤を溶解している混合溶媒(クロロホルムとメタノールとの混合溶媒)の容積である11mLを乗じて、前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量(単位は、μg)を算出する。
(6)前記測定試料中における前記光重合開始剤の質量を採取したダイボンド層の質量で除することにより、前記ダイボンド層中における前記光重合開始剤の質量比率を算出し、これを第2質量比率とする。
なお、HPLCでの分析は、以下の条件にて行った。
分析装置
Waters,Acquity HPLC
測定条件
・標準溶液:Omniradをクロロホルムとメタノールとの混合溶液に、濃度5.54μg/mLで溶解させた溶液(第1標準溶液)、濃度55.4μg/mLで溶解させた溶液(第2標準溶液)、及び、濃度166.2μg/mLで溶解させた溶液(第3標準溶液)の3種
・カラム:GL Science,Inertsil(登録商標)(2.1mmφ×10cm、担体の平均粒子径1.7μm)
・カラム温度:40℃
・カラム流量:0.8mL/min
・溶離液組成:超純水/アセトニトリルのグラジエント条件
・インジェクション量:10μL
・検出器:PDA検出器
・検出波長:260nm
分析装置
Waters,Acquity HPLC
測定条件
・標準溶液:Omniradをクロロホルムとメタノールとの混合溶液に、濃度5.54μg/mLで溶解させた溶液(第1標準溶液)、濃度55.4μg/mLで溶解させた溶液(第2標準溶液)、及び、濃度166.2μg/mLで溶解させた溶液(第3標準溶液)の3種
・カラム:GL Science,Inertsil(登録商標)(2.1mmφ×10cm、担体の平均粒子径1.7μm)
・カラム温度:40℃
・カラム流量:0.8mL/min
・溶離液組成:超純水/アセトニトリルのグラジエント条件
・インジェクション量:10μL
・検出器:PDA検出器
・検出波長:260nm
前記第1質量比率の値と前記第2質量比率の値とを、下記式(3)に代入することにより、光重合開始剤の移行比率を算出した。その結果を、以下の表2に示した。
(剥離力)
各例に係るダイシングダイボンドフィルムについて、粘着剤層に対するダイボンド層の剥離力を測定した。粘着剤層に対するダイボンド層の剥離力は、粘着剤層を硬化させた後に測定した。
粘着剤層に対するダイボンド層の剥離力は、T型剥離試験により測定した。
T型剥離試験は、ダイボンド層からPETセパレータを剥離して、ダイボンド層に露出面を形成し、該露出面に裏打ちテープ(商品名「ELP BT315」、日東電工社製)を貼り合せたダイシングダイボンドフィルムに、日東精機製の商品名「UM−810」(高圧水銀ランプ、60mW/cm2)を用いて、ダイシングテープ側から強度150J/cm2の紫外線を照射して粘着剤層を硬化させた後、幅50mm×長さ120mmの寸法に切り出したものを測定用サンプルとし、引張試験器(例えば、商品名「TG−1kN」、ミネベアミツミ社製)を用いて、温度25℃、引張速度300mm/分の条件で行った。
上記のようにして測定した剥離力について、以下の表2に示した。
各例に係るダイシングダイボンドフィルムについて、粘着剤層に対するダイボンド層の剥離力を測定した。粘着剤層に対するダイボンド層の剥離力は、粘着剤層を硬化させた後に測定した。
粘着剤層に対するダイボンド層の剥離力は、T型剥離試験により測定した。
T型剥離試験は、ダイボンド層からPETセパレータを剥離して、ダイボンド層に露出面を形成し、該露出面に裏打ちテープ(商品名「ELP BT315」、日東電工社製)を貼り合せたダイシングダイボンドフィルムに、日東精機製の商品名「UM−810」(高圧水銀ランプ、60mW/cm2)を用いて、ダイシングテープ側から強度150J/cm2の紫外線を照射して粘着剤層を硬化させた後、幅50mm×長さ120mmの寸法に切り出したものを測定用サンプルとし、引張試験器(例えば、商品名「TG−1kN」、ミネベアミツミ社製)を用いて、温度25℃、引張速度300mm/分の条件で行った。
上記のようにして測定した剥離力について、以下の表2に示した。
(ピックアップ性)
