JP2021155251A - オゾン生成装置、オゾン生成方法および窒素酸化物検出方法 - Google Patents
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
Description
NO+O3→O2+NO2
NO2+O3→O2+NO3
NO3+O3→O2+O2+NO2
NO2+NO3→N2O5
40 オゾン生成部
Claims (10)
- 酸素と窒素とを含む原料ガスが流れる流路と、
前記流路の流入口と流出口との間に設けられるオゾン生成部とを備え、
前記流出口側の原料ガスの吸収スペクトルにおいて、波長210nm以下の吸光度が抑制されるように、前記流路における原料ガスの流れを調整することを特徴とするオゾン生成装置。 - 波長255nm付近の吸光度に対する波長190nm付近の換算吸光度の割合が、30%以下となるように、原料ガスの流量または原料ガスの圧力の少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。
- 原料ガスの圧力を0.1〜0.2(MPa)の範囲内に定めることを特徴とする請求項2に記載のオゾン生成装置。
- 原料ガスの流量を0.1(L/min)以上に定めることを特徴とする請求項3に記載のオゾン生成装置。
- 前記オゾン生成部は、原料ガスが通過する放電空間で放電することによって、オゾンを発生させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 前記オゾン生成部は、放電ランプによる紫外線照射によって、オゾンを発生させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 酸素と窒素を含む原料ガスが流れる流路と、
前記流路の流入口と流出口との間に設けられるオゾン生成部とを備え、
前記流出口側の原料ガスの吸収スペクトルにおいて、波長255nm付近の吸光度に対する波長190nm付近の吸光度の割合が30%以下となることを特徴とするオゾン生成装置。 - 酸素と窒素とを含む原料ガスが流入口から流出口へ流れるオゾン生成装置において、
前記流出口側の原料ガスの吸収スペクトルにおいて、波長210nm以下の吸光度が抑制されるように、前記流路における原料ガスの流れを調整することを特徴とするオゾン生成方法。 - 酸素と窒素を含む原料ガスが流入口から流出口へ流れるオゾン生成装置において、
前記流出口側の原料ガスの吸収スペクトルを検出し、
検出された吸収スペクトルから、窒素酸化物の発生、もしくは発生したオゾンに対する発生した窒素酸化物の割合を検出する窒素酸化物検出方法。 - 波長255nm付近の吸光度に対する波長190nm付近の換算吸光度の割合を検出することを特徴とする請求項9に記載の窒素酸化物検出方法。
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