JP2021153157A - 絶縁回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上述の絶縁回路基板として、例えば特許文献1に記載された金属ベース回路基板が提案されている。
そして、特許文献1に記載された金属ベース回路基板においては、絶縁樹脂層の上に配設された銅箔をエッチング処理することによって回路パターンを形成している。
この特許文献2においては、絶縁層としてセラミックス基板を用いており、このセラミックス基板に対して金属片を積層方向に加圧することで金属片とセラミックス基板とを接合している。
しかしながら、金属片側にゴム状弾性体を配置して樹脂組成物と金属片とを積層方向に加圧した場合には、ゴム状弾性体で金属片を押圧した際に、ゴム状弾性体の周縁部が加圧によって外側に広がるように変形してしまい、金属片を外側に広がる方向にずらしてしまったり、ゴム状弾性体の周縁部に相当する領域を十分に加圧することができず、金属片の接合不良や絶縁樹脂層の割れ等が発生したりするおそれがあった。
なお、前記クッション材の周縁部と前記ガイド壁部との接触は、少なくとも加圧時に接触していればよく、加圧前から接触していてもよい。また、前記クッション材の周縁部と前記ガイド壁部とを接触させる際は、前記クッション材の周縁部の下面側が前記ガイド壁部と接触していてもよく、前記クッション材の周縁部の側面側が前記ガイド壁部と接触してもよい。
この場合、前記ガイド壁部の硬さが前記クッション材の硬さよりも大きいので、加圧時における前記クッション材の周縁部の変形を確実に抑制することが可能となる。
この場合、記ガイド壁部が前記加圧治具の前記樹脂材側に配されているので、加圧時に金属片側に配設されたクッション材の周縁部にガイド壁部を確実に接触させることができ、加圧時における前記クッション材の周縁部の変形を確実に抑制することが可能となる。
この場合、絶縁樹脂層の他方の面側に放熱層を回路層と同時に形成することができ、放熱性に優れた絶縁回路基板を効率良く製造することができる。
この場合、前記接合工程において、エポキシ樹脂からなる樹脂材を、金属片が配置された領域、金属片が配置されていない領域、および、クッション材の周縁部に相当する領域の全てで、十分に加圧することができ、均一に硬化させることが可能となり、絶縁性に優れた絶縁樹脂層を形成することが可能となる。
この場合、前記接合工程において、ポリイミド樹脂からなる樹脂材を、金属片が配置された領域、金属片が配置されていない領域、および、クッション材の周縁部に相当する領域の全てで、十分に加圧することができ、絶縁樹脂層と前記金属片とを確実に接合することができる。
この場合、クッション材が適切な硬さを有しており、金属片の形状に応じて変形するとともに、金属片が配置された領域、金属片が配置されていない領域、および、クッション材の周縁部に相当する領域を均一に押圧することができる。
図1に、本発明の実施形態における絶縁回路基板10、および、この絶縁回路基板10を用いたパワーモジュール1を示す。
半導体素子3は、半導体を備えた電子部品であり、必要とされる機能に応じて種々の半導体素子が選択される。
ここで、フィラーとしては、例えばアルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等を用いることができる。また、熱硬化型樹脂としては、エポキシ樹脂、ポリイミド等を用いることができる。
本実施形態では、絶縁樹脂層11は、フィラーとしてアルミナを含有するエポキシ樹脂で構成されている。また、絶縁樹脂層11の厚さは、20μm以上250μm以下の範囲内とされている。
ここで、回路層12(金属片22)の厚さtは0.5mm以上とされている。なお、回路層12(金属片22)の厚さtは1.0mm以上であることが好ましく、1.5mm以上であることがさらに好ましい。また、回路層12(金属片22)の厚さtの上限は特に制限はないが、現実的には、3.0mm以下となる。
本実施形態では、具体的には、回路パターン状に配設された金属片22同士の最近接距離Lは、1.0mm以上1.5mm以下の範囲内に設定されている。
ここで、絶縁回路基板10の放熱層13とヒートシンク31とは、はんだ層32を介して接合されている。
まず、回路層12となる金属片22を形成する。金属板42(本実施形態では無酸素銅の圧延板)を打ち抜き加工して、金属片22を形成する。本実施形態では、図4に示すように、打ち抜き加工機61の凸型62及び凹型63によって金属板42を挟持して剪断する。これにより、金属片22を金属板42から打ち抜く。
次に、図5に示すように、放熱層13となる金属板23の一方の面(図5において上面)に、フィラーとしてのアルミナと、熱硬化型樹脂としてのエポキシ樹脂と、硬化剤と、を含有する樹脂組成物21を配設する。
次に、樹脂組成物21の一方の面(図5において上面)に、複数の金属片22を回路パターン状に配置する。
次に、加圧装置70の上方押圧板71および下方押圧板72の間に配置し、放熱層13となる金属板23と樹脂組成物21と金属片22とを積層方向に加圧するとともに加熱することにより、樹脂組成物21を硬化させて絶縁樹脂層11を形成するとともに、金属板23と絶縁樹脂層11、絶縁樹脂層11と金属片22とを接合して、放熱層13及び回路層12を形成する。
また、受け治具50(ガイド壁部53)は、硬さH2が50以上1000以下の範囲内とされていることが好ましい。本実施形態では、例えば、アルミ合金やカーボン等で構成されたものとされている。なお、受け治具の硬さ測定は、JIS Z 2244:2009 ビッカース硬さ試験によるものとした。