割断された状態のダイボンド層付半導体チップについて、ピックアップ性を評価した。割断された状態のダイボンド層付半導体チップは、ハーフカットにより分割用の溝(10mm×10mm)が形成された12インチのベアウェハ(直径300mm、厚さ55μm)に、分割用の溝が形成された面にバックグラインドテープを貼り付けた後、バックグラインダー(DISCO社製、型式DGP8760)を用いて、前記12インチのベアウェハを、前記バックグラインドテープを貼り付けた側と反対側の面から厚さ25μmまで研削してバックグランドされたベアウェハを得て、そのバックグラインドされたベアウェハのバックグラインドテープの貼付面と反対側に、各例に係るダイシングダイボンドフィルムのダイボンド層を貼付して、ダイシングダイボンドフィルム付ベアウェハを得て、該ダイシングダイボンドフィルム付ベアウェハを、ダイセパレート装置(商品名「ダイセパレータDDS3200、ディスコ社製」を用いて、エキスパンドすることにより得た。
なお、ダイセパレート装置を用いたエキスパンドは、前記バックグラインドテープをベアウェハから剥離した状態で行った。
ダイセパレート装置を用いたエキスパンドでは、クールエキスパンドを行った後、常温エキスパンドを行った。
割断された状態のダイボンド層付半導体チップについて、ピックアップ性を評価した。割断された状態のダイボンド層付半導体チップは、ハーフカットにより分割用の溝(10mm×10mm)が形成された12インチのベアウェハ(直径300mm、厚さ55μm)に、分割用の溝が形成された面にバックグラインドテープを貼り付けた後、バックグラインダー(DISCO社製、型式DGP8760)を用いて、前記12インチのベアウェハを、前記バックグラインドテープを貼り付けた側と反対側の面から厚さ25μmまで研削してバックグランドされたベアウェハを得て、そのバックグラインドされたベアウェハのバックグラインドテープの貼付面と反対側に、各例に係るダイシングダイボンドフィルムのダイボンド層を貼付して、ダイシングダイボンドフィルム付ベアウェハを得て、該ダイシングダイボンドフィルム付ベアウェハを、ダイセパレート装置(商品名「ダイセパレータDDS3200、ディスコ社製」を用いて、エキスパンドすることにより得た。
なお、ダイセパレート装置を用いたエキスパンドは、前記バックグラインドテープをベアウェハから剥離した状態で行った。
ダイセパレート装置を用いたエキスパンドでは、クールエキスパンドを行った後、常温エキスパンドを行った。
クールエキスパンドは、ベアウェハに貼り付けられたダイシングダイボンドフィルムの粘着剤層上のフレーム貼着領域に、直径12インチのSUS製リングフレーム(ディスコ社製)を室温にて貼り付けた後、SUS製リングフレームが貼り付けられたベアウェハを、ダイセパレート装置に装着し、該ダイセパレート装置のクールエキスパンターユニットにて、ダイシングダイボンドフィルムのダイシングテープをエキスパンドすることにより行った。クールエキスパンドは、エキスパンド温度−15℃、エキスパンド速度100mm/秒、エキスパンド量7mmの条件で行った。
なお、クールエキスパンド後においては、半導体ウェハが複数の半導体チップへと個片化されるとともに、ダイボンド層も半導体チップ相当サイズに個片化されており、複数のダイボンド層付半導体チップが得られていた。
常温エキスパンドは、クールエキスパンド後に、前記ダイセパレート装置の常温エキスパンドユニットを用いて、ダイシングダイボンドフィルムのダイシングテープをエキスパンドすることにより行った。常温エキスパンドは、エキスパンド温度23±2℃、エキスパンド速度1mm/秒、エキスパンド量10mmの条件で行った。
常温エキスパンド後のダイシングテープについて、加熱収縮処理を施した。加熱収縮処理は、温度200℃、時間20秒の条件で行った。
なお、クールエキスパンド後においては、半導体ウェハが複数の半導体チップへと個片化されるとともに、ダイボンド層も半導体チップ相当サイズに個片化されており、複数のダイボンド層付半導体チップが得られていた。
常温エキスパンドは、クールエキスパンド後に、前記ダイセパレート装置の常温エキスパンドユニットを用いて、ダイシングダイボンドフィルムのダイシングテープをエキスパンドすることにより行った。常温エキスパンドは、エキスパンド温度23±2℃、エキスパンド速度1mm/秒、エキスパンド量10mmの条件で行った。
常温エキスパンド後のダイシングテープについて、加熱収縮処理を施した。加熱収縮処理は、温度200℃、時間20秒の条件で行った。
ダイシングテープを加熱収縮させた後、ピックアップ機構を有する装置(商品名「ダイボンダー SPA−300」、新川製)を用いて、個片化されたダイボンド層付半導体チップのピックアップ試験を行った。前記ピックアップ機構を有する装置において、ピン部材による突き上げ速度は1mm/秒とし、突き上げ量は2000μmとした。
前記ピックアップ試験は、日東精機製の商品名「UM−810」(高圧水銀ランプ、60mW/cm2)を用いて、ダイシングテープ側から強度150J/cm2の紫外線を照射して粘着剤層を硬化させた後に行った。
ピックアップ試験は、5個のダイボンド層付半導体チップについて行い、ピックアップ性については、以下の基準で判断した。
◎ 5個のダイボンド層付半導体チップの全てがピックアップできる。
〇 5個のダイボンド層付半導体チップのうち3個または4個がピックアップできる。
× 5個のダイボンド層付半導体チップの全てがピックアップできない。
前記ピックアップ試験は、日東精機製の商品名「UM−810」(高圧水銀ランプ、60mW/cm2)を用いて、ダイシングテープ側から強度150J/cm2の紫外線を照射して粘着剤層を硬化させた後に行った。
ピックアップ試験は、5個のダイボンド層付半導体チップについて行い、ピックアップ性については、以下の基準で判断した。
◎ 5個のダイボンド層付半導体チップの全てがピックアップできる。
〇 5個のダイボンド層付半導体チップのうち3個または4個がピックアップできる。
× 5個のダイボンド層付半導体チップの全てがピックアップできない。
表2より、実施例1〜6に係るダイシングダイボンドフィルムでは、比較例1に係るダイシングダイボンドフィルムに比べて、粘着剤層からダイボンド層への光重合開始剤の移行比率が低く、また、放射線照射後の粘着力についても、十分に低下していることが分かる。
さらに、ピックアップ性についても、実施例1〜6に係るダイシングダイボンドフィルムでは、〇または◎と良好であるのに対し、比較例1に係るダイシングダイボンドフィルムでは、×と不良であることが分かる。
さらに、ピックアップ性についても、実施例1〜6に係るダイシングダイボンドフィルムでは、〇または◎と良好であるのに対し、比較例1に係るダイシングダイボンドフィルムでは、×と不良であることが分かる。
1 基材層
2 粘着剤層
3 ダイボンド層
10 ダイシングテープ
20 ダイシングダイボンドフィルム
G バックグラインドテープ
H 保持具
J 吸着治具
P ピン部材
R ダイシングリング
T ウェハ加工用テープ
U 突き上げ部材
W 半導体ウェハ
2 粘着剤層
3 ダイボンド層
10 ダイシングテープ
20 ダイシングダイボンドフィルム
G バックグラインドテープ
H 保持具
J 吸着治具
P ピン部材
R ダイシングリング
T ウェハ加工用テープ
U 突き上げ部材
W 半導体ウェハ
Claims (4)
- 基材層上に粘着剤層が積層されたダイシングテープと、
前記ダイシングテープの粘着剤層上に積層されたダイボンド層と、を備え、
前記粘着剤層は、粘着剤及び光重合開始剤を含み、
硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークの数平均分子量Mnに対する最も高分子量側に現れるピークの質量平均分子量Mwの比である多分散度Mw/Mnが、1.3以上である
ダイシングダイボンドフィルム。 - 硬化前の前記粘着剤層をGPC測定して得られる分子量分布曲線において、最も高分子量側に現れるピークのピークトップ分子量の値が、33,000以下である
請求項1に記載のダイシングダイボンドフィルム。 - 硬化前の前記粘着剤層は、ゾル成分を32質量%未満含む
請求項1または2に記載のダイシングダイボンドフィルム。 - 前記粘着剤層に対する前記ダイボンド層の剥離力が、前記粘着剤層の硬化後において、0.18N/20mm未満である
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のダイシングダイボンドフィルム。
Priority Applications (4)
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JP7059553B2 (ja) | 2017-10-04 | 2022-04-26 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | ステルスダイシング用粘着テープ及びダイシングダイボンディング一体型テープ、並びに半導体装置の製造方法 |
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2020
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