さらに、ガイド壁部53とクッション材45との接触幅は、1mm以上20mm以下の範囲内とすることが好ましい。
ここで、加熱温度の下限は150℃以上とすることがさらに好ましく、170℃以上とすることがより好ましい。一方、加熱温度の上限は250℃以下とすることがさらに好ましく、200℃以下とすることがより好ましい。
加熱温度での保持時間の下限は30分以上とすることがさらに好ましく、60分以上とすることがより好ましい。一方、加熱温度での保持時間の上限は120分以下とすることがさらに好ましく、90分以下とすることがより好ましい。
積層方向の加圧荷重の下限は5MPa以上とすることがさらに好ましく、8MPa以上とすることがより好ましい。一方、積層方向の加圧荷重の上限は15MPa以下とすることがさらに好ましく、10MPa以下とすることがより好ましい。
次に、この絶縁回路基板10の放熱層13の他方の面にヒートシンク31を接合する。本実施形態では、放熱層13とヒートシンク31とを、はんだ材を介して接合している。
そして、絶縁回路基板10の回路層12に半導体素子3を接合する。本実施形態では、回路層12と半導体素子3とを、はんだ材を介して接合している。
以上の工程により、図1に示すパワーモジュール1が製造される。
また、エッチング処理を行うことなく、回路パターンを形成することができ、回路層12の端部形状が精度良く形成されることになり、回路層12の接合界面の端部における電界集中を抑制することが可能となる。
さらに、ヒートシンクの材質や構造は、本実施形態に限定されることなく、適宜設計変更してもよい。
また、本実施形態では、接合工程において、金属片とともに金属板を接合し、絶縁樹脂層の他方の面側に放熱層を形成するものとして説明したが、これに限定されることはなく、放熱層を形成しないものであってもよい。
また、本実施形態では、絶縁樹脂層をエポキシ樹脂で構成したものとして説明したが、絶縁樹脂層をポリイミド樹脂で構成したものであってもよい。この場合、接合工程において、既に硬化したポリイミド樹脂を積層して加圧および加熱して金属片と絶縁樹脂層とを接合することになる。
そして、樹脂組成物の一方の面に表1に示す金属片(20mm×20mm)をパターン状に配置した。このとき、金属片同士の最近接距離が表1に示す値となるように金属片を配置した。
このとき、本発明例1,2においては、金属片側にシリコーンゴムからなるゴム状弾性体(厚さ4.0mm)を配置し、かつ、樹脂組成物側にガイド壁部を備えた受け治具を配置し、積層方向に加圧した。
一方、比較例1,2においては、金属片側にシリコーンゴムからなるゴム状弾性体(厚さ4.0mm)を配置し、樹脂組成物側には受け治具を配置せず、積層方向に加圧した。
絶縁樹脂層の割れは、接合工程後に、絶縁樹脂層を目視で観察して評価した。
また、冷熱サイクル試験(−45℃←→200℃、500サイクル)を実施した後に、金属片の剥離の有無を評価した。
比較例2では、ポリイミド樹脂からなる樹脂シートを用いて絶縁樹脂層を構成し、接合工程において受け治具を使用しなかった。接合工程後に絶縁樹脂層に割れが認められなかったが、冷熱サイクル試験後に金属片の剥離が確認された。
3 半導体素子
10 絶縁回路基板
11 絶縁樹脂層
12 回路層
13 放熱層
21 樹脂組成物
22 金属片
23 金属板
45 クッション材
50 受け治具
53 ガイド壁部
Claims (7)
- 絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層の一方の面に回路パターン状に配設された金属片からなる回路層と、を備えた絶縁回路基板の製造方法であって、
前記絶縁樹脂層となる樹脂材の上に前記金属片を回路パターン状に配置する金属片配置工程と、
前記樹脂材と前記金属片とを少なくとも積層方向に加圧するとともに加熱することにより、前記絶縁樹脂層と前記金属片とを接合する接合工程と、を有し、
前記接合工程では、前記金属片と前記樹脂材とを積層方向に加圧する加圧治具が、前記金属片側に配置されたクッション材と、前記クッション材の周縁部に対向する位置に配置されたガイド壁部と、を備えており、加圧時に前記クッション材の周縁部と前記ガイド壁部とを接触させることを特徴とする絶縁回路基板の製造方法。 - 前記ガイド壁部の硬さが前記クッション材の硬さよりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記ガイド壁部が、前記加圧治具の前記樹脂材側に配されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記絶縁回路基板が、前記絶縁樹脂層の他方の面に配置された放熱層を更に含み、
前記接合工程において、前記金属片と前記絶縁樹脂層、および、前記放熱層と前記絶縁樹脂層を同時に接合することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の絶縁回路基板の製造方法。 - 前記樹脂材がエポキシ樹脂であり、前記接合工程において、前記樹脂材を硬化させて前記絶縁樹脂層を形成することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記樹脂材がポリイミド樹脂であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の絶縁回路基板の製造方法。
- 前記クッション材がシリコーンゴムで構成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の絶縁回路基板の製造方法。
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